JP3182103B2 - 超音波加工装置における液中超音波の測定方法及び装置 - Google Patents
超音波加工装置における液中超音波の測定方法及び装置Info
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- JP3182103B2 JP3182103B2 JP33150096A JP33150096A JP3182103B2 JP 3182103 B2 JP3182103 B2 JP 3182103B2 JP 33150096 A JP33150096 A JP 33150096A JP 33150096 A JP33150096 A JP 33150096A JP 3182103 B2 JP3182103 B2 JP 3182103B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄装置やエッチ
ング装置、現像・剥離装置等の超音波加工装置において
使用される超音波の動作状況を実地に測定するための、
液中超音波の測定方法及び装置に関するものである。
ング装置、現像・剥離装置等の超音波加工装置において
使用される超音波の動作状況を実地に測定するための、
液中超音波の測定方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、洗浄装置やエッチング装置、現
像・剥離装置等においては、効果を高めるために超音波
を使用することが多く、槽に付設した超音波照射装置か
ら液中に向けて超音波を照射している。このとき、照射
した超音波が期待通りの動作をしているか否かを確認す
る必要があるが、そのための手段として従来より最も普
及しているものが、アルミ箔を液中に浸漬する方法であ
る。これは、超音波により形成されるキャビテーション
の崩壊によってアルミ箔に穴が開くことを利用したもの
で、その穴の開き具合を目視することによって感覚的に
超音波の動作状況を知ることができる。
像・剥離装置等においては、効果を高めるために超音波
を使用することが多く、槽に付設した超音波照射装置か
ら液中に向けて超音波を照射している。このとき、照射
した超音波が期待通りの動作をしているか否かを確認す
る必要があるが、そのための手段として従来より最も普
及しているものが、アルミ箔を液中に浸漬する方法であ
る。これは、超音波により形成されるキャビテーション
の崩壊によってアルミ箔に穴が開くことを利用したもの
で、その穴の開き具合を目視することによって感覚的に
超音波の動作状況を知ることができる。
【０００３】ところが、このアルミ箔を使用する方法
は、超音波の周波数が高くなるほどキャビテーションが
小さくなって穴が開きにくくなるため、使用できる周波
数の範囲が狭いという欠点がある。具体的には、５０ｋ
Ｈｚ程度までの周波数には有効であるが、それより高い
周波数の超音波には使用することができない。また、穴
が開くときに千切れるアルミ箔の破片で液が汚染される
という問題もある。
は、超音波の周波数が高くなるほどキャビテーションが
小さくなって穴が開きにくくなるため、使用できる周波
数の範囲が狭いという欠点がある。具体的には、５０ｋ
Ｈｚ程度までの周波数には有効であるが、それより高い
周波数の超音波には使用することができない。また、穴
が開くときに千切れるアルミ箔の破片で液が汚染される
という問題もある。
【０００４】一方、アルミ箔を使用しない他の測定手段
として、ガラスや石英等からなる支持棒の先に圧電性の
あるピエゾゴムを取り付けた測定器が知られている。こ
の測定器は、支持棒の先端のピエゾゴムを液中に浸漬さ
せると、該ピエゾゴムが超音波により振動して発電する
ため、その出力電圧から超音波の動作状態を知ることが
できるものである。
として、ガラスや石英等からなる支持棒の先に圧電性の
あるピエゾゴムを取り付けた測定器が知られている。こ
の測定器は、支持棒の先端のピエゾゴムを液中に浸漬さ
せると、該ピエゾゴムが超音波により振動して発電する
ため、その出力電圧から超音波の動作状態を知ることが
できるものである。
【０００５】しかしながら、上記測定器は、電歪素子
（ピエゾゴム）を液中に直接浸漬させるものであるた
め、該電歪素子の腐食や変質等を生じ、それに伴う精度
低下も来し易い。しかも、電歪素子に伝わる振動であれ
ば、超音波でもキャビテーションの崩壊振動でも全て検
知し、電気信号に変換してしまうため、測定データの中
