JP3246785B2 - Crystal oscillator - Google Patents
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- Casings For Electric Apparatus (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、水晶発振器の構造に関
するもので、とくに超小型化と高安定化を可能とする水
晶振動子と発振器のパッケージ構造に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a crystal oscillator, and more particularly to a package structure of a crystal oscillator and an oscillator which can be miniaturized and highly stabilized.
【0002】従来技術における水晶発振器の構造を、図
面を用いて説明する。以下、図4と図5とを用いて説明
する。The structure of a conventional crystal oscillator will be described with reference to the drawings. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. 4 and 5.
【0003】図4は温度補償型水晶発振器を示す断面図
である。絶縁端子を有する金属やセラミックス材料から
なる基板11上に、水晶振動子駆動用の半導体集積回路
チップ(以下ICチップと記載する)13とコンデンサ
ー17とを設ける。このICチップ13はワイヤー23
にて基板11に結線する。FIG. 4 is a sectional view showing a temperature-compensated crystal oscillator. A semiconductor integrated circuit chip (hereinafter, referred to as an IC chip) 13 for driving a quartz oscillator and a capacitor 17 are provided on a substrate 11 made of a metal or a ceramic material having insulating terminals. This IC chip 13 is a wire 23
Is connected to the substrate 11.
【0004】水晶片15は、導電性接着剤37にて水晶
片支持板43に接続する。The crystal blank 15 is connected to a crystal blank support plate 43 by a conductive adhesive 37.
【0005】水晶片15とICチップ13とコンデンサ
ー17の各部品は、湿度の影響を防止するためと、電磁
シールドを行う必要のために、金属材料からなる蓋51
を接合剤39にて気密封止する。The components of the crystal blank 15, the IC chip 13, and the capacitor 17 are made of a metal cover 51 to prevent the influence of humidity and to perform electromagnetic shielding.
Is hermetically sealed with a bonding agent 39.
【0006】容器内雰囲気45は、不活性ガスが充填さ
れている。さらに、外部基板と水晶発振器との電気的接
続は、リード部29にて行う。The atmosphere 45 in the container is filled with an inert gas. Further, the electrical connection between the external substrate and the crystal oscillator is made at the lead portion 29.
【0007】図5は温度補償型水晶発振器の他の従来例
を示す断面図である。図4の従来例と異なる点は、水晶
片(図示せず)を収納する水晶振動子49は、専用の気
密容器に封入されていることである。FIG. 5 is a sectional view showing another conventional example of a temperature compensated crystal oscillator. The difference from the conventional example of FIG. 4 is that the quartz oscillator 49 for accommodating a quartz piece (not shown) is sealed in a dedicated airtight container.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】近年、水晶応用製品を
使用する各種電子製品は、携帯機器化の傾向が強まって
おり、ますます小型化、薄型化、高機能化している。そ
れに応じて、水晶発振器も小型化、薄型化はもちろんの
こと高安定化、表面実装化(SMD)が求められてい
る。In recent years, various electronic products using crystal-applied products have been increasingly used in portable devices, and are becoming smaller, thinner, and more sophisticated. Correspondingly, crystal oscillators are required to have high stability and surface mount (SMD) as well as miniaturization and thinning.
【0009】とくに普及が期待される携帯電話などでは
加入者の増加に伴い、通話時に必要な送受信用の周波数
が多数必要となる。しかるに電波は有限であるため、割
り当てられた周波数領域に多数の周波数を確保する必要
がある。[0009] In particular, for mobile phones and the like, which are expected to spread, a large number of transmission / reception frequencies required for telephone calls are required as the number of subscribers increases. However, since radio waves are finite, it is necessary to secure a large number of frequencies in the allocated frequency region.
【0010】したがって、上記の課題点を達成するため
に、携帯電話の周波数基準源である水晶発振器には、広
い範囲の温度下における周波数偏差の極小化と、周波数
の経年変化の極小化とが求められ、さらにそのうえ水晶
発振器の小型化も必須なことである。[0010] Therefore, in order to achieve the above-mentioned problems, a crystal oscillator, which is a frequency reference source of a cellular phone, requires minimization of a frequency deviation over a wide range of temperatures and minimization of aging of a frequency. In addition, miniaturization of the crystal oscillator is indispensable.
