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JP3138302B2 - 最大電圧測定装置 - Google Patents
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JP3138302B2 - 最大電圧測定装置 - Google Patents

最大電圧測定装置

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JP3138302B2
JP3138302B2 JP03267817A JP26781791A JP3138302B2 JP 3138302 B2 JP3138302 B2 JP 3138302B2 JP 03267817 A JP03267817 A JP 03267817A JP 26781791 A JP26781791 A JP 26781791A JP 3138302 B2 JP3138302 B2 JP 3138302B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は最大電圧測定装置、特に
光センサや熱センサ、圧力センサ等の電位を発生させる
装置の出力最大電圧を無電源で測定する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光センサや熱センサ、圧力センサや風力
センサ等は測定すべき光や熱あるいは圧力の量に応じた
電位を発生させるが、これらの電位が所定値以上になっ
たか否かをモニタするためには、例えば図10に示され
るようなコンパレータ10が用いられる。コンパレータ
10は通常カレントミラー回路10a及び差動回路10
bを含んで構成され、非反転入力端子と反転入力端子と
の差に応じた電圧が出力として取り出される。そして、
非反転入力端子に光センサや熱センサ等の電位を発生す
る装置を接続し、反転入力端子に基準電圧を印加するこ
とにより、光センサや熱センサ等の外部電圧が基準電圧
以上になったか否かがモニタされる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
コンパレータ等の電圧測定装置は外部から電源10cが
供給されないと動作できない問題があり、また、常時最
大電圧をモニタするためには、コンパレータの出力に更
に外部メモリ等を接続して記憶しなければならない問題
があった。
【0004】本発明は上記従来技術の有する課題に鑑み
なされたものであり、その目的は、無電源かつ不揮発で
最高到達電圧を測定することが可能な最大電圧測定装置
を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、複数の強誘電体素子を並列に接続して成
る強誘電体ユニットと、この強誘電体ユニットに所定電
圧を印加して最大自発分極を生じさせるリセット回路
と、最大自発分極を有する前記強誘電体ユニットに前記
所定電圧と逆極性で測定すべき外部電圧を印加すること
により前記強誘電体ユニット内の各強誘電体素子に生じ
た残留分極を測定する分極測定回路とを有し、各強誘電
体素子の前記残留分極が反転分極であるか否かにより前
記外部電圧の最大電圧を得る最大電圧測定装置であっ
て、前記各強誘電体素子は規格部と可変部から構成さ
れ、前記規格部は全ての強誘電体素子で共通の厚さを有
し、前記可変部は全ての強誘電体素子で異なる厚さを有
し、強誘電体素子の両端及び前記規格部と可変部間に
電極が配置されることを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明の最大電圧測定装置はこのような構成を
有しており、強誘電体素子の自発分極を利用して最大電
圧を測定するものである。
【0007】周知の如く、強誘電体は永久双極子モーメ
ントに基づく自発分極を有する誘電体のうち、電界を加
えることにより分極方向の反転可能なものであり、強磁
性体のB−H曲線と極めて類似した特性を示すことが知
られている(強誘電体のP−Eヒステリシスループ)。
【0008】そこで、本発明の最大電圧測定装置では、
強誘電体ユニット内の複数の強誘電体素子を一方向に自
発分極させ、この自発分極を外部電圧により反転させて
残留分極を生ぜしめ、最大電圧を測定するものである。
【0009】ここで、強誘電体ユニット内の複数の強誘
電体素子は共通の厚さを有する規格部と異なる厚さを有
する可変部から構成されており、残留分極を測定する際
にはこの複数の強誘電体素子の規格部に着目して反転分
極が生じているか否かを測定する。すなわち、強誘電体
素子の厚さが異なる場合、自発分極を反転させるために
必要な抗電界の値は強誘電体素子の厚さに比例して増大
することが知られており、従って同一外部電圧を印加し
た場合、薄い強誘電体素子では反転分極が生じるもの
の、厚い強誘電体素子では反転分極が生じない場合があ
る。本発明の複数の強誘電体素子はその可変部が異なる
