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JP3295532B2 - Fluid flow meter - Google Patents
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JP3295532B2 - Fluid flow meter - Google Patents

Fluid flow meter

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JP3295532B2
JP3295532B2 JP13629994A JP13629994A JP3295532B2 JP 3295532 B2 JP3295532 B2 JP 3295532B2 JP 13629994 A JP13629994 A JP 13629994A JP 13629994 A JP13629994 A JP 13629994A JP 3295532 B2 JP3295532 B2 JP 3295532B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ガスメータ等に利用さ
れるフルイディック流量計に係り、特に流路形状が非対
称なフルイディック流量計に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid flow meter used for a gas meter or the like, and more particularly to a fluid flow meter having an asymmetrical flow path.

【0002】[0002]

【従来の技術】フルイディック流量計は、噴流を発生さ
せるノズルの下流側に、一対の側壁によって流路拡大部
を形成すると共に、側壁の外側に設けられたリターンガ
イドによって、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に
沿ってノズルの噴出口側へ導く一対のフィードバック流
路を形成し、ノズルを通過した流体が一対のフィードバ
ック流路を交互に流れる現象(以下、フルイディック発
振という。)を利用し、ノズルを通過した流体の流れる
方向の切り替わりの周波数に基づいて流体の流量を計量
するものである。
2. Description of the Related Art In a fluidic flow meter, a flow path enlarged portion is formed by a pair of side walls on a downstream side of a nozzle for generating a jet flow, and a fluid passing through the nozzle is formed by a return guide provided outside the side walls. Is formed along the outer side of each side wall to the nozzle outlet side of the nozzle, and a phenomenon in which fluid passing through the nozzle alternately flows through the pair of feedback channels (hereinafter referred to as fluidic oscillation). The flow rate of the fluid is measured based on the switching frequency of the direction in which the fluid flows through the nozzle.

【0003】ここで、図5を参照して、ガスメータとし
て利用されるフルイディック流量計の一例について説明
する。このフルイディック流量計は、気体(ガス)を受
け入れる入口部111と気体を排出する出口部112と
を有する本体110を備えている。本体110内には隔
壁113が設けられ、この隔壁113と入口部111と
の間に第1の気体流路114が形成され、隔壁113と
出口部112との間に第2の気体流路115が形成され
ている。隔壁113には開口部116が設けられ、第1
の気体流路114内には、開口部116を閉塞可能な遮
断弁117が設けられている。また、本体110の外側
にはソレノイド118が固定され、このソレノイド11
8のプランジャ119が、本体110の側壁を貫通して
遮断弁117に接合されている。また、遮断弁117と
本体110との間におけるプランジャ119の周囲に
は、ばね120が設けられ、このばね120が遮断弁1
17を開口部116側へ付勢している。
Here, an example of a fluidic flow meter used as a gas meter will be described with reference to FIG. The fluidic flow meter includes a main body 110 having an inlet 111 for receiving gas (gas) and an outlet 112 for discharging gas. A partition 113 is provided in the main body 110, a first gas channel 114 is formed between the partition 113 and the inlet 111, and a second gas channel 115 is formed between the partition 113 and the outlet 112. Are formed. An opening 116 is provided in the partition 113 and the first
A shutoff valve 117 capable of closing the opening 116 is provided in the gas flow path 114. A solenoid 118 is fixed to the outside of the main body 110.
Eight plungers 119 are connected to the shutoff valve 117 through the side wall of the main body 110. A spring 120 is provided around the plunger 119 between the shutoff valve 117 and the main body 110.
17 is urged toward the opening 116 side.

