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JP3247382B2 - 緻密なポリテトラフルオロエチレン製品及びそれらの製造方法 - Google Patents
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JP3247382B2 - 緻密なポリテトラフルオロエチレン製品及びそれらの製造方法 - Google Patents

緻密なポリテトラフルオロエチレン製品及びそれらの製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、延伸ポリテトラフルオロエチレンの特徴と
するノード（node）及びフィブリル（fibril）構造を保
持する新しい種類の延伸ポリテトラフルオロエチレンに
関し、且つ加熱、加圧及び排気を用いた延伸PTFEの個々
の薄いシートの結合及び同時に緻密化を含むそれらの製
造方法に関する 発明の背景 フルオロポリマーは、それらの水素の一部或いは全て
がフッ素で置き換えられる非常に不活性なパラフィン系
ポリマーであることで特徴づけられる。通常のフルオロ
ポリマー、特にポリテトラフルオロエチレン（PTFE）
は、多くの慣用の高分子物質が分解するあろう苛酷な化
学的環境に使用する物質として効用を示す。PTFEは、ま
た260℃程度の高さから約−273℃程度の低さまでの実用
温度範囲を有する。
しかしながら、PTFEは、低い引張り強度と劣った低温
塑性流れ特性といったのような不十分な機械的性質を示
す。特に、固体PTFEフィルムを厚い製品から削いだり或
いは裂いたりするスカイビング処理により作られる低多
孔質PTFEフィルムは、不十分な強度と柔軟性とを示し、
したがって、ネオプレンゴムのような非常に柔軟な物質
と単体の構造で張り合わせることができない。これらの
不十分な機械的性質が、多くの状況においてPTFEの用途
を限定する。
PTFEは、米国特許第3,953,566号に教示されるように
延伸多孔質形態で生産することが可能である。この物
質、すなわち延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレン
は、非常に小さいフィブリルにより相互に連結されたノ
ードから成る微細構造を有し、PTFEの化学的不活性と広
範な有効温度範囲を維持しながら、延伸されていないPT
FEより高い強度を有する。
しかしながら、ePTFE（延伸ポリテトラフルオロエチ
レン）は、例えば、50dynes/cm未満の低表面張力を有す
る液体をその孔を通して急速に吸収できるので、化学物
質に対するバリアー層として使用することができない。
ePTFEのノードとフィブリルとの構造による高い強度を
保持する実質的に多孔質でない緻密化ePTFEから、種々
の厚さのフィルム、シート或いは形状を作る方法は、し
たがって、苛酷な化学物質のバリアーとして幅広い実用
性を有する。
緻密ePTFE構造は、米国特許第3,953,566号に教示され
ていて、この特許においてプラテンプレスが、加熱した
或いは加熱しない状態の非常に薄いePTFEシートを緻密
にするために使用されるが、多層を使用して行う場合、
延伸構造或いは層の間に空気の捕獲を生じるので、高緻
密化は、出発シートより大きい厚みを有する構造では達
成されない。また、低温塑性流れがプレス中で生じる結
果、不均一な形状の最終製品を得ることになる。また、
緻密EPTFE構造が、Cooper等の米国特許第4,732,629号に
記載されているが、用いた方法は、厚いフィルムでは高
い密度にすることができなく、やはり、空気がePTFE積
層の微細な構造内に捕獲され、低密度となる。Katayama
の米国特許第5,061,561号は、ePTFEから高密度を有する
繊維を作る本発明で使用すると同様の方法を開示してい
るが、この方法は、345℃と380℃の示差走査熱量測定
（DSC）ピークにより証明されるような本発明のそれと
