JP3188752B2 - Pirani vacuum gauge - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、主として中真空領域の
圧力測定に広く使用されるピラニ真空計の、特にセンサ
部（測定子）に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Pirani vacuum gauge which is widely used mainly for pressure measurement in a medium vacuum region, and more particularly to a sensor section (a measuring element).
【０００２】[0002]
【従来の技術】ピラニ真空計は、フィラメントに電流を
流すことによって該フィラメントを加熱し、このときフ
ィラメントから奪われる熱量が、フィラメント周囲の気
体の圧力により変化することを利用し、気体の圧力を測
定するものである。2. Description of the Related Art A Pirani vacuum gauge heats a filament by passing an electric current through the filament, and utilizes the fact that the amount of heat taken from the filament at this time changes depending on the pressure of the gas around the filament. It is to be measured.
【０００３】図２は、従来のピラニ真空計のセンサ部の
要部構成図である。図において、フィラメント１は、一
端（図で下端）が被測定真空室に開放したセンサ本体２
の他端（図で上端）の絶縁部３を貫通して設けられた端
子４と、同様に絶縁部３を貫通して設けられ、フィラメ
ント支持体（サポート）を兼ねた端子５とにそれぞれ両
端を接続され、これらの両端４と５は、真空外部でブリ
ッジ回路（計測回路）６に接続されている。図中、７は
電源である。FIG. 2 is a diagram showing the configuration of a main part of a sensor section of a conventional Pirani vacuum gauge. In the figure, a filament 1 has a sensor body 2 having one end (lower end in the figure) opened to a vacuum chamber to be measured.
A terminal 4 provided through the insulating portion 3 at the other end (upper end in the figure) and a terminal 5 provided similarly through the insulating portion 3 and also serving as a filament support (support), respectively. These two ends 4 and 5 are connected to a bridge circuit (measurement circuit) 6 outside the vacuum. In the figure, 7 is a power supply.
【０００４】上記フィラメント１に電流を流して当該ピ
ラニ真空計を作動させるとき、フィラメント１から奪わ
れる熱量Ｑは、次式で与えられる。 Ｑ＝Ｋc Ｐ（Ｔf −Ｔw ）＋ＫR （Ｔf 4 −Ｔw 4 ）＋端損失………（１） 但し、Ｋc ：気体により輸送される熱量の熱伝導係数 Ｐ ：気体の圧力 Ｔf ：フィラメントの温度 Ｔw ：フィラメント周囲の壁の温度 ＫR ：輻射係数 上記（１）式の第１項は、気体の熱伝導による項であ
り、気体の圧力Ｐに比例することから、真空計として使
用できるわけである。第２項は、フィラメント１から壁
２への輻射による項であり、また第３項は、フィラメン
ト１のサポートやリード線を伝わって逃げる熱量であ
る。When a current is applied to the filament 1 to operate the Pirani vacuum gauge, the amount of heat Q removed from the filament 1 is given by the following equation. Q = K c P (T f -T w) + K R (T f 4 -T w 4) + End Loss ......... (1) where, K c: coefficient of thermal conductivity of the heat transported by the gas P: gas T f : temperature of filament T w : temperature of wall around filament K R : radiation coefficient The first term of the above equation (1) is a term due to heat conduction of gas, and is proportional to gas pressure P. Therefore, it can be used as a vacuum gauge. The second term is due to radiation from the filament 1 to the wall 2, and the third term is the amount of heat that escapes through the support and lead wire of the filament 1.
