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JP3241471B2 - リードフレーム - Google Patents
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JP3241471B2 - リードフレーム - Google Patents

リードフレーム

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JP3241471B2
JP3241471B2 JP35456992A JP35456992A JP3241471B2 JP 3241471 B2 JP3241471 B2 JP 3241471B2 JP 35456992 A JP35456992 A JP 35456992A JP 35456992 A JP35456992 A JP 35456992A JP 3241471 B2 JP3241471 B2 JP 3241471B2
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resin film
lead frame
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dam bar
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清貴 島田
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Shinko Electric Industries Co Ltd
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Shinko Electric Industries Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームに関し、
更に詳細にはアウターリードとモールド樹脂によって覆
われるインナーリードとの境界部にダムバーが設けら
れ、前記インナーリードと半導体チップが搭載される金
属製プレーンとが樹脂フィルムを介して一体に接合され
たリードフレームに関する。
【0002】
【従来の技術】通常、図に示す様に、リードフレーム
100には、搭載される半導体チップと接続される複数
本のインナーリード102が形成され、インナーリード
102の各々はダムバー106を介してアウターリード
104と連結されている。かかるリードフレーム100
に半導体チップを搭載し、半導体装置を製造する際に
は、図に示す如く、インナーリード102と樹脂フィ
ルム110を介して接合された金属製プレーン120
に、半導体チップ112を搭載した後、半導体チップ1
12をインナーリード102の先端とワイヤ114で接
続する。次いで、半導体チップ112、ワイヤ114、
及びインナーリード102の部分、即ちダムバー106
で囲まれた部分を樹脂モールドする。この際に、モール
ド金型116、118によって形成されたキャビティ内
に充填される樹脂が、リード間の間隙からアウターリー
ド104側に洩出しないように、ダムバー106が設け
られているのである。従来、かかるダムバー106は、
インナーリード102及びアウターリード104と同様
に金属製であるため、リード間の絶縁を確保すべく、樹
脂モールド後に、ダムバー106のリード間部分を切断
するタイバーカットが施される。
【0003】しかし、最近の様に、半導体チップの高集
積化等に伴うリードフレームの多ピン化要請に応えるべ
く、リードピッチがファイン化しつつある。このため、
樹脂モールド後のタイバーカット作業が困難になりつつ
ある。一方、この様なタイバーカット作業の必要のない
タイバーとして、予め所定の形状に形成されたプラスチ
ックタイバーの使用が試みられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】かかるプラスチックタ
イバーを使用することによって、タイバーカット作業を
不要とすることができる。しかしながら、リードフレー
ム毎に形成するリードの形状等が異なるため、使用する
リードフレームに合った形状のプラスチックタイバーを
予め形成しておくことが必要であり、プラスチックタイ
バーの管理が煩雑となる。しかも、リードピッチがファ
イン化されたリードフレームに、プラスチックタイバー
を挿入することは、極めて煩雑な準備作業となる。そこ
で、本発明の目的は、タイバーカット作業を不要とする
ことができ、且つ煩雑な管理や準備作業を不要にできる
リードフレームを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者は、前記目的を
達成すべく、検討を重ねた結果、インナーリードと接合
されている樹脂フィルム及び金属製プレーンをタイバー
近傍のアウターリード部分にまで延在させ、前記樹脂フ
ィルム上にソルダーレジストをスクリーン印刷で塗布し
てタイバーを形成することによって、容易にタイバーを
形成することができ、予め所定形状に形成したプラスチ
ックタイバーの如く、煩雑な管理や準備作業を不要にで
きることを見出し、本発明に到達した。すなわち、本発
明は、アウターリードとモールド樹脂によって覆われる
インナーリードとの境界部にダムバーが設けられ、前記
インナーリードと半導体チップが搭載される金属製プレ
ーンとが樹脂フィルムを介して一体に接合されたリード
フレームにおいて、該樹脂フィルムが前記アウターリー
ド部分にまで延在されて形成されていると共に、前記ダ
ムバーが、前記インナーリードとアウターリードとの境
界部の前記樹脂フィルム上に位置するリード間隙に形成
されたソルダーレジストや接着剤等の電気的絶縁性物質
から成り、モールド樹脂によって覆われる金属製プレー
ンの部分及び前記金属製プレーンの部分に対応する樹脂
フィルムの部分に、前記金属製プレーンと樹脂フィルム
とを貫通するスリット部が形成され、且つ前記金属製プ
レーンに形成されたスリット部の端縁にインナーリード
と接続される接続片が形成されていることを特徴とする
リードフレームにある。
【0006】かかる本発明において、樹脂フィルムと金
属製プレーンとの一方又は双方をダムバー近傍のアウタ
ーリード部分にまで延在することによって、最終的に得
られる半導体装置の放熱性を向上できる。更に、本発明
のリードフレームでは、アウターリード部分にまで樹脂
フィルムを延在しているため、樹脂フィルム上に位置す
るアウターリード部分に、テスト用パッドを形成するこ
とができる。かかるテスト用パッドの形成によって、ア
センブリが完了した後に、回路検査等で使用するプロー
ブをテスト用パッドに容易に押し当てることができ、回
路検査作業を容易化できる。
【0007】
【作用】本発明によれば、インナーリードに接合されて
いる樹脂フィルムをアウターリード部分にまで延して
あるため、樹脂フィルム上に位置し且つ所定位置に在る
リード間の間隙に、ソルダーレジストや接着剤等の電気
絶縁性物質から成るダムバーを形成できる。このた
め、予め所定形状に成形しておく従来のプラスチックダ
ムバーの如く、煩雑な管理や準備作業を必要とせず、容
易に電気絶縁性を有するダムバーを形成できる。
【0008】
【実施例】本発明のリードフレームを図面を使用して更
に詳細に説明する。図1は、本発明の一実施例を示す部
分断面図であり、リードフレームを構成するリード10
は、金属製プレーン18(以下、プレーン18と称する
ことがある)に搭載される半導体チップ22とワイヤ2
4によって接続されるインナーリード12と、外部回路
等に先端が接続されるアウターリード14とから成る。
本実施例のリードフレームにおいては、インナーリード
12とプレーン18とは、ポリイミド樹脂から成る樹脂
フィルム20(以下、フィルム20と称することがあ
る)を介して接合されている。このプレーン18とフィ
ルム20とは、ダムバー16近傍のアウターリード14
の部分にまで延されている。かかる延部分、つまり
ダムバー16からフィルム20及びプレーン18の端面
までの部分は、樹脂モールドの際に、モールド金型3
0、32によってクランプされる部分である。また、イ
ンナーリード12及び搭載された半導体チップ22は、
モールド金型30、32によって形成されるキャビティ
内に挿入され、モールド樹脂26内に封入される。尚、
インナーリード12とアウターリード14との境界部に
形成されたダムバー16は、モールド金型30、32に
よってクランプされる部分とキャビティとの境界部分と
なる。
【0009】本実施例におけるダムバー16は、図2に
示す様に、プレーン18に接着剤層34によって接合さ
れたフィルム20上に、接着剤層36によってリード1
0、10・・・が接合され、これらリード10の間隙に
ソルダーレジスト28が充填されて形成されている。か
かるダムバー16は、両面に接着剤層34、36が形成
されているフィルム20によってリード10とプレーン
18とを接合した後、ペースト状のソルダーレジストを
スクリーン印刷で所定位置に塗布することによって容易
に形成することができる。この様にダムバー16は、プ
レーン18とフィルム20とが重ねられた上に形成され
ているため、ソルダーレジストから成るダムバー16の
平面性及び剛性を向上することができる。また、本実施
例では、プレーン18がモールト樹脂で覆われることの
ないアウターリード14の部分まで延され、プレーン
18がモールド樹脂で覆われる図10に示す半導体装置
に比較して、半導体装置の放熱特性を向上できる。
【0010】図1に示すプレーン18は、電源プレート
又はグランドプレートとして使用するため、図3に示す
様に、モールド樹脂によって覆われるプレーン18の部
分及びこのプレーン18の部分に対応するフィルム20
の部分に、プレーン18とフィルム20とを貫通するス
リット38を形成し、且つプレーン18に形成したスリ
ット38の端縁にインナーリード12と接続する接続片
40を形成する。かかる図4に示すプレーン18を使用
することによって、図1及び図3に示す様に、電源リー
ド又はグランドリードとプレーン18とを接続片40を
介して接続し、プレーン18を電源プレート又はグラン
ドプレートとして使用でき、多層リードフレームを容易
に形成できる。また、図1及び図3に示すリードフレー
ムにおいては、モールド樹脂26によって覆われること
のないアウターリード14の一部分がフィルム20及び
プレーン18上に設けられており、図5に示す様に、フ
ィルム20及びプレーン18上のアウターリード14部
分にテスト用パッド42を形成することによって、アセ
ンブリ完了後の回路検査作業を容易化できる。
【0011】つまり、従来のリードフレームを使用した
半導体装置では、タイバーカットを施した後に回路検査
等がなされるため、アウターリードがばらついて回路検
査用プローブとの接触不良が発生し、検査ができなくな
ることがある。この点、図5に示すリードフレームで
は、アウターリード14の幅よりも広く且つ平坦性が良
好なテスト用パッド40がフィルム20に接合されてお
り、テスト用パッド40を固定できる。このため、回路
検査用プローブを確実にテスト用パッド40に接触で
き、検査を容易に行うことができるのである。また、プ
レーン18をアースすることによって、検査時のノイズ
を減少させることができ、更にプレーン18とリードと
の間のフィルム20の厚さ等を調整することによって、
特性インピーダンスを最適値に調整できるため、検査精
度を向上できる。
【0012】
【0013】図1に示すリードフレームのダムバー16
は、図2に示す様に、フィルム20上に接着剤層36に
よって接合されたリード10の間隙にソルダーレジスト
28が充填されて形成されているが、図(a)に示す
様に、ペースト状の接着剤を厚塗りして接着剤層36を
厚くしたフィルム20をリード10に押圧し、リード間
隙に接着剤を充填してもよい。また、図(b)に示す
様に、ペースト状の接着剤から成る接着剤層36が形成
されたフィルム20とフィルム44との間に、リード1
0を挟み込むことによって、リード間隙に接着剤を充填
してもよい。更に、図(c)に示す様に、フィルム2
0上に直接ソルダーレジスト28を塗布してリード間隙
にソルダーレジスト28を充填してもよい。この場合、
フィルム20上に薄くソルダーレジストを塗布してリー
ド10を固定した後、再度、ソルダーレジストを塗布す
ることによってリード間隙にソルダーレジストを充填で
きる。或いは、フィルム20に載置されたリード10上
から直接ソルダーレジストをスクリーン印刷等によって
塗布しても、図(c)の様に、リード間隙にソルダー
レジストを充填できる。
【0014】
【発明の効果】本発明によれば、ファインピッチ化され
たリードフレームにおいても、ダムバーカットを省略で
きるプラスチックダムバーを容易に形成できるため、リ
ードフレームのファインピッチ化等の要請に応えること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す部分断面図である。
【図2】図1に示すダムバーの内部構造を示す断面図で
ある。
【図3】図1に示すリードフレームを構成する電源プレ
ート又はグランドプレートとしてのプレーンとインナー
リードとの接続状態を示す。
【図4】図3に示すリードフレームを構成するプレーン
の部分正面図を示す。
【図5】アウターリードにテスト用パッドを設けた状態
を示す部分正面図である。
【図6】ダムバーの他の実施例を示す断面図である。
【図7】従来のリードフレームを説明するための正面図
である。
【図8】従来のリードフレームをモールド金型にクラン
プされた状態を示す部分断面である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/50 H01L 21/56 H01L 23/28

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アウターリードとモールド樹脂によって
    覆われるインナーリードとの境界部にダムバーが設けら
    れ、前記インナーリードと半導体チップが搭載される金
    属製プレーンとが樹脂フィルムを介して一体に接合され
    たリードフレームにおいて、 該樹脂フィルムが前記アウターリード部分にまで延在さ
    れて形成されていると共に、 前記ダムバーが、前記インナーリードとアウターリード
    との境界部の前記樹脂フィルム上に位置するリード間隙
    に形成されたソルダーレジストや接着剤等の電気的絶縁
    性物質から成り、 モールド樹脂によって覆われる金属製プレーンの部分及
    び前記金属製プレーンの部分に対応する樹脂フィルムの
    部分に、前記金属製プレーンと樹脂フィルムとを貫通す
    るスリット部が形成され、且つ前記金属製プレーンに形
    成されたスリット部の端縁にインナーリードと接続され
    る接続片が形成されてい ることを特徴とするリードフレ
    ーム。
  2. 【請求項2】 樹脂フィルムと金属製プレーンとの一方
    又は双方が、ダムバー近傍のアウターリード部分にまで
    延在されている請求項1記載のリードフレーム。
  3. 【請求項3】 樹脂フィルム上のアウターリード部分
    に、テスト用パッドが形成されている請求項1又は請求
    項2記載のリードフレーム。
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