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JP3186360B2 - Inspection method and inspection device for active matrix liquid crystal panel - Google Patents
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JP3186360B2 - Inspection method and inspection device for active matrix liquid crystal panel - Google Patents

Inspection method and inspection device for active matrix liquid crystal panel

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JP3186360B2
JP3186360B2 JP20586293A JP20586293A JP3186360B2 JP 3186360 B2 JP3186360 B2 JP 3186360B2 JP 20586293 A JP20586293 A JP 20586293A JP 20586293 A JP20586293 A JP 20586293A JP 3186360 B2 JP3186360 B2 JP 3186360B2
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liquid crystal
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crystal panel
pixel
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はアクティブマトリクス液
晶パネルの検査方法及び検査装置に関する。より詳しく
は、アクティブマトリクス液晶パネルの表示画面を撮像
し、記録された画像データを解析して自動検査を行なう
技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for testing an active matrix liquid crystal panel. More specifically, the present invention relates to a technique for taking an image of a display screen of an active matrix liquid crystal panel, analyzing recorded image data, and performing an automatic inspection.

【0002】[0002]

【従来の技術】本発明の背景を明らかにする為、最初に
図4を参照してアクティブマトリクス液晶パネルの一般
的な構成を簡潔に説明する。アクティブマトリクス液晶
パネル100は所定の間隙を介して対面配置された一対
の基板101,102の間に液晶層103を挟持したフ
ラット構造を有している。下側の基板101には画素電
極104がマトリクス状に行列配置している。個々の画
素電極104に対応して薄膜トランジスタ105が形成
されている。薄膜トランジスタ105のドレイン電極は
対応する画素電極104に接続されており、ゲート電極
はゲート線106に接続されており、ソース電極はデー
タ線107に接続されている。一方上側の基板102の
内表面にはカラーフィルタ108が形成されている。こ
のカラーフィルタ108はRGB三元色に分割されたセ
グメントを有しており、個々の画素電極104と対応し
ている。カラーフィルタ108の表面には対向電極10
9が形成されている。この対向電極109と個々の画素
電極104によって挟持された液晶層103により画素
が規定される。又、一対の基板101,102の外表面
には、各々偏光板110,111が貼着されている。か
かる構成において、ゲート線106を順次走査して各行
毎に薄膜トランジスタ105を導通させるとともに、各
データ線107から画像信号を供給し導通状態の薄膜ト
ランジスタ105を介して画素電極104に書き込む。
各画素電極104と対向電極109との間には、書き込
まれた画像信号に応じて所定の電圧が印加され、液晶層
103の分子配列が変化する。この変化を一対の偏光板
110,111で透過率の変化に転換する。従って、液
晶パネル100にバックライトを照射すると個々の画素
の透過率に応じてフルカラーの画像表示が得られる。
2. Description of the Related Art In order to clarify the background of the present invention, a general structure of an active matrix liquid crystal panel will first be briefly described with reference to FIG. The active matrix liquid crystal panel 100 has a flat structure in which a liquid crystal layer 103 is sandwiched between a pair of substrates 101 and 102 disposed facing each other with a predetermined gap. Pixel electrodes 104 are arranged in a matrix on the lower substrate 101. Thin film transistors 105 are formed corresponding to the individual pixel electrodes 104. The drain electrode of the thin film transistor 105 is connected to the corresponding pixel electrode 104, the gate electrode is connected to the gate line 106, and the source electrode is connected to the data line 107. On the other hand, a color filter 108 is formed on the inner surface of the upper substrate 102. The color filter 108 has segments divided into RGB ternary colors, and corresponds to each pixel electrode 104. The counter electrode 10 is provided on the surface of the color filter 108.
9 are formed. A pixel is defined by the liquid crystal layer 103 sandwiched between the counter electrode 109 and each pixel electrode 104. Polarizing plates 110 and 111 are attached to the outer surfaces of the pair of substrates 101 and 102, respectively. In such a configuration, the gate lines 106 are sequentially scanned to make the thin film transistors 105 conductive for each row, and an image signal is supplied from each data line 107 and written to the pixel electrode 104 via the conductive thin film transistors 105.
A predetermined voltage is applied between each pixel electrode 104 and the counter electrode 109 according to the written image signal, and the molecular arrangement of the liquid crystal layer 103 changes. This change is converted into a change in transmittance by the pair of polarizing plates 110 and 111. Therefore, when the liquid crystal panel 100 is illuminated with a backlight, a full-color image display can be obtained according to the transmittance of each pixel.