【0011】広い範囲の温度下における周波数偏差の極
小化は、水晶振動子の持つ固有な周波数偏差を発振回路
側で補正が可能であり、温度補償型水晶発振器として実
現している。The minimization of the frequency deviation over a wide range of temperatures is realized as a temperature-compensated crystal oscillator in which the inherent frequency deviation of the crystal unit can be corrected on the oscillation circuit side.
【0012】一方、周波数の経年変化の極小化と小型化
とは、水晶振動子自身の課題によるところが大きい。し
かしながら経年変化の極小化と小型化の点に関しては、
下記に記載する問題点を有している。On the other hand, minimization of the secular change of the frequency and miniaturization are largely due to the problem of the crystal resonator itself. However, regarding minimization of aging and miniaturization,
It has the problems described below.
【0013】図4に示す従来例では水晶片15は、蓋5
1内で露出した状態でありICチップ31とは近接して
いることから薄型、小型化に有利である。In the conventional example shown in FIG.
1 and is close to the IC chip 31, which is advantageous for thinning and miniaturization.
【0014】しかしながら、水晶片15の持つ周波数の
経年変化は、ICチップ13やコンデンサー17を固定
する接着剤からの放出ガスや、広い面積の基板11と蓋
51からの放出ガスにて、水晶片15の表面が汚染され
る。However, the secular change of the frequency of the crystal blank 15 is caused by the gas released from the adhesive fixing the IC chip 13 and the capacitor 17 and the gas released from the substrate 11 and the cover 51 having a large area. Fifteen surfaces are contaminated.
【0015】この結果、周波数の経年変化は、図6のグ
ラフのA線に示すように1ppm/年以下が求められる
が、前述の要因によりB線に示すように、周波数の経年
変化は1ppm/年を超える。As a result, the aging of the frequency is determined to be 1 ppm / year or less as shown by the line A in the graph of FIG. 6, but the aging of the frequency is 1 ppm / year as shown by the B line due to the above-mentioned factors. More than a year.
【0016】一方、図5の従来例では水晶振動子49
は、専用の容器に封入され、周波数の経年変化も測定済
みの完成品を設けている。On the other hand, in the conventional example shown in FIG.
Is enclosed in a special container and has a finished product whose frequency has been measured over time.
【0017】このため、図6のグラフのA線に示すよう
な良好な周波数の経年変化特性になっている。For this reason, a good frequency aging characteristic is obtained as shown by the line A in the graph of FIG.
【0018】しかし、水晶振動子49は専用の容器に封
入されているため、水晶発振器の小型化が難しく、水晶
発振器としてはその外形寸法が大きくなることは避けら
れない。However, since the crystal oscillator 49 is enclosed in a dedicated container, it is difficult to reduce the size of the crystal oscillator, and it is inevitable that the external dimensions of the crystal oscillator become large.
【0019】本発明の目的は上記課題を解決して、水晶
振動子の経年変化小さくし、さらに小型化、薄型化を達
成することが可能な水晶発振器を提供することにある。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a crystal oscillator capable of minimizing aging of a crystal resonator and achieving further miniaturization and thickness reduction.
【0020】[0020]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の発振器においては、下記記載の構成を採用す
る。To achieve the above object, the oscillator according to the present invention employs the following configuration.
【0021】本発明の発振器は、水晶片を気密封止する
第1の蓋と、水晶片の駆動に必要なICチップおよびコ
ンデンサーを覆う水晶発振器用の第2の蓋とを同一基板
上に設置することを特徴とする。In the oscillator of the present invention, a first lid for hermetically sealing a crystal blank and a second lid for a crystal oscillator for covering an IC chip and a capacitor required for driving the crystal blank are mounted on the same substrate. It is characterized by doing.
【0022】本発明の発振器は、水晶片を気密封止する
第1の蓋上に、その水晶片の駆動に必要なICチップを
設置し、第1の蓋とICチップとを覆う水晶発振器用の
第2の蓋は第1の蓋と同一基板上に設置することを特徴
とする。An oscillator according to the present invention comprises a first lid for hermetically sealing a crystal blank, an IC chip required for driving the crystal blank, and a crystal oscillator for covering the first lid and the IC chip. Is characterized in that the second lid is provided on the same substrate as the first lid.
【0023】[0023]
【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図1は本発明の第1の実施例における水晶発振器を
示す斜視図であり、図2は本発明の第1の実施例におけ
る水晶発振器を示す断面図である。なお、図1は第1の
蓋31と第2の蓋33とを設けていない状態を示し、図
2は第1の蓋31と第2の蓋33とを設けた完成状態を
示す。以下図1と図2とを交互に参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a crystal oscillator according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing a crystal oscillator according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a state where the first lid 31 and the second lid 33 are not provided, and FIG. 2 shows a completed state where the first lid 31 and the second lid 33 are provided. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. 1 and 2 alternately.
【0024】水晶片15を配置する部分の基板11には
必要により凹部を設け、水晶片15は導電性接着剤37
を用いて電極リード27に接続する。A concave portion is provided on the portion of the substrate 11 where the crystal blank 15 is to be disposed, if necessary.
Is used to connect to the electrode lead 27.
【0025】水晶振動子とするために、水晶片15の封
止用の第1の蓋31は、封止部35で基板11に気密封
止される。そして、この水晶片15を収納する容器内雰
囲気45は真空もしくは不活性ガス雰囲気とする。In order to form a crystal resonator, the first lid 31 for sealing the crystal piece 15 is hermetically sealed to the substrate 11 by a sealing portion 35. The atmosphere 45 in the container for accommodating the crystal blank 15 is a vacuum or an inert gas atmosphere.
【0026】水晶片15を気密封止する際の封止部35
の接合には、水晶片15への影響を配慮すれば気密性お
よび低温であることが重要であり、有機系接着剤や共晶
合金やシーム溶接などが用いられる。Sealing portion 35 for hermetically sealing crystal blank 15
It is important that the airtightness and low temperature are important in consideration of the influence on the crystal blank 15, and an organic adhesive, a eutectic alloy, seam welding, or the like is used for bonding.
【0027】一方、第1の蓋31と基板11の接合面1
9との材質は、接合方法により金属やセラミックスもし
くはガラスが用いられる。On the other hand, the bonding surface 1 of the first lid 31 and the substrate 11
As the material 9, metal, ceramics, or glass is used depending on the joining method.
【0028】上記の説明のように水晶振動子は基板11
に単独容器として構成されるため、極めて薄型の水晶振
動子構造が達成できる。As described above, the quartz oscillator is mounted on the substrate 11.
Since it is configured as a single container, a very thin crystal resonator structure can be achieved.
【0029】水晶振動子の周波数の経年変化はこの第1
の蓋31を設けた段階で確認し、図6のグラフのA線の
ように良好な特性が達成できる。The aging of the frequency of the crystal oscillator is determined by the first
It is confirmed at the stage where the lid 31 is provided, and good characteristics can be achieved as indicated by the line A in the graph of FIG.
【0030】一方、水晶振動子駆動用のICチップ13
とコンデンサー17は、基板11上に配置され、ICチ
ップ13はワイヤー23でパッド25に接続されてい
る。On the other hand, an IC chip 13 for driving a quartz oscillator
And the capacitor 17 are arranged on the substrate 11, and the IC chip 13 is connected to the pad 25 by a wire 23.
【0031】本実施例ではICチップ13とパッド25
との接続は、ワイヤー23を用いた接続の例を記してい
るが、導電性接着剤や共晶合金などによる直接接続も可
能である。In this embodiment, the IC chip 13 and the pad 25
Although the example of the connection using the wire 23 is described as the connection with, a direct connection using a conductive adhesive, a eutectic alloy, or the like is also possible.
【0032】基板11上に設置した水晶片15を覆う第
1の蓋33とICチップ13とにコンデンサー17と
は、第2の蓋33にて被覆する。The capacitor 17 is covered with the first lid 33 and the IC chip 13 which cover the crystal blank 15 placed on the substrate 11 with the second lid 33.