に多くのノイズが含まれることになり、測定精度が悪い
という欠点もある。
（ピエゾゴム）を液中に直接浸漬させるものであるた
め、該電歪素子の腐食や変質等を生じ、それに伴う精度
低下も来し易い。しかも、電歪素子に伝わる振動であれ
ば、超音波でもキャビテーションの崩壊振動でも全て検
知し、電気信号に変換してしまうため、測定データの中
に多くのノイズが含まれることになり、測定精度が悪い
という欠点もある。
【０００６】そこで最近では、上記ピエゾゴムを液中に
浸漬させないで、支持棒の方を浸漬させるやり方も行わ
れているが、この方法は、支持棒の共振をピエゾゴムが
間接的に受けて発電することになるため、支持棒の共振
状態による影響を受け易く、支持棒の共振状態は超音波
の強度（周波数）等によって異なることが多いため、異
なる周波数の超音波を精度良く比較測定することができ
ない。
浸漬させないで、支持棒の方を浸漬させるやり方も行わ
れているが、この方法は、支持棒の共振をピエゾゴムが
間接的に受けて発電することになるため、支持棒の共振
状態による影響を受け易く、支持棒の共振状態は超音波
の強度（周波数）等によって異なることが多いため、異
なる周波数の超音波を精度良く比較測定することができ
ない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主たる技術的
課題は、超音波加工装置において液中に照射される超音
波の動作状況を簡単且つクリーンに精度良く測定するこ
とができる、簡易な測定手段を提供することにある。本
発明の他の技術的課題は、小形で取り扱い及び携帯に便
利な液中超音波の測定手段を提供することにある。
課題は、超音波加工装置において液中に照射される超音
波の動作状況を簡単且つクリーンに精度良く測定するこ
とができる、簡易な測定手段を提供することにある。本
発明の他の技術的課題は、小形で取り扱い及び携帯に便
利な液中超音波の測定手段を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、基端部よりも先端部の断面が大き
いホーンと、該ホーンの基端部に取り付けられた電歪素
子と、該電歪素子からの電気信号を超音波に関する情報
として表示するための表示手段とを有する測定装置が提
供される。
め、本発明によれば、基端部よりも先端部の断面が大き
いホーンと、該ホーンの基端部に取り付けられた電歪素
子と、該電歪素子からの電気信号を超音波に関する情報
として表示するための表示手段とを有する測定装置が提
供される。
【０００９】上記測定装置による液中の超音波の測定
は、上記ホーンの先端部を液中に浸漬させて超音波を集
音すると共に増幅し、増幅した超音波を上記電歪素子で
電気信号に変換し、表示手段により上記電歪素子の発電
量に応じた情報として表示することにより行われる。
は、上記ホーンの先端部を液中に浸漬させて超音波を集
音すると共に増幅し、増幅した超音波を上記電歪素子で
電気信号に変換し、表示手段により上記電歪素子の発電
量に応じた情報として表示することにより行われる。
【００１０】このような本発明によれば、ホーンで液中
の超音波を増幅した状態で集音し、増幅したものを電歪
素子で電気信号に変換することにより、液中の超音波を
簡単且つ確実にしかも精度良く測定することができる。
また、電歪素子を直接液に浸漬しないため、液を汚染し
たり、電歪素子の腐食や変質等を来すこともない。
の超音波を増幅した状態で集音し、増幅したものを電歪
素子で電気信号に変換することにより、液中の超音波を
簡単且つ確実にしかも精度良く測定することができる。
また、電歪素子を直接液に浸漬しないため、液を汚染し
たり、電歪素子の腐食や変質等を来すこともない。
【００１１】本発明の好ましい具体的な実施態様によれ
ば、上記測定装置が、ホーンと、電歪素子と、これらの
ホーン及び電歪素子を液密に覆うカバーと、該カバーに
取り付けられた表示手段としての表示ランプとを有し、
全体が携帯可能な大きさに一体化されている。このよう
に構成された測定装置は、小形で携帯に便利であるばか
りでなく、取り扱いも簡単で、工場内を持ち歩いて必要
な場所での測定を直ちに行うことができる。
ば、上記測定装置が、ホーンと、電歪素子と、これらの
ホーン及び電歪素子を液密に覆うカバーと、該カバーに
取り付けられた表示手段としての表示ランプとを有し、
全体が携帯可能な大きさに一体化されている。このよう
に構成された測定装置は、小形で携帯に便利であるばか
りでなく、取り扱いも簡単で、工場内を持ち歩いて必要