厚さを有しているため、強誘電体素子全体の厚さも異な
っており、従ってこれら複数の強誘電体素子のうちどの
強誘電体素子が反転分極を生じているかを検出すること
により、最大電圧の範囲を測定することが可能となる。
【0010】そして、この反転分極を検出する場合に共
通の厚さを有する強誘電体素子の規格部が反転分極を生
じているか否かを検出することにより、反転分極検出時
の印加電圧を小さく設定することが可能となる。
【0011】
【実施例】以下、図面を用いながら本発明に係る最大電
圧測定装置の一実施例を説明する。
【0012】図1には本実施例の全体構成図が示されて
いる。複数の強誘電体素子F1 ,F2 ,F3 ,…,Fn
が並列に接続され、強誘電体ユニット20を構成してい
る。各強誘電体素子は図2に示されるようにPt電極2
0a、PZT(ジルコン酸チタン酸鉛)強誘電体20
b、Pt電極20c、PZT強誘電体20d、Pt電極
20eが順次積層されて構成されており、PZT強誘電
体20dは各強誘電体F1 〜Fnで同一の厚さを有して
いる。また、PZT強誘電体20bは拡強誘電体F1
n で異なる厚さを有している。このように、各強誘電
体素子は共通の厚さを有する規格部(PZT強誘電体2
0d)と異なる厚さを有する可変部(PZT強誘電体2
0b)から構成されているため、強誘電体素子F1 〜F
n の素子厚さは全て異なっており、図1においては
1 ,F2 , … Fn の順に順次厚くなるように可変
部が調整されている。すなわち、強誘電体素子F1 〜F
n の厚さをそれぞれd1 〜dn とした場合、d1 <d2
<d3 <…<dn である。
【0013】また、この強誘電体ユニット20の各強誘
電体素子F1 〜Fn には直列にスイッチS1 〜Sn が接
続されており、更に各強誘電体素子F1 〜Fn のPt電
極20cに電圧を印加するためのスイッチT1 〜Tn
設けられている。
【0014】さらに、本実施例ではこの強誘電体ユニッ
ト20を自発分極させるためのリセット回路22が設け
られている。このリセット回路22は直流電源22aを
有しており、強誘電体素子F1 〜Fn の両端のPt電極
20a,20eを介してPZT強誘電体20b,20d
に直流電圧を印加し、最大自発分極Prを生じさせる。
各強誘電体素子F1 〜Fn の素子厚さは順次厚くなって
いるが、その最大自発分極Prの値はほとんど同じ値と
なる。なお、直流電源22aの電圧はPZT強誘電体の
膜厚に応じて変化させる必要があり、本実施例では最も
PZTが厚いFn 強誘電体素子に最大自発分極を生じさ
せるに十分な電界を印加する直流電圧を用いている。図
5には、各強誘電体素子F1 〜Fn のP−Eヒステリシ
スループが示されている。図から理解されるように、P
ZT強誘電体の厚さが増大するほど分極を反転させるに
必要な電界、すなわち抗電界の値が増大するものの、最
大自発分極Prの値は厚さに依存せずほぼ一定であるこ
とがわかる。
【0015】このように、リセット回路22により強誘
電体ユニット20内の各強誘電体素子F1 〜Fn に最大
自発分極Prを生じさせた後、測定すべき外部電圧をこ
の強誘電体ユニット20に逆極性となるように接続し、
外部電圧の最大値を測定する。以下、この最大電圧値算
出プロセスを風力センサからの電圧を測定する場合を例
にとり説明する。
【0016】図3には本実施例の測定プロセスのフロー
チャートが示されている。まず、S101にて前述した
リセット回路22を用いて強誘電体ユニット20内の各
強誘電体素子F1 〜Fn に前述したように最大自発分極
Prを生じさせる。次に、風力センサから出力された電
圧をリセット回路22の極性と逆極性になるように強誘
電体ユニット20に接続する。このとき、スイッチS1
〜Sn は全てONとし、T1 〜Tn はOFFとする。図
4には風力センサからの出力電圧特性の一例が示されて
おり、横軸は時間、縦軸は出力電圧を表している。本実
施例における風力センサからの出力電圧は時間t1 ,t
2 ,t3 でそれぞれピーク値d,e,fを出力する。こ
のような特性を有する外部電圧が強誘電体ユニット20
内の各強誘電体素子F1 〜Fn に印加されると、各強誘
電体素子F1 〜Fn はそのP−Eヒステリシスループに
沿ってその自発分極が変化してゆく。ここで、図6に示
されるように、PZT強誘電体の膜厚が増加するに従
い、反転分極が生じる抗電界も膜厚にほぼ比例して増大
してゆくため、風力センサからの出力電圧が時間t3
おいて最大値fとなったときに、このfに相当する電界
が抗電界以上であるときには分極反転が生じることとな
る。例えば、強誘電体素子F1 ,F2 ,F3 のそれぞれ
のPZT強誘電体20b,20dの膜厚を調整してその
抗電界に対応する電圧をそれぞれ1V,2V,3Vに設
定した場合、1.5Vの電圧が印加された場合には図7
に示されるように強誘電体素子F1 のみが分極反転さ
れ、F2 、F3 は分極方向が維持される。また、2.5
Vの電圧が印加された場合には、図8に示されるように
