JP3227702B2 - Green sheet substrate blocking equipment - Google Patents
Green sheet substrate blocking equipmentInfo
- Publication number
- JP3227702B2 JP3227702B2 JP27376490A JP27376490A JP3227702B2 JP 3227702 B2 JP3227702 B2 JP 3227702B2 JP 27376490 A JP27376490 A JP 27376490A JP 27376490 A JP27376490 A JP 27376490A JP 3227702 B2 JP3227702 B2 JP 3227702B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- stack
- wax
- stacked body
- sheet substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 47
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 title claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 29
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Insulating Bodies (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、セラミックグリーンシートから打ち抜かれ
た複数枚のグリーンシート基板を、その焼成処理の前段
階において、ブロック状に積み重ねた状態で一体のブロ
ックとしたグリーンシート基板のブロック体、およびそ
のブロック化装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a method in which a plurality of green sheet substrates punched from a ceramic green sheet are integrated in a block shape in a stage prior to a firing process. The present invention relates to a block body of a green sheet substrate as a block and a blocking device therefor.
<従来の技術> セラミックのグリーンシートから打ち抜かれたグリー
ンシート基板は、生産性向上のために、同一のものが複
数枚、互いに積み重ねられ、ブロック状の積み重ね体と
して、焼成炉内に搬入されることが多い。<Prior Art> A plurality of green sheet substrates punched from ceramic green sheets are stacked on each other to improve productivity, and are carried into a firing furnace as a block-shaped stacked body. Often.
この場合、搬入コンベア等の振動により、積み重ね体
の形が崩れ、グリーンシート基板に位置ずれが起こる
と、焼成炉内において各グリーンシート基板毎に焼成条
件に違いが生じ、焼成したものに反りやひび割れ等の焼
成不良が発生することがある。In this case, due to the vibration of the carry-in conveyor or the like, if the shape of the stacked body is collapsed and the green sheet substrate is displaced, the firing conditions differ for each green sheet substrate in the firing furnace, and the fired product is warped or warped. Poor firing such as cracks may occur.
そのため、従来は、第4図に示すように、複数枚のグ
リーンシート基板pを焼成台板q上に積み重ねた後、グ
リーンシート基板pの積み重ね体Bpの周囲に重量のある
バー21を立てて、グリーンシート基板pの位置ずれが起
こらないようにしている。Therefore, conventionally, as shown in FIG. 4, after stacking a plurality of green sheet substrates p on a firing base plate q, a heavy bar 21 is set up around a stack Bp of green sheet substrates p. The position of the green sheet substrate p is prevented from shifting.
こののち、グリーンシート基板pの積み重ね体Bpは、
焼成台板qごと、搬入コンベア上に載置されて焼成炉内
に搬入される。After this, the stacked body Bp of the green sheet substrate p is
The entire baking plate q is placed on a carry-in conveyor and carried into a baking furnace.
<発明が解決しようとする課題> しかしながら、このような従来の方法では、積み重ね
体Bpの形崩れ防止効果は充分ではなく、搬送途中のコン
ベア等の振動により、積み重ね体Bpの中でグリーンシー
ト基板pの位置ずれが起こり、反り等の焼成不良が発生
する。<Problems to be Solved by the Invention> However, in such a conventional method, the effect of preventing the shape collapse of the stacked body Bp is not sufficient, and the vibration of the conveyor or the like during the conveyance causes the green sheet substrate in the stacked body Bp. The displacement of p occurs, and firing defects such as warpage occur.
これに対して、積み重ね体Bpの形崩れを完全に防止し
ようとすると、コンベア等の搬送設備を、動きが滑らか
で振動の少ないものとしなければならず、設備コストが
かさむ。On the other hand, if it is intended to completely prevent the stacked body Bp from being deformed, transport equipment such as a conveyor must have smooth movement and low vibration, which increases the equipment cost.
