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JP3277693B2 - Method of manufacturing image display device - Google Patents
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JP3277693B2 - Method of manufacturing image display device - Google Patents

Method of manufacturing image display device

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JP3277693B2
JP3277693B2 JP13452794A JP13452794A JP3277693B2 JP 3277693 B2 JP3277693 B2 JP 3277693B2 JP 13452794 A JP13452794 A JP 13452794A JP 13452794 A JP13452794 A JP 13452794A JP 3277693 B2 JP3277693 B2 JP 3277693B2
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printing
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conductive paste
substrate
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマを利用して電
気光学材料層を駆動し画像選択を行う画像表示装置の製
造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an image display device for selecting an image by driving an electro-optic material layer using plasma.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、例えばディスプレイを高解像度
化及び高コントラスト化するための手段としては、各表
示画素毎にトランジスタ等の能動素子を設け、これを駆
動する方法、いわゆるアクティブマトリクスアドレス方
式がある。しかしながら、この場合、薄膜トランジスタ
の如き半導体素子を多数設ける必要があることから、特
にディスプレイを大面積化したときに歩溜りの問題が懸
念され、どうしてもコスト高になるという問題が生じ
る。
2. Description of the Related Art In general, as a means for increasing the resolution and contrast of a display, for example, there is a method of providing an active element such as a transistor for each display pixel and driving it, that is, a so-called active matrix address system. . However, in this case, since it is necessary to provide a large number of semiconductor elements such as thin film transistors, there is a concern about a yield problem particularly when the display is enlarged, and a problem arises that the cost is inevitably increased.

【0003】そこで、この問題を解決する手段として、
能動素子としてMOSトランジスタや薄膜トランジスタ
等の半導体素子ではなく放電プラズマを利用する方法が
提案されている。以下、放電プラズマを利用して液晶を
駆動する画像表示装置の一例を簡潔に説明する。
Therefore, as a means for solving this problem,
A method has been proposed in which discharge plasma is used as an active element instead of a semiconductor element such as a MOS transistor or a thin film transistor. Hereinafter, an example of an image display device that drives liquid crystal using discharge plasma will be briefly described.

【0004】この画像表示装置は、電気光学材料層であ
る液晶層と、プラズマの放電がなされる放電領域とが、
ガラス等からなる薄い誘電体のマイクロシートを介して
隣接配置されてなるものである。
In this image display device, a liquid crystal layer, which is an electro-optical material layer, and a discharge region where plasma discharge is performed,
It is arranged adjacently via a thin dielectric microsheet made of glass or the like.

【0005】上記放電領域においては、第1の基板であ
るガラス基板上に互いに平行なライン形状の導電ペース
トよりなる第1電極であるプラズマ電極が複数本等間隔
をもって配され、交互にアノード及びカソードとされて
いる。各プラズマ電極の一端部にはこのプラズマ電極に
電圧を印加するための端子が交互に設けられ、例えば上
記ガラス基板の左側の端部では各カソードが各アノード
より長く形成され、各カソードの左端部に上記端子が設
けられている。このとき上記ガラス基板の右側の端部で
は各アノードが各カソードより長く形成され、各アノー
ドの右端部に上記端子が設けられている。
In the discharge region, a plurality of first electrodes made of line-shaped conductive paste are arranged at equal intervals on a glass substrate as a first substrate, and the anode and the cathode are alternately arranged. It has been. Terminals for applying a voltage to the plasma electrodes are alternately provided at one end of each plasma electrode. For example, at the left end of the glass substrate, each cathode is formed longer than each anode, and the left end of each cathode is formed. Are provided with the above terminals. At this time, each anode is formed longer than each cathode at the right end of the glass substrate, and the terminal is provided at the right end of each anode.

【0006】さらに、各プラズマ電極上にこのプラズマ
電極より狭幅の絶縁ペーストよりなる隔壁が互いに平行
に形成され、この放電領域内にはイオン化可能なガスが
封入されている。そして、各放電領域内では、上記隔壁
が形成されたことによるプラズマ電極の露出された両端
部が各々アノード及びカソードとして機能する。これら
隔壁の上端部及びガラス基板の周縁部に設けられたフリ
ットによりマイクロシートの下部が支持固定されてい
る。
Further, a partition wall made of an insulating paste narrower than the plasma electrode is formed on each plasma electrode in parallel with each other, and an ionizable gas is sealed in the discharge region. Then, in each discharge region, the exposed both ends of the plasma electrode due to the formation of the partition function as an anode and a cathode, respectively. The lower part of the microsheet is supported and fixed by the frit provided on the upper end of the partition and the peripheral part of the glass substrate.

【0007】上記マイクロシート上には、液晶の配向を
整えるための配向層及びに挟持されたネマティック液晶
等からなる上記液晶層がその周囲を液晶シールにより支
持されて設けられている。そして、液晶シール及び配向
層を介したカラーフィルタ1の上部には第2の基板であ
る透明基板が配されている。透明基板の下部、即ち液晶
層側の表面には複数の第2電極である透明電極が形成さ
れている。これら透明電極は、上記各プラズマ電極と直
交しており、各プラズマ電極との各交差領域が各画素に
対応している。
On the microsheet, an alignment layer for adjusting the alignment of the liquid crystal and the liquid crystal layer made of a nematic liquid crystal or the like sandwiched between the layers are provided with the periphery thereof supported by a liquid crystal seal. A transparent substrate, which is a second substrate, is disposed above the color filter 1 via a liquid crystal seal and an alignment layer. On the lower part of the transparent substrate, that is, on the surface on the liquid crystal layer side, a plurality of transparent electrodes as second electrodes are formed. These transparent electrodes are orthogonal to the above-mentioned plasma electrodes, and each intersection region with each plasma electrode corresponds to each pixel.

【0008】上記画像表示装置においては、上記各端子
により、プラズマ放電が行われる放電領域を順次切り替
え走査するとともに、液晶層側の透明電極にこれと同期
して信号電圧を印加することによって該信号電圧が各画
素に保持され、液晶層が駆動される。したがって、各放
電領域がそれぞれ1走査ラインに相当し、走査単位毎に
放電領域が分割されている。
In the above-mentioned image display device, a discharge region where plasma discharge is performed is sequentially switched and scanned by each of the terminals, and a signal voltage is applied to the transparent electrode on the liquid crystal layer side in synchronism with the scan to thereby change the signal voltage. The voltage is held in each pixel, and the liquid crystal layer is driven. Therefore, each discharge region corresponds to one scanning line, and the discharge region is divided for each scanning unit.

【0009】上記画像表示装置において、上記プラズマ
電極及び上記隔壁は、スクリーン印刷法により、プラズ
マ電極または隔壁に対応した所定のパターンの導電ペー
スト透過部を有する印刷用スクリーンを用いて印刷形成
されるものである。このスクリーン印刷時においては、
表面に所要のペーストが塗布された印刷用スクリーンを
上記ガラス基板上に設置し、この印刷用スクリーン上の
一端に配置されたステージを他端に配置されたステージ
へ向けて圧接移動させることにより、上記印刷用スクリ
ーンに導電ペースト透過部として形成されている所定の
パターンを上記ガラス基板上に転写して、上記プラズマ
電極や上記隔壁を印刷形成する。
In the above-mentioned image display device, the plasma electrode and the partition are formed by screen printing using a printing screen having a conductive paste transmitting portion having a predetermined pattern corresponding to the plasma electrode or the partition. It is. During this screen printing,
A printing screen with the required paste applied to the surface is placed on the glass substrate, and a stage arranged at one end of the printing screen is pressed and moved toward a stage arranged at the other end. A predetermined pattern formed as a conductive paste transmitting portion on the printing screen is transferred onto the glass substrate, and the plasma electrodes and the partition walls are formed by printing.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、スクリーン
印刷法により上記プラズマ電極や上記隔壁を印刷形成す
る際に、各プラズマ電極は高精細に形成されるものであ
るために、しばしば印刷不良が発生して上記プラズマ電
極や上記隔壁が途切れて形成されることがある。特に上
記プラズマ電極の印刷時に印刷不良、すなわち断線が生
じると、当該画形成装置の品質が著しく低下することに
なる。
When the above-mentioned plasma electrodes and the above-mentioned partition walls are formed by printing using a screen printing method, printing defects often occur because each plasma electrode is formed with high definition. As a result, the plasma electrode and the partition may be interrupted. In particular, if printing failure, that is, disconnection occurs during the printing of the plasma electrode, the quality of the image forming apparatus is significantly reduced.

【0011】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、第1電極のスクリ
ーン印刷時において、第1電極に断線が発生しても、容
易且つ確実にこの断線を修復して第1電極の断線箇所を
皆無として、製品の信頼性及び歩留りの大幅な向上を図
ることが可能となり、近時の要請である装置の大型化及
び高精細化を図ることができる画像表示装置の製造方法
を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and has as its object to easily and reliably prevent disconnection of the first electrode during screen printing of the first electrode. By repairing this disconnection and eliminating the disconnection portion of the first electrode, it is possible to greatly improve the reliability and yield of the product, and to increase the size and definition of the device, which has recently been required. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an image display device which can perform the above.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、第1の基板上
に放電用の第1電極を導電ペーストを用いたスクリーン
印刷法により印刷形成する工程と、この第1の基板上に
誘電体膜、電気光学材料層及び前記第1電極と直交する
第2電極を有する第2の基板を重ね合わせる工程とを有
してなる画像表示装置の製造方法を対象とする。
According to the present invention, a first electrode for discharging is formed on a first substrate by a screen printing method using a conductive paste, and a dielectric is formed on the first substrate. Laminating a film, an electro-optic material layer, and a second substrate having a second electrode orthogonal to the first electrode.

【0013】本発明は、上記第1電極の印刷形成に用い
る印刷スクリーンに当該第1電極の形状に対応した導電
ペースト透過部を設けるとともに、第1電極に断線が発
生した場合、再度スクリーン印刷を行うことを特徴とす
るものである。
According to the present invention, a printing screen used for forming the first electrode is provided with a conductive paste transmitting portion corresponding to the shape of the first electrode, and when a disconnection occurs in the first electrode, screen printing is performed again. It is characterized by performing.

【0014】ところで、プラズマ電極の断線は、印刷ス
クリーンの導電ペースト透過部やその近傍に付着した塵
や印刷用ペーストの固まりが原因となって発生するもの
である。したがって上記の場合に、第1電極に断線が発
生した際に用いた印刷スクリーンをそのまま2回目の印
刷時に用いると、再び同じ箇所に再び断線が発生するこ
とになり、プラズマ電極の断線箇所の修復が困難である
という問題がある。
By the way, the disconnection of the plasma electrode is caused by dust adhering to the conductive paste transmitting portion of the printing screen or in the vicinity of the conductive paste or by clumping of the printing paste. Therefore, in the above case, if the printing screen used when the first electrode is disconnected is used as it is for the second printing, the disconnection occurs again at the same location, and the disconnected location of the plasma electrode is repaired. There is a problem that is difficult.

【0015】そこで、本発明においては、第1電極に断
線が発生した場合、2回目のスクリーン印刷を印刷スク
リーンを180゜回転させて行う。なお、この方法を行
うには、第1電極の形状が点対称であることが必要であ
る。
Therefore, in the present invention, when disconnection occurs in the first electrode, the second screen printing is performed by rotating the printing screen by 180 °. In order to perform this method, it is necessary that the shape of the first electrode is point-symmetric.

【0016】また、1回目のスクリーン印刷と2回目の
スクリーン印刷で印刷スクリーンの配置をずらして印刷
を行ってもよい。なお、この方法を行うには、各第1電
極が等ピッチに形成されるものであることが必要であ
る。この方法は、例えば数本の第1電極に連続に断線が
生じた場合に特に有効である。
In the first screen printing and the second screen printing, printing may be performed with the arrangement of the printing screens shifted. In order to perform this method, it is necessary that the first electrodes are formed at an equal pitch. This method is particularly effective when, for example, several first electrodes are continuously disconnected.

【0017】またさらに、2回目のスクリーン印刷を同
一パターンの導電ペースト透過部を有する別の印刷スク
リーンを用いて行ってもよい。
Further, the second screen printing may be performed using another printing screen having the conductive paste transmitting portion of the same pattern.

【0018】また、2回目のスクリーン印刷を行う前に
印刷スクリーンを洗浄するようにしてもよい。
The printing screen may be washed before the second screen printing.

【0019】[0019]

【作用】本発明に係る画像表示装置の製造方法において
は、第1の基板上に第1電極をスクリーン印刷法により
印刷形成する。このとき、各第1電極は高精細に形成さ
れるものであるために、しばしば印刷不良が発生して第
1電極に断線が生じる。本発明は、印刷スクリーンのあ
る導電ペースト透過部に対応して印刷された第1電極に
断線が発生した場合に再びスクリーン印刷を行うもので
ある。具体的には、印刷スクリーンを180゜回転させ
て再使用する方法、1回目のスクリーン印刷と2回目の
スクリーン印刷で印刷スクリーンの配置をずらす方法、
2回目のスクリーン印刷を同一パターンの導電ペースト
透過部を有する別の印刷スクリーンを用いて行う方法、
2回目のスクリーン印刷を行う前に印刷スクリーンを洗
浄する方法等がある。
In the method of manufacturing an image display device according to the present invention, a first electrode is formed on a first substrate by screen printing. At this time, since each first electrode is formed with high definition, printing failure often occurs and disconnection occurs in the first electrode. The present invention is to perform screen printing again when a disconnection occurs in a first electrode printed corresponding to a certain conductive paste transmitting portion of a printing screen. Specifically, a method of rotating the print screen by 180 ° and reusing it, a method of displacing the arrangement of the print screen between the first screen print and the second screen print,
A method of performing the second screen printing using another printing screen having a conductive paste transmitting portion of the same pattern,
There is a method of cleaning the printing screen before performing the second screen printing.

【0020】このように、ある第1電極に断線を生ぜし
めた原因(塵、印刷用ペーストの固まり)を有しない印
刷スクリーンの導電ペースト透過部がこの第1電極に対
応して再び印刷されるので、この導電ペースト透過部に
おいて当該第1電極の断線の位置に対応した同位置に断
線の原因が存在する確率はほぼ零とみなすことができ
る。したがって、この再度の印刷により第1電極の断線
箇所が確実に修復され、画像表示装置の第1電極の断線
を皆無とすることが可能となる。
As described above, the conductive paste transmitting portion of the printing screen, which does not have the cause (dust, clumping of the printing paste) that caused the disconnection of a certain first electrode, is printed again corresponding to the first electrode. Therefore, the probability that the cause of the disconnection exists in the conductive paste transmitting portion at the same position corresponding to the disconnection position of the first electrode can be regarded as substantially zero. Therefore, the disconnection of the first electrode is surely repaired by this reprinting, and it is possible to eliminate the disconnection of the first electrode of the image display device.

【0021】[0021]

【実施例】以下、本発明に係る画像表示装置の製造方法
の具体的な実施例を図面を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a specific embodiment of a method for manufacturing an image display device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0022】本実施例により作製される画像表示装置
は、放電プラズマを利用して電気光学材料である液晶を
駆動し画像選択を行うものである。この画像表示装置
は、図1に示すように、電気光学材料層である液晶層1
1と、プラズマの放電がなされる放電領域12とが、ガ
ラス等からなる薄い誘電体のマイクロシート13を介し
て隣接配置されてなるものである。
The image display device manufactured according to the present embodiment uses a discharge plasma to drive a liquid crystal, which is an electro-optical material, to select an image. As shown in FIG. 1, this image display device has a liquid crystal layer 1 which is an electro-optical material layer.
1 and a discharge region 12 in which plasma discharge is performed are arranged adjacent to each other via a thin dielectric microsheet 13 made of glass or the like.

【0023】上記放電領域12においては、図2に示す
ように、第1の基板であるガラス基板14上に互いに平
行なライン形状の導電ペーストよりなる第1電極である
プラズマ電極15が複数本等間隔をもって配され、交互
にアノードA及びカソードKとされている。各プラズマ
電極15の一端部にはこのプラズマ電極15に電圧を印
加するための端子が交互に設けられている。ここで、有
効画面外に対応するガラス基板14の右端部では各カソ
ードKが各アノードAより長く形成され、各カソードK
の右端部に端子15bが設けられている。このとき同様
に有効画面外に対応するガラス基板14の左端部では各
アノードAが各カソードKより長く形成され、各アノー
ドAの左端部に端子15aが設けられている。なお、上
記のアノードAとカソードKの関係を逆にしてプラズマ
電極15を構成してもよい。
In the discharge region 12, as shown in FIG. 2, a plurality of plasma electrodes 15 as first electrodes made of line-shaped conductive paste are formed on a glass substrate 14 as a first substrate. The anodes A and the cathodes K are arranged alternately at intervals. Terminals for applying a voltage to the plasma electrodes 15 are provided alternately at one end of each plasma electrode 15. Here, at the right end of the glass substrate 14 corresponding to outside the effective screen, each cathode K is formed to be longer than each anode A.
Is provided with a terminal 15b at the right end. At this time, similarly, at the left end of the glass substrate 14 corresponding to the outside of the effective screen, each anode A is formed longer than each cathode K, and a terminal 15a is provided at the left end of each anode A. The plasma electrode 15 may be configured by reversing the relationship between the anode A and the cathode K.

【0024】さらに、各プラズマ電極15上にこのプラ
ズマ電極15より狭幅の絶縁ペーストよりなる隔壁16
がプラズマ電極15の長手方向に配され、放電領域12
内にはイオン化可能なガスが封入されている。
Further, a partition 16 made of an insulating paste having a width smaller than that of the plasma electrode 15 is formed on each plasma electrode 15.
Are arranged in the longitudinal direction of the plasma electrode 15, and the discharge region 12
An ionizable gas is sealed therein.

【0025】ここで、各放電領域12内では、上記隔壁
16が形成されたことにより隔壁16と狭幅のプラズマ
電極15の幅方向の両端部が露出し、2つの対向する隔
壁16にて仕切られた区域がプラズマ室とされて、この
プラズマ室内における対向する各露出部分15a,15
bが一対の電極(アノード及びカソード)として機能す
る。また、これら隔壁16の上端部及びガラス基板14
の周縁部に設けられたフリット17によりマイクロシー
ト13の下部が支持固定されている。
Here, in each discharge region 12, both ends in the width direction of the partition 16 and the narrow plasma electrode 15 are exposed due to the formation of the partition 16, and the partition 16 is partitioned by two opposing partitions 16. The defined area is used as a plasma chamber, and the exposed portions 15a and 15
b functions as a pair of electrodes (anode and cathode). Further, the upper end portions of these partition walls 16 and the glass substrate 14
The lower part of the microsheet 13 is supported and fixed by a frit 17 provided on the peripheral edge of the microsheet 13.

【0026】上記マイクロシート13上には、液晶の配
向を整えるための配向層18a及び18bに挟持された
ネマティック液晶等からなる上記液晶層11がその周囲
を液晶シール19により支持されて設けられている。そ
して、液晶シール19及び配向層18bを介したカラー
フィルタ20の上部には第2の基板である透明基板21
が配されている。透明基板21の下部、即ち液晶層11
側の表面には第2電極である複数の透明電極22が形成
されている。これら透明電極22は、上記各プラズマ電
極15と直交しており、各プラズマ電極15との各交差
領域が各画素に対応している。
On the microsheet 13, the liquid crystal layer 11 made of nematic liquid crystal or the like sandwiched between alignment layers 18a and 18b for adjusting the alignment of liquid crystal is provided with its periphery supported by a liquid crystal seal 19. I have. A transparent substrate 21 as a second substrate is provided above the color filter 20 via the liquid crystal seal 19 and the alignment layer 18b.
Is arranged. The lower part of the transparent substrate 21, that is, the liquid crystal layer 11
A plurality of transparent electrodes 22 as second electrodes are formed on the surface on the side. These transparent electrodes 22 are orthogonal to the respective plasma electrodes 15, and respective intersection regions with the respective plasma electrodes 15 correspond to respective pixels.

【0027】上記画像表示装置においては、上記各端子
により、プラズマ放電が行われる放電領域12を順次切
り替え走査するとともに、液晶層21側の透明電極22
にこれと同期して信号電圧を印加することによって該信
号電圧が各画素に保持され、液晶層11が駆動される。
したがって、各放電領域12がそれぞれ1走査ラインに
相当し、走査単位毎に放電領域が分割されている。
In the image display device, the discharge area 12 where plasma discharge is performed is sequentially switched and scanned by the terminals, and the transparent electrode 22 on the liquid crystal layer 21 side is scanned.
By applying a signal voltage in synchronization with this, the signal voltage is held in each pixel, and the liquid crystal layer 11 is driven.
Therefore, each discharge region 12 corresponds to one scan line, and the discharge region is divided for each scan unit.

【0028】ここで、上記画像表示装置を作製するに
は、先ず、図3に示すような印刷スクリーン1を用い
て、ガラス基板14上にプラズマ電極15(アノードA
及びカソードK)をスクリーン印刷法により印刷形成す
る。
Here, in order to manufacture the image display device, first, a plasma electrode 15 (anode A) is formed on a glass substrate 14 using a printing screen 1 as shown in FIG.
And the cathode K) is printed by screen printing.

【0029】上記印刷スクリーン1には、そのスクリー
ン枠2内の主面3にアノードA及びカソードKのプラズ
マ電極15に対応した導電ペースト透過部4a,4bが
それぞれ交互に所定間隔をもって形成されている。導電
ペースト透過部4a,4bはそれぞれアノードA及びカ
ソードKに対応しているために、上記主面3の右端部で
は各カソードKに対応した導電ペースト透過部4aが各
アノードAに対応した導電ペースト透過部4bより長く
形成され、上記主面3の左端部では各アノードAに対応
した導電ペースト透過部4bが各カソードKに対応した
導電ペースト透過部4aより長く形成されている。な
お、上記のアノードAとカソードKの関係が逆となるよ
うな各導電ペースト透過部4a,4bを有する印刷スク
リーンを用いてもよい。
In the printing screen 1, conductive paste transmitting portions 4a and 4b corresponding to the plasma electrodes 15 of the anode A and the cathode K are alternately formed on the main surface 3 in the screen frame 2 at predetermined intervals. . The conductive paste transmitting portions 4a and 4b correspond to the anode A and the cathode K, respectively. The conductive paste transmitting portion 4b corresponding to each anode A is formed longer than the conductive paste transmitting portion 4a corresponding to each cathode K at the left end of the main surface 3. Note that a printing screen having the conductive paste transmitting portions 4a and 4b in which the relationship between the anode A and the cathode K is reversed may be used.

【0030】上記の構造を有する印刷スクリーン1を用
いて、表面に所要のペーストが塗布された印刷スクリー
ン1を上記ガラス基板14上に設置し、図4に示すよう
に、この印刷用スクリーン1の主面3上の右端部に配置
されたステージ5を終端部である左端部へ向けて圧接移
動させることにより、各導電ペースト透過部4a,4b
のパターンをガラス基板14上に転写することにより、
このガラス基板14上にアノードAとカソードKのプラ
ズマ電極15を印刷形成して乾燥させる。
Using the printing screen 1 having the above structure, the printing screen 1 having a required paste applied to the surface thereof is set on the glass substrate 14, and as shown in FIG. By moving the stage 5 arranged at the right end on the main surface 3 toward the left end, which is the terminal end, the conductive paste transmitting portions 4a and 4b are moved.
Is transferred onto the glass substrate 14,
Anode A and cathode K plasma electrodes 15 are formed on the glass substrate 14 by printing and dried.

【0031】その後、印刷形成された各プラズマ電極1
5上に、同様にスクリーン印刷法により、これらプラズ
マ電極15より狭幅に絶縁ペーストを印刷し所定形状の
隔壁16を印刷形成して乾燥させる。
Thereafter, each of the plasma-formed plasma electrodes 1 is formed.
Similarly, the insulating paste is printed to a width narrower than those of the plasma electrodes 15 by screen printing, and a partition 16 having a predetermined shape is printed and dried.

【0032】ここで、各プラズマ電極15は高精細に形
成されるものであるために、しばしば印刷不良が発生し
てプラズマ電極15に断線が生じることがある。この場
合、本実施例においては、印刷スクリーン1のある導電
ペースト透過部、例えば導電ペースト透過部4a,4b
に対応して印刷されたプラズマ電極15に断線が発生し
た場合、再度スクリーン印刷を行う。
Here, since each of the plasma electrodes 15 is formed with high definition, a printing failure often occurs and the plasma electrode 15 may be disconnected. In this case, in the present embodiment, a conductive paste transmitting part of the printing screen 1, for example, the conductive paste transmitting parts 4a and 4b
When the disconnection occurs in the plasma electrode 15 printed corresponding to the above, screen printing is performed again.

【0033】具体的には、プラズマ電極15に断線が発
生した場合、印刷スクリーン1をその上下を逆転、すな
わち180゜回転させて、ガラス基板14上に印刷形成
されたプラズマ電極15に対応させて設置し再び印刷を
行う。このとき、断線が発生した当該プラズマ電極15
に対応した導電ペースト透過部付近の数本の導電ペース
ト透過部に対して印刷を行えばよいが、もちろんプラズ
マ電極15全体について再度印刷を施してもよい。
More specifically, when a disconnection occurs in the plasma electrode 15, the printing screen 1 is turned upside down, that is, rotated by 180 ° to correspond to the plasma electrode 15 printed on the glass substrate 14. Install and print again. At this time, the broken plasma electrode 15
The printing may be performed on several conductive paste transmitting portions near the conductive paste transmitting portion corresponding to the above, but of course, the entire plasma electrode 15 may be printed again.

【0034】なお、この方法を行うには、ガラス基板1
4上のプラズマ電極15が点対称な構造に形成されるタ
イプのものであることが必要である。
In order to perform this method, the glass substrate 1
It is necessary that the plasma electrode 15 on 4 is of a type formed in a point-symmetric structure.

【0035】このように、あるプラズマ電極15に断線
を生ぜしめた原因(塵、印刷用ペーストの固まり)を有
しない印刷スクリーン1の導電ペースト透過部4a,4
bがこの第1電極に対応して再び印刷されるので、この
導電ペースト透過部部4a,4bにおいて当該プラズマ
電極15の断線の位置に対応した同位置に断線の原因が
存在する確率はほぼ零とみなすことができる。したがっ
て、この再度の印刷により導電ペースト透過部部4a,
4bに対応したプラズマ電極15の断線箇所が確実に修
復されることになる。
As described above, the conductive paste transmitting portions 4a, 4 of the printing screen 1 which do not have a cause (dust, agglomeration of the printing paste) that has caused the disconnection of a certain plasma electrode 15
Since b is printed again corresponding to the first electrode, the probability that the cause of the disconnection exists at the same position corresponding to the disconnection position of the plasma electrode 15 in the conductive paste transmitting portions 4a and 4b is almost zero. Can be considered. Therefore, the conductive paste transmitting portions 4a, 4a
The broken portion of the plasma electrode 15 corresponding to 4b is surely repaired.

【0036】そして、ガラス基板14上に形成された銀
ペースト上に形成されたニッケルペーストからなるプラ
ズマ電極15及びプラズマ電極15上に形成された絶縁
ペーストからなる隔壁16に対して所定の高温にて焼成
を施す。そして、諸々の後工程を経ることにより、ガラ
ス基板14上に断線が皆無であるプラズマ電極15及び
隔壁16が完成する。
Then, a plasma electrode 15 made of a nickel paste formed on a silver paste formed on a glass substrate 14 and a partition 16 made of an insulating paste formed on the plasma electrode 15 are heated at a predetermined high temperature. Baking. Then, through various post-processes, the plasma electrode 15 and the partition 16 having no disconnection on the glass substrate 14 are completed.

【0037】次いで、上記各隔壁16の上端部及びガラ
ス基板14の周縁部に設けられたフリット17によりガ
ラスやSiO2 よりなるマイクロシート13の下部を
支持固定することで形成された各放電領域12内にイオ
ン化可能なガスを封入する。
Next, the lower portion of the microsheet 13 made of glass or SiO 2 is supported and fixed by the frit 17 provided at the upper end of each of the partition walls 16 and the peripheral portion of the glass substrate 14. Is filled with an ionizable gas.

【0038】そして、電気光学材料である液晶層11及
び複数の透明電極22が形成された透明基板21をマイ
クロシート13上に順次積層することによって上記画像
表示装置が完成する。上記液晶層11としては、ネマテ
ィック液晶等の液晶材料が用いられる。したがって、そ
の上下部に各配向層18a,18b及びカラーフィルタ
20を配し、液晶シール19を介してマイクロシート1
3と所定のギャップをもって配置し、通常の液晶セルの
ようにこれら透明基板21とマイクロシート13との間
に例えばネマティック液晶を注入することによって容易
に作製可能である。
Then, the image display device is completed by sequentially laminating the transparent substrate 21 on which the liquid crystal layer 11 as an electro-optical material and the plurality of transparent electrodes 22 are formed on the microsheet 13. As the liquid crystal layer 11, a liquid crystal material such as a nematic liquid crystal is used. Therefore, the alignment layers 18 a and 18 b and the color filter 20 are arranged on the upper and lower portions, and the micro sheet 1 is interposed via the liquid crystal seal 19.
3 and a predetermined gap, and can be easily manufactured by injecting, for example, a nematic liquid crystal between the transparent substrate 21 and the microsheet 13 like a normal liquid crystal cell.

【0039】ここで、上記実施例のいくつかの変形例に
ついて説明する。なお、上記実施例において説明した部
材等と対応するものについては同符号を記して説明を省
略する。
Here, several modifications of the above embodiment will be described. Components corresponding to those described in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0040】先ず、第1の変形例について述べる。この
第1の変形例は、上記実施例とほぼ同様の方法により上
記画像表示装置を作製するものであるが、プラズマ電極
15のスクリーン印刷時にあるプラズマ電極15に断線
が発生した場合の再印刷の際の対処方法が異なる点で相
違する。
First, a first modification will be described. In the first modification, the image display device is manufactured by a method substantially similar to that of the above-described embodiment. However, when disconnection occurs in a certain plasma electrode 15 during screen printing of the plasma electrode 15, reprinting is performed. The difference is in the way they are handled.

【0041】すなわち、上記第1の変形例においては、
プラズマ電極15に断線が発生した場合、1回目のスク
リーン印刷と2回目のスクリーン印刷で印刷スクリーン
1の配置をずらしてガラス基板14上に印刷形成された
断線したプラズマ電極15に対応させて設置し再び印刷
を行う。つまりこの場合、初めにプラズマ電極15を印
刷するために用いた印刷スクリーン1を再度使用し、断
線した当該プラズマ電極15に対応した導電ペースト透
過部部4a,4bの付近の数本の導電ペースト透過部に
対してスクリーン印刷を施す。
That is, in the first modified example,
When a disconnection occurs in the plasma electrode 15, the arrangement of the printing screen 1 is shifted in the first screen printing and the second screen printing, and the plasma screen 15 is installed in correspondence with the disconnected plasma electrode 15 printed and formed on the glass substrate 14. Print again. In other words, in this case, the printing screen 1 used for printing the plasma electrode 15 is used again, and several conductive pastes near the conductive paste transmitting portions 4a and 4b corresponding to the disconnected plasma electrode 15 are transmitted. Apply screen printing to the part.

【0042】なお、この方法を行うには、各プラズマ電
極15が等ピッチに形成されるタイプのものであること
が必要である。この方法は、例えば数本のプラズマ電極
15に連続に断線が生じた場合に特に有効である。
In order to perform this method, it is necessary that the plasma electrodes 15 be of a type formed at equal pitches. This method is particularly effective when, for example, several plasma electrodes 15 are continuously disconnected.

【0043】この第1の変形例においても、上記実施例
と同様に、あるプラズマ電極15に断線を生ぜしめた原
因(塵、印刷用ペーストの固まり)を有しない印刷スク
リーン1の導電ペースト透過部部4a,4bがこの第1
電極に対応して再び印刷されるので、この導電ペースト
透過部部4a,4bにおいて当該プラズマ電極15の断
線の位置に対応した同位置に断線の原因が存在する確率
はほぼ零とみなすことができる。したがって、この再度
の印刷により導電ペースト透過部部4a,4bに対応し
たプラズマ電極15の断線箇所が確実に修復されること
になる。
Also in this first modification, similarly to the above-described embodiment, the conductive paste transmitting portion of the printing screen 1 which does not have a cause (dust, agglomeration of the printing paste) that caused the disconnection of a certain plasma electrode 15. The parts 4a and 4b
Since the printing is performed again corresponding to the electrodes, the probability that the cause of the disconnection exists in the conductive paste transmitting portions 4a and 4b at the same position corresponding to the disconnection position of the plasma electrode 15 can be regarded as substantially zero. . Therefore, the disconnection of the plasma electrode 15 corresponding to the conductive paste transmitting portions 4a and 4b is surely repaired by this reprinting.

【0044】次いで、第2の変形例について説明する。
この第2の変形例も上記第1の変形例と同様に、上記実
施例とほぼ同様の方法により上記画像表示装置を作製す
るものであるが、プラズマ電極15のスクリーン印刷時
にあるプラズマ電極15に断線が発生した場合の再印刷
の際の対処方法が異なる点で相違する。
Next, a second modified example will be described.
In the second modified example, similarly to the first modified example, the image display device is manufactured by a method substantially similar to that of the above-described embodiment. The difference is that a method for reprinting when a disconnection occurs is different.

【0045】すなわち、上記第2の変形例においては、
プラズマ電極15に断線が発生した場合、同一パターン
の導電ペースト透過部を有する他の印刷スクリーン1を
用いて、ガラス基板14上に印刷形成されたプラズマ電
極15に対応させて設置し再び印刷を行う。
That is, in the second modification,
When a disconnection occurs in the plasma electrode 15, another printing screen 1 having the same pattern of the conductive paste transmitting portion is used, and is installed again in correspondence with the plasma electrode 15 printed and formed on the glass substrate 14, and printing is performed again. .

【0046】この方法は、プラズマ電極の形状に関わり
なく全てのタイプのプラズマ電極に対処可能であり、こ
の場合も上記実施例と同様に、あるプラズマ電極15に
断線を生ぜしめた原因(塵、印刷用ペーストの固まり)
を有しない印刷スクリーン1の導電ペースト透過部部4
a,4bがこの第1電極に対応して再び印刷されるの
で、この導電ペースト透過部部4a,4bにおいて当該
プラズマ電極15の断線の位置に対応した同位置に断線
の原因が存在する確率はほぼ零とみなすことができる。
したがって、この再度の印刷により導電ペースト透過部
部4a,4bに対応したプラズマ電極15の断線箇所が
確実に修復されることになる。
This method can deal with all types of plasma electrodes regardless of the shape of the plasma electrode. In this case, similarly to the above-described embodiment, the cause of the disconnection of a certain plasma electrode 15 (dust, Lump of printing paste)
Conductive paste transmitting portion 4 of printing screen 1 having no
Since a and 4b are printed again corresponding to the first electrode, the probability that the cause of the disconnection exists in the conductive paste transmitting portions 4a and 4b at the same position corresponding to the disconnection position of the plasma electrode 15 is determined. It can be regarded as almost zero.
Therefore, the disconnection of the plasma electrode 15 corresponding to the conductive paste transmitting portions 4a and 4b is surely repaired by this reprinting.

【0047】なお、本発明は上記実施例及びその変形例
に限定されるものではなく、例えば第1電極であるプラ
ズマ電極に断線が発生した際に、使用した印刷スクリー
ンを洗浄して断線の原因となった塵や印刷用ペーストの
固まりを除去した後に、同一の印刷スクリーンを用いて
上記プラズマ電極に重ね合わせ、再び印刷を施しても、
断線を皆無とすることが可能となる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment and its modifications. For example, when a disconnection occurs in the plasma electrode serving as the first electrode, the used printing screen is washed to cause the disconnection. After removing the lump of dust and the paste for printing that became, it was superimposed on the plasma electrode using the same printing screen, and printing was performed again,
It is possible to eliminate disconnection.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明に係る画像表示装置の製造方法に
よれば、第1の基板上に放電用の第1電極を導電ペース
トを用いたスクリーン印刷法により印刷形成する工程
と、この第1の基板上に誘電体膜、電気光学材料層及び
前記第1電極と直交する第2電極を有する第2の基板を
重ね合わせる工程とを有してなる画像表示装置の製造方
法において、上記第1電極の印刷形成に用いる印刷スク
リーンに当該第1電極の形状に対応した導電ペースト透
過部を設けるとともに、第1電極に断線が発生した場
合、再度スクリーン印刷を行うので、上記第1電極のス
クリーン印刷時において、第1電極に断線が発生して
も、容易且つ確実にこの断線を修復して第1電極の断線
箇所を皆無として、製品の信頼性及び歩留りの大幅な向
上を図ることが可能となり、近時の要請である装置の大
型化及び高精細化を図ることができる
According to the method of manufacturing an image display device according to the present invention, a step of printing and forming a first electrode for discharge on a first substrate by a screen printing method using a conductive paste; Laminating a second substrate having a dielectric film, an electro-optical material layer, and a second electrode orthogonal to the first electrode on the first substrate. A printing screen used for forming an electrode is provided with a conductive paste transmitting portion corresponding to the shape of the first electrode, and when a disconnection occurs in the first electrode, screen printing is performed again. In some cases, even if a disconnection occurs in the first electrode, the disconnection of the first electrode can be easily and surely repaired without any disconnection, and the reliability and yield of the product can be greatly improved. What , It is possible to size and high definition of the device is a recent requirement

【0049】[0049]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本実施例により作製した画像表示装置を模式的
に示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating an image display device manufactured according to the present embodiment.

【図2】画像表示装置の第1電極及びその上に形成され
た隔壁を模式的に示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view schematically showing a first electrode of the image display device and a partition formed thereon.

【図3】上記第1電極を印刷形成するための印刷スクリ
ーンを模式的に示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view schematically showing a printing screen for printing and forming the first electrode.

【図4】上記第1電極を印刷形成する際の様子を模式的
に示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view schematically showing a state when the first electrode is formed by printing.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 印刷スクリーン 2 スクリーン枠 3 主面 4a,4b,導電ペースト透過部 5 ステージ 11 液晶層 12 放電領域 13 マイクロシート 14 ガラス基板 15 プラズマ電極 15a アノード 15b カソード 16 隔壁 17 フリット 18a,18b 配向層 19 液晶シール 20 カラーフィルタ 21 透明基板 22 透明電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Print screen 2 Screen frame 3 Main surface 4a, 4b, conductive paste transmission part 5 Stage 11 Liquid crystal layer 12 Discharge area 13 Microsheet 14 Glass substrate 15 Plasma electrode 15a Anode 15b Cathode 16 Partition 17 Frit 18a, 18b Alignment layer 19 Liquid crystal seal Reference Signs List 20 color filter 21 transparent substrate 22 transparent electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1333 G02F 1/1343 H01J 9/02 H01J 17/49 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1333 G02F 1/1343 H01J 9/02 H01J 17/49

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】第1の基板上に放電用の第1電極を形状が
点対象であるように導電ペーストを用いたスクリーン印
刷法により印刷形成する工程と、上記第1の基板上に誘
電体膜、電気光学材料層及び上記第1電極と直交する第
2電極を有する第2の基板を重ね合わせる工程とを有し
てなる画像表示装置の製造方法において、 上記第1電極の印刷形成に用いる印刷スクリーンに、上
記第1電極の形状に対応した導電ペースト透過部を設け
るとともに、上記第1電極に断線が発生した場合、上記
印刷スクリーンを180°回転させて再度スクリーン印
刷を行うことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
1. A step of printing a first electrode for discharge on a first substrate by screen printing using a conductive paste so that the shape is symmetrical, and forming a dielectric on the first substrate. Laminating a film, an electro-optic material layer, and a second substrate having a second electrode orthogonal to the first electrode, the method comprising the steps of: The printing screen is provided with a conductive paste transmitting portion corresponding to the shape of the first electrode, and when a disconnection occurs in the first electrode, the printing screen is rotated by 180 ° and screen printing is performed again. Of manufacturing an image display device.
【請求項2】第1の基板上に放電用の第1電極を等ピッ
チに導電ペーストを用いたスクリーン印刷法により印刷
形成する工程と、上記第1の基板上に誘電体膜、電気光
学材料層及び上記第1電極と直交する第2電極を有する
第2の基板を重ね合わせる工程とを有してなる画像表示
装置の製造方法において、 上記第1電極の印刷形成に用いる印刷スクリーンに、上
記第1電極の形状に対応した導電ペースト透過部を設け
るとともに、上記第1電極に断線が発生した場合、1回
目のスクリーン印刷と2回目のスクリーン印刷で上記印
刷スクリーンの配置をピッチ方向にずらして再度スクリ
ーン印刷を行うことを特徴とする画像表示装置の製造方
法。
2. A step of printing and forming first electrodes for discharge on a first substrate at a constant pitch by a screen printing method using a conductive paste; and forming a dielectric film and an electro-optic material on the first substrate. Stacking a layer and a second substrate having a second electrode orthogonal to the first electrode. A method of manufacturing an image display device, comprising the steps of: A conductive paste transmitting portion corresponding to the shape of the first electrode is provided, and when disconnection occurs in the first electrode, the arrangement of the printing screen is shifted in the pitch direction in the first screen printing and the second screen printing. A method for manufacturing an image display device, wherein screen printing is performed again.
【請求項3】第1の基板上に放電用の第1電極を導電ペ
ーストを用いたスクリーン印刷法により印刷形成する工
程と、上記第1の基板上に誘電体膜、電気光学材料層及
び上記第1電極と直交する第2電極を有する第2基板を
重ね合せる工程とを有してなる画像表示装置の製造方法
において、 上記第1電極の印刷形成に用いる印刷スクリーンに、上
記第1電極の形状に対応した導電ペースト透過部を設け
るとともに、上記第1電極に断線が発生した場合、2回
目のスクリーン印刷を同一パターンの導電ペースト透過
部を有する別の印刷スクリーンを用いて行うことを特徴
とする画像表示装置の製造方法。
3. A step of printing and forming a first electrode for discharge on a first substrate by a screen printing method using a conductive paste; and forming a dielectric film, an electro-optic material layer, and Superimposing a second substrate having a second electrode orthogonal to the first electrode. A method of manufacturing an image display device, comprising the steps of: A conductive paste transmitting portion corresponding to the shape is provided, and when a disconnection occurs in the first electrode, a second screen printing is performed using another printing screen having a conductive paste transmitting portion of the same pattern. Of manufacturing an image display device.
【請求項4】第1の基板上に放電用の第1電極を導電ペ
ーストを用いたスクリーン印刷法により印刷形成する工
程と、上記第1の基板上に誘電体膜、電気光学材料層及
び上記第1電極と直交する第2電極を有する第2の基板
を重ね合わせる工程とを有してなる画像表示装置の製造
方法において、 上記第1電極の印刷形成に用いる印刷スクリーンに、上
記第1電極の形状に対応した導電ペースト透過部を設け
るとともに、上記第1電極に断線が発生した場合、2回
目のスクリーン印刷を行う前に印刷スクリーンを洗浄す
ることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
4. A step of printing and forming a first electrode for discharge on a first substrate by a screen printing method using a conductive paste; and forming a dielectric film, an electro-optic material layer, and Superimposing a second substrate having a second electrode orthogonal to the first electrode. A method for manufacturing an image display device, comprising the steps of: A method for manufacturing an image display device, comprising: providing a conductive paste transmitting portion corresponding to the shape of (1); and, when a disconnection occurs in the first electrode, cleaning the printing screen before performing the second screen printing.
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