【0003】かかる構成を有するアクティブマトリクス
液晶パネルは、高精細化及び微細化が可能であり、数十
万個に及ぶ画素が集積的に形成されている。薄膜トラン
ジスタの特性不良やゲート線及びデータ線等配線パタン
のショート/オープン故障等様々な要因により欠陥画素
が発生する。欠陥画素の存在は表示品位を著しく損なう
ので、製品出荷段階で検査を行ない不良品を排除する事
が必須となっている。
An active matrix liquid crystal panel having such a structure can achieve high definition and miniaturization, and hundreds of thousands of pixels are formed in an integrated manner. Defective pixels are generated due to various factors such as defective characteristics of thin film transistors and short / open failures of wiring patterns such as gate lines and data lines. Since the presence of defective pixels significantly impairs the display quality, it is essential to carry out inspections at the stage of product shipment to eliminate defective products.

【0004】従来、アクティブマトリクス液晶パネルの
検査は目視により行なわれていた。しかしながら、検査
項目は多岐に渡っており且つ個々の画素は微細化されて
いる。従って、目視検査では多大な時間が必要となり定
量的且つ客観的な良否判断を行なう事が困難であるの
で、最近では自動検査装置が導入されている。例えば、
ビデオカメラ及び画像処理ユニットを組み合わせた自動
検査装置が、特開昭63−136086号公報や特開平
1−189696号公報に開示されている。図5に示す
様に、従来の自動検査装置はステージ201を備えてお
り、その上に検査対象となるアクティブマトリクス液晶
パネル202が載置される。液晶パネル202は駆動ユ
ニット203により駆動され、所望のテスト用パタンを
表示する。ステージ201の下部には照明用のバックラ
イト204が配置されている。これらステージ201及
びバックライト204は回転テーブル205の上に搭載
されている。なお、ステージ201に対する液晶パネル
202の供給及び排出はロボットアーム206により自
動的に行なわれる。ステージ201の上方にはビデオカ
メラ207がセットされており、液晶パネル202の表
示画面を撮像し且つ記録する様になっている。ビデオカ
メラ207はキャリッジ208に取り付けられており、
X及びY方向に位置合わせ可能である。
Conventionally, an inspection of an active matrix liquid crystal panel has been performed visually. However, inspection items are diversified and individual pixels are miniaturized. Therefore, since a large amount of time is required for visual inspection and it is difficult to make a quantitative and objective judgment on quality, an automatic inspection device has recently been introduced. For example,
An automatic inspection apparatus combining a video camera and an image processing unit is disclosed in JP-A-63-136086 and JP-A-1-189696. As shown in FIG. 5, the conventional automatic inspection apparatus includes a stage 201, on which an active matrix liquid crystal panel 202 to be inspected is mounted. The liquid crystal panel 202 is driven by the drive unit 203 and displays a desired test pattern. A backlight 204 for illumination is arranged below the stage 201. The stage 201 and the backlight 204 are mounted on a rotary table 205. The supply and discharge of the liquid crystal panel 202 to and from the stage 201 are automatically performed by the robot arm 206. A video camera 207 is set above the stage 201, and captures and records a display screen of the liquid crystal panel 202. The video camera 207 is attached to the carriage 208,
Positioning is possible in the X and Y directions.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】検査対象となる液晶パ
ネルの表示画面はCCD等の撮像素子を内蔵したビデオ
カメラにより取り込まれ、画像データに変換される。こ
の画像データはフレームメモリに記録される。コンピュ
ータからなる画像処理ユニットはフレームメモリから逐
次画像データを読み出し画素解析を行なって自動検査を
実行する。即ち、全ての画素についてスキャニングし、
個々の画素毎に輝度を測定し所定の基準レベルと比較し
て欠陥の有無を判断している。全数の画素解析を行なっ
た結果に基いて液晶パネルの良否を判断する。検査項目
が極めて多岐に渡っている上、全数画素について逐次解
析を行なう為検査完了まで多大の時間が必要となり、製
造工程合理化の上で障害となっていた。
The display screen of a liquid crystal panel to be inspected is captured by a video camera having a built-in image sensor such as a CCD and converted into image data. This image data is recorded in the frame memory. An image processing unit including a computer sequentially reads out image data from a frame memory, performs pixel analysis, and performs an automatic inspection. That is, scanning is performed for all pixels,
The luminance is measured for each pixel, and the presence or absence of a defect is determined by comparing the measured luminance with a predetermined reference level. The quality of the liquid crystal panel is determined based on the result of analyzing all the pixels. Inspection items are extremely diversified, and a large amount of time is required until the completion of the inspection because all the pixels are sequentially analyzed, which is an obstacle in streamlining the manufacturing process.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上述した従来の技術の課
題に鑑み、本発明は迅速且つ簡便なアクティブマトリク
ス液晶パネルの検査方法及び検査装置を提供する事を目
的とする。かかる目的を達成する為に以下の手段を講じ
た。即ち、本発明は、行列配置した画素群と、画素群の
各行に接続したゲート線群と、画素群の各列に接続した
データ線群とを備えたアクティブマトリクス液晶パネル
の検査方法並びに検査装置を提供するものである。本発
明にかかる検査方法は、ゲート線群を順次走査して画素
群の各行を選択するとともに各データ線の入力端側から
所定の駆動信号を供給して、画素群の行列を全点灯表示
する手順と、全点灯表示された画素群を撮像しフレーム
メモリに記録する手順と、記録された画素群の点灯状態
を、データ線群の開放端側に位置する行から前記入力端
側に位置する行に向って順次画素解析する手順とを備え
ている。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems in the prior art, an object of the present invention is to provide a quick and simple method and apparatus for inspecting an active matrix liquid crystal panel. The following measures were taken to achieve this purpose. That is, the present invention provides an inspection method and an inspection apparatus for an active matrix liquid crystal panel including a pixel group arranged in a matrix, a gate line group connected to each row of the pixel group, and a data line group connected to each column of the pixel group. Is provided. The inspection method according to the present invention sequentially scans the gate line group to select each row of the pixel group, and supplies a predetermined drive signal from the input end side of each data line to display the matrix of the pixel group in full lighting. The procedure, the procedure of imaging the pixel group that is all lit and displayed and recording it in the frame memory, and the lighting state of the recorded pixel group from the row located on the open end side of the data line group to the input end side Sequentially performing pixel analysis toward the row.

