JP3148196B2 - Method and apparatus for producing porous preform for optical fiber - Google Patents
Method and apparatus for producing porous preform for optical fiberInfo
- Publication number
- JP3148196B2 JP3148196B2 JP6051199A JP6051199A JP3148196B2 JP 3148196 B2 JP3148196 B2 JP 3148196B2 JP 6051199 A JP6051199 A JP 6051199A JP 6051199 A JP6051199 A JP 6051199A JP 3148196 B2 JP3148196 B2 JP 3148196B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- shaped member
- optical fiber
- porous preform
- burner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用多孔
質母材の製造方法及び製造装置に関する。特に本発明
は、VAD(軸付け)法においてコア及びクラッドを均
一に堆積することができ、その結果多孔質母材の長手方
向全域に亘って断面形状がほぼ円形で偏りなく安定して
いる光ファイバ用多孔質母材を製造することができ、従
って長手方向全域に亘って光学特性の安定した光ファイ
バ用母材とすることができる光ファイバ用多孔質母材の
製造方法及び製造装置に関する。The present invention relates to a method and an apparatus for producing a porous preform for optical fibers. In particular, the present invention provides a light source in which a core and a clad can be uniformly deposited by a VAD (axis setting) method, and as a result, the cross-sectional shape is substantially circular and stable without deviation over the entire longitudinal direction of the porous base material. The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a porous preform for an optical fiber, which can produce a porous preform for a fiber, and thus can provide a preform for an optical fiber having stable optical characteristics over the entire region in the longitudinal direction.
【0002】[0002]
【従来の技術】VAD法による光ファイバ用多孔質母材
の製造では、コア用バーナー及びクラッド用バーナーの
それぞれに、O2 ガス、H2 ガス、不活性ガス、及びガ
ラス原料ガス(コア用バーナーにはSiCl4 やGeC
l4 等の原料ガス、クラッド用バーナーにはSiCl4
等の原料ガス)を供給し、このガラス原料ガスを各バー
ナーの酸水素火炎中にて加水分解しSiO2 、GeO2
等のガラス微粒子を生成する。そして、生成したガラス
微粒子を回転上昇する棒状部材先端部に付着堆積させ、
コア−クラッド構造を有する光ファイバ用多孔質母材を
製造している。その後、この多孔質母材を脱水・溶融ガ
ラス化して、透明な光ファイバ用母材とする。そして、
光ファイバ用母材を溶融延伸し紡糸することにより、光
ファイバを得る。2. Description of the Related Art In the production of a porous preform for an optical fiber by the VAD method, an O 2 gas, an H 2 gas, an inert gas, and a glass raw material gas (a core material burner) are respectively provided to a core burner and a clad burner. Includes SiCl 4 and GeC
material gas l 4, etc., SiCl 4 in the cladding burner
And the like, and the glass material gas is hydrolyzed in an oxyhydrogen flame of each burner to produce SiO 2 , GeO 2
And the like. Then, the generated glass fine particles are deposited and deposited on the tip of the rotating rod-shaped member,
Manufactures a porous preform for an optical fiber having a core-clad structure. Thereafter, the porous preform is dehydrated and melted and vitrified to obtain a transparent optical fiber preform. And
An optical fiber is obtained by melt-drawing and spinning the optical fiber base material.
【0003】このようなVAD法においては、光ファイ
バ用母材の光学特性(例えば屈折率分布等)を長手方向
(軸方向)に亘って安定させるために、形成中の多孔質
母材先端部の堆積面とバーナー火炎との空間的位置関係
を一定に保ちながら多孔質母材を製造することが要求さ
れる。これは、この空間的位置関係が多孔質母材先端部
の表面温度分布や堆積面付近での化学反応状態を左右
し、従って空間的位置関係を一定に保つことが光ファイ
バ用母材の屈折率分布を安定させるために極めて重要な
要素となるからである。In such a VAD method, in order to stabilize the optical characteristics (for example, refractive index distribution, etc.) of a preform for an optical fiber in the longitudinal direction (axial direction), the tip portion of a porous preform being formed. It is required that the porous base material be manufactured while maintaining a constant spatial positional relationship between the deposition surface and the burner flame. This is because this spatial positional relationship affects the surface temperature distribution at the tip of the porous preform and the chemical reaction state near the deposition surface, and therefore, maintaining the spatial positional relationship constant is the refraction of the optical fiber preform. This is because it is a very important factor for stabilizing the rate distribution.
【0004】ところでVAD法による製造においては、
上記棒状部材とこの先端部に堆積成長する光ファイバ用
多孔質母材は回転しているため、回転による振動、即ち
ねじり振動、また軸の偏芯や重心のズレに起因するたわ
み振動や振れ回り振動、そして軸受けに起因する振動が
発生する。通常の場合は、前記空間的位置関係がランダ
ムに変化しているため、これらの振動が光ファイバ用母
材の屈折率分布の形成に対して殆ど影響することはな
い。[0004] In the production by the VAD method,
Since the rod-shaped member and the porous preform for optical fiber deposited and grown on the tip end are rotating, vibration due to rotation, that is, torsional vibration, flexural vibration and whirling caused by eccentricity of the shaft and deviation of the center of gravity. Vibration, and vibration caused by the bearing, occur. In a normal case, since the spatial positional relationship changes randomly, these vibrations hardly affect the formation of the refractive index distribution of the optical fiber base material.
【0005】ところが、上記振動の固有周波数の整数倍
あるいは整数分の1倍が回転負荷や回転出力の変動周波
数と非常に近い場合、共振状態となる。この共振状態に
なった場合、多孔質母材先端部の堆積面とバーナー火炎
との空間的位置関係が周期的に変化し、堆積状態が多孔
質母材先端部円周方向で選択的に変化して均一な堆積が
困難となる。その結果、多孔質母材先端部の断面形状が
非円となってしまう。この非円となる状態は共振が収ま
るまで継続し、その間に製造される光ファイバ用母材の
屈折率分布は異常となり、品質が低下してしまう。However, when an integer multiple or a fraction of the natural frequency of the vibration is very close to the fluctuation frequency of the rotational load or the rotational output, a resonance state occurs. When this resonance state is reached, the spatial positional relationship between the deposition surface of the porous base material tip and the burner flame changes periodically, and the deposition state selectively changes in the circumferential direction of the porous base material tip. As a result, uniform deposition becomes difficult. As a result, the cross-sectional shape of the tip portion of the porous base material becomes non-circular. This non-circular state continues until the resonance stops, and the refractive index distribution of the optical fiber preform manufactured during that time becomes abnormal, and the quality deteriorates.
【0006】このような共振状態を防ぐためには、一般
的に回転数(回転周期)と回転軸の固有振動数の整数倍
あるいは整数分の1倍が一致しないようにする。しかし
ながら、VAD法においては、光ファイバ用多孔質母材
の堆積成長に伴い回転軸の固有振動数が変化していくた
めに、この一般的方法では解決が困難である。そのため
従来では、共振状態になった場合には、光ファイバ用母
材が成長し固有振動数が変化して共振状態を脱するまで
放置するしかなかった。しかしながら、この共振状態で
製造された部位の光ファイバ用母材の屈折率分布は変化
しており、この部位の品質に問題が残る。更には、この
共振状態がひどい場合には製造を継続することが不能と
なる場合があった。In order to prevent such a resonance state, generally, the number of revolutions (rotation cycle) and the integral frequency of the natural frequency of the rotating shaft do not coincide with each other. However, in the VAD method, the natural frequency of the rotating shaft changes along with the deposition and growth of the porous preform for an optical fiber, so that it is difficult to solve this general method. Therefore, in the related art, in the case of the resonance state, the optical fiber preform grows, the natural frequency changes, and it has to be left until the resonance state is released. However, the refractive index distribution of the optical fiber preform at the portion manufactured in this resonance state has changed, and the quality of this portion remains problematic. Further, when the resonance state is severe, it may not be possible to continue manufacturing.
【0007】そのため、これまでVAD法に於ては、共
振をひき起こさないよう多孔質母材引上げ装置等の機械
精度を向上し回転の際の偏芯や重心のズレなどをなく
し、回転負荷や回転出力の変動自体を解消することが試
みられているが、これには非情な労力を伴う。また、た
とえ多孔質母材引上げ装置をかなり高精度に調整して
も、多孔質母材の重量増あるいは温度等による機械精度
への影響が大きく、またそれを考慮して設計することは
非常に困難であるため、機械精度の向上による方法では
限度があった。For this reason, in the VAD method, the mechanical accuracy of a porous base material pulling device or the like has been improved so as not to cause resonance, the eccentricity and the displacement of the center of gravity during rotation have been eliminated, and the rotational load and the like have been reduced. Attempts have been made to eliminate the fluctuations in the rotational output itself, but this involves relentless effort. Also, even if the porous base material pulling device is adjusted with high precision, the effect of increasing the weight of the porous base material or the temperature on the mechanical accuracy is large, and it is extremely difficult to design in consideration of this. Because of the difficulty, there is a limit in the method based on the improvement of machine precision.