【0004】第2の気体流路115内には、入口部11
1から受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノ
ズル121が設けられている。このノズル121の上流
側には気体の流れを整えるための整流部材122が設け
られている。ノズル121の下流側には、拡大された流
路を形成する一対の側壁123、124が設けられてい
る。この側壁123、124の間には、所定の間隔を開
けて、上流側に第1ターゲット125、下流側に第2タ
ーゲット126がそれぞれ配設されている。また、側壁
123、124の外側には、ノズル121を通過した気
体を各側壁123、124の外周部に沿ってノズル12
1の噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流路1
27、128を形成するリターンガイド129が配設さ
れている。また、フィードバック流路127、128の
各出口部分と出口部112との間には、リターンガイド
129の背面と本体110とによって、一対の排出路1
31、132が形成されている。また、ノズル121の
噴出口の近傍には、ノズル121を通過した気体の流れ
る方向の切り替わりを検出するための差圧センサに通じ
る導圧孔133、134が設けられている。この導圧孔
133、134は、本体110の底部の外側に設けられ
た図示しない差圧センサに接続されている。そして、こ
の差圧センサによって、ノズル121を通過した気体の
流れる方向の切り替わりを検出するようになっている。
The second gas flow path 115 has an inlet 11
There is provided a nozzle 121 for generating a jet by passing the gas received from the nozzle 1. A rectifying member 122 for adjusting the flow of gas is provided upstream of the nozzle 121. Downstream of the nozzle 121, a pair of side walls 123 and 124 that form an enlarged flow path are provided. A first target 125 is disposed on the upstream side and a second target 126 is disposed on the downstream side at predetermined intervals between the side walls 123 and 124. In addition, outside the side walls 123 and 124, the gas that has passed through the nozzle 121 is applied to the nozzle 12 along the outer periphery of each side wall 123 and 124.
A pair of feedback channels 1 that return to the ejection port side 1
A return guide 129 forming the parts 27 and 128 is provided. In addition, between the outlets of the feedback channels 127 and 128 and the outlet 112, a pair of discharge channels 1 is provided by the back surface of the return guide 129 and the main body 110.
31 and 132 are formed. In the vicinity of the ejection port of the nozzle 121, pressure guiding holes 133 and 134 are provided to communicate with a differential pressure sensor for detecting a change in the direction of flow of the gas passing through the nozzle 121. The pressure guiding holes 133 and 134 are connected to a differential pressure sensor (not shown) provided outside the bottom of the main body 110. The differential pressure sensor detects a change in the direction in which the gas flowing through the nozzle 121 flows.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図5に示す
フルイディック流量計では、ノズル121から出口部1
12の前までの部分(以下、素子部という。)の形状は
左右対称である。これに対し、素子部の左右方向の中心
線151と出口部112の中心線152は一致していな
い。このような配置となっているのは、ガスメータにお
いては入口部111と出口部112の位置が決まってい
ること、および素子部の左右方向の中心線151と出口
部112の中心線152を一致させるように素子部を配
置するとフルイディック流量計の外形が大きくなり、ガ
スメータとして設置するのに支障をきたす場合があると
いう事情によるものである。
By the way, in the fluidic flow meter shown in FIG.
The shape of the portion up to 12 (hereinafter referred to as an element portion) is symmetrical. On the other hand, the center line 151 of the element portion in the left-right direction does not match the center line 152 of the outlet portion 112. Such an arrangement is that in the gas meter, the positions of the inlet 111 and the outlet 112 are determined, and the center line 151 in the left-right direction of the element unit is matched with the center line 152 of the outlet 112. This is due to the fact that the arrangement of the element portion increases the outer shape of the fluidic flow meter, which may hinder installation as a gas meter.

【0006】しかしながら、上述のように、素子部の形
状が左右対称であるにもかかわらず、素子部の左右方向
の中心線151と出口部112の中心線152が一致し
ていないと、排出路131を通って出口部112へ向か
う流路と排出路132を通って出口部112へ向かう流
路とが非対称になる。すなわち、排出路131を通って
出口部112へ向かう流路の方が、排出路132を通っ
て出口部112へ向かう流路よりも流路の抵抗が大き
い。そのため、特に大流量時に、フィードバック流路1
27、128における気体の流れ方が異なり、フルイデ
ィック発振の波形が不安定になって、正確な流量計測が
できなくなる場合があるという問題点がある。
However, as described above, if the center line 151 of the element portion in the left-right direction does not coincide with the center line 152 of the outlet portion 112, despite the fact that the shape of the element portion is bilaterally symmetric, the discharge path The flow path going to the outlet 112 through 131 and the flow path going to the outlet 112 through the discharge path 132 are asymmetric. That is, the resistance of the flow path toward the outlet 112 through the discharge path 131 is greater than the resistance of the flow path toward the outlet 112 through the discharge path 132. Therefore, especially when the flow rate is large, the feedback flow path 1
There is a problem in that the flow of the gas differs between 27 and 128, and the waveform of the fluidic oscillation becomes unstable, making it impossible to measure the flow rate accurately.

【0007】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、素子部から出口部までの排出流路が
非対称なフルイディック流量計において、特に大流量時
におけるフルイディック発振を安定化して、正確な流量
計測を行うことができるようにしたフルイディック流量
計を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to stabilize fluidic oscillation in a fluidic flow meter having an asymmetric discharge flow path from an element portion to an outlet portion, particularly at a large flow rate. Another object of the present invention is to provide a fluidic flowmeter capable of performing accurate flow measurement.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1記載のフルイデ
ィック流量計は、流体を受け入れる入口部と、この入口
部から受け入れた流体を通過させて噴流を発生させるノ
ズルと、このノズルの下流側に設けられ、拡大された流
路を形成する一対の側壁と、この一対の側壁の外側に設
けられ、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に沿って
ノズルの噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流
路を形成するリターンガイドと、流体を排出する出口部
であって、その中心線がノズルの中心線と一致しない位
置に配置された出口部と、ノズルを通過し各側壁に沿っ
て流れる流体を前記出口部へ導く排出流路であって、
記ノズルを通過し各側壁に沿って流れる流体を前記リタ
ーンガイドの外側に排出する排出口を含み、この排出口
は、排出流路の抵抗が前記ノズルの中心線の両側につい
て均等化されるように、前記ノズルの中心線を境にして
前記出口部に近い方が前記出口部に遠い方よりも断面積
が小さく形成された排出流路と、ノズルを通過した流体
の流れる方向の切り替わりを検出する検出手段とを備え
たものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a fluidic flow meter having an inlet for receiving a fluid, a nozzle for generating a jet by passing the fluid received from the inlet, and a downstream side of the nozzle. A pair of side walls that form an enlarged flow path, and a pair of side walls that are provided outside the pair of side walls and return the fluid that has passed through the nozzle to the nozzle outlet side along the outside of each side wall. A return guide forming a feedback channel, and an outlet for discharging fluid, the outlet being disposed at a position where the center line does not coincide with the center line of the nozzle, and flowing along each side wall through the nozzle a discharge passage for guiding the fluid to the outlet, before
The fluid flowing along each side wall after passing through the nozzle is
Outlet to the outside of the
Indicates that the resistance of the discharge passage is on both sides of the center line of the nozzle.
So that it is equalized by the center line of the nozzle
The area closer to the outlet is larger than the area farther from the outlet
And a detecting means for detecting a change in the direction of flow of the fluid passing through the nozzle.

