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JP3224563B2 - A method for enlarging the active surface area of alloy materials in which intermetallic compounds are uniformly dispersed - Google Patents
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JP3224563B2 - A method for enlarging the active surface area of alloy materials in which intermetallic compounds are uniformly dispersed - Google Patents

A method for enlarging the active surface area of alloy materials in which intermetallic compounds are uniformly dispersed

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、金属間化合物を均一に
分散晶出した材料、例えば電解コンデンサ電極用とし
て、バルブメタルを含有するAl合金を電解エッチング
し、金属間化合物を露出して表面積を拡大する方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a material in which an intermetallic compound is uniformly dispersed and crystallized, for example, for an electrode of an electrolytic capacitor, an aluminum alloy containing a valve metal is electrolytically etched to expose the intermetallic compound and expose the surface area. It is about how to expand.

【0002】[0002]

【従来の技術】合金材の表面を拡大し、これを特性向上
に利用するものとして、例えば前述したような電解コン
デンサの電極がある。
2. Description of the Related Art An electrode of an electrolytic capacitor as described above is used for enlarging the surface of an alloy material and using the enlarged surface to improve the characteristics.

【0003】従来電解コンデンサの電極(陽極)には、
アルミニウム(Al)やタンタル(Ta)などの金属板
あるいは箔が多く使用されている。これらの陽極材料は
静電容量を高めるために電解エッチング処理で粗面化し
て表面積を拡大すると共に陽極酸化処理をして絶縁皮膜
を形成する。
Conventionally, electrodes (anodes) of electrolytic capacitors include:
Metal plates or foils of aluminum (Al) or tantalum (Ta) are often used. These anode materials are roughened by electrolytic etching to increase the surface area in order to increase the capacitance, and are also subjected to anodizing to form an insulating film.

【0004】すなわち、大容量のコンデンサを製造する
には、電極材料の表面積を大きくし、また、薄く、かつ
絶縁性のよい皮膜を表面に形成することが必要とされて
いる。従来用いられているAl箔は、これを酸化処理し
てAl2 3 皮膜を生成するが、Al2 3 の誘電率
は、およそ7〜10であり、他の金属例えばTaやTi
の酸化皮膜(Ta2 5 やTiO2 )に比べてそれほど
高くない。そのため機械的手段あるいは化学的、電気化
学的なエッチング方法によって、表面積を増大すると共
に一方で酸化皮膜の形成に、陽極化成を改善し、例えば
ホウ酸アンモニウム溶液による化成皮膜と、リン酸アン
モニウム溶液による化成皮膜の複合皮膜を形成する方法
などによって静電容量を高める試みも行われているが、
これらの方法によっても、十分に高い特性改善には至っ
ていない。
[0004] In other words, in order to manufacture a large-capacity capacitor, it is necessary to increase the surface area of the electrode material and to form a thin and highly insulating film on the surface. Conventionally used Al foil is oxidized to form an Al 2 O 3 film. The dielectric constant of Al 2 O 3 is approximately 7 to 10, and other metals such as Ta and Ti
Oxide film (Ta 2 O 5 or TiO 2 ) is not so high. Therefore, by means of mechanical or chemical or electrochemical etching, the surface area is increased and, on the other hand, the formation of an oxide film is improved, while the anodization is improved, for example a conversion film with an ammonium borate solution and an ammonium phosphate solution. Attempts have been made to increase the capacitance by a method such as forming a composite film of a chemical conversion film.
Even by these methods, sufficiently high characteristics have not been improved.

【0005】近時、陽極材料として、純Alに他のバル
ブメタルを加えた合金を使用し、この合金を急冷凝固法
で製造することにより、大容量の電解コンデンサを得る
ことを、本出願人等が提案した。すなわち、例えば特開
平1−124212号公報がそれであるが、これには、
Al中に、Ti、Ta、Zr、HfおよびNbなどのバ
ルブメタルの少くとも1種を含み、これらのバルブメタ
ルと、Alとの金属間化合物を微細に分散出させた合
金電極を提示し、この電極材料の具体的な製造法とし
て、急速回転ロールによる急冷凝固法を例示している。
Recently, it has been proposed that a large capacity electrolytic capacitor be obtained by using an alloy obtained by adding another valve metal to pure Al as an anode material and manufacturing the alloy by a rapid solidification method. Etc. suggested. That is, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-124212 discloses this.
An alloy electrode containing at least one kind of valve metal such as Ti, Ta, Zr, Hf and Nb in Al, and finely dispersing and crystallizing the intermetallic compound of these valve metals and Al is presented. As a specific method for producing this electrode material, a rapid solidification method using a rapidly rotating roll is exemplified.

【0006】このようなバルブメタルを含有するAl合
金箔も、前述したような化学的あるいは電気化学的なエ
ッチングを行って、表面積の拡大を図っているが、従来
の水溶媒系電解液を用いたエッチング法では、金属間化
合物の露出量が不十分であり、活性表面の拡大が十分に
行えない場合があるという問題があった。
The Al alloy foil containing such a valve metal is also subjected to the above-mentioned chemical or electrochemical etching to increase its surface area. The conventional etching method has a problem that the amount of exposure of the intermetallic compound is insufficient and the active surface may not be sufficiently enlarged.

【0007】[0007]

【発明が解決すべき課題】前述したような合金箔におい
て、箔中にはAlと他のバルブメタル(Ti、Zr等)
との金属間化合物が出しており、この金属間化合物を
形成するTi、Zrなどの酸化物は、Al酸化物に比較
して誘電率が数倍以上高く、電解コンデンサの静電容量
を大きくすることができる。また、急冷凝固法によって
製造されるAl合金箔には、これらの金属間化合物が冷
却凝固段階で、多数の枝をもつデンドライトとして晶出
するのであるから、このバルブメタルで構成される金属
間化合物を露出させることは、箔の活性表面積を極めて
拡大することになる。
In the above alloy foil, Al and other valve metals (Ti, Zr, etc.) are contained in the foil.
And the intermetallic compound is crystallized with, oxides such as Ti, Zr forming the intermetallic compound has a high dielectric constant several times as compared to the Al oxide, increase the capacitance of the electrolytic capacitor can do. Also, in the Al alloy foil produced by the rapid solidification method, since these intermetallic compounds crystallize as dendrites having a large number of branches in the cooling and solidifying stage, the intermetallic compound composed of this valve metal is used. Exposure would greatly increase the active surface area of the foil.

【0008】本発明はこのような点に着眼し、従来十分
とはいえない電解エッチング方法を改良し、電解コンデ
ンサ用電極などに使用される合金箔において、箔中の金
属間化合物の露出面を多くして実効表面積を拡大する方
法を提供することを目的とする。
In view of the above, the present invention has improved an electrolytic etching method which has not been considered to be sufficient in the past. In an alloy foil used for an electrode for an electrolytic capacitor or the like, the exposed surface of an intermetallic compound in the foil was reduced. It is an object to provide a method for increasing the effective surface area at most.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、 (1)金属間化合物を均一に分散出した合金材料を、
非水溶媒系電解液中で金属材料を陽極として電解を行
い、金属マトリックスを選択的にエッチングをして、金
属間化合物表面を露出させることを特徴とする活性表面
積拡大法。
To achieve the above object, the present invention provides: (1) an alloy material in which an intermetallic compound is uniformly dispersed and crystallized ;
A method for enlarging an active surface area, comprising performing electrolysis in a non-aqueous solvent-based electrolyte using a metal material as an anode, selectively etching a metal matrix, and exposing an intermetallic compound surface.

【0010】(2)金属間化合物を均一に分散出した
合金材料を、水溶媒系電解液中で処理して、金属間化合
物の周辺部金属マトリックスをエッチングした後、非水
溶媒電解液電解処理し、金属間化合物活性表面を露出せ
しめることを特徴とする活性表面積拡大法。
(2) An alloy material in which an intermetallic compound is uniformly dispersed and crystallized is treated in an aqueous solvent-based electrolytic solution to etch a peripheral metal matrix of the intermetallic compound. A method for expanding an active surface area, comprising treating and exposing an active surface of an intermetallic compound.

【0011】を要旨とするものである。[0011]

【0012】このように、本発明における合金箔は、金
属間化合物を微細に分散させたものであり、この金属間
化合物の粒径や、分布密度は合金の組成および製造条件
によって調節することができる。
As described above, the alloy foil of the present invention is obtained by finely dispersing an intermetallic compound, and the particle size and distribution density of the intermetallic compound can be adjusted by the composition of the alloy and the production conditions. it can.

【0013】一般的には、合金元素の含有量が増大する
と金属間化合物の出数が多くなる。また合金製造時の
冷却に際し、その冷却速度を速くすると出が減少し、
遅くなると出量が増加する。
Generally, as the content of alloying elements increases, the number of intermetallic compounds crystallized increases. The On cooling during alloy production, crystallisation is reduced when faster the cooling rate,
Slower and crystallization amount is increased.

【0014】冷却ロールを使用して製造する急冷箔は、
ロール面と、その反対側の自由面では、金属間化合物の
出サイズが多少異なるが、冷却速度との関係は、上記
と同様の傾向になると考えてよく、通常10〜10
℃/秒の冷却速度とする。また、合金箔中の合金元素の
含有量は1at%以上が必要であり、またあまり多くな
り過ぎると誘電体の耐圧の低下を来すので60%を越え
ないようにすることが好ましい。
[0014] The quenched foil produced using the cooling roll is
On the roll surface and on the opposite free surface, the intermetallic compound
Although slightly different sizes out crystals, the relationship between the cooling rate, may be considered to be the same tendency as above, usually from 10 2 to 10 6
Cooling rate of ° C / sec. Further, the content of the alloy element in the alloy foil must be 1 at% or more. If the content is too large, the withstand voltage of the dielectric material is reduced. Therefore, it is preferable that the content is not more than 60%.

【0015】本発明に用いる合金箔は金属間化合物を微
細分散しているものであればよいが、例えば、電解コン
デンサの電極材料としては、AlにTi、Zr、Ta、
Hf、Si、Zn、Nb、BiおよびMgなどの少くと
も1種を添加したAlベース合金が用いられる。
The alloy foil used in the present invention may be any as long as the intermetallic compound is finely dispersed. For example, as an electrode material of an electrolytic capacitor, Al, Ti, Zr, Ta,
An Al-based alloy to which at least one of Hf, Si, Zn, Nb, Bi and Mg is added is used.

【0016】[0016]

【作用】上記したAlベース合金中に適当な大きさの金
属間化合物が分散出している合金箔を通常の電気化学
的な方法、例えば塩酸溶液で電解エッチングした場合に
は、Alマトリックスが優先的に溶解腐食されるが、腐
食が進行すると金属間化合物も同時に溶解してしまう。
また、腐食の進行を調整すると金属間化合物の周囲にA
l金属が残ってしまう。
When an alloy foil in which an intermetallic compound of an appropriate size is dispersed and crystallized in the above-mentioned Al base alloy is subjected to a usual electrochemical method, for example, electrolytic etching with a hydrochloric acid solution, the Al matrix takes precedence. However, as corrosion progresses, intermetallic compounds also dissolve at the same time.
In addition, when the progress of corrosion is adjusted, A
l metal remains.

【0017】金属間化合物は、構成金属によっては薄い
誘電率の高い緻密な酸化皮膜を生成すると共に多数の枝
を有する樹枝状晶であるから表面積が極めて大きい。従
って、このような性状の金属間化合物の露出面が従来の
方法では充分には得られない。
The intermetallic compound has a very large surface area because it forms a thin oxide film having a high dielectric constant and is a dendritic crystal having many branches depending on the constituent metals. Therefore, the exposed surface of the intermetallic compound having such properties cannot be sufficiently obtained by the conventional method.

【0018】本発明は従来用いられている前記(塩酸溶
液)のような水溶媒系電解液にかえて、あるいはこれを
併用して非水溶媒系電解液でエッチング処理することに
より、金属マトリックスを優先的に溶かし、箔中の
物(金属間化合物)の表面を十分に露出させた状態で残
すものである。すなわち、非水溶媒系電解液中でエッチ
ングするに際して、合金箔を陽極側に設置して、定電位
電解で、または定電圧での数秒ないし十数秒の短時間電
解を行うことにより、マトリックスが選択的に溶解し
出物の表面があらわれる。
According to the present invention, the metal matrix is formed by etching with a non-aqueous solvent-based electrolyte instead of or in combination with a conventionally used aqueous solvent such as the above-mentioned (hydrochloric acid solution). It melts preferentially and leaves the surface of the crystallized substance (intermetallic compound) in the foil in a sufficiently exposed state. In other words, when etching in a non-aqueous solvent-based electrolyte, the matrix is selected by placing the alloy foil on the anode side and conducting a short-term electrolysis with constant potential electrolysis or a constant voltage for several seconds to several tens of seconds. Dissolved and the surface of the crystallized material appears.

【0019】この非水溶媒系電解液としては、例えば1
0%サリチル酸メチル−2%テトロメチルアンモニウム
クロライド−メタノールであり、その他にアセチルアセ
トン−テトラメチルアンモニウムクロライド−メチルア
ルコール系、トリエタノールアミン−テトラメチルアン
モニウムクロライト−メチルアルコール系、トリクロロ
アセチルアセトン−テトラメチルアンモニウムクロライ
ト−メチルアルコール系、スルホサチル酸−塩化リチウ
ムアルコール系などがある。
As the non-aqueous solvent-based electrolyte, for example, 1
0% methyl salicylate-2% tetromethylammonium chloride-methanol, acetylacetone-tetramethylammonium chloride-methyl alcohol, triethanolamine-tetramethylammonium chloride-methyl alcohol, trichloroacetylacetone-tetramethylammonium chloride There are light-methyl alcohol type, sulfosatilic acid-lithium chloride alcohol type and the like.

【0020】本発明は、上記非水溶媒電解液だけでエッ
チング処理するほか、その前処理として、従来用いられ
ている通常の水溶媒系液によって電解エッチング処理を
することにより、合金箔の表面積および活性表面積を拡
大できる。
According to the present invention, in addition to the etching treatment using only the non-aqueous solvent electrolytic solution, as a pretreatment, the surface area of the alloy foil and the surface area of the alloy foil can be improved by performing an electrolytic etching treatment using a conventional aqueous solvent solution. The active surface area can be increased.

【0021】すなわち、通常のエッチングにより合金箔
中の金属間化合物まで溶解しないように金属マトリック
スをまず選択的に溶解する。すなわち図1(a)に模式
的に示すようにAlベースZr合金箔1を例えば塩酸溶
液で電解エッチングを行うと、Alマトリックス2が選
択的にエッチングされ、深い孔食3が形成される。しか
し、箔中のAl−Zrの金属間化合物(デンドライト)
4は、図1(b)の部分拡大図に示すようにAlマトリ
ックスに覆われている。この状態ではかなり表面積が拡
大している。これを非水溶媒系電解液でエッチングする
と図2(a)に示すように、Alマトリックスは更に溶
解がすすみ、図2(b)の部分拡大図に示すようにデン
ドライト(Al−Zr金属間化合物)の枝部分を露出す
る。すなわち、活性な金属間化合物が表出し、実効(活
性)な表面積を拡大することがてきる。
That is, the metal matrix is first selectively dissolved so as not to dissolve the intermetallic compound in the alloy foil by ordinary etching. That is, as shown schematically in FIG. 1A, when the Al-based Zr alloy foil 1 is subjected to electrolytic etching with, for example, a hydrochloric acid solution, the Al matrix 2 is selectively etched, and a deep pit 3 is formed. However, Al-Zr intermetallic compounds in the foil (dendrites)
4 is covered with an Al matrix as shown in the partial enlarged view of FIG. In this state, the surface area is considerably increased. When this is etched with a non-aqueous solvent-based electrolyte, the Al matrix is further dissolved as shown in FIG. 2 (a), and the dendrite (Al-Zr intermetallic compound) is ) To expose the branches. That is, an active intermetallic compound is exposed, and the effective (active) surface area can be increased.

【0022】このように通常の電解エッチング法により
(金属間化合物まで溶解しないで)、金属マトリックス
を深く孔食しておけば、さらに非水溶媒溶液で金属間化
合物の露出を極めて簡便に行うことができる。
As described above, if the metal matrix is deeply pitted by the usual electrolytic etching method (without dissolving the intermetallic compound), the exposure of the intermetallic compound can be performed extremely easily with a nonaqueous solvent solution. it can.

【0023】尚、この通常エッチング+非水溶媒電解液
処理の組合せは、それぞれを独立に組合せるか又は連続
の工程とするいずれの方法でもよい。
The combination of the ordinary etching and the non-aqueous solvent electrolytic solution treatment may be any method in which each is combined independently or is a continuous process.

【0024】[0024]

【実施例】直径300mm、巾50mmのCu製ロールを不
活性ガス中で1300rpm の速度で回転させ、この表面
に容器内に収容した表1に示す成分よりなる溶融合金
を、それぞれ0.5kg/cm2 の噴出圧で前記容器下方の
ノズルより噴出し、100〜120μm厚の合金箔を得
た。
EXAMPLE A roll made of Cu having a diameter of 300 mm and a width of 50 mm was rotated in an inert gas at a speed of 1300 rpm. The nozzle was ejected from the nozzle below the container at an ejection pressure of cm 2 to obtain an alloy foil having a thickness of 100 to 120 μm.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】表2に示すように、通常のエッチング液
と非水溶媒液を用意し、前記急冷凝固合金箔を、同表
に示す処件で、の単独又は組合せのエッチング処理
を行った。
As shown in Table 2, a normal etching solution and a non-aqueous solvent solution were prepared, and the rapidly solidified alloy foil was subjected to the etching treatment alone or in combination under the treatments shown in the same table.

【0027】[0027]

【表2】 [Table 2]

【0028】上記エッチングを施した箔を、さらに、ほ
う酸アンモニウム溶液で20V通電の化成を行って静電
容量を測定した。エッチング法の組合せと静電容量の測
定結果を表3に示した。同表には従来のエッチング法
のみを実施した場合を比較のために併記した。
The etched foil was further subjected to formation by passing an electric current of 20 V with an ammonium borate solution, and the capacitance was measured. Table 3 shows the combinations of the etching methods and the measurement results of the capacitance. In the same table, the case where only the conventional etching method is performed is also shown for comparison.

【0029】[0029]

【表3】 [Table 3]

【0030】表3より明らかのように、通常(従来)法
の代りに、非水溶媒系電解液を用いて単独電解エッ
チングし、また通常法でエッチングした後非水溶媒系
電解液で電解エッチングする組合せを行った本発明処
理法は、比較例として示した従来法単独の処理に比較
して、CV積がかなり向上している。このことは本発明
法により、金属間化合物の表面を充分に露出することが
可能となり、表面積がかなり拡大できて、CV積の向上
となったものである。
As is clear from Table 3, instead of the ordinary (conventional) method, a single electrolytic etching was performed using a non-aqueous solvent-based electrolytic solution. The processing method of the present invention in which the above combination is performed has a considerably improved CV product as compared with the processing of the conventional method alone shown as a comparative example. This means that the surface of the intermetallic compound can be sufficiently exposed by the method of the present invention, the surface area can be considerably increased, and the CV product can be improved.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のエッチン
グにより金属箔の深い孔食と共に金属間化合物が露出
し、表面積を拡大した金属箔を得ることができ、例えば
電解コンデンサの電極として極めて有用であり静電容量
の大きなコンデンサとすることができる。また本発明は
前記電極に限らず、触媒材、電池材等にも応用でき、こ
れらも包含するものとする。
As described above, the etching according to the present invention exposes the intermetallic compound together with the deep pitting of the metal foil, thereby making it possible to obtain a metal foil having an increased surface area. For example, it is extremely useful as an electrode of an electrolytic capacitor. Therefore, a capacitor having a large capacitance can be obtained. In addition, the present invention is not limited to the electrodes, and can be applied to catalyst materials, battery materials, and the like, and includes these materials.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)、(b)図は本発明に応用する通常のエ
ッチング法により得られた合金箔のエッチング状況を示
す説明図である。
FIGS. 1 (a) and 1 (b) are explanatory views showing the etching state of an alloy foil obtained by a normal etching method applied to the present invention.

【図2】(a)、(b)図は本発明の非水溶媒電解エッ
チング処理により得られた合金箔のエッチング状況を示
す説明図である。
FIGS. 2 (a) and 2 (b) are explanatory views showing an etching state of an alloy foil obtained by a non-aqueous solvent electrolytic etching treatment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:合金箔 2:マトリックス 3:孔食 4:金属間化合物 1: alloy foil 2: matrix 3: pitting corrosion 4: intermetallic compound

フロントページの続き (72)発明者 遠藤 道雄 神奈川県川崎市中原区井田1618番地 新 日本製鐵株式会社 先端技術研究所内 (72)発明者 佐藤 有一 千葉県富津市新富20−1 新日本製鐵株 式会社 技術開発本部内 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C25F 3/04 H01G 9/04 Continued on the front page (72) Michio Endo 1618 Ida, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture New Nippon Steel Corporation Advanced Technology Research Laboratories (72) Inventor Yuichi Sato 20-1 Shintomi, Futtsu City, Chiba Prefecture Nippon Steel Corporation (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) C25F 3/04 H01G 9/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 金属間化合物を均一に分散出した合金
材料を、非水溶媒系電解液中で金属材料を陽極として電
解を行い、金属マトリックスを選択的にエッチングをし
て、金属間化合物表面を露出させることを特徴とする活
性表面積拡大法。
An alloy material in which an intermetallic compound is uniformly dispersed and crystallized is electrolyzed in a non-aqueous solvent-based electrolyte using the metal material as an anode, and a metal matrix is selectively etched to form an intermetallic compound. An active surface area enlarging method characterized by exposing a surface.
【請求項2】 金属間化合物を均一に分散出した合金
材料を、水溶媒系電解液中で処理して、金属間化合物の
周辺部金属マトリックスをエッチングした後、非水溶媒
電解液電解処理し、金属間化合物活性表面を露出せしめ
ることを特徴とする活性表面積拡大法。
2. An alloy material in which an intermetallic compound is uniformly dispersed and crystallized is treated in an aqueous solvent-based electrolytic solution to etch a peripheral metal matrix of the intermetallic compound, and then subjected to a non-aqueous solvent electrolytic solution electrolytic treatment. And exposing an active surface of the intermetallic compound.
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