JP3169948B2 - 圧力制御弁 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、高圧供給気体あるいは低圧吸引気体の圧
力制御に使用する圧力制御弁に関するものである。

［従来の技術］ 従来のこの種の圧力制御弁としては、比例電磁式制御
弁や電空レギュレータ制御弁が知られている。

［発明が解決しようとする課題］ ところが、前記の電空レギュレータでは気体の漏洩を
伴いながらスプールが摺動されて開閉されるものであ
り、又、比例電磁式制御弁では気体が常時ノズルからフ
ラッパに対して噴出されるものであるため、気体の大量
漏洩を招くという問題点があった。特に、高圧供給気体
の圧力制御において、圧力供給源がボンベになっている
場合には、気体の量が限定されるため、この気体の漏洩
防止が重要になる。

この発明は、このような従来技術に存在する問題点に
着目してなされたものであって、その目的とするところ
は、気体漏洩を最少限にすることができる圧力制御弁を
提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明で
は、弁本体に流体が流通する流路を設け、その流路の端
部には一次側圧力が入力される一次側ポート及び二次側
圧力が出力される二次側ポートをそれぞれ設け、前記流
路の一次側ポートと二次側ポートとの間にはその流路を
開閉することにより二次側圧力を決定付ける弁体を備え
た開閉部を設け、前記流路の開閉部よりも二次側ポート
側に開口するフィードバック通路を設け、そのフィード
バック通路に連通されるフィードバック室を設け、パイ
ロット流体が導入されるパイロット室を、受圧体を挟ん
でフィードバック室と対向するように設け、パイロット
室の内部圧力とフィードバック室の内部圧力との差圧に
よる前記受圧体の変位に基づいて、前記弁体を開閉動作
させることにより、二次側圧力を制御する圧力制御弁で
あって、前記パイロット室の内部圧力を検出する圧力セ
ンサを設け、前記パイロット流体をパイロット室に導入
する通路には、前記圧力センサの検出信号に基づいてパ
イロット室の内部圧力を目標値に制御する電磁弁を設け
た。

［作用］ 請求項１に記載の発明によれば、電磁弁によりパイロ
ット室の内部圧力を制御するようにしたため、パイロッ
ト室からの流体の漏洩を最小限にすることができる。

更に、請求項１に記載の発明では、圧力センサにより
パイロット室の圧力を検出し、その検出信号に基づいて
パイロット室の内部圧力が目標値に制御される。そし
て、この目標値に制御されたパイロット室の内部圧力と
二次側圧力を反映したフィードバック室の内部圧力との
差圧により受圧体が変位され、その変位に基づいて弁体
が開閉動作される。これにより、二次側圧力が目標値と
なるように制御される。

このような構成では、二次側圧力の検出結果に基づい
て、その二次側圧力が設定圧力となるようにパイロット
室の内部圧力を制御する場合に生じる問題を解消するこ
とができる。

即ち、二次側圧力検出では、特に二次側の負荷容積が
大きい場合、圧力制御の開始時には二次側圧力と目標値
との差が大きいため、二次側圧力を目標値に早く近づけ
ようとしてパイロット室の圧力が非常に高くなる。これ
により、弁体が大きく開放されて二次側圧力を目標値に
より早く近づけることができる。しかし、パイロット室
の圧力は目標値に何ら関係なく高くなってしまうので、
二次側圧力が目標値に達した時の弁体の復帰が遅くな
り、安定した圧力制御ができないという問題がある。即
ち、二次側圧力が目標値を大幅に越えるという圧力の行
き過ぎが生じてしまい、その後目標値へ圧力を下げる制
御が行われるとはいうものの、その行き過ぎのために目
標値への圧力制御が安定して行われないのである。

請求項１に記載の発明の場合、パイロット室の内部圧
力が目標値に制御されるため、二次側の負荷容積が大き
い場合でも、その内部圧力が高くなり過ぎて二次側圧力
の行き過ぎが生じることはなく、二次側圧力を目標値へ
制御することを安定して行うことができる。