【0008】別の解決方法として、共振状態になった場
合のみ回転数を変更して振動状態から逃れる方法が提案
されている。しかしながら、近年の光ファイバ用多孔質
母材の大型化や棒状部材の長尺化により、回転軸の固有
振動数の変化幅が広がり共振状態となる回数が増加する
ために、更には多孔質母材の固有振動数の変化は堆積速
度や形状などによって様々であり振動の要因も一定では
ないために、この方法では完全に共振状態を防ぐことは
困難であった。As another solution, a method has been proposed in which the rotational speed is changed only when the resonance state is reached to escape from the vibration state. However, with the recent increase in the size of the porous preform for optical fibers and the length of the rod-shaped member, the range of change in the natural frequency of the rotating shaft is widened and the number of times of resonance increases. Since the change in the natural frequency of the material varies depending on the deposition rate and shape, and the factors of the vibration are not constant, it is difficult to completely prevent the resonance state by this method.
【0009】また特開平6−247737号公報では、
共振により激しい振動が発生した場合には、これを検知
することにより回転速度を変化させ振動を収束させ、共
振を外れてから元の回転速度に復帰させれば、途中で製
造不能に陥ることがなく振動状態を最小限に抑えること
ができることが報告されている。In Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-247737,
If severe vibration occurs due to resonance, detecting this will change the rotation speed to converge the vibration, and if it returns to the original rotation speed after deviating from the resonance, manufacturing may fail halfway. It is reported that the vibration state can be minimized without any vibration.
【0010】しかしながら、上記のように振動を収束さ
せ多孔質母材の製造を継続する方法の場合、製造不能と
なる状態は避けられても、得られる光ファイバ用多孔質
母材を光ファイバ母材とした場合に、短時間でも共振状
態となり激しい振動となった部位に於て屈折率分布の変
化が生じている。従って、そのような部位を有する多孔
質母材は、品質の低下が避けられないという問題を有す
る。[0010] However, in the case of the above-mentioned method in which the vibration is converged and the production of the porous preform is continued, even if the state in which the production is impossible can be avoided, the obtained porous preform for the optical fiber is converted into the optical fiber preform. When a material is used, a change in the refractive index distribution occurs at a portion where resonance occurs even in a short time and violent vibration occurs. Therefore, the porous base material having such a portion has a problem that the deterioration of quality is inevitable.
【0011】そこで、予め共振状態となる部位を予測し
回転数を予め変更することで共振状態を回避することも
考えられる。しかしながら、前述のように、共振部位が
一定でないため全ての共振状態を回避できない場合があ
る。更には、この回転数の変更そのものが光ファイバ用
母材の屈折率分布に与える影響も無視することはでき
ず、回転数のような製造条件を途中で変更しなくてもよ
い方法が望まれていた。Therefore, it is conceivable to avoid the resonance state by predicting a portion that will be in a resonance state in advance and changing the rotation speed in advance. However, as described above, there are cases where all resonance states cannot be avoided because the resonance site is not constant. Furthermore, the influence of the change in the rotation speed itself on the refractive index distribution of the optical fiber preform cannot be neglected, and a method that does not require changing manufacturing conditions such as the rotation speed in the middle is desired. I was
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に鑑
み、光ファイバ用多孔質母材製造中の共振の発生の有無
に関係なく多孔質母材上へガラス微粒子を均一に堆積す
ることができ、その結果屈折率分布の長手(軸)方向の
変化を最小限に抑えた光ファイバ用母材とすることがで
きる光ファイバ用多孔質母材の製造方法及び製造装置を
提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to uniformly deposit glass fine particles on a porous preform regardless of the occurrence of resonance during the production of the porous preform for optical fibers. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a porous preform for an optical fiber which can be used as a preform for an optical fiber in which the change in the longitudinal (axial) direction of the refractive index distribution can be minimized. And
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明者は上記目的を達
成するため鋭意検討した結果、棒状部材の静たわみ量δ
を特定値以下にすれば、実質的にガラス微粒子の均一な
堆積が可能であり、従って長手方向の全域に亘って断面
がほぼ円形の多孔質母材を製造することができることを
見出し、本発明を完成させるに至った。The inventor of the present invention has conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, has found that the static deflection δ
It is found that if is set to a specific value or less, it is possible to substantially uniformly deposit glass fine particles, and therefore, it is possible to produce a porous base material having a substantially circular cross section over the entire region in the longitudinal direction. Was completed.
【0014】即ち、本発明の請求項1に記載の発明は、
コア用バーナー及びクラッド用バーナーのそれぞれに少
なくともガラス原料ガス、可燃性ガス、及び助燃性ガス
を供給し、バーナーの酸水素火炎中にてガラス原料を加
水分解することによりガラス微粒子を生成し、生成した
ガラス微粒子を回転する棒状部材の先端部からその軸方
向へ連続的に堆積させコア−クラッド構造を有する光フ
ァイバ用多孔質母材を製造する方法において、棒状部材
の静たわみ量δをa/15(式中、aは形成中の光ファ
イバ用多孔質母材先端部の堆積面の外径を表わす。)以
下とする光ファイバ用多孔質母材の製造方法である。That is, the invention described in claim 1 of the present invention provides:
At least a glass raw material gas, a combustible gas, and a combustible gas are supplied to each of the core burner and the clad burner, and the glass raw material is hydrolyzed in the oxyhydrogen flame of the burner to generate glass fine particles. In the method of manufacturing a porous preform for an optical fiber having a core-cladding structure by continuously depositing the obtained glass fine particles from the tip of a rotating rod-shaped member in the axial direction thereof, the amount of static deflection δ of the rod-shaped member is expressed by a / This is a method for producing a porous preform for an optical fiber of 15 or less (where a represents the outer diameter of the deposition surface at the tip of the porous preform for an optical fiber being formed).
【0015】このように、棒状部材の静たわみ量δをa
/15以下とすることにより、共振状態になった場合で
も棒状部材の振幅を小さくすることができ、従って堆積
面と堆積用各バーナーとの空間的位置関係の周期的変化
が抑えられ、ガラス微粒子を均一に堆積した多孔質母材
を製造することができる。As described above, the static deflection amount δ of the rod-shaped member is expressed by a
By setting the ratio to / 15 or less, the amplitude of the rod-shaped member can be reduced even in the case of resonance, so that the periodic change in the spatial positional relationship between the deposition surface and each deposition burner is suppressed, and Can be produced uniformly.
【0016】また、請求項2に記載の発明は、棒状部材
の断面二次モーメントI、棒状部材に掛かる荷重W、棒
状部材の長さL、または棒状部材の縦弾性係数Eの少な
くとも1つ以上を調整することにより、棒状部材の静た
わみ量δをa/15以下とする上記光ファイバ用多孔質
母材の製造方法である。このように、棒状部材の断面二
次モーメントI、荷重W、長さL、または縦弾性係数E
等を調整することにより、棒状部材の静たわみ量δをa
/15以下とすることができる。その結果、共振状態で
も棒状部材の振幅を小さくすることができ、従ってガラ
ス微粒子を均一に堆積することができる。Further, according to the present invention, at least one of a second moment of area I of the rod-shaped member, a load W applied to the rod-shaped member, a length L of the rod-shaped member, and a longitudinal elastic modulus E of the rod-shaped member is provided. Is adjusted to make the amount of static deflection δ of the rod-shaped member a / 15 or less. Thus, the second moment of area I, the load W, the length L, or the modulus of longitudinal elasticity E of the rod-shaped member is obtained.
By adjusting the amount of static deflection δ of the rod-shaped member to a
/ 15 or less. As a result, even in the resonance state, the amplitude of the rod-shaped member can be reduced, so that the glass particles can be uniformly deposited.
【0017】また、請求項3に記載の発明は、棒状部材
の少なくとも一部を中空にし、及び/または棒状部材の
少なくとも一部をセラミック製とすることにより、棒状
部材の静たわみ量δをa/15以下とする上記光ファイ
バ用多孔質母材の製造方法である。このように、棒状部
材の少なくとも一部を中空にして断面二次モーメントを
大きくすることにより、または棒状部材の一部をセラミ
ック製として軽量化することにより、棒状部材の静たわ
み量δをa/15以下とすることができる。Further, according to a third aspect of the present invention, at least a part of the rod-like member is made hollow and / or at least a part of the rod-like member is made of ceramic, so that the amount of static deflection δ of the rod-like member is reduced by a. / 15 or less. As described above, by increasing the second moment of area by hollowing out at least a part of the rod-shaped member, or by reducing the weight of the rod-shaped member by using a ceramic material, the amount of static deflection δ of the rod-shaped member can be reduced by a / It can be 15 or less.
【0018】また、請求項4に記載の発明は、少なくと
も、回転機構に取り付けた棒状部材、及び棒状部材先端
部にガラス微粒子を堆積させることができるコア用バー
ナーとクラッド用バーナーを有する光ファイバ用多孔質
母材の製造装置において、操業中常に棒状部材がa/1
5(式中、aは形成中の光ファイバ用多孔質母材先端部
の堆積面の外径を表わす。)以下の静たわみ量δを有す
る光ファイバ用多孔質母材の製造装置である。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an optical fiber having at least a rod-shaped member attached to a rotating mechanism and a core burner and a clad burner capable of depositing glass fine particles at the tip of the rod-shaped member. In the manufacturing apparatus of the porous base material, the rod-shaped member is always a / 1 during the operation.
5 (where a represents the outer diameter of the deposition surface at the tip of the porous preform for optical fiber being formed). This is an apparatus for producing a porous preform for optical fiber having a static deflection δ of not more than 5.
【0019】このように、操業中常に棒状部材の静たわ
み量δがa/15以下であることにより、操業中たとえ
共振状態になった場合でも棒状部材の振幅を小さくする
ことができ、多孔質母材の堆積面とバーナーとの空間的
位置関係の変化を小さくすることができる装置となる。
従って、このような棒状部材を用いた製造装置により、
長手方向全域に亘ってガラス微粒子を均一に堆積した多
孔質母材を製造することができる。As described above, the amplitude of the rod-shaped member can be reduced even when the rod-shaped member is in a resonance state during operation because the static deflection δ of the rod-shaped member is always less than a / 15 during operation. This makes it possible to reduce the change in the spatial positional relationship between the base material deposition surface and the burner.
Therefore, with a manufacturing apparatus using such a rod-shaped member,
It is possible to manufacture a porous base material in which glass fine particles are uniformly deposited over the entire region in the longitudinal direction.
【0020】また、請求項5記載の発明は、棒状部材の
断面二次モーメントI、荷重W、棒状部材の長さL、ま
たは縦弾性係数Eの少なくとも1つ以上を調整すること
により、棒状部材がa/15以下の静たわみ量δを有す
る上記光ファイバ用多孔質母材の製造装置である。According to a fifth aspect of the present invention, the rod-shaped member is adjusted by adjusting at least one of the second moment of area I, the load W, the length L of the rod-shaped member, or the modulus of longitudinal elasticity E of the rod-shaped member. Is an apparatus for producing the optical fiber porous preform having a static deflection δ of a / 15 or less.
【0021】上述のように、操業中常に棒状部材の静た
わみ量δがa/15以下であれば、長手方向全域に亘っ
てガラス微粒子を均一に堆積した多孔質母材を製造する
ことができる。このような静たわみ量δを有する装置
は、具体的には棒状部材の断面二次モーメントI、荷重
W、長さL、縦弾性係数E等を調整することにより構成
できる。As described above, if the amount of static deflection δ of the rod-shaped member is always a / 15 or less during the operation, it is possible to manufacture a porous base material in which glass fine particles are uniformly deposited over the entire region in the longitudinal direction. . A device having such a static deflection amount δ can be specifically configured by adjusting the second moment of area I, the load W, the length L, the modulus of longitudinal elasticity E, and the like of the rod-shaped member.
【0022】更に、請求項6記載の発明は、棒状部材の
少なくとも一部を中空とし、及び/または少なくとも一
部をセラミック製とすることにより、棒状部材がa/1
5以下の静たわみ量δを有する上記光ファイバ用多孔質
母材の製造装置である。Further, in the invention according to claim 6, at least a part of the rod-shaped member is made hollow and / or at least a part thereof is made of ceramic, so that the rod-shaped member is a / 1.
An apparatus for producing a porous preform for an optical fiber having a static deflection δ of 5 or less.
【0023】このように、棒状部材の少なくとも一部を
中空にして断面二次モーメントを大きくすることによ
り、または棒状部材の一部をセラミック製として軽量化
することにより、操業中常に棒状部材の静たわみ量δを
a/15以下に保持することができる装置を構成するこ
とができる。このような棒状部材を用いた製造装置を使
用することにより、操業中たとえ共振状態になった場合
でも棒状部材の振幅を小さくすることができ、従って長
手方向全域に亘ってガラス微粒子を均一に堆積した多孔
質母材を製造することができる。As described above, at least a part of the rod-shaped member is hollowed to increase the second moment of area, or a part of the rod-shaped member is made of ceramic to reduce the weight, so that the rod-shaped member can be constantly operated during operation. It is possible to configure an apparatus capable of maintaining the deflection amount δ at a / 15 or less. By using a manufacturing apparatus using such a rod-like member, the amplitude of the rod-like member can be reduced even during the operation, even if a resonance state occurs, and therefore, glass fine particles are uniformly deposited over the entire area in the longitudinal direction. A porous base material can be manufactured.
【0024】[0024]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。ここで、図1はVAD法による光ファイバ用多孔質
母材の製造装置の概略構成図である。本発明の光ファイ
バ用多孔質母材の製造方法においては、特にVAD法等
を好適に用いることができる。具体的には、コア用バー
ナー及びクラッド用バーナーのそれぞれに少なくともガ
ラス原料ガス、可燃性ガス、及び助燃性ガスを供給し、
それぞれコア、クラッドを形成して多孔質母材を得る。
バーナーとしては、例えば石英バーナーである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these embodiments. Here, FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus for manufacturing a porous preform for an optical fiber by the VAD method. In the method for producing a porous preform for an optical fiber of the present invention, a VAD method or the like can be particularly preferably used. Specifically, at least a glass raw material gas, a combustible gas, and a combustible gas are supplied to each of the core burner and the clad burner,
A porous base material is obtained by forming a core and a clad, respectively.
The burner is, for example, a quartz burner.
【0025】ガラス原料ガスとしては、SiCl4 等の
ハロゲン化珪素化合物が挙げられる。尚、光ファイバ母
材に所望の屈折率等を付与するために、ドーパントを含
ませてもよい。ドーパントとしては、例えばGeCl4
等のゲルマニウム化合物が挙げられる。また、ガラス原
料ガスをキャリヤガスと共に供給してもよい。キャリヤ
ガスとしては、Ar、N2 等の不活性ガス等が挙げられ
る。可燃性ガス及び助燃性ガスとしては、それぞれ例え
ばH2 ガス及びO2 ガス等が挙げられる。Examples of the glass raw material gas include silicon halide compounds such as SiCl 4 . Incidentally, a dopant may be included in order to impart a desired refractive index or the like to the optical fiber preform. As the dopant, for example, GeCl 4
And the like. Further, the glass raw material gas may be supplied together with the carrier gas. Examples of the carrier gas include an inert gas such as Ar and N 2 . Examples of the combustible gas and the combustible gas include H 2 gas and O 2 gas, respectively.
【0026】ガス流量としては、例えば原料ガス200
〜300cc/分、可燃性ガス1〜10cc/分、及び
助燃性ガス5〜15cc/分等である。上記各バーナー
の酸水素火炎中にてガラス原料を加水分解することによ
りガラス微粒子を生成する。即ち、可燃性ガスと助燃性
ガスにより酸水素火炎が形成され、この火炎中にガラス
原料ガスを導入することによりハロゲン化珪素等のガラ
ス原料が加水分解され、酸化珪素(即ちガラス微粒子)
を生成する。As the gas flow rate, for example, the raw material gas 200
300300 cc / min, flammable gas 1-10 cc / min, and combustible gas 5-15 cc / min. Glass particles are generated by hydrolyzing the glass raw material in the oxyhydrogen flame of each burner. That is, an oxyhydrogen flame is formed by the combustible gas and the auxiliary gas, and a glass raw material such as silicon halide is hydrolyzed by introducing a glass raw material gas into the flame, and silicon oxide (ie, glass fine particles)
Generate
【0027】生成したガラス微粒子を回転する棒状部材
の先端部からその軸方向へ連続的に堆積させる。具体的
には、先ずコア用バーナー及びクラッド用バーナーから
それぞれ生成ガラス微粒子を、回転する棒状部材の先端
部に吹き付ける。その際、コアの周辺上にクラッドが形
成するように、コア用バーナーとクラッド用バーナーの
向き及び位置等を調整しておく。そして、引き続き棒状
部材を回転させながらこれを軸方向に引上げ、新たな堆
積面に連続的にガラス微粒子を吹き付けることにより軸
方向に多孔質母材を形成させていく。棒状部材の回転速
度としては、例えば10〜50rpmである。棒状部材
の引上げ速度としては、例えば0.5〜1.5mm/分
である。The generated glass particles are continuously deposited in the axial direction from the tip of the rotating rod-shaped member. Specifically, first, generated glass fine particles are sprayed from the core burner and the clad burner onto the tip of the rotating rod-shaped member. At this time, the directions and positions of the core burner and the clad burner are adjusted so that the clad is formed on the periphery of the core. Then, while continuously rotating the rod-shaped member, the rod-shaped member is pulled up in the axial direction, and glass particles are continuously sprayed on a new deposition surface to form a porous base material in the axial direction. The rotation speed of the rod-shaped member is, for example, 10 to 50 rpm. The pulling speed of the rod-shaped member is, for example, 0.5 to 1.5 mm / min.