【0009】このフルイディック流量計では、入口部か
ら受け入れられた流体はノズルを通過して噴流となる。
このノズルを通過した流体は一対のフィードバック流路
を交互に流れ、排出流路を経て出口部より排出される。
排出流路は、流路の抵抗がノズルの中心線の両側につい
て均等化されているので、一対のフィードバック流路に
おける流体の流れ方が均等化され、フルイディック発振
が安定する。
In this fluidic flow meter, the fluid received from the inlet passes through the nozzle to form a jet.
The fluid that has passed through the nozzle flows alternately through a pair of feedback flow paths, and is discharged from an outlet through a discharge flow path.
In the discharge flow path, the resistance of the flow path is equalized on both sides of the center line of the nozzle, so that the flow of the fluid in the pair of feedback flow paths is equalized, and the fluidic oscillation is stabilized.

【0010】請求項2記載のフルイディック流量計は、
流体を受け入れる入口部と、この入口部から受け入れた
流体を通過させて噴流を発生させるノズルと、このノズ
ルの下流側に設けられ、拡大された流路を形成する一対
の側壁と、この一対の側壁の外側に設けられ、前記ノズ
ルを通過した流体を各側壁の外側に沿って前記ノズルの
噴出口側へ帰還させる一対のフィードバック流路を形成
するリターンガイドと、流体を排出する出口部であっ
て、その中心線が前記ノズルの中心線と一致しない位置
に配置された出口部と、前記ノズルを通過し各側壁に沿
って流れる流体を前記出口部へ導く排出流路であって、
前記ノズルを通過し各側壁に沿って流れる流体を前記リ
ターンガイドの外側に排出する排出口を含み、排出流路
の抵抗が前記ノズルの中心線の両側について均等化され
るように、前記排出口の近傍における前記側壁と前記リ
ターンガイドとの間隔が、前記ノズルの中心線を境にし
て、前記出口部に近い方が前記出口部に遠い方よりも小
さく形成された排出流路と、ノズルを通過した流体の流
れる方向の切り替わりを検出する検出手段とを備えたも
のである。
[0010] The fluidic flow meter according to claim 2 is
Inlet for receiving fluid and received from this inlet
A nozzle that generates a jet by passing fluid, and this nozzle
Pair that is provided downstream of the
A side wall, and the nose provided outside the pair of side walls.
Fluid passing through the nozzle along the outside of each side wall
Form a pair of feedback channels to return to the jet port side
Return guide and the outlet for discharging fluid.
Position where the center line does not match the center line of the nozzle
Outlets, and each side wall passing through the nozzle.
Discharge channel for guiding the fluid flowing to the outlet portion,
The fluid flowing along each side wall passing through the nozzle is
Including a discharge port to discharge outside the turn guide, a discharge flow path
Resistance is equalized on both sides of the center line of the nozzle
So that the side wall and the hole near the discharge port are
The distance between the turn guide and the center line of the nozzle
The nearer to the outlet is smaller than the farther to the outlet
The formed discharge channel and the flow of fluid that has passed through the nozzle
Detection means for detecting a change in direction
It is.

【0011】このフルイディック流量計では、入口部か
ら受け入れられた流体はノズルを通過して噴流となる。
このノズルを通過した流体は一対のフィードバック流路
を交互に流れ、排出流路を経て出口部より排出される。
排出流路は、流路の抵抗がノズルの中心線の両側につい
て均等化されているので、一対のフィードバック流路に
おける流体の流れ方が均等化され、フルイディック発振
が安定する
[0011] In this fluidic flow meter, the inlet
The fluid received from the nozzle passes through the nozzle to form a jet.
The fluid that has passed through this nozzle passes through a pair of feedback channels.
Flows alternately, and is discharged from the outlet through the discharge flow path.
The discharge passage has a flow path resistance on both sides of the center line of the nozzle.
Equalized, so that a pair of feedback channels
Fluid flow is equalized and fluidic oscillation
Becomes stable .

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0013】図1は本発明の第1実施例のフルイディッ
ク流量計の構成を示す断面図である。なお、本実施例
は、ガスメータとして使用するフルイディック流量計の
例である。図1に示すように、本実施例のフルイディッ
ク流量計は、気体(ガス)を受け入れる入口部11と気
体を排出する出口部12とを有する本体10を備えてい
る。本体10内には隔壁13が設けられ、この隔壁13
と入口部11との間に第1の気体流路14が形成され、
隔壁13と出口部12との間に第2の気体流路15が形
成されている。隔壁13には開口部16が設けられ、第
1の気体流路14内には、開口部16を閉塞可能な遮断
弁17が設けられている。また、本体10の外側にはソ
レノイド18が固定され、このソレノイド18のプラン
ジャ19が、本体10の側壁を貫通して遮断弁17に接
合されている。また、遮断弁17と本体10との間にお
けるプランジャ19の周囲には、ばね20が設けられ、
このばね20が遮断弁17を開口部16側へ付勢してい
る。
FIG. 1 is a sectional view showing the configuration of a fluidic flow meter according to a first embodiment of the present invention. The present embodiment is an example of a fluidic flow meter used as a gas meter. As shown in FIG. 1, the fluidic flow meter of the present embodiment includes a main body 10 having an inlet 11 for receiving gas (gas) and an outlet 12 for discharging gas. A partition 13 is provided in the main body 10.
A first gas flow path 14 is formed between
A second gas passage 15 is formed between the partition 13 and the outlet 12. An opening 16 is provided in the partition 13, and a shutoff valve 17 capable of closing the opening 16 is provided in the first gas flow path 14. A solenoid 18 is fixed to the outside of the main body 10, and a plunger 19 of the solenoid 18 penetrates a side wall of the main body 10 and is joined to the shutoff valve 17. A spring 20 is provided around the plunger 19 between the shut-off valve 17 and the main body 10.
The spring 20 urges the shutoff valve 17 toward the opening 16.

【0014】第2の気体流路15内には、入口部11か
ら受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノズル
21が設けられている。このノズル21の上流側には気
体の流れを整えるための整流部材22が設けられてい
る。ノズル21の下流側には、拡大された流路を形成す
る一対の側壁23、24が設けられている。この側壁2
3、24の間には、所定の間隔を開けて、上流側に第1
ターゲット25、下流側に第2ターゲット26がそれぞ
れ配設されている。また、側壁23、24の外側には、
ノズル21を通過した気体を各側壁23、24の外周部
に沿ってノズル21の噴出口側へ帰還させる一対のフィ
ードバック流路27、28を形成するリターンガイド2
9が配設されている。このリターンガイド29は、第2
ターゲット26の下流側からノズル21の噴出口側まで
側壁23、24を囲うように連続して延設されている。
In the second gas passage 15, there is provided a nozzle 21 for passing the gas received from the inlet 11 to generate a jet. A rectifying member 22 for regulating the flow of gas is provided upstream of the nozzle 21. Downstream of the nozzle 21, a pair of side walls 23 and 24 that form an enlarged flow path are provided. This side wall 2
A predetermined interval is left between 3, 24, and the first
A target 25 and a second target 26 are provided on the downstream side, respectively. In addition, outside the side walls 23 and 24,
A return guide 2 that forms a pair of feedback channels 27 and 28 that return the gas that has passed through the nozzle 21 to the ejection port side of the nozzle 21 along the outer peripheral portions of the side walls 23 and 24.
9 are provided. This return guide 29
It extends continuously from the downstream side of the target 26 to the ejection port side of the nozzle 21 so as to surround the side walls 23 and 24.

【0015】また、リターンガイド29には、側壁2
3、24の外側に位置に、それぞれ、ノズル21を通過
し各側壁23、24に沿って流れる気体をリターンガイ
ド29の外側に排出する排出口35、36が設けられて
いる。また、この排出口35、36と出口部12との間
には、リターンガイド29の背面と本体10とによっ
て、一対の排出路31、32が形成されている。なお、
ノズル21を通過し各側壁23、24に沿って流れる気
体を出口部12へ導く排出流路は、これら排出口35、
36および排出路31、32を含むものである。
The return guide 29 includes a side wall 2.
Discharge ports 35 and 36 for discharging gas flowing through the nozzle 21 and flowing along the respective side walls 23 and 24 to the outside of the return guide 29 are provided at positions outside the nozzles 3 and 24, respectively. A pair of discharge paths 31 and 32 are formed between the discharge ports 35 and 36 and the outlet 12 by the back surface of the return guide 29 and the main body 10. In addition,
The discharge flow path that guides the gas passing through the nozzle 21 and flowing along each of the side walls 23 and 24 to the outlet portion 12 includes these discharge ports 35 and
36 and discharge paths 31 and 32.

【0016】ところで、本実施例では、ノズル21の中
心線(ノズル21から出口部12の前までの素子部の左
右方向の中心線)51と出口部12の中心線52は一致
していない。そこで、本実施例では、排出流路の抵抗が
ノズル21の中心線51の両側について均等化されるよ
うに、ノズル21の中心線51を境にして出口部12に
近い方の排出口36の断面積を、出口部12に遠い方の
排出口35の断面積よりも小さく形成している。これに
より、排出口35および排出路31を通って出口部12
へ向かう流路の抵抗と、排出口36および排出路32を
通って出口部12へ向かう流路の抵抗とが略等しくなっ
ている。
In the present embodiment, the center line 51 of the nozzle 21 (the center line in the left-right direction of the element section from the nozzle 21 to the front of the outlet 12) 51 does not coincide with the center line 52 of the outlet 12. Therefore, in the present embodiment, the discharge port 36 near the outlet 12 with the center line 51 of the nozzle 21 as a boundary is set so that the resistance of the discharge channel is equalized on both sides of the center line 51 of the nozzle 21. The cross-sectional area is formed smaller than the cross-sectional area of the discharge port 35 remote from the outlet 12. As a result, the outlet portion 12 passes through the discharge port 35 and the discharge path 31.
The resistance of the flow path toward the outlet and the flow path toward the outlet 12 through the discharge port 36 and the discharge path 32 are substantially equal.

