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JP3174864B2 - Magnetic bearing control device - Google Patents
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JP3174864B2 - Magnetic bearing control device - Google Patents

Magnetic bearing control device

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JP3174864B2
JP3174864B2 JP10491192A JP10491192A JP3174864B2 JP 3174864 B2 JP3174864 B2 JP 3174864B2 JP 10491192 A JP10491192 A JP 10491192A JP 10491192 A JP10491192 A JP 10491192A JP 3174864 B2 JP3174864 B2 JP 3174864B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、磁気軸受の制御装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic bearing control device.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気軸受の制御装置として、ロータとの
エアギャップの大きさを検出する位置センサからの検出
エアギャップ信号と所定の基準エアギャップ信号とに基
づいて磁気軸受の電磁石を制御するものが知られてい
る。また、この種の制御装置において、たとえば特開昭
59−113315号公報などに示されているように、
電磁石の制御指令信号と発生吸引力の関係を種々線形化
する方式が提案されている。
2. Description of the Related Art A magnetic bearing control device controls an electromagnet of a magnetic bearing based on a detected air gap signal from a position sensor for detecting the size of an air gap with a rotor and a predetermined reference air gap signal. It has been known. In this type of control device, for example, as disclosed in JP-A-59-113315,
A method has been proposed in which the relationship between the control command signal of the electromagnet and the generated attractive force is linearized in various ways.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の磁
気軸受の制御装置では、電磁石の制御指令信号と発生吸
引力の関係を線形化することができるが、次のような場
合には完全な線形化ができないという問題がある。
In the conventional magnetic bearing control device as described above, the relationship between the control command signal of the electromagnet and the generated attraction force can be linearized. There is a problem that it is not possible to perform linearization.

【0004】すなわち、まず、ロータが回転すると、遠
心力によってロータが膨張するため、回転数によって基
準エアギャップ量が変化し、また、ロータの温度が上昇
すると、ロータが膨張するため、温度によっても基準エ
アギャップ量が変化するが、従来の制御装置では、回転
数や温度がかわっても基準エアギャップ信号が一定であ
るから、完全な線形化は不可能である。また、磁気軸受
の電磁石と位置センサの幾何学的な関係については、通
常はこれらの位置が異なっているため、位置センサの出
力である検出エアギャップ信号は必ずしも電磁石とロー
タとの真のエアギャップを表わしていないが、従来の制
御装置では、位置センサの出力をそのまま電磁石とロー
タとの真のエアギャップとして制御に使用しているの
で、厳密な意味では線形化ができていない。
That is, first, when the rotor rotates, the rotor expands due to the centrifugal force, so that the reference air gap amount changes according to the number of rotations, and when the temperature of the rotor rises, the rotor expands. Although the reference air gap amount changes, the conventional control device cannot completely linearize the reference air gap signal because the reference air gap signal is constant even if the rotation speed or the temperature changes. Also, regarding the geometric relationship between the electromagnet of the magnetic bearing and the position sensor, these positions are usually different, so the detected air gap signal, which is the output of the position sensor, is not necessarily the true air gap between the electromagnet and the rotor. However, in the conventional control device, since the output of the position sensor is used as it is as a true air gap between the electromagnet and the rotor for control, linearization cannot be performed in a strict sense.

【0005】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
ロータの回転数と温度や電磁石と位置センサの幾何学的
な関係の影響を受けずに電磁石の吸引力の線形化ができ
る磁気軸受の制御装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above problems,
An object of the present invention is to provide a magnetic bearing control device capable of linearizing the attraction force of an electromagnet without being affected by the rotation speed and temperature of the rotor or the geometric relationship between the electromagnet and the position sensor.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明による磁気軸受
の制御装置は、ロータとのエアギャップの大きさを検出
する位置センサからの検出エアギャップ信号と所定の基
準エアギャップ信号とに基づいて磁気軸受の電磁石を制
御する装置であって、ロータの部分の温度を検出する温
度センサ、ロータの回転数を検出する回転センサ、温度
センサからの検出温度信号と回転センサからの検出回転
数信号に基づいて上記基準エアギャップ信号を補正する
基準エアギャップ信号補正手段、および電磁石と位置セ
ンサの幾何学的な関係に基づいて電磁石とロータとの真
のエアギャップを表わすように検出エアギャップ信号を
補正する検出エアギャップ信号補正手段を備えているこ
とを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided a magnetic bearing control apparatus which controls a magnetic bearing based on a detected air gap signal from a position sensor for detecting the size of an air gap with a rotor and a predetermined reference air gap signal. A device for controlling an electromagnet of a bearing, comprising: a temperature sensor for detecting a temperature of a rotor portion, a rotation sensor for detecting a rotation speed of a rotor, and a detection temperature signal from the temperature sensor and a detection speed signal from the rotation sensor. A reference air gap signal correcting means for correcting the reference air gap signal, and correcting the detected air gap signal to represent a true air gap between the electromagnet and the rotor based on a geometric relationship between the electromagnet and the position sensor. It is characterized by including a detected air gap signal correcting means.

【0007】[0007]

【作用】検出温度信号と検出回転数信号に基づいて基準
エアギャップ信号を補正し、電磁石と位置センサの幾何
学的な関係に基づいて電磁石とロータとの真のエアギャ
ップを表わすように検出エアギャップ信号を補正するの
で、ロータの回転数と温度や電磁石と位置センサの幾何
学的な関係の影響を受けずに電磁石の吸引力の線形化が
できる。
According to the present invention, the reference air gap signal is corrected based on the detected temperature signal and the detected rotation speed signal, and the detected air is represented so as to represent the true air gap between the electromagnet and the rotor based on the geometric relationship between the electromagnet and the position sensor. Since the gap signal is corrected, the attraction force of the electromagnet can be linearized without being affected by the rotation speed and temperature of the rotor or the geometric relationship between the electromagnet and the position sensor.

