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JP3193838B2 - Optical semiconductor device - Google Patents
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JP3193838B2 - Optical semiconductor device - Google Patents

Optical semiconductor device

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JP3193838B2
JP3193838B2 JP27951894A JP27951894A JP3193838B2 JP 3193838 B2 JP3193838 B2 JP 3193838B2 JP 27951894 A JP27951894 A JP 27951894A JP 27951894 A JP27951894 A JP 27951894A JP 3193838 B2 JP3193838 B2 JP 3193838B2
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optical semiconductor
semiconductor device
substrate
chip
synthetic resin
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靖雄 吉岡
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/721Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
    • H10W90/724Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Led Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、家電製品やゲーム機器
などの民生機器、コンピュータ、ワードプロセッサおよ
びファクシミリ装置などの情報通信機器、自動車用など
に使用される光半導体装置に関し、特に高精細な表示を
行い、かつ小型・軽量であるLEDアレイなどの光半導
体装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical semiconductor device used for consumer appliances such as home electric appliances and game machines, information communication equipment such as computers, word processors and facsimile machines, and automobiles, and particularly to a high definition display. And a small and lightweight optical semiconductor device such as an LED array.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のLED(Light Emitting Diode)
表示装置におけるLEDチップの基板へのLEDの搭載
方法としては、第1の方法としてワイヤーボンドアッセ
ンブルによる搭載法があり、第2の方法としてフェイス
ダウンボンディングによる搭載法がある。
2. Description of the Related Art Conventional LED (Light Emitting Diode)
As a method for mounting an LED on a substrate of an LED chip in a display device, there is a mounting method by wire bond assembly as a first method, and a mounting method by face-down bonding as a second method.

【0003】図12は第1の搭載法であるワイヤーボン
ドアッセンブルによってLEDチップが搭載された光半
導体装置111の平面図であり、図13は図12におけ
る切断面線XIII−XIIIから見た断面図であり、
図14は図12における切断面線XIV−XIVから見
た断面図である。
FIG. 12 is a plan view of an optical semiconductor device 111 on which an LED chip is mounted by wire bonding as a first mounting method, and FIG. 13 is a cross-sectional view taken along line XIII-XIII in FIG. And
FIG. 14 is a sectional view taken along section line XIV-XIV in FIG.

【0004】光半導体装置111は、ガラスエポキシな
どによって形成される硬質基板100とカバー104と
を含んで構成される。硬質基板100には、半導体装置
111を他の部材に固定するための取付穴105が硬質
基板100の4隅に設けられ、また一方表面100aに
は所定の配線パターン109が形成される。硬質基板1
00の一方表面100aにはLEDチップ101が、硬
質基板100の一方表面100aの中央部または任意の
位置で、かつ配線パターン109上に導電性ペースト1
10によって実装される。さらに、LEDチップ101
の両側に、それぞれIC(集積回路)チップ102が導
電性ペースト110によって基板パターン109上に実
装される。各ICチップ102には、導線112を介し
て外部からLEDチップ101を駆動するための電流が
供給される。LEDチップ101と各ICチップ102
とをそれぞれ導線103によって電気的に接続すること
でLEDチップ101の発光状態を制御することができ
る。
[0004] The optical semiconductor device 111 includes a hard substrate 100 formed of glass epoxy or the like and a cover 104. In the hard substrate 100, mounting holes 105 for fixing the semiconductor device 111 to other members are provided at four corners of the hard substrate 100, and a predetermined wiring pattern 109 is formed on one surface 100a. Hard substrate 1
The LED chip 101 is provided on one surface 100a of the hard substrate 100 at the center or any position of the one surface 100a of the hard substrate 100, and the conductive paste 1 is provided on the wiring pattern 109.
Implemented by 10. Further, the LED chip 101
IC (integrated circuit) chips 102 are mounted on a substrate pattern 109 by conductive paste 110 on both sides of the substrate pattern 109. A current for driving the LED chip 101 is supplied to each IC chip 102 from the outside via the conductor 112. LED chip 101 and each IC chip 102
The light emitting state of the LED chip 101 can be controlled by electrically connecting the LED chip 101 to the LED chip 101 via the conductor 103.

【0005】硬質基板100上に実装された各構成要素
を覆うように、透光性の材料によって形成されるカバー
104を設置する。カバー104によって各構成要素は
外界から保護される。また、カバー104によって各構
成要素は外界から保護されるので各構成要素が腐食しな
い。LEDチップ101は、駆動用の電流が供給される
ことによって矢符113で示される出射方向へと、カバ
ー104を介して光を出射する。
[0005] A cover 104 made of a light-transmissive material is provided so as to cover each component mounted on the hard substrate 100. Each component is protected from the outside by the cover 104. In addition, since each component is protected from the outside by the cover 104, each component does not corrode. The LED chip 101 emits light through the cover 104 in the emission direction indicated by the arrow 113 when the driving current is supplied.

【0006】図15は第2の搭載法であるフェイスダウ
ンボンディング方式によってLEDチップが搭載された
光半導体装置121の平面図であり、図16は図15に
おける切断面線XVI−XVIから見た断面図であり、
図17は図15における切断面線XVII−XVIIか
ら見た断面図である。
FIG. 15 is a plan view of an optical semiconductor device 121 on which an LED chip is mounted by a face-down bonding method which is a second mounting method, and FIG. 16 is a cross-sectional view taken along a section line XVI-XVI in FIG. FIG.
FIG. 17 is a sectional view taken along section line XVII-XVII in FIG.

