JP3220587B2 - トルクリップル解析機能付数値制御装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、サーボモータを制御す
る数値制御装置に関するものであり、特にトルクリップ
ル解析機能を有する数値制御装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７は、従来技術による数値制御装置を
工作機械の駆動機構に適用した例の構成ブロック図を示
すものである。図７において、数値制御装置１にはサー
ボモータ３に電力を供給するパワーアンプ２と、サーボ
モータ３の回転位置を検出する位置検出器４Ｓが接続さ
れている。また、数値制御装置１は位置誤差算出部１１
と、位置誤差Ｐｅに基づいて速度指令Ｖｒを生成する位
置制御部１２と、速度指令Ｖｒ等に基づいて速度誤差Ｖ
ｅを生成する速度誤差算出部１３と、速度誤差Ｖｅに基
づいてトルク指令Ｔｒを生成する速度制御部１４と、ト
ルク指令Ｔｒに基づいて電流指令値を生成する電流制御
部１５と、サーボモータ３の各相に流れる電流を検出す
る電流検出部１６と、インダクトシン４Ｆおよびサーボ
モータ３の回転位置を検出する位置検出器４Ｓから駆動
負荷のフルクローズド位置およびセミクローズド位置を
検出するとともにこれらの位置データから現在位置Ｐａ
を生成する位置検出部１７と、位置検出部１７にて生成
された現在位置Ｐａから速度を検出する速度検出部１８
と、を有している。以下に図７を用いて従来技術の動作
説明を行う。同図において、数値制御装置１内の図示し
ないＮＣプログラム読み込み部およびＮＣプログラム解
釈部により読み込まれ解釈されたＮＣプログラムに基づ
いて、図示しない関数発生部は負荷の移動情報（目標位
置、速度等）を算出し位置誤差算出部１１に位置指令Ｐ
ｒを転送する。位置誤差算出部１１ではこの位置指令値
Ｐｒと位置検出器４Ｓあるいはインダクトシン４Ｆの検
出値に基づいて公知の方法により位置検出部１７にて生
成される現在位置Ｐａとの差分を取ることにより位置誤
差Ｐｅを算出しこれを位置制御部１２に送る。位置制御
部１２においては公知の方法により位置誤差Ｐｅに基づ
いて速度指令Ｖｒを生成する。速度誤差算出部１３では
この速度指令値Ｖｒと速度検出部１８から送られる速度
検出値Ｖａとの差分を取ることにより速度誤差Ｖｅを算
出しこれを速度制御部１４に送る。速度制御部１４にお
いては比例−積分動作フィードバック制御等の公知の方
法により速度誤差Ｖｅに基づいてトルク指令値Ｔｒを生
成する。このトルク指令値Ｔｒに基づいて電流制御部１
５では電流フィードバック制御により最終的に電圧指令
値を生成してパワーアンプ２にこの電圧指令値を転送す
る。パワーアンプ２においては前記電圧指令値（ＰＷＭ
電圧指令）より、公知の技術によりＰＷＭ処理を行い、
サーボモータ３に印加すべき各相電圧を発生する。この
電圧の印加によりサーボモータ３には駆動トルクが発生
し、変速機構であるタイミングベルト５を介してボール
ネジ６、テーブル８、ベッド７から成る駆動負荷を所望
の位置、速度にて駆動する。

【０００３】図７のような駆動負荷を数値制御装置で駆
動する際にいわゆるトルクリップルが発生して当該軸の
駆動制御上問題となることがある。このトルクリップル
の発生要因としてはいくつかの事象が考えられる。今、
サーボモータ３がＡＣブラシレスサーボモータ（同期モ
ータ）であるとし、この場合のサーボモータ３に流れる
電流と発生トルクの関係について記す。サーボモータ３
の回転子に装着されている永久磁石の最大磁束密度を
Ｂ、固定子の三相卷線の各相に流す電流の最大値をＩと
すると、Ｕ、Ｖ、Ｗの各相に発生するトルクはそれぞれ
数式１、数式２、数式３のようになる。

【数１】

【数２】

【数３】 このようなトルクが各相に発生すると、三相全体の合成
出力トルクＴは数式４に示すようにサーボモータ回転子
の位置θや極数Ｐとは無関係になる。

【数４】 しかしながら、例えば三相三線方式でサーボモータ３に
通電している際に、Ｕ相電流に電流オフセット量＝α
が、Ｗ相電流に電流オフセット量＝−αが存在する場合
には合成出力トルクＴは数式５のようになり、サーボモ
ータ３が１回転する間に極数Ｐの半分の回数のトルクリ
ップルが合成出力トルクＴに現われる。

【数５】 あるいはＵ相電流にゲイン誤差量＝βが、Ｗ相電流にゲ
イン誤差量＝−βＩＳＩＮ（Ｐθ／２）が存在する場合
には合成出力トルクＴは数式６のようになり、サーボモ
ータ３が１回転する間に極数Ｐ回分のトルクリップルが
合成出力トルクＴに現われる。

【数６】 なお、この他にもトルクリップル発生要因が考えられる
が、これらの要因をまとめて表にしたものが図１０であ
る。

【０００４】トルクリップルが制御上問題となる場合に
は、その発生要因を突き止める必要がある。図７に示す
従来技術に用いる数値制御装置自体にはトルクリップル
解析機能が準備されていないので通常はまずＦＦＴアナ
ライザ９等の測定器にて時間領域のトルク波形を測定す
ることになる。図７においてはサーボモータ３の合成出
力トルクＴを直接測定する代わりに一定速度運転におけ
る速度制御部１４の出力であるトルク指令値Ｔr をＦＦ
Ｔアナライザ９で測定している。図８（ａ），（ｂ）は
この時測定される時間領域トルク波形の例を示したもの
である。また図９（ａ），（ｂ）はこれらの時間領域ト
ルク信号の周波数成分をＦＦＴアナライザ９にて測定し
た例を示すものである。測定されたトルクリップルから
その発生原因を特定するためには、その周期性の有無を
調べる必要がある。具体的には一定速度指令の駆動条件
の下で当該トルクリップルを測定した際に速度検出部１
８にて生成される実際の送り速度と当該ボールネジ６の
ピッチ（以下、軸ボールネジピッチと記載する。）から
計算される前記送り速度における当該軸ボールネジ１回
転周期と、前記送り速度と変速比から計算される前記送
り速度における当該軸サーボモータ１回転周期と、前記
送り速度と軸フルクローズド検出器であるインダクトシ
ン４Ｆの検出ピッチ周期と、を予め求めておき、これら
３種類の周期とトルクリップル周期との関係を調べ、図
１０にしたがって原因を推定することになる。あるい
は、前記各周期の逆数である周波数を求め、これら周波
数とトルクリップル周波数成分との関係を調べ、図１０
にしたがって原因を推定することになる。ここで、イン
ダクトシン４Ｆの検出ピッチ周期とはインダクトシン４
Ｆの絶対値検出ストローク（例えば２mm）を前記送り速
度で通過するのに要する時間と定義する。

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
数値制御装置において、トルクリップルの周期性を調べ
てその発生要因を推定するためには測定手段としてオシ
ロスコープやＦＦＴアナライザ９等の測定器を別途用い
ることになるが、これらは大きくて重いので可搬性が悪
いのにもかかわらず、ＮＣ工作機械等の調査対象が設置
されている場所までその都度運ぶ必要があった。このた
め調査作業のセットアップに多大の時間がかかってい
た。また、各測定器は高価である。また、前記各周期の
計算には当該軸の変速比等のいわゆるスケルトン（結合
情報）を予め知っておく必要があり、なおかつ基本的に
は手計算にて求めるので計算間違いが発生する可能性が
多分にあるという問題がある。更に図７に示す数値制御
装置においては測定データの記録・保存については特に
考慮されていないため、後からデータを確認するために
はデータ記録機能付きの測定器等を用意する必要があ
る。この際、測定データと合わせて制御対象機械仕様
（機種、変速機構、検出器、パワーアンプ、モータの仕
様等）、製造情報（ユーザ名、製造月、製造番号等）、
測定条件（サーボパラメータ設定値等）、ファイル作成
情報（測定／ファイル作成日時、測定／ファイル作成者
名等）を記録する必要があるが、これらのデータについ
ては調査担当者が測定データとは別途記録する必要があ
り、記録の際の転記ミスなどの混入や測定データその物
と一体化していないが為の測定データとこれら情報との
対応付けの誤りの発生といった問題点がある。

【０００５】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたものであり、その目的は、オシロスコープ
やＦＦＴアナライザの如き特別な測定器を用意すること
なく当該駆動負荷に発生しているトルクリップルの解析
の実行可能な数値制御装置を提供することにある。ま
た、制御対象の機械仕様、製造情報、測定条件と合わせ
て測定されたサーボ特性データを記録・保存しうる数値
制御装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、速度誤差に基づいてトル
クを発生させることで駆動負荷系を駆動させ制御対象機
械の制御を行う数値制御装置において、トルクリップル
に関する測定データを記憶する記憶手段と、前記記憶手
段に記録された測定データからトルクリップルの周波数
成分を算出・解析する解析手段と、前記解析手段による
解析結果を表示させる表示手段と、を有し、前記駆動負
荷系に発生するトルクリップルを測定し表示させること
を特徴とする。請求項２記載の発明は、請求項１記載の
トルクリップル解析機能付数値制御装置において、前記
駆動負荷系は、ボールネジと、前記ボールネジを駆動さ
せるモータと、前記モータの回転位置を検出する検出手
段と、を有し、前記表示手段は、ボールネジ回転周波数
と、前記検出手段の検出ピッチ周波数と、モータ回転周
波数と、を前記解析結果とともに表示させることを特徴
とする。請求項３記載の発明は、速度誤差に基づいてト
ルクを発生させることで駆動負荷系を駆動させ制御対象
機械の制御を行う数値制御装置において、トルクリップ
ルに関する測定データからトルクリップルの周波数成分
を算出・解析する解析手段と、前記駆動負荷系に含まれ
る制御対象機械に関する情報が格納されている制御対象
機械データ格納手段と、前記制御対象機械データ格納手
段に格納されている情報と前記解析結果とを合わせてデ
ータファイルを作成するファイル作成手段と、を有する
ことを特徴とする。

【作用】従って、本発明によれば、算出・解析手段は、
記憶手段に記憶した測定データからトルクリップルの周
波数成分を解析する。表示手段は、算出・解析手段によ
る解析結果を表示させることができるので、測定器を別
途用意しなくてもトルクリップルの発生要因を特定する
ことができる。また、ファイル生成手段は、制御対象機
械データ格納手段に格納されている情報と解析結果とを
合わせてデータファイルを生成するので、制御対象機械
と測定データとを一体化させることができる。

【０００７】

【実施例】図１は本発明に係るトルクリップル解析機能
を採用した数値制御装置の実施例の構成を示すブロック
図であり、図２は本発明の実施例におけるトルクリップ
ル解析の動作を説明する流れ図である。図１及び図２に
おいて、従来技術を示す図７と同一番号にて示されてい
る構成要素についての機能・処理内容は従来技術と同一
であるので説明を省略し、本発明の本質的な部分につい
てのみを以下に説明する。図１において、数値制御装置
１０はトルクリップルに関する測定データを指定のサン
プリング間隔にて記憶するための測定データバッファ２
１と、測定データバッファ２１に記憶された測定データ
を算出・解析する解析部２２と、解析結果を図形もしく
は文字にて数値制御装置１０内の図示しない表示装置に
出力するデータ表示部２３と、位置検出器４Ｓ、パワー
アンプ２等の制御対象機械の仕様及び製造情報をデータ
として保持している検出器等データ格納部２５と、解析
部２２によって算出・解析された測定データに機械仕様
データ、製造情報、測定条件及びファイル作成情報を加
えて１本のデータファイルを生成するファイル生成部２
４を有している。

【０００８】次に、図１に示す本実施例によるトルクリ
ップル解析機能付数値制御装置のトルクリップル解析モ
ードにおける動作を図２の流れ図により説明する。数値
制御装置１０の正常動作中において数値制御装置１０は
図示しないモード切り替え部がモード切り替え信号を定
期的に読み込み（ステップＳ１）、トルクリップル解析
モードあるいは通常ＮＣ運転モードのどちらのモードが
指定されているかを判断する（ステップＳ２）。図２に
おいて通常ＮＣ運転モードが指定された場合には、公知
の技術により所望のＮＣ運転処理を実行する（ステップ
Ｓ３）。トルクリップル解析モードが指定された場合に
は、まず図示しない対話入力手段により操作者は対話的
に軸指定データ、当該軸の一定送り速度動作開始位置お
よびその送り速度を入力する（ステップＳ２１）。この
際、与えられた送り速度と当該軸ボールネジピッチデー
タおよびインダクトシン絶対値検出ストロークから当該
軸ボールネジ回転周波数およびインダクトシン検出ピッ
チ周波数と、当該軸変速比と前記送り速度から計算され
る該モータ回転周波数を求めるとともに、これら３種類
の周波数のうちの最大周波数に対して、予め決められて
いるトルクリップルサンプリング周波数がある程度高い
範囲にあることを確認する。この範囲は周波数分析精度
確保と測定データバッファ２１に格納できる測定データ
点数の制限によるものであり、本実施例においてはサン
プリング周波数を前記最大周波数の５〜２０倍程度とし
ている。前記サンプリング周波数がこの範囲を外れる場
合には改めて操作者に対して適正な送り速度を入力する
よう数値制御装置１０の操作パネル等に案内表示する。
トルクリップル測定条件が確定したらこの条件に従って
所定の位置制御周期毎の動作指令即ち位置指令Ｐｒを生
成する（ステップＳ２２）。最初の位置指令Ｐｒが有効
になってから予め決まっている加減速時間経過後、即ち
一定速度になった時点で速度制御部１４の出力であるト
ルク指令値Ｔｒをトルクリップルデータと見做してサン
プリングし、測定データバッファ２１に時系列データと
して格納する（ステップＳ２３）。本実施例においてデ
ータの書き込みは、測定データバッファ２１が一杯にな
るか、当該軸ボールネジピッチ、インダクトシン絶対値
検出ストローク、当該軸モータが１回転する際に進む距
離のうちの最長のものの５倍の距離だけ当該駆動負荷が
移動した場合に終了するものとする。測定されたトルク
リップルデータは解析部２２において公知の技術により
その周波数成分が求められる（ステップＳ２４）。この
解析結果は前述のトルクリップル測定時の送り速度から
計算される当該軸ボールネジ回転周波数およびフルクロ
ーズド検出器の検出ピッチ周波数と、当該軸変速比とト
ルクリップル測定時の送り速度から計算される該モータ
回転周波数とともにデータ表示部２３により数値制御装
置１０内の図示しない表示装置に出力される（ステップ
Ｓ２５）。図４（ａ）はこれらのデータをＣＲＴ上に表
示した例を示すものである。操作者はこれらのデータか
ら図１０に基づいてトルクリップル発生要因を特定する
ことができる。処理結果表示（ステップＳ２５）後に数
値制御装置１０は操作者によるデータファイル作成の指
定の有無をチェックし（ステップＳ２６）、データファ
イル作成指示のない場合は後述のステップＳ２８に進
む。データファイル作成指示のある場合は、測定・解析
されたトルクリップルデータに、検出器等データ格納部
２５に格納されている制御対象機械の仕様、製造情報及
び測定条件に関するデータを加えて図６に示すような１
本のデータファイルを生成する（ステップＳ２７）。そ
の後、操作者のトルクリップル解析再実行の指示がある
かどうかを判断し（ステップＳ２８）、再実行指定時に
はステップＳ２１以降を繰り返し、測定を終了する場合
にはステップＳ１に戻る。このようにして、トルクリッ
プル解析をオシロスコープやＦＦＴアナライザ等の測定
器なしにて繰り返すことができ、必要に応じて測定デー
タファイルを作成することができる。

【０００９】次に、図１に示す本実施例によるトルクリ
ップル解析機能付数値制御装置のトルクリップル解析モ
ードにおける別の動作を図３の流れ図により説明する。
図３に示されていない動作ステップについての説明は図
２の場合と全く同じであるのでこれらの説明は省略す
る。トルクリップル解析モードが指定された場合には、
まず図示しない対話入力手段により操作者は対話的に軸
指定データ、当該軸の一定送り速度動作開始位置および
その送り速度を入力する（ステップＳ２１０）。加減速
に要する距離を除いて、本実施例における測定動作距離
は当該軸ボールネジピッチ、インダクトシン絶対値検出
ストロークと、当該軸モータ１回転に対応する当該軸移
動距離のうちの最長のものの５倍としている。トルクリ
ップル測定条件が確定したらこの条件に従って所定の位
置制御周期毎の動作指令即ち位置指令Ｐｒを生成する
（ステップＳ２２０）。最初の位置指令Ｐｒが有効にな
ってから予め決まっている加減速時間経過後、即ち一定
速度になった時点で速度制御部１４の出力であるトルク
指令値Ｔｒをトルクリップルデータと見做してサンプリ
ングすると共に、このサンプリング時点の現在位置Ｐａ
と前記トルク指令値Ｔｒとをペアにして測定データバッ
ファ２１にサンプリングされた順序にしたがって時系列
データとして書き込む（ステップＳ２３０）。測定され
たトルクリップルデータは解析部２２において当該軸ボ
ールネジピッチ、インダクトシン絶対値検出ストロー
ク、当該軸モータ１回転に対応する当該軸移動距離のそ
れぞれのピッチ（距離）について、その１周期内のどの
位置のトルクリップルデータにあたるかが特定される
（ステップＳ２４０）。これを便宜上所定のピッチ（上
記３ピッチ）における位相解析処理と呼ぶことにする
が、具体的には次のようにしてその位相を定める。例え
ば、今サンプリング時の現在位置Ｐａを持つトルクリッ
プルデータの、当該軸モータ１回転に対応する当該軸移
動距離（これをＰｍと略記する）における位相角θｍ
は、数式７により求められる。

【数７】 当該ピッチにおけるそれぞれのトルクリップルデータの
位相角が求められたら１周期３６０度の範囲を１度の区
間に分割し、それぞれのトルクリップルデータを対応す
る前記区間毎に集計しこれら個々の区間毎の加算平均を
とって測定データのノイズリダクション処理を行う（ス
テップＳ２５０）。次に当該ピッチ１周期におけるトル
クの平均値を算出し（ステップＳ２６０）、各トルクリ
ップルデータの当該ピッチ１周期を３６０度とする極座
標における前記平均値に対応する大きさの円の図形デー
タとを生成し、データ表示部２３により数値制御装置１
０内の図示しないグラフィック表示装置に出力する（ス
テップＳ２７０およびステップＳ２８０）。図４（ｂ）
はこれらのグラフィックデータをＣＲＴ上に表示した例
を示すものである。操作者はこれらのグラフィック表示
データから図１０に基づいてトルクリップル発生要因を
特定することができる。すなわち、図４（ｂ）に示した
ように図形として１周期の最初と最後が連続していれ
ば、当該ピッチにトルクリップルが同期しているという
ことが分かる。図５は同一測定データのトルクリップル
を、（ａ）当該軸モータが１回転する際に進む距離、
（ｂ）インダクトシン絶対値検出ストローク、（ｃ）当
該軸ボールネジピッチ、をそれぞれ１周期として座標計
算した場合の表示を示す。この場合も、トルクリップル
図形の接続具合から当該軸モータが１回転する際に進む
距離にトルクリップルが同期しているということが、イ
ンダクトシン絶対値検出ストロークおよび当該軸ボール
ネジピッチには同期していないことが視覚的に了解でき
る。

【００１０】なお、本実施例においてはトルクリップル
のサンプリングと、その解析・データ表示は別々に行
う。すなわちオフラインで解析表示するようにしている
が、実時間処理能力があればオンライン処理としてもよ
い。また、図４の表示の際に、ボールネジピッチなどの
数値制御装置１にあらかじめ格納してある調査対象機械
に実装された位置検出器４Ｓ、パワーアンプ２および対
象機械についての仕様及び製造情報を解析結果と合わせ
て表示しても良い。更には図２のステップＳ２１におい
て、操作者は測定動作開始位置を入力するのみとし、測
定動作送り速度や測定のための移動距離は数値制御装置
１０が自動決定するようにしても良い。

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、トルク
リップルに関する測定データを格納する記憶手段と、該
トルクリップルデータを解析する解析手段とを有し、ト
ルクリップル測定時の送り速度から計算される当該軸ボ
ールネジ回転周波数およびフルクローズド検出器の検出
ピッチ周波数と、当該軸変速比とトルクリップル測定時
の送り速度から計算される該モータ回転周波数を前記周
波数成分の周波数と共に表示手段に表示させるようにし
たので、オシロスコープやＦＦＴアナライザの如き特別
な測定器を用意することなく当該軸トルクリップルの発
生要因を１台の数値制御装置にて測定・特定できるとい
う効果がある。また、測定・解析されたトルクリップル
に関する測定データに前記検出器、パワーアンプおよび
対象機械の仕様データ、製造情報及び測定条件を加えて
データファイルを生成するようにしたので、測定された
データの記録・保存に際しては制御対象機械についての
仕様、製造情報、測定条件と合わせて１本のデータファ
イルを作成できるようになったという効果がある。ま
た、制御対象機械データ格納手段に予め制御対象機械に
関する情報を格納しておくので、調査担当者による転記
ミスを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例のトルクリップル解析機能付数
値制御装置のブロック図である。

【図２】本発明の実施例におけるトルクリップル解析の
動作を説明する流れ図である。

【図３】本発明の実施例におけるトルクリップル解析の
動作を説明する流れ図である。

【図４】本発明の実施例におけるトルクリップル解析結
果の表示例を示す図である。

【図５】本発明の実施例におけるトルクリップル解析結
果の表示例を示す図である。

【図６】本発明による数値制御装置内で生成されるサー
ボ特性データファイルの構造の一例を示す図である。

【図７】従来技術による数値制御装置のブロック図であ
る。

【図８】トルクリップル信号波形を示す図である。

【図９】トルクリップル信号の周波数成分を示す図であ
る。

【図１０】トルクリップル発生要因を示す図である。

【符号の説明】

１、１０ 数値制御装置 ２ パワーアンプ ３ サーボモータ ４Ｓ 位置検出器 ４Ｆ インダクトシン ５ タイミングベルト ６ ボールネジ ７ ベッド ８ テーブル １１ 位置誤差算出部 １２ 位置制御部 １３ 速度誤差算出部 １４ 速度制御部 １５ 電流制御部 １６ 電流検出部 １７ 位置検出部 １８ 速度検出部 ２１ 測定データバッファ ２２ 解析部 ２３ データ表示部 ２４ ファイル生成部 ２５ 検出器等データ格納部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−257201（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−133598（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−182651（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05B 19/18 B23Q 17/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 速度誤差に基づいてトルクを発生させる
   ことで駆動負荷系を駆動させ制御対象機械の制御を行な
   う数値制御装置において、 トルクリップルに関する測定データを記憶する記憶手段
   と、 前記記憶手段に記憶された測定データからトルクリップ
   ルの周波数成分を算出・解析する解析手段と、 前記解析手段による解析結果を表示させる表示手段と、 を有し、前記駆動負荷系に発生するトルクリップルを測
   定し表示させることを特徴とするトルクリップル解析機
   能付数値制御装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のトルクリップル解析機能
   付数値制御装置において、 前記駆動負荷系は、ボールネジと、前記ボールネジを駆
   動させるモータと、前記モータの回転位置を検出する検
   出手段と、を有し、 前記表示手段は、ボールネジ回転周波数と、前記検出手
   段の検出ピッチ周波数と、モータ回転周波数と、を前記
   解析結果とともに表示させることを特徴とするトルクリ
   ップル解析機能付数値制御装置。
3. 【請求項３】 速度誤差に基づいてトルクを発生させる
   ことで駆動負荷系を駆動させ制御対象機械の制御を行う
   数値制御装置において、 トルクリップルに関する測定データからトルクリップル
   の周波数成分を算出・解析する解析手段と、 前記駆動負荷系に含まれる制御対象機械に関する情報が
   格納されている制御対象機械データ格納手段と、 前記制御対象機械データ格納手段に格納されている情報
   と前記解析結果とを合わせてデータファイルを生成する
   ファイル生成手段と、 を有することを特徴とするトルクリップル解析機能付数
   値制御装置。