【0033】この第2の蓋33を設ける目的は、電磁シ
ールドと容器内雰囲気47の安定化のためである。The purpose of providing the second lid 33 is to stabilize the atmosphere 47 in the container and the electromagnetic shield.
【0034】ここで、ICチップ13を樹脂モールドす
れば、第2の蓋33内は気密封止が不要で、容器内雰囲
気47は大気雰囲気でも良い。Here, if the IC chip 13 is resin-molded, the inside of the second lid 33 does not need to be hermetically sealed, and the atmosphere 47 in the container may be an air atmosphere.
【0035】本実施例では第2の蓋33は、気密封止し
た場合の例であり、第2の蓋33の基板11への接合は
接合部39で行われ、低温接合がされる。In the present embodiment, the second lid 33 is an example in which the second lid 33 is hermetically sealed. The joining of the second lid 33 to the substrate 11 is performed at the joining portion 39 and low-temperature joining is performed.
【0036】つぎに本発明の第2の実施例における水晶
発振器の構成を、図3の断面図を用いて説明する。Next, the structure of a crystal oscillator according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the sectional view of FIG.
【0037】基板11に水晶片15を配置する凹部を設
け、水晶片15は導電性接着剤37にて固着してある。A concave portion for disposing the crystal blank 15 is provided on the substrate 11, and the crystal blank 15 is fixed by a conductive adhesive 37.
【0038】第1の蓋31を基板11に封止部35で接
合し、水晶片15を収納する容器内雰囲気45は、前記
の第1の実施例と同じく真空もしくは不活性ガス雰囲気
にしてある。The first lid 31 is joined to the substrate 11 at the sealing portion 35, and the atmosphere 45 in the container for accommodating the crystal blank 15 is a vacuum or an inert gas atmosphere as in the first embodiment. .
【0039】第1の蓋31基板11との接合方法やそれ
らの材質は、前述の図1と図2とを用いた説明と同様で
ある。The method of bonding the first lid 31 to the substrate 11 and the materials thereof are the same as those described above with reference to FIGS.
【0040】ICチップ13は第1の蓋31上に接合剤
41を用いて設置し、ワイヤー23を用いて基板11に
接続する。The IC chip 13 is placed on the first lid 31 using a bonding agent 41 and connected to the substrate 11 using wires 23.
【0041】このように、ICチップ13を第1の蓋3
1上に設けると、平面方向の外形寸法が小さくなり水晶
発振器の小型化が可能である。第2の蓋33はそのIC
チップ13上を覆う形で設ければ良い。As described above, the IC chip 13 is attached to the first lid 3.
1, the external dimensions in the planar direction are reduced, and the crystal oscillator can be miniaturized. The second lid 33 is the IC
It may be provided so as to cover the chip 13.
【0042】[0042]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば水晶振動子の容器の絶縁端子は発振器の基板と併
用し、かつ水晶片は単独にて第1の蓋にて気密封止を行
う。As is apparent from the above description, according to the present invention, the insulating terminal of the crystal oscillator container is used together with the oscillator substrate, and the crystal piece is hermetically sealed by the first lid alone. Stop.
【0043】このため、容器の体積が小さくなり水晶片
以外からのガスや水分などの影響が軽減し、水晶片の周
波数経年変化が低く抑えられ、年1ppm以下と高性能
な水晶発振器が実現できる。またさらに、基板は水晶振
動子と発振器を併用しているため、薄型化できる。For this reason, the volume of the container is reduced, the influence of gas and moisture from other than the crystal piece is reduced, the frequency aging of the crystal piece is suppressed low, and a high performance crystal oscillator of 1 ppm or less per year can be realized. . Further, since the substrate uses both the crystal oscillator and the oscillator, the thickness can be reduced.
【0044】さらに請求項2においては、第1の蓋上に
半導体集積回路チップを設置しており、さらなる小型化
が可能である。Further, in the second aspect, the semiconductor integrated circuit chip is provided on the first lid, so that further miniaturization is possible.