【0028】本発明の製造方法においては、上記ガラス
微粒子堆積中において、棒状部材の静たわみ量δをa/
15以下とすることを特徴とする。このように、棒状部
材の静たわみ量δを抑えることにより、共振状態になっ
た場合でも棒状部材の振幅を小さくすることができ、多
孔質母材の堆積面とバーナーとの空間的位置関係の変化
を小さくすることができる。その結果、ガラス微粒子を
均一に堆積でき、長手方向全域に亘ってほぼ断面が円形
で偏りのない安定した品質の多孔質母材を製造すること
ができる。上記aは、多孔質母材先端部の堆積面の外径
である。VAD法においては、それは例えばコア径と同
じとなる。具体的には、aとしては30〜60mmであ
る。In the manufacturing method of the present invention, during the deposition of the glass fine particles, the static deflection amount δ of the rod-shaped member is set to a /
15 or less. Thus, by suppressing the amount of static deflection δ of the rod-shaped member, the amplitude of the rod-shaped member can be reduced even in a resonance state, and the spatial positional relationship between the deposition surface of the porous base material and the burner can be reduced. The change can be reduced. As a result, the glass fine particles can be uniformly deposited, and a porous base material of stable quality having a substantially circular cross section and no deviation can be manufactured over the entire region in the longitudinal direction. The above a is the outer diameter of the deposition surface at the tip of the porous base material. In the VAD method, it is the same as the core diameter, for example. Specifically, a is 30 to 60 mm.
【0029】以下、操業中常に棒状部材の静たわみ量δ
をa/15以下とする方法について述べる。棒状部材の
静たわみ量δは、棒状部材の形状、構造、及び材質等に
よって変化するが、棒状部材の把持状態や荷重状態によ
っても様々な影響を受ける。例えば図1にあるように、
VAD法においては、棒状部材2は上端部が把持され下
部先端が自由端となっており、その先端部にガラス微粒
子を付着堆積させ、光ファイバ用多孔質母材1を製造す
るものである。このような場合、棒状部材2の静たわみ
量δは「片端支持、集中加重」を適用できるので、δ=
WL3 /(3EI)[式中、Wは棒状部材に掛かる荷重
(即ち、その時の光ファイバ用多孔質母材の重量)、L
は棒状部材の長さ、Eは棒状部材の縦弾性係数、及びI
は棒状部材の断面二次モーメントを表わす。]で表わす
ことができる。Hereinafter, the amount of static deflection δ of the rod-like member during the operation is always
Is set to a / 15 or less. The amount of static deflection δ of the rod-shaped member varies depending on the shape, structure, material, and the like of the rod-shaped member, but is also variously affected by the gripping state and the load state of the rod-shaped member. For example, as shown in FIG.
In the VAD method, the rod-shaped member 2 has an upper end portion gripped and a lower end portion is a free end, and glass fine particles are adhered and deposited on the end portion to produce the porous preform 1 for an optical fiber. In such a case, since the static deflection amount δ of the rod-shaped member 2 can be applied to “one-end support, concentrated load”, δ =
WL 3 / (3EI) [where W is the load applied to the rod-shaped member (that is, the weight of the porous preform for optical fiber at that time), L
Is the length of the bar, E is the longitudinal modulus of the bar, and I
Represents the second moment of area of the rod-shaped member. ].
【0030】従って、棒状部材の静たわみ量δを抑える
方法としては、例えば棒状部材の長さLを短くしたり、
棒状部材を縦弾性係数Eの大きな材質とすることが挙げ
られる。尚、荷重Wは製造される光ファイバ用多孔質母
材の重量であり、生産性の観点からこれを小さくするに
は限界がある。上記Lとしては、例えば1〜5mであ
る。また縦弾性係数Eの大きな材質としては、例えばス
テンレス、セラミック等が挙げられる。Therefore, as a method for suppressing the static deflection amount δ of the rod-shaped member, for example, the length L of the rod-shaped member is shortened,
The rod-shaped member may be made of a material having a large modulus of longitudinal elasticity E. Incidentally, the load W is the weight of the porous preform for optical fiber to be manufactured, and there is a limit in reducing this from the viewpoint of productivity. The length L is, for example, 1 to 5 m. Examples of the material having a large longitudinal elastic modulus E include stainless steel and ceramic.
【0031】上述のように長さLや縦弾性係数Eを調整
してもよいが、静たわみ量δを効果的に減少でき且つ実
施が容易であることを考慮すると、棒状部材の断面二次
モーメントIを大きくすることが好ましい。断面二次モ
ーメントIは、棒状部材が中実円筒の場合、I=πd4
/64(式中、dは棒状部材の直径である。)で表わさ
れる。従って、直径の大きな断面形状にすれば大きな断
面二次モーメントが得られる。更に、同重量の場合、材
料によらず中実円筒より中空の方が断面二次モーメント
Iを大きくできる効果がある。従って、断面二次モーメ
ントIの大きな断面形状としては、直径の大きな中空形
状が挙げられる。具体的には中空棒状部材として、円管
(中空円筒)が容易に入手できるので好ましい。As described above, the length L and the longitudinal elastic modulus E may be adjusted. However, considering that the static deflection δ can be effectively reduced and the implementation is easy, the cross-sectional secondary It is preferable to increase the moment I. When the rod-shaped member is a solid cylinder, I = πd 4
/ 64 (where d is the diameter of the rod-shaped member). Therefore, a large second moment of area can be obtained if the cross-sectional shape has a large diameter. In addition, in the case of the same weight, there is an effect that the second moment of area I can be made larger in the hollow than in the solid cylinder regardless of the material. Accordingly, a cross-sectional shape having a large second moment of area I includes a hollow shape having a large diameter. Specifically, a circular tube (hollow cylinder) is preferable as the hollow rod-shaped member because it is easily available.
【0032】尚、多孔質母材の静たわみ量δは、前述の
式より荷重W(即ち形成中の多孔質母材の重量)に比例
する。即ち多孔質母材製造中、静たわみ量δは増大し続
ける。従って、上記種々の因子により静たわみ量δを調
整する際は、予めこのことを考慮し操業終了時に静たわ
み量δがa/15を越えることのないよう棒状部材の静
たわみ量δを調整しておく必要がある。The amount of static deflection δ of the porous preform is proportional to the load W (that is, the weight of the porous preform being formed) according to the above equation. That is, during the production of the porous base material, the static deflection amount δ continues to increase. Therefore, when adjusting the static deflection δ by the above various factors, in consideration of this in advance, the static deflection δ of the rod-shaped member is adjusted so that the static deflection δ does not exceed a / 15 at the end of the operation. Need to be kept.
【0033】更に、棒状部材の重量についても考慮して
おかなければならない。即ち、棒状部材の製作精度や回
転機構への取り付け精度には限界があるため、通常棒状
部材は偏心し重心のズレが発生している。このような状
態で棒状部材を回転すると、棒状部材の自重等によりた
わみ量は更に増加する。従って、使用する棒状部材は軽
量な材質のものが好ましい。そのような材質としては、
例えばステンレス、セラミック等が挙げられる。Further, the weight of the rod-shaped member must be taken into consideration. That is, since there is a limit in the manufacturing accuracy of the rod-shaped member and the mounting accuracy to the rotating mechanism, the rod-shaped member is generally eccentric and the center of gravity is shifted. When the rod-shaped member is rotated in such a state, the deflection amount further increases due to the weight of the rod-shaped member or the like. Therefore, it is preferable that the rod-shaped member used is made of a lightweight material. Such materials include
Examples include stainless steel and ceramic.
【0034】上述のように、例えば棒状部材の少なくと
も一部を中空にして大きな断面二次モーメントとし、及
び/又は棒状部材の少なくとも一部にセラミック等を使
用して軽量化することにより、棒状部材の静たわみ量δ
を減少させ、効果的に棒状部材の振幅を抑えることがで
きる。その結果、多孔質母材の堆積面とバーナーとの空
間的位置関係の変化を小さくすることができ、ガラス微
粒子を均一に堆積した高品質の多孔質母材を製造するこ
とができる。As described above, for example, at least a part of the rod-shaped member is hollowed to have a large second moment of area, and / or the weight of the rod-shaped member is reduced by using ceramic or the like for at least part of the rod-shaped member. Static deflection δ
And the amplitude of the rod-shaped member can be effectively suppressed. As a result, a change in the spatial positional relationship between the deposition surface of the porous base material and the burner can be reduced, and a high-quality porous base material having glass fine particles uniformly deposited thereon can be manufactured.
