JP3131066B2 - セラミックス製品焼成用治具 - Google Patents
セラミックス製品焼成用治具Info
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- 238000010304 firing Methods 0.000 title claims description 25
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 11
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 5
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 3
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 2
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001233 yttria-stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
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- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、匣鉢や棚板等のセラミ
ックス製品焼成用治具の基材の表面に、イットリア安定
化ジルコニア（ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3 ）のコーティング層を
形成したセラミックス製品焼成用治具に関する。
ックス製品焼成用治具の基材の表面に、イットリア安定
化ジルコニア（ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3 ）のコーティング層を
形成したセラミックス製品焼成用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、匣鉢や棚板等の焼成用治具はタイ
ル、衛生陶器、食器及び電子部品等の種々のセラミック
ス製品の焼成に用いられている。そして、例えば、セラ
ミックコンデンサ等の電子部品を製作する際には、該電
子部品の素地を１２００〜１４００℃で焼成する工程が
あり、従来この工程で使用する匣鉢や棚板等の治具とし
ては、該電子部品と接触する部分には、該電子部品との
反応が最も少ない材料としてＺｒＯ2 が好ましいとされ
ており、そのため、該治具の基材の表面にＺｒＯ2 をコ
ーティングする方法が行われている。
ル、衛生陶器、食器及び電子部品等の種々のセラミック
ス製品の焼成に用いられている。そして、例えば、セラ
ミックコンデンサ等の電子部品を製作する際には、該電
子部品の素地を１２００〜１４００℃で焼成する工程が
あり、従来この工程で使用する匣鉢や棚板等の治具とし
ては、該電子部品と接触する部分には、該電子部品との
反応が最も少ない材料としてＺｒＯ2 が好ましいとされ
ており、そのため、該治具の基材の表面にＺｒＯ2 をコ
ーティングする方法が行われている。
【０００３】上記のＺｒＯ2 のコーティング方法として
は、コーティング層全体にＺｒＯ2のみを使用する方
法、治具の基材とＺｒＯ2のコーティング層との間にＡ
ｌ2Ｏ3等による中間層を設ける方法などが行われてお
り、この際のＺｒＯ2 の安定化剤としては、ＣａＯが用
いられている（特公平３−５８６号公報、３−７７６５
２号公報）。
は、コーティング層全体にＺｒＯ2のみを使用する方
法、治具の基材とＺｒＯ2のコーティング層との間にＡ
ｌ2Ｏ3等による中間層を設ける方法などが行われてお
り、この際のＺｒＯ2 の安定化剤としては、ＣａＯが用
いられている（特公平３−５８６号公報、３−７７６５
２号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の技術にあっては、コーティング層全体をＺｒＯ
2のみとする場合は高価であり、焼成用治具の基材とＺ
ｒＯ2のコーティング層との間にＡｌ2Ｏ3等の中間層を
設けた場合には、該治具基材、中間層及びコーティング
層との間の熱膨張係数の相違によって互いに剥離するお
それがある。
た従来の技術にあっては、コーティング層全体をＺｒＯ
2のみとする場合は高価であり、焼成用治具の基材とＺ
ｒＯ2のコーティング層との間にＡｌ2Ｏ3等の中間層を
設けた場合には、該治具基材、中間層及びコーティング
層との間の熱膨張係数の相違によって互いに剥離するお
それがある。
【０００５】また、ＺｒＯ2の安定化剤としてＣａＯを
使用した場合には、例えばＡｌ2Ｏ3質の治具の基材にＣ
ａＯ安定化ジルコニアを溶射すると、ＣａＯは高温下で
は基材中に少量づつ拡散してゆくため、コーティング層
中のＣａＯ量が次第に減少し、ＺｒＯ2 は安定化領域か
ら外れ、加熱・冷却に伴う異常な膨張・収縮が次第に現
れて剥離するおそれがあるという問題がある。本発明者
は、セラミックス製品焼成用治具の表面にＹ2Ｏ3を含有
する酸化物層を形成し、且つ、この酸化物層におけるＹ
