JP3206506B2 - Ion implanter with analysis magnet with magnetic field offset by permanent magnet - Google Patents
Ion implanter with analysis magnet with magnetic field offset by permanent magnetInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造に用いら
れるイオン注入装置に属し、特にイオンビームに分離技
術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ion implantation apparatus used for semiconductor manufacturing, and more particularly to a technique for separating an ion beam.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のイオン注入装置の分析磁石は、ビ
ームラインに対してある一つの向きに磁束を通し、ビー
ムラインを通過するイオンの軌道の曲率半径Ｒが、イオ
ンの質量ｍ、価数ｑ、引出電圧Ｖと磁束密度Ｂの関数 Ｒ＝ｋ／Ｂ（２（ｍ／ｑ）Ｖ）-2 により与えられること利用して、磁気回路中の電磁石に
より任意の磁束を発生させ、ある特定の重さ、価数、エ
ネルギーのイオンを選択する。2. Description of the Related Art An analysis magnet of a conventional ion implantation apparatus transmits a magnetic flux in one direction with respect to a beam line, and the radius of curvature R of the trajectory of the ion passing through the beam line is determined by the mass m and the valence of the ion. q, an arbitrary magnetic flux is generated by an electromagnet in a magnetic circuit by using the function given by R = k / B (2 (m / q) V) -2 , which is a function of the extraction voltage V and the magnetic flux density B, Weight, valence, and energy.
【０００３】図８は、従来のイオン注入装置の分析磁石
の構造を示す斜視図である。図８を参照すると、イオン
ビーム７の通り道であり、内部が高真空に保たれている
ビームライン２と、イオンビーム７を偏向させるための
磁束４を発生させる電磁石５ａと、電磁石５ａで発生し
た磁束４をビームライン２に正しく導くための磁気回路
を構成するステー５ｂと、偏向したイオンビーム７のう
ち特定のものだけを取り出すためのアパチャー３と、を
有している。FIG. 8 is a perspective view showing a structure of an analysis magnet of a conventional ion implantation apparatus. Referring to FIG. 8, the path is the path of the ion beam 7, the inside of which is maintained in a high vacuum, the beam line 2, the electromagnet 5 a for generating the magnetic flux 4 for deflecting the ion beam 7, and the electromagnet 5 a It has a stay 5b constituting a magnetic circuit for correctly guiding the magnetic flux 4 to the beam line 2, and an aperture 3 for extracting only a specific one of the deflected ion beams 7.
【０００４】まず、電源より電磁石５ａに所定の電流を
供給し、電磁石５ａに所望するイオンビーム７がアパチ
ャー３の開口部に到達する分の磁束４を発生させる。発
生した磁束４は、ステー５ｂによってビームライン２を
通過するように導かれる。First, a predetermined current is supplied from a power supply to the electromagnet 5 a to generate a magnetic flux 4 for the desired ion beam 7 reaching the opening of the aperture 3. The generated magnetic flux 4 is guided by the stay 5b so as to pass through the beam line 2.
【０００５】次に、イオンビーム７が分析磁石１に入射
すると、イオンビーム７は磁束４によって曲げられ所望
するイオンビーム７ａのみがアパチャー３の開口部から
取り出される。Next, when the ion beam 7 is incident on the analysis magnet 1, the ion beam 7 is bent by the magnetic flux 4 and only the desired ion beam 7 a is extracted from the opening of the aperture 3.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来技術は下記記載の問題点を有している。However, the above-mentioned prior art has the following problems.
【０００７】第１の問題点は、従来技術の分析磁石は７
５°〜１３５°の偏向角度を有しているが、必要なイオ
ンビームを得るために要するアンペアターン数が多くな
り、電力の消費が大きいという、ことである。The first problem is that the prior art analysis magnet has a
Although it has a deflection angle of 5 ° to 135 °, the number of ampere turns required to obtain a required ion beam increases and power consumption is large.
【０００８】その理由は、７５°〜１３５°の偏向角度
を発生するために必要な磁束を全て電磁石で発生させて
おり、可変範囲の下限の分の磁束を発生させるためにも
電磁石の使用しているためである。The reason is that all the magnetic flux necessary to generate a deflection angle of 75 ° to 135 ° is generated by the electromagnet, and the electromagnet is also used to generate the magnetic flux corresponding to the lower limit of the variable range. Because it is.