【0035】以上、棒状部材の静たわみ量δをa/15
以下とする方法について具体的に述べたが、本発明にお
いては棒状部材の静たわみ量δをa/15以下とするこ
とができるならばその他のどのような方法であっても構
わない。上記本発明の製造方法により、ガラス微粒子を
偏りなく均一に堆積した、断面がほぼ円形の光ファイバ
用多孔質母材を製造することができる。As described above, the static deflection amount δ of the rod-shaped member is set to a / 15
Although the following method has been specifically described, in the present invention, any other method may be used as long as the static deflection amount δ of the rod-shaped member can be set to a / 15 or less. According to the production method of the present invention, it is possible to produce a porous preform for an optical fiber having a substantially circular cross section, in which glass particles are uniformly deposited without bias.
【0036】更に光ファイバ用母材を製造するには、常
法に従い、上記本発明の製造方法で製造した多孔質母材
を溶融ガラス化すればよい。溶融ガラス化は、例えば1
500℃以上に加熱することにより行う。その際、必要
に応じ、塩素ガス等のハロゲン化合物の雰囲気下に溶融
ガラス化して脱水を同時に行ってもよい。Further, in order to produce a preform for an optical fiber, the porous preform produced by the production method of the present invention may be melted and vitrified according to a conventional method. Molten vitrification is, for example, 1
This is performed by heating to 500 ° C. or higher. At that time, if necessary, the glass may be melted and vitrified in an atmosphere of a halogen compound such as chlorine gas to simultaneously perform dehydration.
【0037】更に、光ファイバを製造するには、通常の
方法によればよく、例えば上述のようにして得た光ファ
イバ母材を電気炉等にて2100℃以上に加熱溶融し、
所望の径になるように延伸し紡糸することにより行えば
よい。本発明の製造方法で製造した多孔質母材を使用す
ることにより、長手方向全域に亘って屈折率分布等の光
学特性の安定した光ファイバを得ることができる。Further, in order to manufacture an optical fiber, an ordinary method may be used. For example, the optical fiber preform obtained as described above is heated and melted at 2100 ° C. or more in an electric furnace or the like.
It may be performed by drawing and spinning to a desired diameter. By using the porous preform manufactured by the manufacturing method of the present invention, it is possible to obtain an optical fiber having stable optical characteristics such as a refractive index distribution over the entire region in the longitudinal direction.
【0038】本発明の光ファイバ用多孔質母材の製造装
置においては、少なくとも、回転機構、棒状部材、コア
用バーナー、及びクラッド用バーナーを有する。上記回
転機構は、棒状部材を回転させるものであり、例えば回
転モータ等である。更に、この回転機構は棒状部材をそ
の軸方向に引き上げることができるものが好ましい。ガ
ラス微粒子が堆積するにつれて棒状部材を軸方向に引き
上げることにより、バーナーの位置や向きを変えること
なく、常に堆積面の先端部にガラス微粒子を連続的に吹
き付けることができる。The apparatus for manufacturing a porous preform for an optical fiber according to the present invention has at least a rotating mechanism, a rod-shaped member, a core burner, and a clad burner. The rotation mechanism is for rotating a rod-shaped member, and is, for example, a rotation motor. Further, it is preferable that the rotating mechanism can lift the rod-shaped member in the axial direction. By pulling up the rod-shaped member in the axial direction as the glass fine particles are deposited, the glass fine particles can be continuously sprayed onto the tip end of the deposition surface without changing the position and the direction of the burner.
【0039】本発明の製造装置においては、上記回転機
構に取り付ける棒状部材が操業中常にa/15以下の静
たわみ量δを有することを特徴とする。これにより、多
孔質母材形成中に共振状態になった場合でも棒状部材の
振幅を小さくすることができる。そのため、堆積面と堆
積用各バーナーとの空間的位置関係の変化が殆どなく、
従ってガラス微粒子が均一に堆積した光ファイバ用多孔
質母材を製造できる。その結果、このような多孔質母材
からは、屈折率分布の安定した光ファイバ用母材が製造
できる。The manufacturing apparatus according to the present invention is characterized in that the bar-shaped member attached to the rotating mechanism always has a static deflection δ of not more than a / 15 during operation. Thereby, even when the resonance state occurs during the formation of the porous base material, the amplitude of the rod-shaped member can be reduced. Therefore, there is almost no change in the spatial positional relationship between the deposition surface and each deposition burner,
Therefore, a porous preform for an optical fiber in which glass fine particles are uniformly deposited can be manufactured. As a result, a preform for an optical fiber having a stable refractive index distribution can be manufactured from such a porous preform.
【0040】a/15以下の静たわみ量δを有する棒状
部材としては、前記本発明の製造方法のところで述べた
ように、棒状部材の断面二次モーメントI、荷重W、長
さL、縦弾性係数E、及び自重等の種々の因子により静
たわみ量δをa/15以下に調整した棒状部材が挙げら
れる。As described above in connection with the manufacturing method of the present invention, the rod-shaped member having a static deflection δ of not more than a / 15 includes the second moment of area I, load W, length L, longitudinal elasticity of the rod-shaped member. A rod-shaped member in which the amount of static deflection δ is adjusted to a / 15 or less by various factors such as the coefficient E and its own weight.
【0041】具体的にはそのような棒状部材としては、
前記本発明の製造方法で述べたように、例えば棒状部材
の少なくとも一部を中空にし大きな断面二次モーメント
とし、及び/又は棒状部材の少なくとも一部にセラミッ
ク等を使用して軽量化した棒状部材が挙げられる。Specifically, as such a rod-shaped member,
As described in the production method of the present invention, for example, at least a part of the rod-shaped member is hollow to have a large second moment of area, and / or the rod-shaped member is lightened by using ceramic or the like for at least a part of the rod-shaped member. Is mentioned.
【0042】前述のように、上記種々の因子により静た
わみ量δを調整する際は、操業中常に荷重Wは増大し続
けるので静たわみ量δも増大し続けることに注意する必
要がある。即ち、操業終了時に静たわみ量δがa/15
を越えないよう静たわみ量δを調整する必要がある。こ
のように静たわみ量δを調整することにより、操業中常
に棒状部材がa/15以下の静たわみ量δを有する装置
を構成することができることになる。その結果、終始、
棒状部材の振れを小さくできガラス微粒子を均一に堆積
することができる。従って、全長に亘ってガラス微粒子
が均一に堆積し断面がほぼ円形で安定した高品質の光フ
ァイバ用多孔質母材を製造できる。棒状部材の先端部に
は、ガラス微粒子の付着を容易にし、また製造した多孔
質母材を棒状部材から引き離すのを容易にするため、石
英製等のターゲット部材を装着しておくのが好ましい。As described above, when adjusting the amount of static deflection δ by the above-described various factors, it is necessary to pay attention to the fact that the amount of static deflection δ also keeps increasing because the load W always increases during operation. That is, the amount of static deflection δ at the end of the operation is a / 15
It is necessary to adjust the static deflection amount δ so as not to exceed. By adjusting the amount of static deflection δ in this way, it is possible to configure a device in which the rod-shaped member always has a static deflection δ of a / 15 or less during operation. As a result,
The deflection of the rod-shaped member can be reduced, and the glass fine particles can be uniformly deposited. Therefore, it is possible to manufacture a high-quality porous preform for optical fibers in which glass fine particles are uniformly deposited over the entire length and the cross section is substantially circular and stable. It is preferable to attach a target member made of quartz or the like to the tip of the rod-shaped member in order to facilitate attachment of glass fine particles and to separate the manufactured porous base material from the rod-shaped member.
【0043】本発明の製造装置において、コア用バーナ
ーを棒状部材の先端部にガラス微粒子が堆積するように
配向して配置する。そして、クラッド用バーナーを上記
コア用バーナーにて形成したコアの周辺上にガラス微粒
子が堆積するように配向して配置する。これにより、コ
ア−クラッド構造を有する多孔質母材が製造される。コ
ア用バーナー及びクラッド用バーナーは、例えば石英製
等が挙げられる。その他、本発明の製造装置において
は、通常VAD法等で使用される種々の装置、例えば排
気手段、ガス整流板等を備えることができる。本発明の
光ファイバ用多孔質母材の製造装置により、ガラス微粒
子が均一に偏りなく堆積した断面がほぼ円形の光ファイ
バ用多孔質母材を製造することができる。In the manufacturing apparatus of the present invention, the core burner is arranged at the tip of the rod-shaped member so as to be oriented so that glass particles are deposited. Then, the burners for cladding are arranged so as to be oriented so that glass particles are deposited on the periphery of the core formed by the burner for core. Thereby, a porous preform having a core-clad structure is manufactured. The core burner and the clad burner are made of, for example, quartz. In addition, the manufacturing apparatus of the present invention can include various apparatuses usually used in the VAD method and the like, for example, an exhaust unit, a gas rectifying plate, and the like. With the apparatus for manufacturing a porous preform for optical fibers of the present invention, it is possible to produce a porous preform for optical fibers having a substantially circular cross-section on which glass fine particles are uniformly and uniformly deposited.
