JP3210164B2 - ロ−タリ−エンコ−ダ - Google Patents
ロ−タリ−エンコ−ダInfo
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- JP3210164B2 JP3210164B2 JP03741394A JP3741394A JP3210164B2 JP 3210164 B2 JP3210164 B2 JP 3210164B2 JP 03741394 A JP03741394 A JP 03741394A JP 3741394 A JP3741394 A JP 3741394A JP 3210164 B2 JP3210164 B2 JP 3210164B2
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- JP
- Japan
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- belt
- diffraction grating
- scale
- light
- rotation
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ロ−タリ−エンコ−ダ
に関し、特に回転角度等を高精度に測定するロ−タリ−
エンコ−ダに関する。
に関し、特に回転角度等を高精度に測定するロ−タリ−
エンコ−ダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のロ−タリ−エンコ−ダは、その主
要部分が光源、円板スケ−ル、インデックススケ−ル、
受光素子等により構成されており、光源からの光は円板
スケ−ルに照射される。円板スケ−ルには放射状のスリ
ットが形成されており、インデックススケ−ルと開口部
があったとき照射された光は受光素子により検知され
る。 円板スケ−ルが回転すると、円板スケ−ル内のス
リットが１ピッチ移動するごとに、受光素子から１周期
の正弦波信号が得られる。この方式のロ−タリ−エンコ
−ダでは、円板スケ−ルの格子ピッチにより分解能が決
まってしまう。また、円板スケ−ルの放射状格子は、一
般的に、作製が困難であり、精度、分解能にも限界があ
る。
要部分が光源、円板スケ−ル、インデックススケ−ル、
受光素子等により構成されており、光源からの光は円板
スケ−ルに照射される。円板スケ−ルには放射状のスリ
ットが形成されており、インデックススケ−ルと開口部
があったとき照射された光は受光素子により検知され
る。 円板スケ−ルが回転すると、円板スケ−ル内のス
リットが１ピッチ移動するごとに、受光素子から１周期
の正弦波信号が得られる。この方式のロ−タリ−エンコ
−ダでは、円板スケ−ルの格子ピッチにより分解能が決
まってしまう。また、円板スケ−ルの放射状格子は、一
般的に、作製が困難であり、精度、分解能にも限界があ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようなロ−タリ−
エンコ−ダは、回転角を検出する円板スケ−ル格子が、
扇型形状になっており、作製が困難であるため、同方式
のリニアエンコ−ダと比較し、不安定で高精度測定が困
難である。本発明は、回転運動を部分的に直線運動にし
て、疑似的に、リニアエンコ−ダと同様の検出をするロ
−タリ−エンコ−ダを提供することを目的としている。
エンコ−ダは、回転角を検出する円板スケ−ル格子が、
扇型形状になっており、作製が困難であるため、同方式
のリニアエンコ−ダと比較し、不安定で高精度測定が困
難である。本発明は、回転運動を部分的に直線運動にし
て、疑似的に、リニアエンコ−ダと同様の検出をするロ
−タリ−エンコ−ダを提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明では、被測定物の
回転に伴い回転する回転ドラムと、自由に回転する回転
軸の間に、柔軟性のあるベルト状スケールを直線移動す
る部分ができるように巻きつけ、該回転ドラムの回転に
より該ベルト状スケールが移動することを検出する手段
を有し、被測定物の回転角度の検知を行うロータリーエ
ンコーダにおいて、ベルト状スケールとしてのベルト状
回折格子と、光源を有し、該光源からの光を該ベルト状
回折格子を複数回通過させることにより発生させた２つ
以上の回折光を干渉させ、生じた干渉縞が回転ドラムの
回転に従い移動することを被測定物の回転角度の検知に
用いることにしたものである。
回転に伴い回転する回転ドラムと、自由に回転する回転
軸の間に、柔軟性のあるベルト状スケールを直線移動す
る部分ができるように巻きつけ、該回転ドラムの回転に
より該ベルト状スケールが移動することを検出する手段
を有し、被測定物の回転角度の検知を行うロータリーエ
ンコーダにおいて、ベルト状スケールとしてのベルト状
回折格子と、光源を有し、該光源からの光を該ベルト状
回折格子を複数回通過させることにより発生させた２つ
以上の回折光を干渉させ、生じた干渉縞が回転ドラムの
回転に従い移動することを被測定物の回転角度の検知に
用いることにしたものである。
【０００５】
【０００６】
【０００７】
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【作用】本発明によれば、被測定物の回転に伴い回転す
る回転ドラムと、自由に回転する回転軸の間に、柔軟性
のあるベルト状スケールを直線移動する部分ができるよ
うに巻きつけ、回転ドラムの回転によりベルト状スケー
ルが移動し、それを検出することにより被測定物の回転
角度を検知するロータリーエンコーダにおいて、ベルト
状スケールとしてのベルト状回折格子と、光源を有し、
光源からの光をベルト状回折格子を複数回通過させるこ
とにより発生させた２つ以上の回折光を干渉させて干渉
縞を作り、回転ドラムの回転に従い移動する干渉縞を利
用して被測定物の回転角度を検知する。
る回転ドラムと、自由に回転する回転軸の間に、柔軟性
のあるベルト状スケールを直線移動する部分ができるよ
うに巻きつけ、回転ドラムの回転によりベルト状スケー
ルが移動し、それを検出することにより被測定物の回転
角度を検知するロータリーエンコーダにおいて、ベルト
状スケールとしてのベルト状回折格子と、光源を有し、
光源からの光をベルト状回折格子を複数回通過させるこ
とにより発生させた２つ以上の回折光を干渉させて干渉
縞を作り、回転ドラムの回転に従い移動する干渉縞を利
用して被測定物の回転角度を検知する。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。本発明
は、回転運動を部分的に直線運動にし擬似的にリニアエ
ンコーダと同様の検出ができるようにしたものである。
図１は、本発明が適用されるベルト状スケールの移動機
構を説明するための図で、図中、１は回転ドラム、２は
回転軸、３はベルと状スケールで、図示のように、回転
ドラム１と回転軸２にベルト状スケール３がかけ渡され
ており、回転ドラム１の回転によりベルト状スケール３
が移動する。回転ドラム１は回転角を測定しようとする
被測定物と直結、又は連動して回転する。回転軸２は、
ベルト状スケール３と回転ドラム１との張力を調整し、
検出部分４を直線状にする。尚、回転軸は滑り軸でもよ
い。ベルト状スケール３は、柔軟性のある材料で、且
つ、引っ張り強さに強い材料を用いる。また、ベルト状
スケール３は、回転ドラム１と滑りがないような材質、
又は、構造、にする。被測定物の回転に伴い回転ドラム
１が回転すると、それに連れてベルト状スケール３が移
動する。このベルト状スケール３の移動量を検知するこ
とにより、回転角度が検出できる。
は、回転運動を部分的に直線運動にし擬似的にリニアエ
ンコーダと同様の検出ができるようにしたものである。
図１は、本発明が適用されるベルト状スケールの移動機
構を説明するための図で、図中、１は回転ドラム、２は
回転軸、３はベルと状スケールで、図示のように、回転
ドラム１と回転軸２にベルト状スケール３がかけ渡され
ており、回転ドラム１の回転によりベルト状スケール３
が移動する。回転ドラム１は回転角を測定しようとする
被測定物と直結、又は連動して回転する。回転軸２は、
ベルト状スケール３と回転ドラム１との張力を調整し、
検出部分４を直線状にする。尚、回転軸は滑り軸でもよ
い。ベルト状スケール３は、柔軟性のある材料で、且
つ、引っ張り強さに強い材料を用いる。また、ベルト状
スケール３は、回転ドラム１と滑りがないような材質、
又は、構造、にする。被測定物の回転に伴い回転ドラム
１が回転すると、それに連れてベルト状スケール３が移
動する。このベルト状スケール３の移動量を検知するこ
とにより、回転角度が検出できる。
【００１７】このように、回転ドラム１が被測定物の回
転に伴い回転し、回転ドラム１と自由に回転する回転軸
２の間に、柔軟性のあるベルト状スケールを直線移動す
る部分ができるように巻きつけ、この回転ドラム１の回
転によりベルト状スケール３が移動することを検出し
て、被測定物の回転角度の検知を行う。検出精度は、回
転ドラム１の真円度とベルト状スケール３のスケール精
度で決まる。また、ベルト状スケール３は、スケールの
ピッチむらが少なければよく、円板スケールと比較し、
作製上、精度の面で有利である。
転に伴い回転し、回転ドラム１と自由に回転する回転軸
２の間に、柔軟性のあるベルト状スケールを直線移動す
る部分ができるように巻きつけ、この回転ドラム１の回
転によりベルト状スケール３が移動することを検出し
て、被測定物の回転角度の検知を行う。検出精度は、回
転ドラム１の真円度とベルト状スケール３のスケール精
度で決まる。また、ベルト状スケール３は、スケールの
ピッチむらが少なければよく、円板スケールと比較し、
作製上、精度の面で有利である。
【００１８】図２は、ベルト状スケール３を透過型回折
格子としたもので、この例ではベルト状スケール３を透
過型回折格子としているが、反射型回折格子としてもよ
く、周囲の構成を反射型に適する構成に変更すれば透過
型と同様に検出できるようになることは勿論のことであ
る。ここで、説明を簡単にするために、固定用回折格子
５とベルト状回折格子のピッチは同じものとする。光源
６、レンズ７と検出器８は、ベルト状スケール３を間に
して対向的に配置されている。ベルト状スケール３には
固定用回折格子５が配設されており、固定用回折格子５
に入射するコリメート光を回折する。
格子としたもので、この例ではベルト状スケール３を透
過型回折格子としているが、反射型回折格子としてもよ
く、周囲の構成を反射型に適する構成に変更すれば透過
型と同様に検出できるようになることは勿論のことであ
る。ここで、説明を簡単にするために、固定用回折格子
５とベルト状回折格子のピッチは同じものとする。光源
６、レンズ７と検出器８は、ベルト状スケール３を間に
して対向的に配置されている。ベルト状スケール３には
固定用回折格子５が配設されており、固定用回折格子５
に入射するコリメート光を回折する。
【００１９】次に、干渉縞の発生機構について説明す
る。光源６から放射されたレ−ザ−光は、レンズ７を経
てコリメ−ト光となり固定用回折格子５に入射する。前
記固定用回折格子５に入射したコリメ−ト光は、少なく
とも、ｎ１次とｎ２次の回折光を発生する。これらの回
折光はベルト状回折格子の直線部分に入射し、ｎ１次回
折光はｍ１次回折光を、ｎ２次回折光はｍ２次回折光を
発生させる。これら２つの回折光を干渉させることによ
り干渉縞を発生させる。即ち、固定用回折格子５のｎ１
次回折光であってベルト状回折格子のｍ１次回折光と、
固定用回折格子５のｎ２次回折光であってベルト状回折
格子のｍ２次回折光とを干渉させるのである。
る。光源６から放射されたレ−ザ−光は、レンズ７を経
てコリメ−ト光となり固定用回折格子５に入射する。前
記固定用回折格子５に入射したコリメ−ト光は、少なく
とも、ｎ１次とｎ２次の回折光を発生する。これらの回
折光はベルト状回折格子の直線部分に入射し、ｎ１次回
折光はｍ１次回折光を、ｎ２次回折光はｍ２次回折光を
発生させる。これら２つの回折光を干渉させることによ
り干渉縞を発生させる。即ち、固定用回折格子５のｎ１
次回折光であってベルト状回折格子のｍ１次回折光と、
固定用回折格子５のｎ２次回折光であってベルト状回折
格子のｍ２次回折光とを干渉させるのである。
【００２０】干渉縞の発生は、次のように行えばよい。
例えば、固定用回折格子５とベルト状回折格子の格子ピ
ッチをわずかに変えて回折角を変化させ、回折光同士を
干渉させれば、容易に干渉縞を発生させることができ
る。尚、干渉縞を発生させる方法はこの方法に限らず、
本発明の趣旨を満たすものであれば、他の干渉縞発生方
法であってもよい。図２のＩは、干渉縞の発生機構を表
した部分拡大図である。ベルト状回折格子の移動、即
ち、回転ドラム１が回転するに従い干渉縞は移動するた
め、これを検出することにより回転角が検出できる。干
渉縞の検出は干渉縞のピッチよりも小さい受光器で受光
することによっても可能であるが、本発明の趣旨を満た
すものであれば他の検出方法であってもよい。
例えば、固定用回折格子５とベルト状回折格子の格子ピ
ッチをわずかに変えて回折角を変化させ、回折光同士を
干渉させれば、容易に干渉縞を発生させることができ
る。尚、干渉縞を発生させる方法はこの方法に限らず、
本発明の趣旨を満たすものであれば、他の干渉縞発生方
法であってもよい。図２のＩは、干渉縞の発生機構を表
した部分拡大図である。ベルト状回折格子の移動、即
ち、回転ドラム１が回転するに従い干渉縞は移動するた
め、これを検出することにより回転角が検出できる。干
渉縞の検出は干渉縞のピッチよりも小さい受光器で受光
することによっても可能であるが、本発明の趣旨を満た
すものであれば他の検出方法であってもよい。
【００２１】図２には、ベルト状回折格子及び固定用回
折格子を透過型構造としたものを示したが、図３、図４
に示すように反射型構造のものでもよい。図３は、ベル
ト状回折格子を反射型とした場合、図４は、固定用回折
格子を反射型とした場合をそれぞれ示している。図３で
は光源６から順に、レンズ７、ビームスプリッタ９、固
定用回折格子（透過型）５と配設されており、固定用回
折光氏（透過型）５を通過した光が反射型ベルト状回折
格子に照射される。また、ビームスプリッタ９で反射さ
れた干渉縞を検出器８で検出する。図３の例では、固定
用回折格子（透過型）５で回折された光と反射型ベルト
状回折格子で回折された光が干渉し、生じた干渉縞が回
転ドラムの回転に従い移動すること検知して被測定物の
回転角度を検知する。
折格子を透過型構造としたものを示したが、図３、図４
に示すように反射型構造のものでもよい。図３は、ベル
ト状回折格子を反射型とした場合、図４は、固定用回折
格子を反射型とした場合をそれぞれ示している。図３で
は光源６から順に、レンズ７、ビームスプリッタ９、固
定用回折格子（透過型）５と配設されており、固定用回
折光氏（透過型）５を通過した光が反射型ベルト状回折
格子に照射される。また、ビームスプリッタ９で反射さ
れた干渉縞を検出器８で検出する。図３の例では、固定
用回折格子（透過型）５で回折された光と反射型ベルト
状回折格子で回折された光が干渉し、生じた干渉縞が回
転ドラムの回転に従い移動すること検知して被測定物の
回転角度を検知する。
【００２２】図４では光源６から順に、レンズ７、ビー
ムスプリッタ９、透過型ベルト状回折格子、反射型固定
用回折格子と配設されており、ビームスプリッタ９で反
射された干渉縞を検出器８で検出する。図４の例では、
透過型ベルト状回折格子で回折された光と反射型固定用
回折格子で回折された光が干渉し、生じた干渉縞が回転
ドラムの回転に従い移動すること検知して被測定物の回
転角度を検知する。
ムスプリッタ９、透過型ベルト状回折格子、反射型固定
用回折格子と配設されており、ビームスプリッタ９で反
射された干渉縞を検出器８で検出する。図４の例では、
透過型ベルト状回折格子で回折された光と反射型固定用
回折格子で回折された光が干渉し、生じた干渉縞が回転
ドラムの回転に従い移動すること検知して被測定物の回
転角度を検知する。
【００２３】図５は、本発明によるロータリーエンコー
ダの一実施例を説明するための図で、本発明の要点は上
述の例等と異なり、固定用回折格子を用いていないこと
である。光源６から放射された光は、レンズ７を経てベ
ルト状回折格子１２を２回経験し出射する。本発明にお
いては、固定用回折格子の代わりに回折格子として、ベ
ルト状回折格子の他の部分を使うことである。干渉縞の
発生は、図２の例と同様に、ベルト状回折格子Ａ部分の
ｎ１次回折光であってベルト状回折格子Ｂ部分のｍ１次
回折光と、ベルト状回折格子Ａ部分のｎ２次回折光であ
ってベルト状回折格子Ｂ部分のｍ２次回折光とを干渉さ
せる。図５のＭは、この干渉の様子を示す部分拡大図で
ある。このとき発生する干渉縞は、互いに反対方向に移
動するベルト状回折格子を経験する光を用いるために、
固定用回折格子を用いたときの２倍の感度で変化する。
即ち、２倍の分解能を得ることができる。
ダの一実施例を説明するための図で、本発明の要点は上
述の例等と異なり、固定用回折格子を用いていないこと
である。光源６から放射された光は、レンズ７を経てベ
ルト状回折格子１２を２回経験し出射する。本発明にお
いては、固定用回折格子の代わりに回折格子として、ベ
ルト状回折格子の他の部分を使うことである。干渉縞の
発生は、図２の例と同様に、ベルト状回折格子Ａ部分の
ｎ１次回折光であってベルト状回折格子Ｂ部分のｍ１次
回折光と、ベルト状回折格子Ａ部分のｎ２次回折光であ
ってベルト状回折格子Ｂ部分のｍ２次回折光とを干渉さ
せる。図５のＭは、この干渉の様子を示す部分拡大図で
ある。このとき発生する干渉縞は、互いに反対方向に移
動するベルト状回折格子を経験する光を用いるために、
固定用回折格子を用いたときの２倍の感度で変化する。
即ち、２倍の分解能を得ることができる。
【００２４】図６は、ベルト状回折格子の製造方法の製
造工程を示しており、樹脂塗布工程、樹脂硬化工程、樹
脂剥離工程、ベルト化工程の各工程からなる。先ず、平
面状に作製された回折格子を用意する。例えば、この回
折格子はレリーフ型（凹凸のある）構造をしているもの
である。この回折格子に熱硬化樹脂、あるいは紫外線硬
化樹脂を塗布する（２Ｐ樹脂等）。このとき硬化した
後、柔軟性と引っ張り強さを持ち合わせるよう樹脂の厚
さを調節する。また、ワイヤ、金属版等を同時に接着す
る方法もある。樹脂の硬化後、樹脂を剥離する。剥離し
た樹脂を所望の長さにし、ベルト状に両端を接着する。
以上の工程をまとめると次のようになる。平面状に作成
された回折格子上に熱あるい紫外線硬化樹脂を塗布する
工程と、樹脂を硬化させる工程と、硬化樹脂を剥離する
工程と、剥離した樹脂の両端を接着しベルト状にする工
程となる。この方法は、平面状に作製された回折格子を
用いるため、ピッチの細かい高分解能な回折格子が作成
できる。また、ベルト状回折格子は回折格子の周の長さ
や、１周での格子数は厳密でなくても良く、作製が容易
である。
造工程を示しており、樹脂塗布工程、樹脂硬化工程、樹
脂剥離工程、ベルト化工程の各工程からなる。先ず、平
面状に作製された回折格子を用意する。例えば、この回
折格子はレリーフ型（凹凸のある）構造をしているもの
である。この回折格子に熱硬化樹脂、あるいは紫外線硬
化樹脂を塗布する（２Ｐ樹脂等）。このとき硬化した
後、柔軟性と引っ張り強さを持ち合わせるよう樹脂の厚
さを調節する。また、ワイヤ、金属版等を同時に接着す
る方法もある。樹脂の硬化後、樹脂を剥離する。剥離し
た樹脂を所望の長さにし、ベルト状に両端を接着する。
以上の工程をまとめると次のようになる。平面状に作成
された回折格子上に熱あるい紫外線硬化樹脂を塗布する
工程と、樹脂を硬化させる工程と、硬化樹脂を剥離する
工程と、剥離した樹脂の両端を接着しベルト状にする工
程となる。この方法は、平面状に作製された回折格子を
用いるため、ピッチの細かい高分解能な回折格子が作成
できる。また、ベルト状回折格子は回折格子の周の長さ
や、１周での格子数は厳密でなくても良く、作製が容易
である。
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、部分的に回転運動を直
線運動とすることにより、検出部分ではリニアエンコ−
ダと同様に、検出精度の高い安定した検出を行うことが
できる。特に、ベルト状回折格子の柔軟性を利用し、光
源からの光がベルト状回折格子を複数回通過させること
で、固定用回折格子を省略することができる。また、ベ
ルト状回折格子が互いに反対方向に移動する構成とする
ことにより、その部分で検出を行うことで分解能を向上
させることができる。
線運動とすることにより、検出部分ではリニアエンコ−
ダと同様に、検出精度の高い安定した検出を行うことが
できる。特に、ベルト状回折格子の柔軟性を利用し、光
源からの光がベルト状回折格子を複数回通過させること
で、固定用回折格子を省略することができる。また、ベ
ルト状回折格子が互いに反対方向に移動する構成とする
ことにより、その部分で検出を行うことで分解能を向上
させることができる。
【００２８】
【００２９】
【００３０】
【００３１】
【００３２】
【００３３】
【図１】本発明が記載されるロ−タリ−エンコ−ダの一
例を示す図である。
例を示す図である。
【図２】ロ−タリ−エンコ−ダの他の例を示す図であ
る。
る。
【図３】反射型ベルト状回折格子の例を示す図である。
【図４】反射型固定用回折格子の例を示す図である。
【図５】本発明の一実施例を示す図である。
【図６】ベルト状回折格子の製造工程を示す図である。
１ 回転ドラム ２ 回転軸 ３ ベルト状スケ−ル ４ 検出部 ５ 固定用回折格子 ６ レ−ザ−光源 ７ レンズ ８ 検出器 ９ ビ−ムスプリッタ−
【００３４】
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物の回転に伴い回転する回転ドラ
ムと、当該回転ドラム軸に略平行に配置された自由に回
転する回転軸と、前記回転ドラムと前記回転軸の間に直
線移動部分を有するよう巻きつけた柔軟性のあるベルト
状スケールと、前記回転ドラムの回転により前記ベルト
状スケールが移動することを検出する検出手段とからな
るロータリーエンコーダにおいて、ベルト状スケールと
してのベルト状回折格子と、光源を有し、前記光源から
の光を互に反対方向に移動する前記ベルト状回折格子を
経験させることにより発生した２つ以上の回折光を干渉
させて干渉縞を生成し、前記回転ドラムの回転に従い移
動する前記干渉縞を被測定物の回転角度の検知に用いる
ことを特徴とするロータリーエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03741394A JP3210164B2 (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | ロ−タリ−エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03741394A JP3210164B2 (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | ロ−タリ−エンコ−ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07243870A JPH07243870A (ja) | 1995-09-19 |
| JP3210164B2 true JP3210164B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=12496844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03741394A Expired - Fee Related JP3210164B2 (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | ロ−タリ−エンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3210164B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6541058B1 (en) | 1999-11-18 | 2003-04-01 | Fuji Oil Company, Limited | Process for producing wet okara |
| US7221114B2 (en) | 2005-03-04 | 2007-05-22 | Ricoh Company, Ltd. | Conveyance control apparatus and image forming apparatus |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4444469B2 (ja) | 2000-08-07 | 2010-03-31 | 株式会社ミツトヨ | 光学式変位測定装置 |
| GB0216487D0 (en) | 2002-07-16 | 2002-08-21 | Renishaw Plc | A rotary scale |
| JP4690859B2 (ja) | 2004-11-15 | 2011-06-01 | 株式会社リコー | 搬送ベルトの駆動制御装置及び画像形成装置及び搬送ベルトの駆動制御方法 |
| CN107678170B (zh) * | 2017-10-20 | 2019-03-12 | 浙江工业大学 | 一种柔性变角度阵列衍射光学器件的实现系统 |
| CN107678173B (zh) * | 2017-10-20 | 2019-03-12 | 浙江工业大学 | 用于激光散斑抑制的柔性变角度阵列衍射光学器件 |
| CN107678174B (zh) * | 2017-10-20 | 2019-03-12 | 浙江工业大学 | 一种柔性变角度阵列衍射光学微结构及其履带式运动方法 |
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1994
- 1994-03-08 JP JP03741394A patent/JP3210164B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7221114B2 (en) | 2005-03-04 | 2007-05-22 | Ricoh Company, Ltd. | Conveyance control apparatus and image forming apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07243870A (ja) | 1995-09-19 |
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