【0007】光半導体装置121はガラス基板106
と、ガラス基板106を取付ける取付枠107と、カバ
ー125とを含んで構成される。ガラス基板106の一
方表面106aには所定の配線パターン126が形成さ
れる。
The optical semiconductor device 121 includes a glass substrate 106
, A mounting frame 107 for mounting the glass substrate 106, and a cover 125. A predetermined wiring pattern 126 is formed on one surface 106a of the glass substrate 106.

【0008】LEDチップ122および各ICチップ1
23は、前述した第1の搭載法における構成要素である
LEDチップ101および各ICチップ102とそれぞ
れ機能的には同一であるが、接続用の電極に直径20〜
30μm程度の大きさである凸状のバンプ124が形成
される。
[0008] LED chip 122 and each IC chip 1
23 is functionally the same as the LED chip 101 and each IC chip 102, which are the components in the first mounting method described above, but the connection electrode has a diameter of 20 to
A convex bump 124 having a size of about 30 μm is formed.

【0009】LEDチップ122は、ガラス基板106
の一方表面106aにおける中央部または任意の位置に
形成された配線パターン126にバンプ124が導電性
ペースト127を介して電気的に接続される。また、各
ICチップ123は、LEDチップ122の両側に導電
性ペースト110を介して、バンプ124をガラス基板
106の一方表面106aに向けて、配線パターン12
6上に搭載される。
The LED chip 122 is mounted on the glass substrate 106
Bump 124 is electrically connected via conductive paste 127 to wiring pattern 126 formed at the central portion or at an arbitrary position on one surface 106a. In addition, each IC chip 123 has a bump 124 facing the one surface 106 a of the glass substrate 106 via the conductive paste 110 on both sides of the LED chip 122, and the wiring pattern 12.
6 mounted.

【0010】上述のようにガラス基板106上に搭載さ
れた各構成要素を保護するために、各構成要素を覆うよ
うにカバー125を設置する。取付枠107はガラス基
板106を囲む大きさに形成され、取付枠107の中央
部にガラス基板106が嵌まり込む。取付枠107に
は、中央部に前記ガラス基板106に搭載されたLED
チップ122に沿って、一方表面107aからガラス基
板106まで到達するように透孔107bが形成され
る。さらに、取付枠107の両端部にはそれぞれ2つず
つ取付穴108が形成される。
In order to protect each component mounted on the glass substrate 106 as described above, a cover 125 is provided so as to cover each component. The mounting frame 107 is formed to have a size surrounding the glass substrate 106, and the glass substrate 106 fits into the center of the mounting frame 107. The mounting frame 107 has an LED mounted on the glass substrate 106 at the center thereof.
Along the chip 122, a through-hole 107b is formed so as to reach the glass substrate 106 from one surface 107a. Further, two mounting holes 108 are formed at each end of the mounting frame 107.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】高品位な表示を実現す
るためには表示ドット数の増加および表示密度の向上が
必要となるが、第1の搭載法であるワイヤーボンディン
グ方式によって各チップが接続された光半導体装置11
1では、表示ドット数が増加するとICチップ102と
LEDチップ101とを接続する導線103の本数が増
加し、また表示密度が高くなると導線103の接続が難
しくなるので、接続不良の発生する割合が高くなり歩留
りの低下を招く。
In order to realize a high-quality display, it is necessary to increase the number of display dots and the display density. However, each chip is connected by a wire bonding method which is a first mounting method. Optical semiconductor device 11
In the case of 1, when the number of display dots increases, the number of conductors 103 connecting the IC chip 102 and the LED chip 101 increases, and when the display density increases, the connection of the conductors 103 becomes difficult. It becomes high and causes a decrease in yield.

【0012】第2の搭載法であるフェイスダウンボンデ
ィング方式によって各チップが搭載された光半導体装置
121では、各チップを配設する基板材料がガラスであ
るために、光半導体装置121を他の部材に取付ける場
合に必要となる取付穴の形成などの2次加工が難しい。
したがって、光半導体装置121を他の部材に取付ける
にはガラス基板106とは別に取付穴108を形成した
取付枠107が必要となり、構成部品の数が増え作業工
程数も増加する。また、ガラス基板106は基板パター
ンを両面に形成することが困難であるので基板の片面に
しか配線を行うことができず、設計上の制約が生じてお
り、光半導体装置121の小型化が図りにくい。また、
ガラス基板106は重量が重くなるので光半導体装置1
21の軽量化が図りにくい。
In the optical semiconductor device 121 on which each chip is mounted by the face-down bonding method, which is the second mounting method, since the substrate material on which each chip is mounted is glass, the optical semiconductor device 121 is mounted on another member. It is difficult to perform secondary processing, such as formation of mounting holes, which is necessary when mounting on a surface.
Therefore, in order to attach the optical semiconductor device 121 to another member, an attachment frame 107 having an attachment hole 108 formed separately from the glass substrate 106 is required, and the number of components increases and the number of work steps increases. In addition, since it is difficult to form a substrate pattern on both sides of the glass substrate 106, wiring can be performed only on one side of the substrate, and there are design restrictions, and the optical semiconductor device 121 can be downsized. Hateful. Also,
Since the glass substrate 106 is heavy, the optical semiconductor device 1
21 is difficult to reduce in weight.

【0013】本発明の目的は、高密度の配線および実装
を容易に行うことができ、かつ装置の小型化および軽量
化を図ることができる光半導体装置を提供することであ
る。
An object of the present invention is to provide an optical semiconductor device which can easily perform high-density wiring and mounting, and can reduce the size and weight of the device.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、表面に光半導
体素子および接続用バンプを備える光半導体チップと、
光半導体素子に対応する開口形状の透孔および前記接続
用バンプに対応する電極パッドが一方表面側に設けら
れ、前記透孔は他方表面側に向かって開口面積が増大す
るように一体に形成される液晶ポリマから成る合成樹脂
成型基板とを含み、前記光半導体チップは、前記液晶ポ
リマから成る合成樹脂成型基板上に接続用バンプと電極
パッドとの間のフェイスダウンボンディングによって搭
載されることを特徴とする光半導体装置である。また本
発明は、前記光半導体チップには、光半導体素子として
LEDアレイが形成され、前記液晶ポリマから成る合成
樹脂成型基板には、LEDアレイを構成する複数のLE
D素子に個別的に対応して、複数のスリット状の透孔が
形成されることを特徴とする。また本発明は、前記液晶
ポリマから成る合成樹脂成型基板の透孔には、光透過性
の合成樹脂が充填されることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an optical semiconductor chip having an optical semiconductor element and connection bumps on its surface,
A through hole having an opening shape corresponding to the optical semiconductor element and an electrode pad corresponding to the connection bump are provided on one surface side, and the through hole is integrally formed so that an opening area increases toward the other surface side. Wherein the optical semiconductor chip is mounted on the synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer by face-down bonding between connection bumps and electrode pads. Optical semiconductor device. Also, in the present invention, an LED array is formed as an optical semiconductor element on the optical semiconductor chip, and a plurality of LEs forming the LED array are formed on a synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer.
A plurality of slit-shaped through holes are formed individually corresponding to the D elements. Further, the present invention is characterized in that a light-transmitting synthetic resin is filled into a through hole of the synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer.

【0015】[0015]

【作用】本発明に従えば、光半導体装置は一方表面側か
ら他方表面側に向かって開口面積が増大するように一体
に形成される透孔と、所定の間隔をあけて形成される電
極パッドとを備える液晶ポリマから成る合成樹脂成型基
板上に、表面に光半導体素子および接続用バンプを備え
る光半導体チップを、前記電極パッドと接続用バンプと
の間のフェイスダウンボンディングによって搭載する。
したがって、光半導体チップの光半導体素子から出射さ
れる光は、液晶ポリマから成る合成樹脂成型基板に設け
られた透孔を通って外部に出射される。
According to the present invention, an optical semiconductor device is provided with a through hole integrally formed so as to increase an opening area from one surface side to the other surface side, and an electrode pad formed at a predetermined interval. An optical semiconductor chip having an optical semiconductor element and connection bumps on its surface is mounted on a synthetic resin molded substrate made of a liquid crystal polymer having face down bonding between the electrode pads and the connection bumps.
Therefore, light emitted from the optical semiconductor element of the optical semiconductor chip is emitted to the outside through a through hole provided in the synthetic resin molded substrate made of a liquid crystal polymer.

【0016】また好ましくは、前記光半導体チップには
光半導体素子としてLEDアレイが形成され、光半導体
チップが搭載される前記液晶ポリマから成る合成樹脂成
型基板には、LEDアレイを構成する複数のLED素子
に個別的に対応するように複数のスリット状の透孔が形
成される。したがって、LEDアレイを構成するそれぞ
れのLED素子から出射される光がそれぞれ対応する透
孔から外部へと出射される。
Preferably, an LED array is formed on the optical semiconductor chip as an optical semiconductor element, and a plurality of LEDs constituting the LED array are mounted on the synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer on which the optical semiconductor chip is mounted. A plurality of slit-shaped through holes are formed so as to individually correspond to the elements. Therefore, light emitted from each LED element constituting the LED array is emitted to the outside from the corresponding through hole.

【0017】さらに好ましくは、前記液晶ポリマから成
る合成樹脂成型基板の透孔には光透過性の合成樹脂が充
填される。したがって前記透孔からゴミおよび異物が侵
入することを防止し、光半導体チップを外界から保護す
ることができる。
More preferably, the through holes of the synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer are filled with a light transmitting synthetic resin. Therefore, it is possible to prevent dust and foreign matter from entering through the through hole, and to protect the optical semiconductor chip from the outside.

【0018】[0018]

【実施例】図1は本発明の第1実施例である光半導体装
置21の平面図であり、図2は図1における切断面線I
I−IIから見た断面図であり、図3は図1における切
断面線III−IIIから見た断面図である。
FIG. 1 is a plan view of an optical semiconductor device 21 according to a first embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along line I-II, and FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.

【0019】光半導体装置21は、基板1と、カバー2
と、LEDチップ3と、ICチップ4,7とを含んで構
成される。光半導体装置21においては、高密度の実装
を行うためにフェイスダウン方式によって各素子を実装
した。基板1は後述するようにして成型され、中央部に
は基板1の短辺方向に向けて形成されたテーパ状のスリ
ット6が設けられる。また、基板1の4隅の近傍にはそ
れぞれ挿通孔5が設けられる。光半導体装置21を他部
材に取付けるときには、挿通孔5にボルトなどが挿通さ
れることによって固定される。基板1には所定のパター
ンである配線パターン9,14,15,16が形成され
る。
The optical semiconductor device 21 includes a substrate 1 and a cover 2.
, An LED chip 3 and IC chips 4 and 7. In the optical semiconductor device 21, each element was mounted by a face-down method in order to perform high-density mounting. The substrate 1 is molded as described later, and a tapered slit 6 formed in the center portion toward the short side direction of the substrate 1 is provided. In addition, insertion holes 5 are provided near the four corners of the substrate 1, respectively. When attaching the optical semiconductor device 21 to another member, the optical semiconductor device 21 is fixed by inserting a bolt or the like into the insertion hole 5. Wiring patterns 9, 14, 15, 16 which are predetermined patterns are formed on the substrate 1.