【0044】[0044]
【実施例】以下、本発明を実施例で具体的に説明する。 (実施例1)図1に示すVAD法による光ファイバ用多
孔質母材の製造装置を使用して、多孔質母材1を製造し
た。即ち、棒状部材2を昇降可能な回転モータ(不図
示)に取り付けた。棒状部材2として、ステンレス製中
空円筒(長さL=400cm、内径7cm、外径11c
m、縦弾性係数E=1.96×106 kg/cm2 )を
使用した。尚、棒状部材2の先端部に石英製のターゲッ
ト部材3を取り付けた。The present invention will be specifically described below with reference to examples. (Example 1) A porous preform 1 was produced by using an apparatus for producing a porous preform for optical fibers by the VAD method shown in FIG. That is, the rod-shaped member 2 was attached to a rotary motor (not shown) capable of moving up and down. As the rod member 2, a stainless steel hollow cylinder (length L = 400 cm, inner diameter 7 cm, outer diameter 11c)
m, the longitudinal elastic modulus E = 1.96 × 10 6 kg / cm 2 ). The target member 3 made of quartz was attached to the tip of the rod-shaped member 2.
【0045】従ってこの棒状部材の静たわみ量δは、以
下の計算式により次のように表わされる。即ち、長さL
=400、縦弾性係数E=1.96×106 、及び断面
二次モーメントI=π(d2 4−d1 4)/64=π(11
4 −74 )/64=600.8より、静たわみ量δ=W
L3 /(3EI)=W×4003 /(3×1.96×1
06 ×600.8)=0.018W(cm)となる。Accordingly, the amount of static deflection δ of the rod-like member is expressed as follows by the following formula. That is, the length L
= 400, Young's modulus E = 1.96 × 10 6, and the second moment I = π (d 2 4 -d 1 4) / 64 = π (11
From 4−7 4 ) /64=600.8, the static deflection amount δ = W
L 3 / (3EI) = W × 400 3 /(3×1.96×1
0 6 × 600.8) = become 0.018W (cm).
【0046】一方、石英製コア用バーナー4を、棒状部
材2の先端部にガラス微粒子が堆積するように配向して
配置した。また石英製クラッド用バーナー5を、バーナ
ー4にて形成したコアの周辺上にガラス微粒子が堆積す
るように配向して配置した。On the other hand, the core burner 4 made of quartz was oriented so as to deposit glass fine particles on the tip of the rod-shaped member 2. In addition, the quartz clad burner 5 was arranged so as to be oriented such that glass particles were deposited around the core formed by the burner 4.
【0047】回転モータにより棒状部材2を約30rp
mにて回転させ且つ約0.9mm/分の速度で引上げな
がら、バーナー4及び5よりそれぞれコア及びクラッド
を堆積させ、コア−クラッド構造を有する多孔質母材1
を製造した。尚、バーナー4には、ガラス原料ガスとし
てSiCl4 を250cc/分及びGeCl4 を35c
c/分、可燃性ガスとしてH2 を5L/分、助燃性ガス
としてO2 を12L/分、更に不活性ガスとしてArを
3L/分の流速にてそれぞれ供給した。またバーナー5
には、ガラス原料ガスとしてSiCl4 を3L/分、可
燃性ガスとしてH2 を50L/分、助燃性ガスとしてO
2 を30L/分、更に不活性ガスとしてArを15L/
分の流速にてそれぞれ供給した。The rod-shaped member 2 is rotated about 30 rpm by the rotation motor.
m, and while pulling up at a speed of about 0.9 mm / min, a core and a clad are deposited from the burners 4 and 5, respectively.
Was manufactured. The burner 4 has a glass source gas of SiCl 4 at 250 cc / min and GeCl 4 at 35 c / min.
c / min, H 2 was supplied at a flow rate of 5 L / min as a combustible gas, O 2 was supplied at a flow rate of 12 L / min as an auxiliary gas, and Ar was supplied at a flow rate of 3 L / min as an inert gas. Also burner 5
Are 3 L / min of SiCl 4 as a glass raw material gas, 50 L / min of H 2 as a flammable gas, and O as a combustible gas.
2 at 30 L / min, and 15 L /
Min flow rate.
【0048】多孔質母材製造中の棒状部材2の振れは極
めて小さく多孔質母材先端部の振れも小さかった。共振
状態となった場合でも、同様に振れは極めて小さかっ
た。上記のようにして、重量W=8.3kg及び先端部
外径a=4.5cmの光ファイバ用多孔質母材1を製造
した。尚、この多孔質母材1は全長に亘って、ガラス微
粒子が均一に堆積しており断面がほぼ円形であった。従
って、この多孔質母材1の最大の静たわみ量δ=0.0
18W=0.018×8.3=0.1494(cm)で
ある。一方、a/15=4.5/15=0.3である。
従って、静たわみ量δ<a/15を満足する。The deflection of the rod-shaped member 2 during the production of the porous preform was extremely small, and the deflection at the tip of the porous preform was also small. Even in the case of the resonance state, the swing was extremely small similarly. As described above, a porous preform 1 for an optical fiber having a weight W of 8.3 kg and a tip outer diameter a of 4.5 cm was produced. The porous base material 1 had glass particles deposited uniformly over its entire length and had a substantially circular cross section. Therefore, the maximum static deflection amount δ of the porous preform 1 is 0.0
18W = 0.018 x 8.3 = 0.1494 (cm). On the other hand, a / 15 = 4.5 / 15 = 0.3.
Therefore, the static deflection δ <a / 15 is satisfied.
【0049】以上の結果から明らかなように、操業中常
に棒状部材の静たわみ量δをa/15以下とすることに
より、多孔質母材形成中に共振状態になった場合でも棒
状部材の振幅を小さくすることができる。そのため、堆
積面と堆積用各バーナーとの空間的位置関係の変化を殆
どなくすことができ、ガラス微粒子を均一に堆積するこ
とができる。その結果、長手方向の全長に亘ってガラス
微粒子が均一に堆積した断面がほぼ円形で安定した高品
質の光ファイバ用多孔質母材を製造できる。As is clear from the above results, by setting the static deflection δ of the rod-shaped member to a / 15 or less at all times during the operation, the amplitude of the rod-shaped member can be maintained even when a resonance occurs during the formation of the porous base material. Can be reduced. Therefore, a change in the spatial positional relationship between the deposition surface and each deposition burner can be almost eliminated, and glass fine particles can be deposited uniformly. As a result, it is possible to manufacture a stable high-quality porous preform for an optical fiber having a substantially circular cross section in which glass fine particles are uniformly deposited over the entire length in the longitudinal direction.
【0050】(実施例2)棒状部材2としてステンレス
製中実円筒(長さL=200cm、外径5cm、縦弾性
係数E=1.96×106 kg/cm2 )を使用した以
外は、実施例1と同様にして光ファイバ用多孔質母材1
を製造した。Example 2 A solid stainless steel cylinder (length L = 200 cm, outer diameter 5 cm, modulus of longitudinal elasticity E = 1.96 × 10 6 kg / cm 2 ) was used as the rod-shaped member 2, Porous optical fiber preform 1 in the same manner as in Example 1.
Was manufactured.
【0051】従ってこの棒状部材2の静たわみ量δは、
以下の計算式により次のように表わされる。即ち、長さ
L=200、縦弾性係数E=1.96×106 、及び断
面二次モーメントI=πd4 /64=π×54 /64=
30.68より、静たわみ量δ=WL3 /(3EI)=
W×2003 /(3×1.96×106 ×30.68)
=0.044W(cm)となる。Therefore, the amount of static deflection δ of the rod 2 is
It is expressed as follows by the following formula. That is, the length L = 200, a longitudinal elastic modulus E = 1.96 × 10 6, and the second moment I = πd 4/64 = π × 5 4/64 =
From 30.68, the static deflection amount δ = WL 3 / (3EI) =
W × 200 3 /(3×1.96×10 6 × 30.68)
= 0.044 W (cm).
