JP3290259B2 - Gold-plated electronic component and method of manufacturing the same - Google Patents
Gold-plated electronic component and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は金めっきされた電子部品
及びその製造方法に関する。The present invention relates to an electronic component and a manufacturing method thereof, which is gold-plated.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体装置に使用する電子部品の製造に
おいては製品の信頼性を高める等の目的から所要部位に
金めっきを施すことがなされるが、半導体チップを搭載
してアルミニウムワイヤを用いてボンディングするステ
ム等の電子部品ではアルミニウムワイヤとボンディング
部の金めっきとの間での接合性が問題になる。すなわ
ち、アルミニウムワイヤと金めっきとを確実に接合させ
るためには、金めっき層で金が良好に結晶成長するよう
にするのがよく、そのため、従来は金めっき浴に微量の
結晶調整剤を添加してめっきを施すようにしている。2. Description of the Related Art In the manufacture of electronic components used in semiconductor devices, gold plating is applied to required parts for the purpose of improving the reliability of products, but a semiconductor chip is mounted and aluminum wires are used. In the case of an electronic component such as a stem to be bonded, there is a problem of the bondability between the aluminum wire and the gold plating of the bonding portion. That is, in order to reliably join the aluminum wire and the gold plating, it is preferable that gold grows well in the gold plating layer. Therefore, a small amount of a crystal modifier is conventionally added to the gold plating bath. Plating.
【0003】金めっき浴に添加する結晶調整剤として、
従来はTl(タリウム)、As(ヒ素)あるいはPb
(鉛)を使用している。これら結晶調整剤は金めっき層
で金の結晶の成長を促進させ、ワイヤボンディング性の
よい金めっきを施すものである。なお、実際に電子部品
の基材に金めっきを施す場合は、たとえば下地めっきと
してニッケルめっきを施し、この下地めっきに金めっき
を施すようにする。As a crystal modifier added to a gold plating bath,
Conventionally, Tl (thallium), As (arsenic) or Pb
(Lead) is used. These crystal modifiers promote the growth of gold crystals in the gold plating layer and apply gold plating with good wire bonding properties. When gold plating is actually applied to the base material of the electronic component, for example, nickel plating is applied as a base plating, and gold plating is applied to the base plating.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、結晶調整剤
としてTlを添加した金めっき浴を使用して金めっきを
施した場合は、他のAsあるいはPbを結晶調整剤とし
て使用した浴にくらべて金の結晶が明瞭に成長し、初期
状態(高温でエージングする前の状態)におけるアルミ
ニウムワイヤとの接合性が良好になるという特徴があ
る。このとき、ピンホールを防止するために金めっき厚
は1.0μm以上は必要になる。しかし、めっき厚が厚
くなりめっき層中のTlの共析量が増加すると、高温で
エージングした時に接合したアルミニウムワイヤと金め
っきとの界面でクラックが生じ、接合性に悪影響を与え
るという問題がある。By the way, when gold plating is performed using a gold plating bath to which Tl is added as a crystal modifier, compared to other baths using As or Pb as a crystal modifier. It is characterized in that gold crystals grow clearly and the bondability with the aluminum wire in the initial state (before aging at a high temperature) is improved. At this time, in order to prevent pinholes, the thickness of the gold plating needs to be 1.0 μm or more. However, when the plating thickness increases and the eutectoid content of Tl in the plating layer increases, cracks occur at the interface between the aluminum wire and the gold plating bonded when aged at a high temperature, which has a problem of adversely affecting the bondability. .
【0005】上記のようにアルミニウムワイヤと金めっ
きとの界面でクラックが生じるのは、熱処理によって界
面ではアルミニウムと金とのクラックが生じやすい金属
間化合物が形成されるが、Tlがこの成長を促進させる
ように作用するためと考えられる。一方、Asあるいは
Pbを結晶調整剤として使用した金めっき浴を使用した
場合は、アルミニウムワイヤと金との界面でクラックが
生じたりしないという特徴はあるものの、Tl浴にくら
べて結晶調整の効果が安定しないため、初期状態におい
てアルミニウムワイヤと金めっきとが接合しにくいとい
う問題点がある。The reason why cracks are formed at the interface between the aluminum wire and the gold plating as described above is that an intermetallic compound that easily causes cracks between aluminum and gold is formed at the interface by heat treatment, and Tl promotes this growth. It is considered to act to make it work. On the other hand, when a gold plating bath using As or Pb as a crystal modifier is used, there is a feature that cracks do not occur at the interface between the aluminum wire and gold, but the effect of crystal adjustment is higher than that of the Tl bath. Since it is not stable, there is a problem that it is difficult to bond the aluminum wire and the gold plating in the initial state.
【0006】本発明はこれら問題点を解消すべくなされ
たものであり、その目的とするところは、アルミニウム
ワイヤと金めっきによるボンディング部との間の好適な
接合性を得ることができ、信頼性の高いワイヤボンディ
ングをなすことができる金めっきされた電子部品及びそ
の製造方法を提供しようとするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve these problems, and it is an object of the present invention to obtain a favorable bonding property between an aluminum wire and a gold-plated bonding portion, thereby improving reliability. It is an object of the present invention to provide a gold-plated electronic component capable of performing high wire bonding and a method of manufacturing the same.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、金めっきが施さ
れた電子部品の、前記金めっきにより形成されためっき
層が、結晶調整剤としてAsあるいはPbを添加した金
めっき浴により被着形成された下地層となる金めっき層
と、結晶調整剤としてTlを添加した金めっき浴により
前記下地層となる金めっき層の表面に被着形成された外
層となる金めっき層とからなることを特徴とする。ま
た、金めっきが施された電子部品を製造する際に、前記
金めっきが、電子部品に結晶調整剤としてAsあるいは
Pbを添加した金めっき浴を使用して下地層となる金め
っきを施し、該下地層の金めっきの表面に、結晶調整剤
としてTlを添加した金めっき浴を使用して外層となる
金めっきを施すことを特徴とする。The present invention has the following arrangement to achieve the above object. That is, the electrostatic Gold Plated child part, formed by the gold plating Plating
Layer, a gold plating layer as a base layer which is deposited and formed by gold plating bath with the addition of As or Pb as a crystal modifier
And a gold plating bath with Tl added as a crystal modifier
The outer surface formed on the surface of the gold plating layer serving as the underlayer
And a gold plating layer serving as a layer . Also, when manufacturing the gold plated electronic components, wherein
Gold plating, plated with gold to be a base layer using a gold plating bath with the addition of As or Pb in electronic components as a crystal modifier, the surface of the gold plating of the base layer, the Tl as a crystal modifier It is characterized in that gold plating for forming an outer layer is performed using the added gold plating bath.
【0008】[0008]
【作用】アルミニウムワイヤをボンディングするボンデ
ィング部に金めっきを施す際に、結晶調整剤としてAs
あるいはPbを添加した金めっき浴により下地層となる
金めっき層を被着形成し、下地層の金めっき層の表面に
Tlを添加した金めっき浴により外層となる金めっきを
施すことによって、Tl浴の金めっきにより形成された
外層の金めっき層とアルミニウムワイヤとの初期状態に
おける良好な接合性と、AsあるいはPb浴の金めっき
により形成された下地層の金めっき層とアルミニウムワ
イヤとのエージング後における良好な接合性をともに得
ることができ、アルミニウムワイヤとの接合性に優れた
金めっきされた電子部品を得ることができる。 When a gold plating is applied to a bonding portion for bonding an aluminum wire, As is used as a crystal adjusting agent.
Or <br/> gold plating layer as a base layer is deposited formed by gold plating bath with the addition of Pb, the by Ri outer gold plating bath prepared by adding Tl on the surface of the gold plating layer of the base layer gold plating To form a Tl bath formed by gold plating .
Good bondability in the initial state of the gold-plated layer and the aluminum wires of the outer layer, a gold plating layer of the base layer that is more formed gold plating <br/> of A s or Pb bath and aluminum Wa
Can be obtained both good bonding properties after aging with the ear, it is possible to obtain an aluminum wire and electronic components excellent gold plating bondability.
【0009】[0009]
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について説明す
る。本発明に係る金めっきされた電子部品の製造方法
は、電子部品の基材に金めっきを施す場合に、基材に下
地めっきを施した後、結晶調整剤としてAsあるいはP
bを添加した金めっき浴を使用して下地層の金めっきを
施し、次に、結晶調整剤としてTlを添加した金めっき
浴を使用してさらに外層の金めっきを施すことを特徴と
する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below. According to the method for producing a gold-plated electronic component according to the present invention, when a base of an electronic component is plated with gold, the substrate is plated with a base and then As or P is used as a crystal modifier.
It is characterized in that the base layer is plated with gold using a gold plating bath to which b is added, and then the outer layer is further plated using gold plating bath to which Tl is added as a crystal modifier.
【0010】図1は金めっきされた電子部品の実施例と
して、電子部品として使用するステムに上記の金めっき
方法を適用した場合の説明図、図2は比較例として同じ
ステムに従来の金めっき方法を適用した説明図を示す。
図1で10は電子部品の基材(アイレット)、9は基材
10にガラスによって固定したリードであり、これら基
材10及びリード9に下地めっきとしてニッケルめっき
12を設け、ニッケルめっき12に上記の下地層の金め
っき14、さらに外層の金めっき16を設けている。す
なわち、金めっき層は下地層の金めっき14と外層の金
めっき16の2層構造となる。FIG. 1 is an explanatory view showing a case where the above-described gold plating method is applied to a stem used as an electronic component as an embodiment of a gold-plated electronic component. FIG. FIG. 4 shows an explanatory diagram to which the method is applied.
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a substrate (eyelet) of an electronic component, 9 denotes a lead fixed to the substrate 10 by glass, and a nickel plating 12 is provided on the substrate 10 and the lead 9 as a base plating. The underlayer gold plating 14 and the outer layer gold plating 16 are further provided. That is, the gold plating layer has a two-layer structure of the base layer gold plating 14 and the outer layer gold plating 16.
【0011】これに対し、図2に示す従来方法では、基
材10に下地めっきとしてニッケルめっき12を設け、
その上に金めっき18を施す。この金めっきは結晶調整
剤としてTlを添加した金めっき浴、あるいは結晶調整
剤としてAsあるいはPbを添加した金めっき浴による
が、いずれにしろ、金めっき層としては1層のみであ
る。On the other hand, in the conventional method shown in FIG. 2, a nickel plating 12 is provided on a base material 10 as a base plating.
Gold plating 18 is applied thereon. This gold plating is based on a gold plating bath to which Tl is added as a crystal modifier, or a gold plating bath to which As or Pb is added as a crystal modifier, but in any case, there is only one gold plating layer.
【0012】このように、本実施例の金めっきされた電
子部品はアルミニウムワイヤを接合するリード9の頭頂
部等のボンディング部に対して図1に示すように金めっ
き層を2層に形成することを特徴とし、金めっき層のう
ち下地層の金めっき14については結晶調整剤としてA
sあるいはPbを添加した金めっき浴を使用し、外層の
金めっき16については結晶調整剤としてTlを添加し
た金めっき浴を使用して各々形成することを特徴とす
る。[0012] Thus, the gold plating layer as shown in FIG. 1 with respect to the bonding portion of the top portion or the like of the lead 9 gold-plated conductive <br/> child component of this embodiment of bonding the aluminum wire It is characterized in that it is formed in two layers, and among the gold plating layers, the gold plating 14 of the underlayer is A
It is characterized in that a gold plating bath to which s or Pb is added is used, and the gold plating 16 of the outer layer is formed by using a gold plating bath to which Tl is added as a crystal modifier.
【0013】以下、上記ステムに対し従来方法と本発明
方法によって金めっきを施してワイヤ引っ張り強度試験
を行った結果を示す。試験で使用しためっき浴は以下の
とおりである。 (下地めっき浴) ワットニッケルめっき浴(浴温60℃、pH2.5) ・硫酸ニッケル 240g/L ・塩化ニッケル 45g/L ・ほう酸 30g/L なお、下地めっき浴としてはスルファミン酸ニッケルめ
っき浴を使用することもできる。The results of a wire tensile test performed on the above-mentioned stem by applying gold plating by the conventional method and the method of the present invention are shown below. The plating baths used in the test are as follows. (Priming plating bath) Watt nickel plating bath (bath temperature 60 ° C, pH 2.5) Nickel sulfate 240 g / L Nickel chloride 45 g / L Boric acid 30 g / L Nickel sulfamate plating bath is used as the base plating bath You can also.
【0014】(金めっき浴)(浴温65℃、pH4.
5) ・シアン化金カリウム 25g/L 浴温6
5℃ ・クエン酸 90g/L ・クエン酸カリウム 90g/L pH
4.5 なお、Tl浴でのTl添加量は10ppm、As浴、P
b浴でのAsとPbの添加量はともに3ppmとした。
めっき条件は、電流密度0.1A/dm2 である。(Gold plating bath) (bath temperature 65 ° C., pH 4.
5) Gold potassium cyanide 25g / L bath temperature 6
5 ° C ・ citric acid 90g / L ・ potassium citrate 90g / L pH
4.5 The amount of Tl added in the Tl bath was 10 ppm,
The addition amounts of As and Pb in the bath b were both 3 ppm.
The plating conditions are a current density of 0.1 A / dm 2 .
【0015】ワイヤの引っ張り強度試験は、アルミニウ
ムワイヤを用いてボンディングした後、エージングする
前の初期状態と、200℃で60時間維持した後の時点
で測定した。引っ張り試験の試験結果を下表に示す。[0015] The tensile strength test of the wire was measured after bonding using an aluminum wire, in an initial state before aging, and after maintaining at 200 ° C for 60 hours. The test results of the tensile test are shown in the table below.
【0016】[0016]
【表1】 [Table 1]
【0017】なお、表中でTl/As浴とは下地層の金
めっきとしてAs浴を使用し外層の金めっきとしてTl
浴を使用したサンプル、Tl浴、As浴、Pb浴は各々
の金めっき浴のみで金めっきを施したサンプルについて
の結果を示す。各サンプルとも金めっき層の全厚は1.
5μmとしたが、Tl/As浴ではAs浴によって1.
0μm厚、Tl浴で0.5μm厚の金めっきを施した。In the table, the term "Tl / As bath" refers to an As bath used as a base layer gold plating and a Tl / As bath used as an outer layer gold plating.
The results of the samples using the bath, the Tl bath, the As bath, and the Pb bath show the results of the samples plated with gold only in each of the gold plating baths. The total thickness of the gold plating layer was 1.
Although it was 5 μm, in the Tl / As bath, 1.
Gold plating of 0 μm thickness and 0.5 μm thickness was performed in a Tl bath.
【0018】表1に示すように、Tl浴を単独で使用し
た場合には初期状態での引っ張り強度が高いのに対し、
エージング後の接合性が劣化し、As浴、Pb浴単独に
よる場合にはエージング後も比較的接合性は維持してい
るものの、初期状態での接合強度が低いという結果が得
られた。これに対して、Tl/As浴による場合は初期
状態での接合強度が高いとともに、エージング後もAs
浴等の単独浴によるものと同等の接合性を維持すること
ができるという好結果を得ることができた。As shown in Table 1, when the Tl bath is used alone, the tensile strength in the initial state is high,
The bondability after aging deteriorated, and when using the As bath or the Pb bath alone, the bondability in the initial state was low although the bondability was relatively maintained after aging. On the other hand, when using the Tl / As bath, the bonding strength in the initial state is high, and the As
A good result was obtained in that the same bondability as that obtained by a single bath such as a bath could be maintained.
【0019】図3〜6に上記各サンプルについて金めっ
きの表面状態をX線回折によって検査した結果を示す。
図3はTl/As浴によるサンプル、図4はTl浴、図
5はAs浴、図6はPb浴による各サンプルについての
結果を示す。これら検査結果から、Tl/As浴による
場合は金めっきがTl浴とAs浴の両方の性質を反映し
ていることがわかった。なお、Tl浴による金めっきの
下地層としてAs浴による金めっきを施すかわりにPb
浴による金めっきを施す場合も上記例と同様な結果を得
ることができる。FIGS. 3 to 6 show the results of inspection of the surface condition of the gold plating of each of the above samples by X-ray diffraction.
FIG. 3 shows the results for the samples in the Tl / As bath, FIG. 4 shows the results for the Tl bath, FIG. 5 shows the results for the As bath, and FIG. 6 shows the results for the samples in the Pb bath. From these inspection results, it was found that when using the Tl / As bath, the gold plating reflects the properties of both the Tl bath and the As bath. It should be noted that instead of applying gold plating using an As bath as a base layer for gold plating using a Tl bath, Pb was used instead.
The same result as in the above example can be obtained when gold plating is performed in a bath.
【0020】以上の実施例では図1に示すようなステム
について試験を行った結果について説明したが、アルミ
ニウムワイヤとのボンディング性に優れた金めっきを施
す場合に、実施例のようにまずAs浴あるいはPb浴に
よる下地金めっきを施し、さらにTl浴による金めっき
を施す方法は、ステムに限らず、半導体装置用のリード
フレーム等のようにアルミニウムワイヤによるボンディ
ングを必要とする種々の電子部品に同様に適用すること
が可能である。また、基材の全体に金めっきを施す製品
に対しても、部分的に金めっきを施す製品に対しても利
用することができる。In the above embodiment, the results of a test performed on the stem as shown in FIG. 1 have been described. However, when gold plating excellent in bonding property with an aluminum wire is applied, first, an As bath is used as in the embodiment. Alternatively, a method of applying a base metal plating by a Pb bath and further applying a gold plating by a Tl bath is not limited to a stem, but may be applied to various electronic components that require bonding by aluminum wires, such as a lead frame for a semiconductor device. It is possible to apply to. Further, the present invention can be used for a product in which the entire base material is plated with gold, and a product in which gold plating is partially applied.
【0021】[0021]
【発明の効果】本発明に係る金めっきされた電子部品
は、上述したように、アルミニウムワイヤとのボンディ
ング性の優れた金めっきを施した電子部品として提供す
ることができ、信頼性の高い製品として提供することが
可能になる。また、本発明に係る製造方法によれば、結
晶調整剤としてAsあるいはPbを添加した金めっき浴
を使用して下地層となる金めっきを施し、下地層の金め
っきの表面に、結晶調整剤としてTlを添加した金めっ
き浴を使用して外層となる金めっきを施すことにより、
アルミニウムワイヤと金との界面でのクラックの発生を
防止でき、エージングによってアルミニウムワイヤの接
合強度が低下することを抑えることができる等の著効を
奏する。According to the present invention, a gold-plated electronic component according to the present invention is provided.
, As described above, can be provided as an electronic component which has been subjected to bonding with excellent gold plating of aluminum wire, it is possible to provide a highly reliable product. According to the manufacturing method of the present invention ,
Plating bath with As or Pb added as crystal modifier
Apply gold plating for the underlayer using
On the surface of the metal plating, Tl was added as a crystal modifier.
By applying gold plating that will be the outer layer using a bath,
Prevents generation of cracks at the interface between the A Rumi bromide wire and gold exhibits remarkable effects such as can be suppressed that the bonding strength of the aluminum wire is reduced by aging.
【図1】ステム部品に本発明方法を適用した例を示す説
明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing an example in which the method of the present invention is applied to a stem component.
【図2】ステム部品に従来方法を適用した例を示す説明
図である。FIG. 2 is an explanatory view showing an example in which a conventional method is applied to a stem component.
【図3】Tl/As浴によって形成した金めっき層のX
線回折のグラフである。FIG. 3 shows X of a gold plating layer formed by a Tl / As bath.
It is a graph of a line diffraction.
【図4】Tl浴により形成した金めっき層のX線回折の
グラフである。FIG. 4 is a graph of X-ray diffraction of a gold plating layer formed by a Tl bath.
【図5】As浴により形成した金めっき層のX線回折の
グラフである。FIG. 5 is a graph of X-ray diffraction of a gold plating layer formed by an As bath.
【図6】Pb浴により形成した金めっき層のX線回折の
グラフである。FIG. 6 is a graph of X-ray diffraction of a gold plating layer formed by a Pb bath.
10 基材 12 ニッケルめっき 14 下地層の金めっき 16 外層の金めっき 18 金めっき Reference Signs List 10 base material 12 nickel plating 14 gold plating of underlayer 16 gold plating of outer layer 18 gold plating
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C25D 3/48 C25D 5/10 C25D 7/00 H01R 9/16 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) C25D 3/48 C25D 5/10 C25D 7/00 H01R 9/16
Claims (2)
めっきにより形成されためっき層が、結晶調整剤として
AsあるいはPbを添加した金めっき浴により被着形成
された下地層となる金めっき層と、結晶調整剤としてT
lを添加した金めっき浴により前記下地層となる金めっ
き層の表面に被着形成された外層となる金めっき層とか
らなることを特徴とする金めっきされた電子部品。1. A gold plating is decorated with electronic components, the gold plating layer formed by plating, deposited and formed by gold plating bath with the addition of As or Pb as a crystal modifier
Gold plating layer serving as an underlayer, and T
gold plating to be the underlying layer by gold plating bath with the addition of l
Gold plating layer, which is the outer layer deposited on the surface of
Gold plated electronic component, characterized in that Ranaru.
際に、 前記金めっきが、電子部品に結晶調整剤としてAsある
いはPbを添加した金めっき浴を使用して下地層となる
金めっきを施し、該 下地層の金めっきの表面に、結晶調整剤としてTlを
添加した金めっき浴を使用して外層となる金めっきを施
すことを特徴とする金めっきされた電子部品の製造方
法。2. A gold plating to produce a decorated with electronic components
When the gold plating, applying <br/> gold plating underlying layer using gold plating bath with the addition of As or Pb in electronic components as a crystal modifier, the surface of the gold plating of the base layer a method of manufacturing an electronic component which is gold-plated, characterized in that applying gold plating to be the outer layer using a gold plating bath prepared by adding Tl as a crystal modifier.
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| JP19945393A JP3290259B2 (en) | 1993-08-11 | 1993-08-11 | Gold-plated electronic component and method of manufacturing the same |
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| JPH0754185A JPH0754185A (en) | 1995-02-28 |
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