【0008】[0008]

【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】図1は、ロータ(10)を非接触状態に回転支
持する1つの磁気軸受装置のうち、ロータ(10)のアキシ
アル方向の1箇所においてこれを1つのラジアル方向
(Y軸方向)に支持するラジアル磁気軸受の制御装置の
部分を示している。なお、Y軸と直交するラジアル方向
の軸をX軸とする。
FIG. 1 shows one of the magnetic bearing devices which rotatably supports the rotor (10) in a non-contact state, at one position in the axial direction of the rotor (10) in one radial direction (Y-axis direction). 2 shows a part of a control device of a radial magnetic bearing to be supported. The axis in the radial direction orthogonal to the Y axis is defined as the X axis.

【0010】このラジアル磁気軸受は、ロータ(10)をY
軸方向の両側から挟むように配置された2つの馬蹄形の
電磁石(11)(12)を備えている。(13)(14)は、電磁石(11)
(12)のコイルである。また、(15)(16)は、ロータ(10)の
Y軸方向の変位を検出するためにロータ(10)をY軸方向
の両側から挟むように配置された2つの位置センサであ
る。(17)はロータ(10)の回転数を検出する回転センサ、
(18)は電磁石(11)(12)および位置センサ(15)(16)が設け
られているロータ(10)の部分の温度を検出する温度セン
サ、(19)(20)は電磁石(11)(12)を駆動するための電力増
幅器、(21)(22)は乗算器、(23)はバイアス電流値Ib
相当する一定電圧を発生する定電圧回路、(24)は加算
器、(25)は減算器、(26)はPID制御回路、(27)は減算
器、(28)は演算器、(29)は基準エアギャップ信号設定回
路、(30)は加算器、(31)は減算器、(32)は演算器であ
る。
In this radial magnetic bearing, the rotor (10)
It has two horseshoe-shaped electromagnets (11) and (12) arranged so as to be sandwiched from both sides in the axial direction. (13) (14) is an electromagnet (11)
This is the coil of (12). Further, (15) and (16) are two position sensors arranged so as to sandwich the rotor (10) from both sides in the Y-axis direction in order to detect the displacement of the rotor (10) in the Y-axis direction. (17) is a rotation sensor that detects the number of rotations of the rotor (10),
(18) is a temperature sensor for detecting the temperature of the portion of the rotor (10) provided with the electromagnets (11) and (12) and the position sensors (15) and (16), and (19) and (20) are the electromagnets (11). power amplifier for driving (12), (21) (22) is a multiplier, (23) a constant voltage circuit for generating a constant voltage corresponding to the bias current value I b, (24) an adder, ( 25) is a subtractor, (26) is a PID control circuit, (27) is a subtractor, (28) is a calculator, (29) is a reference air gap signal setting circuit, (30) is an adder, and (31) is A subtractor, (32) is an arithmetic unit.

【0011】ロータ(10)、電磁石(11)(12)および位置セ
ンサ(15)(16)の幾何学的な関係が、図2に示されてい
る。同図において、(O) は、Y軸とX軸が交わる原点を
表わしている。2つの位置センサ(15)(16)は、Y軸上
に、原点(O) に対して対称に配置されている。2つの電
磁石(11)(12)も原点(O) に対して対称に配置されてお
り、各電磁石(11)(12)の2つの磁極(11a)(12a)はY軸に
対して対称になっている。したがって、各電磁石(11)(1
2)の2つの磁極(11a)(12a)の位置は、対応する位置セン
サ(15)(16)に対して、円周方向に互いに反対方向に同じ
角度だけずれている。なお、原点(O) と電磁石(11)(12)
の磁極(11a)(12a)を通る直線がY軸となす角度をθで表
わすことにする。
The geometric relationship between the rotor (10), the electromagnets (11) (12) and the position sensors (15) (16) is shown in FIG. In the figure, (O) represents the origin where the Y axis and the X axis intersect. The two position sensors (15) and (16) are symmetrically arranged on the Y axis with respect to the origin (O). The two electromagnets (11) and (12) are also arranged symmetrically with respect to the origin (O), and the two magnetic poles (11a) and (12a) of each electromagnet (11) and (12) are symmetrical with respect to the Y axis. Has become. Therefore, each electromagnet (11) (1
The positions of the two magnetic poles (11a) and (12a) in (2) are shifted by the same angle in the circumferential direction opposite to each other with respect to the corresponding position sensors (15) and (16). Note that the origin (O) and the electromagnet (11) (12)
The angle formed by a straight line passing through the magnetic poles (11a) and (12a) with the Y axis is represented by θ.

【0012】2つの位置センサ(15)(16)はロータ(10)と
のY軸方向のエアギャップの大きさを検出し、これらの
出力が演算器(28)に送られる。これらの位置センサ(15)
(16)の出力すなわち検出エアギャップ信号をそれぞれY
1 およびY2 とする。ロータ(10)の位置をその中心の位
置で表わし、ロータ(10)が原点(O) にあるときの位置を
ロータ(10)の基準位置とする。ロータ(10)が基準位置に
あるとき、2つの位置センサ(15)(16)とロータ(10)との
エアギャップの大きさは互いに等しい。このときのエア
ギャップの大きさを基準エアギャップ量ということにす
る。ロータ(10)の原点(O) からのY軸方向の変位をΔY
とし、図1の下側をΔYの正方向とすると、ΔYは次式
(1) のようになる。
The two position sensors (15) and (16) detect the size of the air gap with the rotor (10) in the Y-axis direction, and their outputs are sent to a computing unit (28). These position sensors (15)
The output of (16), that is, the detected air gap signal is
1 and Y 2 . The position of the rotor (10) is represented by its center position, and the position when the rotor (10) is at the origin (O) is defined as the reference position of the rotor (10). When the rotor (10) is at the reference position, the size of the air gap between the two position sensors (15) (16) and the rotor (10) is equal to each other. The size of the air gap at this time is referred to as a reference air gap amount. The displacement in the Y-axis direction from the origin (O) of the rotor (10) is ΔY
Assuming that the lower side of FIG. 1 is the positive direction of ΔY, ΔY is given by the following equation:
It looks like (1).