【0052】多孔質母材製造中の棒状部材2の振れは極
めて小さく多孔質母材先端部の振れも小さかった。共振
状態となった場合でも、同様に振れは極めて小さかっ
た。上記のようにして、重量W=4.5kg及び先端部
外径a=3cmの光ファイバ用多孔質母材1を製造し
た。尚、この多孔質母材1は全長に亘って、ガラス微粒
子が均一に堆積しており断面がほぼ円形であった。従っ
て、この多孔質母材1の最大の静たわみ量δ=0.04
4W=0.044×4.5=0.198(cm)であ
る。一方、a/15=3/15=0.2である。従っ
て、静たわみ量δ<a/15を満足する。The deflection of the rod-shaped member 2 during the production of the porous base material was extremely small, and the deflection at the tip of the porous base material was also small. Even in the case of the resonance state, the swing was extremely small similarly. As described above, a porous preform 1 for an optical fiber having a weight W = 4.5 kg and a tip outer diameter a = 3 cm was manufactured. The porous base material 1 had glass particles deposited uniformly over its entire length and had a substantially circular cross section. Therefore, the maximum static deflection amount δ of the porous base material 1 is 0.04.
4W = 0.044 × 4.5 = 0.198 (cm). On the other hand, a / 15 = 3/15 = 0.2. Therefore, the static deflection δ <a / 15 is satisfied.
【0053】以上の結果から明らかなように、操業中常
に棒状部材の静たわみ量δをa/15以下とすることに
より、多孔質母材形成中に共振状態になった場合でも棒
状部材の振幅を小さくすることができる。そのため、堆
積面と堆積用各バーナーとの空間的位置関係の変化を殆
どなくすことができ、ガラス微粒子を均一に堆積するこ
とができる。その結果、長手方向の全長に亘ってガラス
微粒子が均一に堆積した断面がほぼ円形で安定した高品
質の光ファイバ用多孔質母材を製造できる。As is apparent from the above results, by setting the static deflection δ of the rod-shaped member to a / 15 or less during the operation, the amplitude of the rod-shaped member can be maintained even when a resonance occurs during the formation of the porous base material. Can be reduced. Therefore, a change in the spatial positional relationship between the deposition surface and each deposition burner can be almost eliminated, and glass fine particles can be deposited uniformly. As a result, it is possible to manufacture a stable high-quality porous preform for an optical fiber having a substantially circular cross section in which glass fine particles are uniformly deposited over the entire length in the longitudinal direction.
【0054】(比較例1)棒状部材2としてステンレス
製中実円筒(長さL=250cm、外径4.8cm、縦
弾性係数E=1.96×106 kg/cm2 )を使用し
た以外は、実施例1と同様にして光ファイバ用多孔質母
材1を数本製造することを試みた。Comparative Example 1 Except that a solid cylinder made of stainless steel (length L = 250 cm, outer diameter 4.8 cm, modulus of longitudinal elasticity E = 1.96 × 10 6 kg / cm 2 ) was used as the rod-shaped member 2. Tried to produce several optical fiber preforms 1 in the same manner as in Example 1.
【0055】従ってこの棒状部材2の静たわみ量δは、
以下の計算式により次のように表わされる。即ち、長さ
L=250、縦弾性係数E=1.96×106 、及び断
面二次モーメントI=πd4 /64=π×4.84 /6
4=26.06より、静たわみ量δ=WL3 /(3E
I)=W×2503 /(3×1.96×106 ×26.
06)=0.102W(cm)となる。Therefore, the amount of static deflection δ of the rod-shaped member 2 is
It is expressed as follows by the following formula. That is, the length L = 250, a longitudinal elastic modulus E = 1.96 × 10 6, and the second moment I = πd 4 /64=π×4.8 4/6
4 = 26.06, the static deflection amount δ = WL 3 / (3E
I) = W × 250 3 /(3×1.96×10 6 × 26.
06) = 0.102 W (cm).
【0056】多孔質母材製造中の棒状部材の振れは大き
く多孔質母材先端部の振れも大きかった。特に、共振状
態となった場合での振れは極めて大きかった。そのた
め、この条件では多孔質母材1の半数は共振状態におけ
る振れが激し過ぎ、製造不能となってしまった。The deflection of the rod-shaped member during the production of the porous preform was large, and the deflection at the tip of the porous preform was also large. In particular, the swing in the case of the resonance was extremely large. For this reason, under these conditions, half of the porous preform 1 was excessively vibrated in the resonance state, and could not be manufactured.
【0057】一方、製造を続行できた場合でも、共振状
態となった場合の多孔質母材1の先端部の形状は円周方
向に不均一となっていた。共振状態が収まると母材先端
部の形状は均一となって回復したが、母材製造中に何度
か共振状態となり、その都度、母材先端部は不均一な形
状となった。この多孔質母材の品質を調べたところ、共
振状態になった部分で品質が低下しており、多孔質母材
そのものが不良品となってしまった。On the other hand, even if the production could be continued, the shape of the tip of the porous preform 1 in the resonance state was not uniform in the circumferential direction. When the resonance state subsided, the shape of the base metal tip became uniform and recovered. However, during the manufacture of the base metal, a resonance state occurred several times, and each time the base metal tip became non-uniform. When the quality of the porous base material was examined, the quality was deteriorated at the portion where resonance occurred, and the porous base material itself was defective.
【0058】上記得られた多孔質母材1は、重量W=
5.8kg及び先端部外径a=3.5cmであった。従
って、この多孔質母材1の最大の静たわみ量δ=0.1
02W=0.102×5.8=0.5916(cm)で
ある。一方、a/15=3.5/15=約0.23であ
る。従って、静たわみ量δ>a/15となる。The obtained porous base material 1 has a weight W =
It was 5.8 kg and the tip outer diameter a = 3.5 cm. Therefore, the maximum static deflection amount δ of the porous preform 1 is 0.1
02W = 0.102 × 5.8 = 0.5916 (cm). On the other hand, a / 15 = 3.5 / 15 = about 0.23. Therefore, the static deflection amount δ> a / 15.
【0059】以上の結果から明らかなように、操業中に
棒状部材の静たわみ量δがa/15を越えると、共振状
態の棒状部材及び多孔質母材の振れが極めて大きくな
り、従って堆積面と堆積用バーナーとの空間的位置関係
の周期的変化量が極めて大きくなる。そのため、製造不
能に陥ったり、ガラス微粒子が不均一に堆積した品質の
安定しない不良品の光ファイバ用多孔質母材が製造され
ることとなる。その結果、光学特性の安定しない光ファ
イバ母材を製造してしまうこととなる。As is apparent from the above results, when the static deflection δ of the rod-shaped member exceeds a / 15 during the operation, the deflection of the rod-shaped member and the porous base material in the resonance state becomes extremely large, and therefore, The periodic change in the spatial positional relationship between the metal and the deposition burner becomes extremely large. As a result, a defective optical fiber porous preform having an unstable quality in which the production becomes impossible or the glass fine particles are unevenly deposited is produced. As a result, an optical fiber preform having unstable optical characteristics is produced.
【0060】以上本発明を詳述してきたが、本発明は上
記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態
は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された
技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効
果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技
術的範囲に包含される。Although the present invention has been described in detail, the present invention is not limited to the above embodiment. The above embodiment is an exemplification, and has substantially the same configuration as the technical idea described in the scope of the claims of the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
【0061】[0061]
【発明の効果】本発明に従って棒状部材の静たわみ量δ
をa/15以下とすることにより、製造中に共振状態に
なった場合でも棒状部材の振幅を小さくすることができ
る。そのため、ガラス微粒子堆積面と堆積用各バーナー
との空間的位置関係の変化量を小さくすることができ、
ガラス微粒子を均一に堆積することができる。その結
果、長手方向に亘って断面がほぼ円形の品質の安定した
優れた光ファイバ用多孔質母材を製造できる。このよう
な光ファイバ用多孔質母材を使用することにより、長手
方向に亘って屈折率分布等の光学特性の安定した優れた
光ファイバ用母材を製造することができるAccording to the present invention, the amount of static deflection δ of the rod-shaped member is
Is set to a / 15 or less, the amplitude of the rod-shaped member can be reduced even when a resonance state occurs during manufacturing. Therefore, the amount of change in the spatial positional relationship between the glass particle deposition surface and each deposition burner can be reduced,
Glass particles can be uniformly deposited. As a result, it is possible to manufacture an excellent porous preform for an optical fiber having a stable quality with a substantially circular cross section in the longitudinal direction. By using such a porous preform for optical fibers, a preform for optical fibers having excellent optical characteristics such as a refractive index distribution can be manufactured in a longitudinal direction.
【図1】VAD法による光ファイバ用多孔質母材の製造
装置の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus for manufacturing a porous preform for an optical fiber by a VAD method.