【0020】LEDチップ3には、接続用の電極に直径
20〜30μm程度である導電性の凸状のバンプ10
a,10bが形成される。同様に、ICチップ4;7に
はそれぞれバンプ12a,12b;13a,13bが形
成される。LEDチップ3は、スリット6の両側でバン
プ10a,10bをそれぞれ配線パターン15,16に
対向させ、導電性ペースト11を介して配線パターン1
5,16と電気的に接続される。ICチップ4は、バン
プ12bを配線パターン15に向け、バンプ12aを配
線パターン14に向け、導電性ペースト11を介してそ
れぞれ電気的に接続される。ICチップ7は、バンプ1
3aを配線パターン16に向け、バンプ13bを配線パ
ターン9に向け、導電性ペースト11を介してそれぞれ
電気的に接続される。
The LED chip 3 has conductive bumps 10 having a diameter of about 20 to 30 μm on the connecting electrodes.
a, 10b are formed. Similarly, bumps 12a and 12b; 13a and 13b are formed on the IC chips 4 and 7, respectively. The LED chip 3 has the bumps 10 a, 10 b facing the wiring patterns 15, 16 on both sides of the slit 6, respectively, and the wiring pattern 1 via the conductive paste 11.
5 and 16 are electrically connected. The IC chip 4 has the bumps 12 b facing the wiring pattern 15, the bumps 12 a facing the wiring pattern 14, and is electrically connected via the conductive paste 11. IC chip 7 has bump 1
3a is directed to the wiring pattern 16, the bump 13b is directed to the wiring pattern 9, and they are electrically connected via the conductive paste 11.

【0021】図4は、光半導体装置21におけるLED
チップ3周辺の平面図である。ICチップ4とLEDチ
ップ3とは複数本の配線パターン15a,15b,15
c,15d,…によって接続され、ICチップ7とLE
Dチップ3とは複数本の配線パターン16a,16b,
16c,16d,…によって接続される。LEDチップ
3にはLEDチップ3の長辺方向に向かって複数個の発
光部8が形成されており、それぞれの発光部8a,8
b,8c,…から出射された光はスリット6を通過して
矢符18で示す出射方向へと出射される。
FIG. 4 shows an LED in the optical semiconductor device 21.
FIG. 3 is a plan view around a chip 3. The IC chip 4 and the LED chip 3 are composed of a plurality of wiring patterns 15a, 15b, 15
c, 15d,... and the IC chip 7 and the LE
The D chip 3 includes a plurality of wiring patterns 16a, 16b,
16c, 16d,... A plurality of light emitting portions 8 are formed on the LED chip 3 in the direction of the long side of the LED chip 3.
The light emitted from b, 8c,... passes through the slit 6 and is emitted in the emission direction indicated by the arrow 18.

【0022】上述のように各構成要素が設けられた基板
1上に各構成要素を保護するためのカバー2を設ける。
LEDチップ3から出射される光は、基板1に設けられ
たスリット6から出射方向18に向かって外部へと放出
されるために、カバー2は光の透過には関係がなくな
り、透光性の材料を用いなくてもよい。
A cover 2 for protecting each component is provided on the substrate 1 on which each component is provided as described above.
Since the light emitted from the LED chip 3 is emitted to the outside in the emission direction 18 from the slit 6 provided on the substrate 1, the cover 2 has no relation to the light transmission, and Materials need not be used.

【0023】光半導体装置21においては、高密度の配
線、実装を実現するために基板1とそれぞれのチップと
の接続をフェイスダウンボンディング方式によって行
う。フェイスダウンボンディング方式によってそれぞれ
のチップを基板1に実装するためには、基板1は光を透
過することができ、かつ回路形成が容易であることが必
要となる。また、2次加工性を確保し、さらに軽量化を
図るために基板1の材料としてガラス以外の材料を用い
る。基板1の材料として透明材であるポリカーボネイト
材もしくはアクリル材を用いた場合、両者とも熱可塑性
の樹脂であるので成型は可能であるが、樹脂表面のめっ
き密着強度が低く配線パターンを形成することができな
い。そのため、樹脂表面の密着強度が高い液晶ポリマ材
を基板1の材料とし、発光部に該当する部分に光を通過
させるためのスリット6を基板1の成型時に設ける。基
板1を成型する際には、液晶ポリマは高流動性の樹脂で
あり、成型圧を高めに設定して充填不足が起きないよう
にする。
In the optical semiconductor device 21, connection between the substrate 1 and each chip is performed by a face-down bonding method in order to realize high-density wiring and mounting. In order to mount each chip on the substrate 1 by the face-down bonding method, the substrate 1 needs to be able to transmit light and to easily form a circuit. In addition, a material other than glass is used as the material of the substrate 1 in order to secure secondary workability and further reduce the weight. When a transparent material such as a polycarbonate material or an acrylic material is used as the material of the substrate 1, molding is possible because both are thermoplastic resins. However, plating adhesion strength on the resin surface is low, and a wiring pattern can be formed. Can not. Therefore, a liquid crystal polymer material having a high adhesion strength on the resin surface is used as a material of the substrate 1, and a slit 6 for transmitting light to a portion corresponding to a light emitting portion is provided at the time of molding the substrate 1. When the substrate 1 is molded, the liquid crystal polymer is a resin having a high fluidity, and the molding pressure is set high to prevent insufficient filling.

【0024】スリット6を設けた基板1を成型する際に
用いる金型の歯は、スリット6の幅が狭いために強度が
低下する。また、スリット6となる部分に応力が集中し
ているため、金型を抜くときそれぞれのチップを実装す
る表面側が盛り上がってしまう。そのために、スリット
6の形状を一方表面1a側から他方表面1b側に向けて
開口面積が増大するように形成する。たとえば、基板1
の厚さが1.0mmとした場合、発光部側である一方表
面1a側のスリット幅を150〜200μm、外部開口
部である他方表面1b側のスリット幅を300〜400
μmとすると、一方表面1aにおけるスリット6周辺の
面精度が損なわれることはない。また、同時に金型の歯
の根元の部分に向かって幅広の形状となるので、金型の
耐久性が向上する。
The teeth of a mold used for molding the substrate 1 provided with the slits 6 have reduced strength because the width of the slits 6 is narrow. Further, since the stress is concentrated on the portion serving as the slit 6, the surface side on which each chip is mounted rises when the mold is removed. For this purpose, the shape of the slit 6 is formed so that the opening area increases from one surface 1a to the other surface 1b. For example, substrate 1
When the thickness is 1.0 mm, the slit width on the surface 1a side on the light emitting portion side is 150 to 200 μm, and the slit width on the other surface 1b side as the external opening is 300 to 400 μm.
When it is set to μm, the surface accuracy around the slit 6 on the surface 1a is not impaired. At the same time, the shape becomes wider toward the roots of the teeth of the mold, so that the durability of the mold is improved.

【0025】上述のように成型された基板1に、MID
(Molded Interconnection Device)と呼ばれる手法に
よって配線パターン9,14,15,16を形成する。
光半導体装置21において求められるようなファインパ
ターンの形成は、MIDの1つであるフォトプロセスを
使用するPSP(Photo Selective Plating)法によって
行う。PSP法においては、まず射出成型された基板に
接着促進剤および感光剤を塗布し、めっきの核となる部
分を選択形成する。次に、紫外線によって露光してポジ
ティブパターンを形成する。さらにポジティブパターン
以外の部分を定着させ、無電解めっきによって配線パタ
ーンを形成する。
On the substrate 1 molded as described above, the MID
The wiring patterns 9, 14, 15, 16 are formed by a method called (Molded Interconnection Device).
The formation of a fine pattern required in the optical semiconductor device 21 is performed by a PSP (Photo Selective Plating) method using a photo process which is one of the MIDs. In the PSP method, first, an adhesion promoter and a photosensitive agent are applied to an injection-molded substrate, and a portion serving as a nucleus of plating is selectively formed. Next, a positive pattern is formed by exposure to ultraviolet light. Further, a portion other than the positive pattern is fixed, and a wiring pattern is formed by electroless plating.

【0026】前述したように基板1は成型されるので、
従来では成型後に設けていた取付け部品などを成型時に
作り込むことが可能となる。
As described above, since the substrate 1 is molded,
In the related art, it is possible to make attachment parts and the like provided after molding at the time of molding.

【0027】図5は本発明の第1実施例における他の構
成例である光半導体装置22の平面図であり、図6は図
5における切断面線VI−VIから見た断面図であり、
図7は図5における切断面面VII−VIIから見た断
面図である。
FIG. 5 is a plan view of an optical semiconductor device 22 as another configuration example in the first embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a sectional view taken along the line VI-VI in FIG.
FIG. 7 is a cross-sectional view taken along section plane VII-VII in FIG.

【0028】光半導体装置22において、前述した光半
導体装置21と同一の構成要素には同一の参照符を付し
て説明を省略する。光半導体装置22においては、挿通
孔5に連通する挿通孔を有する円環状の台座23が基板
1と一体的に形成される。台座23を設けることによっ
て、光半導体装置22を他の部材に取付ける際に、カバ
ー2との高さの差が小さくなるので、基板1と他の部材
との間にさらに他の部材を挟み込まなくても取付けが容
易に行えるようになる。このように基板1は、必要に応
じて形状を任意に加工することができるので、取付け部
品の削減および簡素化を図ることができる。
In the optical semiconductor device 22, the same components as those of the optical semiconductor device 21 described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. In the optical semiconductor device 22, an annular pedestal 23 having an insertion hole communicating with the insertion hole 5 is formed integrally with the substrate 1. By providing the pedestal 23, when attaching the optical semiconductor device 22 to another member, the difference in height between the cover 2 and the other member is reduced, so that no other member is sandwiched between the substrate 1 and the other member However, the mounting can be easily performed. As described above, since the shape of the substrate 1 can be arbitrarily processed as necessary, the number of mounting components can be reduced and simplified.

【0029】以上のように本実施例によれば、光半導体
装置21,22において、LEDチップ3は、基板1に
設けられたテーパ状のスリット6に発光部8を向けて当
該スリット6をまたいで配線パターン15,16にフェ
イスダウンボンディングによって接続され、各ICチッ
プ4,7から電流を供給されることで光を出射方向18
へと出射するので、各構成要素同士を導線を用いずに接
続することができるので高密度の配線および実装を行う
ことができる。
As described above, according to the present embodiment, in the optical semiconductor devices 21 and 22, the LED chip 3 straddles the slit 6 with the light emitting part 8 directed to the tapered slit 6 provided on the substrate 1. Are connected to the wiring patterns 15 and 16 by face-down bonding, and are supplied with current from the respective IC chips 4 and 7 to emit light in the emission direction 18.
Since the light is emitted to each other, each component can be connected to each other without using a conductive wire, so that high-density wiring and mounting can be performed.

【0030】図8は、本発明の第2実施例である光半導
体装置24の断面図である。光半導体装置24において
前述した第1実施例における光半導体装置21と同一の
構成要素には同一の参照符を付して説明を省略する。本
実施例における光半導体装置24の特徴は、基板1に設
けられたスリット6およびLEDチップ3とICチップ
4,7との隙間などを透光性樹脂25で充填することで
ある。光半導体装置24においてLEDチップ3から出
た光は、スリット6に充填された透光性樹脂25を介し
て出射方向18へと出射される。
FIG. 8 is a sectional view of an optical semiconductor device 24 according to a second embodiment of the present invention. In the optical semiconductor device 24, the same components as those of the optical semiconductor device 21 in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. The feature of the optical semiconductor device 24 in the present embodiment is that the slit 6 provided in the substrate 1 and the gap between the LED chip 3 and the IC chips 4 and 7 are filled with the translucent resin 25. Light emitted from the LED chip 3 in the optical semiconductor device 24 is emitted in the emission direction 18 via the translucent resin 25 filled in the slit 6.

【0031】上述のように光半導体装置24を構成する
ことによって、LEDチップ3およびICチップ4,7
と基板1との隙間が透光性樹脂25で充填されているの
で外部から加えられる力によってLEDチップ3および
ICチップ4,7が配線パターンから外れるのを防止す
ることができる。また、スリット6から光半導体装置2
4内にゴミおよび異物が侵入することを防ぐことができ
る。
By configuring the optical semiconductor device 24 as described above, the LED chip 3 and the IC chips 4, 7
Since the gap between the substrate and the substrate 1 is filled with the translucent resin 25, it is possible to prevent the LED chip 3 and the IC chips 4 and 7 from coming off the wiring pattern due to an externally applied force. Also, the optical semiconductor device 2
It is possible to prevent dust and foreign matter from entering the inside of the housing 4.

【0032】図9は、本発明の第3実施例である光半導
体装置28の断面図である。光半導体装置28において
前述した第1実施例における光半導体装置21と同一の
構成要素には同一の参照符を付して説明は省略する。
FIG. 9 is a sectional view of an optical semiconductor device 28 according to a third embodiment of the present invention. In the optical semiconductor device 28, the same components as those of the optical semiconductor device 21 in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0033】本実施例における光半導体装置28の特徴
は、基板1上に設けられた各構成要素をカバー2を用い
ずに透光性樹脂25によって覆って保護している点であ
る。また、スリット6は透光性樹脂25によって充填さ
れる。透光性樹脂25の材料としては、カバー2の代わ
りとなり、強度および腐食防止に優れた材料を選ぶこと
が望ましい。光半導体装置28においてLEDチップ3
から出た光は、スリット6に充填された透光性樹脂25
を介して出射方向18へと出射される。
The feature of the optical semiconductor device 28 in the present embodiment is that each component provided on the substrate 1 is covered and protected by a light-transmitting resin 25 without using the cover 2. The slit 6 is filled with the translucent resin 25. As a material of the translucent resin 25, it is desirable to select a material that replaces the cover 2 and is excellent in strength and corrosion prevention. LED chip 3 in optical semiconductor device 28
Is emitted from the transparent resin 25 filled in the slit 6.
The light is emitted in the emission direction 18 through.

【0034】上述のように光半導体装置28を構成する
ことによって、カバー2を取付けなくてもすむようにな
り、また光半導体装置28のそれぞれの構成要素が透光
性樹脂25によって互いに固着されるので、外部から加
えられる力によってLEDチップ3およびICチップ
4,7が配線パターンから外れるのを防止することがで
きる。
By configuring the optical semiconductor device 28 as described above, the cover 2 does not have to be attached, and the components of the optical semiconductor device 28 are fixed to each other by the translucent resin 25. In addition, it is possible to prevent the LED chip 3 and the IC chips 4 and 7 from coming off the wiring pattern due to externally applied force.

【0035】図10は、本発明の第4実施例である光半
導体装置31の断面図である。光半導体装置31におい
て前述した第1実施例における光半導体装置21と同一
の構成要素には同一の参照符を付して説明を省略する。
FIG. 10 is a sectional view of an optical semiconductor device 31 according to a fourth embodiment of the present invention. In the optical semiconductor device 31, the same components as those of the optical semiconductor device 21 in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0036】本実施例における光半導体装置31の特徴
は、スリット6に充填される透光性樹脂25を基板1の
他方表面1b側へと凸状に盛り上げで形成することであ
る。
The feature of the optical semiconductor device 31 of the present embodiment is that the transparent resin 25 filling the slit 6 is formed in a convex shape on the other surface 1b side of the substrate 1.

【0037】上述のように光半導体装置31を構成する
ことによって、LEDチップ3から出た光は透光性樹脂
25のレンズ作用によって一定の大きさにまとめられ出
射方向18へと出射される。また、LEDチップ3およ
びICチップ4,7の隙間が透光性樹脂25で充填され
ているので外部から加えられる力によってLEDチップ
3およびICチップ4,7が配線パターンから外れるの
を防止することができる。
By configuring the optical semiconductor device 31 as described above, the light emitted from the LED chip 3 is collected into a certain size by the lens action of the translucent resin 25 and emitted in the emission direction 18. Further, since the gap between the LED chip 3 and the IC chips 4 and 7 is filled with the translucent resin 25, it is possible to prevent the LED chip 3 and the IC chips 4 and 7 from coming off the wiring pattern due to an externally applied force. Can be.

【0038】図11は、本発明の第5実施例である光半
導体装置34の断面図である。光半導体装置34におい
て、前述した第1実施例における光半導体装置21と同
一の構成要素には同一の参照符を付して説明を省略す
る。
FIG. 11 is a sectional view of an optical semiconductor device 34 according to a fifth embodiment of the present invention. In the optical semiconductor device 34, the same components as those of the optical semiconductor device 21 in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0039】本実施例における光半導体装置34の特徴
は、スリット6およびそれぞれのチップと基板1との間
を透光性樹脂25によって充填し、さらに基板1上に搭
載された各構成要素を透光性樹脂25とは異なる樹脂3
5によって覆っていることである。樹脂35の材料とし
ては、カバー2の代わりとなり、強度および腐食防止に
優れた材料を選ぶことが望ましい。
The feature of the optical semiconductor device 34 in the present embodiment is that the gap between the slit 6 and each chip and the substrate 1 is filled with a translucent resin 25, and each component mounted on the substrate 1 is transparent. Resin 3 different from optical resin 25
5 is covered. As a material of the resin 35, it is preferable to select a material that replaces the cover 2 and has excellent strength and corrosion prevention.

【0040】上述のように光半導体装置34を構成する
ことによって、カバー2を取付けなくてもすむようにな
り、またそれぞれの構成要素が樹脂35によって互いに
固着されるので外部から加えられる力によってLEDチ
ップ3およびICチップ4,7が配線パターンから外れ
るのを防止することができる。
By configuring the optical semiconductor device 34 as described above, the cover 2 does not have to be attached, and the respective components are fixed to each other by the resin 35. 3 and the IC chips 4 and 7 can be prevented from coming off the wiring pattern.

【0041】なお、上述の各実施例においてスリット6
に充填される透光性樹脂25は透明でも着色されてもよ
く、散乱剤を混ぜ、LEDチップ3から出射される光を
散乱させるようにしてもよい。また、上述の各実施例に
おいてLEDチップ3の代わりにCCD(Charge Coupl
ed Device)などの受光素子を用いてもよい。
In each of the above embodiments, the slit 6
The transparent resin 25 filled in the LED chip 3 may be transparent or colored, and may be mixed with a scattering agent to scatter light emitted from the LED chip 3. In each of the above-described embodiments, a CCD (Charge Coupler) is used instead of the LED chip 3.
ed Device) may be used.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、光半導体
装置における合成樹脂成型基板には一方表面側から他方
表面側に向けて開口面積が増大するように透孔を形成
し、光半導体素子を当該透孔に向けて基板上にフェイス
ダウンボンディングによって配置し、光半導体素子から
出射される光は透孔を経て外部へと放出されるので、高
密度の配線および実装を行うことができる。また、基板
の材料として液晶ポリマから成る合成樹脂が用いられて
いるので、配線パターンの密着性がよく、また装置の小
型化および軽量化を図ることができる。
As described above, according to the present invention, a through hole is formed in a synthetic resin molded substrate in an optical semiconductor device so that the opening area increases from one surface side to the other surface side. The element is arranged on the substrate by face-down bonding toward the through-hole, and light emitted from the optical semiconductor element is emitted to the outside through the through-hole, so that high-density wiring and mounting can be performed. . Further, since a synthetic resin made of a liquid crystal polymer is used as the material of the substrate, the adhesion of the wiring pattern is good, and the size and weight of the device can be reduced.

【0043】また本発明によれば、光半導体チップには
光半導体素子としてLEDアレイが形成され、前記液晶
ポリマから成る合成樹脂成型基板には、LEDアレイを
構成する複数のLED素子に個別的に対応した複数のス
リット状の透孔が成型時に容易に形成され、それぞれの
LED素子から出射される光がそれぞれの透孔から出射
され、LED素子による表示の視認性を向上させること
ができる。
According to the present invention, an LED array is formed as an optical semiconductor element on the optical semiconductor chip, and a plurality of LED elements constituting the LED array are individually formed on the synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer. A plurality of corresponding slit-shaped through holes are easily formed at the time of molding, and light emitted from each LED element is emitted from each through hole, so that visibility of display by the LED elements can be improved.

【0044】さらに本発明によれば、前記液晶ポリマか
ら成る合成樹脂成型基板の透孔には光透過性の合成樹脂
が充填されるので、前記透孔からのゴミおよび異物の侵
入を防止することができる。
Further, according to the present invention, the through holes of the synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer are filled with a light-transmitting synthetic resin, so that it is possible to prevent dust and foreign matter from entering the through holes. Can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例である光半導体装置21の
平面図である。
FIG. 1 is a plan view of an optical semiconductor device 21 according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1における切断面線II−IIから見た断面
図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.

【図3】図1における切断面線III−IIIから見た
断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.

【図4】光半導体装置21におけるLEDチップ3周辺
の平面図である。
FIG. 4 is a plan view of the periphery of the LED chip 3 in the optical semiconductor device 21.

【図5】本発明の第1実施例における他の構成例である
光半導体装置22の平面図である。
FIG. 5 is a plan view of an optical semiconductor device 22 as another configuration example according to the first embodiment of the present invention.

【図6】図5における切断面線VI−VIから見た断面
図である。
FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI in FIG. 5;

【図7】図5における切断面線VII−VIIから見た
断面図である。
FIG. 7 is a sectional view taken along section line VII-VII in FIG. 5;

【図8】本発明の第2実施例である光半導体装置24の
断面図である。
FIG. 8 is a sectional view of an optical semiconductor device 24 according to a second embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第3実施例である光半導体装置28の
断面図である。
FIG. 9 is a sectional view of an optical semiconductor device 28 according to a third embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第4実施例である光半導体装置31
の断面図である。
FIG. 10 shows an optical semiconductor device 31 according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG.

【図11】本発明の第5実施例である光半導体装置34
の断面図である。
FIG. 11 shows an optical semiconductor device according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG.

【図12】ワイヤーボンドアッセンブルによってLED
チップ101が接続された光半導体装置111の平面図
である。
FIG. 12: LED by wire bond assembly
FIG. 3 is a plan view of the optical semiconductor device 111 to which the chip 101 is connected.

【図13】図12における切断面線XIII−XIII
から見た断面図である。
FIG. 13 is a section line XIII-XIII in FIG.
It is sectional drawing seen from.

【図14】図12における切断面線XIV−XIVから
見た断面図である。
FIG. 14 is a cross-sectional view taken along the section line XIV-XIV in FIG. 12;

【図15】フェイスダウンボンディング方式によってL
EDチップ122が接続された光半導体装置121の平
面図である。
FIG. 15 shows an example in which L is determined by a face-down bonding method.
FIG. 3 is a plan view of the optical semiconductor device 121 to which the ED chip 122 is connected.

【図16】図15における切断面線XVI−XVIから
見た断面図である。
FIG. 16 is a cross-sectional view as viewed from a section line XVI-XVI in FIG. 15;

【図17】図15における切断面線XVII−XVII
から見た断面図である。
17 is a section line XVII-XVII in FIG.
It is sectional drawing seen from.

【符号の説明】 1 基板 2 カバー 3 LEDチップ 4,7 ICチップ 6 スリット 9 配線パターン 10,12,13 バンプ 11 導電性ペースト 18 出射方向 21,22,24,28,31,34 光半導体装置 25 透光性樹脂[Description of Reference Numerals] 1 substrate 2 cover 3 LED chip 4, 7 IC chip 6 slit 9 wiring pattern 10, 12, 13 bump 11 conductive paste 18 emission direction 21, 22, 24, 28, 31, 34 optical semiconductor device 25 Translucent resin

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−228003(JP,A) 特開 平7−131071(JP,A) 特開 平8−129344(JP,A) 特開 平6−151977(JP,A) 特開 平5−347434(JP,A) 特開 平8−104030(JP,A) 実開 平3−32447(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 33/00 H01L 21/60 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-7-228003 (JP, A) JP-A-7-131071 (JP, A) JP-A 8-129344 (JP, A) JP-A-6-129344 151977 (JP, A) JP-A-5-347434 (JP, A) JP-A-8-104030 (JP, A) JP-A-3-32447 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01L 33/00 H01L 21/60

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 表面に光半導体素子および接続用バンプ
を備える光半導体チップと、 光半導体素子に対応する開口形状の透孔および前記接続
用バンプに対応する電極パッドが一方表面側に設けら
れ、前記透孔は他方表面側に向かって開口面積が増大す
るように一体に形成される液晶ポリマから成る合成樹脂
成型基板とを含み、 前記光半導体チップは、前記液晶ポリマから成る合成樹
脂成型基板上に接続用バンプと電極パッドとの間のフェ
イスダウンボンディングによって搭載されることを特徴
とする光半導体装置。
1. An optical semiconductor chip having an optical semiconductor element and a connection bump on the surface, an opening having an opening corresponding to the optical semiconductor element, and an electrode pad corresponding to the connection bump are provided on one surface side, The through hole includes a synthetic resin molded substrate made of a liquid crystal polymer integrally formed so that an opening area increases toward the other surface side; and the optical semiconductor chip is formed on a synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer. An optical semiconductor device mounted by face-down bonding between a connection bump and an electrode pad.
【請求項2】 前記光半導体チップには、光半導体素子
としてLEDアレイが形成され、 前記液晶ポリマから成る合成樹脂成型基板には、LED
アレイを構成する複数のLED素子に個別的に対応し
て、複数のスリット状の透孔が形成されることを特徴と
する請求項1記載の光半導体装置。
2. An LED array is formed on the optical semiconductor chip as an optical semiconductor element, and an LED array is formed on a synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer.
2. The optical semiconductor device according to claim 1, wherein a plurality of slit-shaped through holes are formed individually corresponding to the plurality of LED elements forming the array.
【請求項3】 前記液晶ポリマから成る合成樹脂成型基
板の透孔には、光透過性の合成樹脂が充填されることを
特徴とする請求項1または2記載の光半導体装置。
3. The optical semiconductor device according to claim 1, wherein a light-transmitting synthetic resin is filled in the through hole of the synthetic resin molded substrate made of the liquid crystal polymer.
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