JP3214577B2 - Filter housing device for chemical copper plating solution filtration - Google Patents
Filter housing device for chemical copper plating solution filtrationInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はプリント基板などの化学
銅めっき(無電解銅めっき)液中に発生する銅粉などを
含む化学銅めっき液をカートリッジフィルターを使用し
て濾過するための化学銅めっき液濾過用フィルターハウ
ジング装置に係り、特にエア溜りや液溜りができにく
く、また濾過中に金属銅が析出しにくい化学銅めっき液
濾過用フィルターハウジング装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical copper plating solution for filtering a chemical copper plating solution containing copper powder or the like generated in a chemical copper plating (electroless copper plating) solution for a printed circuit board or the like using a cartridge filter. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a filter housing apparatus for filtering a plating solution, and more particularly to a filter housing apparatus for filtering a chemical copper plating solution, in which air pools and liquid pools are not easily formed and metallic copper is hardly deposited during filtration.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の化学銅めっき排液をカートリッジ
フィルターを使用して濾過する化学銅めっき液濾過用フ
ィルターハウジング装置は、図6に示すように縦に並設
されたカートリッジフィルター1を収容したフィルター
ハウジング2の中間部の入口3からめっき使用液をハウ
ジング2内に入れ、カートリッジフィルター1を通して
フィルターハウジング2の下部の排出口4より排出する
ものが一般的であった。また、符号2aは開閉自在の上
蓋、符号2bは水位計である。2. Description of the Related Art A conventional filter housing device for filtering a chemical copper plating solution by using a cartridge filter to filter a chemical copper plating effluent contains a cartridge filter 1 which is vertically arranged as shown in FIG. In general, a plating solution was put into the housing 2 through an inlet 3 at an intermediate portion of the filter housing 2, and was discharged from a lower outlet 4 of the filter housing 2 through the cartridge filter 1. Reference numeral 2a denotes an openable top cover, and reference numeral 2b denotes a water level gauge.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の濾過装置では、フィルターハウジング2の中
間部からめっき使用液を入れ、フィルターハウジング2
の下部よりカートリッジフィルター1を通して自然排出
するものであるから、フィルターハウジングの上部にエ
ア溜りや、フィルターハウジング内のめっき液上部に液
溜りができ易く、そのためにエア抜きや、液抜きを設け
る必要があった。しかもエア抜きを設けるとそのエア抜
き部やエア抜きチューブなどに金属銅が析出し、そのた
め場合によってはエア抜き部やエア抜きチューブがつま
って、フィルターとしての機能を果たさなくなるという
欠点があった。そのためにエア抜き部から常時液抜きを
する必要があり、また頻繁にフィルターの交換が必要と
なったり、場合によっては内部のエッチングが必要とな
るなどめっき液濾過作業の効率が低下するという欠点も
あった。However, in such a conventional filtering apparatus, a plating solution is introduced from an intermediate portion of the filter housing 2 and the filter housing 2
Since air is naturally discharged from the lower part of the filter housing through the cartridge filter 1, it is easy for air to accumulate at the upper part of the filter housing and liquid to accumulate at the upper part of the plating solution in the filter housing. there were. In addition, when the air vent is provided, metallic copper is deposited on the air vent portion and the air vent tube, so that in some cases, the air vent portion and the air vent tube are clogged, and there is a drawback that the function as a filter cannot be achieved. For this reason, it is necessary to constantly drain the liquid from the air vent part, and there is also a disadvantage that the efficiency of the plating solution filtration work decreases, such as frequent filter replacement and in some cases, internal etching is required. there were.
【0004】特に、上記従来の濾過装置では、フィルタ
ーハウジング内に液溜りができて銅が析出したり、エア
抜きパイプなどに銅が析出したりすると十分に銅粉など
を除くことができずに、濾過された後のめっき液の品質
が悪くなり、そのためにめっき作業に再使用した際に
は、めっき製品の品質が悪く、まためっき作業の効率が
低下したりするというめっき液濾過作業における重大な
問題点をもっていた。そこで、本発明者らは上記の欠点
や問題点を改良するために研究を重ねた結果、フィルタ
ーハウジングの内部にエア溜りや、めっき液内部に液溜
りを発生させないためには複数の並設されたカートリッ
ジフィルターを収容したフィルターハウジング内を加圧
状態としてめっき液を濾過することが有効であることを
見出し、しかもめっき液が停滞しない構成にすることが
銅粉などを完全に除く上で、重要な要素であることを知
見した。[0004] In particular, in the above-mentioned conventional filtration apparatus, if liquid is formed in the filter housing and copper is deposited, or if copper is deposited on an air vent pipe or the like, copper powder or the like cannot be sufficiently removed. The quality of the plating solution after filtration deteriorates, and when reused in the plating operation, the quality of the plated product is poor and the efficiency of the plating operation is reduced. Had problems. The inventors of the present invention have conducted various studies to improve the above-mentioned drawbacks and problems, and as a result, a plurality of air reservoirs are not provided in the filter housing, and a plurality of liquid reservoirs are not provided in the plating solution. It has been found that it is effective to pressurize the plating solution inside the filter housing that contains the cartridge filter, and that the plating solution is not stagnant, in order to completely eliminate copper powder and the like. Was found to be an important element.
【0005】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、フィルターハウジングの内部にエア溜りや、収容
されためっき液内部に液溜りを発生させないで濾過効率
がよく、かつ銅粉などを完全に除去できる化学銅めっき
液濾過用フィルターハウジング装置を提供することを目
的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has a good filtering efficiency without generating air pools inside a filter housing and a liquid pool inside a contained plating solution, and completely removes copper powder and the like. It is an object of the present invention to provide a filter housing device for filtering a chemical copper plating solution which can be easily removed.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、圧送されためっき液の入口を下部に有す
るフィルターハウジング内に、複数の並設されたカート
リッジフィルターを収容し、該フィルターハウジングの
上部側面に濾過されためっき液の出口を設けると共に、
前記複数のカートリッジフィルターを保持する中蓋を押
圧する押え棒を中心に備えた上蓋を開閉自在に、かつ傾
斜して設けたことを特徴とし、特に上蓋はフィルターハ
ウジングの外周より外方に設けた枢軸によって開閉し、
かつ出口方向に上向きに傾斜した上蓋に設けられた押え
棒が複数のカートリッジフィルターを保持する中蓋を垂
直に押圧するするように構成し、フィルターハウジング
内を加圧状態としてめっき液を濾過することを特徴とし
た化学銅めっき液濾過用フィルターハウジング装置であ
る。According to the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a plurality of juxtaposed cartridge filters are accommodated in a filter housing having an inlet for a pumped plating solution at a lower portion thereof. While providing an outlet for the filtered plating solution on the upper side of the filter housing,
An upper lid mainly provided with a presser bar for pressing the inner lid holding the plurality of cartridge filters is provided so as to be openable and closable, and is inclined. Open and close by the pivot,
A press bar provided on the upper lid inclined upward in the outlet direction presses the inner lid holding the plurality of cartridge filters vertically, and the plating solution is filtered while the inside of the filter housing is pressurized. This is a filter housing device for filtering a chemical copper plating solution, characterized in that:
【0007】[0007]
【作用】次に、本発明の作用について説明すると、使用
されためっき液をフィルターハウジングの下部の入口か
ら圧送し、縦に並設されたカートリッジフィルターの下
部保持板の多数の液入口を通ってフィルターハウジング
内に圧入される。そしてそのフィルターハウジング内の
並設されたカートリッジフィルターは下端が閉塞されて
おり、上部は複数のカートリッジフィルターを保持する
中蓋によって密閉状態に保持されているから、フィルタ
ーハウジング内に圧入されためっき液は加圧状態となっ
て縦に並設されたカートリッジフィルター内に進入し、
その間に、カートリッジフィルターの側壁によって銅粉
などが完全に濾過される。一方このカートリッジフィル
ターの上部は開放されているから、カートリッジフィル
ター内に進入しためっき液はカートリッジフィルターの
上部から押し出され、出口方向に上向きに傾斜した上蓋
に沿って出口方向に流れ出る。したがって、本発明に係
る化学銅めっき液濾過用フィルターハウジング装置では
エア溜りが発生せず、加圧状態でめっき液が下方から上
方に流れるため液溜りも発生し難く、濾過中に金属銅が
析出しない。Next, the operation of the present invention will be described. The used plating solution is fed under pressure from the lower inlet of the filter housing, and passes through a number of liquid inlets of the lower holding plate of the cartridge filter arranged vertically. Press fit into filter housing. The cartridge filters arranged in the filter housing are closed at the lower end, and the upper portion is held in a sealed state by an inner lid holding a plurality of cartridge filters. Therefore, the plating solution press-fitted into the filter housing. Is pressurized and enters the cartridge filters arranged vertically,
During that time, copper powder and the like are completely filtered by the side wall of the cartridge filter. On the other hand, since the upper part of the cartridge filter is open, the plating solution that has entered the cartridge filter is pushed out from the upper part of the cartridge filter, and flows out in the outlet direction along the upper lid inclined upward in the outlet direction. Therefore, in the filter housing device for filtering a chemical copper plating solution according to the present invention, no air pool is generated, and the plating solution flows from below to above in a pressurized state. do not do.
【0008】[0008]
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は本実施例の縦断面図であり、第2図
はその上面図である。図1においてリング状に並設され
た5本の円筒状カートリッジフィルター5は、その下端
が栓6によって閉塞されており、また上端はコアガイド
7により開放されている。このカートリッジフィルター
5の下部は、フィルターハウジング8内の下部に取付け
られた支持板9に支持されており、この支持板9には中
心と、その周囲には5つのめっき液の通過口10が穿設
されている。一方、カートリッジフィルター5の上部は
フィルターハウジング8内の上部に取付けられた中蓋1
1に保持されている。そしてフィルターハウジング8の
下部に設けた底蓋12はめっき液の入口13が設けられ
ており、またフィルターハウジング8の上部の側壁には
濾過されためっき液の出口14が設けられている。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of this embodiment, and FIG. 2 is a top view thereof. In FIG. 1, five cylindrical cartridge filters 5 arranged in a ring shape have their lower ends closed by a stopper 6 and their upper ends opened by a core guide 7. The lower portion of the cartridge filter 5 is supported by a support plate 9 attached to a lower portion in the filter housing 8, and the support plate 9 has a center and a periphery thereof formed with five plating solution passage openings 10. Has been established. On the other hand, the upper part of the cartridge filter 5 is the inner lid 1 attached to the upper part in the filter housing 8.
It is held at 1. The bottom lid 12 provided at the lower portion of the filter housing 8 is provided with an inlet 13 for a plating solution, and the upper side wall of the filter housing 8 is provided with an outlet 14 for a filtered plating solution.
【0009】そして、フィルターハウジング8の傾斜し
た上縁には傾斜したフランジ15が固定されており、そ
のフランジ15の前記出口14と反対側には、上蓋16
の蝶板17が固定されており、この蝶板17によって上
蓋16はフィルターハウジング8の外周より外方に設け
た枢軸18によって開閉される。また出口14方向に上
向きに傾斜した上蓋16にはその中心部には、前記複数
のカートリッジフィルター5を保持する中蓋11を垂直
に押圧する押え棒19が設けられている。上蓋16には
操作ハンドル20が取付けてあり、また上蓋16の周囲
には、上蓋16を傾斜した上記フランジ15に密閉状態
に保持するための閉鎖金具21が設けられている。An inclined flange 15 is fixed to the inclined upper edge of the filter housing 8, and an upper cover 16 is provided on the opposite side of the flange 15 from the outlet 14.
The upper cover 16 is opened and closed by a pivot 18 provided outside the outer periphery of the filter housing 8 by the butterfly plate 17. At the center of the upper lid 16 inclined upward in the direction of the outlet 14, a pressing rod 19 for vertically pressing the inner lid 11 holding the plurality of cartridge filters 5 is provided. An operation handle 20 is attached to the upper lid 16, and around the upper lid 16, a closing fitting 21 for holding the upper lid 16 in a sealed state on the inclined flange 15 is provided.
【0010】次に、本実施例の作用について説明する
と、使用されためっき液をフィルターハウジング8の下
部入口13から圧入され、先ずフィルターハウジング8
の下部に設けた底蓋12部に入る。そして、フィルター
ハウジング8内の並設されたカートリッジフィルター5
は下端が栓6によって閉塞されているから、めっき液は
底蓋12部から5本のカートリッジフィルター5の下部
支持板9に穿設された多数の液入口10を通ってフィル
ターハウジング8の中央部内に圧入される。Next, the operation of the present embodiment will be described. The used plating solution is press-fitted from the lower inlet 13 of the filter housing 8 and firstly,
Into the bottom cover 12 provided at the lower part of the vehicle. Then, the cartridge filters 5 arranged side by side in the filter housing 8 are arranged.
Since the lower end is closed by the stopper 6, the plating solution passes through a large number of liquid inlets 10 formed in the lower support plate 9 of the five cartridge filters 5 from the bottom lid 12, and passes through the central portion of the filter housing 8. Press-fit.
【0011】次いで、このフィルターハウジング8の中
央部の上部は複数のカートリッジフィルター5を保持す
る中蓋11によって密閉状態になっているから、フィル
ターハウジング8内に圧入されためっき液は加圧状態と
なって縦に並設された円筒状のカートリッジフィルター
5内に進入し、その間に、カートリッジフィルター5の
側壁によって銅粉などが完全に濾過される。一方この5
本のカートリッジフィルターの上端はコアガイド7によ
り開放されているから、カートリッジフィルター5内に
進入しためっき液はカートリッジフィルターの上端開口
から押し出され、前記中蓋11と上蓋16との間の空間
に吐出され、その後出口方向に上向きに傾斜した上蓋1
6に沿って出口14方向に流れ出る。Next, the upper part of the center of the filter housing 8 is sealed by an inner lid 11 for holding a plurality of cartridge filters 5, so that the plating solution press-fitted into the filter housing 8 is kept in a pressurized state. As a result, the powder enters the cylindrical cartridge filters 5 arranged vertically, during which copper powder and the like are completely filtered by the side walls of the cartridge filters 5. On the other hand, this 5
Since the upper end of the cartridge filter is opened by the core guide 7, the plating solution that has entered the cartridge filter 5 is pushed out from the upper end opening of the cartridge filter and discharged into the space between the inner lid 11 and the upper lid 16. And then the upper lid 1 inclined upward in the exit direction
It flows out along 6 towards the exit 14.
【0012】次に、本実施例の効果を説明するための実
験について説明する。本発明の実施例は図1に示したも
のを使用し、、比較例は図6に示した従来のものを使用
し、フィルター部は両者とも同じものを使用した。本実
験に使用しためっき液は、KC−500(日鉱製)であ
り、その内容はCuSO4・5H2O10g/l,EDT
A 28g/l,ホルマリン 2ml/l,PH 12.
5,添加剤 適量であり、めっき液温は72℃に設定し
た。本実験に使用したカートリッジフィルターの材質は
ポリプロピレンであり、その孔径は10〜40μmであ
った。本実施例では65μmのめっき皮膜形式のめっき
を6回行なった。比較例は同じく65μmのめっき皮膜
形式のめっきを2回行なった。本実験の結果は表1に示
した。Next, an experiment for explaining the effect of this embodiment will be described. The embodiment of the present invention used the one shown in FIG. 1, the comparative example used the conventional one shown in FIG. 6, and used the same filter for both. Plating solution used in this experiment is the KC-500 (available from Nikko), the contents of CuSO 4 · 5H 2 O10g / l , EDT
A 28 g / l, formalin 2 ml / l, PH12.
5, Additives The amount was appropriate, and the plating solution temperature was set at 72 ° C. The material of the cartridge filter used in this experiment was polypropylene, and the pore size was 10 to 40 μm. In this embodiment, plating of a 65 μm plating film type was performed six times. In the comparative example, plating of a plating film type having a thickness of 65 μm was performed twice. The results of this experiment are shown in Table 1.
【0013】[0013]
【表1】 上記の実験の結果から明らかなように本実施例によれ
ば、フィルターハウジング8に入っためっき液はすべて
フィルター5を通過して濾過されるため濾過効率がよ
く、銅粉などを完全に除去でき、しかもめっき液は下の
入口13から上方に加圧状態で流れるためエア溜りがで
きず、また、液溜りも発生しないから、めっき皮膜13
0μm形成後のめっき液でも銅の析出はほとんど見られ
ないし、390μm形成後のものでもハウジング壁面に
は析出しないためフィルター交換頻度が極めて少なくて
すむことが判った。[Table 1] As is apparent from the results of the above experiment, according to the present embodiment, all the plating solution entering the filter housing 8 is filtered through the filter 5, so that the filtration efficiency is high and the copper powder and the like can be completely removed. In addition, since the plating solution flows upward from the lower inlet 13 in a pressurized state, no air pool is formed and no liquid pool is generated.
It was found that almost no copper deposition was observed even in the plating solution after the formation of 0 μm, and even in the case of the plating solution after the formation of 390 μm, the filter replacement frequency was extremely low because it was not deposited on the housing wall surface.
【0014】[0014]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、め
っき液の入口を下部に有するフィルターハウジング内に
複数の並設されたカートリッジフィルターを収容し、フ
ィルターハウジングの上部側面に濾過されためっき液の
出口を設け、かつ出口方向に上向きに傾斜した上蓋に設
けてフィルターハウジング内を加圧状態としてめっき液
を濾過するように構成したから、フィルターハウジング
に入っためっき液はすべてフィルターを通過して濾過さ
れるため濾過効率がよく、銅粉などを完全に除去でき、
しかもめっき液は下から上に強制的に流れるためエア溜
りができず、また液溜りも発生しないから濾過中に金属
銅が析出しない効果がある。このようにめっき液の濾過
中に金属銅が析出しないから、フィルターの交換回数が
減少し、またフィルターハウジング内のエッチング作業
は不要となる。As described above, according to the present invention, a plurality of cartridge filters arranged side by side are accommodated in a filter housing having an inlet for a plating solution at a lower portion, and the filtered side plate is placed on the upper side surface of the filter housing. A solution outlet is provided, and the plating solution is filtered by setting the inside of the filter housing to a pressurized state by being provided on the upper lid inclined upward in the direction of the outlet, so that all the plating solution entering the filter housing passes through the filter. Filtering efficiency is high, copper powder etc. can be completely removed,
In addition, since the plating solution is forced to flow upward from the bottom, no air pool is formed, and no liquid pool is generated, so that there is an effect that metallic copper does not precipitate during filtration. As described above, since metallic copper does not precipitate during the filtration of the plating solution, the number of replacements of the filter is reduced, and the etching operation in the filter housing becomes unnecessary.
【図1】本実施例の縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of the present embodiment.
【図2】本実施例の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the present embodiment.
【図3】図1のA−A断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1;
【図4】図1のB−B断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 1;
【図5】上蓋の密閉装置の説明図である。FIG. 5 is an explanatory view of a sealing device for an upper lid.
【図6】従来例の縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a conventional example.
5 円筒状カートリッジフィルター 6 栓 7 コアガイド 8 フィルターハウジング 9 下部支持板 10 通過口 11 中蓋 12 底蓋 13 入口 14 出口 15 フランジ部 16 上蓋 17 蝶板 18 枢軸 19 押え棒 20 操作ハンドル 21 閉鎖金具 5 Cylindrical Cartridge Filter 6 Plug 7 Core Guide 8 Filter Housing 9 Lower Support Plate 10 Passage Port 11 Middle Lid 12 Bottom Lid 13 Inlet 14 Outlet 15 Flange 16 Upper Lid 17 Butterfly Plate 18 Axis 19 Presser Rod 20 Operating Handle 21 Closing Bracket
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 杉江 渉 (56)参考文献 特開 平4−322707(JP,A) 特開 平2−273505(JP,A) 実開 平3−22506(JP,U) 実開 平1−73316(JP,U) 実開 昭59−61816(JP,U) 実公5181(大正12年)(JP,Y1 T) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 29/50 B01D 27/08 B01D 35/02 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page Examiner Wataru Sugie (56) References JP-A-4-322707 (JP, A) JP-A-2-273505 (JP, A) JP-A-3-22506 (JP, U) 1-73316, Kaihei (JP, U) Shokai 59-61816 (JP, U) 5181 (Taisho 12) (JP, Y1T) (58) Fields surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) ) B01D 29/50 B01D 27/08 B01D 35/02
Claims (3)
るフィルターハウジング内に、複数の並設されたカート
リッジフィルターを収容し、該フィルターハウジングの
上部側面に濾過されためっき液の出口を設けると共に、
前記複数のカートリッジフィルターを保持する中蓋を押
圧する押え棒を中心に備えた上蓋を開閉自在に、かつ傾
斜して設けたことを特徴とする化学銅めっき液濾過用フ
ィルターハウジング装置。A plurality of cartridge filters arranged side by side are housed in a filter housing having an inlet for a pumped plating solution at a lower portion, and an outlet for a filtered plating solution is provided on an upper side surface of the filter housing. ,
A filter housing apparatus for filtering a chemical copper plating solution, wherein an upper lid mainly provided with a presser rod for pressing an inner lid holding the plurality of cartridge filters is provided so as to be openable and closable and inclined.
外方に設けた枢軸によって開閉し、かつ出口方向に上向
きに傾斜した上蓋に設けられた押え棒が複数のカートリ
ッジフィルターを保持する中蓋を垂直に押圧するするよ
うに構成したことを特徴とする請求項1記載の化学銅め
っき液濾過用フィルターハウジング装置。2. An upper lid is opened and closed by a pivot provided outside the outer periphery of the filter housing, and a holding rod provided on the upper lid inclined upward in an outlet direction vertically moves an inner lid holding a plurality of cartridge filters. The filter housing device for filtering a chemical copper plating solution according to claim 1, wherein the filter housing device is configured to be pressed.
ーを収容したフィルターハウジング内を加圧状態として
めっき液を濾過することを特徴とした請求項1または請
求項2記載の化学銅めっき液濾過用フィルターハウジン
グ装置。3. The filter for filtering a chemical copper plating solution according to claim 1, wherein the plating solution is filtered while the inside of the filter housing accommodating a plurality of cartridge filters arranged in parallel is pressurized. Housing device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27104192A JP3214577B2 (en) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | Filter housing device for chemical copper plating solution filtration |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27104192A JP3214577B2 (en) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | Filter housing device for chemical copper plating solution filtration |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0691112A JPH0691112A (en) | 1994-04-05 |
| JP3214577B2 true JP3214577B2 (en) | 2001-10-02 |
Family
ID=17494581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27104192A Expired - Fee Related JP3214577B2 (en) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | Filter housing device for chemical copper plating solution filtration |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3214577B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5272440B2 (en) * | 2008-02-20 | 2013-08-28 | Jsr株式会社 | Dummy filter, filter device, and filtration method |
-
1992
- 1992-09-14 JP JP27104192A patent/JP3214577B2/en not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 実公5181(大正12年)(JP,Y1 T) |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0691112A (en) | 1994-04-05 |
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