は著しく相違する物質を生じる。さらに、Katayamaの方
法は相違し、且つ微細フィラメントのみに適用できる
が、シート或いは成形された形状には適用できない。
発明の概要 本発明は、製造方法と生成物の双方を含んでなる。本
製造方法は、緻密化ePTFEの成形製品を製造する方法で
あって、加熱及び加圧に対して安定で柔軟性のある容器
内に、延伸多孔質PTFEの層を２層以上配置する工程、容
器内の圧力が水銀柱で13インチ以下、好ましくは20イン
チ以下になるまで容器の内側からガスを排気する工程、
その後、150〜350psiの間の圧力まで少なくとも368℃、
好ましくは368℃と400℃の間の温度にその柔軟性のある
容器を曝す工程、次に、容器内の圧力を減圧しているあ
いだ容器を冷却する工程、及び緻密化ePTFEを回収する
工程とを含んでなる。緻密化PTFE層は、布帛物質の強化
層を１層以上含むことができる。
一つの好ましい実施態様において、この方法は、十分
な厚さと、単独で或いは次に示す構成により他の物質と
張り合わせる場合の双方共バリアー層としそれらの使用
を可能にする十分低い気孔率を有する緻密化ePTFEのフ
ィルム、シート及び成形製品を製造するための方法であ
り、これらの方法は、 （ａ）任意の、すなわち、少なくとも２枚の多孔質ePTF
Eフィルムの個々のシートを、380℃を越える温度と250p
si以下の圧力に耐えることができるプレート上に層にす
る工程、 （ｂ）第２のプレートを前記フィルム層の頂部を覆て置
く工程、 （ｃ）380℃程度の温度で数時間安定であるポリイミド
フィルム或いは他の柔軟性フィルムで作られたバッグの
内部に前記ePTFEシートを含んでなる前記２枚のプレー
トを配置する工程と、 （ｄ）バッグをホース接合部にはめ込み、オートクレー
ブ内に集合体を配置する工程と、 （ｅ）前記バッグ内を真空に排気する工程、及び前記eP
TFEの前記焼成温度に達するまで且つ150〜350psi、好ま
しくは200〜250psiの圧力に達するまでの時間にわたり
前記オートクレーブ内の前記温度と圧力を次第に上昇す
る工程、 （ｆ）約10分から４時間の適切な時間の後、圧力を次第
に減少する間に前記オートクレーブを冷却する工程、 （ｇ）前記バッグを前記オートクレーブから取り出す工
程、及び前記ePTFEを前記ブック及びプレートから取り
出す工程とを含む。
別の好ましい態様において、本方法は、前述と同様の
バリヤー特性を有し、且つＸとＹ方向とにさらに高い強
度を有するような強化した緻密ePTFE製品を製造するた
めの方法であって、次の、 （ａ）任意の、すなわち、少なくとも２枚の多孔質ePTF
Eフィルムの個々のシート、及びGoreの米国特許第3,96
2,153号に記載されるように用意される多孔質PTFEフィ
ラメントから作られる織布の少なくとも１シートを、38
0℃を越える温度と250psi以下の圧力に耐えることがで
きるプレート上に層にする工程（布帛は、ePTFEの層の
間にサンドイッチ状にはさまれる。）、 （ｂ）その後、本明細書の前述の好ましい態様に概要を
述べた手順を続けることを含んでなる。
別の実施態様において、プレートは、適当な金属のあ
る形をした形態とし、その周囲にテープを巻き付けてか
ら、バッグ中に密閉し、上記条件に曝すことができる。
オートクレーブチャンバーは、加熱、加圧或いは双方
の下に置かれた層から空気及びガスを排気することが可
能である真空密閉容器を装備したプラテンプレスと代え
うることは理解できる。
本発明の一つの生成物は、焼結されて、緻密化され、
前もって延伸されたポリテトラフルオロエチレンから実
質的になる物質であり、10℃/minの温度上昇の間の示差
走査熱量測定による示差熱分析曲線の約327℃と380℃と
のピークにより、且つ2.1、好ましくは2.14gm/cc或いは
それ以上の密度を有することにより特徴づけられるよう
なフィブリルとノード構造の残留物を示す。緻密化PTFE
は、織られた延伸多孔質PTFE繊維からなる布帛のような
布帛物質の強化層を一層以上含んでもよい。