1V,2Vの抗電界を有する強誘電体素子F1 ,F2
分極反転され、3V,4Vの抗電界を有する強誘電体素
子F3 はその分極方向が維持されることとなる。
【0017】そこで、次に強誘電体ユニット20内の各
強誘電体素子F1 〜Fn の分極状態を測定するために、
まずスイッチS1 及びスイッチT1 をONとし、他のス
イッチは全てOFFとして出力端に分極測定回路24を
接続する。
【0018】図9には本実施例における分極測定回路2
4の回路図及び分極測定原理説明図が示されている。分
極測定回路24は強誘電体素子に最大自発分極を生じさ
せる直流電源24a及び抵抗24bから構成され、BC
間の電圧ないし電流をモニタすることにより残留分極が
検出される。
【0019】すなわち、強誘電体素子F1 の規格部、す
なわちPZT強誘電体20dを最大自発分極させるべく
AB間に電圧を印加し、そのときのBC間の電圧変動を
測定すると、強磁性体素子F1 が分極反転してすでに最
大自発分極Prを有している場合には図9(B)におい
てイのような変化となるが、そうでない場合にはロのよ
うな変化を示すことになる。これは強誘電体素子F1
すでに最大自発分極を有している場合にはP−Eヒステ
リシスループ上で変化を示し、そうでない場合にはP−
Eヒステリシスループに沿わずに変化するからである。
【0020】従って、最大自発分極以外の残留分極が生
じている場合にはロのような電圧(あるいは電流)変化
を示すので、AB間に2回所定の電圧を印加し、その2
回の電圧(あるいは電流)変化の差(図中斜線部分)を
求めることにより、残留分極の値を測定することができ
る(すでに最大自発分極Prのときは差は0となり、そ
うでない場合は残留分極に応じた差を示すことにな
る)。
【0021】このようにして強誘電体素子F1 の測定が
終了した後、次に強誘電体素子F2 の測定を行うべくス
イッチS2 ,T2 をONとし、他のスイッチは全てOF
Fとして同様に測定を行う。このとき、強誘電体素子F
2 の残留分極を測定する場所は強誘電体素子F1 と同一
の厚さを有する規格部(PZT強誘電体20d)である
ので、分極測定回路24の直流電源24dは同一の低電
圧で測定することができる。
【0022】以下、同様にして強誘電体ユニット20内
の全ての強誘電体素子F1 〜Fn の残留分極を測定し、
分極が反転しているか否かを調べることができる。そし
て、強誘電体素子F1 ,F2 が分極反転し、F3 ,F4
が分極反転していない場合には最大出力電圧は2Vと3
Vとの間にあることが検出されることになる。
【0023】このように、本実施例においては強誘電体
の厚さが異なると抗電界も異なることを利用し、分極反
転したか否かを同一の低電圧電源を有する分極測定回路
で検出することにより最大出力電圧を検出することがで
きる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る最大
電圧測定装置によれば、光センサや熱センサ、風力セン
サ等の電圧を発生させる装置と連動させ、無電源で最大
電圧を測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の全体構成図である。
【図2】同実施例の強誘電体素子の構成図である。
【図3】同実施例の測定フローチャート図である。
【図4】同実施例の風力センサの出力特性図である。
【図5】同実施例の各強誘電体素子のP−Eヒステリシ
スループ図である。
【図6】同実施例の強誘電体の厚さと抗電界との関係を
示すグラフ図である。
【図7】同実施例の反転分極の様子を示す説明図であ
る。
【図8】同実施例の反転分極の様子を示す説明図であ
る。
【図9】同実施例の残留分極測定の説明図である。
【図10】従来装置の回路図である。
【符号の説明】
20 強誘電体ユニット 22 リセット回路 24 分極測定回路

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の強誘電体素子を並列に接続して成
    る強誘電体ユニットと、 この強誘電体ユニットに所定電圧を印加して最大自発分
    極を生じさせるリセット回路と、 最大自発分極を有する前記強誘電体ユニットに前記所定
    電圧と逆極性で測定すべき外部電圧を印加することによ
    前記強誘電体ユニット内の各強誘電体素子に生じた残
    留分極を測定する分極測定回路と、 を有し、各強誘電体素子の前記残留分極が反転分極であ
    るか否かにより前記外部電圧の最大電圧を得る最大電圧
    測定装置であって、 前記各強誘電体素子は規格部と可変部から構成され、 前記規格部は全ての強誘電体素子で共通の厚さを有し、 前記可変部は全ての強誘電体素子で異なる厚さを有し、 強誘電体素子の両端及び前記規格部と可変部間に電極
    が配置されることを特徴とする最大電圧測定装置。
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