【０００５】現在市販されているピラニ真空計は、フィ
ラメント１を一辺としたブリッジ回路６を設け、該フィ
ラメント１の温度が一定になる、つまりブリッジの平衡
が常に保持されるような制御を行なう定温度型ピラニ真
空計である。このものにおいては、（１）式から解るよ
うに、フィラメント周囲の壁の温度Ｔw が室温の影響等
により変化すると、熱量Ｑが変化してしまい、ピラニ真
空計の指示値も変動してしまう性質を有している。[0005] Pirani vacuum gauges currently on the market are provided with a bridge circuit 6 having one side of the filament 1, and a constant circuit for controlling the temperature of the filament 1 to be constant, that is, to maintain the bridge equilibrium at all times. It is a temperature-type Pirani vacuum gauge. In this compound, as can be seen from equation (1), the temperature T w of the walls surrounding the filament is changed by influence of room temperature will be the amount of heat Q is changed, the indicated value of the Pirani gauge also varies Has properties.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のピラニ
真空計（図２）は、フィラメント１周囲の壁は、そのま
ま外気とセンサ内部とを隔離するセンサ本体２の外壁を
兼ねていた。そのため、センサ周辺の室温が変動する
と、フィラメント周囲の壁２の温度も、そのまま変動
し、即ち周囲温度による指示値の変動が大きくなってい
た。In the above-mentioned conventional Pirani vacuum gauge (FIG. 2), the wall around the filament 1 also serves as the outer wall of the sensor body 2 for isolating the outside air from the inside of the sensor. Therefore, when the room temperature around the sensor fluctuates, the temperature of the wall 2 around the filament also fluctuates as it is, that is, the fluctuation of the indicated value due to the ambient temperature increases.
【０００７】また、上記の変動を補正するために、温度
補償回路がいろいろと工夫されているが、周囲温度を検
知するための温度センサは、ブリッジ回路内の他のブリ
ッジ抵抗と同様に回路基板上に設置されていた。そのた
め、次のような問題点があった。In order to correct the above-mentioned fluctuation, various temperature compensation circuits have been devised. A temperature sensor for detecting an ambient temperature is provided on a circuit board in the same manner as other bridge resistors in a bridge circuit. Was installed on top. Therefore, there were the following problems.
【０００８】（ｉ）フィラメント１周囲の壁２は真空中
における表面であり、温度センサが上記のように取付け
られている基板上とは、材質や環境が異なり、当然実際
の温度や気温の変化に対する温度変化も変わってくる。
従って、従来のピラニ真空計は、センサ周囲の気温の変
化に対する指示の変動が大きく、更に温度補償を施して
も効果的な補償ができていなかった。(I) The wall 2 around the filament 1 is a surface in a vacuum, and the material and environment are different from those on the substrate on which the temperature sensor is mounted as described above. The temperature change with respect to changes.
Therefore, in the conventional Pirani vacuum gauge, there is a large fluctuation in the indication with respect to a change in the temperature around the sensor, and even if the temperature is further compensated, effective compensation cannot be performed.
【０００９】(ii) またそのために、従来のピラニ真空
計は、精度や再現性が悪く、測定下限値も１０-1Ｐａ
（パスカル）台にとどまっていた。(Ii) For this reason, the conventional Pirani vacuum gauge has poor accuracy and reproducibility, and has a lower limit of measurement of 10 -1 Pa.
(Pascal) stayed on the platform.
【００１０】(iii) 更に、チャンバを加熱したり、測定
している気体の温度が変化すると、壁の温度は更に変動
し、温度センサとの温度差も更に大きくなるため、この
ような状態での指示値は、非常に誤差が大きく、実際上
の使用は不可能であった。(Iii) Further, when the chamber is heated or the temperature of the gas being measured changes, the temperature of the wall further fluctuates, and the temperature difference with the temperature sensor further increases. Indicated value had a very large error, and practical use was impossible.
【００１１】本発明は、上記の問題点を解決するもの
で、効果的な温度補償を可能にし、周囲の温度変化に対
する安定性を増し、高精度で低い圧力まで測定可能なピ
ラニ真空計を提供することを目的としている。The present invention solves the above-mentioned problems, and provides a Pirani vacuum gauge which enables effective temperature compensation, increases stability against changes in ambient temperature, and can measure even a low pressure with high accuracy. It is intended to be.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の第１番目の発明は、細い金属線からなる
熱フィラメントをセンサ本体の内部に設け、該熱フィラ
メント周囲の気体による熱伝導により生じるフィラメン
トの熱損失量の変化から気体の圧力を測定するようにし
たピラニ真空計において、周囲の温度変化によるピラニ
真空計の指示値の変化を補正するための温度補償回路に
接続される温度センサを、真空内部におけるフィラメン
ト周囲の壁に直接取付けたことを特徴としている。In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is to provide a heating filament made of a thin metal wire inside a sensor main body and to use a gas surrounding the heating filament. In a Pirani gauge that measures gas pressure from a change in the amount of heat loss of a filament caused by heat conduction, it is connected to a temperature compensation circuit for correcting a change in the indicated value of the Pirani gauge due to a change in ambient temperature. The temperature sensor is mounted directly on the wall around the filament inside the vacuum.
【００１３】また、第２番目の発明は、温度補償回路に
接続される温度センサを、フィラメントとセンサ本体外
壁の中間に設けられた内円筒に直接取付けたことを特徴
とし、また、第３番目の発明は、センサ本体の内部に、
イオンや測定ガスがフィラメント周囲へ直接流れ込まな
いような金属の壁を設けたことを特徴としている。Further, the second invention, the temperature sensor connected to the temperature compensation circuit, characterized in that mounted directly on the cylindrical inner provided in the middle of the filament and the sensor outer body wall, The third The second invention is that, inside the sensor body,
It is characterized in that a metal wall is provided so that ions and measurement gas do not flow directly around the filament.
【００１４】[0014]
【作用】本発明は、上記のように温度補償回路に接続さ
れる温度センサを、真空内部におけるフィラメント周囲
の壁に直接取付けたことにより、該温度センサが、従来
のようにブリッジ回路基板上に設置されたものに比べ
て、センサ周囲の気温の変化に対する指示の変動が小さ
くなり、高精度の測定が可能となる。According to the present invention, the temperature sensor connected to the temperature compensation circuit as described above is directly attached to the wall around the filament inside the vacuum, so that the temperature sensor can be mounted on the bridge circuit board as in the prior art. Compared with the installed sensor, the change in the instruction with respect to the change in the temperature around the sensor is small, and highly accurate measurement can be performed.
【００１５】また、この発明では、前記（１）式のフィ
ラメント周囲の壁の温度Ｔw は、フィラメントとセンサ
本体の外周壁との間に設けられた内円筒の温度となる
が、該内円筒は特に圧力が１００Ｐａ以下の真空におい
て、外気と真空断熱されるため、外気の気温の変動と比
較して温度変化が小さくなり、高精度の測定が可能とな
る。Further, in this invention, the (1) the temperature T w of the filament around the wall of the formula is the temperature of the inner cylinder provided between the outer peripheral wall of the filament and the sensor body, the inner cylindrical In particular, in a vacuum having a pressure of 100 Pa or less, vacuum insulation is provided between the outside air and the outside air. Therefore, the temperature change is small compared to the fluctuation of the outside air temperature, and highly accurate measurement is possible.
【００１６】更に、温度補償用の温度センサを、上記内
円筒へ直接取付けることにより、フィラメント周囲の壁
の温度を直接受けるようになって、温度補償機能が向上
し、高精度の測定が可能となる。Further, by directly attaching a temperature sensor for temperature compensation to the inner cylinder, the temperature of the wall around the filament is directly received, so that the temperature compensation function is improved and highly accurate measurement is possible. Become.
【００１７】更に、シールド板をセンサ本体の内部に設
けることにより、温度センサが取付けられているチャン
バ内部で放電が発生していたり、ガスの温度が上昇して
いる場合でも、フィラメント周囲には高温の気体や、イ
オン等が直接飛び込んで来ないため、フィラメント周囲
の気体温度は常に内円筒の温度と近似することになり、
高精度の測定が可能となる。Further, by providing a shield plate inside the sensor main body, even when a discharge is generated inside the chamber in which the temperature sensor is mounted or when the temperature of the gas is increased, a high temperature is maintained around the filament. Gas, ions etc. do not directly jump in, so the gas temperature around the filament will always approximate the temperature of the inner cylinder,
High-precision measurement becomes possible.
【００１８】[0018]
【実施例】次に、本発明の実施例を図面と共に説明す
る。図１は、本発明の一実施例を示すピラニ真空計の要
部構成図であって、図中、図２に記載した符号と同一の
符号は同一ないし同類部分を示すものとする。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of a main part of a Pirani vacuum gauge showing one embodiment of the present invention. In the drawing, the same reference numerals as those shown in FIG. 2 indicate the same or similar parts.
【００１９】図において、フィラメント１は、一端（図
で下端）が被測定真空室に開放されたセンサ本体２の他
端（図で上端）の絶縁部３を貫通して設けられた端子４
と、同様に絶縁部３を貫通して設けられ、フィラメント
支持体（サポート）を兼ねた端子５とにそれぞれ両端を
接続され、これらの両端４と５は、真空外部でブリッジ
回路６に接続されている点は従来例と変りはないが、本
実施例では、フィラメント１とセンサ本体２の外周壁と
の中間に、ＳＵＳ製の厚さ０．３ｍｍの円筒状の壁（内
円筒）１１が、フィラメント１を囲むように取付けられ
ており、該内円筒１１に、温度補償用の温度センサ１２
が密着して取付けられ、ブリッジ回路６に端子１３を介
して接続されている。該温度センサ１２は、真空内部で
も使用可能なように、セラミック被覆のものが使用され
る。In the figure, a filament 1 has a terminal 4 provided through an insulating portion 3 at the other end (upper end in the figure) of the sensor body 2 having one end (lower end in the figure) opened to the vacuum chamber to be measured.
Similarly, both ends are respectively connected to a terminal 5 which is provided penetrating the insulating portion 3 and also serves as a filament support (support). These two ends 4 and 5 are connected to a bridge circuit 6 outside the vacuum. Although this point is the same as the conventional example, in the present embodiment, a 0.3 mm thick cylindrical wall (inner cylinder) 11 made of SUS is provided between the filament 1 and the outer peripheral wall of the sensor body 2. , Which is attached so as to surround the filament 1, and a temperature sensor 12 for temperature compensation is attached to the inner cylinder 11.
Are mounted in close contact with each other, and are connected to the bridge circuit 6 via terminals 13. The temperature sensor 12 has a ceramic coating so that it can be used even inside a vacuum.
【００２０】更に、センサ本体２の内部には、フィラメ
ント１周囲へ測定ガスが直接流れ込まないように、シー
ルド板１４が、内円筒１１の下端部と接触する形で保持
されている。Further, a shield plate 14 is held inside the sensor main body 2 so as to be in contact with the lower end of the inner cylinder 11 so that the measurement gas does not directly flow around the filament 1.
【００２１】次に、作用について説明すると、測定中、
センサ本体２の周囲の気温が変化すると、フィラメント
１とセンサ本体外周壁２との中間に設けられた内円筒１
１の温度が、上記気温の変動よりも緩やかに変化する。
気温の変動がエアコンのＯＮ／ＯＦＦのように定常時に
上昇と下降を繰り返えす場合には、内円筒１１の変動幅
は気温の変動幅よりも小さくなる。従って、周囲の温度
変化に対し、内円筒１１の温度変化は小さくなり、ピラ
ニ真空計の指示値の変動も小さくなる。Next, the operation will be described.
When the air temperature around the sensor main body 2 changes, the inner cylinder 1 provided between the filament 1 and the outer peripheral wall 2 of the sensor main body.
The temperature of No. 1 changes more slowly than the above-mentioned fluctuation of the air temperature.
In the case where the temperature fluctuations repeatedly rise and fall in a steady state, such as when the air conditioner is turned on / off, the fluctuation width of the inner cylinder 11 is smaller than the fluctuation width of the air temperature. Therefore, the temperature change of the inner cylinder 11 becomes smaller with respect to the ambient temperature change, and the fluctuation of the indicated value of the Pirani vacuum gauge also becomes smaller.
【００２２】また、温度センサ１２は、直接内円筒１１
の温度を検知するため、実際の動作状況の中で補正を効
果的に行なうことができる。The temperature sensor 12 is directly connected to the inner cylinder 11.
, The correction can be performed effectively in the actual operating condition.
【００２３】更に、被測定装置から流れ込む気体は、一
旦、内円筒１１と同じ温度に保持されるシールド板１４
に衝突しながら流れ込むため、フィラメント１に入射す
る気体は常に（１）式の周囲の壁の温度Ｔw と近い温度
になる。Further, the gas flowing from the device to be measured is supplied to the shield plate 14 once maintained at the same temperature as the inner cylinder 11.
Since flows while colliding with the gas entering the filament 1 is always (1) to a temperature T w and near ambient temperature of the wall of the formula.
【００２４】上記の作用を前記（１）式を用いて説明す
ると、ピラニ真空計に必要な項である（１）式の第１項
において、Ｔw の変化に対応してＴf が変化し、（Ｔf
−Ｔw ）が常に一定となるような温度補償を施した場
合、温度センサ１２は、フィラメント１周囲の壁に相当
する内円壁１１の温度Ｔw を直接検知した方がよい。[0024] be described with reference to the above the action (1), in a term required Pirani gauge (1) the first term of, T f is changed in response to changes in the T w , (T f
-T w) if the always subjected to temperature compensation as a constant, the temperature sensor 12, it is better to detect the temperature T w of the circle walls 11 among which corresponds to the surrounding walls of the filament 1 directly.
【００２５】また、第２項、第３項は圧力には依存しな
い項であり、ピラニ真空計のゼロ点（測定下限値）を限
定するものであるが、やはり周囲温度の影響を受けて変
動する。特に第２項は、フィラメント周囲の壁の温度と
密接な関係があるため、この項に関する温度補償も壁１
１の温度を直接検知する必要がある。The second and third terms are independent of pressure and limit the zero point (measurement lower limit) of the Pirani vacuum gauge, but also vary under the influence of the ambient temperature. I do. In particular, since the second term is closely related to the temperature of the wall around the filament, the temperature compensation for this term is
1 needs to be directly detected.
【００２６】この実施例によれば、温度補償回路に接続
される温度センサ１２を、従来のブリッジ回路の基板に
設ける代りに、フィラメント周囲の壁に相当する内円筒
１１に直接取付けたことにより、フィラメント周囲の壁
の温度を直接検知できることと相俟って温度補償が効果
的に行なわれる。According to this embodiment, the temperature sensor 12 connected to the temperature compensation circuit is directly mounted on the inner cylinder 11 corresponding to the wall around the filament, instead of being provided on the substrate of the conventional bridge circuit. The temperature compensation is effectively performed in combination with the fact that the temperature of the wall around the filament can be directly detected.
【００２７】また、センサ本体外壁２とフィラメント１
との中間に内円筒１１を設けたことにより、センサ１２
の周囲の気温の変化が直接フィラメント周囲の壁１１に
は伝わらないので、（１）式のＴw の変動幅が小さくな
る。Further, the sensor body outer wall 2 and the filament 1
And the inner cylinder 11 is provided between
Is not directly transmitted to the wall 11 around the filament, the fluctuation width of Tw in the equation (1) becomes small.
【００２８】また、センサ本体２の内部にシールド板１
４を設けたことにより、イオンや温度の高いガスが直接
フィラメント１に衝突することを防ぎ、フィラメント１
に衝突するガスの温度は常に内円筒１１の温度となる。The shield plate 1 is provided inside the sensor body 2.
4 prevents ions or high-temperature gas from directly colliding with the filament 1,
Is always the temperature of the inner cylinder 11.
【００２９】従って、精度や再現性が高く、周囲温度に
対する指示の変動が少なく、１０-3〜１０-2Ｐａ（パス
カル）の圧力まで測定可能なピラニ真空計の提供が可能
となる。Accordingly, it is possible to provide a Pirani vacuum gauge which has high accuracy and reproducibility, has little variation in indication with respect to the ambient temperature, and can measure pressures up to 10 -3 to 10 -2 Pa (Pascal).
【００３０】更に、チャンバをベーキングしているとき
や、チャンバ内でプラズマが発生しているような状態で
も測定が可能となる。Further, measurement can be performed even when the chamber is baked or when plasma is generated in the chamber.
【００３１】上記した実施例において、内円筒１１に温
度センサ１２を取付けた構造について説明したが、内円
筒１１を除去し、センサ本体外周壁２の内面に取付けた
り、単に真空中に放置するだけでも、該温度センサをブ
リッジ回路の基板上に設置した従来のものよりも、効果
的な補償が可能となる。In the above-described embodiment, the structure in which the temperature sensor 12 is attached to the inner cylinder 11 has been described. However, the inner cylinder 11 is removed, and the inner cylinder 11 is attached to the inner surface of the outer peripheral wall 2 of the sensor, or simply left in a vacuum. However, compensation can be made more effectively than in the conventional sensor in which the temperature sensor is provided on the substrate of the bridge circuit.
【００３２】また、内円筒１１を、取付け取外しが容易
にできるように構成することにより、センサ本体２の内
部が汚れた場合の保守が容易となる。また、温度センサ
１２は、温度補償回路により必要な数量を取付けてやれ
ばよい。また、温度センサ１２、内円筒１１、シールド
板１４の材質や形状は、特に制限されない。Further, by constructing the inner cylinder 11 so that it can be easily attached and detached, maintenance when the inside of the sensor main body 2 becomes dirty becomes easy. Further, the temperature sensor 12 may be attached in a required number by a temperature compensation circuit. Further, the materials and shapes of the temperature sensor 12, the inner cylinder 11, and the shield plate 14 are not particularly limited.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
周囲の温度変化によるピラニ真空計の指示値の変化を補
正するための温度補償回路に接続される温度センサを、
真空内部におけるフィラメント周囲の壁に直接取付けた
ことにより、該温度センサをブリッジ回路の基板上に設
けた従来のものに比べて、温度補償が効果的に行なわれ
る。As described above, according to the present invention,
A temperature sensor connected to a temperature compensation circuit for correcting a change in the indicated value of the Pirani gauge due to a change in ambient temperature,
By directly mounting the temperature sensor on the wall around the filament inside the vacuum, the temperature compensation is effectively performed as compared with the conventional one in which the temperature sensor is provided on the substrate of the bridge circuit.
【００３４】また、センサ本体内部においてフィラメン
トとセンサ本体外壁との中間に内円筒を設けたことによ
り、センサ本体の周囲の気温の変化が直接フィラメント
周囲の壁には伝わらないので、（１）式におけるＴw の
変動幅を小さくすることができる。Since the inner cylinder is provided inside the sensor main body between the filament and the outer wall of the sensor main body, a change in temperature around the sensor main body is not directly transmitted to the wall around the filament. , The width of variation of T w can be reduced.
【００３５】また、前記温度センサを上記内円筒に直接
取付けることにより、フィラメント周囲の壁の温度を直
接検知できるとともに、真空断熱の効果で周囲の温度変
化の影響を直接受けることなく、前記（１）式第１項及
び第２項に関する温度補償を実際の動作状況の中で効果
的に行なうことができる。Further, by directly attaching the temperature sensor to the inner cylinder, the temperature of the wall around the filament can be directly detected, and the above (1) can be directly detected without being affected by the ambient temperature change due to the vacuum insulation effect. ) The temperature compensation for the first and second terms can be effectively performed in actual operating conditions.
【００３６】また、センサ本体の内部に、測定ガスがフ
ィラメント周囲へ直接流れ込まないようなシールド板を
設けたことにより、イオンや温度の高いガスが直接フィ
ラメントに衝突することを防ぎ、フィラメントに衝突す
るガスの温度は常に内円筒の温度となる。In addition, by providing a shield plate inside the sensor main body so that the measurement gas does not directly flow around the filament, ions and high-temperature gas are prevented from directly colliding with the filament and colliding with the filament. The temperature of the gas is always the temperature of the inner cylinder.
【００３７】従って、精度や再現性が高く、周囲温度に
対する指示の変動が少なく、１０-3〜１０-2Ｐａの圧力
まで測定可能なピラニ真空計を得ることが可能となる。
更に、チャンバをベーキングしているときや、チャンバ
内でプラズマが発生しているような状態でも測定が可能
となる。Therefore, it is possible to obtain a Pirani vacuum gauge which has high accuracy and reproducibility, has little variation in indication with respect to the ambient temperature, and can measure pressures up to 10 -3 to 10 -2 Pa.
Further, measurement can be performed while the chamber is baked or in a state where plasma is generated in the chamber.
【図１】本発明の一実施例を示すピラニ真空計の要部構
成図である。FIG. 1 is a main part configuration diagram of a Pirani vacuum gauge showing one embodiment of the present invention.
【図２】従来例を示すピラニ真空計の要部構成図であ
る。FIG. 2 is a main part configuration diagram of a Pirani vacuum gauge showing a conventional example.
１ フィラメント ２ センサ本体 ３ 絶縁体 ４，５ 端子 ６ ブリッジ回路 ７ 電源 １１ 内円筒 １２ 温度センサ １４ シールド板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Filament 2 Sensor main body 3 Insulator 4,5 terminal 6 Bridge circuit 7 Power supply 11 Inner cylinder 12 Temperature sensor 14 Shield plate
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 21/10 - 21/12 Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01L 21/10-21/12
Claims (3)
ンサ本体の内部に設け、該熱フィラメント周囲の気体に
よる熱伝導により生じるフィラメントの熱損失量の変化
から気体の圧力を測定するようにしたピラニ真空計にお
いて、周囲の温度変化によるピラニ真空計の指示値の変
化を補正するための温度補償回路に接続される温度セン
サを、真空内部におけるフィラメント周囲の壁に直接取
付けたことを特徴とするピラニ真空計。1. A Pirani vacuum in which a heat filament made of a thin metal wire is provided inside a sensor main body, and a pressure of the gas is measured from a change in a heat loss of the filament caused by heat conduction by a gas around the heat filament. A Pirani vacuum, wherein a temperature sensor connected to a temperature compensation circuit for correcting a change in the indicated value of the Pirani vacuum gauge due to a change in ambient temperature is directly attached to a wall around the filament inside the vacuum. Total.
ンサ本体の内部に設け、該熱フィラメント周囲の気体に
よる熱伝導により生じるフィラメントの熱損失量の変化
から気体の圧力を測定するようにしたピラニ真空計にお
いて、温度補償回路に接続される温度センサを、フィラ
メントとセンサ本体外壁の中間に設けられた内円筒に直
接取り付けたことを特徴とするピラニ真空計。2. A Pirani vacuum in which a heat filament made of a thin metal wire is provided inside the sensor main body, and the pressure of the gas is measured from a change in heat loss of the filament caused by heat conduction by gas around the heat filament. A Pirani vacuum gauge, wherein a temperature sensor connected to a temperature compensation circuit is directly attached to an inner cylinder provided between a filament and an outer wall of a sensor main body.
ンサ本体の内部に設け、該熱フィラメント周囲の気体に
よる熱伝導により生じるフィラメントの熱損失量の変化
から気体の圧力を測定するようにしたピラニ真空計にお
いて、センサ本体の内部に、イオンや測定ガスがフィラ
メント周囲へ直接流れ込まないような金属の壁を設けた
ことを特徴とするピラニ真空計。3. A Pirani vacuum in which a heat filament made of a thin metal wire is provided inside the sensor main body, and the pressure of the gas is measured from a change in the amount of heat loss of the filament caused by heat conduction by the gas around the heat filament. A Pirani vacuum gauge, wherein a metal wall is provided inside the sensor main body so that ions and measurement gas do not flow directly around the filament.
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|---|---|---|---|
| JP10722492A JP3188752B2 (en) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | Pirani vacuum gauge |
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|---|---|---|---|
| JP10722492A JP3188752B2 (en) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | Pirani vacuum gauge |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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