本発明のもう一つの生成物は、柔軟なエラストマーで
あるポリマーにラミネートした一層の緻密化ePTFEから
作られたポンプのダイアフラムである。
図面の簡単な説明 図１は、本発明の物質の示差走査熱量測定の示差熱分
析曲線であり、10℃/minの速度での温度上昇の課程を示
す。
図２は、本発明の緻密化生成物を用いて製作したポン
プのダイヤフラムを表す。
図３は、図２の線分３−３に沿う横断面部である。
図４は、本発明の積層構成物の横断面部であり、40A
と40Bは、延伸多孔質PTFE繊維で作られた織布の強化層4
1により隔てられる緻密化PTFE層である。
発明の詳細 本発明の方法は、引例に加えたGoreの米国特許第3,95
3,566号に記載されたような延伸ポリテトラフルオロエ
チレン（ePTFE）（強化布面が有るか或いは無い場合）
を含む複数のシート又はテープの結合と同時の緻密化か
ら成る。真空下で結合し且つ緻密にする本方法は、初め
てePTFE内の細孔全てを実質的になくすことを可能に
し、もう一方でプラテンプレスにおいて発生するよう
な、物質の流動による厚さの減少及び／又は実質的な形
状変化を防止する点で新規である。さらに、327℃と380
℃のDSCピークにより証明されるようにもとのePTFEのノ
ード（node）とフィブリル（fibril）からなる構造が保
持される。
使用したePTFEは、最終製品に対して望まれる方向の
強度を最大にするように選択される。すなわち、Ｘ−Ｙ
面に所定の強度を有する最終部品を製作するため、積層
全てを、一方向に延伸してもよく、或いは積層を二方向
に延伸してもよく、又は二方向以上に積み重ねてもよ
い。本発明は、結合し且つ緻密にした積層の枚数を限定
しない。
緻密化は、15分から４時間にわたり、且つ150psi程度
から350psi程度の圧力及び330℃から390℃の温度域で、
時折変化して達成され得る。当業者は、成形される物体
の厚さと最適の時間、温度及び圧力との間に相互関係が
あることを認めるであろう。特に、過度に高い温度或い
は長い時間は、ePTFEに元から存在するノードとフィブ
リルとの構造の消失をもたらし、それによって、PTFEの
物理的性質のより劣ったものに戻してしまうことが理解
される。逆に、強くない工程条件は、単に部分的な緻密
化、及びある場合には、部分的に緻密にされた芯を覆う
緻密物質の被膜形成を生じる。これらの場合、完成品
は、常でないがしばしば外観が上不均一になる。
緻密化ePTFE構造は、優れた曲げ寿命を必要とするポ
ンプ用途の複合ダイヤフラムを製作するに有益である。
ePTFE構造は、柔軟な裏地に、好ましくはエラストマー
に安全に張りつけられる。
図２に、モールドされた形状の複合ダイヤフラム10を
示す。複合ダイヤフラム10は、本発明のダイヤフラムを
往復運動させる手段に、ダイヤフラムを取り付けるため
の中央貫通穴11を有する。
さらに図２に示す複合ダイヤフラムは、凸区画12と凹
区画13を含んでなる。ダイヤフラムの凸凹区域の形状及
び配置は、ダイヤフラムを配置する製品の設計必要事項
に依存する。
複合ダイヤフラムを製造するには、モールド方法で実
施することができる。本発明のダイヤフラムを含んでな
る層が、所望の形状の型に配置される。この層を収容す
る型は、次に、層が型に一致し且つ型から取り外され所
望の形状を維持するように、プレスモールド法、オート
クレーブモールド法、回転モールド法、真空成形法或い
は熱成形法により十分な加熱と圧力が加えられる。
次に図３に、線分３−３に沿う図２のダイヤフラムの
横断面図を示す。ダイヤフラムの複合特性がより容易に
明らかである。数字23は、緻密化ePTFE層を示し、一方2
2は柔軟なエラストマー層を示す。ダイヤフラムの裏側
面20に、同心円に配列された一連のエラストマーリブ21
が、柔軟なエラストマー層22に形成される。これらのリ
ブは、ダイヤフラムが使用される時に交互に曲るダイヤ
フラムの一部分に設けられる。
このリブがダイヤフラムの往復運動に伴う力を、ePTF
E層に小数本の（通常４〜８本）深い折り目を形成させ
ることなく、むしろ多くの浅い放射状の折り目を形成す
るように分布させる。深い放射状の折り目は、ePTFE層
を非常に弱くするので、これは実質的にダイヤフラムの
磨耗寿命を引き延ばす。ePTFE層内よりもむしろ、エラ
ストマー層内へのリブの配置が、より大きな設計自由度
を可能にする。
本発明のダイヤフラムの一つの好ましい実施態様で
は、柔軟性ポリマーが、水素を含有するものと水素を含
有しないものとを含むフルオロエラストマー、パーフル
オロエラストマー、及びシリコーン成分、ニトリルエラ
ストマー、アクリルエラストマー、オレフィンジエンエ
ラストマー、クロロスルホン化ポリエチレンエラストマ
ー、ポリクロロプレンエラストマー、ブチル及びハロゲ
ン化ブチルエラストマー、スチレン−ブタジエンエラス
トマー、ポリジエンエラストマー、及びシリコーンエラ
ストマーを含有するフルオロエラストマーから成る組か
ら選択される熱硬化性エラストマーである。前記の組の
熱硬化性エラストマーは、1400MPa未満の曲げ弾性係数
（ASTM D790−84a）を有することが好ましい。
本発明のダイヤフラムのもう一つの好ましい実施態様
では、柔軟性ポリマーが、コーポリエーテルエステルエ
ラストマー、ポリウレタンエラストマー、スチレンポリ
オレフィンブロックコーポリマーエラストマー、ポリア
ミドエラストマー、エチレンコーポリマーエラストマー
及びCoran等の米国特許第4,130,535号に記載されている
ような、硬化性エラストマー及びプラスチックの混合に
よって、熱可塑性エラストマー複合材が生じる動的加硫
の方法により製造される熱可塑性エラストマーから成る
組から選択された熱可塑性エラストマーである。前記の
組の熱可塑性エラストマーは、1400MPa未満の曲げ弾性
係数（ASTM D790−84a）を有する。
本発明のダイヤフラムのもう一つの好ましい実施態様
では、柔軟性ポリマーが、1400MPa未満の曲げ弾性係数
（ASTM D790−84a）を有する熱可塑性ポリマーであ
り、且つテトラフルオロエチレンのコーポリマーから成
るフッ素化熱可塑性物、フッ化ビニリデンのコーポリマ
ー、クロロトリフルオロエチレンのコーポリマー、ポリ
オレフィン、及び可塑化ポリビニルクロライドから成る
組から選択される。
試験方法 示差走査熱量測定 試料の熱分析は、示差走査熱量測定を使用して測定さ
れる。約10mgの試料を、示差走査熱量測定装置に取り付
け、試料の温度は、200℃から400℃まで間を10℃/minの
走査速度で上昇させる。
密度測定 密度は、既知面積と厚さの試料を計量して計算した。
MIT柔軟性試験 1/2インチ幅のストリップ試料は先端部が固定され、
３ポンドの重りが試料の上端部に取り付けられる。スト
リップは、278サイクル／分の速度で270度の半径範囲に
曲げられる。試料は、割れにより破壊するまで試験され
た。
Mullins破裂試験 ASTM Ｄ−3786−87試験法が用いられる。この方法の
区分8.11〜8.14に規定される液圧で作動するダイヤフラ
ム型破裂試験機を用いた。
破断応力 これは、最狭部が0.6インチで長さ６インチの犬の骨
状のASTM承認ダイを使用するASTM−Ｄ−638,ASTM−Ｄ−
882により測定される。クロスヘッド速度は20インチ／
分に設定され、試験方向は、“上向きで、用いた掴み面
は１インチより大きくした。破断応力は、試料破断点で
ポンドで読み取った引張り強度である。
実施例 実施例１ 各層公称１ミルの厚みを有する焼成延伸PTFEの45層
を、ポリイミドフィルム（DuPont社の商標登録名Kapto
n）で集成したオートクレーブバッグ内の二つの当て板
の間に配置した。集成体は、オートクレーブ（Vacuum
Press International シリーズ24）内に配置され、バ
ッグ内を真空に引き、オートクレーブ内の圧力と温度が
各々、368℃と250psiに達するまで、55分間の時間をか
けて次第に上昇された。これらの条件で45分間保持した
のち、集成体は次第に冷却され、圧力は約45分間の時間
をかけて減少された。元は不透明であった得られたシー
ト物質は、半透明になり且つ2.175g/ccの密度を有し、
その示差熱分析曲線は、図１に示すように約380℃と327
℃でピークを示した。
比較例Ａ 約175cmの貼り合わせ厚さを持つ48層の延伸PTFE膜が
集成され、6.35cmの円形試料がそれから型抜きされた。
試料は、その後室温のプラテンプレス内に入れられる二
つの研磨された４インチ平面アルミニウム割り型の間に
配置された。試料は48,000psiで１時間圧縮されその後
取り出された。得られた部片は色は乳白色であり、1.99
g/ccの密度或いは8.33％の気孔率を有していた。試料
は、また低温塑性流れにより7.24cmの直径まで成長する
ことが観察された。
比較例Ｂ 比較例Ａに類似の試料が用意された。今回は、２イン
チの直径の部片を割り型の間に配置し、50.0001bの圧力
が、191℃の温度で15分間負荷された。得られた部片
は、円盤のほとんどが乳白色であり、縁部から約1/8イ
ンチまでがほぼ半透明であった。試料は、直径を0.4375
インチ増加することが明らかとなった。密度が測定さ
れ、1.93g/cc或いは10.7％の気孔率になることが判明し
た。実施例１より高い温度は、より大きいクリープを生
じ、より多くの空気を捕獲するようであり、これが低密
度であることを説明するものである。
比較例Ｃ 比較例Ｂと類似の試料を用意して、Carver型式Ｍのプ
レス内の割り型の間に、330℃で6400psiの圧力で16分間
置かれた。得られた部片は、ほぼ半透明な縁部を除き、
乳白色であった。試料は直径が10％成長した（面積では
20％より大）。密度が測定され、2.08g/cc、或いは4.35
％の気孔率に成ることが明らかとなった。
実施例２ 実施例１で製造した材料のシートの一部分を次の方法
でさらに処理した。すなわち、 シート材料を、試料をアルカリナフタネート溶液（メ
リーランド州ElktonのW.L.Gore ＆ Associates社から
入手できるTetra Etch（登録商標）エッチング剤）中
に30秒間浸漬することによりエッチングをした。10イン
チ直径の円形部片が、このエッチングしたシートから切
り出された。イソシアネート（ペンシルバニア州Erieの
Lord Corporationから入手できるChemlok250）を含有
する接着剤の30％トルエン溶液を、エッチングしたシー
トの一表面に刷毛塗りし、乾燥した。
4.2mm厚さのエラストマーポリマー（デラウエア州Wil
mingtonのE.I.du Pont de Nemours ＆ Co.から入
手できるネオプレンGKを基本とするネオプレン配合物）
の一層を、接着剤が先に塗布されているエッチングした
シートの表面に当てた。軽い圧力を加えそれによりダイ
ヤフラムプレフォームを形成させながら、約30秒間93℃
の温度に加熱されたプラテンプレスに両方の層を置くこ
とにより、エラストマー物質の層は、エッチングされた
シートの表面で接着された。
ダイヤフラムプレフォームは、望みの形状を有する型
内に配置された。次に、型は、プラテンプレス内に置か
れ170℃の温度で20分間7580MPaの圧力が負荷された。型
は、なお加圧下で70℃まで冷却された。
得られたダイヤフラムは、型から取り外され、余分な
物質がダイヤフラムから切り取られた。ダイヤフラムは
往復運動するポンプ（Wilden Manufacturingから入手
可能なWilden M4）に取り付けられ、66サイクル／分の
速度で127cmの揚程に対して、400Nの空気圧で作動され
た。ダイヤフラムは、その層の一つに穴が発生するか、
或いは穴が現れそうになるまで、往復運動するポンプ中
でサイクルを重ねた。
本発明のダイヤフラムは、破断なしに14,800,000サイ
クルを達成した。
実施例３ Goreの米国特許第3,962,153号に記載された方法で用
意されるフィラメントから作られた一枚の織布が、約0.
026cmの貼り合わせ厚さを有する８層のGORE−TEX膜と、
約0.023cmの貼り合わせ厚さを有する７層のGORE−TEX膜
との間にサンドイッチにされた。この集成体は、次に当
て板の間に置かれ、実施例１のように処理された。得ら
れたシートは半透明であり、2.23g/ccの密度であった。
実施例４ 試料は、前記試料３と同様に用意されたが、布帛には
PTFEファインパウダーの水性分散液が塗布され、乾燥し
て368〜380Cの温度で約５分間焼成された。得られた布
帛は、この処理によりPTFEの重量で60％増加した。オー
トクレーブで処理した場合、この試料は2.19g/ccの最終
密度を有し、実施例３より大きな剥離力を示し、PTFEが
この処理において粘着接着剤として作用することが示さ
れた。
補強を示す比較 実施例１、３及び４の材料は、破断時での応力及びMu
llins破裂強度が測定された。後述の表に示すように、
オートクレーブ工程は、ePTFE繊維を用いてさらに強化
した材料を作成することが可能である。
本発明の他の実施態様が、本明細書の考察及びここに
開示した本発明の実施から当業者には明らかである。明
細書および実施例は、単に模範的に考慮したものであ
り、本発明の真の範囲及び精神は、次の請求項により示
される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｂ２９Ｌ 31:26 Ｂ２９Ｌ 31:26 (72)発明者 デラニー，ウィリアム イー. アメリカ合衆国，デラウェア 19707, ホッケッシン，マコーミック ドライブ ４ (72)発明者 コネリー，ジョン エム. アメリカ合衆国，メリーランド 21911, ライジング サン，クリー テラス 61 (56)参考文献 特開 昭56−148536（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−197122（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−174452（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−215050（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−60760（ＪＰ，Ａ) 実公 昭40−19531（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭48−11577（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B29C 43/02 - 43/56 B29C 67/20 B32B 27/30 C08J 9/00 F16J 3/02

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】10℃／分の温度上昇の示差走査熱量測定の
    示差熱分析曲線において約327℃と約380℃とのピークに
    よって特徴付けられるノードとフィブリルとの構造の残
    留物を有し、かつ2.10gm/cc以上の密度を有し実質的に
    ボイドのない焼成緻密化延伸ポリテトラフルオロエチレ
    ンから本質的に成る材料。
  2. 【請求項２】前記材料が2.14gm/cc以上の密度を有する
    請求項第１項に記載の材料。
  3. 【請求項３】加熱及び圧力に安定で柔軟性のある容器の
    内部に、焼成または未焼成の２層以上の延伸多孔質PTFE
    を配置すること、 真空度が25インチ水銀柱以上に成るまで前記容器の内部
    からガスを排気すること、 その後150〜350psiの圧力と少なくとも368℃、好ましく
    は368℃から400℃の温度に前記柔軟性のある容器を曝す
    こと、 次に、前記容器内の圧力を減圧しながら前記容器を冷却
    すること、 及び 緻密化ePTFEを回収すること、 を含む緻密化ePTFEの成形製品を製造する方法。
  4. 【請求項４】加熱及び圧力に安定で柔軟性のある容器の
    内部に、焼成または未焼成の２層以上の延伸多孔質PTFE
    を配置するさいに、前記延伸多孔質PTFEの層が、強度特
    性の有意な減少無しに、請求項３に記載した温度条件に
    耐えることが可能な補強布帛の少なくとも１層を、前記
    延伸多孔質PTFEの層の間に有する請求項第３項に記載の
    方法。
  5. 【請求項５】加熱及び圧力に安定で柔軟性のある容器の
    内部に、焼成または未焼成の２層以上の延伸多孔質PTFE
    を配置するさいに、前記延伸多孔質PTFEの層が、強度特
    性の有意な減少無しに、請求項第３項に記載した温度条
    件に耐えることが可能な補強布帛の少なくとも１層を、
    前記延伸多孔質PTFEの層の間に有し、且つフルオロポリ
    マー樹脂から成る接着剤が前記布帛と前記延伸多孔質PT
    FE層の間に塗布される請求項第３項に記載の方法。
  6. 【請求項６】十分な厚みと、バリアー層としての使用を
    可能にするに足る十分に低い気孔率を有する緻密化ePTF
    E成形製品を製造する方法において、 （ａ）少なくとも２枚の多孔質ePTFEフィルムの個々の
    シートを、380℃を越える温度と350psi以下の圧力に耐
    えることができるプレート上に層にすること、 （ｂ）前記フィルム層の頂部に第２のプレートを重ねる
    こと、 （ｃ）380℃程度の高さの温度で数時間安定であるポリ
    イミドフィルム或いは他の柔軟性フィルムで作られたバ
    ッグの内部に前記多孔質ePTFEシートを含む前記２枚の
    プレートを配置すること、 （ｄ）バッグをホース接合部にはめ込み、オートクレー
    ブ内に前記多孔質ePTFEシートを含む前記２枚のプレー
    トを内部に配置した前記バッグの集合体を配置するこ
    と、 （ｅ）前記バッグ内を真空に排気すること、及び前記多
    孔質ePTFEが少なくとも368℃の温度に達するまで且つ15
    0〜350psiの圧力に達するまでの時間にわたり前記オー
    トクレーブ内の前記温度と圧力を次第に上昇すること、 （ｆ）約10分から４時間の適切な時間の後、圧力を次第
    に減少する間に前記オートクレーブを冷却すること、 （ｇ）前記バッグを前記オートクレーブから取り出すこ
    と、及び前記緻密化ePTFEを前記バッグおよびプレート
    から取り出すこと を含んでなる緻密化ePTFEを製造する方法。
  7. 【請求項７】順次に次の層を含む複合ポンプダイヤフラ
    ムであって、 （ａ）請求項第１項に定義されたような緻密化延伸ポリ
    テトラフルオロエチレンの連続層、及び （ｂ）熱硬化性エラストマー、熱可塑性エラストマー、
    及び熱可塑性ポリマーから成る群から選択された且つ1,
    400MPa未満の曲げ弾性係数を有する少なくとも一つの柔
    軟性ポリマーを含み、層（ａ）に接着する層、 を順次を含む複合ポンプダイヤフラム。
  8. 【請求項８】柔軟性ポリマーが、水素を含有するものと
    水素を含有しないものとを含むフルオロエラストマー、
    パーフルオロエラストマー、及びシリコーン成分、ニト
    リルエラストマー、アクリルエラストマー、オレフィン
    ジエンエラストマー、クロロスルホン化ポリエチレンエ
    ラストマー、ポリクロロプレンエラストマー、ブチル及
    びハロゲン化ブチルエラストマー、スチレン−ブタジエ
    ンエラストマー、ポリジエンエラストマー、及びシリコ
    ーンエラストマーを含有するフルオロエラストマーから
    成る組から選択される請求項第７項に記載の複合ポンプ
    ダイヤフラム。
  9. 【請求項９】前記エラストマー層内に埋め込まれた補強
    布帛をさらに含んでなる請求項第７項に記載の複合ポン
    プダイヤフラム。
  10. 【請求項１０】前記柔軟性ポリマーの層内に形成された
    同心円に配列した一連のリブの列をさらに含んでなる請
    求項第７項に記載の複合ポンプダイヤフラム。
  11. 【請求項１１】前記緻密化延伸PTFEの層は、緻密化ePTF
    Eの布帛で作られた強化構造を、前記緻密化延伸PTFEの
    層の間に含んでなる請求項第７項に記載の複合ポンプダ
    イヤフラム。
  12. 【請求項１２】前記緻密化延伸PTFEの布帛がPTFEレジン
    で被覆されている請求項第11項に記載の複合ポンプダイ
    ヤフラム。
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