【0017】また、ノズル21の噴出口の近傍には、導
圧孔33、34が設けられている。また、本体10の底
部の外側には、ノズル21を通過した気体の流れる方向
の切り替わりを検出する検出手段として、圧電膜等を用
いて差圧を検出する差圧センサ40(図1では図示しな
い。)が設けられている。導圧孔33、34はこの差圧
センサ40の各圧力導入口に接続されている。そして、
この差圧センサ40によって、導圧孔33と導圧孔34
における差圧を検出して、この差圧の変化に基づいて気
体の流れる方向の切り替わりを検出するようになってい
る。
Further, pressure guiding holes 33 and 34 are provided in the vicinity of the nozzle 21 of the nozzle 21. A differential pressure sensor 40 (not shown in FIG. 1) that detects a differential pressure by using a piezoelectric film or the like as a detection unit that detects a change in a direction in which gas flows through the nozzle 21 is provided outside the bottom of the main body 10. .) Is provided. The pressure guide holes 33 and 34 are connected to the respective pressure introduction ports of the differential pressure sensor 40. And
This pressure difference sensor 40 allows the pressure guiding hole 33 and the pressure guiding hole 34
Is detected, and a change in the direction in which the gas flows is detected based on a change in the differential pressure.

【0018】図2は本実施例のフルイディック流量計の
回路部分の構成を示すブロック図である。この図に示す
ように、フルイディック流量計は、差圧センサ40の出
力を入力し、流量を演算する流量演算部41と、この流
量演算部41によって演算された流量を表示する表示部
42と、流量演算部41によって制御され、ソレノイド
18を駆動するソレノイド駆動回路43とを備えてい
る。流量演算部41は、例えば差圧センサ40の出力を
2値化してパルスを生成し、単位時間当たりのパルスの
数をカウントしてノズル21を通過した気体の流れる方
向の切り替わりの周波数を求め、この周波数を流量に換
算する。また、本実施例のフルイディック流量計は、ガ
スメータとして使用した場合における安全機能として、
例えば、流量演算部41が所定量以上の流量を検出した
場合や所定の流量を所定時間以上検出した場合等に、ソ
レノイド駆動回路43を動作させてソレノイド18を動
作させ、弁17によって開口部16を閉塞してガスを遮
断するようになっている。なお、流量演算部41は、例
えばマイクロコンピュータによって実現される。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the circuit part of the fluidic flow meter of the present embodiment. As shown in the figure, the fluidic flow meter has a flow rate calculator 41 that receives the output of the differential pressure sensor 40 and calculates the flow rate, and a display section 42 that displays the flow rate calculated by the flow rate calculator 41. And a solenoid drive circuit 43 controlled by the flow rate calculation unit 41 to drive the solenoid 18. The flow rate calculation unit 41 generates a pulse by, for example, binarizing the output of the differential pressure sensor 40, counts the number of pulses per unit time, obtains a switching frequency of the direction in which the gas flowing through the nozzle 21 flows, This frequency is converted to a flow rate. Further, the fluidic flow meter of the present embodiment has a safety function when used as a gas meter,
For example, when the flow rate calculation unit 41 detects a flow rate equal to or more than a predetermined amount or when a predetermined flow rate is detected for a predetermined time or more, the solenoid driving circuit 43 is operated to operate the solenoid 18, and the valve 17 opens the opening 16. And shut off the gas. The flow rate calculation unit 41 is realized by, for example, a microcomputer.

【0019】次に、本実施例のフルイディック流量計の
作用について説明する。
Next, the operation of the fluidic flow meter of this embodiment will be described.

【0020】フルイディック流量計の入口部11から受
け入れられた気体は、第1の気体流路14、開口部1
6、第2の気体流路15、整流部材22を順に経て、ノ
ズル21に入る。
The gas received from the inlet 11 of the fluidic flow meter passes through the first gas passage 14 and the opening 1.
6, the gas enters the nozzle 21 through the second gas flow path 15 and the flow regulating member 22 in this order.

【0021】ノズル21を通過した気体は、噴流となっ
て噴出口より噴出される。噴出口より噴出された気体
は、コアンダ効果により一方の側壁に沿って流れる。こ
こでは、まず側壁23に沿って流れるものとする。側壁
23に沿って流れた気体は、更にフィードバック流路2
7を経て、ノズル21の噴出口側へ帰還され、一部は排
出口35および排出路31を経て出口部12より排出さ
れる。このとき、ノズル21より噴出された気体は、フ
ィードバック流路27を流れてきた気体によって方向が
変えられ、今度は他方の側壁24に沿って流れるように
なる。この気体は、更にフィードバック流路28を経
て、ノズル21の噴出口側へ帰還され、一部は排出口3
6および排出路32を経て出口部12より排出される。
すると、ノズル21より噴出された気体は、今度は、フ
ィードバック流路28を流れてきた気体によって方向が
変えられ、再び側壁23、フィードバック流路27に沿
って流れるようになる。以上の動作を繰り返すことによ
り、ノズル21を通過した気体は一対のフィードバック
流路27、28を交互に流れる。この気体の流れる方向
の切り替わりの周波数は流量と対応関係がある。ノズル
21を通過した気体の流れる方向の切り替わりの周波数
は、差圧センサ40の出力に基づいて流量演算部41に
よって求められる。流量演算部41は、求めた周波数よ
り流量を演算し、表示部42に表示する。また、流量演
算部41は、所定量以上の流量を検出した場合や所定の
流量を所定時間以上検出した場合等に、ソレノイド駆動
回路43を動作させてソレノイド18を動作させ、弁1
7によって開口部16を閉塞し、フルイディック流量計
の下流側への気体(ガス)の供給を停止する。
The gas that has passed through the nozzle 21 is jetted out of the jet port as a jet. The gas ejected from the ejection port flows along one side wall due to the Coanda effect. Here, it is assumed that the flow first flows along the side wall 23. The gas flowing along the side wall 23 is further fed into the feedback channel 2.
7, the liquid is returned to the ejection port side of the nozzle 21, and a part is discharged from the outlet section 12 through the discharge port 35 and the discharge path 31. At this time, the direction of the gas ejected from the nozzle 21 is changed by the gas flowing through the feedback channel 27, and the gas then flows along the other side wall 24. This gas is further returned to the ejection port side of the nozzle 21 through the feedback flow path 28, and a part thereof is discharged to the discharge port 3.
6 and is discharged from the outlet 12 through the discharge path 32.
Then, the direction of the gas ejected from the nozzle 21 is changed by the gas flowing through the feedback flow path 28, and flows again along the side wall 23 and the feedback flow path 27. By repeating the above operation, the gas that has passed through the nozzle 21 flows alternately through the pair of feedback channels 27 and 28. The switching frequency of this gas flow direction has a correspondence with the flow rate. The switching frequency of the direction of flow of the gas passing through the nozzle 21 is obtained by the flow rate calculation unit 41 based on the output of the differential pressure sensor 40. The flow rate calculation unit 41 calculates the flow rate from the determined frequency and displays the flow rate on the display unit 42. Further, when detecting a flow rate equal to or more than a predetermined amount or detecting a predetermined flow rate for a predetermined time or more, the flow rate calculation unit 41 operates the solenoid drive circuit 43 to operate the solenoid 18 and the valve 1.
The opening 16 is closed by 7 and the supply of gas to the downstream side of the fluidic flow meter is stopped.

【0022】なお、第1ターゲット25および第2ター
ゲット26は、ノズル21を通過した気体の流れる方向
の切り替えを安定に行わせる作用がある。
The first target 25 and the second target 26 have an effect of stably switching the flow direction of the gas passing through the nozzle 21.

【0023】ところで、本実施例では、ノズル21の中
心線51と出口部12の中心線52は一致していない
が、ノズル21の中心線51を境にして出口部12に近
い方の排出口36の断面積を、出口部12に遠い方の排
出口35の断面積よりも小さく形成することによって、
排出口35および排出路31を通って出口部12へ向か
う流路の抵抗と、排出口36および排出路32を通って
出口部12へ向かう流路の抵抗とを略等しくしている。
従って、一対のフィードバック流路27、28における
気体の流れ方が均等化され、大流量時においてもフルイ
ディック発振が安定し、正確な流量の計測が可能とな
る。
In this embodiment, the center line 51 of the nozzle 21 and the center line 52 of the outlet 12 do not coincide with each other, but the discharge port closer to the outlet 12 with the center line 51 of the nozzle 21 as a boundary. 36 is formed smaller than the cross-sectional area of the outlet 35 remote from the outlet 12,
The resistance of the flow path going to the outlet 12 through the discharge port 35 and the discharge path 31 is substantially equal to the resistance of the flow path going to the outlet 12 through the discharge port 36 and the discharge path 32.
Therefore, the flow of gas in the pair of feedback channels 27 and 28 is equalized, and even when the flow rate is large, fluidic oscillation is stabilized, and accurate flow rate measurement is possible.

【0024】図3は本発明の第2実施例のフルイディッ
ク流量計の構成を示す断面図である。この図に示すよう
に、本実施例は、第1実施例のフルイディック流量計に
おけるリターンガイド29に対して、排出口35、36
の他に、第2ターゲット26の反ノズル側の位置に、更
に排出口37を設けたものである。この排出口37は、
排出流路の抵抗がノズル21の中心線51の両側につい
て均等化されるように、ノズル21の中心線51を境に
して出口部12に近い方の部分の断面積を、出口部12
に遠い方の部分の断面積よりも小さく形成している。
FIG. 3 is a sectional view showing a configuration of a fluidic flow meter according to a second embodiment of the present invention. As shown in this figure, in the present embodiment, discharge ports 35 and 36 are provided for the return guide 29 in the fluidic flow meter of the first embodiment.
In addition, a discharge port 37 is further provided at a position opposite to the nozzle of the second target 26. This outlet 37 is
The cross-sectional area of the portion closer to the outlet portion 12 with respect to the center line 51 of the nozzle 21 is determined by the cross-sectional area of the outlet portion 12 so that the resistance of the discharge passage is equalized on both sides of the center line 51 of the nozzle 21.
Is formed to be smaller than the cross-sectional area of the portion farther away from.

【0025】このフルイディック流量計では、側壁23
に沿って流れる気体が排出口35および排出路31、あ
るいは排出口37を通って出口部12へ向かう排出流路
の抵抗と、側壁24に沿って流れる気体が排出口36お
よび排出路32、あるいは排出口37を通って出口部1
2へ向かう排出流路の抵抗とが略等しくなり、一対のフ
ィードバック流路27、28における気体の流れ方が均
等化される。
In this fluidic flow meter, the side wall 23
The gas flowing along the discharge port 35 and the discharge path 31 or the resistance of the discharge flow path toward the outlet 12 through the discharge port 37, and the gas flowing along the side wall 24 is discharged through the discharge port 36 and the discharge path 32, or Outlet 1 through outlet 37
The resistance of the discharge flow path toward the second flow path 2 becomes substantially equal, and the flow of gas in the pair of feedback flow paths 27 and 28 is equalized.

【0026】その他の構成、作用および効果は第1実施
例と同様である。
Other structures, operations and effects are the same as those of the first embodiment.

【0027】図4は本発明の第3実施例のフルイディッ
ク流量計の構成を示す断面図である。この図に示すよう
に、本実施例は、第2実施例のフルイディック流量計に
おいて、排出口35、36の断面積を等しくし、代わり
に、側壁24を側壁23よりも大きくして、排出口36
の近傍における側壁24とリターンガイド29との間隔
を、排出口35の近傍における側壁23とリターンガイ
ド29との間隔よりも小さくしたものである。これによ
り、排出口35および排出路31を通って出口部12へ
向かう流路の抵抗と、排出口36および排出路32を通
って出口部12へ向かう流路の抵抗とが略等しくなって
いる。
FIG. 4 is a sectional view showing the configuration of a fluidic flow meter according to a third embodiment of the present invention. As shown in this figure, this embodiment differs from the fluidic flow meter of the second embodiment in that the cross-sectional areas of the outlets 35 and 36 are made equal, and the side wall 24 is made larger than the side wall 23 instead. Exit 36
Is smaller than the distance between the side wall 23 and the return guide 29 near the discharge port 35. Thereby, the resistance of the flow path going to the outlet 12 through the discharge port 35 and the discharge path 31 is substantially equal to the resistance of the flow path going to the outlet 12 through the discharge port 36 and the discharge path 32. .

【0028】その他の構成、作用および効果は第2実施
例と同様である。
Other structures, operations and effects are the same as those of the second embodiment.

【0029】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば、排出流路の抵抗をノズル21の中心線51
の両側について均等化するために、出口部12に近い方
の排出路32の途中に絞りを設けても良い。
It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments.
In order to equalize both sides of the discharge passage, a throttle may be provided in the middle of the discharge passage 32 closer to the outlet portion 12.

【0030】また、差圧センサ40の代わりに、各導圧
孔33、34に接続された2つの圧力センサを設け、こ
の2つの圧力センサの出力から流量を演算するようにし
ても良い。
Instead of the differential pressure sensor 40, two pressure sensors connected to the pressure guiding holes 33 and 34 may be provided, and the flow rate may be calculated from the outputs of the two pressure sensors.

【0031】また、上記各実施例ではガス等の気体の流
量を計量するフルイディック流量計について説明した
が、本発明のフルイディック流量計は、気体のみならず
液体の流量を計量する流量計としても利用することがで
きる。
In each of the above embodiments, the fluidic flow meter for measuring the flow rate of a gas such as a gas has been described. Can also be used.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、素
子部から出口部までの排出流路が非対称なフルイディッ
ク流量計において、排出流路の抵抗をノズルの中心線の
両側について均等化したので、一対のフィードバック流
路における流体の流れ方が均等化され、特に大流量時に
おけるフルイディック発振が安定化され、正確な流量計
測を行うことが可能となるという効果がある。
As described above, according to the present invention, in a fluidic flow meter in which the discharge flow path from the element section to the outlet section is asymmetric, the resistance of the discharge flow path is equalized on both sides of the center line of the nozzle. Therefore, the flow of the fluid in the pair of feedback flow paths is equalized, and in particular, there is an effect that fluidic oscillation at a large flow rate is stabilized and accurate flow rate measurement can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例に係るフルイディック流量
計の構成を表す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a fluidic flow meter according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1実施例に係るフルイディック流量
計の回路部分の構成を表すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a circuit portion of the fluidic flow meter according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2実施例に係るフルイディック流量
計の構成を表す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view illustrating a configuration of a fluidic flow meter according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3実施例に係るフルイディック流量
計の構成を表す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view illustrating a configuration of a fluidic flow meter according to a third embodiment of the present invention.

【図5】ガスメータとして利用されるフルイディック流
量計の一例の構成を表す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view illustrating a configuration of an example of a fluidic flow meter used as a gas meter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 入口部 12 出口部 21 ノズル 23、24 側壁 27、28 フィードバック流路 29 リターンガイド 31、32 排出路 33、34 導圧孔 35、36 排出口 40 差圧センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Inlet part 12 Outlet part 21 Nozzle 23, 24 Side wall 27, 28 Feedback flow path 29 Return guide 31, 32 Discharge path 33, 34 Pressure guiding hole 35, 36 Discharge port 40 Differential pressure sensor

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 流体を受け入れる入口部と、 この入口部から受け入れた流体を通過させて噴流を発生
させるノズルと、 このノズルの下流側に設けられ、拡大された流路を形成
する一対の側壁と、 この一対の側壁の外側に設けられ、前記ノズルを通過し
た流体を各側壁の外側に沿って前記ノズルの噴出口側へ
帰還させる一対のフィードバック流路を形成するリター
ンガイドと、 流体を排出する出口部であって、その中心線が前記ノズ
ルの中心線と一致しない位置に配置された出口部と、 前記ノズルを通過し各側壁に沿って流れる流体を前記出
口部へ導く排出流路であって、前記ノズルを通過し各側
壁に沿って流れる流体を前記リターンガイドの外側に排
出する排出口を含み、この排出口は、排出流路の抵抗が
前記ノズルの中心線の両側について均等化されるよう
に、前記ノズルの中心線を境にして前記出口部に近い方
が前記出口部に遠い方よりも断面積が小さく形成された
排出流路と、 前記ノズルを通過した流体の流れる方向の切り替わりを
検出する検出手段とを具備することを特徴とするフルイ
ディック流量計。
1. An inlet for receiving a fluid, a nozzle for generating a jet by passing the fluid received from the inlet, and a pair of side walls provided downstream of the nozzle and forming an enlarged flow path And a return guide provided outside the pair of side walls to form a pair of feedback channels for returning the fluid passing through the nozzle to the nozzle outlet side along the outside of each side wall, and discharging the fluid. An outlet part, the center line of which is located at a position that does not coincide with the center line of the nozzle, and a discharge passage that guides fluid flowing along each side wall through the nozzle to the outlet part. There, each side passing through the nozzle
Drain fluid flowing along the wall to the outside of the return guide
Outlet, where the resistance of the outlet flow path
Equalized on both sides of the center line of the nozzle
Closer to the outlet with the center line of the nozzle as the boundary
A discharge passage having a smaller cross-sectional area than that far from the outlet, and a detecting means for detecting a change in a direction of flow of the fluid passing through the nozzle. Fluidic flow meter.
【請求項2】 流体を受け入れる入口部と、 この入口部から受け入れた流体を通過させて噴流を発生
させるノズルと、 このノズルの下流側に設けられ、拡大された流路を形成
する一対の側壁と、 この一対の側壁の外側に設けられ、前記ノズルを通過し
た流体を各側壁の外側に沿って前記ノズルの噴出口側へ
帰還させる一対のフィードバック流路を形成するリター
ンガイドと、 流体を排出する出口部であって、その中心線が前記ノズ
ルの中心線と一致しない位置に配置された出口部と、 前記ノズルを通過し各側壁に沿って流れる流体を前記出
口部へ導く排出流路であって、前記ノズルを通過し各側
壁に沿って流れる流体を前記リターンガイドの外側に排
出する排出口を含み、排出流路の抵抗が前記ノズルの中
心線の両側について均等化されるように、前記排出口の
近傍における前記側壁と前記リターンガ イドとの間隔
が、前記ノズルの中心線を境にして、前記出口部に近い
方が前記出口部に遠い方よりも小さく形成された排出流
路と、 前記ノズルを通過した流体の流れる方向の切り替わりを
検出する検出手段とを具備することを特徴とするフルイ
ディック流量計。
2. An inlet for receiving a fluid, a nozzle for passing a fluid received from the inlet to generate a jet, and a pair of side walls provided downstream of the nozzle and forming an enlarged flow path And a return guide provided outside the pair of side walls to form a pair of feedback channels for returning the fluid passing through the nozzle to the nozzle outlet side along the outside of each side wall, and discharging the fluid. An outlet part, the center line of which is located at a position that does not coincide with the center line of the nozzle, and a discharge passage that guides fluid flowing along each side wall through the nozzle to the outlet part. There, each side passing through the nozzle
Drain fluid flowing along the wall to the outside of the return guide
Outlet, and the resistance of the discharge passage is within the nozzle
So that it is equalized on both sides of the conductor,
Distance between the Ritanga id and the side wall in the vicinity
But close to the outlet with the center line of the nozzle as a boundary
A fluid flow meter, comprising: a discharge channel formed to be smaller than a portion farther from the outlet portion; and detection means for detecting a change in a direction in which a fluid flows through the nozzle.
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