［実施例］ 以下、この発明の第１実施例を第１図〜第５図に基づ
いて詳細に説明する。

まず、第２図に示すディスペンサ装置の概要について
述べると、タンク１は内部にジュース等の被圧送液体２
を収容し、図示しない冷却装置によって冷却されてい
る。ボンベ３は内部に二酸化炭素（以下単に気体とい
う）を収容している。そして、ボンベ３内の気体が減圧
弁４、圧力制御弁５及び逆止弁６を介してタンク１内に
加圧供給され、開閉弁７が開放されることにより、被圧
送流体２がタンク１内から開閉弁７を介してコップ等の
容器８へと圧送される。

前記圧力制御弁５はCPU（中央処理装置）やメモリを
含む制御装置９により、D/A変換器10及び圧力制御回路1
1を介して開閉制御され、タンク１内の被圧送液体２に
対する気体の圧力付与量を設定する。又、開閉弁７は制
御装置９により開閉制御され、容器８へ被圧送液体２を
供給する。

そこで、前記圧力制御弁５の構成を第１図に基づいて
詳述すると、高圧気体の流路13は弁框12に形成され、そ
の両端には一次側ポートとしての給気ポート14及び二次
側ポートとしての出力ポート15が設けられている。流路
13を開閉するための開閉部16は弁座17と弁体18とから構
成され、常にはバネ19により閉鎖されている。

蓋板20及び受圧体としてのダイヤフラム21は複数のボ
ルト22により弁框12の上面に取付けられ、この蓋板20と
ダイヤフラム21との間にはパイロット室としての上部圧
力室23aが形成され、ダイヤフラム21の下方にはフィー
ドバック室としての下部圧力室23bが形成されている。
そして、この実施例では弁框12と蓋板20とによって弁本
体が構成されている。弁棒24はナット25によりダイヤフ
ラム21に固定され、上部圧力室23aの内部圧力が上昇し
てダイヤフラム21が下動されたとき、この弁棒24を介し
て前記開閉部16の弁体18を開放させる。

給気路26は前記流路13の給気ポート14側と上部圧力室
23aとを接続するように、弁框12及び蓋板20に形成さ
れ、その途中には絞り用のオリフィス27が設けられてい
る。フィードバック通路としての連通路24aは流路13の
出力ポート15側と下部圧力室23bとを接続するように、
弁棒24の中心に沿って上下方向に形成されている。電磁
弁よりなる給気側弁28は、給気路26を開閉制御するよう
に蓋板20上に設けられ、必要に応じて上部圧力室23a内
に高圧気体を導入してその内部圧力を上昇させる。そし
て、この上部圧力室23aの内部圧力の上昇により、弁棒2
4が下降されて開閉部16が開放される。

排気路29は上部圧力室23aと外部とを連通するように
蓋板20に形成され、その途中には絞り用のオリフィス30
が設けられている。電磁弁よりなる排気側弁31は、排気
路29を開閉制御するように蓋板20上に設けられ、必要に
応じて上部圧力室23a内の気体を外部に排出してその内
部圧力を低下させる。そして、この上部圧力室23aの内
部圧力の低下により弁棒24が上昇され、バネ19により弁
体18が上昇されて開閉部16が閉鎖される。

圧力センサ32は蓋板20上に設けられ、連通孔33を介し
て上部圧力室23aの内部圧力を検出して検出信号を出力
する。カバー34は蓋板20上に取り付けられ、給気側弁2
8、排気側弁31及び圧力センサ32を覆っている。

気体の排出路35は前記流路13の出力ポート15側と連通
するように弁框12に形成され、その端部には排気ポート
36が設けられている。排出路35を開閉するための開閉部
37は弁座38と弁体39とから構成され、常にはバネ40によ
り閉鎖されている。そして、流路13の出力ポート15側の
気体圧力が高くなったとき、開閉部37の弁体39がバネ40
に抗して開放され、流路13内の気体圧力が排気ポート36
から排出される。