1…光ファイバ用多孔質母材、 2…棒状部材、 3…
ターゲット部材、4…コア用バーナー、 5…クラッド
用バーナー、a…多孔質母材先端部の堆積面の外径(コ
ア径)。1: porous base material for optical fiber, 2: rod-shaped member, 3:
Target member, 4: core burner, 5: clad burner, a: outer diameter (core diameter) of the deposition surface at the tip of the porous base material.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 文男 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越 化学工業株式会社 群馬事業所内 (72)発明者 井上 大 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 平7−215725(JP,A) 特開 平7−187699(JP,A) 特開 平7−109142(JP,A) 特開 平6−345476(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03B 37/018 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Fumio Saito 2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Gunma Plant (72) Inventor Dai Inoue 2--13 Isobe, Annaka-shi, Gunma No. 1 Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd.Precision Functional Materials Laboratory (72) Inventor Hideo Hirasawa 2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Prefecture Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.Precision Functional Materials Research Laboratory (56) References Special JP-A-7-215725 (JP, A) JP-A-7-187699 (JP, A) JP-A-7-109142 (JP, A) JP-A-6-345476 (JP, A) (58) Int.Cl. 7 , DB name) C03B 37/018
Claims (6)
のそれぞれに少なくともガラス原料ガス、可燃性ガス、
及び助燃性ガスを供給し、バーナーの酸水素火炎中にて
ガラス原料を加水分解することによりガラス微粒子を生
成し、生成したガラス微粒子を回転する棒状部材の先端
部からその軸方向へ連続的に堆積させコア−クラッド構
造を有する光ファイバ用多孔質母材を製造する方法にお
いて、棒状部材の静たわみ量δをa/15(式中、aは
形成中の光ファイバ用多孔質母材先端部の堆積面の外径
を表わす。)以下とすることを特徴とする光ファイバ用
多孔質母材の製造方法。A burner gas for a core, a burner gas for a clad, and a burner gas for a clad.
And supplying a combustion-supporting gas, and hydrolyzing the glass raw material in an oxyhydrogen flame of a burner to generate glass fine particles, and continuously generate the generated glass fine particles from the tip of a rotating rod-shaped member in the axial direction thereof. In the method for producing a porous preform for an optical fiber having a core-cladding structure by depositing, the static deflection amount δ of the rod-shaped member is set to a / 15 (where a is the tip of the porous preform for the optical fiber being formed. A method for producing a porous preform for an optical fiber, characterized in that:
部材に掛かる荷重W、棒状部材の長さL、または棒状部
材の縦弾性係数Eの少なくとも1つ以上を調整すること
により、棒状部材の静たわみ量δをa/15以下とする
ことを特徴とする請求項1記載の光ファイバ用多孔質母
材の製造方法。2. Adjusting at least one of the second moment of area I of the rod-shaped member, the load W applied to the rod-shaped member, the length L of the rod-shaped member, or the longitudinal elastic modulus E of the rod-shaped member, The method for producing a porous preform for an optical fiber according to claim 1, wherein the static deflection amount δ is set to a / 15 or less.
及び/または棒状部材の少なくとも一部をセラミック製
とすることにより、棒状部材の静たわみ量δをa/15
以下とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記
載の光ファイバ用多孔質母材の製造方法。3. At least a part of the rod-shaped member is made hollow,
And / or by making at least part of the rod-shaped member made of ceramic, the static deflection amount δ of the rod-shaped member can be reduced to a / 15.
The method for producing a porous preform for an optical fiber according to claim 1 or 2, wherein:
部材、及び棒状部材先端部にガラス微粒子を堆積させる
ことができるコア用バーナーとクラッド用バーナーを有
する光ファイバ用多孔質母材の製造装置において、操業
中常に棒状部材がa/15(式中、aは形成中の光ファ
イバ用多孔質母材先端部の堆積面の外径を表わす。)以
下の静たわみ量δを有することを特徴とする光ファイバ
用多孔質母材の製造装置。4. An apparatus for producing a porous preform for an optical fiber, comprising at least a rod-shaped member attached to a rotating mechanism, and a core burner and a clad burner capable of depositing glass fine particles at the tip of the rod-shaped member. During operation, the rod-shaped member always has a static deflection δ of not more than a / 15 (where a represents the outer diameter of the deposition surface at the tip of the porous preform for optical fiber being formed). Equipment for manufacturing porous preforms for optical fibers.
W、棒状部材の長さL、または縦弾性係数Eの少なくと
も1つ以上を調整することにより、棒状部材がa/15
以下の静たわみ量δを有することを特徴とする請求項4
記載の光ファイバ用多孔質母材の製造装置。5. The rod-shaped member is adjusted to a / 15 by adjusting at least one of the second moment of area I, the load W, the length L of the rod-shaped member, or the modulus of longitudinal elasticity E of the rod-shaped member.
5. The apparatus according to claim 4, wherein the amount of static deflection is as follows.
An apparatus for producing a porous preform for an optical fiber according to the above.
及び/または少なくとも一部をセラミック製とすること
により、棒状部材がa/15以下の静たわみ量δを有す
ることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の光フ
ァイバ用多孔質母材の製造装置。6. A rod-shaped member having at least a part thereof hollow,
The porous preform for an optical fiber according to claim 4 or 5, wherein the rod-shaped member has a static deflection δ of not more than a / 15 by at least part of being made of ceramic. Manufacturing equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6051199A JP3148196B2 (en) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | Method and apparatus for producing porous preform for optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6051199A JP3148196B2 (en) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | Method and apparatus for producing porous preform for optical fiber |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000256030A JP2000256030A (en) | 2000-09-19 |
| JP3148196B2 true JP3148196B2 (en) | 2001-03-19 |
Family
ID=13144425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6051199A Expired - Fee Related JP3148196B2 (en) | 1999-03-08 | 1999-03-08 | Method and apparatus for producing porous preform for optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3148196B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6527890B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-03-04 | Motorola, Inc. | Multilayered ceramic micro-gas chromatograph and method for making the same |
| US6592696B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-07-15 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a multilayered structure and the structures formed by the method |
-
1999
- 1999-03-08 JP JP6051199A patent/JP3148196B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6527890B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-03-04 | Motorola, Inc. | Multilayered ceramic micro-gas chromatograph and method for making the same |
| US6544734B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-04-08 | Cynthia G. Briscoe | Multilayered microfluidic DNA analysis system and method |
| US6572830B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-06-03 | Motorola, Inc. | Integrated multilayered microfludic devices and methods for making the same |
| US6592696B1 (en) | 1998-10-09 | 2003-07-15 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a multilayered structure and the structures formed by the method |
| US6732567B2 (en) | 1998-10-09 | 2004-05-11 | Motorola, Inc. | Multilayered ceramic micro-gas chromatograph and method for making the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000256030A (en) | 2000-09-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0770583B1 (en) | Method for drawing glass proform for optical fiber | |
| US4367085A (en) | Method of fabricating multi-mode optical fiber preforms | |
| KR970006994B1 (en) | Method of flame grinding glass preform | |
| JP4229442B2 (en) | Method for producing a tube made of quartz glass, tubular intermediate product made of porous quartz glass, and use thereof | |
| JP3148196B2 (en) | Method and apparatus for producing porous preform for optical fiber | |
| US6978641B2 (en) | Method for cutting glass rod and cutting device for use therein | |
| JP2000256031A (en) | Method and apparatus for producing porous preform for optical fiber | |
| JP2793617B2 (en) | Manufacturing method of optical fiber preform | |
| EP0994078B1 (en) | Method for producing quartz glass preform for optical fibers | |
| JP4495070B2 (en) | Method for producing porous preform for optical fiber | |
| JP2000281377A (en) | Method and apparatus for manufacturing base material for optical fiber | |
| JP2003226545A (en) | Optical fiber preform manufacturing method and optical fiber preform manufacturing apparatus | |
| JPH07330366A (en) | Manufacturing method of optical fiber preform | |
| JP3077970B2 (en) | Manufacturing method of optical fiber preform | |
| JP2001010840A (en) | Method and apparatus for manufacturing porous preform for optical fiber | |
| JP3169503B2 (en) | Method for producing porous glass preform for optical fiber | |
| JP4398114B2 (en) | Manufacturing method of glass base material for optical fiber with less unevenness | |
| US20080053155A1 (en) | Optical fiber preform having large size soot porous body and its method of preparation | |
| WO2007054961A2 (en) | Optical fiber preform having large size soot porous body and its method of preparation | |
| JPH0525817B2 (en) | ||
| JPH03103333A (en) | Optical fiber preform base material manufacturing equipment | |
| JP3064276B1 (en) | Apparatus for producing porous preform for optical fiber and glass rod for optical fiber | |
| JP2004026610A (en) | Method for producing porous preform for optical fiber | |
| JP3131032B2 (en) | Manufacturing method of preform for optical fiber | |
| JP2000264665A (en) | Manufacturing method of optical fiber preform |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3148196 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140112 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |