JP3223910B2 - Multilayer ceramic electronic components - Google Patents
Multilayer ceramic electronic componentsInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は例えば積層セラミッ
クコンデンサなどの積層セラミック電子部品に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor.
【0002】[0002]
【従来の技術】以下に従来の積層セラミック電子部品と
して積層セラミックコンデンサについて説明する。2. Description of the Related Art A multilayer ceramic capacitor will be described below as a conventional multilayer ceramic electronic component.
【0003】まず、チタン酸バリウム等の誘電体材料
と、有機バインダ成分等からなるセラミックシートを作
製する。次に、このセラミックシート上に導電体ペース
トを用いて導電体層を形成する。次いでこの導電体層が
形成されたセラミックシートを、セラミックシートを挟
んで導電体層が対向するように所望の枚数だけ積み重
ね、それぞれの層を接着させた積層体を得る。この積層
体を焼成し、外部電極を両端部に設けて積層セラミック
コンデンサとする。First, a ceramic sheet made of a dielectric material such as barium titanate and an organic binder component is prepared. Next, a conductor layer is formed on the ceramic sheet using a conductor paste. Next, a desired number of the ceramic sheets on which the conductor layers are formed are stacked such that the conductor layers face each other with the ceramic sheet interposed therebetween, and a laminated body in which the respective layers are adhered is obtained. This laminate is fired, and external electrodes are provided at both ends to form a multilayer ceramic capacitor.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】昨今、積層セラミック
コンデンサは小型化、大容量化が急速に進んでおり、こ
れらを達成するためにセラミックシートの厚みを薄く
し、さらには積層数を多くする試みがなされている。し
かしながら、薄いセラミックシート上に導電体層を形成
する工程やセラミックシートを挟んで導電体層が対向す
るように積層する工程において、導電体ペースト中に含
まれる金属粒子がセラミックシートの表面のみならず、
セラミック粒子間の空隙を伝ってセラミックシート内部
にまで達してしまう。セラミックシートが特に薄い場合
については金属成分がセラミックシートを貫通する場合
もあり、この時には積層焼成後、ショート状態になり、
コンデンサとしての機能を果たさなくなるという問題点
を有していた。また、たとえショート状態にはならない
としても導電体層が近接する個所は寿命試験や耐圧試験
において劣化、破壊し易く、品質を悪化させる大きな原
因となっていた。In recent years, multilayer ceramic capacitors have been rapidly reduced in size and capacity, and in order to achieve these requirements, attempts have been made to reduce the thickness of ceramic sheets and further increase the number of layers. Has been made. However, in the step of forming a conductor layer on a thin ceramic sheet or the step of laminating the conductor layers so that the conductor layers face each other with the ceramic sheet interposed therebetween, metal particles contained in the conductor paste are not only present on the surface of the ceramic sheet but also on the surface thereof. ,
It reaches the inside of the ceramic sheet through the gap between the ceramic particles. When the ceramic sheet is particularly thin, the metal component may penetrate the ceramic sheet, and in this case, after lamination and firing, it will be in a short state,
There is a problem that the function as a capacitor is not fulfilled. Even if the short-circuit state does not occur, a portion where the conductor layer is close to the conductor is liable to be deteriorated or broken in a life test or a withstand voltage test, which is a major cause of deterioration in quality.
【0005】そこで本発明は、セラミックシート内部へ
の金属成分の侵入を防止することによりショート不良の
少ない積層セラミック電子部品を提供することを目的と
するものである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a multilayer ceramic electronic component with less short-circuit failure by preventing a metal component from entering a ceramic sheet.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、セラミック粉末と有機物とからなるセラミ
ックシートと導電体層とを交互に積層して積層体とし、
この積層体を焼成したものの両端に外部電極を設けた積
層セラミック電子部品において、前記セラミックシート
は10μm未満であり、前記導電体層中の金属成分の平
均粒径を前記セラミック粉末の平均粒径よりも大きくし
た積層セラミック電子部品であり、セラミックシート内
部に金属成分が侵入することを抑制でき、ショート不良
を少なくすることができる。According to the present invention, there is provided a laminate comprising a ceramic sheet comprising ceramic powder and an organic substance and a conductor layer alternately laminated to form a laminate.
In a multilayer ceramic electronic component in which external electrodes are provided at both ends of the fired laminate, the ceramic sheet
Is less than 10 μm, is a multilayer ceramic electronic component in which the average particle size of the metal component in the conductor layer is larger than the average particle size of the ceramic powder, and can prevent the metal component from entering the inside of the ceramic sheet. , Short-circuit defects can be reduced.
【0007】[0007]
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、セラミック粉末と有機物とからなるセラミックシー
トと導電体層とを交互に積層して積層体とし、この積層
体を焼成したものの両端に外部電極を設けた積層セラミ
ック電子部品において、前記セラミックシートは10μ
m未満であり、前記導電体層中の金属成分の平均粒径を
前記セラミック粉末の平均粒径よりも大きくした積層セ
ラミック電子部品であり、ショート不良を少ない積層セ
ラミック電子部品を提供することができる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The invention according to claim 1 of the present invention is characterized in that a ceramic sheet made of ceramic powder and an organic substance and a conductor layer are alternately laminated to form a laminate, and the laminate is fired. In the multilayer ceramic electronic component provided with external electrodes at both ends, the ceramic sheet has a thickness of 10 μm.
m, wherein the average particle size of the metal component in the conductor layer is larger than the average particle size of the ceramic powder, and a multilayer ceramic electronic component with less short circuit failure can be provided. .
【0008】請求項2に記載の発明は、金属成分の少な
くとも一部がリン片状である請求項1に記載の積層セラ
ミック電子部品であり、金属成分のセラミックシート中
への侵入をより一層抑制することができる。According to a second aspect of the present invention, there is provided the multilayer ceramic electronic component according to the first aspect, wherein at least a part of the metal component is scaly, and the penetration of the metal component into the ceramic sheet is further suppressed. can do.
【0009】以下、本発明の実施の形態について、積層
セラミックコンデンサを例に図面を参照しながら説明す
る。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, taking a multilayer ceramic capacitor as an example.
【0010】(実施の形態1)図1は本実施の形態にお
けるベースフィルム11上に形成されたセラミックシー
ト12と導電体層13の要部拡大断面図、図2は図1の
全体断面図、図3は一般的な積層セラミックコンデンサ
の一部切欠斜視図である。1はセラミック誘電体層、2
は内部電極、3は外部電極であり、内部電極2は各々外
部電極3に接続されている。(Embodiment 1) FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part of a ceramic sheet 12 and a conductor layer 13 formed on a base film 11 in this embodiment, FIG. 2 is an overall sectional view of FIG. FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of a general multilayer ceramic capacitor. 1 is a ceramic dielectric layer, 2
Is an internal electrode, 3 is an external electrode, and the internal electrodes 2 are connected to the external electrodes 3 respectively.
【0011】次に本実施の形態における積層セラミック
コンデンサの製造方法を説明する。Next, a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present embodiment will be described.
【0012】まずチタン酸バリウムを主体とする平均粒
径が0.7μmの誘電体材料粉末と、ポリビニルブチラ
ール系のバインダ成分と、可塑剤成分としてジブチルフ
タレート、溶剤成分として酢酸ブチルとを混合してスラ
リー化した後、ドクターブレード法を用いて図1、図2
に示すようにポリエチレンテレフタレートフィルム(以
下、PETフィルムとする)などのベースフィルム11
上にセラミックシート12を形成した。First, a dielectric material powder mainly composed of barium titanate and having an average particle diameter of 0.7 μm, a polyvinyl butyral binder component, dibutyl phthalate as a plasticizer component, and butyl acetate as a solvent component are mixed. After slurrying, using a doctor blade method, FIGS. 1 and 2
As shown in the figure, a base film 11 such as a polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as a PET film)
The ceramic sheet 12 was formed thereon.
【0013】次にセラミックシート12上に導電体層1
3としてニッケルペーストを所定のパターン状に印刷法
などで形成し、乾燥して導電体層付きセラミックシート
14を作製した。このニッケルペースト中には球状でか
つ平均粒径が0.8μmのニッケル粉末と溶剤の他、有
機バインダ成分が含まれている。溶剤は脂肪族ナフサ、
芳香族ナフサ、テルピネオール、有機バインダ成分はエ
チルセルロースである。乾燥により導電体層13中の大
部分の溶剤は飛散してしまうため、乾燥後の導電体層1
3は金属成分と有機バインダ成分のみとなる。このとき
のセラミックシート12の厚みは8μm、導電体層13
の厚みは2.0μmであった。Next, the conductor layer 1 is placed on the ceramic sheet 12.
As No. 3, a nickel paste was formed in a predetermined pattern by a printing method or the like, and dried to produce a ceramic sheet 14 with a conductor layer. The nickel paste contains an organic binder component in addition to a spherical nickel powder having an average particle diameter of 0.8 μm and a solvent. The solvent is aliphatic naphtha,
The aromatic naphtha, terpineol, and organic binder components are ethyl cellulose. Since most of the solvent in the conductor layer 13 is scattered by drying, the conductor layer 1 after drying is dried.
3 is only a metal component and an organic binder component. At this time, the thickness of the ceramic sheet 12 is 8 μm,
Was 2.0 μm in thickness.
【0014】また、誘電体材料の平均粒径に対するニッ
ケル粉末の平均粒径制御の効果を比較するために、ニッ
ケル粉末の平均粒径が0.7μm、0.9μm、1.0
μmの場合のニッケルペーストを用いて、同様にして図
1及び図2に示す導電体層付きセラミックシート14を
それぞれ作製した。In order to compare the effect of controlling the average particle size of the nickel powder on the average particle size of the dielectric material, the average particle size of the nickel powder is set to 0.7 μm, 0.9 μm, 1.0 μm,
Ceramic sheets 14 with conductor layers shown in FIGS. 1 and 2 were similarly produced using a nickel paste having a thickness of μm.
【0015】さらにはニッケル粉末の形状の影響を調べ
るために、リン片状でかつ平均粒径が0.8μmのニッ
ケルペーストを用いて、同様にして図1及び図2に示す
導電体層付きセラミックシート14を作製した。なお、
導電体層13の乾燥後の厚みはそれぞれ2.0〜2.1
μmであり、ほぼ同一であった。Further, in order to investigate the influence of the shape of the nickel powder, a nickel paste having a scale shape and an average particle diameter of 0.8 μm was used, and the ceramic having the conductor layer shown in FIGS. Sheet 14 was produced. In addition,
The thickness of the conductor layer 13 after drying is 2.0 to 2.1, respectively.
μm, which was almost the same.
【0016】次いで、それぞれの導電体層付きセラミッ
クシート14を100回熱転写により積層した後、縦
3.5mm、横2.0mmに切断して積層体を得た。熱
転写は一軸プレス機を用いて100℃,100kg/c
m2で行った。Next, each of the ceramic sheets 14 with a conductor layer was laminated 100 times by thermal transfer, and then cut into 3.5 mm length and 2.0 mm width to obtain a laminate. Thermal transfer is 100 ° C, 100kg / c using a uniaxial press.
It was carried out in m 2.
【0017】その後、積層体を1300℃、N2および
H2雰囲気中で焼成して焼結体を得た。焼成後のセラミ
ック誘電体層1の厚みはすべて4.5μmであり、焼結
体の内部には構造欠陥は存在しなかった。Thereafter, the laminate was fired at 1300 ° C. in an atmosphere of N 2 and H 2 to obtain a sintered body. The thickness of the ceramic dielectric layer 1 after firing was all 4.5 μm, and no structural defect was present inside the sintered body.
【0018】次いで焼結体の内部電極2の露出した両端
面に銅ペーストを用いて外部電極3を形成し、外部電極
3の上にメッキを施し、積層セラミックコンデンサを完
成させた。Next, external electrodes 3 were formed on both exposed end surfaces of the internal electrodes 2 of the sintered body using a copper paste, and the external electrodes 3 were plated to complete a multilayer ceramic capacitor.
【0019】ニッケル粉末の形状や粒径が異なる5種類
の積層セラミックコンデンサについて、ショート不良
率、破壊電圧を調べた結果を(表1)に示す。Table 1 shows the results of examining the short-circuit failure rate and breakdown voltage of five types of multilayer ceramic capacitors having different shapes and particle sizes of nickel powder.
【0020】[0020]
【表1】 [Table 1]
【0021】ショート不良率はそれぞれ100個のサン
プルについて絶縁抵抗が数オームのものをショート不良
と判断した場合の発生率、破壊電圧についてはショート
不良のない50個のサンプルについて破壊電圧を測定し
た場合の最小値と平均値を示したものである。The short-circuit failure rate is the occurrence rate when the insulation resistance is judged to be short-circuit when the insulation resistance is several ohms for each of 100 samples, and the breakdown voltage is when the breakdown voltage is measured for 50 samples without short-circuit failure. 2 shows the minimum value and the average value.
【0022】(表1)からも明らかなようにセラミック
シート12に含まれる誘電体材料粉末の平均粒径以上の
平均粒径を有するニッケル粉末を用いた方が、ショート
不良率、最小破壊電圧、平均破壊電圧のすべての点で良
化する傾向がある。また、ニッケル粉末は球状よりもリ
ン片状のものを用いた方が、ショート率、最小破壊電
圧、平均破壊電圧のすべての点で良化する傾向がある。
更に、ショート不良品のショート個所について解析して
みると、ショート不良品のすべてにおいて、対向する内
部電極2間が短絡していることが分かった。As is clear from Table 1, the use of nickel powder having an average particle size equal to or larger than the average particle size of the dielectric material powder contained in the ceramic sheet 12 results in a short-circuit defect rate, a minimum breakdown voltage, It tends to improve at all points of average breakdown voltage. When a nickel powder having a flaky shape is used rather than a spherical shape, the short circuit rate, the minimum breakdown voltage, and the average breakdown voltage tend to be improved in all respects.
Further analysis of the short-circuited portion of the short-circuited defective product revealed that the opposing internal electrodes 2 were short-circuited in all of the short-circuited defective products.
【0023】以上のことより、セラミック粉末の平均粒
径より大きい平均粒径の金属粉末を用いることにより、
金属粉末がセラミックシート12中に侵入することを抑
制し、ショート不良や耐電圧不良といった積層セラミッ
ク電子部品にとって致命的な不良の発生を抑制できるこ
とが分かる。また、金属成分は同じ平均粒径の場合、球
状よりもりん片状の方がよりセラミックシート12中へ
侵入しにくいことが分かる。As described above, by using a metal powder having an average particle size larger than the average particle size of the ceramic powder,
It can be seen that it is possible to suppress the metal powder from penetrating into the ceramic sheet 12 and to suppress the occurrence of a fatal defect such as a short circuit defect or a withstand voltage defect for the multilayer ceramic electronic component. In addition, it can be seen that when the metal component has the same average particle size, the flaky shape is less likely to penetrate into the ceramic sheet 12 than the spherical shape.
【0024】また、ここで用いた平均粒径とは測定法に
こだわったものではなく、セラミック粉末と金属粉末と
の相対粒径において、金属粉末の方が大きい時にその効
果が期待できるものである。The average particle size used here is not limited to the measuring method, and the effect can be expected when the metal powder is larger in the relative particle size between the ceramic powder and the metal powder. .
【0025】さらに、セラミック粉末の最小粒径よりも
金属粉末の最小粒径を大きくすることにより、金属成分
のセラミックシート12への侵入を更に抑制することが
できる。Further, by making the minimum particle size of the metal powder larger than the minimum particle size of the ceramic powder, the penetration of the metal component into the ceramic sheet 12 can be further suppressed.
【0026】さらにまた、金属粉末の一次粒径はセラミ
ック粉末の平均粒径よりも小さくても導電体層13をセ
ラミックシート12とを積層する時に、導電体層13と
なる金属ペースト中の金属成分が二次凝集し、その凝集
体がセラミック粉末よりも大きく、かつ解体されにくい
ものであれば同様の効果が得られる。Furthermore, even when the primary particle size of the metal powder is smaller than the average particle size of the ceramic powder, the metal component in the metal paste that becomes the conductive layer 13 when the conductive layer 13 is laminated with the ceramic sheet 12 is laminated. Are secondary aggregated, and the same effect can be obtained as long as the aggregate is larger than the ceramic powder and hardly disassembled.
【0027】なお、本実施の形態1ではセラミックシー
ト12の厚みを一定にして行ったが、いかなる厚みにお
いても同様の効果は得られる。特に、焼成後のセラミッ
ク誘電体層1の厚みが10μmを下回るような場合にお
いてはその効果が顕著となる。Although the thickness of the ceramic sheet 12 is made constant in the first embodiment, the same effect can be obtained with any thickness. In particular, when the thickness of the ceramic dielectric layer 1 after firing is less than 10 μm, the effect is remarkable.
【0028】また、ベースフィルム11上に形成したセ
ラミックシート12上に導電体層13を形成したものを
積層して積層体を得る場合についてのみを説明したが、
以下の場合についても同様の効果が得られる。 (1)セラミックシート12と導電体層13とを交互に
積層して積層体を形成する場合 (2)ベースフィルム11上に形成した導電体層13を
セラミックシート12上に熱転写したものを積層して積
層体を形成する場合 さらに上記実施の形態は、積層セラミックコンデンサに
ついて説明したが、本発明は導電体層とセラミック層を
層状に積層する積層工程を有する一般的な積層セラミッ
ク電子部品、例えば、積層チップバリスタや積層型コイ
ル、多層基板に適用することができ、ショート不良や耐
圧不良を抑制することができるものである。Also, only the case where a laminate in which a conductor layer 13 is formed on a ceramic sheet 12 formed on a base film 11 to obtain a laminate is described.
Similar effects can be obtained in the following cases. (1) In the case of forming a laminate by alternately laminating the ceramic sheet 12 and the conductor layer 13 (2) Laminate the conductor layer 13 formed on the base film 11 and thermally transferring it on the ceramic sheet 12. Further, in the case of forming a multilayer body, the above embodiment has been described with respect to a multilayer ceramic capacitor, the present invention is a general multilayer ceramic electronic component having a lamination step of laminating a conductor layer and a ceramic layer, for example, The present invention can be applied to a multilayer chip varistor, a multilayer coil, and a multilayer substrate, and can suppress short circuit failure and breakdown voltage failure.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上本発明によると、セラミック誘電体
層を挟んで対向する導電体層間が局所的に近接する個所
が極端に少なく、ショート不良が少なく高耐圧を有する
積層セラミック電子部品を提供することができる。As described above, according to the present invention, there is provided a multilayer ceramic electronic component which has extremely few places where conductor layers opposing each other with a ceramic dielectric layer interposed therebetween are extremely close to each other, and has few short-circuit defects and high breakdown voltage. be able to.
【図1】本発明の一実施の形態におけるベースフィルム
上に形成されたセラミックシートおよび導電体層の一部
拡大断面図FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional view of a ceramic sheet and a conductor layer formed on a base film according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1の全体断面図FIG. 2 is an overall sectional view of FIG. 1;
【図3】一般的な積層セラミックコンデンサの一部切欠
斜視図FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of a general multilayer ceramic capacitor.
1 セラミック誘電体層 2 内部電極 3 外部電極 11 ベースフィルム 12 セラミックシート 13 導電体層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic dielectric layer 2 Internal electrode 3 External electrode 11 Base film 12 Ceramic sheet 13 Conductor layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 4/12 H01G 4/00 - 4/10 H01G 4/14 - 4/40 H01G 13/00 - 13/06 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01G 4/12 H01G 4/00-4/10 H01G 4/14-4/40 H01G 13/00-13 / 06
Claims (2)
ミックシートと導電体層とを交互に積層して積層体と
し、この積層体を焼成したものの端面に外部電極を設け
る積層セラミック電子部品において、前記セラミックシ
ートは10μm未満であり、前記導電体層中の金属成分
の平均粒径を前記セラミック粉末の平均粒径よりも大き
くした積層セラミック電子部品。[Claim 1] a ceramic powder and an organic material and by laminating the ceramic sheet and the conductor layer are alternately laminated body consisting, in the multilayer ceramic electronic component providing the external electrode on the end face of those firing the laminate, the ceramic Shi
A multilayer ceramic electronic component having a thickness of less than 10 μm and an average particle diameter of a metal component in the conductor layer larger than an average particle diameter of the ceramic powder.
である請求項1に記載の積層セラミック電子部品。2. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the metal component is at least partially scaly.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP12580799A JP3223910B2 (en) | 1999-05-06 | 1999-05-06 | Multilayer ceramic electronic components |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JP2000315616A JP2000315616A (en) | 2000-11-14 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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- 1999-05-06 JP JP12580799A patent/JP3223910B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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|---|---|
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