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JP3238779B2 - 希土類磁石合金粉末とその製造方法 - Google Patents
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JP3238779B2 - 希土類磁石合金粉末とその製造方法 - Google Patents

希土類磁石合金粉末とその製造方法

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JP3238779B2
JP3238779B2 JP03136293A JP3136293A JP3238779B2 JP 3238779 B2 JP3238779 B2 JP 3238779B2 JP 03136293 A JP03136293 A JP 03136293A JP 3136293 A JP3136293 A JP 3136293A JP 3238779 B2 JP3238779 B2 JP 3238779B2
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  • Hard Magnetic Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、マグネットロール、
スピーカー、磁気センサー用磁気回路、各種メーターお
よびフォーカス用マグネットならびにモーターやアクチ
ュエーターなどに最適な希土類ボンド磁石用合金粉末と
その製造方法に係り、希土類元素の含有量が少ない特定
組成のFe−V−B−R、Fe−V−B−R−M(M=
Al,Si)合金溶湯を回転ロールを用いた超急冷法、
スプラット急冷法、ガスアトマイズ法あるいはこれらの
併用法にてアモルファス組織とし、特定の熱処理にて体
心正方晶Fe3P型結晶構造を有する鉄を主成分とする
ホウ化物相とNd2Fe14B型結晶構造の構成相との微
細結晶集合体をからなる合金粉末を得、これを樹脂にて
結合することにより、ハードフェライト磁石では得られ
なかった5kG以上の残留磁束密度Brを有するFe−
B−R系磁石を得ることができる希土類磁石合金粉末と
その製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】静電現像用マグネットロール、電装品用
モーター、アクチュエーターなどに使用される永久磁石
は主にハードフェライト磁石に限定されていたが、低温
でのiHc低下に伴う低温減磁特性が有ること、セラミ
ックス材質のために機械的強度が低くて割れ、欠けが発
生し易いこと、複雑な形状が得難いことなどの問題があ
った。
【0003】今日、自動車は省資源のため車両の軽量化
による燃費の向上が強く要求されており、自動車用電装
品はより一層の小型、軽量化が求められている。また、
自動車用電装品以外の家電用モーターなどの用途におい
ても、性能対重量比を最大にするための設計が検討され
ており、現在のモーター構造では磁石材料としてBrが
5〜7kG程度のものが最適とされている。すなわち、
使用する磁石材料のBrが8kG以上の場合、現在のモ
ーター構造では磁路となる回転子やステーターの鉄板の
断面積を増大させる必要があり、重量の増大を招来する
が、Brが5〜7kGであれば性能対重量比を最大にす
ることができる。
【0004】従って、小型モーター用の磁石材料は磁気
特性的には特に5kG以上の残留磁束密度Brが要求さ
れているが、従来のハードフェライト磁石では得ること
ができない。例えばNd−Fe−B系ボンド磁石ではか
かる磁気特性を満足するが、金属の分離精製や還元反応
に多大の工程並びに大規模な設備を要するNd等を10
〜15at%含有しているため、ハードフェライト磁石
に比較して著しく高価であり、現在のところ大量生産が
可能で安価に提供できるBrが5〜7kG程度の磁石材
料は、見出されていない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】一方、Nd−Fe−B
系磁石において、最近、Nd4Fe7719(at%)近
傍でFe3 B化合物を主相とする磁石材料が提案(R.