2 Ｏ 3 の含有量を、基材側から酸化物層の表面までの間で
連続的に変化させることにより、従来の問題を解決し、
性能のよいコーティング層を形成できることを見出し本
発明に到達した。
使用した場合には、例えばＡｌ2Ｏ3質の治具の基材にＣ
ａＯ安定化ジルコニアを溶射すると、ＣａＯは高温下で
は基材中に少量づつ拡散してゆくため、コーティング層
中のＣａＯ量が次第に減少し、ＺｒＯ2 は安定化領域か
ら外れ、加熱・冷却に伴う異常な膨張・収縮が次第に現
れて剥離するおそれがあるという問題がある。本発明者
は、セラミックス製品焼成用治具の表面にＹ2Ｏ3を含有
する酸化物層を形成し、且つ、この酸化物層におけるＹ
2 Ｏ 3 の含有量を、基材側から酸化物層の表面までの間で
連続的に変化させることにより、従来の問題を解決し、
性能のよいコーティング層を形成できることを見出し本
発明に到達した。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明によれ
ば、セラミックス製品を焼成するために使用する治具に
おいて、該治具の基材の表面にＹ2Ｏ3を含有するコーテ
ィング層を形成し、且つ、該コーティング層における該
Ｙ 2 Ｏ 3 の含有量が、該基材側から該コーティング層の表
面までの間で連続的に変化することを特徴とするセラミ
ックス製品焼成用治具が提供される。本発明において
は、該コーティング層が更にフィラーを含有することが
好ましい。また、該コーティング層全体のＹ2Ｏ3の含有
量は、２５重量％以下であることが好ましい。
ば、セラミックス製品を焼成するために使用する治具に
おいて、該治具の基材の表面にＹ2Ｏ3を含有するコーテ
ィング層を形成し、且つ、該コーティング層における該
Ｙ 2 Ｏ 3 の含有量が、該基材側から該コーティング層の表
面までの間で連続的に変化することを特徴とするセラミ
ックス製品焼成用治具が提供される。本発明において
は、該コーティング層が更にフィラーを含有することが
好ましい。また、該コーティング層全体のＹ2Ｏ3の含有
量は、２５重量％以下であることが好ましい。
【０００７】
【作用】本発明においては、コーティング層にＹ2Ｏ3を
含有させ、且つ、このコーティング層におけるＹ 2 Ｏ 3 の
含有量を、基材側からこのコーティング層の表面までの
間で連続的に変化するように制御したので、このコーテ
ィング層が基材からより剥離し難くなり、耐剥離性を更
に向上させることができる。しかも、被焼成物との耐反
応性及び耐スポール性を、良好な状態に保持したまま耐
剥離性を向上することができる。
含有させ、且つ、このコーティング層におけるＹ 2 Ｏ 3 の
含有量を、基材側からこのコーティング層の表面までの
間で連続的に変化するように制御したので、このコーテ
ィング層が基材からより剥離し難くなり、耐剥離性を更
に向上させることができる。しかも、被焼成物との耐反
応性及び耐スポール性を、良好な状態に保持したまま耐
剥離性を向上することができる。
【０００８】次に、本発明の焼成用治具について、詳細
に説明する。本発明の焼成用治具は、基材上にＹ2Ｏ3を
含有するコーティング層を形成して構成されている。こ
こで、この基材としては、特に限定されるものではない
が、Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2系、Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2，ＭｇＯ
系、ＳｉＣ，ＳｉＯ2 系、ＳｉＣ，Ｓｉ3Ｎ4系等を例示
できる。また、Ｙ2Ｏ3の含有量としては、コーティング
層全体に対し２５重量％以下に制御するのが好ましい。
に説明する。本発明の焼成用治具は、基材上にＹ2Ｏ3を
含有するコーティング層を形成して構成されている。こ
こで、この基材としては、特に限定されるものではない
が、Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2系、Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2，ＭｇＯ
系、ＳｉＣ，ＳｉＯ2 系、ＳｉＣ，Ｓｉ3Ｎ4系等を例示
できる。また、Ｙ2Ｏ3の含有量としては、コーティング
層全体に対し２５重量％以下に制御するのが好ましい。
【０００９】Ｙ2Ｏ3以外の成分としては、ＺｒＯ2 やＭ
ｇＯ等を挙げることができる。この場合、従来のＣａＯ
安定化ＺｒＯ2（ＺｒＯ2／ＣａＯ）を用いたコーティン
グ層と比較すると、Ｙ2Ｏ3安定化ＺｒＯ2（ＺｒＯ2／Ｙ
2Ｏ3）を用いたコーティング層の方が高温下で脱固溶し
難く、耐剥離性に優れ、焼成用治具のコーティング層と
しては良好であると考えられる。
ｇＯ等を挙げることができる。この場合、従来のＣａＯ
安定化ＺｒＯ2（ＺｒＯ2／ＣａＯ）を用いたコーティン
グ層と比較すると、Ｙ2Ｏ3安定化ＺｒＯ2（ＺｒＯ2／Ｙ
2Ｏ3）を用いたコーティング層の方が高温下で脱固溶し
難く、耐剥離性に優れ、焼成用治具のコーティング層と
しては良好であると考えられる。
【００１０】一方、本発明の焼成用治具においては、上
記コーティング層におけるＹ2Ｏ3の含有量を、基材側か
らこのコーティング層の表面までの間で連続的に変化す
るように制御する。このように制御することによって
も、耐剥離性を向上させることができる。この変化のさ
せ方としては、基材側から該表面側の方向に対してＹ2
Ｏ3の含有量が漸次増加するような形式とするのが好ま
しい。なお、この際、コーティング層の基材表面と当接
する部分（即ち、コーティング層の最下面）におけるＹ
2Ｏ3の含有量は０％であってもよい。また、コーティン
グ層の被焼成物と当接する部分（最上面）におけるＹ2
Ｏ3含有量が１００％であってもよい。
記コーティング層におけるＹ2Ｏ3の含有量を、基材側か
らこのコーティング層の表面までの間で連続的に変化す
るように制御する。このように制御することによって
も、耐剥離性を向上させることができる。この変化のさ
せ方としては、基材側から該表面側の方向に対してＹ2
Ｏ3の含有量が漸次増加するような形式とするのが好ま
しい。なお、この際、コーティング層の基材表面と当接
する部分（即ち、コーティング層の最下面）におけるＹ
2Ｏ3の含有量は０％であってもよい。また、コーティン
グ層の被焼成物と当接する部分（最上面）におけるＹ2
Ｏ3含有量が１００％であってもよい。
【００１１】更に、本発明の焼成用治具に係るコーティ
ング層は、上記Ｙ2Ｏ3やＺｒＯ2 等以外にＡｌ2Ｏ3やム
ライト等のフィラーを含有してもよい。例えば、Ａｌ2
Ｏ3を含有させることにより、Ｙ2Ｏ3とＺｒＯ2 とのな
じみ（親和性）を向上させることが可能であり、この結
果、治具の耐剥離性を向上させることができる。しか
も、これらフィラーをコーティング層に混入させること
により、高価なＹ2Ｏ3の含有量を低減させることもで
き、コスト的に有利である。
ング層は、上記Ｙ2Ｏ3やＺｒＯ2 等以外にＡｌ2Ｏ3やム
ライト等のフィラーを含有してもよい。例えば、Ａｌ2
Ｏ3を含有させることにより、Ｙ2Ｏ3とＺｒＯ2 とのな
じみ（親和性）を向上させることが可能であり、この結
果、治具の耐剥離性を向上させることができる。しか
も、これらフィラーをコーティング層に混入させること
により、高価なＹ2Ｏ3の含有量を低減させることもで
き、コスト的に有利である。
【００１２】次に、本発明の焼成用治具の製造方法につ
いて説明する。まず、基材の製造法としては、通常の方
法を適用できる。即ち、所定の原料粉末を混合・成形
し、次いで、焼成すればよい。一方、本発明に係るコー
ティング層の製造法としては、溶射法を挙げることがで
きる。溶射法としては、ＺｒＯ2等の融点を考慮してプ
ラズマ溶射が好ましく、水プラズマ溶射が更に好まし
い。
いて説明する。まず、基材の製造法としては、通常の方
法を適用できる。即ち、所定の原料粉末を混合・成形
し、次いで、焼成すればよい。一方、本発明に係るコー
ティング層の製造法としては、溶射法を挙げることがで
きる。溶射法としては、ＺｒＯ2等の融点を考慮してプ
ラズマ溶射が好ましく、水プラズマ溶射が更に好まし
い。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例に限られるものでは
ない。 （参考例１） ２９５×２９５×１０ｍｍ（厚さ）の寸法のＡｌ2Ｏ3９
０重量％，ＳｉＯ2１０重量％を含有する耐火物基材の
表面に、粒度１０〜４５μｍのＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3粉末
（ＺｒＯ2９４重量％／Ｙ2Ｏ3６重量％）を水プラズマ
溶射装置により０．８ｍｍ厚さに溶射した。耐剥離性、
耐反応性及び耐スポール性を評価し、その結果を表１に
示す。
明するが、本発明はこれらの実施例に限られるものでは
ない。 （参考例１） ２９５×２９５×１０ｍｍ（厚さ）の寸法のＡｌ2Ｏ3９
０重量％，ＳｉＯ2１０重量％を含有する耐火物基材の
表面に、粒度１０〜４５μｍのＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3粉末
（ＺｒＯ2９４重量％／Ｙ2Ｏ3６重量％）を水プラズマ
溶射装置により０．８ｍｍ厚さに溶射した。耐剥離性、
耐反応性及び耐スポール性を評価し、その結果を表１に
示す。
【００１４】（参考例２及び３） ＺｒＯ2とＹ2Ｏ3との混合比を表１のように変えた以外
は参考例１と同様に溶射を行った。その結果を表１に示
す。 （比較例１） ＺｒＯ2／ＣａＯ粉末を表１に示すような混合比で使用
した以外は参考例１と同様に溶射を行った。その結果を
表１に示す。
は参考例１と同様に溶射を行った。その結果を表１に示
す。 （比較例１） ＺｒＯ2／ＣａＯ粉末を表１に示すような混合比で使用
した以外は参考例１と同様に溶射を行った。その結果を
表１に示す。
【００１５】
【表１】 上記の参考例１〜３、及び比較例１より、溶射材料にＺ
ｒＯ2／Ｙ2Ｏ3を用いたものは性能（特に、耐剥離性）
がよく、ＺｒＯ2／ＣａＯを用いたものは性能が劣るこ
とが分かる。
ｒＯ2／Ｙ2Ｏ3を用いたものは性能（特に、耐剥離性）
がよく、ＺｒＯ2／ＣａＯを用いたものは性能が劣るこ
とが分かる。
【００１６】（実施例１） 図１はコーティング材の調整及びコーティング方法の概