なお、前記ダイヤフラム21はバネ40Aによる上方へ付
勢されている。

次に、前記圧力制御弁５を開閉制御するための圧力制
御回路について第３図に基づき詳述すると、入力手段と
しての入力装置41は、被圧送液体温度センサ、気体温度
センサ等の各種のセンサや液体供給速度等をキー入力に
より設定したりするためのキーボード等から構成され、
被圧送液体２の温度データや圧送量等の外部データを前
記制御装置９に入力する。制御装置９は入力されたデー
タに基づき被圧送液体２の圧送に必要な出力ポート15の
圧力を目標値として設定して、D/A変換器10に出力す
る。D/A変換器10は入力された目標値に対応する信号を
アナログ信号に変換し、設定電圧信号として前段増幅器
42を出力する。前段増幅器42は設定電圧信号をゼロ点、
スパン調整し、基準入力信号として偏差増幅器43に出力
する。

偏差増幅器43は、前記圧力制御弁５内の圧力センサ32
から増幅器44を介してフィードバックされる検出信号
と、前段増幅器42からの基準入力信号とを比較し、第4,
5図に示すようにその偏差分を増幅して制御偏差信号を
出力する。比較手段としての比較器45,46は、偏差増幅
器43からの制御偏差信号と、基準信号発生器47から出力
された50Hz〜200Hz程度の三角波若しくは鋸歯状波等の
基準信号とを比較し、オン・オフの制御動作信号を駆動
回路48,49を介して圧力制御弁５の給気側弁28又は排気
側弁31に出力する。そして、給気側弁28及び排気側弁31
は制御動作信号のオン・オフ周期に応じたデューティ比
で開閉制御される。

この場合、第４図及び第５図に示すように、排気側弁
31側の比較器46には、給気側弁28側の比較器45に入力さ
れる制御偏差信号に対して反転された制御偏差信号が入
力される。

さて、第１図は給気側及び排気側の弁28,31が閉じ、
上部圧力室23aと下部圧力室23bとの圧力が低圧状態でつ
り合っている状態を示し、この状態では弁棒24が中立位
置にあって上下の開閉部37,16が閉鎖されている。又、
このとき、第２図に示す開閉弁７も閉鎖されている。

この状態において、容器８に液体を注ぐ場合には、入
力装置42のスイッチの操作等に基づいて制御装置９が開
閉弁７を開放動作させる。これと同時に制御装置９はボ
ンベ３内の圧力、気体温度、被圧送液体の温度等のデー
タをもとに、出力ポート15の最適圧力に対応した目標値
を設定して出力する。この出力は第３図に示すD/A変換
器10及び前段増幅器42を介して基準入力信号として偏差
増幅器43に入力される。

一方、この偏差増幅器43には圧力センサ32により検出
された上部圧力室23a内の圧力値に対応するレベルの信
号がフィードバックされる。偏差増幅器43は前記基準入
力信号とフィードバック信号とを比較して上部圧力室23
aの圧力と、その目標値との間の差に対応した制御偏差
信号を出力する。この制御偏差信号は比較器45及び反転
回路51を介して比較器46にそれぞれ入力される。この場
合、例えば、上部圧力室23aの圧力が目標値より少ない
場合には、第4,5図に示すように両比較器45,46に入力さ
れる制御偏差信号が相互に反転しているので、給気側弁
28側の比較器45には給気側弁28の開放側の偏差として、
排気側弁31側の比較器46には閉鎖側の偏差として入力さ
れる。

従って、比較器45は基準信号発生器47からの基準信号
をもとにして、偏差に対応した制御動作信号を出力する
が、比較器46は制御動作信号を全くあるいはほとんど出
力しない。又、上部圧力室23aの圧力が目標値より大き
い場合にはこの逆となる。このため、出力ポート15が最
適の圧力となるように給気側弁28及び排気側弁31が開閉
制御され、適量の気体圧がタンク１内に付与されて、液
体が最適状態で容器８に注がれる。

そして、供給停止のためのスイッチ操作が行われる
と、前記開閉弁７が閉じられて液体供給が停止される。

そして、前記給気側弁28及び排気側弁31の開閉動作時
には、気体圧力や液体温度等の種々の要因に応じて、あ
るいはウォータハンマ等の不都合が発生しないように、
制御装置９が最適の目標値を設定し、両弁28,31の制御
量のデータがフィードバックされて目標値と一致するよ
うに制御されるので、最適の液体供給状態を得ることが
できる。

さらに、液体供給が行われていないときには、排気側
弁31が閉じて気体漏洩が防止され、その気体単独での外
部への放出は被圧送液体供給停止時において、ダイヤフ
ラム21の復帰に伴う上部圧力室23aの縮小分だけである
から、その排出量はきわめて少ない。特に、飲料水の自
動販売機に使用されるディスペンサ装置のように、圧力
供給源がボンベになっていて、気体の量が限定されてい
る場合には、気体を有効利用することができる。

以上より、この実施例では、給気側弁28及び排気側弁
31により上部圧力室23aの内部圧力が制御されるため、
その上部圧力室23aからの気体の漏洩を最小限にするこ
とができる。

又、この実施例では、目標値に一致するように制御さ
れた上部圧力室23aの内部圧力と、出力ポート15の圧力
が連通路24aを介して導入された下部圧力室23bの内部圧
力との差圧によりダイヤフラム21が変位され、その変位
に基づいて弁体18が開閉動作される。これにより、出力
ポート15の圧力が目標値となるように制御される。この
ため、上部圧力室23aの内部圧力は目標値に何ら関係な
く高くなってしまうことがなく、出力ポート15の圧力を
目標値へ制御することを安定して行うことができる。

又、蓋板20の上面上に圧力センサ32、給気側弁28及び
排気側弁31を設置し、その圧力センサ32、給気側弁28及
び排気側弁31がカバー34によって覆われた構成となって
いるため、圧力センサ32、給気側弁28及び排気側弁31の
組み付けを容易に行うことができる。しかも、カバー34
を外せば圧力センサ32、給気側弁28及び排気側弁31が露
出するため、それらのメンテナンスを容易に行うことが
できる。

［別の実施例］ 次に、この発明の第２実施例を、第６図〜第９図に基
づいて説明する。なお、前記第１実施例と同一又は近似
する構成については、第１実施例と同一の符号を付し
て、それらの詳細な説明を省略する。

さて、この実施例の圧力制御弁５は、例えば真空圧を
利用して物品の吸着及び解放動作等を行う場合の真空圧
の制御に具体化したものであって、第６図〜第８図に示
すように、流路13の出力ポート15がタンク等の負圧機器
に接続される設定圧力口に、給気ポート14が吸引ポンプ
に接続される真空圧力口に、排気ポート36が大気を取り
入れるための大気圧力口になっている。給気路26はダイ
ヤフラム21の下方の下部圧力室23bと大気とを連通する
ように設けられ、その途中には給気路26を開閉制御する
ための給気側弁28が介装されている。排気路29は流路13
の真空圧力口14と下部圧力室23bとを連通するように設
けられ、その途中には排気路29を開閉制御するための排
気側弁31が介装されている。

圧力センサ32は連通孔33を介して設定圧力口15に接続
され、設定圧力を検出して検出信号を出力するようにな
っている。又、ダイヤフラム21の上方の上部圧力室23a
は弁棒24の中心の連通路24a及び開閉部16の弁体18と弁
棒24との間を介して設定圧力口15に連通され、設定圧力
が上部圧力室23aに導かれている。従って、この実施例
では下部圧力室23bがパイロット室とされている。

そして、第９図に示すように、この実施例において
も、第１実施例の回路構成とほぼ同様に、圧力センサ32
から出力される設定圧力の検出信号と入力信号とが偏差
増幅器43で比較されて偏差増幅が行われ、この偏差信号
と基準信号発生回路47からの基準信号とが、信号比較回
路45及び反転回路51を介して信号比較回路46で比較加算
され、オンオフ信号が駆動回路48,49を介して給気側弁2
8及び排気側弁31に入力される。このように給気側弁28
及び排気側弁31のオンオフ信号のデューティ比が制御さ
れ、偏差が存在するときには、両弁28,31を駆動して、
偏差が小さくなる方向に下部圧力室23bの圧力が調節さ
れる。

すなわち、外部からの指令信号が入力信号として制御
回路11に入力される。制御回路11内の偏差増幅器43では
設定圧力側の圧力をセンサ32で検出した信号と、入力信
号とが比較され、偏差増幅が行なわれる。

この偏差信号は比較器45において、又、反転回路51を
介して比較器46において基準信号発生回路47からの信号
と比較、加算され、オンオフ信号が駆動回路48,49へ出
力される。

このように弁28,31のオンオフ信号のデューティ比が
制御される。偏差が存在する時、弁28,31が駆動され、
偏差の小さくなる方向へ下部圧力室23bの圧力が調節さ
れる。

そして、真空圧力は真空圧力口14より排気側弁31の２
次側に導かれ、給気側弁28、排気側弁31のオンオフ動作
による操作圧は給気路26を通し、下部圧力室23bの圧力
を設定する。給気側弁28の１次側は大気開放であり、以
上のことから操作圧は真空から大気圧までが可能とな
る。

また設定圧力ポート15のエアは弁棒24と弁体の間にあ
るオリフィス及び弁棒24の連通路24aを通り上部圧力室2
3aに導かれる。

制御回路11への入力信号が変化し、下部圧力室23bの
圧力が増加すると、弁体39が押し上げられ、大気圧力口
36から設定圧力口15へエアが流れる。

圧力の平衡状態から減圧する方向へ入力信号が変化す
ると、下部圧力室23bの圧力は減圧されてより真空に近
くになる。これにより、ダイヤフラム21は押し下げら
れ、弁棒24と共に弁体18も下降し、真空圧力口14へエア
が流れる。そして、上部圧力室23aと下部圧力室23bとの
圧力が等しくなった時に平衡状態となる。

従って、この第２実施例においても、給気側弁28及び
排気側弁31により下部圧力室23bの内部圧力が制御され
るため、その下部圧力室23bからの気体の漏洩を最小限
にすることができる。

又、この第２実施例においても、圧力センサ32、給気
側弁28及び排気側弁31の設置構成は蓋板20上に設置され
カバー34で覆われているという点で前述の第１実施例と
同じであり、圧力センサ32、給気側弁28及び排気側弁31
の組み付けやメンテナンスを容易に行うことができる。

次に、この発明の第３実施例を、第10図〜第13図に基
づいて説明する。なお、前記第１及び第２実施例と同一
又は近似する構成については、両実施例と同一の符号を
付して、それらの詳細な説明を省略する。

さて、この実施例の圧力制御弁５も、前述した第２実
施例と同様に、真空圧を利用して物品の吸着及び解放動
作等を行う場合の真空圧の制御に具体化したものであっ
て、第10図〜第12図に示すように、流路13の設定圧力口
15がタンク等の負圧機器に接続される設定圧力口に、真
空圧力口14が吸引ポンプに接続される真空圧力口に、供
給圧力口36が数kg f/cm²程度の所定圧力を供給するため
の供給圧力口になっている。

切換弁52は蓋板20上に設けられ、供給圧力口36側の圧
力が給気路26、給気側弁28及び出力側流路53を介して切
換弁52に導かれ、この切換弁52の切換状態に応じて、流
通路54から上部圧力室23aに、又は流通路55を介して下
部圧力室23bに供給される。排気口56,57は切換弁52に設
けられ、切換弁52の切換状態に応じて、上部圧力室23a
又は下部圧力室23bの圧力がこの排気口56,57から排出さ
れる。

排気側弁31は給気側弁28の出力側流路53に接続され、
その出力側圧力が排気側弁31の開放時に排気路29を通し
て排出される。第１圧力センサ32は連通孔33を介して設
定圧力口15に接続され、設定圧力を検出して検出信号を
出力する。第２圧力センサ58は給気側弁28の出力側流路
53に接続され、その出力側圧力を検出して検出信号を出
力する。

そして、第13図に示すように、この実施例において
は、第１圧力センサ32から出力される設定圧力の検出信
号と入力信号とが偏差増幅器43で比較されて偏差増幅が
行われ、この偏差信号と基準信号とが比較器59で比較さ
れて、駆動回路60を介して切換弁52が切り換えられる。
又、前記偏差増幅器43からの偏差信号と第２圧力センサ
58からの検出信号とが偏差増幅器61で比較されて偏差増
幅され、前述した第２実施例の回路構成と同様に、その
偏差信号と基準信号発生回路47からの基準信号とが、信
号比較器45及び反転回路51を介して信号比較器46で比較
加算され、オンオフ信号が駆動回路48,49を介して給気
側弁28及び排気側弁31に入力される。

このように第１圧力センサ32の検出信号に対して入力
信号が大きければ、切換弁52が下部圧力室23bを加圧で
きる状態に、又第１圧力センサ32の検出信号に対して入
力信号が小さければ、切換弁52が上部圧力室23aを加圧
できる状態に切り換えられ、この状態で給気側弁28及び
排気側弁31のオンオフ信号のデューティ比が制御され
て、偏差が存在するときには両弁28,31を駆動して、偏
差が小さくなる方向に上部又は下部圧力室23a,23bの圧
力が調節される。従って、本実施例では上部圧力室23a
及び下部圧力室23bがパイロット室とされている。

すなわち、供給圧力口36には５〜6kg f/cm²の圧力が
供給され、これは給気側弁28の入力に導かれる。給気側
弁28の出力は排気側弁31へと導かれ、同時に操作圧力と
して切換弁52を介して上部圧力室23a及び下部圧力室23b
へと導かれる。

この操作圧力は第２圧力センサ58によって制御回路に
入力され、給気側弁28、排気側弁31がオンオフされ、上
部圧力室23a及び下部圧力室23bの圧力が操作される。ま
た、第１圧力センサ32と入力信号の偏差が取られ、切換
弁52が動作される。第１圧力センサ32の信号に対して入
力信号が大きければ下部圧力室23bを加圧できるよう
に、逆に小さければ上部圧力室23aを加圧できるように
切り換える。これによって必要最少のエアで操作圧を制
御できる。

設定圧力を下げるように入力信号が変化すると、設定
圧力口15の第１圧力センサ32からの信号と入力信号の偏
差から切換弁52が上部圧力室23aを加圧できるように切
換る。この時、下部圧力室23bは大気圧となる。

先の偏差信号と操作圧力につながる第１圧力センサ32
の信号とでもう一度偏差がとられ、この偏差が小さくな
るように給気側弁28、排気側弁31がオンオフされる。つ
まり、先の偏差信号に対応する操作圧力が上部圧力室23
aに送られることになる。

この時、ダイヤフラム21は押し下げられ、下側の開閉
部16が開き設定圧力口15はエアは真空圧力口14へと流れ
る。

設定圧力口15の圧力が下がると、入力信号と第１圧力
センサ32との偏差が小さくなっていき、操作圧力は大気
圧に近付いていく。このため開閉部16の開度は小さくな
っていき、偏差がゼロの時第10,11図の平衡状態とな
る。

次に、設定圧力を上げるように入力信号が変化する
と、前記と同様に第１圧力センサ32と入力信号の偏差か
ら切換弁52は下部圧力室23bを加圧できるように動作す
る（この時上部圧力室23aは大気圧となる）。

この偏差信号と操作圧力につながる第２圧力センサ58
の信号とでもう一度偏差をとり、先の偏差信号に追従す
る形で給気側弁28、排気側弁31がオンオフされ、操作圧
力が下部圧力室23bへ送られる。このため、ダイヤフラ
ム21は押し上げられ、上側の開閉部37が開き供給圧力口
36のエアが設定圧力口15へ流れる。