また、グリーンシート基板pの積み重ね体Bpを移し替
える際には、作業者が焼成台板qごと取り扱う必要があ
り、人手がかかるものであった。Further, when transferring the stacked body Bp of the green sheet substrates p, it is necessary for the operator to handle the entire firing base plate q, which is labor intensive.
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであっ
て、グリーンシート基板の積み重ね体がワックスにより
ブロック化されるようにして、積み重ね後のグリーンシ
ート基板の位置ずれをなくすとともに、積み重ね後の取
り扱いを容易にすることを課題とする。The present invention has been made in view of the above-described problems, and has been made so that a stacked body of green sheet substrates is blocked by wax so as to eliminate misalignment of the stacked green sheet substrates, and To facilitate the handling of
<課題を解決するための手段> 本発明は、上記の課題を達成するために、複数枚のグ
リーンシート基板を積み重ねてブロック状とし、得られ
たブロック状の積み重ね体の側面にワックスを付着さ
せ、ワックスを固化することにより、積み重ね体を一体
のブロックとして、グリーンシート基板のブロック体を
構成した。<Means for Solving the Problems> In order to achieve the above object, the present invention provides a method in which a plurality of green sheet substrates are stacked into a block shape, and wax is attached to a side surface of the obtained block-shaped stacked body. By solidifying the wax, the stack was formed as an integral block to form a green sheet substrate block.
また、整列手段と塗布手段とを備え、整列手段は、グ
リーンシート基板の積み重ね体の側面を押圧してグリー
ンシート基板どうしを互いに整列させるものであり、塗
布手段は、整列した積み重ね体の側面に溶融したワック
スを塗布するものとして、グリーンシート基板のブロッ
ク化装置を構成した。In addition, an aligning unit and an applying unit are provided, and the aligning unit presses the side surface of the stack of the green sheet substrates to align the green sheet substrates with each other, and the applying unit is disposed on the side surface of the aligned stack. A green sheet substrate blocking device was configured to apply the melted wax.
<作用> 上記の構成において、互いに積み重ねられた複数枚の
グリーンシート基板は、整列手段により揃えられて、ブ
ロック状の積み重ね体となる。そして、その積み重ね体
の側面には、塗布手段により溶融したワックスが塗布さ
れる。<Operation> In the above configuration, a plurality of green sheet substrates stacked on each other are aligned by the alignment means to form a block-shaped stacked body. Then, the wax melted by the application means is applied to the side surface of the stack.
このワックスは、積み重ね体の側面に付着した状態で
固化することにより、グリーンシート基板どうしを結合
し、積み重ね体を一体のブロックとする。これで、積み
重ね体は一体の物として取り扱いが可能になり、また、
積み重ね体中では、グリーンシート基板の位置ずれは起
こらない。ワックスは、焼成初期の加熱により除去され
る。The wax solidifies while being attached to the side surface of the stack, thereby bonding the green sheet substrates together to form the stack as an integral block. This allows the stack to be handled as one piece,
No misalignment of the green sheet substrate occurs in the stacked body. The wax is removed by heating at the beginning of firing.
<実施例> 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説
明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an example shown in the drawings.
第1図は、本発明のブロック化装置により得られるグ
リーンシート基板の積み重ね体の斜視図であり、図中、
符号pはグリーンシート基板、Bpはその積み重ね体、q
は焼成台板、1はワックスである。FIG. 1 is a perspective view of a stack of green sheet substrates obtained by the blocking apparatus of the present invention, wherein:
The symbol p is a green sheet substrate, Bp is its stack, q
Is a baking base plate, and 1 is a wax.
グリーンシート基板pは、複数枚のものが整列して積
み重ねられている。ワックス1は、グリーンシート基板
pの積み重ね体Bpの側面に上下に塗布された状態で固化
しており、この固化したワックス1により、グリーンシ
ート基板pは上下に結合されてブロックとして一体化し
ている。A plurality of green sheet substrates p are aligned and stacked. The wax 1 is solidified in a state where it is vertically applied to the side surface of the stacked body Bp of the green sheet substrates p, and the green sheet substrate p is vertically joined by the solidified wax 1 to be integrated as a block. .
第2図および第3図は、本発明の一実施例に係るブロ
ック化装置を示し、第2図は平面図、第3図は正面図で
ある。2 and 3 show a blocking device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view and FIG. 3 is a front view.
これらの図に示すように、この実施例のブロック化装
置は、搬送手段としてのテフロン製ベルトコンベア2
と、整列手段としての前後左右のプッシャー3,3,4,4
と、ワックス1の塗布手段としてのスポンジヘッド5と
を備えている。As shown in these figures, the blocking device according to this embodiment uses a Teflon belt conveyor 2 as a conveying means.
And pushers 3,3,4,4 on the front, rear, left and right as alignment means
And a sponge head 5 as a means for applying the wax 1.
ベルトコンベア2は、グリーンシート基板pの積み重
ね体Bpを載置搬送するもので、グリーンシート基板pよ
り細幅に形成されている。The belt conveyor 2 is for carrying a stacked body Bp of green sheet substrates p, and is formed narrower than the green sheet substrates p.
プッシャー3,4は、ベルトコンベア2上にある積み重
ね体Bpの側面を押圧してグリーンシート基板pどうしを
互いに整列させるもので、積み重ね体Bpの前後側面を押
圧するプッシャー3,3と、左右側面を押圧するプッシャ
ー4,4とがある。いずれのプッシャー3,4も、ベルトコン
ベア2の上方位置で待機し、積み重ね体Bpを押圧する際
に下降し、下降した位置で積み重ね体Bpに向け前進する
ようになっている。The pushers 3 and 4 press the side surfaces of the stacked body Bp on the belt conveyor 2 to align the green sheet substrates p with each other. The pushers 3 and 3 press the front and rear side surfaces of the stacked body Bp, and the left and right side surfaces. There are pushers 4, 4 for pressing. Each of the pushers 3 and 4 waits at a position above the belt conveyor 2, descends when pressing the stack Bp, and advances toward the stack Bp at the lowered position.
スポンジヘッド5は、整列した積み重ね体Bpの側面に
溶融したワックス1を塗布するもので、L型の塗布アー
ム6の下向き部に取り付けられており、塗布アーム6と
ともに上下動し、上昇位置でベルトコンベア2上の積み
重ね体Bpに対して前進して積み重ね体Bpの左右側面に密
接する。The sponge head 5 is for applying the molten wax 1 to the side surfaces of the aligned stack Bp, and is attached to the downward portion of the L-shaped application arm 6, moves up and down together with the application arm 6, and moves up and down at the ascending position. It advances with respect to the stack Bp on the conveyor 2 and comes into close contact with the left and right side surfaces of the stack Bp.
塗布アーム6の下方には、溶融ワックス1を貯溜する
ワックス槽7があり、スポンジヘッド5は、下降位置に
おいてワックス槽7の溶融ワックス1中に浸漬されてい
る。なお、溶融ワックス1は、例えば、パラフィンが用
いられる。Below the application arm 6, there is a wax tank 7 for storing the molten wax 1, and the sponge head 5 is immersed in the molten wax 1 in the wax tank 7 at the lowered position. The molten wax 1 is, for example, paraffin.
次に、上記構成の動作を説明する。 Next, the operation of the above configuration will be described.
まず、ベルトコンベア2の始端側に複数枚のグリーン
シート基板pが積み重ね状に載置される。この段階で
は、グリーンシート基板pどうしは特に整列していなく
てもよい。First, a plurality of green sheet substrates p are stacked on the start end side of the belt conveyor 2. At this stage, the green sheet substrates p need not be particularly aligned.
ベルトコンベア2により、グリーンシート基板pの積
み重ね体Bpがワックス槽7上の定位置まで移送される
と、ベルトコンベア2は一旦停止する。これとともに、
それまで上方に待機していたプッシャー3,4が下降して
きて、下降した位置で積み重ね体Bpに向けて前進する。
これで、積み重ね体Bpの側面が押圧され、グリーンシー
ト基板pの位置が揃えられ、互いに整列する。位置揃え
の後、プッシャー3,4は再び上方に退避する。When the stacked body Bp of the green sheet substrates p is transferred to a fixed position on the wax tank 7 by the belt conveyor 2, the belt conveyor 2 temporarily stops. With this,
The pushers 3 and 4, which have been waiting upwards until then, descend, and advance toward the stack Bp at the lowered position.
Thus, the side surfaces of the stacked body Bp are pressed, the positions of the green sheet substrates p are aligned, and they are aligned with each other. After the alignment, the pushers 3 and 4 retreat upward again.
プッシャー3,4が退避すると、塗布アーム6が上昇
し、これによって、溶融ワックス1中にあったスポンジ
ヘッド5が引き上げられる。このスポンジヘッド5が積
み重ね体Bpの左右側面と対向する位置に達すると、塗布
アーム6が積み重ね体Bpに向けて前進する。これで、ス
ポンジヘッド5が積み重ね体Bpの側面に押し当てられ、
該側面に溶融ワックス1が塗布される。塗布が済むと、
塗布アーム6とスポンジヘッド5とは、前記と逆の経路
で下降位置に戻る。When the pushers 3 and 4 are retracted, the application arm 6 is raised, whereby the sponge head 5 in the molten wax 1 is pulled up. When the sponge head 5 reaches a position facing the left and right side surfaces of the stacked body Bp, the application arm 6 advances toward the stacked body Bp. With this, the sponge head 5 is pressed against the side surface of the stack Bp,
The molten wax 1 is applied to the side surface. After application,
The application arm 6 and the sponge head 5 return to the lowered position on the reverse path.
スポンジヘッド5が後退すると、ベルトコンベア2は
再び搬送移動を始め、ワックス1を塗布された積み重ね
体Bpは、ワックス槽7上の位置から搬出される。When the sponge head 5 retreats, the belt conveyor 2 starts to convey again, and the stacked body Bp coated with the wax 1 is carried out from a position on the wax tank 7.
この搬送中に、積み重ね体Bpに塗布された溶融ワック
ス1は冷されて固化し、グリーンシート基板pどうしを
結合し、積み重ね体Bpを一体化する。したがって、積み
重ね体Bpを構成するグリーンシート基板pは位置ずれし
なくなる。また、積み重ね体Bpは、一つのブロックとし
て取り扱うことができるようになり、その上面を吸着ヘ
ッドで吸着したり、あるいはチャックで積み重ね体Bpを
直接つかんだりして、積み重ね体Bpの移し替えを行うこ
とができる。During this conveyance, the molten wax 1 applied to the stacked body Bp is cooled and solidified, the green sheet substrates p are joined together, and the stacked body Bp is integrated. Therefore, the position of the green sheet substrate p constituting the stacked body Bp does not shift. Further, the stacked body Bp can be handled as one block, and the upper surface thereof is suctioned by a suction head, or the stacked body Bp is directly grasped by a chuck, and the stacked body Bp is transferred. be able to.
なお、上記実施例では、直上位置に退避するプッシャ
ー3,4を示したが、プッシャーを吊り下げ支持して、後
方へのスイングで斜め上方に退避させるようにしてもよ
い。また、プッシャー3,4を退避移動させる替わりに、
積み重ね体Bpの方を上下移動させるようにしてもよい。In the above-described embodiment, the pushers 3 and 4 retracted to the position directly above are shown. However, the pushers may be suspended and supported, and may be retracted obliquely upward by swinging backward. Also, instead of retracting pushers 3 and 4,
The stack Bp may be moved up and down.
このほか、ワックス1の塗布には、溶融ワックスを吐
出する広幅のノズルにより直接、積み重ね体Bpの側面に
溶融ワックス1を付着させることもでき、塗布手段はス
ポンジヘッド5に限らず、必ずしも塗布手段の下方にワ
ックス槽7を設ける必要はない。In addition to the application of the wax 1, the molten wax 1 can be directly attached to the side surface of the stacked body Bp by a wide nozzle for discharging the molten wax. It is not necessary to provide the wax bath 7 below the bottom.
<発明の効果> 以上述べたように、本発明によれば、積み重ねられた
グリーンシート基板は、ワックスにより互いに結合され
てブロックとして一体化するから、搬送途中で、形崩れ
してグリーンシート基板の位置がずれるようなことがな
く、整列した状態で焼成炉内に搬入することができ、反
りやひび割れのない良好な焼成ができる。<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, the stacked green sheet substrates are bonded to each other by the wax and integrated as a block, so that the green sheet substrates are deformed in the middle of the conveyance and become green sheets. It can be carried into the firing furnace in an aligned state without displacement, and good firing without warping or cracking can be performed.
また、グリーンシート基板の積み重ね体は、一体のブ
ロックとして取り扱うことができるから、人手によら
ず、機械的な手段により移し替えを行うことができ、積
み重ね体の焼成炉への搬入工程の自動化が可能となる。In addition, since the stack of green sheet substrates can be handled as an integral block, it can be transferred by mechanical means without manual operation, and the process of loading the stack into the firing furnace can be automated. It becomes possible.
第1図は本発明装置により得られるグリーンシート基板
の積み重ね体の斜視図、第2図は本発明の一実施例に係
るブロック化装置の平面図、第3図はその正面図であ
る。 第4図は従来のグリーンシート基板の積み重ね体の斜視
図である。 p……グリーンシート基板、Bp……積み重ね体、 1……ワックス、3,4……プッシャー(整列手段)、 5……スポンジヘッド(塗布手段)。FIG. 1 is a perspective view of a stack of green sheet substrates obtained by the apparatus of the present invention, FIG. 2 is a plan view of a blocking apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a front view thereof. FIG. 4 is a perspective view of a conventional stack of green sheet substrates. p: green sheet substrate, Bp: stacked body, 1 ... wax, 3,4 ... pusher (aligning means), 5 ... sponge head (coating means).
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−65420(JP,A) 特開 昭62−237714(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01B 19/00 321 H01G 4/12 H01G 4/30 H05K 1/03 630 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (56) References JP-A-55-65420 (JP, A) JP-A-62-237714 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01B 19/00 321 H01G 4/12 H01G 4/30 H05K 1/03 630
Claims (2)
ブロック状とし、得られたブロック状の積み重ね体の側
面にワックスを付着させ、ワックスを固化することによ
り、積み重ね体を一体のブロックとしたことを特徴とす
るグリーンシート基板のブロック体。1. A stack comprising a plurality of green sheet substrates which are stacked to form a block, wax is adhered to the side surface of the obtained block-like stack, and the wax is solidified to form an integrated block. A block body of a green sheet substrate.
ク状に整列した状態でワックスにより一体化する装置で
あって、 整列手段と塗布手段とを備え、整列手段は積み重ね体の
側面を押圧してグリーンシート基板どうしを互いに整列
させるものであり、塗布手段は、整列した積み重ね体の
側面に溶融したワックスを塗布するものであることを特
徴とするグリーンシート基板のブロック化装置。2. An apparatus for integrating a stack of green sheet substrates with wax in a state where the stacks are aligned in a block shape, comprising an aligning means and a coating means, wherein the aligning means presses a side surface of the stack to form a green sheet. An apparatus for blocking green sheet substrates, wherein the sheet substrates are aligned with each other, and the applying means applies molten wax to the side surfaces of the aligned stack.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27376490A JP3227702B2 (en) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | Green sheet substrate blocking equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27376490A JP3227702B2 (en) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | Green sheet substrate blocking equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04149917A JPH04149917A (en) | 1992-05-22 |
| JP3227702B2 true JP3227702B2 (en) | 2001-11-12 |
Family
ID=17532253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27376490A Expired - Lifetime JP3227702B2 (en) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | Green sheet substrate blocking equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3227702B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102439711A (en) * | 2009-04-25 | 2012-05-02 | Ev集团有限责任公司 | Devices for alignment and pre-fixation of wafers |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7372250B2 (en) | 2003-02-20 | 2008-05-13 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for determining a position of a substrate relative to a support stage |
| JP4620365B2 (en) * | 2003-02-20 | 2011-01-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Alignment apparatus and substrate calibration system for positioning substrate relative to support stage |
| US7104535B2 (en) | 2003-02-20 | 2006-09-12 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for positioning a substrate relative to a support stage |
| US7151981B2 (en) | 2003-02-20 | 2006-12-19 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for positioning a substrate relative to a support stage |
| US7499767B2 (en) | 2003-02-20 | 2009-03-03 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for positioning a substrate relative to a support stage |
| US7556334B2 (en) | 2004-11-04 | 2009-07-07 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for aligning print heads |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP27376490A patent/JP3227702B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102439711A (en) * | 2009-04-25 | 2012-05-02 | Ev集团有限责任公司 | Devices for alignment and pre-fixation of wafers |
| US8918989B2 (en) | 2009-04-25 | 2014-12-30 | Ev Group Gmbh | Device for aligning and pre-fixing a wafer |
| US9449863B2 (en) | 2009-04-25 | 2016-09-20 | Ev Group Gmbh | Device for aligning and pre-fixing a wafer |
| CN102439711B (en) * | 2009-04-25 | 2017-02-08 | Ev集团有限责任公司 | Devices for alignment and pre-fixation of wafers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04149917A (en) | 1992-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8141612B2 (en) | Device for thin die detachment and pick-up | |
| KR101286715B1 (en) | Component mounting apparatus and component mounting method | |
| JP3227702B2 (en) | Green sheet substrate blocking equipment | |
| US4186918A (en) | Method and apparatus for locating and aligning flimsy sheets | |
| TWI604571B (en) | Material bonding equipment | |
| JP3049981B2 (en) | Electrode formation system for chip parts | |
| JP3574977B2 (en) | Method and apparatus for loading a copper-clad ceramic substrate into a processing unit | |
| JP5483144B2 (en) | Top plate transfer device | |
| US3894639A (en) | Stacking of bricks | |
| JP2977092B2 (en) | Core joining equipment | |
| US20260123502A1 (en) | Method of joining electrical and mechanical components using laminated modular preforms | |
| JP6476076B2 (en) | Transport device | |
| CN114650671B (en) | Printed circuit board production line | |
| CN115258617A (en) | Automatic mechanism that overturns of product trades dish | |
| JP3698029B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
| TWM610238U (en) | Mutual image automatic palletizing machine with double symmetrical structure | |
| CN220763555U (en) | Thermal insulation board cladding machine | |
| JPH0418795A (en) | Green sheet laminating device | |
| JP4856935B2 (en) | Transfer equipment for transferred object | |
| JPS6316677B2 (en) | ||
| JP7734315B2 (en) | Method for transporting laminated body, method for manufacturing bonded body using same, and method for manufacturing ceramic circuit board | |
| JPH0324513Y2 (en) | ||
| CN211441506U (en) | Automatic carrying and printing device | |
| CN215176964U (en) | Automatic feeding and discharging device of magnetic core sintering furnace and magnetic core sintering furnace | |
| JPH1192235A (en) | Arrangement of stacking setter for firing furnace |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080907 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080907 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090907 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090907 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110907 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110907 Year of fee payment: 10 |