Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP3237688B2 - Edge tone flow meter - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP3237688B2 - Edge tone flow meter - Google Patents

Edge tone flow meter

Info

Publication number
JP3237688B2
JP3237688B2 JP07121095A JP7121095A JP3237688B2 JP 3237688 B2 JP3237688 B2 JP 3237688B2 JP 07121095 A JP07121095 A JP 07121095A JP 7121095 A JP7121095 A JP 7121095A JP 3237688 B2 JP3237688 B2 JP 3237688B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
edge
oscillation
detecting
external vibration
measurement fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP07121095A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH08271299A (en
Inventor
仁章 田中
学 笛木
大輔 山崎
健太 御厨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP07121095A priority Critical patent/JP3237688B2/en
Publication of JPH08271299A publication Critical patent/JPH08271299A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3237688B2 publication Critical patent/JP3237688B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、測定流体の詰まりが回
避でき、測定信号の取り出しが容易で、小型化が図れ、
S/N比が向上し得るエッジトーン流量計に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention can avoid clogging of a measurement fluid, can easily extract a measurement signal, and can reduce the size.
The present invention relates to an edge tone flowmeter capable of improving an S / N ratio.

【0002】[0002]

【従来の技術】図8は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、計測自動制御学会論文
集 題目「エッジトーン発振を利用した流量計」 第1
0巻第4号 昭和49年8月発行 計測自動制御学会発
行 P92〜P93に示されている。
2. Description of the Related Art FIG. 8 is a diagram for explaining the configuration of a conventional example generally used in the prior art. For example, the title of a paper entitled "Flowmeter Using Edge Tone Oscillation"
Vol. 0, No. 4, published in August 1974 Published by the Society of Instrument and Control Engineers P92 to P93.

【0003】11は測定流体が流れる管路、12は管路
111の途中に設けられた内部空所である。13は内部
空所12の上流に設けられ、内部空所12に測定流体を
噴出するスリット状のノズルである。14は断面三角形
状の柱状のエッジである。
[0003] Reference numeral 11 denotes a pipe through which the measurement fluid flows, and 12 denotes an internal space provided in the middle of the pipe 111. Reference numeral 13 denotes a slit-shaped nozzle which is provided upstream of the internal space 12 and ejects a measurement fluid into the internal space 12. Reference numeral 14 denotes a columnar edge having a triangular cross section.

【0004】以上の構成において、測定流体が管路11
の中を流れ、ノズル13より噴出する噴出流は、ある条
件のもとで、エッジトーン発振を起こす。一般に、その
発振周波数と噴出流の平均流量との関係には、比例する
範囲が存在する。
In the above configuration, the measurement fluid is supplied to the pipe 11
Flows through the nozzle 13 and gushes from the nozzle 13 and causes edge tone oscillation under certain conditions. Generally, there is a proportional range in the relationship between the oscillation frequency and the average flow rate of the jet flow.

【0005】この発振周波数に基づく測定流体の圧力変
動を、圧力変動検出手段により検出出することにより測
定流体の流速流量が測定できる。このようなエッジトー
ン型の流量計は、他の発振型流量計に比べて発振周波数
が高く、安定な発振をすることが特徴とされる。
[0005] By detecting the pressure fluctuation of the measuring fluid based on the oscillation frequency by the pressure fluctuation detecting means, the flow rate and flow rate of the measuring fluid can be measured. Such an edge tone type flow meter is characterized by a higher oscillation frequency and stable oscillation than other oscillation type flow meters.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、発振特性について、図9に示すよう
に、その不連続性を示す発振周波数の飛躍並びにヒステ
リシス現象が存在する。従って、ダイナミツクレンジが
狭いという問題があった。
However, in such an apparatus, as shown in FIG. 9, there is a jump in the oscillation frequency indicating the discontinuity and a hysteresis phenomenon in the oscillation characteristics. Therefore, there is a problem that the dynamic range is narrow.

