JP3135800B2 - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
及びその製造方法に関するものである。
及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、インクジェット記録装置に使用さ
れるインクジェットヘッドにおいては、主にサーマルジ
ェット方式のものが使用され、インク加圧室内において
発熱体によって気泡を発生させ、該気泡によってインク
加圧室内のインクを加圧するようにしている（特公昭６
１−５９９１４号公報参照）。
れるインクジェットヘッドにおいては、主にサーマルジ
ェット方式のものが使用され、インク加圧室内において
発熱体によって気泡を発生させ、該気泡によってインク
加圧室内のインクを加圧するようにしている（特公昭６
１−５９９１４号公報参照）。
【０００３】この場合、前記インク加圧室の前方にオリ
フィスが形成され、インク加圧室内のインクが加圧され
ることによって、前記オリフィスからインク滴が噴出さ
れ、媒体上に画素が形成される。ところが、インク加圧
室内において発熱体を発熱させる必要があるので、イン
クが熱によって劣化し、印刷品位が低下してしまう。ま
た、気泡の発生を安定させることができないので、オリ
フィスの目詰まりが生じたり、インク流路に気泡が進入
したり、熱応力によってインクジェットヘッドの構成部
品にクラックが発生したりしてしまう。
フィスが形成され、インク加圧室内のインクが加圧され
ることによって、前記オリフィスからインク滴が噴出さ
れ、媒体上に画素が形成される。ところが、インク加圧
室内において発熱体を発熱させる必要があるので、イン
クが熱によって劣化し、印刷品位が低下してしまう。ま
た、気泡の発生を安定させることができないので、オリ
フィスの目詰まりが生じたり、インク流路に気泡が進入
したり、熱応力によってインクジェットヘッドの構成部
品にクラックが発生したりしてしまう。
【０００４】そこで、圧電体に溝部を形成してインク加
圧室とし、溝壁の剪断（せんだん）モードの変形によっ
てインク加圧室内のインクを加圧するようにしたピエゾ
方式のインクジェットヘッドが提供されている（特開平
５−３３８１５６号公報、特開平６−８４２６号公報参
照）。図２は従来のインクジェットヘッドの要部断面図
である。
圧室とし、溝壁の剪断（せんだん）モードの変形によっ
てインク加圧室内のインクを加圧するようにしたピエゾ
方式のインクジェットヘッドが提供されている（特開平
５−３３８１５６号公報、特開平６−８４２６号公報参
照）。図２は従来のインクジェットヘッドの要部断面図
である。
【０００５】図において、１１は矢印Ｐ方向（アレイ方
向）に分極され、複数の突起部１１ａ〜１１ｃによって
櫛歯（くしば）状の形状にされた圧電体ベース、１２は
前記突起部１１ａ〜１１ｃの先端に配設され、圧電体ベ
ース１１と同方向に分極された中間圧電体である。該中
間圧電体１２は前記突起部１１ａ〜１１ｃに対応させて
形成された壁部１２ａ〜１２ｃから成る。
向）に分極され、複数の突起部１１ａ〜１１ｃによって
櫛歯（くしば）状の形状にされた圧電体ベース、１２は
前記突起部１１ａ〜１１ｃの先端に配設され、圧電体ベ
ース１１と同方向に分極された中間圧電体である。該中
間圧電体１２は前記突起部１１ａ〜１１ｃに対応させて
形成された壁部１２ａ〜１２ｃから成る。
【０００６】そして、前記突起部１１ａ〜１１ｃの先端
に電極１６が形成され、前記各壁部１２ａ〜１２ｃの両
端に電極１７、１８が形成され、前記電極１６、１７間
に導電接着部材２０が配設され、該導電接着部材２０に
よって中間圧電体１２が圧電体ベース１１に固定され
る。また、各突起部１１ａ〜１１ｃ間、及び各壁部１２
ａ〜１２ｃ間に複数の溝部が形成され、該溝部は天板１
３によって閉鎖され、インク加圧室１４ａ、１４ｂを構
成する。そして、前記天板１３には共通電極１９が形成
され、該共通電極１９と各壁部１２ａ〜１２ｃの電極１
８との間に導電接着部材２１が配設され、該導電接着部
材２１によって天板１３が中間圧電体１２に固定され
る。なお、前記インク加圧室１４ａ、１４ｂの端面には
オリフィス１５ａ、１５ｂが形成される。
に電極１６が形成され、前記各壁部１２ａ〜１２ｃの両
端に電極１７、１８が形成され、前記電極１６、１７間
に導電接着部材２０が配設され、該導電接着部材２０に
よって中間圧電体１２が圧電体ベース１１に固定され
る。また、各突起部１１ａ〜１１ｃ間、及び各壁部１２
ａ〜１２ｃ間に複数の溝部が形成され、該溝部は天板１
３によって閉鎖され、インク加圧室１４ａ、１４ｂを構
成する。そして、前記天板１３には共通電極１９が形成
され、該共通電極１９と各壁部１２ａ〜１２ｃの電極１
８との間に導電接着部材２１が配設され、該導電接着部
材２１によって天板１３が中間圧電体１２に固定され
る。なお、前記インク加圧室１４ａ、１４ｂの端面には
オリフィス１５ａ、１５ｂが形成される。
【０００７】前記構成のインクジェットヘッドにおい
て、例えば、前記共通電極１９を接地し、突起部１１ａ
の電極１６に正の電圧＋Ｖを、突起部１１ｂの電極１６
に負の電圧−Ｖを印加すると、圧電体ベース１１には、
突起部１１ａから突起部１１ｂに向けて矢印Ａ方向に電
界が発生させられ、また、中間圧電体１２には、突起部
１１ａから突起部１１ｂに向けて矢印Ｂ、Ｃ方向に電界
が発生させられる。その結果、圧電体ベース１１及び中
間圧電体１２には、それぞれ逆の方向に剪断モード変形
（破線形状）が発生し、インク加圧室１４ａ内のインク
を加圧され、前記オリフィス１５ａからインク滴が噴射
される。なお、矢印Ｐは分極方向を示す。
て、例えば、前記共通電極１９を接地し、突起部１１ａ
の電極１６に正の電圧＋Ｖを、突起部１１ｂの電極１６
に負の電圧−Ｖを印加すると、圧電体ベース１１には、
突起部１１ａから突起部１１ｂに向けて矢印Ａ方向に電
界が発生させられ、また、中間圧電体１２には、突起部
１１ａから突起部１１ｂに向けて矢印Ｂ、Ｃ方向に電界
が発生させられる。その結果、圧電体ベース１１及び中
間圧電体１２には、それぞれ逆の方向に剪断モード変形
（破線形状）が発生し、インク加圧室１４ａ内のインク
を加圧され、前記オリフィス１５ａからインク滴が噴射
される。なお、矢印Ｐは分極方向を示す。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のインクジェットヘッドにおいては、インク加圧室１
４ａ内をリーク電流が流れると、剪断モード変形による
インク加圧室１４ａ内の加圧量が少なくなり、前記オリ
フィス１５ａから十分な量のインク滴を噴射することが
できなくなってしまう。
来のインクジェットヘッドにおいては、インク加圧室１
４ａ内をリーク電流が流れると、剪断モード変形による
インク加圧室１４ａ内の加圧量が少なくなり、前記オリ
フィス１５ａから十分な量のインク滴を噴射することが
できなくなってしまう。
【０００９】図３は従来のインクジェットヘッドにおい
てリーク電流が流れたときの状態図である。図におい
て、１１ａ、１１ｂは突起部、１２ａ、１２ｂは壁部、
１３は天板、１６は前記突起部１１ａ、１１ｂの先端に
形成された電極、１７、１８は前記各壁部１２ａ、１２
ｂの両端に形成された電極、１９は共通電極、２０、２
１は導電接着部材である。
てリーク電流が流れたときの状態図である。図におい
て、１１ａ、１１ｂは突起部、１２ａ、１２ｂは壁部、
１３は天板、１６は前記突起部１１ａ、１１ｂの先端に
形成された電極、１７、１８は前記各壁部１２ａ、１２
ｂの両端に形成された電極、１９は共通電極、２０、２
１は導電接着部材である。
【００１０】前記構成のインクジェットヘッドにおい
て、前記共通電極１９を接地し、突起部１１ａの電極１
６に正の電圧＋Ｖを、突起部１１ｂの電極１６に負の電
圧−Ｖを印加すると、前記圧電体ベース１１（図２）に
は、突起部１１ａから突起部１１ｂに向けて矢印Ａ方向
に電界が発生させられ、また、前記中間圧電体１２に
は、壁部１２ａから壁部１２ｂに向けて矢印Ｂ、Ｃ方向
に電界が発生させられるが、このとき、インク加圧室１
４ａ内のインクの電気抵抗に対応して、前記インク加圧
室１４ａ内を矢印Ｄ方向にリーク電流が流れることがあ
る。
て、前記共通電極１９を接地し、突起部１１ａの電極１
６に正の電圧＋Ｖを、突起部１１ｂの電極１６に負の電
圧−Ｖを印加すると、前記圧電体ベース１１（図２）に
は、突起部１１ａから突起部１１ｂに向けて矢印Ａ方向
に電界が発生させられ、また、前記中間圧電体１２に
は、壁部１２ａから壁部１２ｂに向けて矢印Ｂ、Ｃ方向
に電界が発生させられるが、このとき、インク加圧室１
４ａ内のインクの電気抵抗に対応して、前記インク加圧
室１４ａ内を矢印Ｄ方向にリーク電流が流れることがあ
る。
【００１１】その場合、該リーク電流によって前記電界
の強度が低下し、剪断モード変形がその分少なくなる。
したがって、インク加圧室１４ａ内の加圧量が少なり、
オリフィス１５ａから十分な量のインク滴を噴射するこ
とができなくなってしまう。そして、最悪の場合には、
インク加圧室１４ａ内の加圧量が不足してインク滴が全
く噴出されないこともある。
の強度が低下し、剪断モード変形がその分少なくなる。
したがって、インク加圧室１４ａ内の加圧量が少なり、
オリフィス１５ａから十分な量のインク滴を噴射するこ
とができなくなってしまう。そして、最悪の場合には、
インク加圧室１４ａ内の加圧量が不足してインク滴が全
く噴出されないこともある。
【００１２】さらに、前記リーク電流によって電極１
６、１７に電気化学反応による腐食が発生したり、イン
クが変質したりすることがある。そこで、２点鎖線で示
すように、圧電体ベース１１及び中間圧電体１２におけ
るインクと接触する部分に絶縁コート層２４を被覆し、
インク加圧室１４ａ内を電極１６、１７から絶縁するこ
とが考えられる。
６、１７に電気化学反応による腐食が発生したり、イン
クが変質したりすることがある。そこで、２点鎖線で示
すように、圧電体ベース１１及び中間圧電体１２におけ
るインクと接触する部分に絶縁コート層２４を被覆し、
インク加圧室１４ａ内を電極１６、１７から絶縁するこ
とが考えられる。
【００１３】ところが、オリフィス１５ａの実装密度を
高くするために、前記インク加圧室１４ａを構成する溝
部の幅は３０〜１００〔μｍ〕に設定され、極めて狭
く、前記絶縁コート層２４を均一にかつ完全に被覆する
のが困難である。また、前記溝部を形成する際に電極１
６、１７の端面にバリが発生しやすく、該バリが発生す
ると、前記絶縁コート層２４にピンホールが生じてイン
ク加圧室１４ａ内を電極１６、１７から絶縁することが
できなくなってしまう。
高くするために、前記インク加圧室１４ａを構成する溝
部の幅は３０〜１００〔μｍ〕に設定され、極めて狭
く、前記絶縁コート層２４を均一にかつ完全に被覆する
のが困難である。また、前記溝部を形成する際に電極１
６、１７の端面にバリが発生しやすく、該バリが発生す
ると、前記絶縁コート層２４にピンホールが生じてイン
ク加圧室１４ａ内を電極１６、１７から絶縁することが
できなくなってしまう。
【００１４】本発明は、前記従来のインクジェットヘッ
ドの問題点を解決して、オリフィスから十分な量のイン
ク滴を噴射することができるインクジェットヘッド及び
その製造方法を提供することを目的とする。
ドの問題点を解決して、オリフィスから十分な量のイン
ク滴を噴射することができるインクジェットヘッド及び
その製造方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明のイ
ンクジェットヘッドにおいては、アレイ方向に分極され
た複数の側壁によって複数のインク加圧室が形成され、
圧電体の変形によってインク加圧室内のインクを加圧す
ることにより、オリフィスからインク滴が噴出されるよ
うになっている。
ンクジェットヘッドにおいては、アレイ方向に分極され
た複数の側壁によって複数のインク加圧室が形成され、
圧電体の変形によってインク加圧室内のインクを加圧す
ることにより、オリフィスからインク滴が噴出されるよ
うになっている。
【００１６】そして、前記側壁は、圧電体の表面に形成
された電極、該電極と対向させて形成された電極、及び
対向する電極間を接続し、接着方向にだけ導電性を有す
る異方性接着材を備える。また、前記各電極は側壁の幅
より狭く形成され、前記対向する電極間における電極の
ない部分に満たされた異方性接着材によって、インク加
圧室を前記両電極から隔離する閉鎖部が形成される。
された電極、該電極と対向させて形成された電極、及び
対向する電極間を接続し、接着方向にだけ導電性を有す
る異方性接着材を備える。また、前記各電極は側壁の幅
より狭く形成され、前記対向する電極間における電極の
ない部分に満たされた異方性接着材によって、インク加
圧室を前記両電極から隔離する閉鎖部が形成される。
【００１７】本発明の他のインクジェットヘッドにおい
ては、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数
のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によってイン
ク加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィス
からインク滴が噴出されるようになっている。そして、
前記側壁は、圧電体の表面に形成された電極、該電極と
対向させて形成された電極、及び対向する電極間を接続
する絶縁性接着材を備える。
ては、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数
のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によってイン
ク加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィス
からインク滴が噴出されるようになっている。そして、
前記側壁は、圧電体の表面に形成された電極、該電極と
対向させて形成された電極、及び対向する電極間を接続
する絶縁性接着材を備える。
【００１８】また、前記各電極は側壁の幅より狭く形成
され、前記対向する電極間における電極のない部分に満
たされた絶縁性接着材によって、インク加圧室を前記両
電極から隔離する閉鎖部が形成される。さらに、前記イ
ンク加圧室外において前記電極間が電気的に接続され
る。本発明のインクジェットヘッドの製造方法において
は、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数の
インク加圧室が形成され、圧電体の変形によってインク
加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィスか
らインク滴が噴出されるインクジェットヘッドに適用さ
れる。
され、前記対向する電極間における電極のない部分に満
たされた絶縁性接着材によって、インク加圧室を前記両
電極から隔離する閉鎖部が形成される。さらに、前記イ
ンク加圧室外において前記電極間が電気的に接続され
る。本発明のインクジェットヘッドの製造方法において
は、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数の
インク加圧室が形成され、圧電体の変形によってインク
加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィスか
らインク滴が噴出されるインクジェットヘッドに適用さ
れる。
【００１９】そして、圧電体の表面に薄膜法によって電
極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対向
させ、接着方向にだけ導電性を有する異方性接着材によ
って前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を設定された
間隔ごとに切削することによって側壁及び溝部を形成
し、該溝部を天板により閉鎖することによってインク加
圧室を形成する。
極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対向
させ、接着方向にだけ導電性を有する異方性接着材によ
って前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を設定された
間隔ごとに切削することによって側壁及び溝部を形成
し、該溝部を天板により閉鎖することによってインク加
圧室を形成する。
【００２０】また、前記電極のパターンを形成するに当
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。本発明の他のインクジェットヘッドの製造方法にお
いては、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複
数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によってイ
ンク加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィ
スからインク滴が噴出されるインクジェットヘッドに適
用される。
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。本発明の他のインクジェットヘッドの製造方法にお
いては、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複
数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によってイ
ンク加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィ
スからインク滴が噴出されるインクジェットヘッドに適
用される。
【００２１】そして、圧電体の表面に厚膜法及びパター
ニングによらない薄膜法の一方によって電極層を形成
し、該電極層の一部を除去して電極のパターンを形成
し、該電極のパターンを互いに対向させ、接着方向にだ
け導電性を有する異方性接着材によって前記圧電体を互
いに接着し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削する
ことによって側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板によ
り閉鎖することによってインク加圧室を形成する。
ニングによらない薄膜法の一方によって電極層を形成
し、該電極層の一部を除去して電極のパターンを形成
し、該電極のパターンを互いに対向させ、接着方向にだ
け導電性を有する異方性接着材によって前記圧電体を互
いに接着し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削する
ことによって側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板によ
り閉鎖することによってインク加圧室を形成する。
【００２２】また、前記電極のパターンを形成するに当
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。本発明の更に他のインクジェットヘッドの製造方法
においては、アレイ方向に分極された複数の側壁によっ
て複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によっ
てインク加圧室内のインクを加圧することにより、オリ
フィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッド
に適用される。
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。本発明の更に他のインクジェットヘッドの製造方法
においては、アレイ方向に分極された複数の側壁によっ
て複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によっ
てインク加圧室内のインクを加圧することにより、オリ
フィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッド
に適用される。
【００２３】そして、圧電体の表面に薄膜法によって電
極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対向
させ、絶縁性接着材によって前記圧電体を互いに接着
し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削することによ
って側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板により閉鎖す
ることによってインク加圧室を形成する。また、該イン
ク加圧室外において前記電極間を電気的に接続する。そ
して、前記電極のパターンを形成するに当たって該電極
を側壁の幅より狭く形成する。また、前記絶縁性接着材
によって前記圧電体を接着することにより、対向する電
極間における電極のない部分に絶縁性接着材を満たし、
インク加圧室を前記電極から隔離する。
極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対向
させ、絶縁性接着材によって前記圧電体を互いに接着
し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削することによ
って側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板により閉鎖す
ることによってインク加圧室を形成する。また、該イン
ク加圧室外において前記電極間を電気的に接続する。そ
して、前記電極のパターンを形成するに当たって該電極
を側壁の幅より狭く形成する。また、前記絶縁性接着材
によって前記圧電体を接着することにより、対向する電
極間における電極のない部分に絶縁性接着材を満たし、
インク加圧室を前記電極から隔離する。
【００２４】本発明の更に他のインクジェットヘッドの
製造方法においては、アレイ方向に分極された複数の側
壁によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変
形によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェッ
トヘッドに適用される。そして、圧電体の表面に厚膜法
及びパターニングによらない薄膜法の一方によって電極
層を形成し、該電極層の一部を除去して電極のパターン
を形成し、該電極のパターンを互いに対向させ、絶縁性
接着材によって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を
設定された間隔ごとに切削することによって側壁及び溝
部を形成し、該溝部を天板により閉鎖することによって
インク加圧室を形成する。
製造方法においては、アレイ方向に分極された複数の側
壁によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変
形によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェッ
トヘッドに適用される。そして、圧電体の表面に厚膜法
及びパターニングによらない薄膜法の一方によって電極
層を形成し、該電極層の一部を除去して電極のパターン
を形成し、該電極のパターンを互いに対向させ、絶縁性
接着材によって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を
設定された間隔ごとに切削することによって側壁及び溝
部を形成し、該溝部を天板により閉鎖することによって
インク加圧室を形成する。
【００２５】また、該インク加圧室外において前記電極
間を電気的に接続する。そして、前記電極のパターンを
形成するに当たって該電極を側壁の幅より狭く形成す
る。また、前記絶縁性接着材によって前記圧電体を接着
することにより、対向する電極間における電極のない部
分に絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極か
ら隔離する。
間を電気的に接続する。そして、前記電極のパターンを
形成するに当たって該電極を側壁の幅より狭く形成す
る。また、前記絶縁性接着材によって前記圧電体を接着
することにより、対向する電極間における電極のない部
分に絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極か
ら隔離する。
【００２６】
【作用】本発明によれば、前記のようにインクジェット
ヘッドにおいては、アレイ方向に分極された複数の側壁
によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形
によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるようになって
いる。
ヘッドにおいては、アレイ方向に分極された複数の側壁
によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形
によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるようになって
いる。
【００２７】そして、前記側壁は、圧電体の表面に形成
された電極、該電極と対向させて形成された電極、及び
対向する電極間を接続し、接着方向にだけ導電性を有す
る異方性接着材を備える。
された電極、該電極と対向させて形成された電極、及び
対向する電極間を接続し、接着方向にだけ導電性を有す
る異方性接着材を備える。
【００２８】また、前記各電極は側壁の幅より狭く形成
され、前記対向する電極間における電極のない部分に満
たされた異方性接着材によって、インク加圧室を前記両
電極から隔離する閉鎖部が形成される。この場合、前記
異方性接着材は、電極からインク加圧室に向かう方向に
おいて導電性を有していないので、電極とインク加圧室
とは絶縁される。本発明の他のインクジェットヘッドに
おいては、アレイ方向に分極された複数の側壁によって
複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によって
インク加圧室内のインクを加圧することにより、オリフ
ィスからインク滴が噴出されるようになっている。
され、前記対向する電極間における電極のない部分に満
たされた異方性接着材によって、インク加圧室を前記両
電極から隔離する閉鎖部が形成される。この場合、前記
異方性接着材は、電極からインク加圧室に向かう方向に
おいて導電性を有していないので、電極とインク加圧室
とは絶縁される。本発明の他のインクジェットヘッドに
おいては、アレイ方向に分極された複数の側壁によって
複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によって
インク加圧室内のインクを加圧することにより、オリフ
ィスからインク滴が噴出されるようになっている。
【００２９】そして、前記側壁は、圧電体の表面に形成
された電極、該電極と対向させて形成された電極、及び
対向する電極間を接続する絶縁性接着材を備える。ま
た、前記各電極は側壁の幅より狭く形成され、前記対向
する電極間における電極のない部分に満たされた絶縁性
接着材によって、インク加圧室を前記両電極から隔離す
る閉鎖部が形成される。
された電極、該電極と対向させて形成された電極、及び
対向する電極間を接続する絶縁性接着材を備える。ま
た、前記各電極は側壁の幅より狭く形成され、前記対向
する電極間における電極のない部分に満たされた絶縁性
接着材によって、インク加圧室を前記両電極から隔離す
る閉鎖部が形成される。
【００３０】さらに、前記インク加圧室外において前記
電極間が電気的に接続される。この場合、一方の電極に
電圧を印加すると、絶縁性接着材を介して他方の電極に
も電圧が印加される。そして、両電極間に電界が発生さ
せられ、前記圧電体が変形してインク加圧室内のインク
を加圧する。
電極間が電気的に接続される。この場合、一方の電極に
電圧を印加すると、絶縁性接着材を介して他方の電極に
も電圧が印加される。そして、両電極間に電界が発生さ
せられ、前記圧電体が変形してインク加圧室内のインク
を加圧する。
【００３１】本発明のインクジェットヘッドの製造方法
においては、アレイ方向に分極された複数の側壁によっ
て複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によっ
てインク加圧室内のインクを加圧することにより、オリ
フィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッド
に適用される。そして、圧電体の表面に薄膜法によって
電極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対
向させ、接着方向にだけ導電性を有する異方性接着材に
よって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を設定され
た間隔ごとに切削することによって側壁及び溝部を形成
し、該溝部を天板により閉鎖することによってインク加
圧室を形成する。
においては、アレイ方向に分極された複数の側壁によっ
て複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によっ
てインク加圧室内のインクを加圧することにより、オリ
フィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッド
に適用される。そして、圧電体の表面に薄膜法によって
電極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対
向させ、接着方向にだけ導電性を有する異方性接着材に
よって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を設定され
た間隔ごとに切削することによって側壁及び溝部を形成
し、該溝部を天板により閉鎖することによってインク加
圧室を形成する。
【００３２】また、前記電極のパターンを形成するに当
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。この場合、前記異方性接着材は接着方向にだけ導電
性を有するので、前記電極は互いに電気的に接続され
る。また、該電極とインク加圧室とは絶縁される。本発
明の他のインクジェットヘッドの製造方法においては、
アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数のイン
ク加圧室が形成され、圧電体の変形によってインク加圧
室内のインクを加圧することにより、オリフィスからイ
ンク滴が噴出されるインクジェットヘッドに適用され
る。
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。この場合、前記異方性接着材は接着方向にだけ導電
性を有するので、前記電極は互いに電気的に接続され
る。また、該電極とインク加圧室とは絶縁される。本発
明の他のインクジェットヘッドの製造方法においては、
アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数のイン
ク加圧室が形成され、圧電体の変形によってインク加圧
室内のインクを加圧することにより、オリフィスからイ
ンク滴が噴出されるインクジェットヘッドに適用され
る。
【００３３】そして、圧電体の表面に厚膜法及びパター
ニングによらない薄膜法の一方によって電極層を形成
し、該電極層の一部を除去して電極のパターンを形成
し、該電極のパターンを互いに対向させ、接着方向にだ
け導電性を有する異方性接着材によって前記圧電体を互
いに接着し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削する
ことによって側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板によ
り閉鎖することによってインク加圧室を形成する。
ニングによらない薄膜法の一方によって電極層を形成
し、該電極層の一部を除去して電極のパターンを形成
し、該電極のパターンを互いに対向させ、接着方向にだ
け導電性を有する異方性接着材によって前記圧電体を互
いに接着し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削する
ことによって側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板によ
り閉鎖することによってインク加圧室を形成する。
【００３４】また、前記電極のパターンを形成するに当
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。この場合、前記異方性接着材は接着方向にだけ導電
性を有するので、前記電極は互いに電気的に接続され
る。また、該電極とインク加圧室とは絶縁される。本発
明の更に他のインクジェットヘッドの製造方法において
は、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数の
インク加圧室が形成され、圧電体の変形によってインク
加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィスか
らインク滴が噴出されるインクジェットヘッドに適用さ
れる。
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。この場合、前記異方性接着材は接着方向にだけ導電
性を有するので、前記電極は互いに電気的に接続され
る。また、該電極とインク加圧室とは絶縁される。本発
明の更に他のインクジェットヘッドの製造方法において
は、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数の
インク加圧室が形成され、圧電体の変形によってインク
加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィスか
らインク滴が噴出されるインクジェットヘッドに適用さ
れる。
【００３５】そして、圧電体の表面に薄膜法によって電
極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対向
させ、絶縁性接着材によって前記圧電体を互いに接着
し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削することによ
って側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板により閉鎖す
ることによってインク加圧室を形成する。また、該イン
ク加圧室外において前記電極間を電気的に接続する。そ
して、前記電極のパターンを形成するに当たって該電極
を側壁の幅より狭く形成する。また、前記絶縁性接着材
によって前記圧電体を接着することにより、対向する電
極間における電極のない部分に絶縁性接着材を満たし、
インク加圧室を前記電極から隔離する。この場合、前記
電極は互いに電気的に接続され、該電極とインク加圧室
とは絶縁される。
極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対向
させ、絶縁性接着材によって前記圧電体を互いに接着
し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削することによ
って側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板により閉鎖す
ることによってインク加圧室を形成する。また、該イン
ク加圧室外において前記電極間を電気的に接続する。そ
して、前記電極のパターンを形成するに当たって該電極
を側壁の幅より狭く形成する。また、前記絶縁性接着材
によって前記圧電体を接着することにより、対向する電
極間における電極のない部分に絶縁性接着材を満たし、
インク加圧室を前記電極から隔離する。この場合、前記
電極は互いに電気的に接続され、該電極とインク加圧室
とは絶縁される。
【００３６】本発明の更に他のインクジェットヘッドの
製造方法においては、アレイ方向に分極された複数の側
壁によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変
形によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェッ
トヘッドに適用される。そして、圧電体の表面に厚膜法
及びパターニングによらない薄膜法の一方によって電極
層を形成し、該電極層の一部を除去して電極のパターン
を形成し、該電極のパターンを互いに対向させ、絶縁性
接着材によって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を
設定された間隔ごとに切削することによって側壁及び溝
部を形成し、該溝部を天板により閉鎖することによって
インク加圧室を形成する。
製造方法においては、アレイ方向に分極された複数の側
壁によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変
形によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェッ
トヘッドに適用される。そして、圧電体の表面に厚膜法
及びパターニングによらない薄膜法の一方によって電極
層を形成し、該電極層の一部を除去して電極のパターン
を形成し、該電極のパターンを互いに対向させ、絶縁性
接着材によって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を
設定された間隔ごとに切削することによって側壁及び溝
部を形成し、該溝部を天板により閉鎖することによって
インク加圧室を形成する。
【００３７】また、該インク加圧室外において前記電極
間を電気的に接続する。そして、前記電極のパターンを
形成するに当たって該電極を側壁の幅より狭く形成す
る。また、前記絶縁性接着材によって前記圧電体を接着
することにより、対向する電極間における電極のない部
分に絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極か
ら隔離する。この場合、前記電極は互いに電気的に接続
され、該電極とインク加圧室とは絶縁される。
間を電気的に接続する。そして、前記電極のパターンを
形成するに当たって該電極を側壁の幅より狭く形成す
る。また、前記絶縁性接着材によって前記圧電体を接着
することにより、対向する電極間における電極のない部
分に絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極か
ら隔離する。この場合、前記電極は互いに電気的に接続
され、該電極とインク加圧室とは絶縁される。
【００３８】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施例に
おけるインクジェットヘッドの要部概略図、図４は本発
明の第１の実施例における圧電体ベースの電極パターン
図である。図において、１１は矢印Ｐ方向（アレイ方
向）に分極され、複数の突起部１１ａ、１１ｂによって
櫛歯状の形状にされた圧電体ベース、１２は前記突起部
１１ａ、１１ｂの先端に配設され、圧電体ベース１１と
同方向に分極された中間圧電体である。該中間圧電体１
２は前記突起部１１ａ、１１ｂに対応させて形成された
壁部１２ａ、１２ｂから成る。
ながら詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施例に
おけるインクジェットヘッドの要部概略図、図４は本発
明の第１の実施例における圧電体ベースの電極パターン
図である。図において、１１は矢印Ｐ方向（アレイ方
向）に分極され、複数の突起部１１ａ、１１ｂによって
櫛歯状の形状にされた圧電体ベース、１２は前記突起部
１１ａ、１１ｂの先端に配設され、圧電体ベース１１と
同方向に分極された中間圧電体である。該中間圧電体１
２は前記突起部１１ａ、１１ｂに対応させて形成された
壁部１２ａ、１２ｂから成る。
【００３９】そして、前記各突起部１１ａ、１１ｂの先
端に電極１６が形成され、前記各壁部１２ａ、１２ｂの
両端に電極１７、１８が形成され、前記電極１６、１７
間に異方性接着材３１が配設され、該異方性接着材３１
によって中間圧電体１２が圧電体ベース１１に固定され
る。また、各突起部１１ａ、１１ｂ間、及び各壁部１２
ａ、１２ｂ間に複数の溝部が形成され、該溝部は天板１
３によって閉鎖され、インク加圧室１４を構成する。そ
して、前記天板１３には共通電極１９が形成され、該共
通電極１９と各壁部１２ａ、１２ｂの電極１８との間に
導電接着部材２１が配設され、該導電接着部材２１によ
って天板１３が中間圧電体１２に固定される。本実施例
においては、共通電極１９が接地されるようになってい
るので、前記導電接着部材２１は通常の導電性材料によ
って構成することができる。
端に電極１６が形成され、前記各壁部１２ａ、１２ｂの
両端に電極１７、１８が形成され、前記電極１６、１７
間に異方性接着材３１が配設され、該異方性接着材３１
によって中間圧電体１２が圧電体ベース１１に固定され
る。また、各突起部１１ａ、１１ｂ間、及び各壁部１２
ａ、１２ｂ間に複数の溝部が形成され、該溝部は天板１
３によって閉鎖され、インク加圧室１４を構成する。そ
して、前記天板１３には共通電極１９が形成され、該共
通電極１９と各壁部１２ａ、１２ｂの電極１８との間に
導電接着部材２１が配設され、該導電接着部材２１によ
って天板１３が中間圧電体１２に固定される。本実施例
においては、共通電極１９が接地されるようになってい
るので、前記導電接着部材２１は通常の導電性材料によ
って構成することができる。
【００４０】なお、前記圧電体ベース１１の突起部１１
ａ、１１ｂ及び中間圧電体１２の壁部１２ａ、１２ｂに
よって側壁３０が構成される。また、前記各インク加圧
室１４の端面にはオリフィス１５が形成される。ところ
で、前記構成のインクジェットヘッドを形成する場合、
まず、圧電体ベース１１の上に前記電極１６のパターン
が薄膜法によって形成される。また、中間圧電体１２の
一方の表面に前記電極１７のパターンが薄膜法によっ
て、他方の表面の全体に電極１８が共通電極パターンに
よって形成される。この場合、前記電極１６、１７の幅
Ｌ１は前記側壁３０の幅Ｌ２より狭くなるように設定さ
れる。
ａ、１１ｂ及び中間圧電体１２の壁部１２ａ、１２ｂに
よって側壁３０が構成される。また、前記各インク加圧
室１４の端面にはオリフィス１５が形成される。ところ
で、前記構成のインクジェットヘッドを形成する場合、
まず、圧電体ベース１１の上に前記電極１６のパターン
が薄膜法によって形成される。また、中間圧電体１２の
一方の表面に前記電極１７のパターンが薄膜法によっ
て、他方の表面の全体に電極１８が共通電極パターンに
よって形成される。この場合、前記電極１６、１７の幅
Ｌ１は前記側壁３０の幅Ｌ２より狭くなるように設定さ
れる。
【００４１】次に、Ｘ方向（横方向）及びＹ方向（横方
向）には導電性を有していないので、Ｚ方向（縦方向）
にだけ導電性を有する異方性接着材３１、例えば、異方
性エポキシ接着材を介して電極１６、１７を対向させ、
前記圧電体ベース１１と中間圧電体１２とを加圧して、
該中間圧電体１２を圧電体ベース１１に接着する。この
とき、加圧力によって、圧電体ベース１１と中間圧電体
１２との間における電極１６、１７のない部分に前記異
方性接着材３１が満たされる。
向）には導電性を有していないので、Ｚ方向（縦方向）
にだけ導電性を有する異方性接着材３１、例えば、異方
性エポキシ接着材を介して電極１６、１７を対向させ、
前記圧電体ベース１１と中間圧電体１２とを加圧して、
該中間圧電体１２を圧電体ベース１１に接着する。この
とき、加圧力によって、圧電体ベース１１と中間圧電体
１２との間における電極１６、１７のない部分に前記異
方性接着材３１が満たされる。
【００４２】続いて、前記電極１８の表面の全体に導電
接着部材２１が、べた塗りによって形成される。そし
て、圧電体ベース１１、電極１６、異方性接着材３１、
電極１７、中間圧電体１２、電極１８及び導電接着部材
２１から成る多層構造が形成される。次に、該多層構造
を所定パターンで切削して溝部を形成する。この場合、
各電極１６間及び各電極１７間に溝部が形成されるよう
に多層構造が切削される。
接着部材２１が、べた塗りによって形成される。そし
て、圧電体ベース１１、電極１６、異方性接着材３１、
電極１７、中間圧電体１２、電極１８及び導電接着部材
２１から成る多層構造が形成される。次に、該多層構造
を所定パターンで切削して溝部を形成する。この場合、
各電極１６間及び各電極１７間に溝部が形成されるよう
に多層構造が切削される。
【００４３】そして、あらかじめ共通電極１９が形成さ
れた天板１３が導電接着部材２１を介して中間圧電体１
２に固定され、インク加圧室１４が形成される。ところ
で、前記異方性接着材３１を介して電極１６、１７を対
向させ、圧電体ベース１１と中間圧電体１２とを加圧す
ると、圧電体ベース１１と中間圧電体１２との間におけ
る電極１６、１７のない部分に前記異方性接着材３１が
満たされる。したがって、切削によって溝部を形成する
ことによって、前記電極１６、１７の両側縁部に電極１
６、１７とインク加圧室１４とを隔離する閉鎖部３１
ａ、３１ｂが形成される。
れた天板１３が導電接着部材２１を介して中間圧電体１
２に固定され、インク加圧室１４が形成される。ところ
で、前記異方性接着材３１を介して電極１６、１７を対
向させ、圧電体ベース１１と中間圧電体１２とを加圧す
ると、圧電体ベース１１と中間圧電体１２との間におけ
る電極１６、１７のない部分に前記異方性接着材３１が
満たされる。したがって、切削によって溝部を形成する
ことによって、前記電極１６、１７の両側縁部に電極１
６、１７とインク加圧室１４とを隔離する閉鎖部３１
ａ、３１ｂが形成される。
【００４４】この状態において、例えば、共通電極１９
を接地し、突起部１１ａの電極１６に正の電圧＋Ｖを、
突起部１１ｂの電極１６に負の電圧−Ｖを印加すると、
Ｚ方向には導電性を有する異方性接着材３１を介して、
壁部１２ａの電極１７に電圧＋Ｖが、壁部１２ｂの電極
１７に電圧−Ｖが印加される。ところが、異方性接着剤
３１はＸ方向には導電性を有していないので、インク加
圧室１４は前記電極１６、１７から電気的に絶縁され
る。
を接地し、突起部１１ａの電極１６に正の電圧＋Ｖを、
突起部１１ｂの電極１６に負の電圧−Ｖを印加すると、
Ｚ方向には導電性を有する異方性接着材３１を介して、
壁部１２ａの電極１７に電圧＋Ｖが、壁部１２ｂの電極
１７に電圧−Ｖが印加される。ところが、異方性接着剤
３１はＸ方向には導電性を有していないので、インク加
圧室１４は前記電極１６、１７から電気的に絶縁され
る。
【００４５】したがって、インク加圧室１４内をリーク
電流が流れるのを防止することができる。なお、本実施
例においては、前記電極１６、１７の幅Ｌ１を６０〜７
５〔μｍ〕とし、前記側壁３０の幅Ｌ２を８０〔μｍ〕
とする。また、２点鎖線で示すように、圧電体ベース１
１におけるインクと接触する部分に絶縁コート層３３を
被覆し、インク加圧室１４内を電極１６、１７から更に
絶縁することもできる。なお、矢印Ｐは分極方向を示
す。
電流が流れるのを防止することができる。なお、本実施
例においては、前記電極１６、１７の幅Ｌ１を６０〜７
５〔μｍ〕とし、前記側壁３０の幅Ｌ２を８０〔μｍ〕
とする。また、２点鎖線で示すように、圧電体ベース１
１におけるインクと接触する部分に絶縁コート層３３を
被覆し、インク加圧室１４内を電極１６、１７から更に
絶縁することもできる。なお、矢印Ｐは分極方向を示
す。
【００４６】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図５は本発明の第２の実施例におけるインクジェ
ットヘッドの要部断面図である。図において、１１、５
１はいずれもＰ方向に分極された圧電体ベース、１６は
該圧電体ベース１１の先端に形成された電極、５２は圧
電体ベース５１の先端に形成された電極、３１は異方性
接着材である。この場合、圧電体ベース１１、５１が前
記電極１６、５２を互いに対向させて異方性接着材３１
によって接着され、両者間にインク加圧室１４が形成さ
れる。
する。図５は本発明の第２の実施例におけるインクジェ
ットヘッドの要部断面図である。図において、１１、５
１はいずれもＰ方向に分極された圧電体ベース、１６は
該圧電体ベース１１の先端に形成された電極、５２は圧
電体ベース５１の先端に形成された電極、３１は異方性
接着材である。この場合、圧電体ベース１１、５１が前
記電極１６、５２を互いに対向させて異方性接着材３１
によって接着され、両者間にインク加圧室１４が形成さ
れる。
【００４７】そして、圧電体ベース１１によって矢印Ａ
方向に、また、圧電体ベース５１によって矢印Ｅ方向に
電界が発生させられ、電界の方向とほぼ垂直に剪断モー
ド変形が発生させられる。ところで、前記第１、第２の
実施例においては、電極１６、１７、５２のパターンが
薄膜法によって形成されるようになっているので、コス
トが高くなってしまう。しかも、電極１６、１７間及び
電極１６、５２間の位置合せ等の精度出しが困難であ
る。
方向に、また、圧電体ベース５１によって矢印Ｅ方向に
電界が発生させられ、電界の方向とほぼ垂直に剪断モー
ド変形が発生させられる。ところで、前記第１、第２の
実施例においては、電極１６、１７、５２のパターンが
薄膜法によって形成されるようになっているので、コス
トが高くなってしまう。しかも、電極１６、１７間及び
電極１６、５２間の位置合せ等の精度出しが困難であ
る。
【００４８】そこで、薄膜法パターニングによることな
く電極を形成することができるようにした第３の実施例
について説明する。なお、矢印Ｐは分極方向を示す。図
６は本発明の第３の実施例におけるインクジェットヘッ
ドの製造方法を説明する第１の図、図７は本発明の第３
の実施例におけるインクジェットヘッドの製造方法を説
明する第２の図、図８は本発明の第３の実施例における
インクジェットヘッドの製造方法を説明する第３の図、
図９は本発明の第３の実施例におけるインクジェットヘ
ッドの製造方法を説明する第４の図である。
く電極を形成することができるようにした第３の実施例
について説明する。なお、矢印Ｐは分極方向を示す。図
６は本発明の第３の実施例におけるインクジェットヘッ
ドの製造方法を説明する第１の図、図７は本発明の第３
の実施例におけるインクジェットヘッドの製造方法を説
明する第２の図、図８は本発明の第３の実施例における
インクジェットヘッドの製造方法を説明する第３の図、
図９は本発明の第３の実施例におけるインクジェットヘ
ッドの製造方法を説明する第４の図である。
【００４９】この場合、まず、スクリーン塗布等の厚膜
法及びパターニングによらないめっき等の薄膜法の一方
によって、図示しない圧電体ベースの表面に図６に示す
ような電極層３５が被覆される。また、同様に、図示し
ない中間圧電体の表面にも図７に示すような電極層３６
が被覆される。次に、前記圧電体ベースと中間圧電体と
を接着する際や、インク加圧室となる溝部を形成する際
の面Ｆを基準として、前記電極層３５に一定のピッチで
複数の溝３７を形成する。この場合、該溝３７の幅ｗは
１０〜２０〔μｍ〕であり、例えば、エキシマレーザに
よって前記電極層３５を除去することにより、形成され
る。したがって、各溝３７間に電極３８が形成される。
法及びパターニングによらないめっき等の薄膜法の一方
によって、図示しない圧電体ベースの表面に図６に示す
ような電極層３５が被覆される。また、同様に、図示し
ない中間圧電体の表面にも図７に示すような電極層３６
が被覆される。次に、前記圧電体ベースと中間圧電体と
を接着する際や、インク加圧室となる溝部を形成する際
の面Ｆを基準として、前記電極層３５に一定のピッチで
複数の溝３７を形成する。この場合、該溝３７の幅ｗは
１０〜２０〔μｍ〕であり、例えば、エキシマレーザに
よって前記電極層３５を除去することにより、形成され
る。したがって、各溝３７間に電極３８が形成される。
【００５０】また、同様に、面Ｇを基準として前記電極
層３６に一定のピッチで複数の溝３９を形成する。この
場合、該溝３９の幅ｗも１０〜２０〔μｍ〕であり、例
えば、エキシマレーザによって前記電極層３６を除去す
ることにより、形成される。したがって、各溝３９間に
電極４０が形成される。次に、各電極３８、４０が形成
された圧電体ベースと中間圧電体とを図示しない異方性
接着材によって接着し、その後、圧電体ベース及び中間
圧電体に図示しない溝部が形成される。該溝部は、前記
電極３８、４０を一つおきに残すように前記圧電体ベー
ス及び中間圧電体を切削することによって形成される。
このようにして、圧電体ベースに複数の突起部を、中間
圧電体に複数の壁部を形成することができる。なお、一
つおきに残った電極３８、４０の幅より突起部及び壁部
の幅が広くなるように設定される。
層３６に一定のピッチで複数の溝３９を形成する。この
場合、該溝３９の幅ｗも１０〜２０〔μｍ〕であり、例
えば、エキシマレーザによって前記電極層３６を除去す
ることにより、形成される。したがって、各溝３９間に
電極４０が形成される。次に、各電極３８、４０が形成
された圧電体ベースと中間圧電体とを図示しない異方性
接着材によって接着し、その後、圧電体ベース及び中間
圧電体に図示しない溝部が形成される。該溝部は、前記
電極３８、４０を一つおきに残すように前記圧電体ベー
ス及び中間圧電体を切削することによって形成される。
このようにして、圧電体ベースに複数の突起部を、中間
圧電体に複数の壁部を形成することができる。なお、一
つおきに残った電極３８、４０の幅より突起部及び壁部
の幅が広くなるように設定される。
【００５１】このように、前記厚膜法及びパターニング
によらないめっき等の薄膜法の一方によって電極層３
５、３６を形成し、該電極層３５、３６の一部を除去す
ることによって電極３８、４０を形成するようになって
いる。したがって、インクジェットヘッドの製造コスト
を低くすることができる。また、面Ｆ、Ｇを基準にして
溝３７、３９を形成するようになっているので、電極３
８、４０の位置合せ等の精度出しが容易になる。
によらないめっき等の薄膜法の一方によって電極層３
５、３６を形成し、該電極層３５、３６の一部を除去す
ることによって電極３８、４０を形成するようになって
いる。したがって、インクジェットヘッドの製造コスト
を低くすることができる。また、面Ｆ、Ｇを基準にして
溝３７、３９を形成するようになっているので、電極３
８、４０の位置合せ等の精度出しが容易になる。
【００５２】次に、本発明の第４の実施例について説明
する。図１０は本発明の第４の実施例におけるインクジ
ェットヘッドの要部縦断面図である。図に示すように、
圧電体ベース１１の表面に電極１６が形成され、中間圧
電体１２の圧電体ベース１１と対向する表面に電極１７
が形成される。そして、電極１６、１７を互いに対向さ
せて絶縁性接着材５５を介して圧電体ベース１１と中間
圧電体１２とを接着する。
する。図１０は本発明の第４の実施例におけるインクジ
ェットヘッドの要部縦断面図である。図に示すように、
圧電体ベース１１の表面に電極１６が形成され、中間圧
電体１２の圧電体ベース１１と対向する表面に電極１７
が形成される。そして、電極１６、１７を互いに対向さ
せて絶縁性接着材５５を介して圧電体ベース１１と中間
圧電体１２とを接着する。
【００５３】また、前記中間圧電体１２の他方の表面に
電極１８が形成され、天板１３の表面に共通電極１９が
形成され、電極１８と共通電極１９とを互いに対向させ
て導電接着部材２１を介して天板１３と中間圧電体１２
とを接着する。この場合、前記絶縁性接着材５５は異方
性接着材ではないので、すべての方向において絶縁性を
有する。そして、前記電極１６に印加された電圧を電極
１７に印加するために、該電極１７を中間圧電体１２の
端面から突出させて端子１７ａを形成し、該端子１７ａ
と電極１６とをワイヤボンド５６によって接続するよう
にしている。
電極１８が形成され、天板１３の表面に共通電極１９が
形成され、電極１８と共通電極１９とを互いに対向させ
て導電接着部材２１を介して天板１３と中間圧電体１２
とを接着する。この場合、前記絶縁性接着材５５は異方
性接着材ではないので、すべての方向において絶縁性を
有する。そして、前記電極１６に印加された電圧を電極
１７に印加するために、該電極１７を中間圧電体１２の
端面から突出させて端子１７ａを形成し、該端子１７ａ
と電極１６とをワイヤボンド５６によって接続するよう
にしている。
【００５４】また、第１の実施例と同様に、前記電極１
６、１７の両側縁部には、該電極１６、１７とインク加
圧室１４とを隔離する閉鎖部が前記絶縁性接着材５５に
よって形成され、インク加圧室１４内を前記電極１６、
１７から絶縁する。なお、５７、５８は各インク加圧室
１４を閉鎖する閉鎖板であり、該閉鎖板５７にオリフィ
ス１５が形成される。
６、１７の両側縁部には、該電極１６、１７とインク加
圧室１４とを隔離する閉鎖部が前記絶縁性接着材５５に
よって形成され、インク加圧室１４内を前記電極１６、
１７から絶縁する。なお、５７、５８は各インク加圧室
１４を閉鎖する閉鎖板であり、該閉鎖板５７にオリフィ
ス１５が形成される。
【００５５】本実施例においては、絶縁性接着材５５と
して異方性接着材を使用しないので、インクジェットヘ
ッドの製造コストを一層低くすることができる。なお、
本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本発明
の趣旨に基づいて種々変形させることが可能であり、そ
れらを本発明の範囲から排除するものではない。
して異方性接着材を使用しないので、インクジェットヘ
ッドの製造コストを一層低くすることができる。なお、
本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本発明
の趣旨に基づいて種々変形させることが可能であり、そ
れらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００５６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、インクジェットヘッドにおいては、アレイ方向に
分極された複数の側壁によって複数のインク加圧室が形
成され、圧電体の変形によってインク加圧室内のインク
を加圧することにより、オリフィスからインク滴が噴出
されるようになっている。
れば、インクジェットヘッドにおいては、アレイ方向に
分極された複数の側壁によって複数のインク加圧室が形
成され、圧電体の変形によってインク加圧室内のインク
を加圧することにより、オリフィスからインク滴が噴出
されるようになっている。
【００５７】そして、前記側壁は、圧電体の表面に形成
された電極、該電極と対向させて形成された電極、及び
対向する電極間を接続し、接着方向にだけ導電性を有す
る異方性接着材を備える。また、前記各電極は側壁の幅
より狭く形成され、前記対向する電極間における電極の
ない部分に満たされた異方性接着材によって、インク加
圧室を前記両電極から隔離する閉鎖部が形成される。こ
の場合、前記異方性接着材は、電極からインク加圧室に
向かう方向において導電性を有していないので、電極と
インク加圧室とは絶縁される。したがって、インク加圧
室にリーク電流が流れるのを防止することができる。そ
の結果、圧電体の変形によるインク加圧室内のインクの
加圧量が少なくならないので、オリフィスから十分な量
のインク滴を噴出することができる。
された電極、該電極と対向させて形成された電極、及び
対向する電極間を接続し、接着方向にだけ導電性を有す
る異方性接着材を備える。また、前記各電極は側壁の幅
より狭く形成され、前記対向する電極間における電極の
ない部分に満たされた異方性接着材によって、インク加
圧室を前記両電極から隔離する閉鎖部が形成される。こ
の場合、前記異方性接着材は、電極からインク加圧室に
向かう方向において導電性を有していないので、電極と
インク加圧室とは絶縁される。したがって、インク加圧
室にリーク電流が流れるのを防止することができる。そ
の結果、圧電体の変形によるインク加圧室内のインクの
加圧量が少なくならないので、オリフィスから十分な量
のインク滴を噴出することができる。
【００５８】本発明の他のインクジェットヘッドにおい
ては、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数
のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によってイン
ク加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィス
からインク滴が噴出されるようになっている。そして、
前記側壁は、圧電体の表面に形成された電極、該電極と
対向させて形成された電極、及び対向する電極間を接続
する絶縁性接着材を備える。
ては、アレイ方向に分極された複数の側壁によって複数
のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によってイン
ク加圧室内のインクを加圧することにより、オリフィス
からインク滴が噴出されるようになっている。そして、
前記側壁は、圧電体の表面に形成された電極、該電極と
対向させて形成された電極、及び対向する電極間を接続
する絶縁性接着材を備える。
【００５９】また、前記各電極は側壁の幅より狭く形成
され、前記対向する電極間における電極のない部分に満
たされた絶縁性接着材によって、インク加圧室を前記両
電極から隔離する閉鎖部が形成される。さらに、前記イ
ンク加圧室外において前記電極間が電気的に接続され
る。この場合、電極とインク加圧室とは絶縁されるの
で、インク加圧室にリーク電流が流れるのを防止するこ
とができる。したがって、圧電体の変形によるインク加
圧室内のインクの加圧量が少なくならないので、オリフ
ィスから十分な量のインク滴を噴出することができる。
され、前記対向する電極間における電極のない部分に満
たされた絶縁性接着材によって、インク加圧室を前記両
電極から隔離する閉鎖部が形成される。さらに、前記イ
ンク加圧室外において前記電極間が電気的に接続され
る。この場合、電極とインク加圧室とは絶縁されるの
で、インク加圧室にリーク電流が流れるのを防止するこ
とができる。したがって、圧電体の変形によるインク加
圧室内のインクの加圧量が少なくならないので、オリフ
ィスから十分な量のインク滴を噴出することができる。
【００６０】本発明のインクジェットヘッドの製造方法
においては、アレイ方向に分極された複数の側壁によっ
て複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によっ
てインク加圧室内のインクを加圧することにより、オリ
フィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッド
に適用される。そして、圧電体の表面に薄膜法によって
電極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対
向させ、接着方向にだけ導電性を有する異方性接着材に
よって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を設定され
た間隔ごとに切削することによって側壁及び溝部を形成
し、該溝部を天板により閉鎖することによってインク加
圧室を形成する。
においては、アレイ方向に分極された複数の側壁によっ
て複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によっ
てインク加圧室内のインクを加圧することにより、オリ
フィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッド
に適用される。そして、圧電体の表面に薄膜法によって
電極のパターンを形成し、該電極のパターンを互いに対
向させ、接着方向にだけ導電性を有する異方性接着材に
よって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を設定され
た間隔ごとに切削することによって側壁及び溝部を形成
し、該溝部を天板により閉鎖することによってインク加
圧室を形成する。
【００６１】また、前記電極のパターンを形成するに当
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。この場合、前記異方性接着材は、電極からインク加
圧室に向かう方向において導電性を有していないので、
電極とインク加圧室とは絶縁される。したがって、イン
ク加圧室にリーク電流が流れるのを防止することができ
る。その結果、圧電体の変形によるインク加圧室内のイ
ンクの加圧量が少なくならないので、オリフィスから十
分な量のインク滴を噴出することができる。
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。この場合、前記異方性接着材は、電極からインク加
圧室に向かう方向において導電性を有していないので、
電極とインク加圧室とは絶縁される。したがって、イン
ク加圧室にリーク電流が流れるのを防止することができ
る。その結果、圧電体の変形によるインク加圧室内のイ
ンクの加圧量が少なくならないので、オリフィスから十
分な量のインク滴を噴出することができる。
【００６２】本発明の他のインクジェットヘッドの製造
方法においては、アレイ方向に分極された複数の側壁に
よって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形に
よってインク加圧室内のインクを加圧することにより、
オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘ
ッドに適用される。そして、圧電体の表面に厚膜法及び
パターニングによらない薄膜法の一方によって電極層を
形成し、該電極層の一部を除去して電極のパターンを形
成し、該電極のパターンを互いに対向させ、接着方向に
だけ導電性を有する異方性接着材によって前記圧電体を
互いに接着し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削す
ることによって側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板に
より閉鎖することによってインク加圧室を形成する。
方法においては、アレイ方向に分極された複数の側壁に
よって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形に
よってインク加圧室内のインクを加圧することにより、
オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘ
ッドに適用される。そして、圧電体の表面に厚膜法及び
パターニングによらない薄膜法の一方によって電極層を
形成し、該電極層の一部を除去して電極のパターンを形
成し、該電極のパターンを互いに対向させ、接着方向に
だけ導電性を有する異方性接着材によって前記圧電体を
互いに接着し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削す
ることによって側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板に
より閉鎖することによってインク加圧室を形成する。
【００６３】また、前記電極のパターンを形成するに当
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。この場合、電極のパターンを形成するために厚膜法
及びパターニングによらない薄膜法の一方を用いるの
で、インクジェットヘッドのコストを低くすることがで
きる。また、前記異方性接着材は接着方向にだけ導電性
を有するので、前記電極は互いに電気的に接続される。
そして、前記異方性接着材は、電極からインク加圧室に
向かう方向において導電性を有していないので、前記電
極とインク加圧室とは絶縁される。したがって、インク
加圧室にリーク電流が流れるのを防止することができ
る。その結果、圧電体の変形によるインク加圧室内のイ
ンクの加圧量が少なくならないので、オリフィスから十
分な量のインク滴を噴出することができる。
たって前記電極を側壁の幅より狭く形成する。そして、
前記異方性接着材によって前記圧電体を接着することに
より、対向する電極間における電極のない部分に異方性
接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔離す
る。この場合、電極のパターンを形成するために厚膜法
及びパターニングによらない薄膜法の一方を用いるの
で、インクジェットヘッドのコストを低くすることがで
きる。また、前記異方性接着材は接着方向にだけ導電性
を有するので、前記電極は互いに電気的に接続される。
そして、前記異方性接着材は、電極からインク加圧室に
向かう方向において導電性を有していないので、前記電
極とインク加圧室とは絶縁される。したがって、インク
加圧室にリーク電流が流れるのを防止することができ
る。その結果、圧電体の変形によるインク加圧室内のイ
ンクの加圧量が少なくならないので、オリフィスから十
分な量のインク滴を噴出することができる。
【００６４】本発明の更に他のインクジェットヘッドの
製造方法においては、アレイ方向に分極された複数の側
壁によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変
形によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェッ
トヘッドに適用される。そして、圧電体の表面に薄膜法
によって電極のパターンを形成し、該電極のパターンを
互いに対向させ、絶縁性接着材によって前記圧電体を互
いに接着し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削する
ことによって側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板によ
り閉鎖することによってインク加圧室を形成する。
製造方法においては、アレイ方向に分極された複数の側
壁によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変
形によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェッ
トヘッドに適用される。そして、圧電体の表面に薄膜法
によって電極のパターンを形成し、該電極のパターンを
互いに対向させ、絶縁性接着材によって前記圧電体を互
いに接着し、該圧電体を設定された間隔ごとに切削する
ことによって側壁及び溝部を形成し、該溝部を天板によ
り閉鎖することによってインク加圧室を形成する。
【００６５】また、該インク加圧室外において前記電極
間を電気的に接続する。そして、前記電極のパターンを
形成するに当たって該電極を側壁の幅より狭く形成す
る。また、絶縁性接着材によって前記圧電体を接着する
ことにより、対向する電極間における電極のない部分に
絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔
離する。この場合、前記電極は互いに電気的に接続され
る。また、電極とインク加圧室とは絶縁されるので、イ
ンク加圧室にリーク電流が流れるのを防止することがで
きる。したがって、圧電体の変形によるインク加圧室内
のインクの加圧量が少なくならないので、オリフィスか
ら十分な量のインク滴を噴出することができる。
間を電気的に接続する。そして、前記電極のパターンを
形成するに当たって該電極を側壁の幅より狭く形成す
る。また、絶縁性接着材によって前記圧電体を接着する
ことにより、対向する電極間における電極のない部分に
絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔
離する。この場合、前記電極は互いに電気的に接続され
る。また、電極とインク加圧室とは絶縁されるので、イ
ンク加圧室にリーク電流が流れるのを防止することがで
きる。したがって、圧電体の変形によるインク加圧室内
のインクの加圧量が少なくならないので、オリフィスか
ら十分な量のインク滴を噴出することができる。
【００６６】本発明の更に他のインクジェットヘッドの
製造方法においては、アレイ方向に分極された複数の側
壁によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変
形によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェッ
トヘッドに適用される。そして、圧電体の表面に厚膜法
及びパターニングによらない薄膜法の一方によって電極
層を形成し、該電極層の一部を除去して電極のパターン
を形成し、該電極のパターンを互いに対向させ、絶縁性
接着材によって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を
設定された間隔ごとに切削することによって側壁及び溝
部を形成し、該溝部を天板により閉鎖することによって
インク加圧室を形成する。
製造方法においては、アレイ方向に分極された複数の側
壁によって複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変
形によってインク加圧室内のインクを加圧することによ
り、オリフィスからインク滴が噴出されるインクジェッ
トヘッドに適用される。そして、圧電体の表面に厚膜法
及びパターニングによらない薄膜法の一方によって電極
層を形成し、該電極層の一部を除去して電極のパターン
を形成し、該電極のパターンを互いに対向させ、絶縁性
接着材によって前記圧電体を互いに接着し、該圧電体を
設定された間隔ごとに切削することによって側壁及び溝
部を形成し、該溝部を天板により閉鎖することによって
インク加圧室を形成する。
【００６７】また、該インク加圧室外において前記電極
間を電気的に接続する。そして、前記電極のパターンを
形成するに当たって該電極を側壁の幅より狭く形成す
る。また、前記絶縁性接着材によって前記圧電体を接着
することにより、対向する電極間における電極のない部
分に絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極か
ら隔離する。この場合、電極のパターンを形成するため
に厚膜法及びパターニングによらない薄膜法の一方を用
いるので、インクジェットヘッドのコストを低くするこ
とができる。また、電極とインク加圧室とは絶縁される
ので、インク加圧室にリーク電流が流れるのを防止する
ことができる。したがって、圧電体の変形によるインク
加圧室内のインクの加圧量が少なくならないので、オリ
フィスから十分な量のインク滴を噴出することができ
る。
間を電気的に接続する。そして、前記電極のパターンを
形成するに当たって該電極を側壁の幅より狭く形成す
る。また、前記絶縁性接着材によって前記圧電体を接着
することにより、対向する電極間における電極のない部
分に絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極か
ら隔離する。この場合、電極のパターンを形成するため
に厚膜法及びパターニングによらない薄膜法の一方を用
いるので、インクジェットヘッドのコストを低くするこ
とができる。また、電極とインク加圧室とは絶縁される
ので、インク加圧室にリーク電流が流れるのを防止する
ことができる。したがって、圧電体の変形によるインク
加圧室内のインクの加圧量が少なくならないので、オリ
フィスから十分な量のインク滴を噴出することができ
る。
【図１】本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの要部概略図である。
ヘッドの要部概略図である。
【図２】従来のインクジェットヘッドの要部断面図であ
る。
る。
【図３】従来のインクジェットヘッドにおいてリーク電
流が流れたときの状態図である。
流が流れたときの状態図である。
【図４】本発明の第１の実施例における圧電体ベースの
電極パターン図である。
電極パターン図である。
【図５】本発明の第２の実施例におけるインクジェット
ヘッドの要部断面図である。
ヘッドの要部断面図である。
【図６】本発明の第３の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を説明する第１の図である。
ヘッドの製造方法を説明する第１の図である。
【図７】本発明の第３の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を説明する第２の図である。
ヘッドの製造方法を説明する第２の図である。
【図８】本発明の第３の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を説明する第３の図である。
ヘッドの製造方法を説明する第３の図である。
【図９】本発明の第３の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を説明する第４の図である。
ヘッドの製造方法を説明する第４の図である。
【図１０】本発明の第４の実施例におけるインクジェッ
トヘッドの要部縦断面図である。
トヘッドの要部縦断面図である。
１１、５１ 圧電体ベース １２ 中間圧電体 １３ 天板 １４ インク加圧室 １５ オリフィス １６、１７、１８、３８、４０、５２ 電極 ３０ 側壁 ３１ 異方性接着材 ３３ 絶縁コート層 ３５、３６ 電極層 ３７、３９ 溝 ５５ 絶縁性接着材 ３１ａ、３１ｂ 閉鎖部 Ｌ１、Ｌ２ 幅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大石 登 東京都港区芝浦四丁目11番地22号 株式 会社沖データ内 (72)発明者 下杉 優彦 東京都港区芝浦四丁目11番地22号 株式 会社沖データ内 (72)発明者 柴田 勲夫 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電 気工業株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/135 - 2/16
Claims (7)
- 【請求項１】 アレイ方向に分極された複数の側壁によ
って複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によ
ってインク加圧室内のインクを加圧することにより、オ
リフィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッ
ドにおいて、 （ａ）前記側壁は、圧電体の表面に形成された電極、該
電極と対向させて形成された電極、及び対向する電極間
を接続し、接着方向にだけ導電性を有する異方性接着材
を備え、 （ｂ）前記各電極は側壁の幅より狭く形成され、 （ｃ）前記対向する電極間における電極のない部分に満
たされた異方性接着材によって、インク加圧室を前記両
電極から隔離する閉鎖部が形成されることを特徴とする
インクジェットヘッド。 - 【請求項２】 アレイ方向に分極された複数の側壁によ
って複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によ
ってインク加圧室内のインクを加圧することにより、オ
リフィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッ
ドにおいて、 （ａ）前記側壁は、圧電体の表面に形成された電極、該
電極と対向させて形成された電極、及び対向する電極間
を接続する絶縁性接着材を備え、 （ｂ）前記各電極は側壁の幅より狭く形成され、 （ｃ）前記対向する電極間における電極のない部分に満
たされた絶縁性接着材によって、インク加圧室を前記両
電極から隔離する閉鎖部が形成され、 （ｄ）前記インク加圧室外において前記電極間が電気的
に接続されることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記側壁におけるインクと接触する部分
に絶縁コート層が形成される請求項１又は２に記載のイ
ンクジェットヘッド。 - 【請求項４】 アレイ方向に分極された複数の側壁によ
って複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によ
ってインク加圧室内のインクを加圧することにより、オ
リフィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッ
ドの製造方法において、 （ａ）圧電体の表面に薄膜法によって電極のパターンを
形成し、 （ｂ）該電極のパターンを互いに対向させ、接着方向に
だけ導電性を有する異方性接着材によって前記圧電体を
互いに接着し、 （ｃ）該圧電体を設定された間隔ごとに切削することに
よって側壁及び溝部を形成し、 （ｄ）該溝部を天板により閉鎖することによってインク
加圧室を形成するとともに、 （ｅ）前記電極のパターンを形成するに当たって前記電
極を側壁の幅より狭く形成し、 （ｆ）前記異方性接着材によって前記圧電体を接着する
ことにより、対向する電極間における電極のない部分に
異方性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔
離することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項５】 アレイ方向に分極された複数の側壁によ
って複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によ
ってインク加圧室内のインクを加圧することにより、オ
リフィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッ
ドの製造方法において、 （ａ）圧電体の表面に厚膜法及びパターニングによらな
い薄膜法の一方によって電極層を形成し、 （ｂ）該電極層の一部を除去して電極のパターンを形成
し、 （ｃ）該電極のパターンを互いに対向させ、接着方向に
だけ導電性を有する異方性接着材によって前記圧電体を
互いに接着し、 （ｄ）該圧電体を設定された間隔ごとに切削することに
よって側壁及び溝部を形成し、 （ｅ）該溝部を天板により閉鎖することによってインク
加圧室を形成するとともに、 （ｆ）前記電極のパターンを形成するに当たって前記電
極を側壁の幅より狭く形成し、 （ｇ）前記異方性接着材によって前記圧電体を接着する
ことにより、対向する電極間における電極のない部分に
異方性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔
離することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項６】 アレイ方向に分極された複数の側壁によ
って複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によ
ってインク加圧室内のインクを加圧することにより、オ
リフィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッ
ドの製造方法において、 （ａ）圧電体の表面に薄膜法によって電極のパターンを
形成し、 （ｂ）該電極のパターンを互いに対向させ、絶縁性接着
材によって前記圧電体を互いに接着し、 （ｃ）該圧電体を設定された間隔ごとに切削することに
よって側壁及び溝部を形成し、 （ｄ）該溝部を天板により閉鎖することによってインク
加圧室を形成するとともに、 （ｅ）該インク加圧室外において前記電極間を電気的に
接続し、 （ｆ）前記電極のパターンを形成するに当たって該電極
を側壁の幅より狭く形成し、 （ｇ）前記絶縁性接着材によって前記圧電体を接着する
ことにより、対向する電極間における電極のない部分に
絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔
離することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項７】 アレイ方向に分極された複数の側壁によ
って複数のインク加圧室が形成され、圧電体の変形によ
ってインク加圧室内のインクを加圧することにより、オ
リフィスからインク滴が噴出されるインクジェットヘッ
ドの製造方法において、 （ａ）圧電体の表面に厚膜法及びパターニングによらな
い薄膜法の一方によって電極層を形成し、 （ｂ）該電極層の一部を除去して電極のパターンを形成
し、 （ｃ）該電極のパターンを互いに対向させ、絶縁性接着
材によって前記圧電体を互いに接着し、 （ｄ）該圧電体を設定された間隔ごとに切削することに
よって側壁及び溝部を形成し、 （ｅ）該溝部を天板により閉鎖することによってインク
加圧室を形成するとともに、 （ｆ）該インク加圧室外において前記電極間を電気的に
接続し、 （ｇ）前記電極のパターンを形成するに当たって該電極
を側壁の幅より狭く形成し、 （ｈ）前記絶縁性接着材によって前記圧電体を接着する
ことにより、対向する電極間における電極のない部分に
絶縁性接着材を満たし、インク加圧室を前記電極から隔
離することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06255477A JP3135800B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| EP95116204A EP0707960B1 (en) | 1994-10-20 | 1995-10-13 | Ink-jet head and manufacturing method thereof |
| DE69508881T DE69508881T2 (de) | 1994-10-20 | 1995-10-13 | Tintenstrahlkopf und Herstellungsverfahren |
| US08/544,705 US5844587A (en) | 1994-10-20 | 1995-10-18 | Piezoelectric ink jet head having electrodes connected by anisotropic adhesive |
| US09/154,808 US6023825A (en) | 1994-10-20 | 1998-09-17 | Method of manufacturing an ink jet head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06255477A JP3135800B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
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|---|---|
| JPH08118629A JPH08118629A (ja) | 1996-05-14 |
| JP3135800B2 true JP3135800B2 (ja) | 2001-02-19 |
Family
ID=17279313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06255477A Expired - Lifetime JP3135800B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (4)
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|---|---|
| US (2) | US5844587A (ja) |
| EP (1) | EP0707960B1 (ja) |
| JP (1) | JP3135800B2 (ja) |
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-
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- 1994-10-20 JP JP06255477A patent/JP3135800B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-10-13 EP EP95116204A patent/EP0707960B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-13 DE DE69508881T patent/DE69508881T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-18 US US08/544,705 patent/US5844587A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-09-17 US US09/154,808 patent/US6023825A/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
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| JPH08118629A (ja) | 1996-05-14 |
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