【０００９】第２の問題点は、アンペアターン数を減少
するために偏向角度を小さくすると、分析磁石が長くな
ってしまう、ということである。A second problem is that if the deflection angle is reduced to reduce the number of ampere turns, the analysis magnet becomes longer.
【００１０】その理由は、偏向の回転半径の差が小さい
ので、例えば隣り合った原子量のイオン（例えば10Ｂ，
11Ｂ）のイオンビームの分離のための距離を確保するた
めに、ビームの飛行距離を長くなしければならない、た
めである。The reason is that, since the difference in the radius of gyration of the deflection is small, for example, ions of adjacent atomic weights (for example, 10 B,
This is because the flight distance of the beam must be long in order to secure a distance for separating the ion beam in 11B).
【００１１】したがって本発明は、上記問題点に鑑みて
なされたものであって、その目的は、分析磁石のアンペ
アターン数を少なくすることによって、装置の小型化及
び低消費電力化を実現するイオン注入装置を提供するこ
とにある。Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to reduce the number of ampere turns of an analysis magnet, thereby realizing an ionization device which realizes downsizing of the apparatus and low power consumption. An injection device is provided.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明のイオン注入装置は、ビームラインに対してある
一つの向きに磁束を通し、該ビームラインを通過するイ
オンの軌道の曲率半径が、イオンの重さ、価数、及びエ
ネルギーと磁束の密度の関数により与えられることを利
用して、磁気回路中の電磁石により任意の磁束を発生さ
せ、ある特定の重さ、価数、エネルギーのイオンを選択
する分析磁石を有し、前記磁気回路中に発生する磁束を
オフセット分と可変分によって構成し、前記磁束のオフ
セット分を永久磁石により発生し、前記可変分を電磁石
により発生するイオン注入装置であって、必要とされる
磁束を発生させるのに要する前記電磁石のアンペアター
ン量を少なくする方向に、前記永久磁石のオフセット磁
束を設定する、ことを特徴とする。In order to achieve the above object, an ion implantation apparatus according to the present invention passes a magnetic flux in one direction with respect to a beam line, and the radius of curvature of the trajectory of ions passing through the beam line is reduced. By utilizing the weight of ions, valence, and the function given by the function of the density of energy and magnetic flux, an arbitrary magnetic flux is generated by an electromagnet in a magnetic circuit, and a specific weight, valence, and energy has analyzing magnet of selecting ions, said magnetic flux generated in the magnetic circuit constituted by offset and variable frequency, an offset of the magnetic flux generated by the permanent magnet, the ion implantation for generating the variable frequency by an electromagnet Device, required
Ampere amper of the electromagnet required to generate magnetic flux
In order to reduce the amount of
Setting a bundle .
【００１３】本発明は、好ましくは、前記磁束の方向を
正及び逆方向に切り替え可能な電磁石を有する。In the present invention, preferably, the direction of the magnetic flux is changed.
It has an electromagnet that can be switched in forward and reverse directions .
【００１４】［発明の原理］本発明のイオン注入装置に
おいては、従来装置と同じイオンビームを得るために必
要な磁束が、永久磁石の磁束と電磁石の磁束の合計とな
るので、所望の磁束を得るための電磁石のアンペアター
ンが少なくなり、小型化・小電力化を可能としている。[Principle of the Invention] In the ion implantation apparatus of the present invention, the magnetic flux required to obtain the same ion beam as the conventional apparatus is the sum of the magnetic flux of the permanent magnet and the magnetic flux of the electromagnet. The number of ampere turns of the electromagnet to be obtained is reduced, which enables downsizing and low power consumption.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【００１６】図１は、本発明の実施の形態の構成を示す
斜視図である。図１を参照すると、本発明の実施の形態
において、ビームライン２は、曲がったパイプ（ダク
ト）状の形状とされ、出射側の端にアパチャー３が取り
付けられている。そして、磁束４が曲がりの方向と直角
にビームライン２を横切るように電磁石５ａ、ステー５
ｂ、永久磁石５ｃによって構成される磁気回路の中に設
置される。電磁石５ａは、磁束の方向、大きさが制御可
能な電磁石である。FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of the embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, in an embodiment of the present invention, a beam line 2 has a bent pipe (duct) shape, and an aperture 3 is attached to an end on an emission side. The electromagnet 5a and the stay 5 are arranged so that the magnetic flux 4 crosses the beam line 2 at right angles to the direction of the bend.
b, installed in a magnetic circuit constituted by the permanent magnet 5c. The electromagnet 5a is an electromagnet whose direction and magnitude of the magnetic flux can be controlled.