【0007】この問題点を解決するものとして、本願出
願人による先願に係わる特願平6−102737号、発
明の名称「エッジトーン流量計」がある。図10は、特
願平6−102737号の一実施例の要部構成説明図で
ある。図において、図8と同一記号の構成は同一機能を
表わす。以下、図8と相違部分のみ説明する。
As a solution to this problem, there is Japanese Patent Application No. 6-102737, entitled "Edge Tone Flowmeter", which is a prior application filed by the present applicant. FIG. 10 is an explanatory diagram of a main part configuration of an embodiment of Japanese Patent Application No. 6-102737. In the figure, the configuration of the same symbol as in FIG. 8 represents the same function. Hereinafter, only differences from FIG. 8 will be described.

【0008】21は、内部空所12の下流に設けられ、
内部空所12からの測定流体の流れを絞る絞りである。
22は、内部空所12に管路11方向に平面が平行に配
置された薄平板状のエッジである。
[0008] 21 is provided downstream of the internal space 12,
This is a throttle for restricting the flow of the measurement fluid from the internal space 12.
Reference numeral 22 denotes a thin plate-like edge in which a plane is arranged in the interior space 12 in parallel with the pipe line 11.

【0009】23は、内部空所12に配置され、測定流
体のエッジトーン発振による圧力変動を検出する圧力変
動検出手段である。この場合は、圧力導入孔231と圧
力導入孔231から導かれた測定流体の圧力変動を検出
する圧力検出器232(図示せず)よりなる。
Reference numeral 23 denotes a pressure fluctuation detecting means which is disposed in the internal space 12 and detects a pressure fluctuation due to edge tone oscillation of the measurement fluid. In this case, it comprises a pressure introducing hole 231 and a pressure detector 232 (not shown) for detecting a pressure fluctuation of the measurement fluid guided from the pressure introducing hole 231.

【0010】31は、ノズル13の測定流路方向に直交
する断面の断面積Aよりも、エッジの下流端と構成され
る最小の断面積Bが、等しいか或いは大なる断面積とな
る様に、絞り21の上流端に設けられたテーパ部であ
る。
The reference numeral 31 indicates that the minimum cross-sectional area B formed with the downstream end of the edge is equal to or larger than the cross-sectional area A of the nozzle 13 perpendicular to the measurement flow path direction. , A tapered portion provided at the upstream end of the stop 21.

【0011】以上の構成において、測定流体が管路11
の中を流れ、ノズル13より噴出する噴出流は、エッジ
22の先端に衝突し、エッジトーン発振を起こす。この
発振周波数に基づく測定流体の圧力変動を、圧力変動検
出手段23により検出することにより測定流体の流速流
量を測定することができる。
In the above configuration, the measurement fluid is supplied to the pipe 11
The jet flow that flows through the nozzle 13 and jets from the nozzle 13 collides with the tip of the edge 22 and causes edge tone oscillation. By detecting the pressure fluctuation of the measuring fluid based on the oscillation frequency by the pressure fluctuation detecting means 23, the flow velocity and flow rate of the measuring fluid can be measured.

【0012】この結果、 (1)エッジ22を薄平板とし、エッジ22の下流に絞
り21が設けられたので、発振領域が広くなり、ダイナ
ミックレンジが大きなエッジトーン流量計が得られる。
As a result, (1) Since the edge 22 is a thin plate and the throttle 21 is provided downstream of the edge 22, an oscillation area is widened and an edge tone flow meter having a large dynamic range can be obtained.

【0013】(2)エッジ22を薄平板とし、エッジ2
2の下流に絞り21が設けられたので、エッジトーン発
振の変動圧力が大きくなり、安定なエッジトーン発振が
確保出来るエッジトーン流量計が得られる。
(2) The edge 22 is a thin flat plate,
Since the throttle 21 is provided downstream of 2, the fluctuating pressure of the edge tone oscillation is increased, and an edge tone flowmeter capable of ensuring stable edge tone oscillation is obtained.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、エッジ22の発振周波数に基づく測
定流体の圧力変動を、圧力導入孔231の差圧を検出す
ることにより測定している。この場合、圧力導入孔23
1が測定流体により詰まりやすい。
However, in such an apparatus, the pressure fluctuation of the measurement fluid based on the oscillation frequency of the edge 22 is measured by detecting the differential pressure of the pressure introducing hole 231. In this case, the pressure introduction hole 23
1 is easily clogged with the measurement fluid.