そして、設定圧力口15の圧力、つまり第１圧力センサ
32の信号が入力信号に近付くと（偏差信号が小さくなる
と）、操作圧力は大気圧に近付いていく。このため開閉
部37の開度は小さくなっていき、偏差が０の時平衡状態
となる。

そして、以上の動作においては、供給圧力口36に５〜
6kg f/cm²の圧力が供給されるため、より反応の速い真
空破壊を行うことができる。

又、偏差が発生した時に、大気圧となっている上部圧
力室23a及び下部圧力室23bを真空側へ導くようにすれば
一層速い応答が期待できる。

以上のように、この第３実施例においても、給気側弁
28及び排気側弁31により上部圧力室23a及び下部圧力室2
3bの内部圧力が制御されるため、それら圧力室23a,23b
からの気体の漏洩を最小限にすることができる。

又、この第３実施例においても、目標値を検出する第
１圧力センサ32、給気側弁28及び排気側弁31の設置構成
は蓋板20上に設置されカバー34で覆われているという点
で前述の第１及び２実施例と同じであり、第１圧力セン
サ32、給気側弁28及び排気側弁31の組み付けやメンテナ
ンスを容易に行うことができる。

なお、この発明は前記各実施例の構成に限定されるも
のではなく、例えば、前述した第３実施例において、供
給圧力口36とは別の圧力口を設けて、この圧力口から圧
力室23a,23bに操作圧力が供給されるように構成して、
応答性を一層高めたりする等、この発明の趣旨から逸脱
しない範囲で各部の構成を任意に変更して具体化するこ
とも可能である。

［発明の効果］ 請求項１に記載の発明によれば、電磁弁によりパイロ
ット室の内部圧力を制御するようにしたため、パイロッ
ト室からの流体の漏洩を最小限にすることができる。

更に、請求項１に記載の発明によれば、二次側圧力を
目標値へ制御することを安定して行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明を具体化した圧力制御弁の第１実施例
を示す正断面図、第２図はディスペンサ装置の概要を示
す配管図、第３図は液体供給装置の回路構成を示すブロ
ック図、第４図及び第５図は制御弁における排気側及び
給気側弁のための駆動信号の発生動作を説明する説明
図、第６図はこの発明の圧力制御弁の第２実施例を示す
正面断面図、第７図はその圧力制御弁の側断面図、第８
図は圧力制御弁を含む制御装置の概要図、第９図は制御
装置の回路構成を示すブロック図、第10図はこの発明の
圧力制御弁の第３実施例を示す正面断面図、第11図はそ
の圧力制御弁の側断面図、第12図は圧力制御弁を含む制
御装置の概要図、第13図は制御装置の回路構成を示すブ
ロック図である。 ５……圧力制御弁、13……気体の流路、16……開閉部、
21……ダイヤフラム、23a,23b……圧力室、28……制御
手段を構成する給気側弁、31……制御手段を構成する排
気側弁。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−20605（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−72214（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−12068（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F17C 13/02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弁本体に流体が流通する流路を設け、その
   流路の端部には一次側圧力が入力される一次側ポート及
   び二次側圧力が出力される二次側ポートをそれぞれ設
   け、前記流路の一次側ポートと二次側ポートとの間には
   その流路を開閉することにより二次側圧力を決定付ける
   弁体を備えた開閉部を設け、前記流路の開閉部よりも二
   次側ポート側に開口するフィードバック通路を設け、そ
   のフィードバック通路に連通されるフィードバック室を
   設け、パイロット流体が導入されるパイロット室を、受
   圧体を挟んでフィードバック室と対向するように設け、
   パイロット室の内部圧力とフィードバック室の内部圧力
   との差圧による前記受圧体の変位に基づいて、前記弁体
   を開閉動作させることにより、二次側圧力を制御する圧
   力制御弁であって、 前記パイロット室の内部圧力を検出する圧力センサを設
   け、前記パイロット流体をパイロット室に導入する通路
   には、前記圧力センサの検出信号に基づいてパイロット
   室の内部圧力を目標値に制御する電磁弁を設けた圧力制
   御弁。