【0013】ΔY=(Y1 −Y2 )/2 …(1) 演算器(28)では、第2位置センサ(16)からの検出エアギ
ャップ信号Y2 と第1位置センサ(15)からの検出エアギ
ャップ信号Y1 の差(Y2 −Y1 )が求められて、これ
が1/2倍され、その出力が減算器(27)に送られる。上
記の式(1) より、(Y2 −Y1 )は〔2×(−ΔY)〕
に等しいから、演算器(28)の出力は(−ΔY)となる。
なお、演算器(28)の出力の符号を変えた信号であるΔY
を検出変位信号ということにする。減算器(27)では、所
定の位置設定信号Ys と(−ΔY)の偏差(Ys +Δ
Y)が演算される。位置設定信号Ys は、ロータ(10)の
Y軸方向の目標位置(設定位置)すなわち原点(O) から
のロータ(10)の変位ΔYの目標値(位置設定値)を表わ
すものである。通常、ロータ(10)の設定位置は原点(O)
であり、位置設定値は0であるから、位置設定信号Ys
は0である。したがって、減算器(27)の出力すなわち検
出偏差信号はΔYとなり、検出変位信号と等しい。PI
D制御回路(26)は、検出変位信号ΔYに基づいて電磁石
(11)(12)の電流指令値Ic を求め、これを加算器(24)お
よび減算器(25)に出力する。加算器(24)は、定電圧回路
(23)からのバイアス電流値Ib と電流指令値Ic の和
(Ib +Ic )を求め、これを第1乗算器(21)に出力す
る。第1乗算器(21)では、上記加算器(24)の出力と後述
する加算器(30)の出力の積が演算され、この第1乗算器
(21)の出力に基づいて第1電力増幅器(19)によって第1
電磁石(11)のコイル(13)に流れるコイル電流が制御され
る。減算器(25)は、定電圧回路(23)からのバイアス電流
値Ib と電流指令値Ic の差(Ib −Ic )を求め、こ
れを第2乗算器(22)に出力する。第2乗算器(22)では、
上記減算器(25)の出力と後述する減算器(31)の出力の積
が演算され、この第2乗算器(22)の出力に基づいて第2
電力増幅器(20)によって第2電磁石(12)のコイル(14)に
流れるコイル電流が制御される。そして、これにより、
ロータ(10)がY軸方向の設定位置に支持されるようにな
っている。
ΔY = (Y 1 −Y 2 ) / 2 (1) In the arithmetic unit (28), the detected air gap signal Y 2 from the second position sensor (16) and the detected air gap signal Y 2 from the first position sensor (15) are obtained. The difference (Y 2 −Y 1 ) between the detected air gap signals Y 1 is obtained, multiplied by 倍, and the output is sent to the subtracter (27). From the above equation (1), (Y 2 −Y 1 ) is [2 × (−ΔY)].
Therefore, the output of the arithmetic unit (28) is (−ΔY).
ΔY which is a signal obtained by changing the sign of the output of the arithmetic unit (28)
Is referred to as a detected displacement signal. Deviation of the subtractor (27), a predetermined positioning signal Y s (-ΔY) (Y s + Δ
Y) is calculated. Position setting signal Y s is representative target position in the Y-axis direction of the rotor (10) (set position) i.e. the target value of the displacement ΔY of the rotor (10) from the origin (O) (position setting). Normally, the setting position of the rotor (10) is the origin (O)
Since the position setting value is 0, the position setting signal Y s
Is 0. Therefore, the output of the subtractor (27), that is, the detected deviation signal is ΔY, which is equal to the detected displacement signal. PI
The D control circuit (26) controls the electromagnet based on the detected displacement signal ΔY.
(11) (12) obtains a current command value I c, and outputs it to the adder (24) and a subtractor (25). The adder (24) is a constant voltage circuit
It calculates the sum (I b + I c) of the bias current value I b and the current command value I c from (23), and outputs it to a first multiplier (21). The first multiplier (21) calculates the product of the output of the adder (24) and the output of the adder (30) described later.
Based on the output of (21), the first power amplifier (19)
The coil current flowing through the coil (13) of the electromagnet (11) is controlled. Subtractor (25) obtains a difference between the bias current I b and the current command value I c from the constant voltage circuit (23) (I b -I c), and outputs it to the second multiplier (22) . In the second multiplier (22),
The product of the output of the subtractor (25) and the output of a subtractor (31) described later is calculated, and a second
The coil current flowing through the coil (14) of the second electromagnet (12) is controlled by the power amplifier (20). And this gives
The rotor (10) is supported at a set position in the Y-axis direction.

【0014】回転センサ(17)の出力すなわち検出回転数
信号Nと温度センサ(18)の出力すなわち検出温度信号T
が基準エアギャップ信号設定回路(29)に送られる。ロー
タ(10)は、回転により発生する遠心力によって径方向に
膨張し、その膨張の度合は遠心力すなわち回転数によっ
て変わる。また、ロータ(10)は、温度上昇によって径方
向に膨張し、その膨張の度合は温度によって変わる。し
たがって、回転数および温度によってロータ(10)の径が
変化し、その結果、基準エアギャップ量も変化する。基
準エアギャップ信号設定回路(29)は、検出回転数信号N
および検出温度信号Tに基づいて基準エアギャップ量を
補正し、補正した基準エアギャップ量に相当する基準エ
アギャップ信号Yo を加算器(30)および減算器(31)に出
力する。ロータ(10)の径がわかれば、基準エアギャップ
量が分かる。また、ロータ(10)の回転数および温度とロ
ータ(10)の径との間にはそれぞれ一定の関係がある。し
たがって、ロータ(10)の回転数および温度と基準エアギ
ャップ量との間にも一定の関係があり、これらの関係を
予め求めておけば、検出回転数信号Nと検出温度信号T
からそのときのロータ(10)の基準エアギャップ量を求め
ることができる。
The output of the rotation sensor (17), ie, the detected rotation speed signal N, and the output of the temperature sensor (18), ie, the detected temperature signal T
Is sent to the reference air gap signal setting circuit (29). The rotor (10) expands in the radial direction by centrifugal force generated by rotation, and the degree of the expansion changes according to the centrifugal force, that is, the number of rotations. Further, the rotor (10) expands in the radial direction due to a rise in temperature, and the degree of the expansion changes depending on the temperature. Therefore, the diameter of the rotor (10) changes according to the rotation speed and the temperature, and as a result, the reference air gap amount also changes. The reference air gap signal setting circuit (29) outputs the detected rotation speed signal N
And correcting the reference air gap amount on the basis of the detected temperature signal T, and outputs the reference air gap signals Y o which corresponds to the corrected reference air gap amount to the adder (30) and a subtractor (31). If the diameter of the rotor (10) is known, the reference air gap amount can be known. Further, there is a certain relationship between the rotation speed and temperature of the rotor (10) and the diameter of the rotor (10). Therefore, there is a certain relationship between the rotation speed and temperature of the rotor (10) and the reference air gap amount. If these relationships are obtained in advance, the detected rotation speed signal N and the detected temperature signal T
Thus, the reference air gap amount of the rotor (10) at that time can be obtained.