【0045】さらに発振器の気密封止を行えば、水晶振
動子は二重封止されることになる。このため、長期の周
波数経年変化はなお一層改善することができる。この結
果、本発明の発振器は、小型化、薄型化、高安定化の水
晶発振器に対し大きな効果を有する。Further, if the oscillator is hermetically sealed, the quartz oscillator is double-sealed. Therefore, long-term frequency aging can be further improved. As a result, the oscillator of the present invention has a great effect on a small, thin, and highly stable crystal oscillator.
【図1】本発明の第1の実施例における水晶発振器の構
造を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a structure of a crystal oscillator according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第1の実施例における水晶発振器の構
造を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the crystal oscillator according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第2の実施例における水晶発振器の構
造を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a structure of a crystal oscillator according to a second embodiment of the present invention.
【図4】従来例の実施例における水晶発振器の構造を示
す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a structure of a crystal oscillator according to a conventional example.
【図5】温度補償型水晶発振器の他の従来例を示す断面
図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another conventional example of a temperature compensated crystal oscillator.
【図6】本発明を説明するための周波数経年変化を示す
グラフである。FIG. 6 is a graph showing frequency aging for explaining the present invention.
11 基板 13 半導体集積回路チップ 15 水晶片 31 第1の蓋 33 第2の蓋 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Substrate 13 Semiconductor integrated circuit chip 15 Quartz piece 31 First lid 33 Second lid
Claims (2)
導体集積回路チップを基板上に設置する水晶発振器であ
って、 前記水晶片を気密封止する第1の蓋と、前記半導体集積
回路チップ及び前記第1の蓋を覆う第2の蓋とが前記基
板上に設けられている ことを特徴とする水晶発振器。1. A crystal blank and a half for driving the crystal blank.
A crystal oscillator in which a conductor integrated circuit chip is placed on a substrate.
A first lid for hermetically sealing the quartz piece;
A circuit chip and a second lid for covering the first lid,
A crystal oscillator provided on a plate .
水晶片の駆動に必要な半導体集積回路チップを設置し、
前記第1の蓋と前記半導体集積回路チップとを覆う水晶
発振器用の第2の蓋は前記第1の蓋と同一基板上に設置
することを特徴とする水晶発振器。To 2. A on the first lid for hermetically sealing crystal blank, set up a semiconductor integrated circuit chip necessary for driving of the <br/> crystal piece,
Wherein the first lid and the semiconductor integrated circuit a second lid for crystal oscillator covering the chip crystal oscillator, characterized in that installed in the first cover and the same substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03431693A JP3246785B2 (en) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | Crystal oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03431693A JP3246785B2 (en) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | Crystal oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06232631A JPH06232631A (en) | 1994-08-19 |
| JP3246785B2 true JP3246785B2 (en) | 2002-01-15 |
Family
ID=12410763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03431693A Expired - Fee Related JP3246785B2 (en) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | Crystal oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3246785B2 (en) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5500628A (en) † | 1995-01-24 | 1996-03-19 | Motorola, Inc. | Double-sided oscillator package and method of coupling components thereto |
| JP2002335128A (en) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Seiko Epson Corp | Piezo device |
| JP4014967B2 (en) | 2002-08-09 | 2007-11-28 | 日本電波工業株式会社 | Crystal oscillator for surface mounting |
| JP4587730B2 (en) * | 2004-07-27 | 2010-11-24 | 京セラ株式会社 | Piezoelectric vibrator storage package and piezoelectric device |
| KR100703212B1 (en) * | 2005-12-14 | 2007-04-06 | 삼성전기주식회사 | Shielding Structure of Crystal Oscillator |
| JP2010153966A (en) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Surface mount crystal oscillator |
| JP2011233977A (en) * | 2010-04-23 | 2011-11-17 | Daishinku Corp | Piezoelectric oscillator |
| WO2017110727A1 (en) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 株式会社村田製作所 | Piezo-oscillator and piezoelectric oscillation device |
| JP7419748B2 (en) | 2019-10-29 | 2024-01-23 | セイコーエプソン株式会社 | Vibration devices, electronic equipment and moving objects |
-
1993
- 1993-01-29 JP JP03431693A patent/JP3246785B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06232631A (en) | 1994-08-19 |
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