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JP3263128B2 - Processing of thin glass - Google Patents
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JP3263128B2 - Processing of thin glass - Google Patents

Processing of thin glass

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JP3263128B2
JP3263128B2 JP16966592A JP16966592A JP3263128B2 JP 3263128 B2 JP3263128 B2 JP 3263128B2 JP 16966592 A JP16966592 A JP 16966592A JP 16966592 A JP16966592 A JP 16966592A JP 3263128 B2 JP3263128 B2 JP 3263128B2
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support plate
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  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はサンドブラスターを用い
て薄板ガラスを切断加工する薄板ガラスの加工法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for processing a thin glass by cutting a thin glass using a sand blaster.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、薄板ガラスを加工して、特定
形状の薄板ガラスを作製する方法として、薄板ガラスに
特定形状のマスクを貼り付けたのち、サンドブラスト加
工によりマスクのない部分を削りとり、特定形状の薄板
ガラスを作製する方法が用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of manufacturing a thin glass having a specific shape by processing a thin glass, a mask having a specific shape is attached to the thin glass, and a portion having no mask is removed by sandblasting. A method for producing a thin glass sheet having a specific shape is used.

【0003】図5および図6を参照して従来のサンドブ
ラスターを用いる加工法を詳しく説明する。まず厚さが
0.2 〜1.0mm の薄板ガラス1を、図5(a)に示される
ように、たとえば熱硬化性、UV硬化性、嫌気性などの
接着剤を用いて厚さが通常2mm程度のバックステー用ガ
ラス板12に貼り付ける。ここで用いられる接着剤11は、
加工後の薄板ガラス1を剥がすことができるように、溶
剤に可溶なものが用いられる。
[0005] A processing method using a conventional sandblaster will be described in detail with reference to FIGS. 5 and 6. First, the thickness
As shown in FIG. 5 (a), a thin glass 1 having a thickness of about 2 mm is formed on a thin glass 1 having a thickness of about 2 mm by using an adhesive such as thermosetting, UV-curing or anaerobic. Paste on the board 12. The adhesive 11 used here is
What is soluble in a solvent is used so that the processed thin glass 1 can be peeled off.

【0004】つぎに、図5(b)に示されるようにバッ
クステー用ガラス板12に貼り付けられた薄板ガラスにサ
ンドブラスト工程での加工に耐えうる材料たとえばゴム
シートからなる特定形状のマスク6を形成する。このマ
スクは特定形状に形成されたマスクを貼り付けてもよい
し、またレジスト膜を全面に形成してフォトリソグラフ
ィ工程によりパターニングして形成してもよい。
[0005] Next, as shown in FIG. 5 (b), a mask 6 of a specific shape made of a material that can withstand the processing in the sandblasting process, for example, a rubber sheet is applied to the thin glass adhered to the glass plate 12 for the back stay. Form. This mask may be formed by attaching a mask formed in a specific shape, or by forming a resist film over the entire surface and patterning it by a photolithography process.

【0005】そののち、アルミナなどの粉末の吹き付け
による加工(サンドブラスト加工)を行うと、図6に示
すようにマスクされていない部分が削り取られてマスク
により覆われた部分の薄板ガラスのみが残る。
[0005] After that, when processing (sand blasting) by spraying a powder of alumina or the like is performed, as shown in FIG. 6, an unmasked portion is shaved off, leaving only the thin glass covered by the mask.

【0006】そののち、マスク6を剥がし、接着剤を溶
剤により溶かし、えられた薄板ガラスを洗浄して接着剤
を除去することにより、マスクの形状と同一の形状を有
する薄板ガラスを形成する。
After that, the mask 6 is peeled off, the adhesive is dissolved by a solvent, and the obtained thin glass is washed and the adhesive is removed to form a thin glass having the same shape as the mask.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】前述した薄板ガラスの
加工方法においては、サンドブラスト工程ののちに薄板
ガラスに接着した接着剤を除去するための洗浄工程が必
要であるため、そのための設備が必要となり、また接着
剤が完全に除去されない不良品が発生して歩留りが低下
するという問題がある。
In the above-mentioned method of processing a thin glass, a washing step for removing an adhesive adhered to the thin glass is required after a sand blasting step, so that equipment is required. In addition, there is a problem that a defective product in which the adhesive is not completely removed occurs to lower the yield.

【0008】また、サンドブラスト加工によるガラスの
微粉末がガラスに付着しやすく、そのためゴミ不良によ
る不良品となりやすいという問題がある。
In addition, there is a problem that fine powder of glass by sand blasting tends to adhere to the glass, and therefore, it is liable to be defective due to dust.

【0009】また、サンドブラスト加工により、バック
ステーガラスも削り取られるため、バックステーガラス
を再度利用することができないという問題がある。
Further, since the back stay glass is also shaved off by the sandblasting, there is a problem that the back stay glass cannot be reused.

【0010】さらには、サンドブラスト加工後に溶剤に
より接着剤を溶かすと、えられた薄板ガラスはバラバラ
になり、後工程での自動化のため、前記薄板ガラスを取
り出しやすいようにトレーなどの容器に配列させる設備
が必要になるという問題がある。
Further, when the adhesive is dissolved by a solvent after the sandblasting, the obtained thin glass is disintegrated, and the thin glass is arranged in a container such as a tray so as to be easily taken out for automation in a later process. There is a problem that equipment is required.

【0011】本発明は、前記のような薄板ガラスに付着
した接着剤の洗浄による除去工程や加工された薄板ガラ
スの配列工程の必要がなく、ガラス微粉末が製品に付着
しない新規な薄板ガラス加工法を提供することを目的と
する。
The present invention eliminates the need for the step of removing the adhesive adhered to the thin glass by washing as described above and the step of arranging the processed thin glass, and the novel thin glass processing wherein fine glass powder does not adhere to the product. The purpose is to provide the law.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明のサンドブラスタ
ーを用いた薄板ガラスの加工法は、サンドブラスターを
用いて薄板ガラスを切断加工する方法であって、 (a)支持板と薄板ガラスとを、サンドブラストの圧力
を吸収する弾力性を有し前記支持板をサンドブラスト加
工から保護する両面接着テープにより接着し、 (b)該薄板ガラスにマスクを形成し、 (c)サンドブラスターにより前記薄板ガラスを切断加
工し、 (d)薄板ガラスを前記支持板から剥離することからな
ることを特徴とする。
Means for Solving the Problems A method for processing thin glass using a sand blaster according to the present invention is a method for cutting thin glass using a sand blaster. , Sandblast pressure
The support plate has elasticity to absorb
Bonded with double-sided adhesive tape to protect from Engineering, (b) a mask is formed thin plate glass, (c) was cut with the thin glass by sandblasting, be separated from the support plate (d) is the thin glass It is characterized by consisting of.

【0013】[0013]

【作用】本発明においては、柔軟な両面接着テープが用
いられているので、弾力性があり、サンドブラスト加工
によっても前記支持板の削れは生じない。
In the present invention, since a flexible double-sided adhesive tape is used, the support plate has elasticity, and the support plate is not scraped even by sandblasting.

【0014】また、前記加工によって発生する微粉末
は、両面テープの露出した接着剤にトラップされて飛散
しないために、薄板ガラス製品に付着せず、ゴミ不良に
よる不良品が発生しない。
Further, since the fine powder generated by the above processing is not trapped and scattered by the exposed adhesive of the double-sided tape, it does not adhere to the thin glass product, and no defective product due to defective dust is generated.

【0015】さらに、薄板ガラスを接着する接着剤とし
て、加熱処理などにより接着力が弱くなる粘着剤層を用
いたばあい、サンドブラスト加工後に、加熱処理を施す
ことにより、薄板ガラスは支持板より剥離されるので、
前記剥離工程をトレー上で行うことにより、切断加工さ
れた薄板ガラスの製品が整列された配列状態のままでト
レー上に配列され、配列の工程を省略することができ
る。
Further, when an adhesive layer whose adhesive strength is weakened by heat treatment or the like is used as an adhesive for bonding the thin glass, the thin glass is separated from the support plate by performing a heat treatment after sandblasting. So that
By performing the peeling step on the tray, the cut thin glass products are arranged on the tray in an aligned state, and the arrangement step can be omitted.

【0016】[0016]

【実施例】本発明のサンドブラスターを用いた薄板ガラ
スの成形加工法を図1に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for forming a thin glass using the sandblaster of the present invention will be described with reference to FIG.

【0017】薄板ガラス1は0.2 〜1.0mm の厚さでホウ
ケイ酸ガラスなどからなり、半導体レーザのレーザキャ
ップなど発射光の窓などに用いられるもので、支持板3
は、フラットな面がえられるものなら、どのようなもの
でも用いることができ、その例としては、アルミニウム
などの金属板、ポリプロピレンなどのプラスチック板、
ガラス板などがあげられる。前記支持板のなかでは、安
価でフラットな面がえられやすいことから、ガラス板が
好ましい。
The thin glass plate 1 is made of borosilicate glass and has a thickness of 0.2 to 1.0 mm and is used for a window of emitted light such as a laser cap of a semiconductor laser.
Can be used as long as a flat surface can be obtained, for example, a metal plate such as aluminum, a plastic plate such as polypropylene,
Glass plates and the like can be mentioned. Among the support plates, a glass plate is preferable because a flat surface is easily obtained at low cost.

【0018】本発明では、前記薄板ガラス1と支持板3
とを両面接着テープ2により接着することに特徴があ
る。
In the present invention, the thin glass 1 and the support plate 3
Is characterized by being adhered with a double-sided adhesive tape 2.

【0019】両面接着テープの接着面のうち薄板ガラス
1と接着する一方の面は、加熱処理することにより接着
力がなくなる発泡粘着剤層2aで形成され、支持板3と
接着する他方の面は前記薄板ガラス1との接着面2aの
接着力がなくなる温度では、接着力に何ら変化が生じな
い通常の粘着剤層2bで形成され、その中間層2cは基
材フィルムで形成されている。具体例としては、たとえ
ば両面接着テープ3195M(日東電気工業(株)製、
商品名)のように、一方の面は発泡粘着剤層2aで形成
され120 ℃に加熱されると発泡して膨張し、接着面も不
定形となり、接着物は剥離される。一方、他方の面はア
クリル系やゴム系のような通常の粘着剤層2bで形成さ
れる。そのため、120 ℃位に昇温しても粘着力には何ら
変化が生じず、発泡粘着剤層2aのみの接着力がなくな
り、一方の面だけが剥離される。
One of the adhesive surfaces of the double-sided adhesive tape, which adheres to the thin glass 1, is formed of a foamed pressure-sensitive adhesive layer 2 a which loses its adhesive strength by heat treatment, and the other surface which adheres to the support plate 3 is At a temperature at which the adhesive strength of the adhesive surface 2a to the thin glass 1 is lost, the adhesive layer 2b is formed of a normal pressure-sensitive adhesive layer 2b with no change in adhesive strength, and the intermediate layer 2c is formed of a base film. As a specific example, for example, double-sided adhesive tape 3195M (manufactured by Nitto Electric Industries, Ltd.,
One surface is formed of a foamed pressure-sensitive adhesive layer 2a as shown in (trade name), and when heated to 120 ° C., expands and expands, the bonding surface becomes indefinite, and the adhesive is peeled off. On the other hand, the other surface is formed of a normal pressure-sensitive adhesive layer 2b such as an acrylic or rubber type. Therefore, even if the temperature is raised to about 120 ° C., no change occurs in the adhesive strength, the adhesive strength of the foamed adhesive layer 2a alone is lost, and only one surface is peeled off.

【0020】この片側の接着力のみが温度の上昇により
低下する接着テープとしては、発泡性に限らず、温度の
上昇により接着力がなくなる接着剤であればよく、また
温度上昇ではなく紫外線の照射などによって接着力が低
下する接着剤が使用されてもよい。
The adhesive tape whose adhesive force on one side only decreases with an increase in temperature is not limited to the foaming property, but may be any adhesive that loses its adhesive force with an increase in temperature. For example, an adhesive whose adhesive strength is reduced due to such factors may be used.

【0021】本発明のガラスの加工法では、まず薄板ガ
ラス1と支持板3とを前記両面接着テープ2により接着
する。
In the glass processing method of the present invention, first, the thin glass 1 and the support plate 3 are bonded by the double-sided adhesive tape 2.

【0022】薄板ガラス1を前記両面接着テープ2によ
り支持板3に貼り付けたのち、薄板ガラス1上には図1
(b)に示されるように接着性を有する所定の形状のマ
スク6を所定の配列で形成する。
After the thin glass 1 is attached to the support plate 3 with the double-sided adhesive tape 2, the thin glass 1
As shown in (b), a mask 6 having a predetermined shape having adhesiveness is formed in a predetermined arrangement.

【0023】前記マスクとしては、従来よりガラス板の
サンドブラスト加工に用いられているマスクであれば、
いずれものものも用いることができるが、その具体例と
しては、たとえばゴムシートなどがあげられ、その厚さ
は通常0.5 〜1mm程度である。また、このマスクはあら
かじめ成形されたマスクを貼り付けなくてもレジスト膜
のような樹脂製のマスクを一面に形成し、フォトリソグ
ラフィ工程によりパターニングして形成してもよい。
As the mask, any mask that has been conventionally used for sandblasting a glass plate can be used.
Any of them can be used. Specific examples thereof include a rubber sheet and the like, and the thickness thereof is usually about 0.5 to 1 mm. This mask may be formed by forming a resin mask such as a resist film on one surface and patterning it by a photolithography process without attaching a preformed mask.

【0024】前記マスクの形成工程を経たのち、前記薄
板ガラス1に対しサンドブラスト加工を行う。前記サン
ドブラスト加工は、従来より行われているのと同様の条
件により行なわれる。
After the mask forming step, the thin glass 1 is subjected to sandblasting. The sandblasting is performed under the same conditions as those conventionally performed.

【0025】前記サンドブラスト加工により、マスクが
形成されず、薄板ガラス1が露出している部分は削り取
られるが、マスクは弾力性を有するため削り取られず、
マスクにより覆われている部分が、そのままの形状で残
る。
Although the mask is not formed by the sand blasting process and the portion where the thin glass 1 is exposed is scraped off, the mask is not scraped off because it has elasticity.
The portion covered by the mask remains in the same shape.

【0026】また、従来のサンドブラスト加工では、バ
ックステーガラスまで削り取られてしまうため、再利用
することができないという問題があるが、本発明の加工
法では支持板3上に貼り付けられた両面接着テープは前
述のように基材フィルムの上に発泡粘着剤が形成されて
おり、弾力性を有するため、サンドブラストの圧力を吸
収して削られず、したがって支持板3も損傷しない。そ
のため、支持板3をくり返して使用することができる。
Further, in the conventional sand blasting, the back stay glass is scraped off, so that there is a problem that it cannot be reused. However, in the processing method of the present invention, the double-sided adhesive stuck on the support plate 3 is used. Since the tape has the foamed adhesive formed on the base film as described above and has elasticity, the tape absorbs the pressure of the sand blast and is not cut off, so that the support plate 3 is not damaged. Therefore, the support plate 3 can be used repeatedly.

【0027】また、前述の如く、薄板ガラスが削り取ら
れて露出した両面接着テープは弾力性を有してそのまま
残存するため、サンドブラスト加工により発生するガラ
ス微粉末8は、図2に示されるように接着テープにトラ
ップされて飛散しない。そのためマスクを剥離しても、
前記ガラス微粉末が遊離して薄板ガラス1に再付着する
ことがなく、製品のゴミ不良による不良品が発生しな
い。
As described above, since the double-sided adhesive tape which has been exposed after the thin glass has been scraped off has elasticity and remains as it is, the glass fine powder 8 generated by the sand blasting process is as shown in FIG. It does not scatter when trapped by adhesive tape. Therefore, even if you remove the mask,
The glass fine powder is not released and reattached to the thin glass 1, and no defective products due to defective products are generated.

【0028】サンドブラスト加工が終了したのち、薄板
ガラス1上のマスク6を剥離する。剥離の方法として
は、たとえば図3に示されるようにマスク剥がし用テー
プ9を用いてテープをマスクに接着して剥離する方法が
あげられる。
After the completion of the sandblasting, the mask 6 on the thin glass 1 is peeled off. As a method of peeling, for example, as shown in FIG. 3, there is a method in which a tape is adhered to a mask using a mask peeling tape 9 and peeled.

【0029】そののち、残された薄板ガラスを剥離する
ことにより、薄板ガラス製品がえられる。この薄板ガラ
スを剥離するのに、前述の両面接着テープの薄板ガラス
1との接着面1aが加熱により接着強度が弱くなる粘着
剤が使用されたばあい、マスクを剥離したのち、マスク
と同様の形状の薄板ガラスが残されている支持板3を、
図4(a)に示されるように薄板ガラス1が下側になる
ように受けトレー10上に設置し、加熱処理を行う。この
加熱処理は100 〜120 ℃程度で10〜20分間行うことによ
り、発泡粘着剤が発泡して膨張し、加工された薄板ガラ
ス1が剥れて受けトレー10内に落下する(図4(b)参
照)。
After that, the thin glass product is obtained by peeling off the remaining thin glass. When an adhesive whose adhesive strength is weakened by heating the adhesive surface 1a of the double-sided adhesive tape to the thin glass 1 is used for peeling the thin glass, the mask is peeled off, and then the same as the mask. The support plate 3 in which the thin glass sheet is left,
As shown in FIG. 4A, the thin glass 1 is placed on the receiving tray 10 so that the lower side thereof is on the lower side, and the heat treatment is performed. This heat treatment is performed at about 100 to 120 ° C. for about 10 to 20 minutes, so that the foamed adhesive expands and expands, and the processed thin glass sheet 1 peels and falls into the receiving tray 10 (FIG. 4 (b)). )reference).

【0030】前記の加熱による薄板ガラス1の剥離処理
により、サンドブラスト加工の終了した薄板ガラス製品
を受けトレー10上に、初めにマスク6が配列された通り
に配列される。
By the above-mentioned stripping treatment of the thin glass 1 by heating, the thin glass products, which have been subjected to the sandblasting, are arranged on the receiving tray 10 as if the masks 6 were initially arranged.

【0031】したがって、最初に形成されたマスク6の
配列通りに、受けトレー10に薄板ガラス製品を配列で
き、従来のように製品を再配列する工程を省略すること
ができる。また、粘着面側の発泡により接着面積が減
り、接着力が落ち剥離するため、粘着面が薄板ガラスか
ら剥離し、粘着剤が薄板ガラスの裏面に付着することな
く、きれいに剥離する。そのため、接着剤を除去するた
めの溶剤による洗浄処理の工程が不要となる。
Therefore, the thin glass products can be arranged on the receiving tray 10 in accordance with the arrangement of the masks 6 formed first, and the step of rearranging the products as in the prior art can be omitted. In addition, since the adhesive area is reduced due to foaming on the adhesive surface side, the adhesive strength is reduced and the adhesive is separated, the adhesive surface is separated from the thin glass, and the adhesive is peeled cleanly without adhering to the back surface of the thin glass. Therefore, a step of a cleaning process using a solvent for removing the adhesive is not required.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明のサンドブラスターを用いた薄板
ガラスの加工法によれば、従来より行われていた薄板ガ
ラス製品の溶剤による洗浄が不要となる。
According to the method for processing thin glass using the sandblaster of the present invention, cleaning of a thin glass product with a solvent, which has been conventionally performed, becomes unnecessary.

【0033】また、サンドブラスト工程による微粉末が
両面接着テープにトラップされるために薄板ガラス製品
の前記微粉末の付着によるゴミ不良がなくなる。
Further, since the fine powder by the sand blasting process is trapped by the double-sided adhesive tape, there is no dust defect due to the adhesion of the fine powder to the thin glass product.

【0034】また、加熱などにより薄板ガラスとの接着
面のみの接着強度が弱くなる両面接着テープが使用され
ることにより、えられた薄板ガラス製品が加熱などによ
る剥離処理でそのまま受けトレーなどに配列され、直ち
に次工程への自動化に供せられる。
Further, by using a double-sided adhesive tape whose adhesive strength only to the adhesive surface with the thin glass is weakened by heating or the like, the obtained thin glass product is arranged in a receiving tray or the like by a peeling treatment by heating or the like. And immediately used for automation in the next process.

【0035】さらに、支持板がサンドブラスト工程で切
欠されないので、くり返して使用することができる。
Further, since the support plate is not cut off in the sandblasting process, it can be used repeatedly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のサンドブラスターを用いた薄板ガラス
の加工法の一工程を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing one step of a method for processing thin glass using a sandblaster of the present invention.

【図2】本発明の薄板ガラスの加工法の一工程を示す断
面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing one step of a method for processing thin glass of the present invention.

【図3】本発明の薄板ガラスの加工法の一工程であるマ
スクを剥離する工程を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view showing a step of removing a mask, which is one step of the method for processing a thin glass sheet of the present invention.

【図4】本発明の薄板ガラスの加工法の一工程である薄
板ガラス製品を受けトレーに納める工程を示す説明図で
ある。
FIG. 4 is an explanatory view showing a step of receiving a thin glass product in a tray, which is one step of the method of processing a thin glass according to the present invention.

【図5】従来のサンドブラスターを用いた薄板ガラスの
加工法の一工程を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing one step of a method for processing thin glass using a conventional sandblaster.

【図6】従来の薄板ガラスの加工法の一工程を示す断面
図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing one step of a conventional thin glass processing method.

【符号の説明】 1 薄板ガラス 2 両面接着テープ 2a 発泡粘着剤層 2b 通常の粘着剤層 3 支持板 6 マスク[Description of Signs] 1 Thin glass 2 Double-sided adhesive tape 2a Foamed pressure-sensitive adhesive layer 2b Normal pressure-sensitive adhesive layer 3 Support plate 6 Mask

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24C 1/04 C03B 33/02 Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B24C 1/04 C03B 33/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 サンドブラスターを用いて薄板ガラスを
切断加工する薄板ガラスの加工法であって、 (a)支持板と薄板ガラスとを、サンドブラストの圧力
を吸収する弾力性を有し前記支持板をサンドブラスト加
工から保護する両面接着テープにより接着し、 (b)該薄板ガラスにマスクを形成し、 (c)サンドブラスターにより前記薄板ガラスを切断
し、 (d)前記薄板ガラスを前記支持板から剥離することか
らなるサンドブラスターを用いた薄板ガラスの加工法。
1. A thin glass processing method for cutting a thin glass using a sand blaster, wherein (a) a supporting plate and a thin glass are subjected to a sandblast pressure.
The support plate has elasticity to absorb
Bonded with double-sided adhesive tape to protect from Engineering, (b) a mask is formed thin plate glass, (c) by a sand blaster cutting the sheet glass, it is peeled off from the support plate (d) is the thin glass Of thin glass using a sandblaster consisting of
【請求項2】 前記両面接着テープの前記薄板ガラス側
の接着剤を加熱処理により接着強度が弱くなる粘着剤層
で形成し、前記両面接着テープの前記支持板側の接着剤
を前記加熱処理による温度では接着強度が弱くならない
粘着剤層で形成し、加熱処理により前記薄板ガラスを前
記支持板から剥離することを特徴とする請求項1記載の
加工法。
2. A forming an adhesive layer the adhesive strength is weakened by heat treatment of the adhesive of the thin glass side of the double-sided adhesive tape, by the heat treatment of the adhesive of the support plate side of the double-sided adhesive tape 2. The processing method according to claim 1, wherein the thin glass sheet is peeled off from the support plate by a heat treatment by forming an adhesive layer whose adhesive strength does not become weak at a temperature.
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