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JP3252829B2 - Plasma display substrate, plasma display, and method of manufacturing the same - Google Patents
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JP3252829B2 - Plasma display substrate, plasma display, and method of manufacturing the same - Google Patents

Plasma display substrate, plasma display, and method of manufacturing the same

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JP3252829B2
JP3252829B2 JP13019699A JP13019699A JP3252829B2 JP 3252829 B2 JP3252829 B2 JP 3252829B2 JP 13019699 A JP13019699 A JP 13019699A JP 13019699 A JP13019699 A JP 13019699A JP 3252829 B2 JP3252829 B2 JP 3252829B2
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phosphor
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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、大型のテレビやコ
ンピュータモニターに用いられるプラズマディスプレイ
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display used for a large television or a computer monitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイ(PDP)は、液
晶パネルに比べ、高速の表示が可能であり、かつ、大型
化が可能であることから、OA機器および広報表示装置
などの分野で広く用いられている。また、高品位テレビ
ジョンの分野などでの利用が非常に期待されている。こ
の様な用途の拡大にともない、PDPとしては、微細で
多数の表示セルを有するカラーPDPが、特に注目され
ている。
2. Description of the Related Art Plasma displays (PDPs) are widely used in fields such as OA equipment and public information display devices because they can display at higher speeds and can be made larger than liquid crystal panels. I have. It is also expected to be used in the field of high-definition television. With the expansion of such uses, color PDPs having fine and large numbers of display cells have attracted particular attention as PDPs.

【0003】PDPは、前面ガラス基板と背面ガラス基
板との間に形成された放電空間内に対向して位置するア
ノードおよびカソード電極間にプラズマ放電を生じさ
せ、この空間内に封入されているガスからの発光によっ
て表示を行うものである。
A PDP generates a plasma discharge between an anode and a cathode located opposite to each other in a discharge space formed between a front glass substrate and a rear glass substrate, and a gas sealed in the space. Display is performed by light emission from

【0004】PDPは、それぞれに、電極、誘電体層な
どを設けた前面ガラス基板および背面ガラス基板を張り
合わせて形成されるが、背面ガラス基板には、通常、複
数個のストライプ状の隔壁が形成されており、これら隣
接する隔壁間に形成されたセルに、それぞれRGBのカ
ラー表示を行うための蛍光体層が形成されている。これ
らの蛍光体層は、通常、スクリーン印刷法により、それ
ぞれのセルに、R(赤色)発光蛍光体、G(緑色)発光
蛍光体、および、B(青色)発光蛍光体を塗布し、乾
燥、焼成工程を経て、形成される。高輝度化のために、
セルの底面のみならず側面にも蛍光体層を設けて蛍光面
とすることも行われている。
A PDP is formed by laminating a front glass substrate and a rear glass substrate provided with electrodes, a dielectric layer, and the like, respectively. Usually, a plurality of stripe-shaped partitions are formed on the rear glass substrate. A phosphor layer for performing RGB color display is formed in each of the cells formed between the adjacent partition walls. These phosphor layers are usually coated with R (red) light-emitting phosphor, G (green) light-emitting phosphor, and B (blue) light-emitting phosphor in each cell by a screen printing method, and dried, It is formed through a firing step. For higher brightness,
A phosphor screen is also provided by providing a phosphor layer not only on the bottom surface but also on the side surfaces of the cell.

【0005】上記の通り、RGBを表示するセルは、ス
トライプ状の隔壁間に形成されるが、隔壁は、一定の同
一ピッチで形成されている。従って、RGBの蛍光体層
の各サイズは、同じとなっている。
As described above, the cells for displaying RGB are formed between the stripe-shaped partitions, and the partitions are formed at a constant pitch. Therefore, each size of the RGB phosphor layers is the same.

【0006】現在、開発されている赤色発光蛍光体とし
ては、Y23:Eu、YVO4:Eu、(Y、Gd)B
3:Eu、Y23S:Eu、γ−Zn3(PO42:M
n、(ZnCd)S:Ag+In23などがある。
[0006] Currently, red light-emitting phosphors that have been developed include Y 2 O 3 : Eu, YVO 4 : Eu, and (Y, Gd) B.
O 3 : Eu, Y 2 O 3 S: Eu, γ-Zn 3 (PO 4 ) 2 : M
n, (ZnCd) S: Ag + In 2 O 3 and the like.

【0007】また、緑色発光蛍光体としては、Zn2
eO2:Mn、BaAl1219:Mn、Zn2SiO4
LaPO4:Tb、ZnS:Cu、Al、ZnS:A
u、Cu、Al、(ZnCd)S:Cu、Al、Zn2
SiO4:Mn,As、Y3A15 12:Ce、CeMg
Al1119:Tb、Gd22S:Tb、Y3A1512
Tb、ZnO:Znなどがある。
The green light emitting phosphor is ZnTwoG
eOTwo: Mn, BaAl12O19: Mn, ZnTwoSiOFour,
LaPOFour: Tb, ZnS: Cu, Al, ZnS: A
u, Cu, Al, (ZnCd) S: Cu, Al, ZnTwo
SiOFour: Mn, As, YThreeA1FiveO 12: Ce, CeMg
Al11O19: Tb, GdTwoOTwoS: Tb, YThreeA1FiveO12:
Tb, ZnO: Zn and the like.

【0008】更に、また、青色発光蛍光体としては、S
5(PO43Cl:Eu、BaMgAl1423:E
u、BaMgAl1627:Eu、BaMg2Al
1424:Eu、ZnS:Ag+赤色顔料、Y2SiO3
Ceなどがある。
Further, as the blue light emitting phosphor, S
r 5 (PO 4 ) 3 Cl: Eu, BaMgAl 14 O 23 : E
u, BaMgAl 16 O 27 : Eu, BaMg 2 Al
14 O 24 : Eu, ZnS: Ag + red pigment, Y 2 SiO 3 :
Ce and the like.

【0009】これらの発光蛍光体の発光特性として、輝
度、発光色、および、残光が重要であるが、完璧なもの
はなかなかない。特に、青色発光蛍光体の輝度は、赤色
および緑色発光蛍光体の輝度に比べて低く、カラー表示
した場合、バランスのよいカラー画像が得られないとい
う問題があり、現状では、青色発光蛍光体のレベルに合
わせた設計が行われている。
Luminance, emission color, and afterglow are important as emission characteristics of these light emitting phosphors, but few are perfect. In particular, the luminance of the blue light-emitting phosphor is lower than the luminance of the red and green light-emitting phosphors, and there is a problem that a color image with good balance cannot be obtained when displaying in color. The design is done according to the level.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、バランスの
よい、より明るいカラー画像を表示することのできるプ
ラズマディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ、お
よび、その製造方法を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a plasma display substrate capable of displaying a well-balanced and brighter color image, a plasma display, and a method of manufacturing the same.

【0011】従来のプラズマディスプレイでは、一定の
同一ピッチおよび幅を有する隔壁を用いているため、R
GB各色のセルのサイズは同一であり、カラー表示のバ
ランスをよくするため、輝度に関しては、最も低いレベ
ルにある青色発光蛍光体に合わせている。そのため、赤
色および緑色発光蛍光体のもつ能力が十分発揮されてい
ない。より明るい画面を得るため、輝度の高い青色発光
蛍光体の改良が検討されているが、赤色および緑色発光
蛍光体の輝度と同じレベルの材料は、未だ開発されてい
ない。
In the conventional plasma display, since the partition having the same constant pitch and width is used, R
The cells of the respective colors of GB have the same size, and in order to improve the balance of color display, the luminance is adjusted to the blue light emitting phosphor at the lowest level. Therefore, the abilities of the red and green light emitting phosphors are not sufficiently exhibited. In order to obtain a brighter screen, improvement of a blue light-emitting phosphor having high luminance is being studied, but a material having the same level of luminance as that of the red and green light-emitting phosphors has not yet been developed.

【0012】また、全面発光した場合に、青色の輝度が
低くなり、画面全体が黄味がかった色になる。このた
め、ブラウン管などで示される美しい白色が再現できな
いと言う課題がある。
In addition, when the light is emitted from the entire surface, the luminance of blue becomes low, and the entire screen becomes yellowish. For this reason, there is a problem that a beautiful white color shown by a cathode ray tube or the like cannot be reproduced.

【0013】本発明は、カラー画面上での青色発光蛍光
体の明るさを向上させ、赤色および緑色発光蛍光体の明
るさをより多く発揮させて、全体のカラー画像をより明
るくすること、および、美しい白色を画面に実現するこ
とを目的とする。
The present invention improves the brightness of a blue light-emitting phosphor on a color screen, makes the red and green light-emitting phosphors exhibit more brightness, and makes the entire color image brighter. The purpose is to realize beautiful white color on the screen.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のプラズマディスプレイは、次の構成からな
る。
To achieve the above object, a plasma display according to the present invention has the following arrangement.

【0015】ガラス基板上に、RGB各色を発光する蛍
光体層がストライプ状に形成され、かつ、該RGB蛍光
体層を仕切る隔壁が形成されてなるプラズマディスプレ
イ用基板において、前記R蛍光体層が形成されている隔
壁間距離をPr、前記B蛍光体層が形成されている隔壁
間距離をPbとしたとき、 Pb>Pr なる関係を有し、かつ、B蛍光体層に、Sr5(PO4
3Cl:Eu、BaMgAl1423:Eu、BaMgA
1627:Eu、BaMg2Al1424:Eu、Zn
S:Ag+赤色顔料、Y2SiO3:Ce、(Ba、E
u)MgAl1017の内から選ばれる少なくとも1種類
以上の蛍光体を用いることを特徴とするプラズマディス
プレイ用基板。
[0015] In a plasma display substrate, a phosphor layer for emitting each color of RGB is formed in a stripe shape on a glass substrate, and a partition wall for partitioning the RGB phosphor layer is formed. When the distance between the formed partition walls is Pr and the distance between the partition walls where the B phosphor layer is formed is Pb, the relationship of Pb> Pr is satisfied, and Sr 5 (PO 4 )
3 Cl: Eu, BaMgAl 14 O 23 : Eu, BaMgA
l 16 O 27 : Eu, BaMg 2 Al 14 O 24 : Eu, Zn
S: Ag + red pigment, Y 2 SiO 3 : Ce, (Ba, E
u) A substrate for a plasma display, wherein at least one kind of phosphor selected from MgAl 10 O 17 is used.

【0016】また、上記本発明に係るプラズマディスプ
レイは、ガラス基板上に電極、誘電体および保護膜を形
成した前面基板と、ガラス基板上に電極、誘電体、隔
壁、蛍光体を形成した背面基板からなるプラズマディス
プレイにおいて、ガラス基板上に、RGB各色を発光す
る蛍光体層がストライプ状に形成され、かつ、該RGB
蛍光体層を仕切る隔壁が形成されてなるプラズマディス
プレイ用基板において、前記R蛍光体層が形成されてい
る隔壁間距離をPr、前記B蛍光体層が形成されている
隔壁間距離をPbとしたとき、 Pb>Pr なる関係を有し、かつ、B蛍光体層に、Sr5(PO4
3Cl:Eu、BaMgAl1423:Eu、BaMgA
1627:Eu、BaMg2Al1424:Eu、Zn
S:Ag+赤色顔料、Y2SiO3:Ce、(Ba、E
u)MgAl1017の内から選ばれる少なくとも1種類
以上の蛍光体を用いるプラズマディスプレイ用基板を背
面基板として用いることを特徴とする。
Further, the plasma display according to the present invention has a front substrate in which electrodes, a dielectric and a protective film are formed on a glass substrate, and a rear substrate in which electrodes, dielectrics, partitions, and a phosphor are formed on a glass substrate. A phosphor layer that emits each color of RGB is formed in a stripe shape on a glass substrate;
In a plasma display substrate on which partition walls for partitioning the phosphor layer are formed, the distance between the partition walls on which the R phosphor layer is formed is Pr, and the distance between the partition walls on which the B phosphor layer is formed is Pb. At this time, the relationship of Pb> Pr is satisfied, and Sr 5 (PO 4 ) is added to the B phosphor layer.
3 Cl: Eu, BaMgAl 14 O 23 : Eu, BaMgA
l 16 O 27 : Eu, BaMg 2 Al 14 O 24 : Eu, Zn
S: Ag + red pigment, Y 2 SiO 3 : Ce, (Ba, E
u) A plasma display substrate using at least one or more phosphors selected from MgAl 10 O 17 is used as a back substrate.

【0017】更に、また、上記本発明に係るプラズマデ
ィスプレイ用基板を製造するための本発明に係るプラズ
マディスプレイ用基板の製造方法は、ガラス基板上に、
感光性ペーストを塗布する工程、パターン露光を行う工
程、および、現像液に溶解する部分を現像で取り除く工
程を経た後に、450℃〜620℃で焼成することを特
徴とする。
Further, the method for manufacturing a plasma display substrate according to the present invention for manufacturing the plasma display substrate according to the present invention includes the steps of:
After a step of applying a photosensitive paste, a step of performing pattern exposure, and a step of removing a portion dissolved in a developer by development, baking is performed at 450 ° C. to 620 ° C.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】プラズマディスプレイの隔壁の高
さは、80μm〜200μmが適している。隔壁のピッ
チ(P)は、100μm≦P≦500μmのものがよく
用いられる。また、高精細プラズマディスプレイとして
は、隔壁のピッチ(P)が、100μm≦P≦250μ
mであり、線幅(L)は、10μm≦L≦50μmであ
ることが好ましい。このような高精細な隔壁は、サンド
ブラスト法、または、感光性ペースト法によって形成可
能であるが、後者の感光性ペースト法がより好ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The height of a partition wall of a plasma display is suitably from 80 μm to 200 μm. The pitch (P) of the partition walls is often 100 μm ≦ P ≦ 500 μm. For a high-definition plasma display, the pitch (P) of partition walls is 100 μm ≦ P ≦ 250 μm.
m, and the line width (L) is preferably 10 μm ≦ L ≦ 50 μm. Such a high-definition partition wall can be formed by a sand blast method or a photosensitive paste method, but the latter photosensitive paste method is more preferable.

【0019】隔壁を形成する素材としては、ケイ素およ
び/またはホウ素の酸化物を必須成分としたガラス材料
が好ましく用いられる。
As a material for forming the partition wall, a glass material containing an oxide of silicon and / or boron as an essential component is preferably used.

【0020】従来、隔壁は、一定の同一ピッチをもって
ストライプ状に形成され、カラー表示のために、隣接す
るストライプ状の隔壁間に形成されるセルに、RGB各
色に発光する蛍光体が塗布され、カラー画素が形成され
ている。すなわち、RGB3色をワンセットとする画素
が、一定の同一ピッチで、ストライプ状に配列されてい
る。例えば、隔壁のピッチが150μmであれば、この
値のピッチをもって、RGBそれぞれの発光領域が、全
て、同一のサイズで形成されている。
Conventionally, the partition walls are formed in a stripe shape at a constant pitch, and phosphors emitting light of each of RGB colors are applied to cells formed between adjacent stripe-shaped partition walls for color display. Color pixels are formed. In other words, pixels having one set of three colors of RGB are arranged in a stripe pattern at a constant pitch. For example, if the pitch of the partition walls is 150 μm, all the light emitting regions of RGB are formed with the same size at the pitch of this value.

【0021】現在、実用されている代表的な蛍光体とし
て、赤色発光には、KX−504A、緑色発光には、P
1−G1S、青色発光には、KX−501A(いずれも
化成オプトニクス(株)製)があるが、これらの蛍光体
の中で、青色発光蛍光体KX−501A(組成:(B
a、Eu)MgAl1017)の発光輝度は、赤色発光蛍
光体KX−504A(組成:(Y、Gd、Eu)B
3)や、緑色発光蛍光体P1−G1S(組成:(Z
n、Mn)2SiO4)に比べて、1/4〜1/2のレベ
ルである。
At present, KX-504A is used for red light emission and P is used for green light emission.
For 1-G1S and blue light emission, there is KX-501A (both manufactured by Kasei Optonics Co., Ltd.). Among these phosphors, blue light emitting phosphor KX-501A (composition: (B
a, Eu) MgAl 10 O 17 ) has a light emission luminance of red light-emitting phosphor KX-504A (composition: (Y, Gd, Eu) B
O 3 ) or green light-emitting phosphor P1-G1S (composition: (Z
n, Mn) 2 SiO 4 ), which is 1 / to レ ベ ル the level.

【0022】従来、このように各色の蛍光体の輝度に差
があるため、同一サイズのセルで、この輝度の差を整合
させていたが、この場合、赤や緑については、それらの
発光輝度が十分に活用できていないという問題が内在し
ていた。
Conventionally, since there is a difference in luminance between the phosphors of the respective colors as described above, the difference in luminance is matched in cells of the same size. In this case, the emission luminance of red and green is adjusted. The problem was that they were not fully utilized.

【0023】本発明のプラズマディスプレイ用基板にお
いては、特に赤色蛍光体層と青色蛍光体層の発光輝度の
差が大きすぎることが問題であり、青色蛍光体層が形成
されるセルの隔壁間距離Pbを、赤色蛍光体層が形成さ
れるセルの隔壁間距離Prより、大きくすることによ
り、全体の輝度のレベルを高め、カラー画像をより明る
くできることを見いだした。さらに、Pbを緑色蛍光体
層が形成されるセルの隔壁間距離Pgよりも大きくする
ことにより、全体の輝度のレベルをより高めることがで
きる。
In the substrate for a plasma display of the present invention, the difference in emission luminance between the red phosphor layer and the blue phosphor layer is particularly problematic, and the distance between the partition walls of the cell in which the blue phosphor layer is formed is problematic. It has been found that by making Pb larger than the distance Pr between the partitions of the cell where the red phosphor layer is formed, the overall luminance level can be increased and the color image can be made brighter. Furthermore, by making Pb larger than the distance Pg between the partitions of the cell where the green phosphor layer is formed, the overall luminance level can be further increased.

【0024】また、1<Pb/Pr≦2なる関係を有す
ることにより、青色の発光輝度が低いという課題と、赤
色の輝度が高く色温度が低下しやすいという課題を同時
に解決できる。また、1<Pb/Pg≦2なる関係を有
することにより、青色の輝度をさらに向上することがで
きる。また、1<Pg/Pr≦2なる関係を有すること
により、眼の視感度の高い緑色の輝度を高くして、眼に
感じる発光輝度がさらに高いプラズマディスプレイを作
製することができる。
Further, by having the relationship of 1 <Pb / Pr ≦ 2, the problem that the emission luminance of blue is low and the problem that the luminance of red is high and the color temperature is easily lowered can be simultaneously solved. Further, by having a relationship of 1 <Pb / Pg ≦ 2, the luminance of blue can be further improved. In addition, by having a relationship of 1 <Pg / Pr ≦ 2, it is possible to manufacture a plasma display in which the luminance of green with high luminosity of the eyes is increased and the emission luminance perceived by the eyes is further increased.

【0025】PbとPrの差を5μm〜200μm、よ
り好ましくは5μm〜100μmにすることにより、発
光の強い赤色蛍光体の特性と発光の弱い青色蛍光体の特
性をバランスさせ、輝度と色バランスに優れたプラズマ
ディスプレイを得ることができるので好ましい。また、
PbとPgの差も同様に5μm〜200μmが好まし
く、5μm〜100μmがより好ましい。
By setting the difference between Pb and Pr to 5 μm to 200 μm, and more preferably 5 μm to 100 μm, the characteristics of the red phosphor which emits light strongly and the characteristics of the blue phosphor which emits light are balanced, and the luminance and the color balance are improved. It is preferable because an excellent plasma display can be obtained. Also,
Similarly, the difference between Pb and Pg is preferably 5 μm to 200 μm, more preferably 5 μm to 100 μm.

【0026】差が小さすぎる場合には、従来に比べて十
分な輝度向上効果が得られない。また、差が大きすぎる
場合は、RGBそれぞれを発光が生じる放電空間の差が
大きくなりすぎるため、駆動が難しくなる。
When the difference is too small, a sufficient effect of improving the brightness cannot be obtained as compared with the conventional case. On the other hand, if the difference is too large, the difference between the discharge spaces in which the respective RGB light is emitted becomes too large, so that driving becomes difficult.

【0027】例えば、ピッチ150μmの等間隔の隔壁
を形成する場合を前提として、本発明の提案を実行する
には、Pb=200μmとし、Pr=Pg=125μm
とする配分が可能である。この場合の隔壁間距離の差
は、75μmである。等間隔の場合の150μmピッチ
で形成された蛍光体層に比べ、高い輝度が得られるの
で、それに整合させて、他の蛍光体の輝度を高める駆動
回路設計が可能になり、より明るいカラー画像のプラズ
マディスプレイを得ることが可能になる。
For example, assuming that partition walls having a pitch of 150 μm are formed at equal intervals, to implement the present invention, Pb = 200 μm and Pr = Pg = 125 μm
Is possible. The difference in the distance between the partitions in this case is 75 μm. Higher luminance can be obtained compared to a phosphor layer formed at a pitch of 150 μm at equal intervals, so that it is possible to design a drive circuit that increases the luminance of other phosphors in accordance with the higher luminance, and a brighter color image can be obtained. It becomes possible to obtain a plasma display.

【0028】本発明のプラズマディスプレイ用基板は、
銀や銅、クロムで形成される電極、ガラス成分からなる
誘電体上に隔壁、RGBの各色を発光する蛍光体層を形
成して作製できる。
The substrate for a plasma display of the present invention comprises:
It can be manufactured by forming an electrode formed of silver, copper, or chromium, and forming a partition wall and a phosphor layer emitting light of each color of RGB on a dielectric made of a glass component.

【0029】このような隔壁の形成は、無機微粒子と光
反応性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペ
ーストを用いて行うのが、製作工程の簡便さ、高精度の
パターン加工が実現できる点から、好ましい。
The formation of such partition walls is performed using a photosensitive paste containing an organic component containing inorganic fine particles and a photoreactive compound as an essential component, thereby simplifying the manufacturing process and achieving high-precision pattern processing. It is preferable because it can be used.

【0030】無機微粒子としては、ガラス、セラミック
(アルミナ、コーディライトなど)などが、透明性に優
れるため、好ましい。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化
物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラ
スやセラミックスが好ましい。
As the inorganic fine particles, glass, ceramic (alumina, cordierite, etc.) and the like are preferable because of their excellent transparency. In particular, glass and ceramics containing silicon oxide, boron oxide, or aluminum oxide as an essential component are preferable.

【0031】無機微粒子の粒子径は、作製しようとする
パターンの形状を考慮して選ばれるが、体積平均粒子径
(D50)が、1.5μm以上であることが、パターン
形成上、好ましく、2μm以上であることがより好まし
い。ただし、D50が10μm以上になると、パターン
形成時に、表面凸凹が生じるため、D50が、1.5〜
10μmであることが好ましく、より好ましくは、2〜
8μmである。また、比表面積0.2〜3m2/gのガ
ラス微粒子を用いることが、パターン形成において、特
に好ましい。
The particle size of the inorganic fine particles is selected in consideration of the shape of the pattern to be produced. The volume average particle size (D50) is preferably 1.5 μm or more from the viewpoint of pattern formation, preferably 2 μm. More preferably, it is the above. However, when D50 is 10 μm or more, the surface becomes uneven during pattern formation, so that D50 is 1.5 to 1.5 μm.
It is preferably 10 μm, more preferably 2 to
8 μm. It is particularly preferable to use glass fine particles having a specific surface area of 0.2 to 3 m 2 / g in pattern formation.

【0032】また、無機微粒子として、形状が球状であ
る無機微粒子を用いることによって、高アスペクト比の
パターニングが可能となる。具体的には、球形率80個
数%以上であることが好ましい。より好ましくは、平均
粒子径1.5μm〜4μm、比表面積0.5〜1.5m
2/g、球形率90個数%以上である。ここで、球形率
とは、顕微鏡観察において、球形もしくは楕円形の形状
を有する粒子の割合であり、光学顕微鏡において、円
形,楕円形として観察される。
By using inorganic fine particles having a spherical shape as the inorganic fine particles, patterning with a high aspect ratio becomes possible. Specifically, the sphericity is preferably 80% by number or more. More preferably, the average particle size is 1.5 μm to 4 μm, the specific surface area is 0.5 to 1.5 m
2 / g and sphericity of 90% by number or more. Here, the sphericity is a ratio of particles having a spherical or elliptical shape in a microscope observation, and is observed as a circle or an ellipse in an optical microscope.

【0033】隔壁は、熱軟化点の低いガラス基板上にパ
ターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度
が350℃〜600℃のガラス微粒子を60重量%以上
含む無機微粒子を用いることが好ましい。熱軟化温度が
600℃以上のガラス微粒子やセラミック微粒子を添加
することによって、焼成時の収縮率を抑制することがで
きるが、その量は、40重量%以下が好ましい。
Since the partition walls are patterned on a glass substrate having a low thermal softening point, it is preferable to use inorganic fine particles containing at least 60% by weight of glass fine particles having a thermal softening temperature of 350 ° C. to 600 ° C. as the inorganic fine particles. . By adding glass fine particles or ceramic fine particles having a heat softening temperature of 600 ° C. or more, the shrinkage rate during firing can be suppressed, but the amount is preferably 40% by weight or less.

【0034】光線透過率が高いガラス微粒子を用いるこ
とによって、より正確な形状のパターンを得ることがで
きる。この場合に使用する光線透過率の高いガラス微粒
子としては、ガラス微粒子を溶融して厚み40μmのガ
ラス板を作製した後、露光する光の波長、特に、365
nm、405nm、429nm、436nm、488n
mのいずれかの波長での光線透過率を測定し、全光線透
過率が、70%以上のものが好ましく、80%以上のも
のがより好ましい。
By using glass particles having a high light transmittance, a pattern with a more accurate shape can be obtained. As the glass fine particles having a high light transmittance used in this case, the glass fine particles are melted to produce a glass plate having a thickness of 40 μm, and then the wavelength of the light to be exposed, particularly 365
nm, 405 nm, 429 nm, 436 nm, 488 n
The light transmittance at any wavelength of m is measured, and the total light transmittance is preferably 70% or more, more preferably 80% or more.

【0035】また、焼成時に、ガラス基板にそりを生じ
させないためには、線膨脹係数が50〜90×10-7
更には、60〜90×10-7のガラス微粒子を用いるこ
とが好ましい。
In order to prevent the glass substrate from warping during firing, the linear expansion coefficient should be 50 to 90 × 10 −7 ,
Further, it is preferable to use glass fine particles of 60 to 90 × 10 −7 .

【0036】ガラス微粒子中の組成としては、酸化ケイ
素は、3〜60重量%の範囲で配合されていることが好
ましく、3重量%未満の場合は、ガラス層の緻密性、強
度や安定性が低下し、また、熱膨脹係数が所望の値から
外れ、ガラス基板とのミスマッチが起こりやすい。ま
た、60重量%以下にすることによって、熱軟化点が低
くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利
点がある。
As the composition in the glass fine particles, silicon oxide is preferably blended in the range of 3 to 60% by weight, and when less than 3% by weight, the denseness, strength and stability of the glass layer are reduced. In addition, the thermal expansion coefficient deviates from a desired value, and a mismatch with a glass substrate is likely to occur. Further, by setting the content to 60% by weight or less, there is an advantage that the heat softening point is lowered and baking on a glass substrate becomes possible.

【0037】酸化ホウ素は、5〜50重量%の範囲で配
合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、
絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上
することができる。50重量%を越えるとガラスの安定
性が低下する。
By mixing boron oxide in the range of 5 to 50% by weight, electrical insulation, strength, coefficient of thermal expansion,
Electrical, mechanical, and thermal properties such as the denseness of the insulating layer can be improved. If it exceeds 50% by weight, the stability of the glass will decrease.

【0038】このようなガラス微粒子としては、酸化ビ
スマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも1種類を
5〜50重量%含むガラス微粒子を用いることによっ
て、ガラス基板上にパターン加工できる温度特性を有す
るガラスペーストを得ることができる。特に、酸化ビス
マスを5〜50重量%含有するガラス微粒子を用いる
と、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られ
る。
By using glass fine particles containing at least one of bismuth oxide, lead oxide and zinc oxide in an amount of 5 to 50% by weight, such glass fine particles have a temperature characteristic that enables pattern processing on a glass substrate. A glass paste can be obtained. In particular, when glass particles containing 5 to 50% by weight of bismuth oxide are used, advantages such as long pot life of the paste can be obtained.

【0039】ビスマス系ガラス微粒子としては、次の組
成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。 酸化ビスマス :10〜40重量部 酸化ケイ素 : 3〜50重量部 酸化ホウ素 :10〜40重量部 酸化バリウム : 8〜20重量部 酸化アルミニウム :10〜30重量部 また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムの
うち、少なくとも1種類を3〜20重量%含むガラス微
粒子を用いてもよいが、この場合、リチウム、ナトリウ
ム、カリウムなどのアルカリ金属の酸化物の添加量を2
0重量%以下、好ましくは、15重量%以下にすること
によって、ペーストの安定性を向上することができる。
As the bismuth-based glass fine particles, it is preferable to use a glass powder having the following composition. Bismuth oxide: 10 to 40 parts by weight Silicon oxide: 3 to 50 parts by weight Boron oxide: 10 to 40 parts by weight Barium oxide: 8 to 20 parts by weight Aluminum oxide: 10 to 30 parts by weight Lithium oxide, sodium oxide, potassium oxide Among them, glass fine particles containing at least one kind in an amount of 3 to 20% by weight may be used, but in this case, the addition amount of an oxide of an alkali metal such as lithium, sodium, and potassium is 2%.
When the content is 0% by weight or less, preferably 15% by weight or less, the stability of the paste can be improved.

【0040】この場合の具体的なガラス微粒子として
は、次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ま
しい。 酸化リチウム : 2〜15重量部 酸化ケイ素 :15〜50重量部 酸化ホウ素 :15〜40重量部 酸化バリウム : 2〜15重量部 酸化アルミニウム : 6〜25重量部 また、上記組成で、酸化リチウムの代わりに、酸化ナト
リウム、酸化カリウムを用いてもよいが、ペーストの安
定性の点で、酸化リチウムが好ましい。
In this case, as specific glass fine particles, it is preferable to use glass powder having the following composition. Lithium oxide: 2 to 15 parts by weight Silicon oxide: 15 to 50 parts by weight Boron oxide: 15 to 40 parts by weight Barium oxide: 2 to 15 parts by weight Aluminum oxide: 6 to 25 parts by weight In the above composition, instead of lithium oxide Alternatively, sodium oxide or potassium oxide may be used, but lithium oxide is preferred from the viewpoint of paste stability.

【0041】また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛の
ような金属酸化物と酸化リチウム,酸化ナトリウム、酸
化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有す
るガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量
で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールする
ことができる。
Further, when glass fine particles containing both a metal oxide such as lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide and an alkali metal oxide such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide are used, a lower alkali content is obtained. The amount can easily control the thermal softening temperature and the coefficient of linear expansion.

【0042】また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウ
ム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウ
ム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特
に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加
することにより、加工性を改良することができるが、熱
軟化点、熱膨脹係数、屈折率の制御の点からは、その含
有量は、40重量%以下が好ましく、より好ましくは2
5重量%以下である。
Further, by adding aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, titanium oxide, zinc oxide, zirconium oxide and the like, especially aluminum oxide, barium oxide and zinc oxide to the glass fine particles, the workability is improved. From the viewpoint of controlling the thermal softening point, the thermal expansion coefficient and the refractive index, the content is preferably 40% by weight or less, more preferably 2% by weight or less.
5% by weight or less.

【0043】一般に、絶縁体として用いられるガラス
は、1.5〜1.9程度の屈折率を有している。有機成
分の平均屈折率が、無機微粒子の平均屈折率と大きく異
なる場合は、無機粒子と感光性有機成分の界面での反
射、散乱が大きくなり、全光線透過率、直進透過率を向
上することが困難であり、高アスペクト比、高精度のパ
ターンが得られない。
Generally, glass used as an insulator has a refractive index of about 1.5 to 1.9. When the average refractive index of the organic component is significantly different from the average refractive index of the inorganic fine particles, reflection and scattering at the interface between the inorganic particles and the photosensitive organic component are increased, and the total light transmittance and the straight transmittance are improved. And it is difficult to obtain a pattern with a high aspect ratio and high accuracy.

【0044】一般的な有機成分の屈折率は、1.45〜
1.7であるため、無機微粒子と有機成分の屈折率を整
合させるためには、無機粒子の平均屈折率を1.5〜
1.75にすることが好ましい。さらに好ましくは、屈
折率1.5〜1.65にすることによって、有機成分の
選択の幅が広がる利点がある。
The refractive index of a general organic component is 1.45 to
Since it is 1.7, in order to match the refractive index of the inorganic fine particles and the organic component, the average refractive index of the inorganic particles should be 1.5 to 1.5.
It is preferably 1.75. More preferably, by setting the refractive index to 1.5 to 1.65, there is an advantage that the range of selection of the organic component is widened.

【0045】無機微粒子として、酸化ホウ素や酸化ケイ
素を多く含有するガラスやセラミックを用いた場合は、
屈折率が比較的小さいため、有機成分として、1.5〜
1.6のものを用いることによって、より簡便に、屈折
率を整合させることができる。
When glass or ceramic containing a large amount of boron oxide or silicon oxide is used as the inorganic fine particles,
Since the refractive index is relatively small, as an organic component, 1.5 to
The use of 1.6 allows the refractive index to be more easily matched.

【0046】しかし、プラズマディスプレイの隔壁のパ
ターン形成に用いるガラス微粒子としては、ガラス基板
上での焼成を行う必要があるため、酸化鉛、酸化ビスマ
ス、酸化亜鉛を含有するガラス微粒子を用いる場合が多
いが、これらの金属を含有するガラスは、屈折率が1.
65以上になる場合が多い。
However, glass fine particles containing lead oxide, bismuth oxide, and zinc oxide are often used as the fine glass particles used for forming the pattern of the partition walls of the plasma display, since firing on a glass substrate is required. However, glass containing these metals has a refractive index of 1.
Often it is 65 or more.

【0047】そのため、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜
鉛の含有量を5〜16重量%に調整する方法があるが、
酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムなどのア
ルカリ金属の酸化物を合計で5〜20重量%含有するガ
ラス微粒子を用いることによって、平均屈折率をコント
ロールしやすくなり、ガラス基板上に焼き付け可能な熱
軟化温度を有し、平均屈折率を1.5〜1.65にする
ことができ、有機成分との屈折率差を小さくすることが
容易になる。
Therefore, there is a method of adjusting the contents of lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide to 5 to 16% by weight.
By using glass microparticles containing a total of 5 to 20% by weight of alkali metal oxides such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide, the average refractive index can be easily controlled, and thermal softening that can be printed on a glass substrate It has a temperature and an average refractive index of 1.5 to 1.65, which makes it easy to reduce the difference in the refractive index from the organic component.

【0048】感光性ペースト中において使用される有機
成分とは、感光性の有機物を含むペースト中の有機成分
(ペーストから無機成分を除いた部分)のことである。
The organic component used in the photosensitive paste is an organic component in the paste containing a photosensitive organic substance (a part obtained by removing the inorganic component from the paste).

【0049】有機成分についても、光線透過率が高いこ
とが好ましい。露光する光の波長、特に、365nm、
405nm、420nm、436nm、488nmのい
ずれかの波長で測定した厚み40μmの全光線透過率
が、70%以上であることが好ましい。
The organic component also preferably has a high light transmittance. Wavelength of light to be exposed, in particular, 365 nm,
The total light transmittance at a thickness of 40 μm measured at any one of the wavelengths of 405 nm, 420 nm, 436 nm, and 488 nm is preferably 70% or more.

【0050】有機成分は、感光性モノマ、感光性オリゴ
マ、感光性ポリマのうちの少なくとも1種類から選ばれ
た感光性成分を含有し、更に、必要に応じて、バイン
ダ、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、増感助剤、重合
禁止剤、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散
剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤やレベリング剤など
の添加剤を加えることも行われる。
The organic component contains a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer, and, if necessary, a binder, a photopolymerization initiator, and a photopolymerization initiator. Add additives such as absorbers, sensitizers, sensitization aids, polymerization inhibitors, plasticizers, thickeners, organic solvents, antioxidants, dispersants, organic or inorganic precipitation inhibitors and leveling agents. Is also performed.

【0051】感光性成分としては、光不溶化型のものと
光可溶化型のものがあり、代表的なものとして、次の
(A)〜(E)があげられる。
As the photosensitive component, there are a photo-insolubilizing type and a photo-solubilizing type, and the following (A) to (E) are typical.

【0052】光不溶化型のものとしては、(A)分子内
に不飽和基などを1つ以上有する官能性のモノマ、オリ
ゴマ、ポリマを含有するもの、(B)芳香族ジアゾ化合
物、芳香族アジド化合物、有機ハロゲン化合物などの感
光性化合物を含有するもの、あるいは、(C)ジアゾ系
アミンとホルムアルデヒドとの縮合物など、いわゆるジ
アゾ樹脂がある。
The photo-insolubilized type includes (A) a functional monomer, an oligomer, and a polymer having at least one unsaturated group in the molecule, (B) an aromatic diazo compound, an aromatic azide There is a so-called diazo resin such as a compound containing a photosensitive compound such as a compound or an organic halogen compound, or a condensate of (C) a diazo-based amine and formaldehyde.

【0053】光可溶化型のものとしては、(D)ジアゾ
化合物の無機塩や有機酸とのコンプレックス、キノンジ
アゾ類を含有するもの、あるいは、(E)キノンジアゾ
類を適当なポリマバインダと結合させた、例えば、フェ
ノールノボラック樹脂のナフトキノン−1,2−ジアジ
ド−5−スルフォン酸エステルがある。
As the photo-solubilizing type, (D) a complex of a diazo compound with an inorganic salt or an organic acid, a compound containing a quinone diazo compound, or (E) a quinone diazo compound combined with an appropriate polymer binder. For example, there is a naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonic acid ester of a phenol novolak resin.

【0054】本発明において用いる感光性成分は、上記
のすべてのものを用いることができる。感光性ペースト
として、無機微粒子と混合して簡便に用いることができ
る感光性成分としては、上記(A)のものが好ましい。
As the photosensitive component used in the present invention, all of the above can be used. As the photosensitive component that can be easily used as a photosensitive paste by mixing it with inorganic fine particles, those described in (A) above are preferable.

【0055】感光性モノマとしては、炭素−炭素不飽和
結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官
能および多官能性の(メタ)アクリレート類、ビニル系
化合物類、アリル系化合物類などを用いることができ
る。これらは1種または2種以上使用することができ
る。
The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond. Specific examples thereof include monofunctional and polyfunctional (meth) acrylates, vinyl compounds, allyl compounds. Etc. can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

【0056】これら以外に、不飽和カルボン酸などの不
飽和酸を加えることによって、感光後の現像性を向上す
ることができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として
は、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン
酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これ
らの酸無水物などが挙げられる。
In addition to these, the developability after exposure can be improved by adding an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0057】また、炭素−炭素2重結合を有する化合物
のうちの少なくとも1種類を重合して得られるオリゴマ
やポリマを用いることができる。重合する際に、これら
のモノマの含有率が、10重量%以上、さらに好ましく
は35重量%以上になるように、他の感光性のモノマと
共重合することができる。
Also, an oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one kind of a compound having a carbon-carbon double bond can be used. At the time of polymerization, these monomers can be copolymerized with other photosensitive monomers such that the content of these monomers is at least 10% by weight, more preferably at least 35% by weight.

【0058】不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合
することによって、感光後の現像性を向上することがで
きる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン
酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物
などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシ
ル基などの酸性基を有するポリマ、もしくは、オリゴマ
の酸価(AV)は、50〜180の範囲が好ましく、7
0〜140の範囲がより好ましい。
By copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid, the developability after exposure can be improved. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof. The acid value (AV) of the polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained is preferably in the range of 50 to 180.
The range of 0 to 140 is more preferable.

【0059】以上に示したポリマもしくはオリゴマに対
して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させるこ
とによって、感光性をもつ感光性ポリマや感光性オリゴ
マとして用いることができる。好ましい光反応性基は、
エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不
飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メ
タクリル基などが挙げられる。
By adding a photoreactive group to a side chain or a molecular terminal to the above-mentioned polymer or oligomer, it can be used as a photosensitive polymer or a photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are
It has an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acryl group, and a methacryl group.

【0060】このような側鎖のオリゴマやポリマへの付
加は、ポリマ中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカ
ルボキシル基に対して、グリシジル基やイソシアネート
基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロラ
イド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド
を反応させて行うことができる。
The addition of such a side chain to an oligomer or a polymer may be carried out by adding an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group to a mercapto group, an amino group, a hydroxyl group or a carboxyl group in the polymer, or acrylic acid chloride. , Methacrylic acid chloride or allyl chloride.

【0061】グリシジル基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエ
ーテルなどが挙げられる。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, glycidyl ether crotonic acid and glycidyl ether isocrotonic acid. .

【0062】イソシアネート基を有するエチレン性不飽
和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアナー
ト、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネートなどが
ある。また、グリシジル基やイソシアネート基を有する
エチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタ
クリル酸クロライドまたはアリルクロライドは、ポリマ
中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基
に対して、0.05〜1モル等量付加させることが好ま
しい。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloylethyl isocyanate. The ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is used in an amount of 0.05 to 1 mol based on the mercapto group, amino group, hydroxyl group or carboxyl group in the polymer. It is preferable to add an equal amount.

【0063】バインダとしては、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−
メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重
合体、ブチルメタクリレート樹脂などが挙げられる。
As the binder, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate ester
Examples include methacrylate copolymers, α-methylstyrene polymers, and butyl methacrylate resins.

【0064】光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾ
フェノン、O-ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビ
ス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロ
ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニル
ケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジ
エトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フ
ェニル−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ
−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルジクロ
ロアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキ
サントン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロピ
ルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジ
ル、ベンジルジメチルケタール、ベンジルメトキシエチ
ルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、2−
t−ブチルアントラキノン、2−アミノアントラキノ
ン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズア
ントロン、ジベンズスベロン、メチレンアントロン、4
−アジドベンザルアセトフェノン、2,6−ビス(p−
アジドベンジリデン)シクロヘキサン、2,6−ビス
(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサ
ノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−
メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニルプロパン
ジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、
1,3−ジフェニルプロパントリオン−2−(o−エト
キシカルボニル)オキシム、2−メチル−[4−(メチ
ルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノ
ン、ナフタレンスルフォニルクロライド、キノリンスル
ホニルクロライド、N−フェニルチオアクリドン、4,
4−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジスルフ
ィド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホ
スフィン、カンファーキノン、四臭素化炭素、トリブロ
モフェニルスルホン、過酸化ベンゾイル、および、エオ
シン、メチレンブルーなどの光還元性の色素とアスコル
ビン酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組み合わ
せなどが挙げられる。
Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, and 4,4-dichlorobenzophenone. , 4-benzoyl-4-methylphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone , Pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl, benzyldimethylketal, benzylmethoxyethylacetal, benzoy Benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-
t-butylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibensuberone, methyleneanthrone, 4
-Azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-
(Azidobenzylidene) cyclohexane, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadione-2- (o-
Methoxycarbonyl) oxime, 1-phenylpropanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime,
1,3-diphenylpropanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, N-phenyl Thioacridone, 4,
4-azobisisobutyronitrile, diphenyl disulfide, benzthiazole disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenyl sulfone, benzoyl peroxide, and eosin, a photoreducing dye such as methylene blue Examples include a combination of reducing agents such as ascorbic acid and triethanolamine.

【0065】本発明では、これらを1種または2種以上
使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に
対し、好ましくは0.05〜10重量%の範囲で添加さ
れ、より好ましくは、0.1〜5重量%の範囲で添加さ
れる。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が不良と
なり、光重合開始剤の量が多すぎれば、露光部の残存率
が小さくなり過ぎる恐れがある。
In the present invention, one or more of these can be used. The photopolymerization initiator is preferably added in the range of 0.05 to 10% by weight, more preferably in the range of 0.1 to 5% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity becomes poor, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.

【0066】光吸収剤を添加することも有効である。紫
外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することに
よって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られ
る。
It is also effective to add a light absorbing agent. By adding a compound having a high effect of absorbing ultraviolet light or visible light, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained.

【0067】光吸収剤としては、有機系染料からなるも
のが好ましく用いられる、具体的には、アゾ系染料、ア
ミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染
料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジ
フェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染
料、p−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機
系染料は、光吸収剤として添加した場合にも、焼成後の
絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性
の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、
アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。
As the light absorber, those comprising an organic dye are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenyl dyes A cyanoacrylate dye, a triazine dye, a p-aminobenzoic acid dye, or the like can be used. The organic dye is preferable because it does not remain in the insulating film after firing even when added as a light absorber, so that the deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorber can be reduced. Among these,
Azo and benzophenone dyes are preferred.

【0068】有機染料の添加量は、0.05〜5重量%
が好ましい。0.05重量%以下では、光吸収剤の添加
効果が減少し、5重量%を越えると、焼成後の絶縁膜特
性が低下するので好ましくない。より好ましくは、0.
05〜1重量%である。
The addition amount of the organic dye is 0.05 to 5% by weight.
Is preferred. When the content is less than 0.05% by weight, the effect of adding the light absorber is reduced, and when it exceeds 5% by weight, the properties of the insulating film after firing are deteriorated. More preferably, 0.
0.5 to 1% by weight.

【0069】有機系染料からなる光吸収剤の添加方法の
一例を挙げると、有機系染料を予め有機溶媒に溶解した
溶液を作製し、それをペースト作製時に混練する方法
や、該有機溶媒中に無機微粒子を混合後、乾燥する方法
がある。この方法によって無機微粒子の個々の粉末表面
に有機の膜をコートした、いわゆるカプセル状の粉末が
作製できる。
As an example of the method of adding the light absorbing agent comprising an organic dye, a method in which a solution in which an organic dye is dissolved in an organic solvent in advance is prepared and kneaded at the time of preparing a paste, There is a method of drying after mixing the inorganic fine particles. By this method, a so-called capsule-like powder in which the surface of each of the inorganic fine particles is coated with an organic film can be produced.

【0070】増感剤は、感度を向上させるために添加さ
れる。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオ
キサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビ
ス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、
2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘ
キサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザ
ル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、
4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,
4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビス
(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシン
ナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリデ
ンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビニ
レン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメ
チルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、
1,3−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)アセト
ン、1,3−カルボニルビス(4−ジエチルアミノベン
ザル)アセトン、3,3−カルボニルビス(7−ジエチ
ルアミノクマリン)、N−フェニル−N−エチルエタノ
ールアミン、N−フェニルエタノールアミン、N−トリ
ルジエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソア
ミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、3−フェニ
ル−5−ベンゾイルチオテトラゾール、1−フェニル−
5−エトキシカルボニルチオテトラゾールなどが挙げら
れる。これらを1種または2種以上使用することができ
る。
A sensitizer is added to improve the sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone,
2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone,
4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,
4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylideneindanone, p-dimethylaminobenzylideneindanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene) isonaphthothiazole 1,3-bis (4-dimethylaminophenylvinylene) isonaphthothiazole,
1,3-bis (4-dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonylbis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonylbis (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethyl Ethanolamine, N-phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-
5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like. One or more of these can be used.

【0071】なお、増感剤の中には光重合開始剤として
も使用できるものがある。増感剤を感光性ペーストに添
加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常
0.05〜10重量%、より好ましくは0.1〜10重
量%である。増感剤の量が少な過ぎれば、光感度を向上
させる効果が発揮されず、増感剤の量が多過ぎれば、露
光部の残存率が小さくなり過ぎる恐れがある。
Some sensitizers can also be used as photopolymerization initiators. When a sensitizer is added to the photosensitive paste, the amount is usually 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 10% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity is not exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.

【0072】感光性ペーストには、その溶液の粘度を調
整したい場合、有機溶媒を加えてもよい。このとき使用
される有機溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセ
ロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジ
オキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタ
ノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコー
ル、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ
−ブチルラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、
ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香
酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上を含
有する有機溶媒混合物が用いられる。
To adjust the viscosity of the solution, an organic solvent may be added to the photosensitive paste. As the organic solvent used at this time, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ
-Butyl lactone, bromobenzene, chlorobenzene,
Dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, and the like, and an organic solvent mixture containing at least one of them are used.

【0073】有機成分の屈折率とは、露光により感光性
成分を感光させる時点におけるペースト中の有機成分の
屈折率のことである。つまり、ペーストを塗布し、乾燥
工程後に露光を行う場合は、乾燥工程後のペースト中の
有機成分の屈折率のことである。例えば、ペーストをガ
ラス基板上に塗布した後、50〜100℃で1〜30分
乾燥して屈折率を測定する方法などがある。
The refractive index of the organic component is the refractive index of the organic component in the paste at the time when the photosensitive component is exposed to light. In other words, when the paste is applied and the exposure is performed after the drying step, it refers to the refractive index of the organic component in the paste after the drying step. For example, there is a method of applying a paste on a glass substrate, drying the paste at 50 to 100 ° C. for 1 to 30 minutes, and measuring the refractive index.

【0074】有機成分の屈折率としては、1.5〜1.
65の範囲であることが好ましく、より好ましくは、
1.5〜1.6である。特に、ガラス微粒子の平均屈折
率が1.55〜1.65の範囲、有機成分の平均屈折率
が1.5〜1.6の場合が、ガラス微粒子および有機成
分の選択の幅が広がると共に、直進透過率の向上を行い
易いという利点がある。
The refractive index of the organic component is 1.5 to 1.
It is preferably in the range of 65, more preferably
1.5 to 1.6. In particular, when the average refractive index of the glass fine particles is in the range of 1.55 to 1.65 and the average refractive index of the organic component is 1.5 to 1.6, the range of selection of the glass fine particles and the organic component is widened, There is an advantage that the straight transmittance can be easily improved.

【0075】ただし、ガラス基板上に焼き付けを行うこ
とができる酸化ビスマスや酸化鉛を10重量%以上含有
するガラス粉末は、屈折率が1.6以上になる場合があ
り、この場合は、有機成分の屈折率を高くする必要があ
る。この場合、有機成分中に高屈折率成分を導入する必
要があり、有機成分中に硫黄原子、臭素原子、ヨウ素原
子、ナフタレン環、ビフェニル環、アントラセン環、カ
ルバゾール環を有する化合物を10重量%以上用いるこ
とが高屈折率化に有効である。ただし、これら化合物の
種類によっては、光吸収による透過率低下を招く場合が
あるので、20重量%以下にすることが好ましい。ま
た、ベンゼン環を20重量%以上含有することによっ
て、高屈折率化ができる。特に、硫黄原子もしくはナフ
タレン環を10重量%以上含有することによって、より
簡便に有機成分を高屈折率化することができる。ただ
し、含有量が60重量%以上になると光感度が低下する
という問題が発生するので、硫黄原子とナフタレン環の
合計含有量が10〜60重量%の範囲であることが好ま
しい。
However, glass powder containing 10% by weight or more of bismuth oxide or lead oxide, which can be baked on a glass substrate, may have a refractive index of 1.6 or more. Needs to have a high refractive index. In this case, it is necessary to introduce a high refractive index component into the organic component, and a compound having a sulfur atom, a bromine atom, an iodine atom, a naphthalene ring, a biphenyl ring, an anthracene ring, and a carbazole ring in the organic component is 10% by weight or more. It is effective to increase the refractive index. However, depending on the type of these compounds, the transmittance may decrease due to light absorption, so that the content is preferably 20% by weight or less. Further, by containing a benzene ring in an amount of 20% by weight or more, a high refractive index can be obtained. In particular, by including a sulfur atom or a naphthalene ring in an amount of 10% by weight or more, the refractive index of the organic component can be more easily increased. However, if the content is 60% by weight or more, a problem occurs in that the photosensitivity is reduced. Therefore, the total content of the sulfur atom and the naphthalene ring is preferably in the range of 10 to 60% by weight.

【0076】有機成分の屈折率を高くする方法として
は、感光性モノマやバインダ中に硫黄原子、ナフタレン
環を持つ化合物を用いることが有効である。
As a method for increasing the refractive index of the organic component, it is effective to use a compound having a sulfur atom and a naphthalene ring in a photosensitive monomer or a binder.

【0077】感光性ペーストは、通常、無機微粒子、光
吸収剤、感光性ポリマ、感光性モノマ、光重合開始剤、
ガラスフリットおよび溶媒などの各種成分を所定の組成
となるように調合した後、3本ローラや混練機で均質に
混合、分散し作製する。
The photosensitive paste is usually composed of inorganic fine particles, a light absorber, a photosensitive polymer, a photosensitive monomer, a photopolymerization initiator,
After blending various components such as a glass frit and a solvent so as to have a predetermined composition, the mixture is uniformly mixed and dispersed with a three-roller or a kneader to produce.

【0078】ペーストの粘度は、無機微粒子、増粘剤、
有機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤などの添加割合によ
って適宜調整されるが、その範囲は、2000〜20万
cps(センチ・ポイズ)である。例えば、ガラス基板
への塗布をスクリーン印刷法以外にスピンコート法で行
う場合は、200〜5000cpsが好ましい。スクリ
ーン印刷法で1回塗布して膜厚10〜20μmを得るに
は、5万〜20万cpsが好ましい。ブレードコーター
法やダイコーター法などを用いる場合は、2000〜2
0000cpsが好ましい。
The viscosity of the paste is determined by using inorganic fine particles, a thickener,
It is appropriately adjusted by the addition ratio of the organic solvent, the plasticizer, the precipitation inhibitor and the like, and the range is from 2000 to 200,000 cps (centipoise). For example, when the coating on the glass substrate is performed by a spin coating method other than the screen printing method, 200 to 5000 cps is preferable. In order to obtain a film thickness of 10 to 20 μm by applying once by a screen printing method, 50,000 to 200,000 cps is preferable. When a blade coater method, a die coater method, or the like is used, 2000 to 2
0000 cps is preferred.

【0079】感光性ペーストを用いた隔壁形成は、次の
ように行われる。ガラス基板に、感光性ペーストを塗布
する。塗布方法としては、スクリーン印刷法、バーコー
ター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコータ
ーなど一般的な方法を用いることができる。塗布厚み
は、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度
を選ぶことによって調整できる。
The formation of the partition walls using the photosensitive paste is performed as follows. A photosensitive paste is applied to a glass substrate. As a coating method, a general method such as a screen printing method, a bar coater, a roll coater, a die coater, and a blade coater can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings, the screen mesh, and the viscosity of the paste.

【0080】ここで、ペーストをガラス基板上に塗布す
る場合、ガラス基板と塗布膜との密着性を高めるため
に、予め、ガラス基板の表面処理を行うことができる。
表面処理液としては、シランカップリング剤、例えば、
ビニルトリクロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、
ビニルトリエトキシシラン、トリス(2−メトキシエト
キシ)ビニルシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメ
トキシシラン、γ−(メタクリロキシプロピル)トリメ
トキシシラン、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピ
ルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキ
シシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−アミノプロピルトリエトキシシランなど、ある
いは有機金属例えば、有機チタン、有機アルミニウム、
有機ジルコニウムなどである。シランカップリング剤あ
るいは有機金属を有機溶媒、例えば、エチレングリコー
ルモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチル
エーテル、メチルアルコール、エチルアルコール、プロ
ピルアルコール、ブチルアルコールなどがあり、0.1
〜5%の濃度に希釈したものを使用するのが好ましい。
次に、この表面処理液をスピナーなどでガラス基板上に
均一に塗布した後に、80〜140℃で10〜60分間
乾燥することによって表面処理が完了する。
Here, when the paste is applied on a glass substrate, a surface treatment of the glass substrate can be performed in advance in order to enhance the adhesion between the glass substrate and the coating film.
As the surface treatment liquid, a silane coupling agent, for example,
Vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane,
Vinyltriethoxysilane, tris (2-methoxyethoxy) vinylsilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ- (methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ- (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ -Chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, or the like, or an organic metal such as organic titanium, organic aluminum,
Organic zirconium and the like. A silane coupling agent or an organic metal is used as an organic solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, butyl alcohol, and the like.
It is preferable to use those diluted to a concentration of 55%.
Next, the surface treatment liquid is uniformly applied on a glass substrate with a spinner or the like, and then dried at 80 to 140 ° C. for 10 to 60 minutes to complete the surface treatment.

【0081】感光性ペースト塗布した後、露光装置を用
いて露光を行う。露光は、通常のフォトリソグラフィで
行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する
方法が一般的である。用いるマスクは、感光性有機成分
の種類によって、ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選
定する。また、フォトマスクを用いずに、レーザ光など
で直接描画する方法を用いても良い。
After the application of the photosensitive paste, exposure is performed using an exposure device. The exposure is generally performed by a mask exposure using a photomask, as is performed by ordinary photolithography. As the mask to be used, either a negative type or a positive type is selected depending on the type of the photosensitive organic component. Alternatively, a method of directly drawing with a laser beam or the like without using a photomask may be used.

【0082】フォトマスクを用いて露光する際に、隔壁
ピッチに対応した開口を有するフォトマスクを用いる
が、この場合に、RGB各色の蛍光体を塗布する隔壁間
隔に所定の値の差がつくように露光することにより、本
発明の用件を満たす隔壁を形成することができる。
When exposing using a photomask, a photomask having openings corresponding to the pitch of the partition walls is used. In this case, a predetermined value difference is produced between the partition walls for applying phosphors of RGB colors. By exposing to light, a partition wall satisfying the requirements of the present invention can be formed.

【0083】露光装置としては、ステッパー露光機、プ
ロキシミティ露光機などを用いることができる。また、
大面積の露光を行う場合は、ガラス基板上に感光性ペー
ストを塗布した後に、搬送しながら露光を行うことによ
って、小さな露光面積の露光機で、大きな面積を露光す
ることができる。
As an exposure apparatus, a stepper exposure machine, a proximity exposure machine, or the like can be used. Also,
In the case of performing exposure in a large area, a large area can be exposed by an exposure machine having a small exposure area by applying a photosensitive paste on a glass substrate and performing exposure while transporting the photosensitive paste.

【0084】この際使用される活性光源は、例えば、可
視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザ光な
どが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、
その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用でき
る。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光
条件は、塗布厚みによって異なるが、1〜100mW/
cm2の出力の超高圧水銀灯を用いて0.5〜30分間
露光を行う。
The active light source used at this time includes, for example, visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, laser light and the like. Of these, ultraviolet rays are most preferred,
As the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a halogen lamp, a germicidal lamp, and the like can be used. Among these, an ultra-high pressure mercury lamp is preferred. Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but 1 to 100 mW /
Exposure is performed for 0.5 to 30 minutes using an ultra-high pressure mercury lamp having an output of cm 2 .

【0085】塗布した感光性ペースト表面に、酸素遮断
膜を設けることによって、パターン形状を向上すること
ができる。酸素遮断膜の一例としては、ポリビニルアル
コールやセルロースなどの膜、あるいは、ポリエステル
などのフィルムが挙げられる。
By providing an oxygen blocking film on the surface of the applied photosensitive paste, the pattern shape can be improved. As an example of the oxygen barrier film, a film such as polyvinyl alcohol or cellulose, or a film such as polyester can be given.

【0086】ポリビニルアルコール膜の形成方法は、濃
度が0.5〜5重量%の水溶液をスピナーなどの方法
で、基板上に均一に塗布した後に、70〜90℃で10
〜60分間乾燥することによって水分を蒸発させて行
う。また、この際、水溶液中にアルコールを少量添加す
ると濡れ性が良くなり蒸発が容易になるので好ましい。
さらに好ましいポリビニルアルコールの溶液濃度は、1
〜3重量%である。この範囲にあると、感度が一層向上
する。ポリビニルアルコール塗布によって感度が向上す
るのは、次の理由が推定される。すなわち、感光性成分
が光反応する際に、空気中の酸素が反応を妨害すると推
定され、この理由によれば、ポリビニルアルコール膜が
あると余分な酸素を遮断できるので露光時に感度が向上
するものと考えられ、ポリビニルアルコール膜の存在
は、好ましいと云える。
The polyvinyl alcohol film is formed by uniformly applying an aqueous solution having a concentration of 0.5 to 5% by weight on a substrate by a method such as a spinner, and then applying the aqueous solution at 70 to 90 ° C. for 10 minutes.
This is done by evaporating the water by drying for ~ 60 minutes. At this time, it is preferable to add a small amount of alcohol to the aqueous solution because the wettability is improved and the evaporation is facilitated.
More preferred solution concentration of polyvinyl alcohol is 1
33% by weight. Within this range, the sensitivity is further improved. The reason why the sensitivity is improved by applying polyvinyl alcohol is presumed to be as follows. That is, when the photosensitive component undergoes a photoreaction, it is estimated that oxygen in the air interferes with the reaction. For this reason, the presence of a polyvinyl alcohol film can block excess oxygen, thereby improving sensitivity during exposure. It is considered that the presence of the polyvinyl alcohol film is preferable.

【0087】ポリエステルやポリプロピレン、ポリエチ
レンなどの透明なフィルムを用いる場合は、塗布後の感
光性ペーストの上に、これらのフィルムを張り付けて用
いる方法がある。
When a transparent film of polyester, polypropylene, polyethylene, or the like is used, there is a method in which these films are attached to the photosensitive paste after application.

【0088】露光後、露光部分と非露光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して、現像を行うが、この場合、
浸漬法やスプレー法、ブラシ法で行う。
After exposure, development is carried out by utilizing the difference in solubility between the exposed part and the non-exposed part in the developing solution.
It is performed by a dipping method, a spray method, or a brush method.

【0089】現像液は、感光性ペースト中の有機成分が
溶解可能である有機溶媒を用いる。また、該有機溶媒に
その溶解力が失われない範囲で水を添加してもよい。感
光性ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化
合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。ア
ルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリ
ウム、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有
機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を
除去しやすいので好ましい。
As the developer, an organic solvent in which the organic components in the photosensitive paste can be dissolved is used. In addition, water may be added to the organic solvent as long as its solvent power is not lost. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, development can be performed with an aqueous alkali solution. As the alkali aqueous solution, sodium hydroxide, sodium carbonate, calcium hydroxide aqueous solution and the like can be used, but it is preferable to use an organic alkali aqueous solution since the alkali component can be easily removed at the time of firing.

【0090】有機アルカリとしては、一般的なアミン化
合物を用いることができる。具体的には、テトラメチル
アンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアン
モニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエ
タノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃
度は、通常、0.01〜10重量%、より好ましくは
0.1〜5重量%である。アルカリ濃度が低過ぎれば可
溶部が除去されず、アルカリ濃度が高過ぎれば、パター
ン部を剥離させ、また、非可溶部を腐食させる恐れがあ
り良くない。また、現像時の現像温度は、20〜50℃
で行うことが工程管理上好ましい。
As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine and the like. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion is not removed, and if the alkali concentration is too high, the pattern portion may be peeled off and the non-soluble portion may be corroded, which is not good. The development temperature during development is 20 to 50 ° C.
Is preferably performed in terms of process control.

【0091】次に、焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気
や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空
気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉と
しては、バッチ式の焼成炉やベルト式の連続型焼成炉を
用いることができる。焼成温度は、400〜1000℃
で行う。ガラス基板上にパターン加工する場合は、45
0〜620℃の温度で10〜60分間保持して焼成を行
う。
Next, firing is performed in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of paste or substrate, but firing is performed in an atmosphere such as air, nitrogen, or hydrogen. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a belt-type continuous firing furnace can be used. The firing temperature is 400-1000 ° C
Do with. When processing a pattern on a glass substrate, 45
The sintering is performed at a temperature of 0 to 620 ° C. for 10 to 60 minutes.

【0092】隔壁を形成した後に、RGB各色に発光す
る蛍光体層を形成する。蛍光体粉末、有機バインダーお
よび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔
壁間に形成することにより、蛍光体層を形成することが
できる。蛍光体ペーストを所定の隔壁間に形成する方法
としては、スクリーン印刷法によりパターン印刷する方
法や所定のピッチの吐出孔を有する口金から蛍光体ペー
ストを所定の隔壁間に吐出して形成する方法を用いるこ
とができる。また、有機バインダーとして、前述の感光
性を有する有機成分を用いることにより、感光性蛍光体
ペーストを作製して、フォトリソグラフィー法により各
色蛍光体層を所定の場所に形成することができる。
After the formation of the partition walls, a phosphor layer which emits light of each color of RGB is formed. A phosphor layer can be formed by forming a phosphor paste containing a phosphor powder, an organic binder, and an organic solvent as main components between predetermined partition walls. As a method of forming the phosphor paste between predetermined partitions, a method of pattern printing by a screen printing method or a method of forming the phosphor paste by discharging the phosphor paste between predetermined partitions from a die having discharge holes of a predetermined pitch is used. Can be used. In addition, by using the above-described organic component having photosensitivity as the organic binder, a photosensitive phosphor paste can be prepared, and a phosphor layer of each color can be formed at a predetermined position by a photolithography method.

【0093】R蛍光体層の厚みをTr、G蛍光体層の厚
みをTg、および、B蛍光体層の厚みをTbとしたと
き、 10μm≦Tr<Tb≦50μm 10μm≦Tg<Tb≦50μm なる関係を有することにより、より本発明の効果を発揮
できる。つまり、発光輝度の低い青色について、塗布面
積を広げるだけでなく、厚みを緑色、赤色よりも厚くす
ることにより、より色バランスに優れた(色温度の高
い)プラズマディスプレイを作製できる。この場合の蛍
光体層の厚みとしては、10μmよりも薄くなると十分
な輝度を得ることができなにくい。また、厚みが50μ
mよりも厚くなると放電空間が狭くなり輝度が低下しや
すいという問題が生じる。この場合の蛍光体層の厚み
は、隣り合う隔壁の中間点での形成厚みとして測定す
る。つまり、放電空間(セル内)の底部に形成された蛍
光体層の厚みとして測定する。
When the thickness of the R phosphor layer is Tr, the thickness of the G phosphor layer is Tg, and the thickness of the B phosphor layer is Tb, 10 μm ≦ Tr <Tb ≦ 50 μm 10 μm ≦ Tg <Tb ≦ 50 μm By having the relationship, the effect of the present invention can be more exhibited. In other words, a plasma display having a better color balance (higher color temperature) can be manufactured by not only increasing the application area but also making the thickness thicker than that of green and red for blue light with low emission luminance. If the thickness of the phosphor layer in this case is less than 10 μm, it is difficult to obtain sufficient luminance. The thickness is 50μ.
When the thickness is larger than m, a problem arises that the discharge space is narrowed and the luminance is likely to be reduced. In this case, the thickness of the phosphor layer is measured as a thickness formed at an intermediate point between adjacent partition walls. That is, it is measured as the thickness of the phosphor layer formed at the bottom of the discharge space (in the cell).

【0094】蛍光体層を形成した該基板を必要に応じ
て、400〜550℃で焼成する事により、本発明のプ
ラズマディスプレイ用基板を作製することができる。
The substrate on which the phosphor layer is formed is baked at 400 to 550 ° C., if necessary, to produce the substrate for a plasma display of the present invention.

【0095】該プラズマディスプレイ用基板と前面基
板、すなわち、所定のパターンで透明電極、バス電極、
誘電体、保護膜(MgO)を形成したガラス基板を封着
後、基板の間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオ
ン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆
動回路を装着してプラズマディスプレイを作製できる。
The plasma display substrate and the front substrate, that is, transparent electrodes, bus electrodes,
After sealing a glass substrate on which a dielectric and a protective film (MgO) are formed, a discharge gas composed of helium, neon, xenon, or the like is filled in a space formed between the substrates, and a drive circuit is mounted. A plasma display can be manufactured.

【0096】[0096]

【実施例】以下、実施例を用いて、本発明を更に具体的
に説明する。但し、本発明は、該実施例に限定されるも
のではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the embodiment.

【0097】実施例1 溶媒(γ−ブチルラクトン)と感光性ポリマとを、感光
性ポリマ40%溶液になるように混合し、攪拌しながら
60℃まで加熱して、すべてのポリマを均質に溶解させ
た。感光性ポリマは、40%のメタクリル酸、30%の
メチルメタクリレートおよび30%のスチレンからなる
共重合体のカルボキシル基に対して0.4当量のグリシ
ジルメタクリレートを付加反応させた重量平均分子量4
3,000、酸価95のポリマである。次いで、溶液を
室温まで冷却し、感光性モノマ、光重合開始剤、増感剤
などを加えて溶解させた。その後、この溶液を400メ
ッシュのフィルターを用いて濾過し、感光性有機成分を
作製した。本実施例に用いた感光性モノマ、光開始剤、
増感剤は、次の化合物である。感光性モノマ:キシリレ
ンジアミン1モルに4モルのグリシジルメタクリレート
を付加した化合物 光開始剤 :2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1
−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 増感剤 :2,4−ジエチルチオキサントン。
Example 1 A solvent (γ-butyl lactone) and a photosensitive polymer were mixed so as to form a 40% solution of the photosensitive polymer, and heated to 60 ° C. with stirring to dissolve all the polymers homogeneously. I let it. The photosensitive polymer has a weight-average molecular weight of 4 in which 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate is added to the carboxyl group of a copolymer consisting of 40% methacrylic acid, 30% methyl methacrylate and 30% styrene.
It is a polymer having a 3,000 acid value of 95. Next, the solution was cooled to room temperature, and a photosensitive monomer, a photopolymerization initiator, a sensitizer and the like were added and dissolved. Thereafter, this solution was filtered using a 400-mesh filter to prepare a photosensitive organic component. Photosensitive monomer, photoinitiator used in this example,
The sensitizer is the following compound. Photosensitive monomer: Compound obtained by adding 4 mol of glycidyl methacrylate to 1 mol of xylylenediamine Photoinitiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1
-(4-morpholinophenyl) -butanone-1 Sensitizer: 2,4-diethylthioxanthone.

【0098】次に、アゾ系有機染料のスダンを、ガラス
粉末に対して0.10%の割合で秤量した。スダンをア
セトンに溶解させ、分散剤を加えてホモジナイザで均質
に攪拌し、この溶液中にガラス粉末を添加して均質に分
散、混合後、ロータリーエバポレータを用いて、150
〜200℃の温度で乾燥し、アセトンを蒸発させた。こ
のようにして、有機染料からなる紫外線吸収剤の膜でガ
ラス粉末の表面を均質にコーティングした(いわゆるカ
プセル処理した)粉末を作製した。
Next, sudan, an azo organic dye, was weighed at a rate of 0.10% with respect to the glass powder. Sudan was dissolved in acetone, a dispersing agent was added thereto, and the mixture was stirred homogeneously with a homogenizer. Glass powder was added to the solution, homogeneously dispersed and mixed, and then mixed with a rotary evaporator.
Dry at a temperature of 200 ° C. and evaporate the acetone. In this way, a powder in which the surface of the glass powder was uniformly coated with a film of an ultraviolet absorber composed of an organic dye (so-called capsule treatment) was produced.

【0099】ここに用いたガラス粉末は、Li2O:9
%、SiO2:22%、B23:33%、BaO:4
%、Al23:23%、ZnO:2%、MgO:7%の
組成を有するものである。また、ガラス粉末は、予めア
トラクターで微粉末にし、平均粒径2.6μm、屈折率
1.58のものである。
The glass powder used here was Li 2 O: 9
%, SiO 2 : 22%, B 2 O 3 : 33%, BaO: 4
%, Al 2 O 3 : 23%, ZnO: 2%, MgO: 7%. The glass powder is finely divided in advance with an attractor and has an average particle size of 2.6 μm and a refractive index of 1.58.

【0100】上記の有機成分と上記紫外線吸収剤添加の
ガラス粉末を、ガラス粉末60重量部、感光性有機成分
(溶媒を除く)25重量部、溶媒(γ−ブチルラクト
ン)15重量部の割合になるように添加し、3本ローラ
で混合、分散して、感光性ペーストを調製した。
The above-mentioned organic component and the glass powder to which the ultraviolet absorber was added were mixed in a proportion of 60 parts by weight of the glass powder, 25 parts by weight of the photosensitive organic component (excluding the solvent), and 15 parts by weight of the solvent (γ-butyl lactone). Were added and mixed and dispersed with three rollers to prepare a photosensitive paste.

【0101】蛍光体層を形成する隔壁間距離の相違に対
応する間隔で形成されたストライプ状のデータ電極と誘
電体層を有するガラス基板上に、スリットダイコーター
により、180μmの乾燥後厚みになるように感光性ペ
ーストの塗布を行った後、80℃で1時間乾燥した。
On a glass substrate having a stripe-shaped data electrode and a dielectric layer formed at intervals corresponding to the difference in the distance between the partitions forming the phosphor layer, a thickness of 180 μm after drying is obtained by a slit die coater using a slit die coater. After applying the photosensitive paste as described above, it was dried at 80 ° C. for 1 hour.

【0102】次に、フォトマスクを介して露光を行っ
た。マスクは、B蛍光体層の形成される隔壁間ピッチを
260μmとし、R蛍光体層およびG蛍光体層の形成さ
れる隔壁間ピッチを200μmとし、隔壁の線幅を30
μmとしたプラズマディスプレイにおけるストライプ状
の隔壁パターンが形成可能になるように設計したクロム
マスクである。露光は、50mW/cm2の出力の超高
圧水銀灯で15J/cm2の紫外線露光を行った。その
後、モノエタノールアミンの1%水溶液に浸漬して現像
した。
Next, exposure was performed through a photomask. The mask has a pitch between the partition walls on which the B phosphor layers are formed is 260 μm, a pitch between the partition walls on which the R phosphor layer and the G phosphor layer are formed is 200 μm, and the line width of the partition walls is 30 μm.
This is a chrome mask designed to be able to form a striped partition pattern in a plasma display having a thickness of μm. Exposure was performed using an ultra-high pressure mercury lamp having an output of 50 mW / cm 2 to perform 15 J / cm 2 ultraviolet exposure. Then, it was developed by immersing it in a 1% aqueous solution of monoethanolamine.

【0103】感光性ペーストをパターン化して得られた
ガラス基板を120℃で1時間乾燥した後、560℃で
1時間焼成を行った。焼成により約20%程度の収縮が
生じた。
The glass substrate obtained by patterning the photosensitive paste was dried at 120 ° C. for 1 hour, and baked at 560 ° C. for 1 hour. The firing caused shrinkage of about 20%.

【0104】電極、誘電体、隔壁が形成されている基板
上に、スクリーン印刷法により、RGB蛍光体を塗布
し、乾燥、焼成工程を経て蛍光体層を形成した。蛍光体
は、隔壁の底面のみならず側面にも塗布して、底面およ
び側面に蛍光面を形成した。
An RGB phosphor was applied by a screen printing method on a substrate on which electrodes, dielectrics, and partition walls were formed, and dried and fired to form a phosphor layer. The phosphor was applied not only on the bottom surface but also on the side surfaces of the partition walls to form phosphor screens on the bottom surface and the side surfaces.

【0105】このようにして形成した背面ガラス基板
を、別途用意した前面ガラス基板と合わせた後、封着、
ガス封入を行い、駆動回路を接合してプラズマディスプ
レイを作製し、電圧を印加して表示を行った。
After the rear glass substrate thus formed is combined with a separately prepared front glass substrate, sealing is performed.
Gas filling was performed, a driving circuit was joined, a plasma display was manufactured, and a voltage was applied to perform display.

【0106】得られた青色発光輝度を測定したところ、
比較例1のプラズマディスプレイの発光輝度よりも、約
10%高いこと、および、全面発光した場合、パネルデ
ィスプレイ全体が、青色で美しい白色を表示しているこ
とを、それぞれ確認した。
When the obtained blue light emission luminance was measured,
It was confirmed that the emission luminance of the plasma display of Comparative Example 1 was about 10% higher than that of the plasma display, and that the entire panel display displayed a beautiful white color in blue when the entire display was illuminated.

【0107】また、駆動回路による色補正をしない状態
での色温度が、10000度であり、表示品に優れてい
ることがわかった。
The color temperature without color correction by the driving circuit was 10,000 degrees, which proved to be excellent in display products.

【0108】実施例2 フォトマスクとして、B蛍光体層の形成される隔壁間ピ
ッチを260μm、G蛍光体層の形成される隔壁間ピッ
チを240μmとし、R蛍光体層の形成される隔壁間ピ
ッチを160μmとし、隔壁の線幅を30μmとしたプ
ラズマディスプレイにおけるストライプ状の隔壁パター
ンが形成可能になるように設計したクロムマスクを用い
た以外は、実施例1と同様にしてプラズマディスプレイ
を作製し、電圧を印加して表示を行った。
Example 2 As a photomask, the pitch between the partition walls where the B phosphor layers are formed is 260 μm, the pitch between the partition walls where the G phosphor layers are formed is 240 μm, and the pitch between the partition walls where the R phosphor layers are formed. A plasma display was manufactured in the same manner as in Example 1, except that a chromium mask designed to enable formation of a stripe-shaped partition pattern in a plasma display having a partition width of 30 μm and a line width of 30 μm was used. Display was performed by applying a voltage.

【0109】得られた青色発光輝度を測定したところ、
比較例1のプラズマディスプレイの発光輝度よりも、約
15%高いこと、および、全面発光した場合、パネルデ
ィスプレイ全体が、青色で美しい白色を表示しているこ
とを、それぞれ確認した。
When the obtained blue light emission luminance was measured,
It was confirmed that the emission luminance of the plasma display of Comparative Example 1 was higher than that of the plasma display by about 15%, and that the entire panel display displayed a beautiful white color in blue when the entire panel was illuminated.

【0110】また、駆動回路による色補正をしない状態
での色温度が、12000度であり、表示品に優れてい
ることがわかった。
Further, the color temperature without color correction by the drive circuit was 12000 ° C., which proved to be excellent in display products.

【0111】比較例1 フォトマスクとして、R蛍光体層、G蛍光体層およびB
蛍光体層の形成される隔壁間ピッチを全て220μmと
し、隔壁の線幅を30μmとしたプラズマディスプレイ
におけるストライプ状の隔壁パターンが形成可能になる
ように設計したクロムマスクを用いた以外は、実施例1
と同様にして、プラズマディスプレイを作製し、電圧を
印加して表示を行った。駆動回路による色補正をしない
状態での色温度は4000度であった。
Comparative Example 1 As a photomask, an R phosphor layer, a G phosphor layer and a B phosphor layer were used.
Except for using a chromium mask designed to be able to form a stripe-shaped partition pattern in a plasma display in which the pitch between partition walls on which the phosphor layers are formed is all 220 μm and the line width of the partition walls is 30 μm. 1
In the same manner as in the above, a plasma display was manufactured, and a voltage was applied to perform display. The color temperature without the color correction by the drive circuit was 4000 degrees.

【0112】[0112]

【発明の効果】本発明に係るプラズマディスプレイによ
れば、従来のプラズマディスプレイが有していた、青色
発光蛍光体に比べ、赤色および緑色発光蛍光体のもつ能
力が十分発揮されないという問題点が解消され、各発光
蛍光体の輝度能力をほぼ均等に利用でき、バランスの良
いより明るいカラー画像の表示が可能で、また、従来の
プラズマディスプレイが有していた、全面発光した場合
に美しい白色画像の表示が困難であるという問題点が解
消され、美しい白色画像の表示が可能である。
According to the plasma display of the present invention, it is possible to solve the problem of the conventional plasma display that the red and green light-emitting phosphors do not exhibit the full capability compared to the blue light-emitting phosphor. This makes it possible to use the luminance capabilities of the light emitting phosphors almost equally, to display a well-balanced and brighter color image, and to provide a beautiful white image when the entire surface is illuminated, which is the conventional plasma display. The problem that display is difficult is solved, and a beautiful white image can be displayed.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01J 9/02 H01J 9/02 F (56)参考文献 特開 平11−54047(JP,A) 特開 平10−308179(JP,A) 特開 平8−190869(JP,A) 特開 平9−115466(JP,A) 特開 平10−247458(JP,A) 実開 平1−181074(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 11/02 H01J 9/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI H01J 9/02 H01J 9/02 F (56) References JP-A-11-54047 (JP, A) JP-A-10-308179 ( JP, A) JP-A-8-190869 (JP, A) JP-A-9-115466 (JP, A) JP-A-10-247458 (JP, A) JP-A-1-181074 (JP, U) (58) ) Surveyed field (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 11/02 H01J 9/02

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ガラス基板上に、RGB各色を発光する蛍
光体層がストライプ状に形成され、かつ、該RGB蛍光
体層を仕切る隔壁が形成されてなるプラズマディスプレ
イ用基板において、前記R蛍光体層が形成されている隔
壁間距離をPr、前記B蛍光体層が形成されている隔壁
間距離Pbとしたとき、 Pb>Pr なる関係を有し、かつ、B蛍光体層に、Sr5(PO4
3Cl:Eu、BaMgAl1423:Eu、BaMgA
1627:Eu、BaMg2Al1424:Eu、Zn
S:Ag+赤色顔料、Y2SiO3:Ce、(Ba、E
u)MgAl1017の内から選ばれる少なくとも1種類
以上の蛍光体を用いることを特徴とするプラズマディス
プレイ用基板。
1. A plasma display substrate comprising a glass substrate, on which a phosphor layer emitting each of RGB colors is formed in a stripe shape, and a partition wall for partitioning the RGB phosphor layer is formed. When the distance between the partition walls where the layer is formed is Pr and the distance between the partition walls where the B phosphor layer is formed is Pb, there is a relationship of Pb> Pr, and Sr 5 ( PO 4 )
3 Cl: Eu, BaMgAl 14 O 23 : Eu, BaMgA
l 16 O 27 : Eu, BaMg 2 Al 14 O 24 : Eu, Zn
S: Ag + red pigment, Y 2 SiO 3 : Ce, (Ba, E
u) A substrate for a plasma display, wherein at least one kind of phosphor selected from MgAl 10 O 17 is used.
【請求項2】B蛍光体層に、(Ba、Eu)MgAl10
17を用いることを特徴とする請求項1記載のプラズマ
ディスプレイ用基板。
2. The method according to claim 1, wherein the (B, Eu) MgAl 10
Plasma display substrate of claim 1, wherein the use of O 17.
【請求項3】前記R蛍光体層が形成されている隔壁間距
離Pr、および、前記G蛍光体層が形成されている隔壁
間距離Pgが、 1<Pg/Pr≦2 なる関係を有する請求項1または2に記載のプラズマデ
ィスプレイ用基板。
3. The distance Pr between the partitions on which the R phosphor layers are formed and the distance Pg between the partitions on which the G phosphor layers are formed have a relationship of 1 <Pg / Pr ≦ 2. Item 3. The substrate for a plasma display according to item 1 or 2 .
【請求項4】前記R蛍光体層の厚みをTr、前記G蛍光
体層の厚みをTg、および、前記B蛍光体層の厚みをT
bとしたとき、 10μm≦Tr<Tb≦50μm 10μm≦Tg<Tb≦50μm なる関係を有する請求項1または2に記載のプラズマデ
ィスプレイ用基板。
4. The thickness of the R phosphor layer is Tr, the thickness of the G phosphor layer is Tg, and the thickness of the B phosphor layer is T.
when it is b, a plasma display substrate according to claim 1 or 2 having a 10μm ≦ Tr <Tb ≦ 50μm 10μm ≦ Tg <Tb ≦ 50μm the relationship.
【請求項5】ガラス基板上に電極、誘電体および保護膜
を形成した前面基板と、ガラス基板上に電極、誘電体、
隔壁、蛍光体を形成した背面基板からなるプラズマディ
スプレイにおいて、請求項1〜のいずれかに記載のプ
ラズマディスプレイ用基板を背面基板として用いること
を特徴とするプラズマディスプレイ。
5. A front substrate having an electrode, a dielectric and a protective film formed on a glass substrate, and an electrode, a dielectric, and a
A plasma display comprising a rear substrate on which partitions and phosphors are formed, wherein the plasma display substrate according to any one of claims 1 to 4 is used as a rear substrate.
【請求項6】ガラス基板上に、感光性ペーストを塗布す
る工程、パターン露光を行う工程、および、現像液に溶
解する部分を現像で取り除く工程を経た後に、450℃
〜620℃で焼成することにより、隔壁を形成してなる
請求項1〜のいずれかに記載のプラズマディスプレイ
用基板の製造方法。
6. A step of applying a photosensitive paste on a glass substrate, a step of performing pattern exposure, and a step of removing a portion dissolved in a developing solution by development, and then performing the process at 450 ° C.
The method for producing a plasma display substrate according to any one of claims 1 to 4 , wherein the partition walls are formed by firing at a temperature of from 620 to 620C.
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