【0007】又、本発明にかかる検査装置はステージ
と、駆動ユニットと、カメラユニットと、メモリユニッ
トと、画像処理ユニットとを含んでいる。ステージは検
査対象となるアクティブマトリクス液晶パネルを載置す
る。駆動ユニットは、アクティブマトリクス液晶パネル
のゲート線群を順次走査するとともに各データ線の入力
端側を通じて所定の駆動信号を印加し画素群の行列を全
点灯表示する。カメラユニットは全点灯表示された画素
群を撮像する。メモリユニットは撮像された画素群の点
灯状態を記録する。画像処理ユニットは、該メモリユニ
ットをアクセスし、データ線群の開放端側に位置する行
から前記入力端側に位置する行に向って、逐次記録され
た画素群の点灯状態を解析する。
Further, the inspection apparatus according to the present invention includes a stage, a drive unit, a camera unit, a memory unit, and an image processing unit. The stage mounts an active matrix liquid crystal panel to be inspected. The drive unit sequentially scans the gate line group of the active matrix liquid crystal panel and applies a predetermined drive signal through the input end side of each data line to display the matrix of the pixel group in full lighting. The camera unit picks up an image of the pixel group that is all lit and displayed. The memory unit records the lighting state of the imaged pixel group. The image processing unit accesses the memory unit and analyzes the lighting state of the sequentially recorded pixel group from the row located on the open end side of the data line group to the row located on the input end side.

【0008】[0008]

【作用】本発明にかかる検査方法及び検査装置は、デー
タ線に沿って連続的に発生する画素欠陥(線欠陥)の検
出を迅速に行なう事が可能である。この種の線欠陥はデ
ータ線の断線故障に起因している。データ線の信号入力
端側から開放端側に向って途中に断線故障があると、断
線個所から開放端に沿った全ての画素列が滅点欠陥とな
る。即ち、断線個所以降の画素については画像信号が供
給されない為、アクティブマトリクス液晶パネルを全点
灯状態にした時、滅点画素の列となって現われ表示品位
を著しく損なう。この点に鑑み、本発明では逐次画素解
析の際、データ線群の開放端側に位置する行から入力端
側に位置する行に向って行なう様にしている。データ線
の断線故障がある場合には、必然的に開放端に位置する
画素行に滅点欠陥が含まれる。次の行にも同列に滅点欠
陥が含まれている場合には直ちにデータ線の断線故障を
検出できる。従って、全表示画面に対する画素解析を行
なう事なく、直ちに不良判定を下し以後の検査を中止し
て作業時間の短縮化が可能になる。
The inspection method and inspection apparatus according to the present invention can quickly detect a pixel defect (line defect) continuously occurring along a data line. This type of line defect is caused by a disconnection failure of the data line. If there is a disconnection failure on the way from the signal input end to the open end of the data line, all pixel columns along the open end from the disconnection point become dark spot defects. That is, since no image signal is supplied to the pixels after the disconnection point, when the active matrix liquid crystal panel is fully lit, the pixels appear as a column of dark pixels and display quality is significantly impaired. In view of this point, in the present invention, the sequential pixel analysis is performed from the row located on the open end side of the data line group to the row located on the input end side. When there is a disconnection failure of the data line, a dark spot defect is necessarily included in the pixel row located at the open end. If the next row also includes a dark spot defect in the same column, a disconnection failure of the data line can be immediately detected. Therefore, without performing pixel analysis on the entire display screen, it is possible to immediately determine a defect and stop the subsequent inspection, thereby shortening the working time.

【0009】[0009]

【実施例】以下図面を参照して本発明の好適な実施例を
詳細に説明する。図1は本発明にかかるアクティブマト
リクス液晶パネル検査装置の基本的な構成を示すブロッ
ク図である。本検査装置は撮像部1と判定部2とに分か
れている。両者はRS232Cインターフェイス等を介
してケーブルで相互に接続されている。撮像部1は、基
本的に図5に示した構造と同様である。即ち、ステージ
3を備えており、検査対象となるアクティブマトリクス
液晶パネル4を載置する。なお、ステージ3の下部には
照明用の光源ユニット5が組み込まれている。アクティ
ブマトリクス液晶パネル4は基本的に、図4に示したフ
ラット構造を有しており、行列配置した画素群と、画素
群の各行に接続したゲート線群と、画素群の各列に接続
したデータ線群とを備えている。液晶パネル4には駆動
ユニット6がプローブ(図示せず)等を介して接続され
る。駆動ユニット6は液晶パネル4のゲート線群を順次
走査するとともに各データ線の入力端側を通じて所定の
駆動信号を印加し画素群の行列を全点灯表示するもので
ある。ステージ3の上方にはカメラユニット7がセット
されており、液晶パネル4の全点灯表示された画素群を
撮像する。カメラユニット7は例えばレンズ系8とCC
D9とを備えた高解像度のビデオカメラ等から構成され
ている。レンズ系8はX,Y方向に関し移動調整可能で
あり、液晶パネル4の撮像位置に対して正確に整合す
る。又、カメラユニット7は光軸に対して回転調整可能
であり液晶パネル4の表示画面に整合した画角で撮像す
る様にしている。液晶パネル4の画面と撮像画角に回転
誤差が含まれると後の画像処理に不都合をきたす事にな
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a basic configuration of an active matrix liquid crystal panel inspection apparatus according to the present invention. This inspection apparatus is divided into an imaging unit 1 and a determination unit 2. Both are connected to each other by a cable via an RS232C interface or the like. The imaging unit 1 has basically the same structure as that shown in FIG. That is, a stage 3 is provided, on which an active matrix liquid crystal panel 4 to be inspected is placed. Note that a light source unit 5 for illumination is incorporated in a lower portion of the stage 3. The active matrix liquid crystal panel 4 basically has a flat structure shown in FIG. 4, and is connected to a pixel group arranged in a matrix, a gate line group connected to each row of the pixel group, and each column of the pixel group. And a data line group. A drive unit 6 is connected to the liquid crystal panel 4 via a probe (not shown) or the like. The drive unit 6 sequentially scans the gate line group of the liquid crystal panel 4 and applies a predetermined drive signal through the input end of each data line to display the matrix of the pixel group in full lighting. A camera unit 7 is set above the stage 3, and captures an image of a pixel group of the liquid crystal panel 4 that is lit and displayed. The camera unit 7 includes, for example, a lens system 8 and a CC.
D9 and a high-resolution video camera or the like. The lens system 8 can be moved and adjusted in the X and Y directions, and accurately matches the imaging position of the liquid crystal panel 4. Further, the camera unit 7 is adjustable in rotation with respect to the optical axis, and captures an image at an angle of view that matches the display screen of the liquid crystal panel 4. If a rotation error is included in the screen of the liquid crystal panel 4 and the angle of view, an inconvenience will occur in the subsequent image processing.

【0010】一方、判定部2はCPU10を備えてお
り、システム全体の制御を司る。CPU10はケーブル
を介して撮像部1側の制御ユニット23及び光源ユニッ
ト5に接続されている。制御ユニット23はCPU10
からコマンドを受け入れカメラユニット7の動作制御を
行なう。同時に、CCD9から出力された画像データを
CPU10に転送する。CPU10はレンズ系8の位置
調整や光源ユニット5の光量調整等を行なうコマンドも
発生する。判定部2にはメモリユニット11が含まれて
おり、CPU10を介してCCD9から送られた画像デ
ータを受け入れ、撮像された画素群の点灯状態を記録す
る。模式的に示す様に、撮像された画素群はフレームメ
モリ12上に記録されており、液晶パネル4に含まれる
画素群と、メモリユニット11に記録された画素群は1
対1の対応関係にある。従って、以下特に必要のない限
り、実際の画素と記録された画素を区別する事なく説明
を行なう。液晶パネル4は全点灯表示で撮像される為、
仮に無欠陥の場合には輝点画素のみがフレームメモリ上
に記録される事になる。しかしながら、通常いくらかの
欠陥が含まれている為、図示する様に滅点画素が含まれ
る事になる。滅点画素が同列上に複数個連続した場合に
は線欠陥となる。メモリユニット11には画像処理ユニ
ット13が接続されており、該メモリユニット11をア
クセスし、データ線群の開放端側に位置する行から入力
端側に位置する行に向って、逐次記録された画素群の点
滅状態を解析する。図示の例ではフレームメモリ12上
において、データ線群の開放端側は最下行であり、入力
端側は最上行となっている。従って、本例では矢印で示
す様にメモリユニット11は最下行から最上行に向って
順次アクセスされる。
On the other hand, the determination unit 2 includes a CPU 10 and controls the entire system. The CPU 10 is connected to the control unit 23 and the light source unit 5 on the imaging unit 1 side via a cable. The control unit 23 is a CPU 10
To control the operation of the camera unit 7. At the same time, the image data output from the CCD 9 is transferred to the CPU 10. The CPU 10 also issues commands for adjusting the position of the lens system 8, adjusting the light amount of the light source unit 5, and the like. The determination unit 2 includes a memory unit 11 that receives image data sent from the CCD 9 via the CPU 10 and records the lighting state of the captured pixel group. As schematically shown, the imaged pixel group is recorded on the frame memory 12, and the pixel group included in the liquid crystal panel 4 and the pixel group recorded in the memory unit 11 are one.
There is a one-to-one correspondence. Therefore, the following description will be made without distinguishing between actual pixels and recorded pixels unless otherwise required. Since the liquid crystal panel 4 is imaged in a fully lit display,
If there is no defect, only the bright spot pixels are recorded on the frame memory. However, since some defects are usually included, dark pixels are included as shown in the figure. If a plurality of dark spot pixels continue on the same column, a line defect occurs. An image processing unit 13 is connected to the memory unit 11, and the memory unit 11 is accessed to sequentially record data from a row located on the open end side of the data line group to a row located on the input end side. The blinking state of the pixel group is analyzed. In the illustrated example, on the frame memory 12, the open end side of the data line group is the bottom row, and the input end side is the top row. Therefore, in this example, the memory units 11 are sequentially accessed from the bottom row to the top row as indicated by arrows.

【0011】次に図2を参照して、本発明にかかるアク
ティブマトリクス液晶パネルの検査方法を詳細に説明す
る。前述した様に、アクティブマトリクス液晶パネル4
は、行列配置した画素14の群と、画素14の各行に接
続したゲート線15と、画素14の各列に接続したデー
タ線16とを備えている。かかる構成を有するアクティ
ブマトリクス液晶パネル4の検査を行なう時には、先ず
最初にゲート線15を順次走査して画素14の各行を選
択するとともに、各データ線16の入力端17側から所
定の駆動信号を供給して画素14の行列を全点灯表示す
る。図示の例では、データ線16の入力端17は画面の
上端に位置し、開放端18は画面の下端に位置する。次
に、全点灯表示された画素14を撮像しフレームメモリ
に記録する手順を行なう。続いて、記録された画素14
の点滅状態を、データ線16の開放端18側に位置する
最下行19から入力端17側に位置する最上行20に向
って順次画素解析する手順を行なう。
Next, a method for testing an active matrix liquid crystal panel according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. As described above, the active matrix liquid crystal panel 4
Has a group of pixels 14 arranged in a matrix, a gate line 15 connected to each row of the pixels 14, and a data line 16 connected to each column of the pixels 14. When testing the active matrix liquid crystal panel 4 having such a configuration, first, the gate lines 15 are sequentially scanned to select each row of the pixels 14, and a predetermined drive signal is input from the input terminal 17 side of each data line 16. Then, the entire matrix of the pixels 14 is supplied and displayed. In the illustrated example, the input end 17 of the data line 16 is located at the upper end of the screen, and the open end 18 is located at the lower end of the screen. Next, a procedure of taking an image of the pixel 14 which is displayed in all the lighting and recording it in the frame memory is performed. Subsequently, the recorded pixel 14
Is sequentially performed from the bottom row 19 located on the open end 18 side of the data line 16 to the top row 20 located on the input end 17 side of the data line 16.

【0012】図示の例では、液晶パネル4の画面に2本
の線欠陥が含まれており、列21及び列22に含まれ
る。線欠陥の場合には、必ず最下行19に滅点画素が現
われる。又、一段上の行にも滅点画素が現われる。この
様に、同列上に2個以上の滅点欠陥画素が連続した場合
には線欠陥である可能性が高い。しかしながら、場合に
よっては偶発的に2個の独立した滅点欠陥が列方向に沿
って存在する確率もある。従って、下端から第3行目の
画素解析を引き続き行ない、同列上に滅点画素欠陥が発
見された場合には、略確実に線欠陥が検出できる。以上
の様に、最下行から所定の段数だけ画素解析を行ない、
同列上に滅点欠陥画素が複数個検出された場合には、そ
の時点で画素解析を中止し、液晶パネル4は不良品とし
て排除される。以下の画素解析を省略できるので、検出
時間が大幅に短縮可能となる。図示の例では、例えば列
21に対応するデータ線は上から2行目の位置で断線故
障が発生している。従って、列21において3行目以下
の画素は全て滅点欠陥となる。同様に、列22について
は対応するデータ線が上から6行目の位置で断線故障が
発生している。従って、以降の画素は全て滅点欠陥とな
る。
In the illustrated example, the screen of the liquid crystal panel 4 includes two line defects, which are included in columns 21 and 22. In the case of a line defect, a dark spot pixel always appears on the bottom row 19. Also, a dark pixel appears in the upper row. As described above, when two or more dark spot defective pixels are consecutive on the same column, there is a high possibility that the pixel is a line defect. However, in some cases, there is a probability that two independent dark spot defects exist accidentally along the column direction. Therefore, the pixel analysis of the third row from the lower end is continued, and if a dark pixel defect is found on the same column, a line defect can be detected almost certainly. As described above, pixel analysis is performed for a predetermined number of rows from the bottom row,
When a plurality of dark spot defective pixels are detected on the same row, the pixel analysis is stopped at that point, and the liquid crystal panel 4 is excluded as a defective product. Since the following pixel analysis can be omitted, the detection time can be significantly reduced. In the illustrated example, for example, a disconnection failure has occurred in the data line corresponding to the column 21 at the position of the second row from the top. Therefore, all the pixels in the third row and below in the column 21 are defective pixels. Similarly, for column 22, a disconnection fault has occurred at the position of the corresponding data line in the sixth row from the top. Therefore, all the subsequent pixels become dark spot defects.

【0013】最後に、図3を参照して参考の為線欠陥発
生のモードを簡潔に説明する。図3はアクティブマトリ
クス液晶パネルの等価回路図である。図示する様に、行
方向に沿ってゲート線51が延設されている。又、列方
向に沿ってデータ線52が延設されている。各ゲート線
51とデータ線52の交点には薄膜トランジスタ53が
形成されている。薄膜トランジスタ53のドレイン電極
には液晶画素54が接続している。液晶画素54の他端
側は対向電極55に接続されている。又、液晶画素54
と平行に保持容量56が接続されている。薄膜トランジ
スタ53のゲート電極は対応するゲート線51に接続さ
れている。又、ソース電極は対応するデータ線52に接
続されている。
Finally, the mode of line defect generation will be briefly described for reference with reference to FIG. FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the active matrix liquid crystal panel. As shown, a gate line 51 extends in the row direction. The data line 52 extends along the column direction. A thin film transistor 53 is formed at the intersection of each gate line 51 and data line 52. A liquid crystal pixel 54 is connected to a drain electrode of the thin film transistor 53. The other end of the liquid crystal pixel 54 is connected to a counter electrode 55. Also, the liquid crystal pixel 54
And a storage capacitor 56 is connected in parallel. The gate electrode of the thin film transistor 53 is connected to the corresponding gate line 51. The source electrode is connected to the corresponding data line 52.

【0014】各ゲート線51は垂直走査回路57に接続
されている。一方、各データ線52の入力端はスイッチ
ング素子58を介して共通の信号線59に接続されてい
る。各スイッチング素子58は水平走査回路60により
順次開閉制御される。
Each gate line 51 is connected to a vertical scanning circuit 57. On the other hand, the input end of each data line 52 is connected to a common signal line 59 via a switching element 58. Each switching element 58 is sequentially controlled to open and close by a horizontal scanning circuit 60.