【００１７】本発明の実施の形態の動作について説明す
る。まず、永久磁石５ｃがある大きさの磁束４ａを発生
させる。次に、永久磁石５ｃの磁束４ａと電磁石５ａの
磁束４ｂの合計が所望するイオンビーム７をアパチャー
３の開口部に導くのに合致する磁束４ｂを電磁石５ａで
発生する。この磁束４は、磁気回路を構成するステー５
ｂによってビームライン２を通過するように導かれる。The operation of the embodiment of the present invention will be described. First, a magnetic flux 4a of a certain size is generated by the permanent magnet 5c. Next, the electromagnet 5a generates a magnetic flux 4b that matches the sum of the magnetic flux 4a of the permanent magnet 5c and the magnetic flux 4b of the electromagnet 5a to guide the desired ion beam 7 to the opening of the aperture 3. This magnetic flux 4 is supplied to a stay 5 constituting a magnetic circuit.
The light is guided to pass through the beam line 2 by b.
【００１８】[0018]
【実施例１】本発明の実施例について図面を参照して以
下に詳細に説明する。Embodiment 1 An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１９】図２は、本発明の一実施例の構成を示す図
である。図２を参照すると、ビームライン２は、水平に
曲がったパイプ（ダクト）状をしており、出射側の端に
アパチャー３が取り付けられている。そして、磁束４が
垂直にビームライン２を横切るように−３５００〜３５
００ガウスの電磁石５ａ、ステー５ｂ、３５００ガウス
のフェライト磁石５ｄによって構成される磁気回路の中
に設置される。FIG. 2 is a diagram showing the configuration of one embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the beam line 2 has a pipe (duct) shape that is bent horizontally, and an aperture 3 is attached to an end on the emission side. Then, -3500 to 35 so that the magnetic flux 4 crosses the beam line 2 vertically.
It is installed in a magnetic circuit constituted by a 00 Gaussian electromagnet 5a, a stay 5b, and a 3500 Gauss ferrite magnet 5d.
【００２０】電磁石５ａはビームライン２の上下に分割
して設置される。フェライト磁石５ｄはビームライン２
に隣接して設置され、ステー５ｂによって電磁石５ａと
接続し磁気回路を構成する。The electromagnet 5a is installed separately above and below the beam line 2. Ferrite magnet 5d is beamline 2
And is connected to the electromagnet 5a by a stay 5b to form a magnetic circuit.
【００２１】本発明の一実施例の動作について説明す
る。まず、４０ＫｅＶ引出しのＡｓ+を得るときの動作
について、図３に示した水平断面図を参照して説明す
る。まず、フェライト磁石５ｄから発生した３５００ガ
ウスの磁束４ａは、ビームライン２を紙面の上から下に
向かって貫いている。４０ＫｅＶ引出しのＡｓ+を得る
には、６５００ガウスの磁束が必要であるため、電磁石
５ａで３０００ガウスの磁束４ｂを発生させ磁束４ａに
追加する。イオンビーム７が入射するとＡｓ+のイオン
ビーム７ａが、アパチャー３の開口部を通過し取り出さ
れる。The operation of one embodiment of the present invention will be described. First, the operation for obtaining As + of 40 KeV extraction will be described with reference to the horizontal sectional view shown in FIG. First, the magnetic flux 4a of 3500 gauss generated from the ferrite magnet 5d penetrates the beam line 2 from the top to the bottom of the page. Since a magnetic flux of 6500 gauss is required to obtain As + of 40 KeV extraction, a 3000 gauss magnetic flux 4b is generated by the electromagnet 5a and added to the magnetic flux 4a. When the ion beam 7 enters, the As + ion beam 7a passes through the opening of the aperture 3 and is extracted.
【００２２】次に、４０ＫｅＶ引出しのＢ+を得るとき
の動作について、図４の水平断面図を参照して説明す
る。まず、フェライト磁石５ｃから発生した３５００ガ
ウスの磁束４ａは、ビームライン２を紙面の上から下に
向かって貫いている。４０ＫｅＶ引出しのＢ+を得るに
は、２５００ガウスの磁束が必要であるため、電磁石５
ａで逆方向の１０００ガウスの磁束４ｂを発生させ磁束
４ａに追加する。イオンビーム７が入射するとＢ+のイ
オンビーム７ａが、アパチャー３の開口部を通過し取り
出される。従来６５００ガウスの磁束を発生する電磁石
が必要だったところが、３５００ガウスですむので電磁
石を小さくすることができる。Next, the operation for obtaining B + of 40 KeV withdrawal will be described with reference to the horizontal sectional view of FIG. First, the magnetic flux 4a of 3500 gauss generated from the ferrite magnet 5c penetrates the beam line 2 from the top to the bottom of the page. Since a magnetic flux of 2500 Gauss is required to obtain B + of 40 KeV, the electromagnet 5
a, a magnetic flux 4b of 1000 gauss is generated in the opposite direction and added to the magnetic flux 4a. When the ion beam 7 enters, the B + ion beam 7a passes through the opening of the aperture 3 and is extracted. Whereas conventionally, an electromagnet that generates a magnetic flux of 6500 gauss is required, only 3500 gauss is enough, so that the electromagnet can be made smaller.
【００２３】次に本発明の第２の実施例について図面を
参照して詳細に説明する。Next, a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【００２４】図５は、本発明の第２の実施例の構成を示
す斜視図である。図５を参照すると、ビームライン２
は、水平に曲がったパイプ状をしており、出射側の端に
アパチャー３が取り付けられている。そして、磁束４が
垂直にビームライン２を横切るように−３５００〜３５
００ガウスの電磁石５ａ、ステー５ｂ、３５００ガウス
の希土類磁石集合体５ｅによって構成される磁気回路の
中に設置される。電磁石５ａはビームライン２の上下に
分割して設置される。FIG. 5 is a perspective view showing the structure of the second embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5, beam line 2
Has a pipe shape bent horizontally, and an aperture 3 is attached to an end on the emission side. Then, -3500 to 35 so that the magnetic flux 4 crosses the beam line 2 vertically.
It is installed in a magnetic circuit constituted by a 00 Gaussian electromagnet 5a, a stay 5b, and a 3500 Gauss rare earth magnet assembly 5e. The electromagnets 5a are installed separately above and below the beam line 2.
【００２５】希土類磁石集合体５ｅは，電磁石５ａの上
方及び下方に分割して設置され、電磁石５ａ、ステー５
ｂ、希土類磁石集合体５ｅによって磁気回路を構成す
る。The rare earth magnet assembly 5e is installed separately above and below the electromagnet 5a.
b, A magnetic circuit is constituted by the rare earth magnet assembly 5e.
【００２６】本発明の第２の実施例の動作について説明
する。まず、４０ＫｅＶ引出しのＡｓ+を得るときの動
作について、図６の水平断面図を参照して説明する。The operation of the second embodiment of the present invention will be described. First, the operation for obtaining As + of 40 KeV withdrawal will be described with reference to the horizontal sectional view of FIG.
【００２７】希土類磁石集合体５ｅから発生した３５０
０ガウスの磁束４ａは、ビームライン２を紙面の上から
下に向かって貫いている。４０ＫｅＶ引出しのＡｓ+を
得るには、６５００ガウスの磁束が必要であるため、電
磁石５ａで３０００ガウスの磁束４ｂを発生させ磁束４
ａに追加する。イオンビーム７が入射するとＡｓ+のイ
オンビーム７ａが、アパチャー３の開口部を通過し取り
出される。350 generated from the rare earth magnet assembly 5e
The magnetic flux 4a of 0 gauss penetrates the beam line 2 from the top to the bottom of the page. Since a magnetic flux of 6500 gauss is required to obtain As + of 40 KeV, the electromagnet 5a generates a magnetic flux 4b of 3000 gauss and generates a magnetic flux 4b.
a. When the ion beam 7 enters, the As + ion beam 7a passes through the opening of the aperture 3 and is extracted.
【００２８】次に、４０ＫｅＶ引出しのＢ+を得るとき
の動作について、図７の水平断面図３ｂを参照して説明
する。Next, the operation for obtaining B + of 40 KeV withdrawal will be described with reference to the horizontal sectional view 3b of FIG.
【００２９】希土類磁石集合体５ｅから発生した３５０
０ガウスの磁束４ａは、ビームライン２を紙面の上から
下に向かって貫いている。４０ＫｅＶ引出しのＢ+を得
るには、２５００ガウスの磁束が必要なので電磁石５ａ
で逆方向の１０００ガウスの磁束４ｂを発生させ磁束４
ａに追加する。イオンビーム７が入射するとＢ+のイオ
ンビーム７ａが、アパチャー３の開口部を通過し取り出
される。従来６５００ガウスの磁束を発生する電磁石が
必要だったところが、３５００ガウスですむので電磁石
を小さくすることができる。350 generated from the rare earth magnet assembly 5e
The magnetic flux 4a of 0 gauss penetrates the beam line 2 from the top to the bottom of the page. To obtain B + of 40 KeV withdrawal, a magnetic flux of 2500 gauss is required, so the electromagnet 5a
Generates a magnetic flux 4b of 1000 gauss in the opposite direction
a. When the ion beam 7 enters, the B + ion beam 7a passes through the opening of the aperture 3 and is extracted. Whereas an electromagnet that generates a magnetic flux of 6500 gauss was conventionally required, only 3500 gauss is enough, so the electromagnet can be made smaller.
【００３０】さらに本発明の別の実施例として、磁束の
方向を変更できない電磁石を使用する場合でも、オフセ
ット分を制御範囲の上限または下限に設定するようにす
れば、電流の方向を変更できる電源と同じ結果が得られ
る。また、オフセット分の磁束を作るために永久磁石の
代わりに、超電導磁石を使用しても同様の結果が得られ
る。Further, as another embodiment of the present invention, even when an electromagnet whose direction of magnetic flux cannot be changed is used, if the offset is set to the upper limit or the lower limit of the control range, the power source can change the direction of current. Gives the same result as Similar results can be obtained by using a superconducting magnet instead of a permanent magnet to generate a magnetic flux for the offset.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば下
記記載の効果を奏する。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
【００３２】本発明の第１の効果は、従来装置と同じイ
オンビームを得るために必要な電磁石のアンペアターン
が少なくなり、装置の小型化及び小電力化を可能とする
ということである。A first effect of the present invention is that the number of ampere turns of an electromagnet required to obtain the same ion beam as that of a conventional device is reduced, and the device can be reduced in size and power.
【００３３】その理由は、本発明においては、イオンビ
ームを得るために必要な磁束をオフセット分と可変分に
分け、オフセット分を電力を消費しない永久磁石により
発生するためである。The reason is that, in the present invention, the magnetic flux necessary for obtaining the ion beam is divided into an offset component and a variable component, and the offset component is generated by a permanent magnet that does not consume power.
【００３４】本発明の第２の効果は、磁束制御範囲での
磁束と電流の間の線形性が良くなる、ということであ
る。A second effect of the present invention is that the linearity between the magnetic flux and the current in the magnetic flux control range is improved.
【００３５】その理由は、本発明においては、磁束制御
範囲内において、より線形性の高い電流値０に近い部分
を使用することができるためである。The reason is that, in the present invention, a portion having a higher linearity and a current value close to 0 can be used within the magnetic flux control range.
【図１】本発明の実施の形態を説明する斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施例の構成を示す斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a first exemplary embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第１の実施例において４０ＫｅＶ引出
しＡｓ+を得るときの動作を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining an operation when obtaining 40 KeV withdrawal As + in the first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第１の実施例において４０ＫｅＶ引出
しＢ+を得るときの動作を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining an operation when obtaining 40 KeV withdrawal B + in the first embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第２の実施例２の構成を示す斜視図で
ある。FIG. 5 is a perspective view illustrating a configuration of a second exemplary embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第２の実施例において４０ＫｅＶ引出
しＡｓ+を得るときの動作を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining an operation when obtaining 40 KeV withdrawal As + in the second embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第２の実施例において４０ＫｅＶ引出
しＢ+を得るときの動作を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining an operation when obtaining a 40 KeV extraction B + in the second embodiment of the present invention.
【図８】従来技術の構成を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a configuration of a conventional technique.
１ 分析磁石 ２ ビームライン ３ アパチャー ４ 磁束 ４ａ 永久磁石の磁束 ４ｂ 電磁石の磁束 ５ 磁気回路 ５ａ 電磁石 ５ｂ ステー ５ｃ 永久磁石 ５ｄ フェライト磁石 ５ｅ 希土類磁石集合体 ７ イオンビーム ７ａ 所望するイオンビーム Reference Signs List 1 analysis magnet 2 beam line 3 aperture 4 magnetic flux 4a permanent magnet magnetic flux 4b electromagnet magnetic flux 5 magnetic circuit 5a electromagnet 5b stay 5c permanent magnet 5d ferrite magnet 5e rare earth magnet assembly 7 ion beam 7a desired ion beam
Claims (4)
束を通し、該ビームラインを通過するイオンの軌道の曲
率半径が、イオンの重さ、価数、及びエネルギーと磁束
の密度の関数により与えられることを利用して、磁気回
路中の電磁石により任意の磁束を発生させ、ある特定の
重さ、価数、エネルギーのイオンを選択する分析磁石を
有し、前記磁気回路中に発生する磁束をオフセット分と
可変分によって構成し、前記磁束のオフセット分を永久
磁石により発生し、前記可変分を電磁石により発生する
イオン注入装置であって、 必要とされる磁束を発生させるのに要する前記電磁石の
アンペアターン量を少なくする方向に、前記永久磁石の
オフセット磁束を設定する、 ことを特徴とするイオン注
入装置。A magnetic flux is passed in one direction with respect to a beam line, and the radius of curvature of the trajectory of an ion passing through the beam line is determined by a function of ion weight, valence, and energy and magnetic flux density. Utilizing what is given, an arbitrary magnet is generated by an electromagnet in a magnetic circuit, and has an analysis magnet that selects ions of a specific weight, valence, energy, and a magnetic flux generated in the magnetic circuit. Is constituted by an offset component and a variable component, the offset component of the magnetic flux is generated by a permanent magnet, and the variable component is generated by an electromagnet.
An ion implanter, wherein said electromagnet is required to generate the required magnetic flux.
In order to reduce the ampere turn,
An ion implanter for setting an offset magnetic flux .
可能な電磁石を有する、ことを特徴とする請求項１記載
のイオン注入装置。Wherein with an electromagnet capable of switching the direction of the magnetic flux in the forward and reverse directions, the ion implantation apparatus according to claim 1, wherein a.
ってコイルの巻数または電流量を減少させ、これにより
分析磁石の小型化又は小電力化を実現する、ようにした
ことを特徴とする請求項２記載のイオン注入装置。3. A process according to claim, characterized in that reducing the number of turns or the current amount of the coil by reducing the ampere-turns of the electromagnet, thereby realizing miniaturization or small power of analysis magnet, and so 2 An ion implanter according to any one of the preceding claims.
の正逆方向と大きさ、もしくは磁束の大きさのみが可変
に制御できる電磁石と、を含み、出射端開口部から選択
されたイオンビームが出力されるビームラインの上下に
前記電磁石を備え、前記電磁石及びステーと共に磁気回
路を構成するように前記永久磁石を配設し、 前記イオンビームを選択するための磁束をオフセット部
分と可変部分とに分割し、前記永久磁石によって前記磁
束のオフセット部分を発生し、前記電磁石によて前記磁
束の前記可変部分を発生してなる、ことを特徴とするイ
オン注入装置。4. A magnetic circuit of an analysis magnet includes a permanent magnet, and an electromagnet in which the direction and magnitude of magnetic flux or the magnitude of the magnetic flux or only the magnitude of the magnetic flux can be variably controlled, and is selected from an emission end opening. The electromagnets are provided above and below a beam line from which an ion beam is output, and the permanent magnets are arranged so as to form a magnetic circuit together with the electromagnets and stays.The magnetic flux for selecting the ion beam is variable with an offset portion. The permanent magnet generates an offset portion of the magnetic flux, and the electromagnet generates the variable portion of the magnetic flux.
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