Coehoorn等、J.de Phys.,C8,1
988,669〜670頁)された。この磁石材料はア
モルファスリボンを熱処理することにより、Fe3Bと
Nd2Fe14Bの結晶集合組織を有する準安定構造であ
るが、iHcが2〜3kOe程度と低く、またこのiH
cを得るための熱処理条件が狭く限定され、工業生産上
実用的でない。
【0006】このFe3 B化合物を主相とする磁石材料
に添加元素を加えて多成分化し、性能向上を図った研究
が発表されている。その1つは希土類元素にNdのほか
にDyとTbを用いてiHcの向上を図るものである
が、高価な元素を添加する問題のほか、添加希土類元素
はその磁気モーメントがNdやFeの磁気モーメントと
反平行して結合するため磁化が減少する問題がある
(R.Coehoorn、J.Magn,Magn,M
at.、83(1990)228〜230頁)。
【0007】他の研究(Shen Bao−genら,
J.Magn, Magn,Mat.、89(199
1)335〜340頁)として、 Feの一部をCoに
て置換してキュリー温度を上昇させ、iHcの温度係数
を改善するものであるが、Coの添加にともないBrを
低下させる問題がある。
【0008】いずれにしてもFe3化合物を主相とす
Nd−Fe−B系磁石は、超急冷法によりアモルファ
ス化した後、熱処理してハード磁石材料化できるが、i
Hcが低く、かつ前記熱処理条件が狭く、添加元素にて
高iHc化を図ると磁気エネルギー積が低下するなど、
安定した工業生産ができず、ハードフェライト磁石の代
替えとして安価に提供することができない。
【0009】この発明は、Fe3化合物を主相とする
Nd−Fe−B系磁石(Rは希土類元素)に着目して、
iHcと(BH)maxを向上させ、安定した工業生産
が可能な製造方法の確立と、5kG以上の残留磁束密度
Brを有しハードフェライト磁石に匹敵するコストパフ
ォーマンスを有し、安価に提供できるFe3化合物を
主相とするFe−B−R系磁石を得るための希土類磁石
合金粉末とその製造方法の提供を目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、Fe3
合物を主相とするFe−B−R磁石のiHcと(BH)
maxを向上させ、安定した工業生産が可能な製造方法
を目的に種々検討した結果、希土類元素の含有量が少な
く、VあるいはさらにAl、Siの少なくとも1種を少
量添加した鉄基の特定組成の合金溶湯を超急冷法等にて
アモルファス組織となし、特定の昇温速度による熱処理
にて微細結晶集合体を得ることにより、ハードフェライ
ト磁石では得られなかった5kG以上の残留磁束密度B
rを有するボンド磁石に最適の希土類磁石合金粉末が得
られることを知見し、この発明を完成した。
【0011】この発明は、組成式をFe100-x-y-zx
yz (但しRはPrまたはNdの1種または2種)と
表し、あるいはさらに、組成式をFe100-x-y-zx
yzw (但しRはPrまたはNdの1種または2
種、MはAlまたはSiの1種または2種)と表し、組
成範囲を限定する記号x、y、z、wが下記値を満足
し、体心正方晶Fe3P型結晶構造を有する鉄を主成分
とするホウ化物相とNd2Fe14B型結晶構造を有する
構成相とが同一粉末粒子中に共存し、各構成相の平均結
晶粒径が5nm〜100nmの範囲にあり、平均粒径が
3μm〜500μm、磁気特性がiHc≧3kOe、B
r≧6kG、(BH)max≧7MGOeであることを
特徴とする希土類合金粉末である。 0.01≦x≦10at% 16≦y≦22at% 3≦z≦5.5at% 0.1≦w≦3at%
【0012】また、この発明は、 (1)組成式をFe100-x-y-zxyz (但しRはP
rまたはNdの1種または2種)と表し、あるいはさら
に、組成式をFe100-x-y-zxyzw (但しRは
PrまたはNdの1種または2種、MはAlまたはSi
の1種または2種)と表し、組成範囲を限定する記号
x、y、z、wが上述の値を満足する合金溶湯を回転ロ
ールを用いた超急冷法、スプラット急冷法、ガスアトマ
イズ法あるいはこれらを組み合せて急冷し、実質的に9
0%以上をアモルファス組織となし、 (2)さらに熱処理の際に、Fe3P型結晶構造を有す
る鉄を主成分とするホウ化物相が析出する温度付近から
の昇温温度を1℃/分〜15℃/分で昇温して620℃
〜750℃で10秒間〜6時間保持する熱処理を施し、 (3)Fe3P型結晶構造を有する鉄を主成分とするホ
ウ化物相と、Nd2Fe14B型結晶構造を有す構成相
とが同一粉末粒子中に共存し、各構成相の平均結晶粒径
が5nm〜100nmの範囲にある微結晶集合体を得た
のち、 (4)前記急冷によるアモルファス組織化条件にて生成
形態が異なるため、必要に応じてこれを、平均粒径3μ
m〜500μmに粉砕して磁石合金粉末を得ることを特
徴とする希土類合金粉末の製造方法である。
【0013】組成の限定理由 希土類元素RはPrまたはNdの1種また2種を特定量
含有のときのみ、高い磁気特性が得られ、他の希土類、
例えばCe、LaではiHcが2kOe以上の特性が得
られず、またSm以降の中希土類元素、重希土類元素は
磁気特性の劣化を招来するとともに磁石を高価格にする
ため好ましくない。Rは、3at%未満では2kOe以
上のiHcが得られず、また5.5at%を超えるとF
3B相が生成せず、硬磁性を示さない準安定相のR2
233相が折出しiHcは著しく低下するので好まし
くないため、3〜5.5at%の範囲とする。
【0014】Bは、16at%未満および22at%を
超えると2kOe以上のiHcが得られないため、16
〜22at%の範囲とする。
【0015】Vは、iHcの向上に有効であるが、0.
01at%未満ではかかる効果が得られず、10at%
を超えるとBrおよび減磁曲線の角形性が著しく低下
し、6kG以上のBrが得られないため、0.01〜1
0at%の範囲とする。
【0016】Al、Siは熱処理温度範囲を拡大してか
つ減磁曲線の角型性を改善し、磁気特性のBr、(B
H)maxを増大させる効果を有し、かかる効果を得る
には少なくとも0.1at%以上の添加が必要である
が、3at%を超えるとかえって角型性を劣化させ、
(BH)maxも低下するため、0.1〜3at%の範
囲とする。
【0017】Feは、上述の元素の含有残余を占める。
【0018】製造条件の限定理由 この発明において、上述の特定組成の合金溶湯を超急冷
法にてアモルファスとなし、Fe3P型結晶構造を有す
る鉄を主成分とするホウ化物相が析出する温度付近から
の昇温温度を1℃/分〜15℃/分で昇温して620℃
〜750℃で10秒間〜6時間保持する熱処理を施すこ
とにより、熱力学的には準安定相であるFe3P型結晶
構造を持つFe3B相と、Nd2Fe14B型結晶構造を有
する強磁性相が共存し、各構成相の平均結晶粒径が5n
m〜100nmの範囲にある微結晶集合体を得ることが
最も重要であり、合金溶湯の超急冷処理には公知の回転
ロールを用いた超急冷法を採用できるが、実質的に90
%以上のアモルファスが得られれば、回転ロールを用い
た超急冷法の他にもスプラット急冷法、ガスアトマイズ
法あるいはこれらを組み合せた急冷方法を採用してもよ
い。例えば、Cu製ロールを用いる場合は、そのロール
表面周速度が10〜50m/秒の範囲が好適な組織が得
られるため好ましい。すなわち周速度が10m/秒未満
ではアモルファスとならずα−Fe相の析出量が増大し
て好ましくなく、ロール表面周速度が50m/秒を超え
ると、急冷された合金が連続的なリボンとして生成せ
ず、合金片が飛散し、装置から合金を回収する際の回収
率や回収能率が低下して好ましくない。ただし、微量の
α−Fe相が急冷薄帯中に存在しても特性を著しく低下
させるものでなく許容される。
【0019】この発明において、上述の特定組成の合金
溶湯を超急冷法にて実質的に90%以上をアモルファス
となした後、磁気特性が最高となる熱処理は組成に依存
するが、熱処理温度が620℃未満ではNd2Fe14
相が析出せず、3kOe以上のiHcが得られず、また
750℃を超えると熱平衡相であるα−Fe相とFe2
BまたはNd1.1Fe44相が生成してiHcが発源し
ないため、熱処理温度は620〜750℃以下に限定す
る。熱処理雰囲気はArガスなどの不活性ガス雰囲気が
好ましい。熱処理時間は短くてもよいが、10秒未満で
は十分なミクロ組織の生成が行われず、iHc及び減磁
曲線の角型性が劣化し、また6時間を超えると3kOe
以上のiHcが得られないので、熱処理保持時間を10
〜6時間に限定する。
【0020】この発明において重要な特徴として、熱処
理に際してFe3B相が析出する温度580℃以上から
の昇温速度があり、1℃/分未満の昇温速度では、昇温
中にNd2Fe14B相とFe3B相の結晶粒径が大きく成
長しすぎてiHcが劣化し、3kOe以上のiHcが得
られない。また、15℃/分を超える昇温速度では、6
20℃を通過してから生成するNd2Fe14B相の析出
が十分に行われず、α−Fe相の析出量が増大して、磁
化曲線の第2象限にBr点近傍に磁化の低下のある減磁
曲線となり、(BH)maxが劣化するため好ましくな
い。ただし、微量のα−Fe相の存在は許容できる。な
お、熱処理に際してFe3B相が析出する温度580℃
未満まではその昇温速度は任意であり、急速加熱などを
適用して処理能率を高めることができる。
【0021】結晶構造 この発明による希土類磁石並びに希土類磁石合金粉末の
結晶相は、Fe3P型結晶構造を有する鉄を主成分とす
るホウ化物を主相とし、Nd2Fe14B型結晶構造を有
する強磁性相を有し、平均結晶粒径が5nm〜100n
mの微細結晶集合体からなることを特徴としている。こ
の発明において、磁石合金の平均結晶粒径が100nm
を超えると、減磁曲線の角型性が著しく劣化し、Br≧
6kG、(BH)max≧7MGOeの磁気特性を得る
ことができない。また、平均結晶粒径は細かいほど好ま
しいが、5nm未満の平均結晶粒径を得ることは工業生
産上困難であるため、下限を5nmとする。
【0022】磁石化方法 特定組成の合金溶湯を前述の超急冷法にてアモルファス
となし、Fe3B相が析出する温度580℃以上からの
昇温速度を1〜15℃/分で昇温した後、620〜75
0℃で10秒〜6時間保持する熱処理を施すことによ
り、平均結晶粒径が5nm〜100nmの微細結晶集合
体として得たこの発明による希土類磁石合金粉末を用い
て磁石化するには、750℃以下で固化、圧密化できる
公知の焼結磁石化方法並びにボンド磁石化方法の何れも
採用することができ、例えば回転ロールによるリボンや
スプラットによる粒片状など急冷法やそのアモルファス
組織化条件によって粉砕が必要な場合は、当該合金を平
均粒径が3〜500μmの合金粉末に粉砕したのち、公
知のバインダーと混合して所要のボンド磁石となすこと
により、5kG以上の残留磁束密度Brを有するボンド
磁石を得ることができる。
【0023】
【作用】この発明は、希土類元素の含有量が少ない特定
組成のFe−V−B−R合金溶湯(RはNdまたはP
r)あるいはFe−V−B−R−M合金溶湯(MはA
l、Siの1種もしくは2種)を前述の超急冷法にて実
質的に90%以上をアモルファス組織となし、得られた
リボン、フレーク、球状粉末をFe3B析出温度以上か
ら1〜15℃/分の昇温速度で昇温した後、620〜7
50℃で10秒〜6時間保持する熱処理を施すことによ
り、熱力学的には、準安定相であるFe3P型結晶構造
をもつFe3B相とNd2Fe14B型結晶構造を有する強
磁性相が共存し、各構造相の平均結晶粒径が5nm〜1
00nmの範囲にある微結晶集合体を得る。この際、V
を含有しない組成では700℃を越えると熱平衡相であ
るα−Fe相とFe2B相またはNd1.1Fe44が生成
してiHcが発現しないが、V含有組成ではFe3B相
とNd2Fe14B相がVを添加しない組成に比べ熱的に
より安定となり、620℃〜750℃程度の広い温度範
囲でVを含有しない組成より高い iHcが発現する。
さらにVと同時にAl、Siを1種あるいは2種含有す
ることにより、V含有時のBr、減磁曲線の角形の劣化
を改善することができ、iHc≧3kG、Br≧7k
G、(BH)max≧8MGOeの磁気特性を有するボ
ンド磁石原料として、最適な磁石合金粉末を得ることが
できる。
【0024】
【実施例】
実施例1 表1のNo.1〜4の組成となるように、純度99.5
%以上のFe、V、B、Nd、Pr、Al、Siの金属
を用いて、総量が30grとなるように秤量し、底部に
直径0.8mmのオリフィスを有する石英るつぼ内に投
入し、圧力56cmHgのAr雰囲気中で高周波加熱に
より溶解し、溶解温度を1300℃にした後、湯面をA
rガスにより加圧して室温にてロール周速度20m/秒
にて高速回転するCu製ロールの外周面に0.7mmの
高さから溶湯を噴出させて、幅2〜3mm、厚み30〜
40μmの超急冷薄帯を作製した。得られた超急冷薄帯
をCuKαの特性X線によりアモルファスであることを
確認した。
【0025】この超急冷薄帯をArガス中で580℃ま
で急速加熱した後、580℃以上を表1に示す昇温速度
で昇温し、表1に示す熱処理温度で10分間保持し、そ
の後室温まで冷却して薄帯を取り出し、幅2〜3mm、
厚み30〜40μm、長さ3〜5mmの試料を作製し、
VSMを用いて磁気特性、平均結晶粒径を測定した。測
定結果を表2に示す。なお、試料の測定結果は、正方晶
と斜方晶が混在するFe3B相が主相で、Nd2Fe14
相とα−Fe相が混在する多相組織であり、平均結晶粒
径はいずれも100nm以下であった。なお、Vはこれ
らの各相でFeの一部を置換するが、Al、Siについ
ては添加量が少ない上、超微細結晶であるため分析不能
であった。
【0026】比較例 表1のNo.5の組成となるように純度99.5%以上
のFe、B、Ndを用いて実施例1と同条件で超急冷薄
帯を作製した。得られた薄帯を実施例1と同一条件の熱
処理を施し、冷却後に実施例1と同条件で試料化(比較
例No.5)してVSMを用いて磁気特性、平均結晶粒
を測定した。測定結果を表2に示す。比較例No.5
の組織は実施例1の組織と類似していたが、結晶粒が実
施例1に比較して粗大化していた。
【0027】実施例2 実施例1で得られた表1の組成No.4の超急冷薄帯
を、表1の熱処理後に平均粒径は150μm以下に粉砕
し、エポキシ樹脂からなるバインダーを2wt%の割合
で混合したのち、12mm×12mm×8mm寸法のボ
ンド磁石を作成した。得られたボンド磁石の磁気特性
は、密度6.0g/cm3、iHc=4.7kOe、B
r=7kG、(BH)max=8MGOeであった。
【0028】
【表1】
【0029】
【表2】
【0030】
【発明の効果】この発明は、希土類元素の含有量が少な
い特定組成のFe−V−B−R合金溶湯(Rは Ndま
たはPr)あるいはFe−V−B−R−M合金溶湯(M
は Al、Siの1種もしくは2種)を前述の超急冷法
にて実質的に90%以上をアモルファス組織となし、得
られたリボン、フレーク、球状粉末を得、これに特定条
件の熱処理を施すことにより、熱力学的には準安定相で
あるFe3P型結晶構造をもつFe3B相とNd2Fe14
B型結晶構造を有する強磁性相が共存し、各構成相の平
均結晶粒径が5nm〜100nmの範囲にある微結晶集
合体を得る。この際、Vを含有しない組成では700℃
を越えると熱平衡相であるα−Fe相とFe2B相また
はNd1.1Fe44が生成してiHcが発現しないが、
V含有組成ではFe3B相とNd2Fe14B相がVを添加
しない組成に比べ、熱的により安定となり620℃〜7
50℃程度の広い温度範囲でVを含有しない組成より高
い iHcが発現する。さらにVと同時にAl、Siを
1種あるいは2種含有することにより、V含有時のB
r、減磁曲線の角形の劣化が改善されることにより、i
Hc≧3kG、Br≧7kG、(BH)max≧8MG
Oeの磁気特性を有するボンド磁石原料として、最適な
磁石合金粉末を得ることができる。また、この発明は、
希土類元素の含有量が少なく、製造方法が簡単で大量生
産に適しているため、5kG以上の残留磁束密度Brを
有し、ハードフェライト磁石を超える磁気的性能を有す
るボンド磁石を提供できる。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B22F 1/00 B22F 9/04 C22C 38/00 H01F 1/053 H01F 1/06

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 組成式をFe100-x-y-zxyz (但
    しRはPrまたはNdの1種または2種)と表し、組成
    範囲を限定する記号x、y、zが下記値を満足し、体心
    正方晶Fe3P型結晶構造を有する鉄を主成分とするホ
    ウ化物相と、Nd2Fe14B型結晶構造を有する構成相
    とが同一粉末粒子中に共存し、各構成相の平均結晶粒径
    が5nm〜100nmの範囲にあり、平均粒径が3μm
    〜500μm、磁気特性がiHc≧3kOe、Br≧6
    kG、(BH)max≧7MGOeであることを特徴と
    する希土類合金粉末。 0.01≦x≦10at% 16≦y≦22at% 3≦z≦5.5at%
  2. 【請求項2】 組成式をFe100-x-y-zxyzw
    (但しRはPrまたはNdの1種または2種、MはAl
    またはSiの1種または2種)と表し、組成範囲を限定
    する記号x、y、z、wが下記値を満足し、体心正方晶
    Fe3P型結晶構造を有する鉄を主成分とするホウ化物
    相と、Nd2Fe14B型結晶構造を有する構成相とが同
    一粉末粒子中に共存し、各構成相の平均結晶粒径が5n
    m〜100nmの範囲にあり、平均粒径が3μm〜50
    0μm、磁気特性がiHc≧3kOe、Br≧7kG、
    (BH)max≧8MGOeであることを特徴とする希
    土類合金粉末。 0.01≦x≦10at% 16≦y≦22at% 3≦z≦5.5at% 0.1≦w≦3at%
  3. 【請求項3】 組成式をFe100-x-y-zxyz (但
    しRはPrまたはNdの1種または2種)と表し、組成
    範囲を限定する記号x、y、zが下記値を満足する合金
    溶湯を回転ロールを用いた超急冷法、スプラット急冷
    法、ガスアトマイズ法あるいはこれらを組み合せて急冷
    し、実質的に90%以上をアモルファス組織となし、さ
    らに熱処理の際に、Fe3P型結晶構造を有する鉄を主
    成分とするホウ化物相が析出する温度付近からの昇温温
    度を1℃/分〜15℃/分で昇温して620℃〜750
    ℃で10秒間〜6時間保持する熱処理を施し、Fe3
    型結晶構造を有する鉄を主成分とするホウ化物相と、N
    2Fe14B型結晶構造を有する構成相とが同一粉末粒
    子中に共存し、各構成相の平均結晶粒径が5nm〜10
    0nmの範囲にある微結晶集合体を得たのち、これを平
    均粒径3μm〜500μmに粉砕して磁石合金粉末を得
    ることを特徴とする希土類合金粉末の製造方法。 0.01≦x≦10at% 16≦y≦22at% 3≦z≦5.5at%
  4. 【請求項4】 組成式をFe100-x-y-zxyzw
    (但しRはPrまたはNdの1種または2種、MはA
    g、AlまたはSiの1種または2種)と表し、組成範
    囲を限定する記号x、y、z、wが下記値を満足する合
    金溶湯を回転ロールを用いた超急冷法、スプラット急冷
    法、ガスアトマイズ法あるいはこれらを組み合せて急冷
    し、実質的に90%以上をアモルファス組織となし、さ
    らに熱処理の際に、Fe3P型結晶構造を有する鉄を主
    成分とするホウ化物相が析出する温度付近からの昇温温
    度を1℃/分〜15℃/分で昇温して620℃〜750
    ℃で10秒間〜6時間保持する熱処理を施し、Fe3
    型結晶構造を有する鉄を主成分とするホウ化物相と、N
    2Fe14B型結晶構造を有す構成相とが同一粉末粒
    子中に共存し、各構成相の平均結晶粒径が5nm〜10
    0nmの範囲にある微結晶集合体を得たのち、これを平
    均粒径3μm〜500μmに粉砕して磁石合金粉末を得
    ることを特徴とする希土類合金粉末の製造方法。 0.01≦x≦10at% 16≦y≦22at% 3≦z≦5.5at% 0.1≦w≦3at%
  5. 【請求項5】 組成式をFe 100-x-y-z x y z (但
    しRはPrまたはNdの1種または2種)と表し、組成
    範囲を限定する記号x、y、zが下記値を満足する合金
    溶湯を回転ロールを用いた超急冷法、スプラット急冷
    法、ガスアトマイズ法あるいはこれらを組み合せて急冷
    し(但し回転ロールを用いた超急冷法の みの場合を除
    く)、実質的に90%以上をアモルファス組織となし、
    さらに熱処理の際に、Fe 3 P型結晶構造を有する鉄を
    主成分とするホウ化物相が析出する温度付近からの昇温
    温度を1℃/分〜15℃/分で昇温して620℃〜75
    0℃で10秒間〜6時間保持する熱処理を施し、Fe 3
    P型結晶構造を有する鉄を主成分とするホウ化物相と、
    Nd 2 Fe 14 B型結晶構造を有する構成相とが同一粉末
    粒子中に共存し、各構成相の平均結晶粒径が5nm〜1
    00nmの範囲にある微結晶集合体であり、かつ平均粒
    径3μm〜500μmの磁石合金粉末を得ることを特徴
    とする希土類合金粉末の製造方法。 0.01≦x≦10at% 16≦y≦22at% 3≦z≦5.5at%
  6. 【請求項6】 組成式をFe 100-x-y-z x y z w
    (但しRはPrまたはNdの1種または2種、MはA
    g、AlまたはSiの1種または2種)と表し、組成範
    囲を限定する記号x、y、z、wが下記値を満足する合
    金溶湯を回転ロールを用いた超急冷法、スプラット急冷
    法、ガスアトマイズ法あるいはこれらを組み合せて急冷
    し(但し回転ロールを用いた超急冷法のみの場合を除
    く)、実質的に90%以上をアモルファス組織となし、
    さらに熱処理の際に、Fe 3 P型結晶構造を有する鉄を
    主成分とするホウ化物相が析出する温度付近からの昇温
    温度を1℃/分〜15℃/分で昇温して620℃〜75
    0℃で10秒間〜6時間保持する熱処理を施し、Fe 3
    P型結晶構造を有する鉄を主成分とするホウ化物相と、
    Nd 2 Fe 14 B型結晶構造を有する構成相とが同一粉末
    粒子中に共存し、各構成相の平均結晶粒径が5nm〜1
    00nmの範囲にある微結晶集合体であり、かつ平均粒
    径3μm〜500μmの磁石合金粉末を得ることを特徴
    とする希土類合金粉末の製造方法。 0.01≦x≦10at% 16≦y≦22at% 3≦z≦5.5at% 0.1≦w≦3at%
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