【0015】かかる構成において、垂直走査回路57に
より各ゲート線51を線順次走査すると各行の薄膜トラ
ンジスタ53が導通状態になる。これと同期して、水平
走査回路60により各スイッチング素子58を順次導通
状態に切り換えると、共通の信号線59から駆動信号が
各データ線52にサンプリングされ、導通状態にある薄
膜トランジスタ53を介して対応する液晶画素54及び
保持容量56に書き込まれ所望の画像表示が行なわれ
る。しかしながら、データ線52に中途断線が生じる
と、断線個所から開放端側に向って接続されている薄膜
トランジスタに画像信号を供給する事ができなくなる。
この為、断線故障が発生すると前述した様に線欠陥が発
生する事になる。この欠陥モードから理解される様に、
線欠陥の場合には必ず開放端側に位置する行の画素電極
に滅点欠陥が現われる事になる。本発明はこの事を利用
して検査時間の短縮化を図る事を特徴とするものであ
る。一般に、ゲート線51は薄膜トランジスタのゲート
電極と同一の材料で形成されており、断線故障は発生し
にくい。これに対して、データ線52はゲート線51よ
りも上層に設けられ、金属アルミニウム等をストライプ
状にパタニングしたものである。下地の凹凸の影響を受
け、断線故障の発生する確率が高い。従って、発生確率
の高い列方向の線欠陥を最初に画像解析する事により、
検査時間を短縮化可能である。
In such a configuration, when each gate line 51 is line-sequentially scanned by the vertical scanning circuit 57, the thin film transistors 53 in each row are turned on. In synchronization with this, when each switching element 58 is sequentially switched to the conductive state by the horizontal scanning circuit 60, the drive signal is sampled from the common signal line 59 to each data line 52, and the corresponding drive signal is supplied via the conductive thin film transistor 53. The data is written in the liquid crystal pixel 54 and the storage capacitor 56 to perform a desired image display. However, if an interruption occurs in the data line 52, an image signal cannot be supplied to the thin film transistor connected from the disconnection portion toward the open end.
Therefore, when a disconnection failure occurs, a line defect occurs as described above. As can be seen from this defect mode,
In the case of a line defect, a dark spot defect always appears on the pixel electrode of the row located on the open end side. The present invention is characterized by shortening the inspection time by utilizing this fact. In general, the gate line 51 is formed of the same material as the gate electrode of the thin film transistor, so that a disconnection failure hardly occurs. On the other hand, the data line 52 is provided above the gate line 51, and is formed by patterning metal aluminum or the like in a stripe shape. The probability of occurrence of a disconnection failure is high due to the influence of the unevenness of the base. Therefore, by first analyzing the line defects in the column direction with a high probability of occurrence,
Inspection time can be reduced.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、ア
クティブマトリクス液晶パネルの画素解析において、開
放端側に位置する最終行から逐次解析を行なう事によ
り、容易且つ最短時間にて線欠陥を検出でき、不良品液
晶パネルを排除する事が可能になる。本発明によれば、
複雑な画素解析プログラムを採用する必要がないので、
検査装置を簡略化する事が可能であり、且つ検査時間を
短縮する事もできるという効果がある。
As described above, according to the present invention, in the pixel analysis of the active matrix liquid crystal panel, by sequentially performing the analysis from the last row located on the open end side, the line defect can be easily and in the shortest time. Can be detected, and defective liquid crystal panels can be eliminated. According to the present invention,
Since there is no need to employ a complicated pixel analysis program,
The inspection device can be simplified and the inspection time can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかるアクティブマトリクス液晶パネ
ルの検査装置を示す模式的なブロック図である。
FIG. 1 is a schematic block diagram showing an inspection device for an active matrix liquid crystal panel according to the present invention.

【図2】本発明にかかるアクティブマトリクス液晶パネ
ルの検査方法を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a method for inspecting an active matrix liquid crystal panel according to the present invention.

【図3】本発明に従って検査されるアクティブマトリク
ス液晶パネルの等価回路図である。
FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of an active matrix liquid crystal panel tested according to the present invention.

【図4】アクティブマトリクス液晶パネルの一般的な構
成を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a general configuration of an active matrix liquid crystal panel.

【図5】従来のアクティブマトリクス液晶パネル検査装
置の一般的な構成を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing a general configuration of a conventional active matrix liquid crystal panel inspection apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 撮像部 2 判定部 3 ステージ 4 液晶パネル 5 光源ユニット 6 駆動ユニット 7 カメラユニット 8 レンズ系 9 CCD 10 CPU 11 メモリユニット 12 フレームメモリ 13 画像処理ユニット 14 画素 15 ゲート線 16 データ線 17 入力端 18 開放端 23 制御ユニット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Imaging part 2 Judgment part 3 Stage 4 Liquid crystal panel 5 Light source unit 6 Drive unit 7 Camera unit 8 Lens system 9 CCD 10 CPU 11 Memory unit 12 Frame memory 13 Image processing unit 14 Pixel 15 Gate line 16 Data line 17 Input end 18 Open End 23 control unit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−209422(JP,A) 特開 平4−133088(JP,A) 特開 昭63−136086(JP,A) 特開 平1−189696(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1368 G02F 1/13 101 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-3-209422 (JP, A) JP-A-4-133088 (JP, A) JP-A-63-136086 (JP, A) JP-A-1- 189696 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G02F 1/1368 G02F 1/13 101

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 行列配置した画素群と、画素群の各行に
接続したゲート線群と、画素群の各列に接続したデータ
線群とを備えたアクティブマトリクス液晶パネルの検査
方法であって、 ゲート線群を順次走査して画素群の各行を選択するとと
もに各データ線の入力端側から所定の駆動信号を供給し
て画素群の行列を全点灯表示する手順と、 全点灯表示された画素群を撮像しフレームメモリに記録
する手順と、 記録された画素群の点灯状態を、データ線群の開放端側
に位置する行から前記入力端側に位置する行に向って順
次画素解析する手順とを有するアクティブマトリクス液
晶パネルの検査方法。
1. An active matrix liquid crystal panel inspection method comprising: a pixel group arranged in a matrix; a gate line group connected to each row of the pixel group; and a data line group connected to each column of the pixel group. A procedure of sequentially scanning the gate line group to select each row of the pixel group and supplying a predetermined drive signal from the input end side of each data line to display the matrix of the pixel group in a fully lit state; A procedure for imaging the group and recording it in the frame memory; and a procedure for sequentially analyzing the recorded lighting state of the pixel group from the row located on the open end side of the data line group to the row located on the input end side. An inspection method for an active matrix liquid crystal panel having:
【請求項2】 行列配置した画素群と、画素群の各行に
接続したゲート線群と、画素群の各列に接続したデータ
線群とを備えたアクティブマトリクス液晶パネルの検査
装置であって、 検査対象となるアクティブマトリクス液晶パネルを載置
するステージと、 該アクティブマトリクス液晶パネルのゲート線群を順次
走査するとともに各データ線の入力端側を通して所定の
駆動信号を印加し画素群の行列を全点灯表示する駆動ユ
ニットと、 全点灯表示された画素群を撮像するカメラユニットと、 撮像された画素群の点灯状態を記録するメモリユニット
と、 該メモリユニットをアクセスし、データ線群の開放端側
に位置する行から前記入力端側に位置する行に向って、
逐次記録された画素群の点灯状態を解析する画像処理ユ
ニットとを含むアクティブマトリクス液晶パネルの検査
装置。
2. An active matrix liquid crystal panel inspection apparatus comprising: a pixel group arranged in a matrix; a gate line group connected to each row of the pixel group; and a data line group connected to each column of the pixel group. A stage on which an active matrix liquid crystal panel to be inspected is placed; and a gate line group of the active matrix liquid crystal panel is sequentially scanned, and a predetermined drive signal is applied through an input end of each data line to form a complete matrix of pixel groups. A drive unit for lighting and displaying, a camera unit for capturing an image of a pixel group that is fully lit and displayed, a memory unit for recording a lighting state of the captured pixel group, and an open end of the data line group for accessing the memory unit From the line located on the input end side to the line located on the input end side,
An inspection apparatus for an active matrix liquid crystal panel, comprising: an image processing unit that analyzes a lighting state of a sequentially recorded pixel group.
【請求項3】 行列配置した画素群と、画素群の各行に
接続したゲート線群と、画素群の各列に接続したデータ
線群とを形成するアクティブマトリクス液晶パネルの製
造方法において、 ゲート線群を順次走査して画素群の各行を選択するとと
もに各データ線の入力端側から所定の駆動信号を供給し
て画素群の行列を全点灯表示する工程と、 全点灯表示された画素群を撮像しフレームメモリに記録
する工程と、 記録された画素群の点灯状態を、データ線群の開放端側
に位置する行から前記入力端側に位置する行に向って順
次画素解析する工程とを行なう事を特徴とするアクティ
ブマトリクス液晶パネルの製造方法。
3. A pixel group arranged in a matrix and each row of the pixel group
Connected gate line group and data connected to each column of pixel group
Manufacture of active matrix liquid crystal panels that form lines
In the fabrication method, it is assumed that the gate line group is sequentially scanned to select each row of the pixel group.
A predetermined drive signal is supplied from the input end of each data line.
To display the matrix of the pixel group with full lighting, and capture the image of the pixel group with all lighting displayed and record it in the frame memory
And the lighting state of the recorded pixel group is changed to the open end side of the data line group.
From the line located at the input end to the line located at the input end side.
And a next pixel analysis step.
A method for manufacturing a submatrix liquid crystal panel.
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