JP3216155B2 - Wiring board manufacturing method - Google Patents
Wiring board manufacturing methodInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は配線基板の製造方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a wiring board.
【0002】[0002]
【従来の技術】配線基板は、一般に、樹脂やセラミック
等からなる基板の上面にパターン形成された導電層を保
護したり絶縁性を確保したりするために、導電層を含む
基板の上面全体に絶縁層を設けた構造となっている。2. Description of the Related Art In general, a wiring board is formed on the entire upper surface of a substrate including a conductive layer in order to protect a conductive layer formed on the upper surface of the substrate made of resin, ceramic, or the like and to secure insulation. It has a structure provided with an insulating layer.
【0003】ところで、このような配線基板上にICチ
ップ等の電子部品を搭載する場合、導電層の所定の個所
に対応する部分の絶縁層に平面方形状の開口部を形成
し、この開口部を介して露出された導電層にICチップ
等の電子部品のバンプ電極等を半田等を介して接合する
ことにより、配線基板上にICチップ等の電子部品を搭
載するようにしている。この場合、平面方形状の開口部
を有する絶縁層を形成する方法としてスクリーン印刷法
がある。このスクリーン印刷法によれば、基板上に所定
パターンを有したスクリーンマスクを一定の間隔をおい
て平行に配置し、スキージでスクリーンマスクを押え付
けて絶縁性インクを押し出すという一工程で、基板上等
に平面方形状の開口部を有する絶縁層を簡単にかつ短時
間で形成することができる。When an electronic component such as an IC chip is mounted on such a wiring board, a planar rectangular opening is formed in a portion of the insulating layer corresponding to a predetermined portion of the conductive layer. An electronic component such as an IC chip is mounted on a wiring board by bonding a bump electrode or the like of an electronic component such as an IC chip to the conductive layer exposed through the wiring via solder or the like. In this case, there is a screen printing method as a method for forming an insulating layer having a planar rectangular opening. According to this screen printing method, a screen mask having a predetermined pattern is arranged in parallel on a substrate at a predetermined interval, and the insulating ink is extruded by pressing the screen mask with a squeegee. For example, an insulating layer having a square opening can be formed easily and in a short time.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このような配線基板の製造方法では、絶縁性インクが粘
性を有しているので、印刷直後における絶縁層ににじみ
が生じ、またスキージでスクリーンマスクを押え付けて
いるので、スクリーンマスクが伸縮して印刷位置にずれ
が生じ、このようなことから開口部の大きさとして20
0μm角程度が限界で微細化に限界があるという問題が
あった。なお、このようなことは、例えばハイブリッド
ICにおいて、基板上に導電層をスクリーン印刷によっ
てパターン形成する場合も同様であり、200μmL/
S(ラインアンドスペース)程度が限界でこれまた微細
化に限界があるという問題があった。この発明の目的
は、より一層微細化することのできる配線基板の製造方
法を提供することにある。However, in such a conventional method of manufacturing a wiring board, since the insulating ink has viscosity, bleeding occurs in the insulating layer immediately after printing, and a screen mask is formed with a squeegee. Is pressed, the screen mask expands and contracts, causing a shift in the printing position.
There is a problem that the size is about 0 μm square and the miniaturization is limited. The same applies to the case where a conductive layer is patterned on a substrate by screen printing, for example, in a hybrid IC.
There is a problem that the degree of S (line and space) is limited and there is a limit in miniaturization. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a wiring board that can be further miniaturized.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明は、配線基板の
製造工程においてスクリーン印刷で印刷層を形成する
際、該印刷層を形成すべき印刷層形成領域以外の領域で
少なくとも前記印刷層形成領域の周囲にフォトレジスト
層を設け、前記印刷層形成領域に、該印刷層形成領域よ
り小さいインク通過パターンを有するスクリーンマスク
を用いたスクリーン印刷により印刷層を形成し、該印刷
層を流動させて広げた後、前記フォトレジスト層を剥離
するようにしたものである。According to the present invention, when a printing layer is formed by screen printing in a manufacturing process of a wiring board, at least the printing layer forming region is formed in a region other than the printing layer forming region where the printing layer is to be formed. A photoresist layer is provided around the print layer forming area , and the print layer forming area is
Screen mask with smaller ink passage pattern
The printed layer is formed by screen printing using a said printing
After flowing and spreading the layer, the photoresist layer is peeled off.
【0006】[0006]
【作用】この発明によれば、印刷層形成領域以外の領域
で少なくとも印刷層形成領域の周囲に微細パターン形成
可能なフォトレジスト層を形成した状態で印刷層形成領
域に、印刷層形成領域に対して印刷層が流動して広がる
量だけ小さいインク通過パターンを有するスクリーンマ
スクを用いたスクリーン印刷により印刷層を形成してい
るので、フォトレジスト層の端面で印刷範囲を規制する
ことができ、このため印刷直後における印刷層が所定の
印刷形成領域以外ににじみ出るのを防止することがで
き、またスクリーンマスクが伸縮して印刷位置に若干の
ずれが生じても、印刷層の粘性を利用し、印刷層を流動
させて広げるように構成していることにより所定の印刷
層形成領域のみに印刷層を形成することができ、したが
ってより一層微細化することができる。According to the present invention, a photoresist layer capable of forming a fine pattern is formed at least around the print layer forming region in a region other than the print layer formation region. Print layer flows and spreads
A screen mask having an ink passage pattern smaller by an amount
Since the printing layer is formed by screen printing using a mask, the printing range can be regulated at the end face of the photoresist layer, thereby preventing the printing layer immediately after printing from oozing out of a predetermined print forming area. Even if the screen mask expands and contracts and the printing position slightly shifts , the printing layer can be flowed using the viscosity of the printing layer.
With the configuration in which the print layer is expanded , the print layer can be formed only in the predetermined print layer formation region, and therefore, the size can be further reduced.
【0007】[0007]
【実施例】図1〜図5はこの発明を開口部を有する絶縁
層を備えた配線基板の製造方法に適用した場合の一例の
各製造工程を示したものである。そこで、これらの図を
順に参照しながら、開口部を有する絶縁層を備えた配線
基板の製造方法について説明する。1 to 5 show an example of each manufacturing process when the present invention is applied to a method for manufacturing a wiring board having an insulating layer having an opening. Therefore, a method of manufacturing a wiring board including an insulating layer having an opening will be described with reference to these drawings.
【0008】まず、図1に示すように、樹脂やセラミッ
ク等からなる基板1の上面に導電層2をパターン形成す
る。次に、全表面に厚さが例えば50μm程度のフォト
レジスト層3を設ける。この場合、フィルム状フォトレ
ジストを熱圧着してもよく、またスピンコート等により
塗布してもよい。次に、導電層2の上面のうち例えば1
00μm角の開口部を形成すべき開口部形成領域4(図
5参照)に対応する所定のパターンのマスクを用いて紫
外線等の光を照射し、開口部形成領域4に対応する部分
のフォトレジスト層3を露光する。この後、現像する
と、図2に示すように、開口部形成領域4以外の不要な
部分のフォトレジスト層3が剥離され、開口部形成領域
4のみにフォトレジスト層3が残存する。次に、開口部
形成領域4よりやや大きめの島状パターンを有するスク
リーンマスク(図示せず)および絶縁性インクを用いて
スクリーン印刷を行うことにより、図3に示すように、
フォトレジスト層3およびその周囲を除く全表面に絶縁
性インク層5を10〜25μm程度の厚さに塗布する。
この場合、スクリーンマスクの島状パターンの大きさ
は、絶縁性インクの粘度にもよるが、開口部形成領域4
の大きさ100μm角よりも各辺で20〜30μm程度
大きくしておく。絶縁性インクとしては、エポキシ系樹
脂を有機溶剤に溶かしたものを用いる。この後、ある程
度放置すると、絶縁性インク層5が流動して広がるが、
図4に示すように、フォトレジスト層3の端面で堰き止
められ、フォトレジスト層3を除く全表面が絶縁性イン
ク層5によって覆われることになる。次に、絶縁性イン
ク層5を乾燥してその厚さを10〜20μm程度とした
後フォトレジスト層3を剥離すると、図5に示すよう
に、開口部形成領域4に対応する部分に開口部6を有す
る絶縁層7が形成される。かくして、開口部6を有する
絶縁層7を備えた配線基板が製造される。First, as shown in FIG. 1, a conductive layer 2 is patterned on the upper surface of a substrate 1 made of resin, ceramic, or the like. Next, a photoresist layer 3 having a thickness of, for example, about 50 μm is provided on the entire surface. In this case, the film-shaped photoresist may be thermocompression-bonded, or may be applied by spin coating or the like. Next, for example, 1
Irradiation with light such as ultraviolet rays is performed by using a mask having a predetermined pattern corresponding to the opening forming region 4 (see FIG. 5) in which the opening of the 00 μm square is to be formed. The layer 3 is exposed. Thereafter, when development is performed, as shown in FIG. 2, unnecessary portions of the photoresist layer 3 other than the opening formation region 4 are peeled off, and the photoresist layer 3 remains only in the opening formation region 4. Next, by performing screen printing using a screen mask (not shown) having an island pattern slightly larger than the opening forming region 4 and insulating ink, as shown in FIG.
An insulating ink layer 5 is applied to a thickness of about 10 to 25 μm on the entire surface except for the photoresist layer 3 and its surroundings.
In this case, although the size of the island pattern of the screen mask depends on the viscosity of the insulating ink, the size of the opening forming region 4 is not limited.
Is larger by about 20 to 30 μm on each side than the size of 100 μm square. As the insulating ink, one obtained by dissolving an epoxy resin in an organic solvent is used. After that, if left to some extent, the insulating ink layer 5 flows and spreads,
As shown in FIG. 4, the entire surface except the photoresist layer 3 is covered with the insulating ink layer 5 by being dammed at the end face of the photoresist layer 3. Next, the insulating ink layer 5 is dried to have a thickness of about 10 to 20 μm, and then the photoresist layer 3 is peeled off. As shown in FIG. An insulating layer 7 having 6 is formed. Thus, a wiring board including the insulating layer 7 having the opening 6 is manufactured.
【0009】このようにして製造された配線基板では、
開口部形成領域4つまり絶縁層7を形成すべき領域以外
の領域に微細パターン形成可能なフォトレジスト層3を
形成した状態で開口部形成領域4以外の領域つまり絶縁
層7を形成すべき領域にスクリーン印刷により絶縁層7
を形成しているので、フォトレジスト層3の端面で印刷
範囲を規制することができ、このため印刷直後における
絶縁性インク層5が所定の絶縁層7を形成すべき領域以
外ににじみ出るのを防止することができ、またスクリー
ンマスクが伸縮して印刷位置に若干のずれが生じても、
絶縁性インク層5の粘性を利用することにより所定の絶
縁層7を形成すべき領域のみに絶縁層7を形成すること
ができ、したがって開口部6の大きさを例えば100μ
m角程度とより一層微細化することができる。In the wiring board manufactured as described above,
In a state where the photoresist layer 3 capable of forming a fine pattern is formed in the region other than the region where the insulating layer 7 is to be formed, that is, in the region other than the region where the insulating layer 7 is to be formed. Insulation layer 7 by screen printing
Is formed, the printing range can be regulated by the end face of the photoresist layer 3, thereby preventing the insulative ink layer 5 immediately after printing from oozing out of the area where the predetermined insulating layer 7 is to be formed. Even if the screen mask expands and contracts and the printing position slightly shifts,
By utilizing the viscosity of the insulating ink layer 5, the insulating layer 7 can be formed only in the area where the predetermined insulating layer 7 is to be formed.
The size can be further reduced to about m square.
【0010】次に、図6〜図10はこの発明をスクリー
ン印刷による導電パターンを備えた配線基板の製造方法
に適用した場合の一例の各製造工程を示したものであ
る。そこで、これらの図を順に参照しながら、スクリー
ン印刷による導電パターンを備えた配線基板の製造方法
について説明する。Next, FIGS. 6 to 10 show respective manufacturing steps of an example when the present invention is applied to a method for manufacturing a wiring board having a conductive pattern by screen printing. Therefore, a method of manufacturing a wiring board provided with a conductive pattern by screen printing will be described with reference to these drawings in order.
【0011】まず、図6に示すように、樹脂やセラミッ
ク等からなる基板11の上面にフォトレジスト層12を
設ける。この場合、フィルム状フォトレジストを熱圧着
してもよく、またスピンコート等により塗布してもよ
い。次に、導電層を形成すべき導電層形成領域13(図
10参照)に対応する所定のパターンのマスクを用いて
紫外線等の光を照射し、導電層形成領域13におけるフ
ォトレジスト層12を露光する。この後、現像すると、
図7に示すように、導電層形成領域13における不要な
部分のフォトレジスト層12が剥離され、導電層形成領
域13以外の領域のみにフォトレジスト層12が残存す
る状態となる。次に、導電層形成領域13よりやや小さ
めのインク通過パターンを有するスクリーンマスク(図
示せず)および導電性インクを用いてスクリーン印刷を
行うことにより、図8に示すように、導電層形成領域4
の中央部に導電性インク層14を塗布する。この場合、
スクリーンマスクのインク通過パターンの大きさは、導
電性インクの粘度にもよるが、導電層形成領域13の大
きさ100μmL/Sよりも20〜30μm程度小さく
しておく。導電性インクとしては、カーボン、銀、銅等
の導電性粉末とエポキシ系樹脂とを有機溶剤に溶かした
ものを用いる。この後、ある程度放置すると、導電性イ
ンク層14が流動して広がるが、図9に示すように、フ
ォトレジスト層12の端面で堰き止められ、導電層形成
領域13の全表面が導電性インク層14によって覆われ
ることになる。次に、導電性インク層14を乾燥した後
フォトレジスト層12を剥離すると、図10に示すよう
に、導電層形成領域13に対応する部分に導電層15が
形成される。かくして、スクリーン印刷による導電パタ
ーンを備えた配線基板が製造される。First, as shown in FIG. 6, a photoresist layer 12 is provided on the upper surface of a substrate 11 made of resin, ceramic, or the like. In this case, the film-shaped photoresist may be thermocompression-bonded, or may be applied by spin coating or the like. Next, the photoresist layer 12 in the conductive layer forming region 13 is exposed by irradiating light such as ultraviolet rays using a mask having a predetermined pattern corresponding to the conductive layer forming region 13 (see FIG. 10) where the conductive layer is to be formed. I do. After this, when developed,
As shown in FIG. 7, unnecessary portions of the photoresist layer 12 in the conductive layer formation region 13 are peeled off, and the photoresist layer 12 remains only in a region other than the conductive layer formation region 13. Next, screen printing is performed by using a screen mask (not shown) having an ink passage pattern slightly smaller than the conductive layer forming region 13 and conductive ink, thereby forming the conductive layer forming region 4 as shown in FIG.
A conductive ink layer 14 is applied to the center of the substrate. in this case,
The size of the ink passage pattern of the screen mask depends on the viscosity of the conductive ink, but is set to be smaller by about 20 to 30 μm than the size of the conductive layer forming region 13 of 100 μmL / S. As the conductive ink, one obtained by dissolving a conductive powder of carbon, silver, copper or the like and an epoxy resin in an organic solvent is used. After that, if left to some extent, the conductive ink layer 14 flows and spreads. However, as shown in FIG. 9, the entire surface of the conductive layer forming region 13 is blocked by the end face of the photoresist layer 12 and the conductive ink layer 14 will be covered. Next, after the conductive ink layer 14 is dried and the photoresist layer 12 is peeled off, a conductive layer 15 is formed in a portion corresponding to the conductive layer forming region 13 as shown in FIG. Thus, a wiring board having a conductive pattern by screen printing is manufactured.
【0012】[0012]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、印刷層形成領域以外の領域で少なくとも印刷層形成
領域の周囲に微細パターン形成可能なフォトレジスト層
を形成した状態で印刷層形成領域に、印刷層形成領域に
対して印刷層が流動して広がる量だけ小さいインク通過
パターンを有するスクリーンマスクを用いたスクリーン
印刷により印刷層を形成しているので、フォトレジスト
層の端面で印刷範囲を規制することができ、このため印
刷直後における印刷層が所定の印刷形成領域以外ににじ
み出るのを防止することができ、またスクリーンマスク
が伸縮して印刷位置に若干のずれが生じても、印刷層の
粘性を利用し、印刷層を流動させて広げるように構成し
ていることにより所定の印刷層形成領域のみに印刷層を
形成することができ、したがってより一層微細化するこ
とができる。As described above, according to the present invention, in a region other than the print layer formation region, at least a photoresist layer capable of forming a fine pattern is formed around the print layer formation region in a state where the print layer formation region is formed. In the print layer formation area
On the other hand, the ink passage that is smaller by the amount that the print layer flows and spreads
Since the printing layer is formed by screen printing using a screen mask having a pattern , the printing range can be regulated at the end face of the photoresist layer. It can prevent bleeding, and even if the screen mask expands and contracts and the printing position slightly shifts , the printing layer is made to flow and spread using the viscosity of the printing layer.
By doing so, it is possible to form a print layer only in a predetermined print layer formation region, and therefore, it is possible to further reduce the size.
【0013】なお、上記実施例では、例えば図2に示す
ように、開口部形成領域4全体にフォトレジスト層3を
設け、また例えば図7に示すように、導電層形成領域1
3以外の領域全体にフォトレジスト層12を設けている
が、要はフォトレジスト層の端面で印刷範囲を規制する
ことができればよいので、スクリーン印刷すべき領域の
少なくとも周囲にフォトレジスト層が設けられていれば
よい。In the above-described embodiment, for example, as shown in FIG. 2, a photoresist layer 3 is provided over the entire opening forming region 4, and, for example, as shown in FIG.
Although the photoresist layer 12 is provided on the entire area other than the area 3, the essential point is that the printing range can be regulated at the end face of the photoresist layer. Therefore, the photoresist layer is provided at least around the area to be screen-printed. It should just be.
【0014】[0014]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、印刷層形成領域以外の領域で少なくとも印刷層形成
領域の周囲に微細パターン形成可能なフォトレジスト層
を形成した状態で印刷層形成領域にスクリーン印刷によ
り印刷層を形成しているので、フォトレジスト層の端面
で印刷範囲を規制することができ、このため印刷直後に
おける印刷層が所定の印刷層形成領域以外ににじみ出る
のを防止することができ、またスクリーンマスクが伸縮
して印刷位置に若干のずれが生じても、印刷層の粘性を
利用することにより所定の印刷層形成領域のみに印刷層
を形成することができ、したがってより一層微細化する
ことができる。As described above, according to the present invention, in a region other than the print layer formation region, at least a photoresist layer capable of forming a fine pattern is formed around the print layer formation region in a state where the print layer formation region is formed. Since the printing layer is formed by screen printing, the printing range can be regulated at the end face of the photoresist layer, and therefore, it is possible to prevent the printing layer immediately after printing from oozing out of a predetermined printing layer forming area. In addition, even if the screen mask expands and contracts and the printing position slightly shifts, the printing layer can be formed only in a predetermined printing layer forming area by utilizing the viscosity of the printing layer. It can be miniaturized.
【図1】この発明の一実施例における配線基板の製造に
際し、基板の上面に導電層をパターン形成した後全表面
にフォトレジスト層を形成した状態の断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a conductive layer is patterned on an upper surface of a substrate and then a photoresist layer is formed on the entire surface in manufacturing a wiring substrate according to an embodiment of the present invention.
【図2】この一実施例の配線基板の製造に際し、不要な
部分のフォトレジスト層を剥離した状態の断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which an unnecessary portion of a photoresist layer is peeled off in manufacturing the wiring board of the embodiment.
【図3】この一実施例の配線基板の製造に際し、スクリ
ーン印刷により絶縁性インク層を塗布した直後の状態の
断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state immediately after an insulating ink layer is applied by screen printing in manufacturing the wiring board of the embodiment.
【図4】この一実施例の配線基板の製造に際し、絶縁性
インク層が流動してフォトレジスト層の端面で堰き止め
られた状態の断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which an insulating ink layer flows and is blocked at an end surface of a photoresist layer in manufacturing the wiring board of the embodiment.
【図5】この一実施例の配線基板の製造に際し、フォト
レジスト層を剥離して絶縁層に開口部を形成した状態の
断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state where an opening is formed in an insulating layer by removing a photoresist layer in manufacturing the wiring board of the embodiment.
【図6】この発明の他の実施例における配線基板の製造
に際し、基板の上面にフォトレジスト層を形成した状態
の断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which a photoresist layer is formed on the upper surface of a wiring board when manufacturing a wiring board according to another embodiment of the present invention.
【図7】この他の実施例の配線基板の製造に際し、不要
な部分のフォトレジスト層を剥離した状態の断面図。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state in which an unnecessary portion of a photoresist layer is removed in manufacturing a wiring board according to another embodiment.
【図8】この他の実施例の配線基板の製造に際し、スク
リーン印刷により導電性インク層を塗布した直後の状態
の断面図。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state immediately after a conductive ink layer is applied by screen printing in manufacturing a wiring board according to another embodiment.
【図9】この他の実施例の配線基板の製造に際し、導電
性インク層が流動してフォトレジスト層の端面で堰き止
められた状態の断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a state in which a conductive ink layer flows and is blocked at an end surface of a photoresist layer in manufacturing a wiring board according to another embodiment.
【図10】この他の実施例の配線基板の製造に際し、フ
ォトレジスト層を剥離して基板上に導電層をパターン形
成した状態の断面図。FIG. 10 is a cross-sectional view showing a state in which a conductive layer is patterned on a substrate by removing a photoresist layer when manufacturing a wiring substrate according to another embodiment.
1 基板 2 導電層 3 フォトレジスト層 4 開口部形成領域 5 絶縁性インク層 6 開口部 7 絶縁層 11 絶縁基板 12 フォトレジスト層 13 導電層形成領域 14 導電性インク層 15 導電層 Reference Signs List 1 substrate 2 conductive layer 3 photoresist layer 4 opening forming region 5 insulating ink layer 6 opening 7 insulating layer 11 insulating substrate 12 photoresist layer 13 conductive layer forming region 14 conductive ink layer 15 conductive layer
Claims (3)
印刷で印刷層を形成する際、該印刷層を形成すべき印刷
層形成領域以外の領域で少なくとも前記印刷層形成領域
の周囲にフォトレジスト層を設け、前記印刷層形成領域
に、該印刷層形成領域より小さいインク通過パターンを
有するスクリーンマスクを用いたスクリーン印刷により
印刷層を形成し、該印刷層を流動させて広げた後、前記
フォトレジスト層を剥離することを特徴とする配線基板
の製造方法。When a printing layer is formed by screen printing in a process of manufacturing a wiring board, a photoresist layer is provided at least around the printing layer forming region in a region other than the printing layer forming region where the printing layer is to be formed. In the printing layer forming area, an ink passage pattern smaller than the printing layer forming area is provided.
A method for manufacturing a wiring board , comprising: forming a printed layer by screen printing using a screen mask having the printed layer, spreading the printed layer by flowing , and then removing the photoresist layer.
の上面のうち絶縁層開口部を形成すべき開口部形成領域
内で少なくともその周囲にフォトレジスト層を設け、前
記開口部形成領域以外の領域に、該開口部形成領域より
大きい島状パターンを有するスクリーンマスクを用いた
スクリーン印刷により絶縁層を形成し、該絶縁層を流動
させて広げた後、前記フォトレジスト層を剥離すること
により、前記開口部形成領域に対応する部分に絶縁層開
口部を形成することを特徴とする配線基板の製造方法。2. A photoresist layer is provided on at least a periphery of an upper surface of a conductive layer patterned on an upper surface of a substrate in an opening forming region where an insulating layer opening is to be formed, and a photoresist layer other than the opening forming region is provided. Region from the opening forming region
An insulating layer is formed by screen printing using a screen mask having a large island pattern, and the insulating layer flows.
A method for manufacturing a wiring board, comprising forming an insulating layer opening in a portion corresponding to the opening forming region by peeling off the photoresist layer after spreading .
すべき導電層形成領域以外の領域で少なくとも前記導電
層形成領域の周囲にフォトレジスト層を設け、前記導電
層形成領域に、該導電層形成領域より小さいインク通過
パターンを有するスクリーンマスクを用いたスクリーン
印刷により導電層を形成し、該導電層を流動させて広げ
た後、前記フォトレジスト層を剥離することを特徴とす
る配線基板の製造方法。3. A photoresist layer is provided on at least the periphery of the conductive layer forming region in a region other than the conductive layer forming region where the conductive layer is to be patterned on the upper surface of the substrate, and the conductive layer is formed in the conductive layer forming region. Ink passage smaller than the formation area
A conductive layer is formed by screen printing using a screen mask having a pattern, and the conductive layer is flowed and spread.
And thereafter peeling off the photoresist layer.
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| JPH0537128A JPH0537128A (en) | 1993-02-12 |
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