【0015】前記減算器(27)の出力すなわち検出変位信
号ΔYは演算器(32)にも送られ、この演算器(32)におい
てΔYが COSθ倍され、この演算器(32)の出力(ΔY×
COSθ)が加算器(30)および減算器(31)に送られる。検
出変位信号ΔYはロータ(10)のY軸方向の変位に対応し
ている。ところが、前述のように電磁石(11)(12)の磁極
(11a)(12a)の位置はY軸から円周方向にずれているの
で、検出変位信号ΔYは、磁極(11a)(12a)とロータ(10)
の間のエアギャップの変化すなわち原点(O) と磁極(11
a)(12a)を結ぶ方向のロータ(10)の変位(磁極方向変
位)には正確に対応していない。磁極方向変位をΔYM
とすると、これと検出変位信号ΔYとの間には次の式
(2) のような関係がある。
The output of the subtractor (27), that is, the detected displacement signal ΔY, is also sent to a calculator (32), where ΔY is multiplied by COSθ, and the output (ΔY) of the calculator (32) is obtained. ×
COSθ) is sent to the adder (30) and the subtractor (31). The detected displacement signal ΔY corresponds to the displacement of the rotor (10) in the Y-axis direction. However, as described above, the magnetic poles of the electromagnets (11) and (12)
(11a) Since the positions of (12a) are shifted in the circumferential direction from the Y axis, the detected displacement signal ΔY indicates that the magnetic poles (11a) (12a) and the rotor (10)
The change in the air gap between the origin (O) and the magnetic pole (11
a) The displacement (magnetic pole direction displacement) of the rotor (10) in the direction connecting (12a) does not correspond exactly. Magnetic pole direction displacement ΔY M
Then, between this and the detected displacement signal ΔY,
There is a relationship like (2).

【0016】ΔYM =ΔY× COSθ …(2) 前述の演算器(32)の出力はこの式(2) のΔYM に等し
く、この演算器(32)により、検出変位信号ΔYがロータ
(10)と磁極(1a)(2a)の真のエアギャップの変化を表わす
磁極方向変位ΔYM に補正されたことになる。なお、演
算器(32)の出力を磁極方向変位信号ΔYM ということに
する。
ΔY M = ΔY × COSθ (2) The output of the above-mentioned computing unit (32) is equal to ΔY M in the equation (2), and the detected displacement signal ΔY is calculated by the computing unit (32).
This means that the magnetic pole direction displacement ΔY M representing the change in the true air gap between (10) and the magnetic poles (1a) and (2a) has been corrected. The output of the calculator (32) is referred to as a magnetic pole direction displacement signal ΔY M.

【0017】各電磁石(11)(12)の磁極(11a)(12a)とロー
タ(10)とのエアギャップを各電磁石(11)(12)のエアギャ
ップということにし、第1電磁石(11)のエアギャップ
(第1電磁石方向エアギャップ)をYM1、第2電磁石(1
2)のエアギャップ(第2電磁石方向エアギャップ)をY
M2とすると、これらは次の式(3) および(4) のように表
わされる。
The air gap between the magnetic poles (11a) (12a) of each electromagnet (11) (12) and the rotor (10) is referred to as the air gap of each electromagnet (11) (12), and the first electromagnet (11) the air gap (first electromagnet direction air gap) the Y M1, second electromagnet (1
The air gap of 2) (air gap in the direction of the second electromagnet) is set to Y
Assuming M2 , these are represented by the following equations (3) and (4).

【0018】 YM1=Yo +ΔYM =Yo +ΔY× COSθ …(3) YM2=Yo −ΔYM =Yo −ΔY× COSθ …(4) 加算器(30)は、基準エアギャップ信号設定回路(29)から
の基準エアギャップ信号Yo と磁極方向変位信号ΔYM
の和(Yo +ΔYM )を求め、これを第1乗算器(21)に
出力する。この加算器(30)の出力(Yo +ΔYM )は上
記の式(3) のYM1と等しく、第1乗算器(21)では、前述
のように、この加算器(30)の出力(Yo+ΔYM )と前
記加算器(24)の出力(Ib +Ic )の積が演算され、こ
れに基づいて第1電力増幅器(19)によって第1電磁石(1
1)が制御される。減算器(31)は、基準エアギャップ信号
設定回路(29)からの基準エアギャップ信号Yo と磁極方
向変位信号ΔYM の差(Yo −ΔYM )を求め、これを
第2乗算器(22)に出力する。この減算器(31)の出力(Y
o −ΔYM )は上記の式(4) のYM2と等しく、第2乗算
器(22)では、前述のように、この減算器(31)の出力(Y
o −ΔYM )と前記減算器(25)の出力(Ib −Ic )の
積が演算され、これに基づいて第2電力増幅器(20)によ
って第2電磁石(12)が制御される。
[0018] Y M1 = Y o + ΔY M = Y o + ΔY × COSθ ... (3) Y M2 = Y o -ΔY M = Y o -ΔY × COSθ ... (4) adders (30), the reference air gap signal reference air gap signal Y o and the magnetic pole direction displacement signal [Delta] Y M from the setting circuit (29)
(Y o + ΔY M ), and outputs this to the first multiplier (21). The output (Y o + ΔY M ) of the adder (30) is equal to Y M1 of the above equation (3), and the first multiplier (21) outputs the output (Y o + ΔY M ) of the adder (30) as described above. Y o + ΔY M ) and the output (I b + I c ) of the adder (24) are calculated, and based on this, the first electromagnet (1) is output by the first power amplifier (19).
1) is controlled. Subtractor (31) calculates the difference between the reference air gap signal Y o and the magnetic pole direction displacement signal [Delta] Y M from the reference air gap signal setting circuit (29) (Y o -ΔY M ), which second multiplier ( Output to 22). The output of the subtracter (31) (Y
o −ΔY M ) is equal to Y M2 in the above equation (4), and the second multiplier (22) outputs the output (Y
o −ΔY M ) and the output (I b −I c ) of the subtracter (25) are calculated, and based on this, the second power amplifier (20) controls the second electromagnet (12).

【0019】このような制御を行なうことにより、前記
特開昭59−113315号公報に記載された発明の場
合と同様に、電力増幅器(19)(20)の出力すなわち電磁石
(11)(12)の制御指令信号と発生吸引力の関係を線形化す
ることができる。また、この際に、ロータ(10)の回転数
と温度によって基準エアギャップ信号Yo が補正される
とともに、ロータ(10)と電磁石(11)(12)の幾何学的な関
係に基づいて検出変位信号ΔYが磁極方向変位信号ΔY
M に補正され、これらYo およびΔYM から2つの電磁
石(11)(12)のエアギャップYM1、YM2が求められるの
で、ロータ(10)の回転数および温度や、ロータ(10)と電
磁石(11)(12)の幾何学的な関係の影響を受けずに、正確
に電磁石(11)(12)の吸引力の線形化ができる。
By performing such control, the outputs of the power amplifiers (19) and (20), that is, the electromagnets are controlled in the same manner as in the case of the invention described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-113315.
(11) The relationship between the control command signal in (12) and the generated suction force can be linearized. At this time, the reference air gap signal Yo is corrected based on the rotation speed and the temperature of the rotor (10), and is detected based on the geometric relationship between the rotor (10) and the electromagnets (11) and (12). The displacement signal ΔY is the magnetic pole direction displacement signal ΔY.
M and the air gaps Y M1 and Y M2 of the two electromagnets (11) and (12) are obtained from these Yo and ΔY M , so that the rotation speed and temperature of the rotor (10) and the rotor (10) and The attraction force of the electromagnets (11) and (12) can be accurately linearized without being affected by the geometric relationship between the electromagnets (11) and (12).

【0020】この位置におけるロータ(10)のX軸方向の
支持も、上記と同様に行なわれる。また、ロータ(10)
は、アキシアル方向の他の位置においても、Y軸方向の
ラジアル磁気軸受とX軸方向のラジアル磁気軸受によっ
てラジアル方向に支持されている。さらに、ロータ(10)
は、適当なアキシアル磁気軸受によってアキシアル方向
に支持されている。
The support of the rotor 10 in the X-axis direction at this position is performed in the same manner as described above. In addition, rotor (10)
Is radially supported by a radial magnetic bearing in the Y-axis direction and a radial magnetic bearing in the X-axis direction at other positions in the axial direction. In addition, the rotor (10)
Are supported in the axial direction by a suitable axial magnetic bearing.

【0021】図3および図4は、Y軸方向のラジアル磁
気軸受の制御装置の他の1例を示している。図3はロー
タ(10)の部分の機械的構成の1例を示し、図4はその電
気的構成の1例を示している。なお、図3および図4に
おいて、図1および図2のものと同じものには同一の符
号を付している。
FIGS. 3 and 4 show another example of the control device for the radial magnetic bearing in the Y-axis direction. FIG. 3 shows an example of the mechanical configuration of the rotor (10), and FIG. 4 shows an example of the electrical configuration. In FIGS. 3 and 4, the same components as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.

【0022】図3に示すように、このラジアル磁気軸受
は、ロータ(10)のY軸方向の両側に2つずつ配置された
合計4つの馬蹄形の電磁石(33)(34)(35)(36)を備えてい
る。2つの位置センサ(15)(16)は、前記実施例の場合と
同様、Y軸上に、原点(O) に対して対称に配置されてい
る。片側の第1電磁石(33)と第2電磁石(34)は、Y軸に
対して対称になるように円周方向に少し離して配置され
ている。同様に、反対側の第3磁気軸受(35)と第4磁気
軸受(36)も、Y軸に対して対称になるように円周方向に
少し離して配置されている。なお、原点(O) と各電磁石
(33)〜(36)の中心を通る直線がY軸となす角度をαで表
わすことにする。この位置には、X軸方向のラジアル磁
気軸受も設けられているが、図3には、そのうち、ロー
タ(10)のX軸方向の変位を検出するための2つの位置セ
ンサ(37)(38)だけが示されている。これらの位置センサ
(37)(38)は、X軸上に、原点(O) に対して対称に配置さ
れている。
As shown in FIG. 3, this radial magnetic bearing has a total of four horseshoe-shaped electromagnets (33), (34), (35), (36) arranged two on each side of the rotor (10) in the Y-axis direction. ). The two position sensors (15) and (16) are arranged symmetrically with respect to the origin (O) on the Y-axis as in the case of the above embodiment. The first electromagnet (33) and the second electromagnet (34) on one side are arranged slightly apart in the circumferential direction so as to be symmetric with respect to the Y axis. Similarly, the third magnetic bearing (35) and the fourth magnetic bearing (36) on the opposite side are also slightly spaced in the circumferential direction so as to be symmetric with respect to the Y axis. The origin (O) and each electromagnet
The angle between a straight line passing through the centers of (33) to (36) and the Y axis is represented by α. At this position, a radial magnetic bearing in the X-axis direction is also provided. FIG. 3 shows two position sensors (37) and (38) for detecting displacement of the rotor (10) in the X-axis direction. ) Are only shown. These position sensors
(37) and (38) are arranged symmetrically with respect to the origin (O) on the X axis.

【0023】図4において、X軸方向のラジアル磁気軸
受の2つの位置センサ(37)(38)の出力が、演算器(39)に
送られる。これらの位置センサ(37)(38)は、ロータ(10)
とのX軸方向のエアギャップの大きさを検出する。これ
らの位置センサ(37)(38)の出力すなわち検出エアギャッ
プ信号をそれぞれX1 およびX2 とする。ロータ(10)の
X軸方向の位置をY軸方向の位置と同じように表わすこ
とにし、ロータ(10)の原点(O) からのX軸方向の変位を
ΔXとし、図3の右側をΔXの正方向とすると、ΔXは
次の式(5) のようになる。
In FIG. 4, outputs of the two position sensors (37) and (38) of the radial magnetic bearing in the X-axis direction are sent to a calculator (39). These position sensors (37) (38)
Is detected in the X-axis direction. The output of these position sensors (37) (38) i.e. a detection air-gap signal respectively to X 1 and X 2. The position of the rotor (10) in the X-axis direction is represented in the same manner as the position in the Y-axis direction, the displacement of the rotor (10) in the X-axis direction from the origin (O) is represented by ΔX, and the right side of FIG. In the positive direction, ΔX is given by the following equation (5).

【0024】ΔX=(X1 −X2 )/2 …(5) 演算器(39)では、X軸第2位置センサ(38)からの検出エ
アギャップ信号X2 とX軸第1位置センサ(37)からの検
出エアギャップ信号X1 の差(X2 −X1 )が求められ
て、これが1/2倍され、その出力が減算器(40)に送ら
れる。上記の式(3) より、(X2 −X1 )は〔2×(−
ΔX)〕に等しいから、演算器(39)の出力は(−ΔX)
となる。なお、演算器(39)の出力の符号を変えた信号で
あるΔXを検出変位信号ということにする。減算器(40)
では、所定の位置設定信号Xs と(−ΔX)の偏差(X
s +ΔX)が演算される。位置設定信号Xs は、ロータ
(10)のX軸方向の目標位置(設定位置)すなわち原点
(O) からのロータ(10)のX軸方向の変位ΔXの目標値
(位置設定値)を表わすものである。通常、ロータ(10)
の設定位置は原点(O) であり、位置設定値は0であるか
ら、位置設定信号Xs は0である。したがって、減算器
(40)の出力すなわち検出偏差信号はΔXとなり、検出変
位信号と等しい。
ΔX = (X 1 −X 2 ) / 2 (5) In the calculator (39), the detected air gap signal X 2 from the X-axis second position sensor (38) and the X-axis first position sensor ( The difference (X 2 −X 1 ) of the detected air gap signal X 1 from (37) is obtained, multiplied by 倍, and the output is sent to the subtractor (40). From the above equation (3), (X 2 −X 1 ) is [2 × (−
ΔX)], the output of the computing unit (39) is (−ΔX)
Becomes Note that ΔX which is a signal obtained by changing the sign of the output of the arithmetic unit (39) is referred to as a detected displacement signal. Subtractor (40)
In a deviation of a predetermined position setting signal X s (-ΔX) (X
s + ΔX) is calculated. Position setting signal X s, the rotor
The target position (set position) in the X-axis direction of (10), that is, the origin
(O) represents the target value (position setting value) of the displacement ΔX of the rotor (10) in the X-axis direction from (O). Usually rotor (10)
Set position of an origin (O), because the position setting value is 0, the position setting signal X s is 0. Therefore, the subtractor
The output of (40), that is, the detected deviation signal is ΔX, which is equal to the detected displacement signal.

【0025】加算器(24)の出力(Ib +Ic )は、第1
乗算器(41)と第3乗算器(43)に送られる。減算器(25)の
出力(Ib −Ic )は、第2乗算器(42)と第4乗算器(4
4)に送られる。
The output (I b + I c ) of the adder (24) is the first
The signal is sent to the multiplier (41) and the third multiplier (43). Subtractor (25) output (I b -I c) a second multiplier (42) and the fourth multiplier (4
Sent to 4).

【0026】基準エアギャップ信号設定回路(29)は、前
記同様、回転センサ(17)からの検出回転数信号Nと温度
センサ(18)からの検出温度信号Tに基づいて、基準エア
ギャップ量を補正し、基準エアギャップ信号Yo を加算
器(45)(46)および減算器(47)(48)に出力する。
As described above, the reference air gap signal setting circuit (29) calculates the reference air gap amount based on the detected rotation speed signal N from the rotation sensor (17) and the detected temperature signal T from the temperature sensor (18). After the correction, the reference air gap signal Yo is output to the adders (45) and (46) and the subtractors (47) and (48).

【0027】減算器(27)の出力である検出変位信号ΔY
は演算器(49)に送られ、ここでΔYが COSα倍され、こ
の演算器(49)の出力(ΔY× COSα)が減算器(50)およ
び加算器(51)に送られる。減算器(40)の出力であるX軸
検出変位信号ΔXは演算器(52)に送られ、ここでΔXが
COSβ倍され、この演算器(52)の出力(ΔX× COSβ)
が上記減算器(50)および加算器(51)に送られる。なお、
角度βは、(90°−α)を表わす。
The detected displacement signal ΔY which is the output of the subtracter (27)
Is sent to a computing unit (49), where ΔY is multiplied by COSα, and the output (ΔY × COSα) of this computing unit (49) is sent to a subtractor (50) and an adder (51). The X-axis detection displacement signal ΔX, which is the output of the subtracter (40), is sent to the calculator (52), where ΔX is
Multiplied by COSβ, and the output of this calculator (52) (ΔX × COSβ)
Is sent to the subtractor (50) and the adder (51). In addition,
The angle β represents (90 ° −α).

【0028】電磁石(33)〜(36)の位置はY軸から円周方
向にずれているので、各電磁石(33)〜(36)とロータ(10)
との間の実際のエアギャップの大きさは検出変位信号Δ
Yには正確に対応していない。各電磁石(33)〜(36)の中
心線上におけるロータ(10)とのエアギャップを各電磁石
(33)〜(36)のエアギャップということにし、第1電磁石
(33)のエアギャップ(第1電磁石方向エアギャップ)を
M1、第2電磁石(34)のエアギャップ(第2電磁石方向
エアギャップ)をYM2、第3電磁石(35)のエアギャップ
(第3電磁石方向エアギャップ)をYM3、第4電磁石(3
6)のエアギャップ(第4電磁石方向エアギャップ)をY
M4とすると、これらは次の式(6) 〜(9)のように表わさ
れる。
Since the positions of the electromagnets (33) to (36) are shifted in the circumferential direction from the Y axis, each of the electromagnets (33) to (36) and the rotor (10)
The magnitude of the actual air gap between
Y does not correspond exactly. The air gap with the rotor (10) on the center line of each of the electromagnets (33) to (36) is
(33) to (36), the first electromagnet
The air gap (air gap in the first electromagnet direction) of (33) is Y M1 , the air gap of the second electromagnet (34) is Y M2 , the air gap of the third electromagnet (35) is (Y). The third electromagnet direction air gap) is Y M3 , and the fourth electromagnet (3
6) Air gap (fourth electromagnet direction air gap) is set to Y
Assuming M4 , these are represented by the following equations (6) to (9).

【0029】 YM1=Yo +ΔY× COSα−ΔX× COSβ …(6) YM2=Yo +ΔY× COSα+ΔX× COSβ …(7) YM3=Yo −ΔY× COSα+ΔX× COSβ …(8) YM4=Yo −ΔY× COSα−ΔX× COSβ …(9) 前述の減算器(50)では、演算器(49)の出力(ΔY× COS
α)と演算器(52)の出力(ΔX× COSβ)の差(ΔY×
COSα−ΔX× COSβ)が演算され、これが加算器(45)
および減算器(47)に送られる。加算器(45)では、基準エ
アギャップ信号Yo と減算器(50)の出力(ΔY× COSα
−ΔX× COSβ)の和(Yo +ΔY× COSα−ΔX× C
OSβ)が演算され、これが第1乗算器(41)に送られる。
この加算器(45)の出力(Yo +ΔY× COSα−ΔX× C
OSβ)は上記の式(6) のYM1と等しく、第1乗算器(41)
では、このYM1と前記加算器(24)の出力(Ib +Ic
の積が演算され、これに基づいて第1電力増幅器(53)に
よって第1電磁石(33)が制御される。減算器(47)では、
基準エアギャップ信号Yo と減算器(50)の出力(ΔY×
COSα−ΔX× COSβ)の差(Yo −ΔY× COSα+Δ
X× COSβ)が演算され、これが第3乗算器(43)に送ら
れる。この減算器(47)の出力(Yo −ΔY×COSα+Δ
X× COSβ)は上記の式(8) のYM3と等しく、第3乗算
器(43)では、このYM3と前記加算器(24)の出力(Ib
c )の積が演算され、これに基づいて第3電力増幅器
(55)によって第3電磁石(35)が制御される。前述の加算
器(51)では、演算器(49)の出力(ΔY× COSα)と演算
器(52)の出力(ΔX× COSβ)の和(ΔY× COSα+Δ
X× COSβ)が演算され、これが加算器(46)および減算
器(48)に送られる。加算器(46)では、基準エアギャップ
信号Yo と加算器(51)の出力(ΔY× COSα+ΔX× C
OSβ)の和(Yo +ΔY× COSα+ΔX× COSβ)が演
算され、これが第2乗算器(42)に送られる。この加算器
(46)の出力(Yo+ΔY× COSα+ΔX× COSβ)は上
記の式(7) のYM2と等しく、第2乗算器(42)では、この
M2と前記減算器(25)の出力(Ib −Ic )の積が演算
され、これに基づいて第2電力増幅器(54)によって第2
電磁石(34)が制御される。減算器(48)では、基準エアギ
ャップ信号Yo と加算器(51)の出力(ΔY× COSα+Δ
X×COSβ)の差(Yo −ΔY× COSα−ΔX× COS
β)が演算され、これが第4乗算器(44)に送られる。こ
の減算器(48)の出力(Yo −ΔY× COSα−ΔX× COS
β)は上記の式(9) のYM4と等しく、第4乗算器(44)で
は、このYM4と前記減算器(25)の出力(Ib −Ic )の
積が演算され、これに基づいて第4電力増幅器(56)によ
って第4電磁石(36)が制御される。
[0029] Y M1 = Y o + ΔY × COSα-ΔX × COSβ ... (6) Y M2 = Y o + ΔY × COSα + ΔX × COSβ ... (7) Y M3 = Y o -ΔY × COSα + ΔX × COSβ ... (8) Y M4 = Y o −ΔY × COSα−ΔX × COSβ (9) In the subtractor (50), the output of the arithmetic unit (49) (ΔY × COS
α) and the output (ΔX × COSβ) of the arithmetic unit (52) (ΔY ×
COSα−ΔX × COSβ) is calculated, and this is added to the adder (45).
And sent to the subtractor (47). The adder (45), the reference air gap signal Y o a subtractor output (50) ([Delta] Y × cos [alpha]
−ΔX × COSβ) (Y o + ΔY × COSα−ΔX × C
OSβ) is calculated, and this is sent to the first multiplier (41).
The output of the adder (45) (Y o + ΔY × COSα−ΔX × C
OSβ) is equal to Y M1 in the above equation (6), and the first multiplier (41)
Now, this Y M1 and the output of the adder (24) (I b + I c )
Is calculated, and based on this, the first electromagnet (33) is controlled by the first power amplifier (53). In the subtractor (47),
The reference air gap signal Yo and the output of the subtractor (50) (ΔY ×
COSα-ΔX × COSβ difference of) (Y o -ΔY × COSα + Δ
X × COSβ) is calculated and sent to the third multiplier (43). The output of this subtracter (47) (Y o −ΔY × COSα + Δ
X × COSβ) is equal to Y M3 in the above equation (8). In the third multiplier (43), this Y M3 and the output of the adder (24) (I b +
I c ) is calculated, and based on this, the third power amplifier is calculated.
The third electromagnet (35) is controlled by (55). In the adder (51), the sum (ΔY × COSα + Δ) of the output (ΔY × COSα) of the arithmetic unit (49) and the output (ΔX × COSβ) of the arithmetic unit (52) is obtained.
X × COSβ) is calculated and sent to the adder (46) and the subtractor (48). The adder (46), the output of the reference air gap signal Y o adder (51) (ΔY × COSα + ΔX × C
OSβ) is calculated (Y o + ΔY × COSα + ΔX × COSβ), which is sent to the second multiplier (42). This adder
The output of (46) (Y o + ΔY × COSα + ΔX × COSβ) is equal to Y M2 in the above equation (7). In the second multiplier (42), this Y M2 and the output of the subtractor (25) (I b− I c ) is calculated, and based on this, the second power amplifier 54
The electromagnet (34) is controlled. Subtractor (48), the reference air gap signal Y o an adder output (51) (ΔY × COSα + Δ
Difference X × COSβ) (Y o -ΔY × COSα-ΔX × COS
β) is calculated and sent to a fourth multiplier (44). The output of this subtracter (48) (Y o -ΔY × COS α−ΔX × COS
β) is equal to Y M4 in the above equation (9), and the fourth multiplier (44) calculates the product of Y M4 and the output (I b −I c ) of the subtracter (25). The fourth electromagnet (36) is controlled by the fourth power amplifier (56) based on.

【0030】この場合も、上記のような制御を行なうこ
とにより、電力増幅器(53)〜(56)の出力すなわち電磁石
(33)〜(36)の制御指令信号と発生吸引力の関係を線形化
することができる。そして、ロータ(10)の回転数と温度
によって補正された基準エアギャップ信号Yo と、ロー
タ(10)と電磁石(33)〜(36)の幾何学的な関係とに基づい
て4つの電磁石(33)〜(36)のエアギャップYM1、YM2
M3、YM4が求められるので、ロータ(10)の回転数およ
び温度や、ロータ(10)と電磁石(33)〜(36)の幾何学的な
関係の影響を受けずに、正確に電磁石(33)〜(36)の吸引
力の線形化ができる。
Also in this case, by performing the above control, the outputs of the power amplifiers (53) to (56),
The relationship between the control command signals (33) to (36) and the generated suction force can be linearized. Then, a reference air gap signal Y o corrected by the rotational speed and the temperature of the rotor (10), the rotor (10) and an electromagnet (33) - on the basis of the geometric relationship of (36) four electromagnets ( 33)-(36) Air gaps Y M1 , Y M2 ,
Since Y M3 and Y M4 are obtained, the electromagnet can be accurately determined without being affected by the rotation speed and temperature of the rotor (10) and the geometrical relationship between the rotor (10) and the electromagnets (33) to (36). (33)-(36) The suction force can be linearized.

【0031】他は、図1および図2の場合と同様であ
る。
The other points are the same as those in FIGS. 1 and 2.

【0032】[0032]

【発明の効果】この発明の磁気軸受の制御装置によれ
ば、上述のように、ロータの回転数と温度や電磁石と位
置センサの幾何学的な関係の影響を受けずに電磁石の吸
引力の線形化ができる。
According to the magnetic bearing control device of the present invention, as described above, the attractive force of the electromagnet is not affected by the rotational speed and temperature of the rotor and the geometrical relationship between the electromagnet and the position sensor. Can be linearized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例を示すラジアル磁気軸受の制
御装置の主要部の電気ブロック図である。
FIG. 1 is an electric block diagram of a main part of a control device for a radial magnetic bearing according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のロータの部分を拡大して示す正面図であ
る。
FIG. 2 is an enlarged front view showing a part of the rotor of FIG. 1;

【図3】この発明の他の実施例を示すラジアル磁気軸受
の制御装置のロータの部分の正面図である。
FIG. 3 is a front view of a rotor portion of a control device for a radial magnetic bearing according to another embodiment of the present invention.

【図4】図3の制御装置の電気的構成を示すブロック図
である。
FIG. 4 is a block diagram showing an electrical configuration of the control device shown in FIG. 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

(10) ロータ (11) 第1電磁石 (12) 第2電磁石 (15) 第1位置センサ (16) 第2位置センサ (17) 回転センサ (18) 温度センサ (29) 基準エアギャップ信号設定回路 (32) 演算器 (33) 第1電磁石 (34) 第2電磁石 (35) 第3電磁石 (36) 第4電磁石 (49) 演算器 (50) 減算器 (51) 加算器 (52) 演算器 (10) Rotor (11) First electromagnet (12) Second electromagnet (15) First position sensor (16) Second position sensor (17) Rotation sensor (18) Temperature sensor (29) Reference air gap signal setting circuit ( 32) Computing unit (33) First electromagnet (34) Second electromagnet (35) Third electromagnet (36) Fourth electromagnet (49) Computing unit (50) Subtractor (51) Adder (52) Computing unit

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ロータとのエアギャップの大きさを検出す
る位置センサからの検出エアギャップ信号と所定の基準
エアギャップ信号とに基づいて磁気軸受の電磁石を制御
する装置であって、 ロータの部分の温度を検出する温度センサ、ロータの回
転数を検出する回転センサ、温度センサからの検出温度
信号と回転センサからの検出回転数信号に基づいて上記
基準エアギャップ信号を補正する基準エアギャップ信号
補正手段、および電磁石と位置センサの幾何学的な関係
に基づいて電磁石とロータとの真のエアギャップを表わ
すように検出エアギャップ信号を補正する検出エアギャ
ップ信号補正手段を備えていることを特徴とする磁気軸
受の制御装置。
An apparatus for controlling an electromagnet of a magnetic bearing on the basis of a detected air gap signal from a position sensor for detecting the size of an air gap with a rotor and a predetermined reference air gap signal. Temperature sensor that detects the temperature of the rotor, a rotation sensor that detects the rotation speed of the rotor, a reference air gap signal correction that corrects the reference air gap signal based on a detected temperature signal from the temperature sensor and a detected rotation speed signal from the rotation sensor Means, and a detection air gap signal correction means for correcting a detection air gap signal so as to represent a true air gap between the electromagnet and the rotor based on a geometric relationship between the electromagnet and the position sensor. Magnetic bearing control device.
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