要説明図である。まず、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3（ＺｒＯ2：９
４重量％、Ｙ2Ｏ3：６重量％）の＃３２５Ｆ粉末６５重
量部と＃１５００Ｆ粉末３５重量部を準備した。一方、
原料槽１において、上記ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3混合粉末１０
０重量部に対し、３０重量部の水と３重量部の割合のメ
チルセルロース（バインダー）を混合・攪拌してバイン
ダー液を調製した。次いで、得られたバインダー液を約
３００ｒｐｍで攪拌しながら、準備しておいたＺｒＯ2
／Ｙ2Ｏ3粉末を原料槽１に投入し、このまま約３時間攪
拌してＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3スラリーを製造した。
要説明図である。まず、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3（ＺｒＯ2：９
４重量％、Ｙ2Ｏ3：６重量％）の＃３２５Ｆ粉末６５重
量部と＃１５００Ｆ粉末３５重量部を準備した。一方、
原料槽１において、上記ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3混合粉末１０
０重量部に対し、３０重量部の水と３重量部の割合のメ
チルセルロース（バインダー）を混合・攪拌してバイン
ダー液を調製した。次いで、得られたバインダー液を約
３００ｒｐｍで攪拌しながら、準備しておいたＺｒＯ2
／Ｙ2Ｏ3粉末を原料槽１に投入し、このまま約３時間攪
拌してＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3スラリーを製造した。
【００１７】一方、Ａｌ2Ｏ3の＃３２５Ｆ粉末５０重量
部と＃１５００Ｆ粉末５０重量部を準備し、次いで、上
記Ａｌ2Ｏ3混合粉末１００重量部に対し、５０重量部の
水と３重量部のメチルセルロース（バインダー）を原料
槽２に投入し、攪拌してバインダー液を調製した。そし
て、このバインダー液を約３００ｒｐｍで攪拌しなが
ら、準備しておいたＡｌ2Ｏ3混合粉末を投入し、約３時
間攪拌してＡｌ2Ｏ3スラリーを製造した。
部と＃１５００Ｆ粉末５０重量部を準備し、次いで、上
記Ａｌ2Ｏ3混合粉末１００重量部に対し、５０重量部の
水と３重量部のメチルセルロース（バインダー）を原料
槽２に投入し、攪拌してバインダー液を調製した。そし
て、このバインダー液を約３００ｒｐｍで攪拌しなが
ら、準備しておいたＡｌ2Ｏ3混合粉末を投入し、約３時
間攪拌してＡｌ2Ｏ3スラリーを製造した。
【００１８】次いで、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3 スラリーとＡｌ
2Ｏ3スラリーとを、流量調整弁３及び４を用いてそれぞ
れの供給量を制御しながらエアーガン７に送出した。そ
して、得られるコーティング層が、図２の直線Ａに示す
ように、ＳｉＣ基材５側からコーティング層表面６に向
かってＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3 の重量比が０：１０
０から１００：０まで連続的に変化するように、エアー
ガン７を用いて熱処理を行うことなく、厚さ１ｍｍにな
るまでコーティングを行った。次いで、１００℃で８時
間乾燥を行った後、最高温度１４００℃で２時間保持し
て焼成を行った。得られた焼成用治具について上記と同
様の性能評価を行い、その結果を表２に示す。
2Ｏ3スラリーとを、流量調整弁３及び４を用いてそれぞ
れの供給量を制御しながらエアーガン７に送出した。そ
して、得られるコーティング層が、図２の直線Ａに示す
ように、ＳｉＣ基材５側からコーティング層表面６に向
かってＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3 の重量比が０：１０
０から１００：０まで連続的に変化するように、エアー
ガン７を用いて熱処理を行うことなく、厚さ１ｍｍにな
るまでコーティングを行った。次いで、１００℃で８時
間乾燥を行った後、最高温度１４００℃で２時間保持し
て焼成を行った。得られた焼成用治具について上記と同
様の性能評価を行い、その結果を表２に示す。
【００１９】（実施例２） 流量調整弁３及び４により上記両スラリーの供給量を適
宜制御し、図２のＢ線に示すように、ＺｒＯ2／Ｙ
2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3の重量比を１０：９０で厚さ０．２ｍｍ
までコーティングした後、厚さ０．２ｍｍから厚さ０．
７ｍｍまで、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3の重量比を１
０：９０から９５：５まで連続的に変化させてコーティ
ングを行い、次いで、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3の重
量比を９５：５で厚さ１．０ｍｍまでコーティングを行
った。上記以外は総て実施例１と同様の操作を行い、得
られた結果を表２に示す。 （実施例３） 図２のＣ線に示すように、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3
の重量比を５０：５０で行った以外は総て実施例１と同
様に行った。その結果を表２に示す。 （実施例４） ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3のみでコーティングを行った以外は総
て実施例１と同様に行った。その結果を表２に示す。
宜制御し、図２のＢ線に示すように、ＺｒＯ2／Ｙ
2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3の重量比を１０：９０で厚さ０．２ｍｍ
までコーティングした後、厚さ０．２ｍｍから厚さ０．
７ｍｍまで、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3の重量比を１
０：９０から９５：５まで連続的に変化させてコーティ
ングを行い、次いで、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3の重
量比を９５：５で厚さ１．０ｍｍまでコーティングを行
った。上記以外は総て実施例１と同様の操作を行い、得
られた結果を表２に示す。 （実施例３） 図２のＣ線に示すように、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3：Ａｌ2Ｏ3
の重量比を５０：５０で行った以外は総て実施例１と同
様に行った。その結果を表２に示す。 （実施例４） ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3のみでコーティングを行った以外は総
て実施例１と同様に行った。その結果を表２に示す。
【００２０】（比較例２） ＺｒＯ2／ＣａＯ（ＺｒＯ 2 ：９３重量％、ＣａＯ：７重
量％）のみでコーティングを行った以外は総て実施例１
と同様に行った。その結果を表２に示す。
量％）のみでコーティングを行った以外は総て実施例１
と同様に行った。その結果を表２に示す。
【００２１】
【表２】
【００２２】以上、実施例１〜４及び比較例２の結果よ
り、本発明の焼成用治具に係る実施例１〜４の場合はコ
ーティング層の性能が良好であることが分かる。また、
Ａｌ2Ｏ3を混入し、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3との割合を連続的
に変化させることにより、コーティング層の耐剥離性が
一層向上することも分かる。
り、本発明の焼成用治具に係る実施例１〜４の場合はコ
ーティング層の性能が良好であることが分かる。また、
Ａｌ2Ｏ3を混入し、ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3との割合を連続的
に変化させることにより、コーティング層の耐剥離性が
一層向上することも分かる。
【００２３】以下に、表１及び表２記載のコーティング
層の性能試験の評価法について説明する。 （１）耐剥離性試験は、各例で得られた焼成用治具の上
に、セラミックコンデンサを載置し、２００℃／ｈｒで
昇温し、１３００℃で１時間保持した後、冷却するとい
う通窯条件により、コーティング層が耐火物基材から剥
離するまでの通窯回数によって評価を行った。この際、
通窯回数２０回以上を◎印、１０回以上２０回未満を○
印、５回以上１０回未満を△印、５回未満を×印とし
た。
層の性能試験の評価法について説明する。 （１）耐剥離性試験は、各例で得られた焼成用治具の上
に、セラミックコンデンサを載置し、２００℃／ｈｒで
昇温し、１３００℃で１時間保持した後、冷却するとい
う通窯条件により、コーティング層が耐火物基材から剥
離するまでの通窯回数によって評価を行った。この際、
通窯回数２０回以上を◎印、１０回以上２０回未満を○
印、５回以上１０回未満を△印、５回未満を×印とし
た。
【００２４】（２）耐反応性試験は、上記の通窯条件と
同様の条件で３回通窯した後、コーティング層の脱固溶
状態を調査した。この際、脱固溶無しのものを◎印、脱
固溶軽微のものを○印、脱固溶重度のものを△印、完全
脱固溶のものを×印とした。 （３）耐スポール性は、各例で得られた焼成用治具を１
５０×１５０×１０ｍｍ（厚さ）の試験片に加工し、そ
の上に９０×９０×３ｍｍ（厚さ）のＺｒＯ2製セッタ
ーを２枚重ねて載置し、これを温度６００℃のローラー
ハース炉の中に３０分入れて取り出し、常温まで冷却す
るという通窯条件で処理した。この際、試験片にクラッ
クが発生する通窯回数で評価を行った。この際、通窯回
数１０回以上を○印とした。
同様の条件で３回通窯した後、コーティング層の脱固溶
状態を調査した。この際、脱固溶無しのものを◎印、脱
固溶軽微のものを○印、脱固溶重度のものを△印、完全
脱固溶のものを×印とした。 （３）耐スポール性は、各例で得られた焼成用治具を１
５０×１５０×１０ｍｍ（厚さ）の試験片に加工し、そ
の上に９０×９０×３ｍｍ（厚さ）のＺｒＯ2製セッタ
ーを２枚重ねて載置し、これを温度６００℃のローラー
ハース炉の中に３０分入れて取り出し、常温まで冷却す
るという通窯条件で処理した。この際、試験片にクラッ
クが発生する通窯回数で評価を行った。この際、通窯回
数１０回以上を○印とした。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
セラミックス製品焼成用治具の表面にＹ2Ｏ3を含有する
酸化物層をコーティングすることにしたため、コーティ
ング層の耐剥離性、耐スポール性及び耐反応性能を向上
させ、安定したコーティング層を備えた焼成用治具を提
供することができ、また、被焼成品を好適に焼成するこ
とができる。
セラミックス製品焼成用治具の表面にＹ2Ｏ3を含有する
酸化物層をコーティングすることにしたため、コーティ
ング層の耐剥離性、耐スポール性及び耐反応性能を向上
させ、安定したコーティング層を備えた焼成用治具を提
供することができ、また、被焼成品を好適に焼成するこ
とができる。
【図１】 コーティング材の調整及びコーティング方法
の概要説明図である。
の概要説明図である。
【図２】 コーティング材の組成変化を示す説明図であ
る。
る。
１ ＺｒＯ2／Ｙ2Ｏ3槽 ２ Ａｌ2Ｏ3槽 ３ 流量調整弁 ４ 流量調整弁 ５ 基材 ６ コーティング層表面 ７ エアーガン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−270925（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−296671（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−219872（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−219873（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/64 F27D 3/12
Claims (2)
- 【請求項１】 セラミックス製品を焼成するために使用
する治具において、該治具の基材の表面にＹ2Ｏ3を含有
するコーティング層を形成し、且つ、該コーティング層
における該Ｙ 2 Ｏ 3 の含有量が、該基材側から該コーティ
ング層の表面までの間で連続的に変化することを特徴と
するセラミックス製品焼成用治具。 - 【請求項２】 前記コーティング層が、更にフィラーを
含有することを特徴とする請求項１に記載のセラミック
ス製品焼成用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05059038A JP3131066B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | セラミックス製品焼成用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05059038A JP3131066B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | セラミックス製品焼成用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06271359A JPH06271359A (ja) | 1994-09-27 |
| JP3131066B2 true JP3131066B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=13101739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05059038A Expired - Lifetime JP3131066B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | セラミックス製品焼成用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3131066B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6398702B1 (en) * | 2000-02-14 | 2002-06-04 | Xerox Corporation | Roll having zirconia coating |
| JP7836603B1 (ja) * | 2025-09-02 | 2026-03-27 | 共立エレックス株式会社 | リチウム含有酸化物セラミックス焼成用セッター |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP05059038A patent/JP3131066B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06271359A (ja) | 1994-09-27 |
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