な場所での測定を直ちに行うことができる。
【００１２】本発明の一つの具体的な構成態様によれ
ば、上記電歪素子が、一対の金属ブロック間に絶縁部材
を介して挟持され、一方の金属ブロックをホーンの基端
面に当接させた状態でこれらの金属ブロック及び電歪素
子をボルトでホーンに固定することにより、上記金属ブ
ロックを介して該ホーンに取り付けられている。本発明
の他の具体的な構成態様によれば、上記電歪素子がホー
ンの基端面に直接固定されている。
ば、上記電歪素子が、一対の金属ブロック間に絶縁部材
を介して挟持され、一方の金属ブロックをホーンの基端
面に当接させた状態でこれらの金属ブロック及び電歪素
子をボルトでホーンに固定することにより、上記金属ブ
ロックを介して該ホーンに取り付けられている。本発明
の他の具体的な構成態様によれば、上記電歪素子がホー
ンの基端面に直接固定されている。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る測定装置を概
念的に示すもので、この測定装置１は、液中の超音波を
集音し且つ増幅するためのホーン２と、該ホーン２で集
音した超音波を電気信号に変換する変換部３と、該変換
部３からの電気信号を目視情報に変換して表示するため
の表示手段４とを有し、これらが携帯可能なるように構
成されている。
念的に示すもので、この測定装置１は、液中の超音波を
集音し且つ増幅するためのホーン２と、該ホーン２で集
音した超音波を電気信号に変換する変換部３と、該変換
部３からの電気信号を目視情報に変換して表示するため
の表示手段４とを有し、これらが携帯可能なるように構
成されている。
【００１４】上記ホーン２は、基端部よりも先端部の断
面が拡大したラッパ形をしており、これをステンレスや
アルミニウム等の軽量で腐食しにくい金属素材や、ガラ
スや水晶のような硬質の非金属素材等により形成したも
のである。これらの素材を使用することにより、性能の
ばらつきが少なく且つ耐久性に富んだホーンを得ること
ができる。
面が拡大したラッパ形をしており、これをステンレスや
アルミニウム等の軽量で腐食しにくい金属素材や、ガラ
スや水晶のような硬質の非金属素材等により形成したも
のである。これらの素材を使用することにより、性能の
ばらつきが少なく且つ耐久性に富んだホーンを得ること
ができる。
【００１５】上記変換部３は、超音波を受けて振動する
ホーン２の振動を電歪素子で電気信号に変換するもの
で、図２又は図３のように構成されている。
ホーン２の振動を電歪素子で電気信号に変換するもの
で、図２又は図３のように構成されている。
【００１６】即ち、図２に示す変換部３Ａは、円柱状を
した第１及び第２の一対の金属ブロック６ａ，６ｂ間
に、両面に電極８ａ，８ｂを備えた円板形の電歪素子７
を、電気絶縁部材を介して挟持させたもので、第１の金
属ブロック６ａをホーン２の基端面２ａのスタッドボル
ト１０に螺着すると共に、第２の金属ブロック６ｂ側か
ら両金属ブロック６ａ，６ｂと電歪素子７とを貫通する
締付ボルト１１を上記スタッドボルト１０に螺着して締
め付けることにより、上記ホーン２の基端面２ａに取り
付けられている。従って上記電歪素子７は、第１の金属
ブロック６ａを介してホーン２の基端面に取り付けられ
ている。この場合、第１の金属ブロック６ａはホーン２
の基端面２ａに密着していることが重要であり、これに
より、ホーン２の振動を該第１の金属ブロック６ａを介
して電歪素子７に確実に伝えることができる。なお、図
中１２ａ，１２ｂは、電歪素子７からの電気信号を取り
出すための端子を示している。
した第１及び第２の一対の金属ブロック６ａ，６ｂ間
に、両面に電極８ａ，８ｂを備えた円板形の電歪素子７
を、電気絶縁部材を介して挟持させたもので、第１の金
属ブロック６ａをホーン２の基端面２ａのスタッドボル
ト１０に螺着すると共に、第２の金属ブロック６ｂ側か
ら両金属ブロック６ａ，６ｂと電歪素子７とを貫通する
締付ボルト１１を上記スタッドボルト１０に螺着して締
め付けることにより、上記ホーン２の基端面２ａに取り
付けられている。従って上記電歪素子７は、第１の金属
ブロック６ａを介してホーン２の基端面に取り付けられ
ている。この場合、第１の金属ブロック６ａはホーン２
の基端面２ａに密着していることが重要であり、これに
より、ホーン２の振動を該第１の金属ブロック６ａを介
して電歪素子７に確実に伝えることができる。なお、図
中１２ａ，１２ｂは、電歪素子７からの電気信号を取り
出すための端子を示している。
【００１７】変換部を上記図２のように構成することに
より、ホーン２に対する取付強度を非常に大きくするこ
とができ、外部振動や衝撃力の作用によって該変換部が
破損したり、特性の変化を生じたりすることがなく、耐
久性及び動作安定性に勝れた測定装置を得ることができ
る。また、上記第１の金属ブロック６ａがホーン２から
電歪素子７への熱の伝達を軽減し又は遮断するため、耐
熱性にも勝れることになり、高温の液体を対象とした測
定も可能である。上記変換部３Ａには、超音波照射用と
して洗浄機等に用いられているボルト締めランジュバン
型の超音波振動子（ＢＬＴ）を使用することができる。
より、ホーン２に対する取付強度を非常に大きくするこ
とができ、外部振動や衝撃力の作用によって該変換部が
破損したり、特性の変化を生じたりすることがなく、耐
久性及び動作安定性に勝れた測定装置を得ることができ
る。また、上記第１の金属ブロック６ａがホーン２から
電歪素子７への熱の伝達を軽減し又は遮断するため、耐
熱性にも勝れることになり、高温の液体を対象とした測
定も可能である。上記変換部３Ａには、超音波照射用と
して洗浄機等に用いられているボルト締めランジュバン
型の超音波振動子（ＢＬＴ）を使用することができる。
【００１８】一方、図３に示す変換部３Ｂは、円板形の
電歪素子７をホーン２の基端面２ａに接着によって直接
固定したものである。この場合、ホーン２が金属で形成
されているときは、該ホーン２と電歪素子７との間に電
気絶縁部材を介在させる。
電歪素子７をホーン２の基端面２ａに接着によって直接
固定したものである。この場合、ホーン２が金属で形成
されているときは、該ホーン２と電歪素子７との間に電
気絶縁部材を介在させる。
【００１９】上記表示手段４は、上記電歪素子７からの
電気信号を目視可能な情報に変換して表示できる手段で
あれば何でも良く、例えば、電歪素子の発電量（従って
超音波の強さ）に応じた明るさで点灯するランプや、電
歪素子の発電量を電流により表示する電流計、同じく電
圧により表示する電圧計、同じく電力により表示する電
力計等をあげることができ、これらが単独で、または複
数組み合わせて使用される。それらを複数組み合わせて
使用する場合は、ランプを必ず設け、これに電流計と電
圧計及び電力計の何れか一つ又は複数を組み合わせて使
用することが望ましい。
電気信号を目視可能な情報に変換して表示できる手段で
あれば何でも良く、例えば、電歪素子の発電量（従って
超音波の強さ）に応じた明るさで点灯するランプや、電
歪素子の発電量を電流により表示する電流計、同じく電
圧により表示する電圧計、同じく電力により表示する電
力計等をあげることができ、これらが単独で、または複
数組み合わせて使用される。それらを複数組み合わせて
使用する場合は、ランプを必ず設け、これに電流計と電
圧計及び電力計の何れか一つ又は複数を組み合わせて使
用することが望ましい。
【００２０】上記表示手段４に代えて、図４に示すよう
な演算機能を備えた表示手段４Ａを用いることもでき
る。この表示手段４Ａは、電歪素子からの電気信号を演
算処理することにより超音波の周波数や出力分布等を求
める演算手段１３と、この演算手段１３で求められた周
波数や出力分布等を表示するパネル表示盤１４とを備え
ている。この表示手段４Ａには、上記演算手段１３とパ
ネル表示盤１４とに給電するための電源が含まれる。こ
の表示手段４Ａは、それを単独で用いても良いが、上記
表示手段４におけるランプや電流計又は電圧計あるいは
電力計の一つ又は複数と適宜組み合わせて使用しても良
い。
な演算機能を備えた表示手段４Ａを用いることもでき
る。この表示手段４Ａは、電歪素子からの電気信号を演
算処理することにより超音波の周波数や出力分布等を求
める演算手段１３と、この演算手段１３で求められた周
波数や出力分布等を表示するパネル表示盤１４とを備え
ている。この表示手段４Ａには、上記演算手段１３とパ
ネル表示盤１４とに給電するための電源が含まれる。こ
の表示手段４Ａは、それを単独で用いても良いが、上記
表示手段４におけるランプや電流計又は電圧計あるいは
電力計の一つ又は複数と適宜組み合わせて使用しても良
い。
【００２１】上記構成を有する測定装置１で液中の超音
波を測定するに当たり、図１に示すように、ホーン２の
先端部を超音波を照射中の液中に浸漬させると、該液中
の超音波がこのホーン２で集音されると共に増幅され、
変換部３の電歪素子７に伝わる。すると、この電歪素子
７が振動を感知して発電し、それが表示手段４又は４Ａ
に送られて発電量に応じた目視情報として表示され、こ
れによって液中の超音波が測定される。
波を測定するに当たり、図１に示すように、ホーン２の
先端部を超音波を照射中の液中に浸漬させると、該液中
の超音波がこのホーン２で集音されると共に増幅され、
変換部３の電歪素子７に伝わる。すると、この電歪素子
７が振動を感知して発電し、それが表示手段４又は４Ａ
に送られて発電量に応じた目視情報として表示され、こ
れによって液中の超音波が測定される。
【００２２】かくして液中の超音波の検出にホーン２を
使用することにより、微弱な超音波であっても確実に集
音し且つ増幅することができ、このホーンで増幅した超
音波を電歪素子７で電気信号に変換することにより、超
音波が弱い場合でも確実に且つ精度良く液中超音波を測
定することができる。また、上記電歪素子７を直接液中
に浸漬する必要がないため、液を汚染したり、電歪素子
の腐食や変質等を来すことがなく、非常にクリーンな測
定を行うことができる。
使用することにより、微弱な超音波であっても確実に集
音し且つ増幅することができ、このホーンで増幅した超
音波を電歪素子７で電気信号に変換することにより、超
音波が弱い場合でも確実に且つ精度良く液中超音波を測
定することができる。また、上記電歪素子７を直接液中
に浸漬する必要がないため、液を汚染したり、電歪素子
の腐食や変質等を来すことがなく、非常にクリーンな測
定を行うことができる。
【００２３】図５は、本発明の測定装置を携帯に便利な
ペンタイプのものに構成した場合の具体例を示してい
る。この測定装置１Ａは、基端部に変換部３を備えたホ
ーン２の、先端部を除くその他の部分を、上記変換部３
と共にカバー２０によって液密に覆い、該カバー２０の
基端部に、上記変換部３における電歪素子の発電量に応
じた明るさで点灯する表示ランプ２１を取り付けると共
に、該表示ランプ２１を覆う透明（半透明を含む）のフ
ード２２を取り付けたもので、全体を大形の万年筆程度
の大きさに形成している。図中２３は、ホーン２及び変
換部３の振動及び熱がカバー２０に伝達するのを防止す
るための緩衝部材、２４は測定装置１Ａをポケットに係
止させるための係止片である。
ペンタイプのものに構成した場合の具体例を示してい
る。この測定装置１Ａは、基端部に変換部３を備えたホ
ーン２の、先端部を除くその他の部分を、上記変換部３
と共にカバー２０によって液密に覆い、該カバー２０の
基端部に、上記変換部３における電歪素子の発電量に応
じた明るさで点灯する表示ランプ２１を取り付けると共
に、該表示ランプ２１を覆う透明（半透明を含む）のフ
ード２２を取り付けたもので、全体を大形の万年筆程度
の大きさに形成している。図中２３は、ホーン２及び変
換部３の振動及び熱がカバー２０に伝達するのを防止す
るための緩衝部材、２４は測定装置１Ａをポケットに係
止させるための係止片である。
【００２４】このように、ペン状に形成して小形化した
測定装置は、それを常時簡便に持ち歩くことが可能で、
工場内に設置されている超音波槽の状態を随時簡単且つ
迅速に確認することができる。しかもこの場合に、変換
部３を図２に示すような構成とすることにより、この変
換部の機械的振動に対する耐久性を大きくすることがで
きるため、槽壁等に少々ぶつけても特性に影響を及ぼす
ことがない、極めて現場向きの測定装置とすることがで
きる。
測定装置は、それを常時簡便に持ち歩くことが可能で、
工場内に設置されている超音波槽の状態を随時簡単且つ
迅速に確認することができる。しかもこの場合に、変換
部３を図２に示すような構成とすることにより、この変
換部の機械的振動に対する耐久性を大きくすることがで
きるため、槽壁等に少々ぶつけても特性に影響を及ぼす
ことがない、極めて現場向きの測定装置とすることがで
きる。
【００２５】上記実施例のホーン２は、先端に向かって
直径が曲線的に拡大したラッパのような形をしている
が、ホーンの形はこのようなものに限定されない。図６
は、本発明において好適に使用し得るホーンの形状の幾
つかを代表的に例示するものである。図６Ａに示すホー
ン２Ａは、先端に向かって直径が直線的に拡大したもの
であり、図６Ｂに示すホーン２Ｂは、先端に向かって直
径が曲線的に拡大した基部２ｂの先端に、該先端と同径
か又はそれより大径で均一直径をした先部２ｃを有する
ものであり、図６Ｃに示すホーン２Ｃは、直径が直線的
に拡大した基部２ｂの先端に、該先端と同径か又はそれ
より大径で均一直径をした先部２ｃを有するものであ
り、図６Ｄに示すホーン２Ｄは、均一直径をした小径の
基部２ｂの先端に、該基部より大径で均一直径をした先
部２ｃを有するものであり、図６Ｅに示すホーン２Ｅ
は、先端に向かって直径が曲線的に拡大した基部２ｂの
先端に、先端に向かって直径が直線的に拡大した先部２
ｃを有するものである。
直径が曲線的に拡大したラッパのような形をしている
が、ホーンの形はこのようなものに限定されない。図６
は、本発明において好適に使用し得るホーンの形状の幾
つかを代表的に例示するものである。図６Ａに示すホー
ン２Ａは、先端に向かって直径が直線的に拡大したもの
であり、図６Ｂに示すホーン２Ｂは、先端に向かって直
径が曲線的に拡大した基部２ｂの先端に、該先端と同径
か又はそれより大径で均一直径をした先部２ｃを有する
ものであり、図６Ｃに示すホーン２Ｃは、直径が直線的
に拡大した基部２ｂの先端に、該先端と同径か又はそれ
より大径で均一直径をした先部２ｃを有するものであ
り、図６Ｄに示すホーン２Ｄは、均一直径をした小径の
基部２ｂの先端に、該基部より大径で均一直径をした先
部２ｃを有するものであり、図６Ｅに示すホーン２Ｅ
は、先端に向かって直径が曲線的に拡大した基部２ｂの
先端に、先端に向かって直径が直線的に拡大した先部２
ｃを有するものである。
【００２６】
【発明の効果】このように本発明によれば、液中の超音
波の集音にホーンを使用することにより、微弱な超音波
であっても確実に集音し且つ増幅することができ、この
ホーンで増幅した超音波を電歪素子で電気信号に変換す
ることにより、液中超音波を簡単且つ確実にしかも精度
良く測定することができる。しかも、電歪素子を直接液
に浸漬する必要がないため、液を汚染したり、電歪素子
の腐食や変質等を来すことがなく、非常にクリーンな測
定を行うことができる。また、装置を小型化することが
できるため、携帯に便利で取り扱いも簡単である。
波の集音にホーンを使用することにより、微弱な超音波
であっても確実に集音し且つ増幅することができ、この
ホーンで増幅した超音波を電歪素子で電気信号に変換す
ることにより、液中超音波を簡単且つ確実にしかも精度
良く測定することができる。しかも、電歪素子を直接液
に浸漬する必要がないため、液を汚染したり、電歪素子
の腐食や変質等を来すことがなく、非常にクリーンな測
定を行うことができる。また、装置を小型化することが
できるため、携帯に便利で取り扱いも簡単である。
【図１】本発明の測定装置の一実施例を概念的に示す断
面図である。
面図である。
【図２】変換部の一例を示す要部断面図である。
【図３】変換部の異なる例を示す要部断面図である。
【図４】表示部の異なる例を示す構成図である。
【図５】本発明の測定装置の具体的な構成例を示す断面
図である。
図である。
【図６】Ａ〜Ｅはそれぞれホーンの異なる例を示す側面
図である。
図である。
１ 測定装置具 ２ ホーン ３ 変換部 ４，４Ａ 表示手段 ６ａ，６ｂ 金属ブロック ７ 電歪素子 １１ 締付ボルト ２０ カバー ２１ ランプ
Claims (5)
- 【請求項１】基端部よりも先端部の断面が大きいホーン
の先端部を超音波照射中の液中に浸漬させて、該ホーン
により液中の超音波を集音すると共に増幅し、増幅した
超音波を、該ホーンの基端部に取り付けられた電歪素子
で電気信号に変換し、表示手段により発電量に応じた情
報として表示することを特徴とする超音波加工装置にお
ける液中超音波の測定方法。 - 【請求項２】基端部よりも先端部の断面が大きい、液中
の超音波の集音と増幅とを行うためのホーン、 上記ホーンの基端部に取り付けられた、該ホーンで集音
した超音波を電気信号に変換するための電歪素子、 上記電歪素子からの電気信号を、該電歪素子の発電量に
応じた情報として表示するための表示手段、を有するこ
とを特徴とする超音波加工装置における液中超音波の測
定装置。 - 【請求項３】基端部よりも先端部の断面が大きい、液中
の超音波の集音と増幅とを行うためのホーンと、該ホー
ンの基端部に取り付けられた、超音波を電気信号に変換
するための電歪素子と、上記ホーンの先端部を除くその
他の部分と電歪素子とを液密に覆うカバーと、該カバー
に取り付けられて、上記電歪素子の発電量に応じた明る
さで点灯する表示ランプとを有し、全体が携帯可能な大
きさに一体化されていることを特徴とする超音波加工装
置における液中超音波の測定装置。 - 【請求項４】請求項２又は３に記載の測定装置におい
て、上記電歪素子が、一対の金属ブロック間に絶縁部材
を介して挟持され、一方の金属ブロックをホーンの基端
面に当接させた状態でこれらの金属ブロック及び電歪素
子をボルトでホーンに固定することにより、上記金属ブ
ロックを介して該ホーンに取り付けられているもの。 - 【請求項５】請求項２又は３に記載の測定装置におい
て、上記電歪素子がホーンの基端面に直接固定されてい
るもの。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33150096A JP3182103B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 超音波加工装置における液中超音波の測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33150096A JP3182103B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 超音波加工装置における液中超音波の測定方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10160562A JPH10160562A (ja) | 1998-06-19 |
| JP3182103B2 true JP3182103B2 (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=18244339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33150096A Expired - Fee Related JP3182103B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 超音波加工装置における液中超音波の測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3182103B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6556168B1 (en) | 1998-12-24 | 2003-04-29 | Nec Corporation | Phased array antenna and its manufacturing method |
| US6777771B1 (en) | 1999-04-06 | 2004-08-17 | Nec Corporation | High-frequency device using switch having movable parts, and method of manufacture thereof |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310781A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-23 | Toshiba Corp | 音圧測定装置、超音波処理装置および超音波処理方法 |
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-
1996
- 1996-11-27 JP JP33150096A patent/JP3182103B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6556168B1 (en) | 1998-12-24 | 2003-04-29 | Nec Corporation | Phased array antenna and its manufacturing method |
| US6777771B1 (en) | 1999-04-06 | 2004-08-17 | Nec Corporation | High-frequency device using switch having movable parts, and method of manufacture thereof |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10160562A (ja) | 1998-06-19 |
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