【0015】圧力導入孔231からの圧力を導出するた
めの導出チューブの接続等が必要となり、構造が複雑と
なる。構造が複雑となるので、小型化に不向きである。
更に、エッジトーン流量計は測定管路に直接取付られる
ので、ポンプ等による外部振動によるノイズを拾いやす
く、S/N比が良好で無い。
It is necessary to connect a lead tube for leading the pressure from the pressure introducing hole 231 and the like, which complicates the structure. Since the structure is complicated, it is not suitable for miniaturization.
Further, since the edge tone flow meter is directly mounted on the measurement pipe, noise due to external vibrations caused by a pump or the like is easily picked up, and the S / N ratio is not good.

【0016】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、測定流体の詰まりが回避でき、測
定信号の取り出しが容易で、小型化が図れ、S/N比が
向上し得るエッジトーン流量計を提供するにある。
The present invention solves this problem. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an edge tone flowmeter capable of avoiding clogging of a measurement fluid, facilitating extraction of a measurement signal, reducing the size, and improving the S / N ratio.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、測定流体のエッジトーン発振に基づく発
振周波数を検出して流量を測定するエッジトーン流量計
において、測定流路の途中に設けられた内部空所と、該
内部空所の上流に設けられ該内部空所に測定流体を噴出
するスリット状のノズルと、該内部空所の下流に設けら
れ該内部空所からの測定流体の流れを絞る絞りと、前記
内部空所に前記測定流路方向に平面が平行に配置された
薄平板状のエッジと、該薄平板状のエッジの上流側に設
けられ測定流体のエッジトーン発振による発振周波数を
検出する発振検出用歪検出手段と該発振検出用歪検出手
段より下流側の前記薄平板状のエッジに設けられ外部振
動ノイズを検出する外部振動検出用歪検出手段と、前記
発振検出用歪検出手段と前記外部振動検出用歪検出手段
とからの信号を演算し外部振動ノイズを除去する外部振
動ノイズ補償回路とを具備したことを特徴とするエッジ
トーン流量計を構成したものである。
In order to achieve this object, the present invention relates to an edge tone flowmeter for measuring a flow rate by detecting an oscillation frequency based on an edge tone oscillation of a measurement fluid. And a slit-shaped nozzle provided upstream of the internal space and ejecting a measurement fluid to the internal space; and a measurement provided from the internal space provided downstream of the internal space. A restrictor for restricting the flow of fluid, a thin plate-shaped edge having a plane parallel to the direction of the measurement flow path in the internal space, and an edge tone of the measurement fluid provided upstream of the thin plate-shaped edge Distortion detecting means for detecting an oscillation frequency due to oscillation, distortion detecting means for detecting external vibration provided on the thin plate-shaped edge downstream of the distortion detecting means for detecting oscillation, and detecting external vibration noise; Distortion detection for oscillation detection It is obtained by constituting the edge tone flow meter, characterized by comprising an external vibration noise compensation circuit for removing the calculated external vibration noise signal from the stage and the external vibration detection distortion detecting means.

【0018】[0018]

【作用】以上の構成において、測定流体が管路の中を流
れ、ノズルより噴出する噴出流は、エッジトーン発振を
起こす。この発振周波数に基づく測定流体の圧力変動
を、歪検出手段により検出することにより測定流体の流
速流量を測定する。以下、実施例に基づき詳細に説明す
る。
In the above construction, the measurement fluid flows through the pipe, and the jet flow from the nozzle causes edge tone oscillation. The flow rate flow rate of the measurement fluid is measured by detecting the pressure fluctuation of the measurement fluid based on the oscillation frequency by the strain detecting means. Hereinafter, a detailed description will be given based on embodiments.

【0019】[0019]

【実施例】図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の要部A−A断面図、図3は図1の要部B−
B断面図である。図において、図10と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図10と相違部分のみ説明
する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG.
FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1, and FIG.
It is B sectional drawing. In the figure, the configuration of the same symbol as in FIG. 10 indicates the same function. Hereinafter, only differences from FIG. 10 will be described.

【0020】41は、薄平板状のエッジ22における上
流側に設けられ、測定流体のエッジトーン発振による発
振周波数を検出する発振検出用歪ゲージである。42
は、発振検出用歪ゲージ41より下流側の、薄平板状の
エッジ22に設けられ、外部振動ノイズを検出する外部
振動検出用歪ゲージである。
Reference numeral 41 denotes an oscillation detecting strain gauge which is provided on the upstream side of the thin plate-shaped edge 22 and detects an oscillation frequency due to edge tone oscillation of the measurement fluid. 42
Is an external vibration detecting strain gauge provided on the thin plate-shaped edge 22 downstream of the oscillation detecting strain gauge 41 to detect external vibration noise.

【0021】この場合は、発振検出用歪ゲージ41と外
部振動検出用歪ゲージ42とは、図2に示す如く、エッ
ジ22の固定端近くに配置される。エッジ22に固定端
と支持端とが存在するのは、エッジ22の両端を管路1
1に固定してしまうと、管路11の温度による熱膨張、
収縮の影響を全く受けてしまうので、一方を支持端とし
て、管路11の温度変化の影響を回避するようにしたも
のである。
In this case, the strain gauge 41 for detecting oscillation and the strain gauge 42 for detecting external vibration are arranged near the fixed end of the edge 22, as shown in FIG. The edge 22 has a fixed end and a support end because both ends of the edge 22
If it is fixed to 1, thermal expansion due to the temperature of the pipe line 11,
Since it is completely affected by shrinkage, one end is used as a support end to avoid the influence of a temperature change in the pipeline 11.

【0022】43は、発振検出用歪ゲージ41と外部振
動検出用歪ゲージ42とからの信号を演算し、外部振動
ノイズを除去する外部振動ノイズ補償回路である(図示
せず)。発振検出用歪ゲージ41と外部振動検出用歪ゲ
ージ42とは、図4に示す如く、エッジ22の両面に各
々2個づつ張り合わせる。
Reference numeral 43 denotes an external vibration noise compensation circuit (not shown) for calculating signals from the oscillation detection strain gauge 41 and the external vibration detection strain gauge 42 and removing external vibration noise. As shown in FIG. 4, the oscillation detecting strain gauge 41 and the external vibration detecting strain gauge 42 are attached to both sides of the edge 22 by two each.

【0023】44は、エッジ22に設けられ、歪ゲージ
41,42の取付による出っ張りを逃げるための切欠溝
である。45は、切欠溝44に充填された充填材であ
る。この場合は、エポキシ樹脂が使用されている。46
は、歪ゲージ41,42を覆うカバープレートである。
Reference numeral 44 denotes a notch groove provided on the edge 22 to escape a protrusion due to the attachment of the strain gauges 41 and 42. Reference numeral 45 denotes a filler filled in the notch groove 44. In this case, an epoxy resin is used. 46
Is a cover plate that covers the strain gauges 41 and 42.

【0024】以上の構成において、測定流体が管路11
の中を流れ、ノズル13より噴出する噴出流は、エッジ
トーン発振を起こす。この発振周波数に基づく測定流体
の圧力変動を、歪ゲージ41,42により検出すること
により測定流体の流速流量を測定する。
In the above configuration, the measurement fluid is supplied to the pipe 11
The jet flow that flows through the nozzle 13 and jets from the nozzle 13 causes edge tone oscillation. The pressure fluctuation of the measurement fluid based on the oscillation frequency is detected by the strain gauges 41 and 42 to measure the flow rate and flow rate of the measurement fluid.

【0025】ここで、図5は、シュミレーションにより
得られた発生圧力分布を用いて、エッジ22の応力解析
を行った応力解析図の一例である。ここでは、エッジ厚
さ0.4mm、測定流体は、0.4m/sの流速条件を
採用して実験を行った。
FIG. 5 is an example of a stress analysis diagram in which stress analysis of the edge 22 is performed using the generated pressure distribution obtained by the simulation. Here, the experiment was performed under the conditions that the edge thickness was 0.4 mm and the flow rate of the measurement fluid was 0.4 m / s.

【0026】図において、応力の違いの分布を、黒塗り
部分、ねずみ色部分、白色部分に塗り分けて示す。黒塗
り部分は、歪が最大で約0.5μsを示す。この事によ
り、エッジ22の上流側と下流側とに、応力の相違があ
ることが確認出来た。本発明は、この点に着目したもの
である。
In the figure, the distribution of the difference in stress is shown separately for a black portion, a gray portion, and a white portion. The black portion shows the maximum distortion of about 0.5 μs. This confirmed that there was a difference in stress between the upstream side and the downstream side of the edge 22. The present invention focuses on this point.

【0027】この場合、エッジ22に発生する変位は、
図6に示す如くなる。図において、xはエッジ22の水
平方向を示す。yはエッジ22の変位を表わす。Aは信
号成分を示し、エッジ22における上流側が、下流側よ
り大である。Bは、外部振動に基づく成分であり、エッ
ジ22の水平方向では図示の如く、一定の値を示す。
In this case, the displacement generated at the edge 22 is
As shown in FIG. In the figure, x indicates the horizontal direction of the edge 22. y represents the displacement of the edge 22. A indicates a signal component, and the upstream side of the edge 22 is larger than the downstream side. B is a component based on external vibration, and shows a constant value in the horizontal direction of the edge 22 as shown.

【0028】したがって、発振検出用歪ゲージ41の検
出信号と、外部振動検出用歪ゲージ42の検出信号との
差を、外部振動ノイズ補償回路43で求めることによ
り、外部振動ノイズが除去され、S/N比が良好な測定
信号が得られるエッジトーン流量計が得られる。
Accordingly, the difference between the detection signal of the oscillation detection strain gauge 41 and the detection signal of the external vibration detection strain gauge 42 is obtained by the external vibration noise compensating circuit 43, so that the external vibration noise is removed. An edge tone flowmeter that can obtain a measurement signal with a good / N ratio is obtained.

【0029】この結果、圧力導入孔231を使用しなく
て良いので、測定流体による詰まりが発生する恐れがな
い。圧力導入孔231を使用しなくて良いので、圧力導
入孔231からの圧力を導出するための導出チューブの
接続等が不要となり、構造を簡潔にできる。構造が簡潔
にできるので、小型化が図れる。
As a result, since the pressure introducing hole 231 does not need to be used, there is no danger of clogging with the measurement fluid. Since it is not necessary to use the pressure introduction hole 231, it is not necessary to connect a lead tube for leading the pressure from the pressure introduction hole 231, and the structure can be simplified. Since the structure can be simplified, the size can be reduced.

【0030】発振検出用歪ゲージ41,外部振動検出用
歪ゲージ42と外部振動ノイズ補償回路43により、外
部振動ノイズを打ち消す様にしたので、S/N比が良好
なエッジトーン流量計が得られる。
Since the external vibration noise is canceled by the oscillation detecting strain gauge 41, the external vibration detecting strain gauge 42, and the external vibration noise compensating circuit 43, an edge tone flow meter having a good S / N ratio can be obtained. .

【0031】図7は、本発明と図10従来例との、測定
流体の流速と検出発振周波数との関係を示した関係図で
ある。図7より、本発明の歪検出方式と、図10従来例
の圧力検出方式とでは、同じ様な検出特性を示す事が分
かり、本発明装置を、図10従来例装置と充分代替え可
能である事が確認される。
FIG. 7 is a relationship diagram showing the relationship between the flow rate of the measurement fluid and the detected oscillation frequency between the present invention and the conventional example of FIG. From FIG. 7, it can be seen that the strain detection method of the present invention and the pressure detection method of the conventional example in FIG. 10 show similar detection characteristics, and the apparatus of the present invention can be sufficiently replaced with the conventional apparatus in FIG. Things are confirmed.

【0032】なお、発振検出用歪ゲージ41と外部振動
検出用歪ゲージ42とは、図2実施例では、固定端に近
く配置したが、これに限ることはなく、要するに、良好
な歪が検出できる個所に配置すればよい。
Although the oscillation-detecting strain gauge 41 and the external-vibration detecting strain gauge 42 are arranged close to the fixed end in the embodiment of FIG. 2, the present invention is not limited to this. It may be placed where possible.

【0033】また、前述の実施例においては、歪検出手
段は歪ゲージよりなると説明したが、これに限ることは
なく、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)或い
は、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)でも良い。要す
るに、歪が検出出来るものであればよい。
In the above-described embodiment, the strain detecting means is described as being constituted by a strain gauge. However, the present invention is not limited to this. For example, lead zirconate titanate (PZT) or polyvinylidene fluoride (PVDF) may be used. good. In short, what is necessary is just to be able to detect distortion.

【0034】また、エッジ22の厚さは、図1に示した
ものに限定されることは無い。好ましくは、ノズル13
の幅以下であれば、同様のエッジトーン発振が得られ
る。
The thickness of the edge 22 is not limited to the one shown in FIG. Preferably, the nozzle 13
If the width is equal to or less than the width, the same edge tone oscillation can be obtained.

【0035】また、内部空所12の形状は、図1に示し
たものに限定されることは無い。要するに、内部空所1
2内に、エッジ22が配置出来ればよい。来るものであ
ればよい。
Further, the shape of the internal space 12 is not limited to that shown in FIG. In short, internal space 1
It suffices if the edge 22 can be arranged in the area 2. Anything should come.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、測定流
体のエッジトーン発振に基づく発振周波数を検出して流
量を測定するエッジトーン流量計において、測定流路の
途中に設けられた内部空所と、該内部空所の上流に設け
られ該内部空所に測定流体を噴出するスリット状のノズ
ルと、該内部空所の下流に設けられ該内部空所からの測
定流体の流れを絞る絞りと、前記内部空所に前記測定流
路方向に平面が平行に配置された薄平板状のエッジと、
該薄平板状のエッジの上流側に設けられ測定流体のエッ
ジトーン発振による発振周波数を検出する発振検出用歪
検出手段と該発振検出用歪検出手段より下流側の前記薄
平板状のエッジに設けられ外部振動ノイズを検出する外
部振動検出用歪検出手段と、前記発振検出用歪検出手段
と前記外部振動検出用歪検出手段とからの信号を演算し
外部振動ノイズを除去する外部振動ノイズ補償回路とを
具備したことを特徴とするエッジトーン流量計を構成し
た。
As described above, the present invention relates to an edge tone flow meter for measuring a flow rate by detecting an oscillation frequency based on an edge tone oscillation of a measurement fluid, and has an internal space provided in the middle of a measurement flow path. , A slit-shaped nozzle provided upstream of the internal space and ejecting the measurement fluid into the internal space, and a throttle provided downstream of the internal space and restricting the flow of the measurement fluid from the internal space And a thin plate-shaped edge in which a plane is arranged in the internal space in parallel with the measurement flow path direction,
Oscillation detecting strain detecting means provided on the upstream side of the thin plate-shaped edge and detecting an oscillation frequency due to edge tone oscillation of the measurement fluid, and provided on the thin plate-shaped edge downstream of the oscillation detecting strain detecting means. External vibration noise detecting means for detecting external vibration noise, and an external vibration noise compensating circuit for calculating signals from the oscillation detecting distortion detecting means and the external vibration detecting distortion detecting means and removing external vibration noise. And an edge tone flowmeter characterized by comprising:

【0037】この結果、圧力導入孔を使用しなくて良い
ので、測定流体による詰まりが発生する恐れがない。圧
力導入孔を使用しなくて良いので、圧力導入孔からの圧
力を導出するための導出チューブの接続等が不要とな
り、構造を簡潔にできる。構造が簡潔にできるので、小
型化が図れる。
As a result, since the pressure introducing hole does not need to be used, there is no danger of clogging with the measurement fluid. Since it is not necessary to use the pressure introducing hole, there is no need to connect a deriving tube for deriving pressure from the pressure introducing hole, and the structure can be simplified. Since the structure can be simplified, the size can be reduced.

【0038】発振検出用歪検出手段,外部振動検出用歪
検出手段と外部振動ノイズ補償回路により、外部振動ノ
イズを打ち消す様にしたので、S/N比が良好なエッジ
トーン流量計が得られる。
Since the external vibration noise is canceled by the oscillation detecting distortion detecting means, the external vibration detecting distortion detecting means, and the external vibration noise compensating circuit, an edge tone flow meter having a good S / N ratio can be obtained.

【0039】従って、本発明によれば、測定流体の詰ま
りが回避でき、測定信号の取り出しが容易で、小型化が
図れ、S/N比が向上し得るエッジトーン流量計を実現
することが出来る。
Therefore, according to the present invention, a clogging of the measurement fluid can be avoided, the measurement signal can be easily taken out, the size can be reduced, and the edge tone flowmeter which can improve the S / N ratio can be realized. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の要部構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a main part configuration of an embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】図1のB−B断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line BB of FIG. 1;

【図4】図1の要部詳細図である。FIG. 4 is a detailed view of a main part of FIG. 1;

【図5】図1の動作説明図である。FIG. 5 is an operation explanatory diagram of FIG. 1;

【図6】図1の動作説明図である。FIG. 6 is an operation explanatory diagram of FIG. 1;

【図7】図1の動作説明図である。FIG. 7 is an operation explanatory diagram of FIG. 1;

【図8】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram of a configuration of a conventional example generally used in the related art.

【図9】図8の動作説明図である。FIG. 9 is an operation explanatory diagram of FIG. 8;

【図10】特願平6−102737号の一実施例の要部
構成説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram of a main configuration of an embodiment of Japanese Patent Application No. 6-102737.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 管路 12 内部空所 13 ノズル 21 絞り 22 エッジ 31 テーパ部 41 発振検出用歪ゲージ 42 外部振動検出用歪ゲージ 43 外部振動ノイズ補償回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Pipeline 12 Internal space 13 Nozzle 21 Throttle 22 Edge 31 Tapered part 41 Strain gauge for oscillation detection 42 Strain gauge for external vibration detection 43 External vibration noise compensation circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−161526(JP,A) 特開 昭63−163116(JP,A) 特開 平8−261806(JP,A) 特開 平7−234139(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 1/00 - 9/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-60-161526 (JP, A) JP-A-63-163116 (JP, A) JP-A 8-261806 (JP, A) JP-A 7-161 234139 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01F 1/00-9/02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】測定流体のエッジトーン発振に基づく発振
周波数を検出して流量を測定するエッジトーン流量計に
おいて、 測定流路の途中に設けられた内部空所と、 該内部空所の上流に設けられ該内部空所に測定流体を噴
出するスリット状のノズルと、 該内部空所の下流に設けられ該内部空所からの測定流体
の流れを絞る絞りと、 前記内部空所に前記測定流路方向に平面が平行に配置さ
れた薄平板状のエッジと、 該薄平板状のエッジの上流側に設けられ測定流体のエッ
ジトーン発振による発振周波数を検出する発振検出用歪
検出手段と該発振検出用歪検出手段より下流側の前記薄
平板状のエッジに設けられ外部振動ノイズを検出する外
部振動検出用歪検出手段と、 前記発振検出用歪検出手段と前記外部振動検出用歪検出
手段とからの信号を演算し外部振動ノイズを除去する外
部振動ノイズ補償回路とを具備したことを特徴とするエ
ッジトーン流量計。
An edge tone flowmeter for measuring a flow rate by detecting an oscillation frequency based on an edge tone oscillation of a measurement fluid, comprising: an internal space provided in the middle of a measurement flow path; A slit-shaped nozzle provided to eject a measurement fluid into the internal space; a throttle provided downstream of the internal space to restrict the flow of the measurement fluid from the internal space; A thin plate-like edge having a plane parallel to the road direction, an oscillation detecting strain detecting means provided upstream of the thin plate-like edge and detecting an oscillation frequency of the measurement fluid due to edge tone oscillation of the measurement fluid; An external vibration detecting distortion detecting means provided on the thin plate-shaped edge downstream of the detecting distortion detecting means to detect external vibration noise, the oscillation detecting distortion detecting means and the external vibration detecting distortion detecting means, Signal from Calculated by the edge tone flow meter, characterized by comprising an external vibration noise compensation circuit for removing the external vibration noise.
JP07121095A 1995-03-29 1995-03-29 Edge tone flow meter Expired - Fee Related JP3237688B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07121095A JP3237688B2 (en) 1995-03-29 1995-03-29 Edge tone flow meter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07121095A JP3237688B2 (en) 1995-03-29 1995-03-29 Edge tone flow meter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08271299A JPH08271299A (en) 1996-10-18
JP3237688B2 true JP3237688B2 (en) 2001-12-10

Family

ID=13454100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP07121095A Expired - Fee Related JP3237688B2 (en) 1995-03-29 1995-03-29 Edge tone flow meter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3237688B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112511963B (en) * 2020-11-25 2022-04-08 歌尔科技有限公司 Earphone edge tone detection method and device and airflow simulation device
CN119413354B (en) * 2025-01-06 2025-04-15 天津斯巴克斯机电有限公司 Electric roller performance detection device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08271299A (en) 1996-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4862750A (en) Vortex shedding fluid velocity meter
US8683874B2 (en) Vortex flow measuring device for monitoring and/or measuring flow of distributed particles and/or droplets
EP0152451B1 (en) Planar-measuring vortex-shedding mass flowmeter
US20060278015A1 (en) Device for determination and/or monitoring of the volumetric and/or mass flow of a medium
KR20170056552A (en) Sensor arrangement for determining at least one parameter of a fluid medium flowing through a channel structure
JP3237688B2 (en) Edge tone flow meter
EP3270150B1 (en) Method and arrangement for the analysis of gas characteristics by measurement of speed of sound
Svedin et al. A lift-force flow sensor designed for acceleration insensitivity
US7013738B2 (en) Flow sensor
CN100593761C (en) Ultrasonic metrology system and method for detecting peak selection errors in waveforms
JP4984348B2 (en) Flow measuring device
JP2983072B2 (en) Gas flow meter
JP3209303B2 (en) Vortex flow meter
JP3463241B2 (en) Vortex flow meter
JP3131174B2 (en) Fluidic flow meter
CN118583231B (en) Flow rate detection device and flow rate detection method
RU2084900C1 (en) Whirl speed detector
JP3227995B2 (en) Edge tone flow meter
RU2162206C2 (en) Vortex register of fluid medium
JPH0648351Y2 (en) Vortex flowmeter signal amplification circuit
JP2655573B2 (en) Pressure sensor and gas flow meter using pressure sensor
Hornung et al. Micromachined acoustic Fabry-Perot system for distance measurement
JP2582003Y2 (en) Fluidic flow meter
JP3179888B2 (en) Fluidic flow meter
JPH06194374A (en) Wind direction/wind speed detector

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees