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JP3277474B2 - Synchrotron ring - Google Patents
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JP3277474B2 - Synchrotron ring - Google Patents

Synchrotron ring

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JP3277474B2
JP3277474B2 JP07898294A JP7898294A JP3277474B2 JP 3277474 B2 JP3277474 B2 JP 3277474B2 JP 07898294 A JP07898294 A JP 07898294A JP 7898294 A JP7898294 A JP 7898294A JP 3277474 B2 JP3277474 B2 JP 3277474B2
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vacuum vessel
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロンリング
に関し、特に、シンクロトロンリングの真空容器内で発
生したシンクロトロン放射光が真空容器内壁に照射され
ることにより発生する多量のガスを排除して真空容器内
を超真空に維持するためのガス排除装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a synchrotron ring, and more particularly to a method for removing a large amount of gas generated by irradiating the inner wall of a vacuum container with synchrotron radiation generated in a vacuum container of the synchrotron ring. And a gas elimination device for maintaining an ultra-vacuum inside the vacuum vessel.

【0002】[0002]

【従来の技術】図2はレーストラック型のシンクロトロ
ンリングを示している。このシンクロトロンリングは、
入射用加速器200にて加速された電子又は陽電子をレ
ーストラック型の軌道に沿って周回させるものである。
以下、電子の場合を例にとって説明する。このため、こ
のシンクロトロンリングは、レーストラック型の真空容
器1を有している。一対の偏向部201は、いずれも偏
向用電磁石からなり、この真空容器1の外部に設けられ
て、真空容器1内において、電子ビーム2を一対の円弧
状軌道に沿わせるべく偏向させる。一対の円弧状軌道の
間を連絡する2本の直線軌道を決める真空容器1の周囲
には、入射用加速器200からの電子ビーム2を真空容
器1内に入射する入射用電磁石202と、各々が4極電
磁石からなる8つの収束用電磁石203とが配置されて
いる。高周波加速空洞204は、入射用電磁石202が
設けられた直線軌道とは異なる直線軌道に設けられて、
電子ビーム2を加速する機能を有する。
2. Description of the Related Art FIG. 2 shows a synchrotron ring of a race track type. This synchrotron ring is
The electron or positron accelerated by the injection accelerator 200 orbits along a racetrack-type orbit.
Hereinafter, the case of electrons will be described as an example. For this reason, this synchrotron ring has a race track type vacuum vessel 1. Each of the pair of deflecting units 201 is formed of a deflecting electromagnet, and is provided outside the vacuum vessel 1 to deflect the electron beam 2 within the vacuum vessel 1 so as to follow a pair of arc-shaped orbits. Around the vacuum vessel 1 that determines two linear trajectories that communicate between a pair of arc-shaped orbits, an incident electromagnet 202 that enters the electron beam 2 from the accelerator 200 for incidence into the vacuum vessel 1, Eight converging electromagnets 203 composed of quadrupole electromagnets are arranged. The high-frequency accelerating cavity 204 is provided on a linear trajectory different from the linear trajectory on which the incident electromagnet 202 is provided,
It has a function of accelerating the electron beam 2.

【0003】このようにして、シンクロトロンリング
は、真空容器1内において、電子ビーム2を、円弧状軌
道を含む所定軌道に沿って、周回させ、蓄積させる。こ
の際、電子ビーム2が蓄積されると、偏向部201にお
いて電子ビーム2の運動の接線方向にシンクロトロン放
射光3が発生する。このシンクロトロン放射光3が真空
容器1の内壁を照射するため多量のガスが発生し、真空
度が悪化し、電子ビーム2の蓄積寿命を縮めるという問
題がある。
In this manner, the synchrotron ring causes the electron beam 2 to circulate and accumulate in the vacuum vessel 1 along a predetermined orbit including an arc-shaped orbit. At this time, when the electron beam 2 is accumulated, the synchrotron radiation 3 is generated in the deflecting unit 201 in the tangential direction of the movement of the electron beam 2. Since the synchrotron radiation 3 irradiates the inner wall of the vacuum vessel 1, a large amount of gas is generated, the degree of vacuum deteriorates, and the storage life of the electron beam 2 is shortened.

【0004】図3を参照すると、従来のシンクロトロン
リングは、シンクロトロン放射光3が真空容器1の内壁
に照射されることにより真空容器1内に発生するガスを
排除するガス排除装置として、真空排気ポンプ5及び8
を備えている。真空容器1の中央部は、電子ビーム2を
安定に周回させるために真空容器1の内壁とスリット6
及び7によりビームダクト部100を構成している。電
子ビーム2の軌道の外側のスリット6を隔てて真空排気
ポンプ5が配置され、また電子ビーム2の軌道の内側の
スリット7を隔てて真空排気ポンプ8が配置されてい
る。また、シンクロトロン放射光3に照射される部分に
はビームダンプ4が設置され、ビームダンプ4を冷却す
る手段等により発生するガスの低減がはかられている。
[0004] Referring to FIG. 3, a conventional synchrotron ring is a vacuum elimination device that eliminates gas generated in the vacuum vessel 1 when the inner wall of the vacuum vessel 1 is irradiated with synchrotron radiation 3. Exhaust pumps 5 and 8
It has. The central portion of the vacuum vessel 1 is formed with an inner wall of the vacuum vessel 1 and a slit 6 in order to stably circulate the electron beam 2.
And 7 constitute the beam duct unit 100. An evacuation pump 5 is arranged via a slit 6 outside the orbit of the electron beam 2, and an evacuation pump 8 is arranged via a slit 7 inside the orbit of the electron beam 2. In addition, a beam dump 4 is provided in a portion irradiated with the synchrotron radiation 3 to reduce gas generated by a means for cooling the beam dump 4 and the like.

【0005】なお、図示のように真空排気ポンプ5及び
8やスリット6及び7は仮想中立面102の両側に設け
られている。
[0005] As shown, the vacuum pumps 5 and 8 and the slits 6 and 7 are provided on both sides of the virtual neutral surface 102.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】真空容器1内は外部に
設けられた粗引き排気ポンプ(図示せず)により中真空
まで排気された後、内蔵された真空排気ポンプ5及び8
により超高真空に排気される。しかし、電子ビーム2が
蓄積されると、シンクロトロン放射光3が真空容器1内
を照射するため、上述のように、多量のガスが発生す
る。この際、スリット6により、発生したガスの存在を
図中B部に限定しつつ真空排気ポンプ5により排気する
ことで、ビームダクト部100への侵入を防ぎ、電子が
周回するビームダクト部100内を超高真空に維持しよ
うとするものであるが、多量のガスは、真空排気ポンプ
5及び8により(主として真空排気ポンプ5により)排
気されるが、真空度の悪化は避けられず、電子ビーム2
の蓄積寿命を縮めることになってしまう。
The inside of the vacuum vessel 1 is evacuated to a medium vacuum by a roughing exhaust pump (not shown) provided outside, and the built-in vacuum exhaust pumps 5 and 8 are provided.
Evacuates to an ultra-high vacuum. However, when the electron beam 2 accumulates, the synchrotron radiation 3 irradiates the inside of the vacuum vessel 1, so that a large amount of gas is generated as described above. At this time, the exhaust gas is exhausted by the vacuum exhaust pump 5 while restricting the presence of the generated gas to the portion B in the figure by the slit 6, thereby preventing the gas duct 100 from entering the beam duct portion 100 and the inside of the beam duct portion 100 where electrons circulate. Is to be maintained in an ultra-high vacuum, but a large amount of gas is exhausted by the vacuum exhaust pumps 5 and 8 (mainly by the vacuum exhaust pump 5). 2
Will shorten the storage life.

【0007】また、これらの内蔵型の真空排気ポンプ5
及び8にはイオンポンプ、クライオポンプ、蒸発/非蒸
発型ゲッターポンプが採用されているが、これらは一般
に高価、構造の複雑さ、排気能力の不安定、活性化時の
汚染/発熱、排気能力不足等の問題がある。
Further, these built-in vacuum pumps 5
And 8 employ ion pumps, cryopumps, and evaporative / non-evaporable getter pumps, which are generally expensive, complicated in structure, unstable in exhaust capacity, contamination / heat generation during activation, and exhaust capacity. There are problems such as shortage.

【0008】従って本発明の課題は、シンクロトロン放
射光が真空容器内壁に照射されることにより発生する多
量のガスを安価に効率良く排除して真空容器内を超真空
に維持できるガス排除装置を備えたシンクロトロンリン
グを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a gas elimination device which can efficiently and inexpensively and efficiently remove a large amount of gas generated by irradiating the inner wall of a vacuum vessel with synchrotron radiation and maintain the inside of the vacuum vessel at ultra-vacuum. Provided is a synchrotron ring provided with the same.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、真空容
器と、該真空容器内に設けられたビームダクト部と、前
記真空容器内に発生するガスを排除するガス排除装置を
備えているシンクロトロンリングにおいて、前記ガス排
除装置は、前記真空容器内に設けられ、それぞれ正及び
負の電圧を印加された少なくとも一対の電極を含み、該
一対の電極は、前記ビームダクト部の外側に構成された
室に配置されており、前記ガスを電気的に吸引して排除
するあるいは排除を促進するものであり、前記ビームダ
クト部と、前記ビームダクト部の外側に構成された室と
がスリットによって区切られており、前記スリットは、
前記真空容器内に発生するガスを電気的に吸引して排除
するあるいは排除を促進する前記一対の電極を兼ね備え
たものであることを特徴とするシンクロトロンリングが
得られる。
According to the present invention, there is provided a vacuum vessel, a beam duct provided in the vacuum vessel, and a gas removing device for removing gas generated in the vacuum vessel. In the synchrotron ring, the gas elimination device includes at least a pair of electrodes provided in the vacuum vessel and applied with positive and negative voltages, respectively, and the pair of electrodes is formed outside the beam duct unit. The gas duct is electrically suctioned to eliminate or promote the elimination, and the beam duct portion and the chamber formed outside the beam duct portion are separated by a slit. Are separated, and the slit is
A synchrotron ring is obtained, wherein the synchrotron ring is provided with both the pair of electrodes for eliminating or facilitating the removal of the gas generated in the vacuum vessel.

【0010】更に本発明によれば、前記一対の電極が非
蒸発型ゲッター材料またはクライオパネルから構成され
ることを特徴とするシンクロトロンリングが得られる。
Further, according to the present invention, there is provided a synchrotron ring wherein the pair of electrodes is formed of a non-evaporable getter material or a cryopanel.

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0013】図4は、本発明の第1の実施例によるシン
クロトロンリングにおける、図2のA−A断面に対応す
る部分の断面を示している。真空容器1の外部に配置さ
れている偏向部201は、コイル205及び206と鉄
芯207とからなる偏向用電磁石からなっている。本発
明の第1の実施例によるシンクロトロンリングにおいて
は、図2におけるもう一方の偏向部201も図4と同様
な構造を有する。
FIG. 4 shows a cross section of a portion corresponding to the AA cross section of FIG. 2 in the synchrotron ring according to the first embodiment of the present invention. The deflecting unit 201 disposed outside the vacuum vessel 1 is constituted by a deflecting electromagnet including coils 205 and 206 and an iron core 207. In the synchrotron ring according to the first embodiment of the present invention, the other deflecting unit 201 in FIG. 2 has the same structure as in FIG.

【0014】図1は、本発明の第1の実施例によるシン
クロトロンリングにおける主要部を示しており、図4の
真空容器1及びその内部の断面を示している。図1にお
いて、図3と同じ部分には同じ参照符号が付されてい
る。
FIG. 1 shows a main part of a synchrotron ring according to a first embodiment of the present invention, and shows a vacuum vessel 1 of FIG. 4 and a cross section of the inside thereof. 1, the same parts as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.

【0015】スリット6の外側に構成された室(B部)
には、シンクロトロン放射光3と干渉しないように仮想
の中立面102を挟むように一対の電極10が配置され
ている。一対の電極10は中立面102に平行に延在し
ている。一対の電極10は真空容器1に対して絶縁材料
103で絶縁固定されている。一対の電極10からは、
真空シール及び絶縁された端子104をそれぞれ介して
真空容器1の外部(大気中)に一対の電極引き出し線1
05が引き出されており、一対の電極引き出し線105
は電源11に接続されている。電源11によって、一対
の電極10の一方には例えば数V〜数十ボルトの正の電
圧が印加され、一対の電極10のもう一方には例えば−
数V〜−数十ボルトの負の電圧が印加される。真空容器
1は、アースされている。一対の電極10は、銅、アル
ミ等の金属板、または非蒸発型ゲッター材料、またはク
ライオパネルから構成される。
A chamber formed outside the slit 6 (part B)
, A pair of electrodes 10 is arranged so as to sandwich the virtual neutral plane 102 so as not to interfere with the synchrotron radiation 3. The pair of electrodes 10 extend parallel to the neutral plane 102. The pair of electrodes 10 is insulated and fixed to the vacuum vessel 1 with an insulating material 103. From the pair of electrodes 10,
A pair of electrode lead wires 1 is connected to the outside (in the atmosphere) of the vacuum vessel 1 via a vacuum seal and an insulated terminal 104, respectively.
05 are drawn out, and a pair of electrode leads 105
Is connected to a power supply 11. For example, a positive voltage of several volts to several tens of volts is applied to one of the pair of electrodes 10 by the power supply 11, and the other of the pair of electrodes 10 is, for example, −.
A negative voltage of several volts to several tens of volts is applied. The vacuum vessel 1 is grounded. The pair of electrodes 10 is made of a metal plate such as copper or aluminum, a non-evaporable getter material, or a cryopanel.

【0016】一対の電極10は、電子ビーム2がレース
トラック型の軌道に蓄積された後に発生されるシンクロ
トロン放射光3が、真空容器1の内壁に照射されること
により真空容器1内に発生するガスを排除するガス排除
装置として働くものであり、一対の電極10は、前記ガ
スがシンクロトロン放射光3によりイオン化ガスに電離
されることを利用して、イオン化ガスを電気的に吸引し
て排除するものである。即ち、一対の電極10のうち正
の電圧が印加されている電極は、イオン化ガスのうち陰
(負)イオンを電気的に吸引して排除するもので、イオ
ン化ガスのうち陽(正)イオンは、一対の電極10のう
ち負の電圧が印加されている電極の方に電気的に反発さ
せる。逆に、一対の電極10のうち負の電圧が印加され
ている電極は、イオン化ガスのうち陽(正)イオンを電
気的に吸引して排除するもので、イオン化ガスのうち陰
(負)イオンは、一対の電極10のうち正の電圧が印加
されている電極の方に電気的に反発させる。
The pair of electrodes 10 is generated in the vacuum vessel 1 by irradiating the inner wall of the vacuum vessel 1 with synchrotron radiation 3 generated after the electron beam 2 is accumulated in a race-track orbit. The pair of electrodes 10 electrically aspirate the ionized gas by utilizing the fact that the gas is ionized by the synchrotron radiation 3 into the ionized gas. It is to be excluded. In other words, the electrode of the pair of electrodes 10 to which a positive voltage is applied is one that electrically attracts and removes the negative (negative) ions of the ionized gas, and the positive (positive) ions of the ionized gas is , And the electrode 10 to which a negative voltage is applied among the pair of electrodes 10 is electrically repelled. Conversely, the electrode of the pair of electrodes 10 to which a negative voltage is applied is one that positively removes positive (positive) ions from the ionized gas by electrical attraction and removes negative (negative) ions from the ionized gas. Electrically repels the electrode of the pair of electrodes 10 to which a positive voltage is applied.

【0017】図5は本発明による第2の実施例によるシ
ンクロトロンリングの主要部を示す断面図で、図1及び
図3と同じ部分には同じ参照符号が付してある。図5に
おいては、一対の電極10は中立面102に垂直に延在
させて、一対の電極10をバッフル(じゃま板)として
配置した例であり、一対の電極10の各々は複数枚(3
枚)の電極板からなる。
FIG. 5 is a sectional view showing a main part of a synchrotron ring according to a second embodiment of the present invention. The same parts as those in FIGS. 1 and 3 are denoted by the same reference numerals. FIG. 5 shows an example in which the pair of electrodes 10 extend perpendicular to the neutral surface 102 and the pair of electrodes 10 is arranged as a baffle (baffle plate).
) Electrode plates.

【0018】図6は本発明による第3の実施例によるシ
ンクロトロンリングの主要部を示す断面図で、図5と同
じ部分には同じ参照符号が付してある。図6において
は、一対のスリット6を真空容器1に対して絶縁材料1
06で絶縁して一対のスリット兼電極とした上で、一対
のスリット兼電極6からは、真空シール及び絶縁された
端子107をそれぞれ介して真空容器1の外部(大気
中)に一対の電極引き出し線108が引き出されてお
り、一対の電極引き出し線108は電源11´に接続さ
れている。電源11´によって、一対のスリット兼電極
6の一方には例えば数V〜数十ボルトの正の電圧が印加
され、一対のスリット兼電極6のもう一方には例えば−
数V〜−数十ボルトの負の電圧が印加される。
FIG. 6 is a sectional view showing a main part of a synchrotron ring according to a third embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals. In FIG. 6, a pair of slits 6 are formed on the vacuum container 1 with the insulating material 1.
06, a pair of slits / electrodes 6 are drawn out from the pair of slits / electrodes 6 to the outside (in the atmosphere) of the vacuum vessel 1 via a vacuum seal and an insulated terminal 107, respectively. The wire 108 is drawn out, and the pair of electrode lead wires 108 is connected to the power supply 11 ′. For example, a positive voltage of several volts to several tens of volts is applied to one of the pair of slit / electrodes 6 by the power supply 11 ′, and − is applied to the other of the pair of slit / electrodes 6, for example.
A negative voltage of several volts to several tens of volts is applied.

【0019】同様に、一対のスリット7を真空容器1に
対して絶縁材料109で絶縁して一対の電極とした上
で、一対のスリット兼電極7からは、真空シール及び絶
縁された端子109をそれぞれ介して真空容器1の外部
(大気中)に一対の電極引き出し線108が引き出され
ており、一対の電極引き出し線108は電源11´に接
続されている。電源11´によって、一対のスリット兼
電極7の一方には例えば数V〜数十ボルトの正の電圧が
印加され、一対のスリット兼電極7のもう一方には例え
ば−数V〜−数十ボルトの負の電圧が印加される。
Similarly, after a pair of slits 7 are insulated from the vacuum vessel 1 with an insulating material 109 to form a pair of electrodes, a vacuum seal and an insulated terminal 109 are formed from the pair of slit / electrodes 7. A pair of electrode lead wires 108 is drawn out of the vacuum vessel 1 (in the atmosphere) via each of them, and the pair of electrode lead wires 108 is connected to a power supply 11 '. For example, a positive voltage of several volts to several tens of volts is applied to one of the pair of slits and electrodes 7 by the power supply 11 ′, and −several volts to several tens of volts is applied to the other of the pair of slits and electrodes 7. Is applied.

【0020】スリット兼電極6及び7への電圧の印加に
よりビームダクト部100に存在する電離ガスを吸引排
除する。また、電子ビーム2自身により電離され、電子
ビーム2に捕捉され電子ビーム2と一緒に周回している
イオン(このイオンは電子ビーム2を不安定にするもの
である。)を除去することも可能となる。
By applying a voltage to the slit / electrodes 6 and 7, ionized gas present in the beam duct 100 is removed by suction. It is also possible to remove ions which are ionized by the electron beam 2 itself, are trapped by the electron beam 2 and orbit together with the electron beam 2 (this ion makes the electron beam 2 unstable). Becomes

【0021】スリット兼電極6及び7には数V〜数十ボ
ルト程度の電圧が印加されるけれども、電子ビーム2は
通常600MeV〜1GeVのエネルギーを持っている
ため、スリット兼電極6及び7に印加される電圧の電子
ビーム2に対する影響は皆無であるといってよい。
Although a voltage of several volts to several tens of volts is applied to the slit / electrodes 6 and 7, the electron beam 2 usually has an energy of 600 MeV to 1 GeV. It can be said that the applied voltage has no effect on the electron beam 2.

【0022】図1及び図5及び図6において、真空容器
1内は前述の粗引き排気ポンプ及び内蔵真空排気ポンプ
8により超高真空に排気された後、電子ビーム2が蓄積
される。電子ビーム2の蓄積により発光したシンクロト
ロン放射光3が真空容器1内壁を照射することにより図
中B部には多量のガスが発生する。このガスはB部に存
在するため、シンクロトロン放射光3により高い確率で
直接或いは間接的に電離され電荷を持つ状態となる。つ
まり、電子ビーム2を蓄積した状態で多量に発生して問
題となる(排気すべき)ガスの殆どがイオン状態とな
る。一方、一対の電極10には正及び負電圧がそれぞれ
印加されており,電離されたガスはこれらの電極に引き
寄せられ排気される。
In FIG. 1, FIG. 5, and FIG. 6, the inside of the vacuum vessel 1 is evacuated to an ultra-high vacuum by the above-described roughing exhaust pump and the built-in vacuum exhaust pump 8, and then the electron beam 2 is accumulated. When the synchrotron radiation 3 emitted by the accumulation of the electron beam 2 irradiates the inner wall of the vacuum vessel 1, a large amount of gas is generated in a portion B in the drawing. Since this gas is present in the portion B, the gas is directly or indirectly ionized by the synchrotron radiation 3 with a high probability and becomes charged. That is, most of the gas (which should be evacuated) which is generated in a large amount in a state where the electron beam 2 is accumulated becomes a ionic state. On the other hand, positive and negative voltages are respectively applied to the pair of electrodes 10, and the ionized gas is drawn to these electrodes and exhausted.

【0023】電極10を非蒸発型ゲッター材料、または
クライオパネルとした場合には本来有する排気能力が飛
躍的に向上することになる。つまり、図3の従来の場合
は排気すべきガスがイオン化されたことを利用していな
いため無秩序に運動している状態で排気しているが、本
実施例では排気すべきガスがイオン化されていることを
利用して電界を発生させることにより吸着面に向かって
電気的な吸引力や反発力で運動するため吸着効率が増大
することになる。
When the electrode 10 is made of a non-evaporable getter material or a cryopanel, the inherent exhaust capability is greatly improved. That is, in the conventional case of FIG. 3, the gas to be evacuated is exhausted in a state of moving randomly because it does not utilize the fact that the gas to be evacuated is ionized, but in this embodiment, the gas to be evacuated is ionized. When the electric field is generated by utilizing the fact that the electric field is generated, the electric field is moved by the electric attraction force or the repulsive force toward the adsorption surface, so that the adsorption efficiency is increased.

【0024】図5及び図6では吸着面である電極10が
バッフル(じゃま板)として配置されており、真空容器
1の内壁において発生したガスが、よりビームダクト部
100内に侵入しにくい構造となっている。
In FIGS. 5 and 6, the electrode 10 serving as the suction surface is arranged as a baffle (baffle plate), so that the gas generated on the inner wall of the vacuum vessel 1 is less likely to enter the beam duct 100. Has become.

【0025】図6では図5の場合に加えて、ビームダク
ト部100を構成するスリット兼電極6及び7にも電源
11´から正及び負の電圧が印加される。したがって、
ビームダクト部100内に存在するイオンガスの排気が
可能である。更にスリット兼電極6及び7を非蒸発型ゲ
ッター材料またはクライオパネルとした場合にはイオン
ガス以外のガスの排気も可能となる。
In FIG. 6, in addition to the case of FIG. 5, positive and negative voltages are applied to the slit / electrodes 6 and 7 constituting the beam duct section 100 from the power supply 11 '. Therefore,
The ion gas existing in the beam duct unit 100 can be exhausted. Further, when the non-evaporable getter material or the cryopanel is used for the slit / electrodes 6 and 7, gas other than the ion gas can be exhausted.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、シンクロ
トロンリングの真空容器内でシンクロトロン放射光が真
空容器内壁に照射されることにより発生するガスがシン
クロトロン放射光により高い確率で直接或いは間接的に
電離され電荷を持つ状態となることに着目して、電圧を
印加した電極により当該ガスを排気しようとするもので
あり、安価に当該ガスを効率良く排気することができ
る。電極として、より安価な、銅、アルミ等の金属板を
用いることができ、この場合は安価で構造、運転共に簡
単となり、発熱や汚染の問題も発生しない。電極とし
て、非蒸発型ゲッター材料またはクライオパネルを用い
た場合は、本来有する排気能力が飛躍的に向上する。
As described above, according to the present invention, the gas generated by irradiating the inner wall of the vacuum vessel with the synchrotron radiation in the vacuum vessel of the synchrotron ring is directly or with a high probability due to the synchrotron radiation. The gas is exhausted by the electrode to which the voltage is applied, paying attention to the state of being indirectly ionized and having a charge, and the gas can be efficiently exhausted at low cost. A cheaper metal plate of copper, aluminum, or the like can be used as the electrode. In this case, the structure and operation are simple and inexpensive, and the problem of heat generation and contamination does not occur. When a non-evaporable getter material or a cryopanel is used as the electrode, the inherent exhaust capacity is dramatically improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例によるシンクロトロンリ
ングの主要部の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a main part of a synchrotron ring according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明が適用されるシンクロトロンリングの全
体構造を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing the entire structure of a synchrotron ring to which the present invention is applied.

【図3】従来のシンクロトロンリングの主要部の断面図
である。
FIG. 3 is a sectional view of a main part of a conventional synchrotron ring.

【図4】前記第1の実施例によるシンクロトロンリング
の図2のA−A断面に対応する部分の断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a portion corresponding to the AA cross section of FIG. 2 of the synchrotron ring according to the first embodiment.

【図5】本発明の第2の実施例によるシンクロトロンリ
ングの主要部の断面図である。
FIG. 5 is a sectional view of a main part of a synchrotron ring according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3の実施例によるシンクロトロンリ
ングの主要部の断面図である。
FIG. 6 is a sectional view of a main part of a synchrotron ring according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空容器 2 電子ビーム 3 シンクロトロン放射光 4 ビームダンプ 5 真空排気ポンプ 6 スリット(スリット兼電極) 7 スリット(スリット兼電極) 8 真空排気ポンプ 10 電極 11 電源 11´ 電源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum container 2 Electron beam 3 Synchrotron radiation 4 Beam dump 5 Vacuum exhaust pump 6 Slit (slit and electrode) 7 Slit (slit and electrode) 8 Vacuum exhaust pump 10 Electrode 11 Power supply 11 'Power supply

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−288099(JP,A) 特開 昭64−48397(JP,A) 特開 平3−49200(JP,A) 特開 平5−36500(JP,A) 特開 平2−116798(JP,A) 特開 平4−133300(JP,A) 特開 平5−226098(JP,A) 特開 平6−68993(JP,A) 特開 平6−162989(JP,A) 特開 平6−243995(JP,A) 特開 平6−75054(JP,A) 特開 平6−20799(JP,A) 特開 平6−188099(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05H 13/04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-2-288099 (JP, A) JP-A-64-48397 (JP, A) JP-A-3-49200 (JP, A) JP-A 5- 36500 (JP, A) JP-A-2-116798 (JP, A) JP-A-4-133300 (JP, A) JP-A-5-226098 (JP, A) JP-A-6-68993 (JP, A) JP-A-6-162989 (JP, A) JP-A-6-243995 (JP, A) JP-A-6-75054 (JP, A) JP-A-6-20799 (JP, A) JP-A-6-188099 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H05H 13/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 真空容器と、該真空容器内に設けられた
ビームダクト部と、前記真空容器内に発生するガスを排
除するガス排除装置を備えているシンクロトロンリング
において、 前記ガス排除装置は、前記真空容器内に設けられ、それ
ぞれ正及び負の電圧を印加された少なくとも一対の電極
を含み、 該一対の電極は、前記ビームダクト部の外側に構成され
た室に配置されており、 前記ガスを電気的に吸引して排除するあるいは排除を促
進するものであり、 前記ビームダクト部と、前記ビームダクト部の外側に構
成された室とがスリットによって区切られており、 前記スリットは、前記真空容器内に発生するガスを電気
的に吸引して排除するあるいは排除を促進する前記一対
の電極を兼ね備えたものであることを特徴とするシンク
ロトロンリング。
1. A synchrotron ring comprising a vacuum container, a beam duct provided in the vacuum container, and a gas elimination device for eliminating gas generated in the vacuum container, wherein the gas elimination device is , Including at least a pair of electrodes provided in the vacuum vessel, respectively applied with positive and negative voltage, the pair of electrodes are arranged in a chamber configured outside the beam duct portion, The gas is electrically suctioned to eliminate or promote the elimination, and the beam duct portion and a chamber formed outside the beam duct portion are separated by a slit, and the slit is A synchrotron reactor, which is provided with the pair of electrodes for eliminating or facilitating the removal of gas generated in a vacuum vessel by electrical suction. Grayed.
【請求項2】 請求項1に記載のシンクロトロンリング
において、 前記一対の電極が非蒸発型ゲッター材料またはクライオ
パネルから構成されることを特徴とするシンクロトロン
リング。
2. The synchrotron ring according to claim 1, wherein the pair of electrodes are formed of a non-evaporable getter material or a cryopanel.
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