JP3300082B2

JP3300082B2 - 薬液加熱装置

Info

Publication number: JP3300082B2
Application number: JP35501492A
Authority: JP
Inventors: 皖一門谷
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1992-12-17
Filing date: 1992-12-17
Publication date: 2002-07-08
Anticipated expiration: 2017-07-08
Also published as: JPH06188066A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体分野やクリーンさ
の要求されるバイオ等の分野において発火性を有する薬
液を高温に加熱する場合に適用するための薬液加熱装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造分野やバイオ技術の分野で
使用する薬液を加熱する場合、従来から薬液槽内にヒー
タを浸漬させて加熱する方法（実開平２−５２４３７
号）、あるいは薬液容器を加熱光源からの光を反射する
表面を有する構造とし、この内部に加熱光源を配置して
加熱する方法（特開平２−５２４３７号）等が知られて
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の方法
では、加熱する薬液が純水等のように発火性がなければ
問題はないが、半導体や液晶製造工程に用いられる剥離
液などは発火性があり、このため、薬液容器の破損等に
起因して薬液が発火し、事故につながる危険性があっ
た。

【０００４】本発明の目的は、発火性のある薬液を安全
かつ効率的に加熱することができる薬液加熱装置を提供
することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る薬液加熱装置は、内面が反射鏡面とし
て形成された密閉空間容器を設け、この容器内に加熱源
としての光源ランプと、被加熱流体である発火性の薬液
を通流させる石英ガラス管を距離を隔てて設置したもの
である。この場合において、前記加熱光源ランプの設置
位置を石英ガラス管より常に上方にするように構成し、
また、前記密閉空間容器の外側を断熱材で覆うように構
成することができる。更に、内面が反射鏡面として形成
された密閉空間容器の断面形状を回転楕円反射体または
ダブルパラボラ反射体とするとともに、加熱光源ランプ
および石英ガラス管を回転楕円反射体またはダブルパラ
ボラ反射体のそれぞれの焦点に設置するように構成する
ことが望ましい。

【０００６】

【作用】上記構成によれば、加熱源である光源ランプと
発火性のある被加熱流体（薬液）を流す石英ガラス管と
が距離をおいて密閉空間容器内に設置されているので、
加熱光源ランプからの輻射および反射エネルギが石英ガ
ラス管に効率良く吸収される。しかも密閉空間容器で両
者が距離を隔てて設置されているので、薬液流通管が破
損しても直接的な着火を防止できるようになっている。
このとき、加熱光源ランプが常に石英ガラス管より上部
に位置するように設定していると安全性をより向上させ
ることができる。更に、密閉空間容器の内面が反射鏡面
としつつ、これの断面形状を断面が楕円で筒状の楕円反
射体またはダブルパラボラ反射体とし、加熱光源ランプ
および石英ガラス管を楕円反射体またはダブルパラボラ
反射体のそれぞれの焦点に設置することにより、反射光
は確実に他方の焦点にある石英ガラス管に吸収され、こ
れによって加熱効率が大幅に向上するのである。

【０００７】

【実施例】以下に、本発明に係る薬液加熱装置の具体的
な実施例について図面を参照して詳細に説明する。

【０００８】図１は実施例に係る薬液加熱装置の全体構
成を示す部分断面斜視図である。この図に示すように、
実施例の薬液加熱装置は、ハウジングケース１０の内部
に２連の薬液加熱部１２、１２を備えており、各薬液加
熱部１２は筒状に形成されている。この薬液加熱部１２
は、筒軸を水平に設定して横置き配置されるとともに、
前後両端面がホルダプレート１４によって閉塞された密
閉空間容器１６を具備している。この密閉空間容器１６
の内面は反射鏡面として形成され、後述する加熱光源の
光を反射するようになっている。この実施例では、密閉
空間容器１６の断面形状は、図２（１）に示しているよ
うに、上半部を放物面鏡１６Ｕとして形成し、下半部を
垂直長軸で対象放物面を形成してなるＣＰＣ１６Ｄとし
て形成したいわゆるダブルパラボラミラーとして構成さ
れている。

【０００９】ところで、このような密閉空間容器１６の
内部には、容器筒軸線に沿って石英ガラス管からなる薬
液流通管１８と加熱光源を形成するハロゲンランプ２０
がホルダプレート１４に端部を支持され、距離を隔てて
取り付けられている。ハロゲンランプ２０からの加熱光
は直接薬液流通管１８を照射するとともに、反射鏡面に
よって反射された反射光が照射されて流通管１８を加熱
するようになっている。加熱効率を高めるため、この実
施例では、前記薬液流通管１８は密閉空間容器１６の下
部ＣＰＣ１６Ｄの焦点部に設置し、ハロゲンランプ２０
は上部放物面鏡１６Ｕの焦点部に位置するように取り付
けられている。したがって、一方の焦点に配置されたハ
ロゲンランプ２０からの加熱光は、密閉空間容器１６の
鏡面によって反射され、他方の焦点に設置された薬液流
通管１８に集光され、効率的に放射エネルギを吸収させ
ることができるのである。

【００１０】密閉空間容器１６の内部に配置された薬液
流通管１８に対して薬液を供給する供給管２２がホルダ
プレート１４を介して接続され、他端側の流出管２４か
ら加熱状態で流出されるものとなっている。供給管２２
はハウジングケース１０の内部で分岐されて並列された
各密閉空間容器１６に同時に供給し、また流出管２４は
合流管としてケース外に引出されている。ところで、こ
の加熱装置により加熱される薬液としては、半導体や液
晶製造工程における剥離薬液を対象としており、これは
例えばジメチルスルホキシド７０％とモノエタノールア
ミン３０％の混合薬液、あるいはジメチルスルホキシド
３０％とモノエタノールアミン７０％の混合薬液を対象
とし、これを供給管２２から加熱装置に供給するように
している。

【００１１】上述した密閉空間容器１６の外表面には断
熱材２６が取り付けられて全体を覆っており、内部の熱
が拡散放熱されないように構成している。なお、図１に
おいて、２８はハロゲンランプ２０の電源供給部であ
り、３０はケース１０の床面に設置した薬液漏れセンサ
である。

【００１２】このように構成された薬液加熱装置の作用
は次のようになる。密閉空間容器１６の放物面鏡（上半
分）の焦点にハロゲンランプ２０が設置されているた
め、図２（１）に示すように、ハロゲンランプ２０から
放射された光は全て放物面鏡１６Ｕで反射されて放物面
鏡１６Ｕの出口（図２（１）のＡ−Ａ’面）より並行光
線となって下方に出る。放物面鏡１６Ｕより出た光は、
全て並行光線のままＣＰＣ１６Ｄに入る。ＣＰＣ１６Ｄ
に入った光はＣＰＣ１６Ｄの鏡面で反射されて、ＣＰＣ
１６Ｄの焦点に設置された石英ガラス管からなる薬液流
通管１８に集光し、これを透過して内部の薬液に入り、
ここで吸収されて内部薬液を加熱するのに用いられる。
この時ハロゲンランプ２０が必ず上方に位置するように
全体を設置する。このような構成により、下方の石英ガ
ラス管製の流通管１８が破損しても、薬液は下方に向っ
て流れ、上方にあるハロゲンランプ２０に直接触れる可
能性がないため、発火の危険性はなく安全である。

【００１３】上記実施例によれば、特に、ハロゲンラン
プ２０による間接加熱方式のため、ハロゲンランプ２０
の破損による液の汚染がない。また、ハロゲンランプ２
０の交換も容易である。しかも発火性のある薬液を小
型、コンパクトの装置で高温度まで加熱することができ
る。

【００１４】図２（２）は密閉空間容器１６の変形例で
あり、これは内面反射鏡の断面が楕円形状の筒状楕円反
射鏡を構成するようにした例である。この場合にも長軸
を垂直配置し、上部焦点にハロゲンランプ２０を、下部
の焦点に薬液流通管１８を設置したものである。これに
よってもハロゲンランプ２０からの反射が薬液流通管１
８に集光され、効率的な薬液加熱が行われる。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、内面が
反射鏡面として形成された密閉空間容器を設け、この容
器内に加熱源としての光源ランプと、被加熱流体である
発火性の薬液を流通させる石英ガラス管を距離を隔てて
設置したので、発火性のある薬液を安全に所定温度まで
加熱することができ、かつ薬液は専用の流通管を通した
状態で加熱するため、クリーンに加熱することができ
る。そして、加熱光源ランプの設置位置を石英ガラス管
より常に上方にするように構成することによって安全な
加熱を行い、また、密閉空間容器の外側を断熱材で覆う
ように構成するとともに、内面が反射鏡面として形成さ
れた筒状の密閉空間容器の断面形状を楕円反射体または
ダブルパラボラ反射体としつつ、加熱光源ランプおよび
石英ガラス管を楕円反射体またはダブルパラボラ反射体
のそれぞれの焦点に設置する構成としたため、発火性の
ある薬液を高効率で加熱することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る薬液加熱装置の全体構成を示す部
分断面斜視図である。

【図２】薬液加熱部の断面の説明図である。

【符号の説明】

１０ハウジングケース１２薬液加熱部１４ホルダプレート１６密閉空間容器１６Ｕ放物面鏡１６ＤＣＰＣ１８薬液流通管２０ハロゲンランプ２２供給管２４流出管２６断熱材２８電源供給部３０薬液漏れセンサ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】内面が反射鏡面として形成された密閉空
間容器を設け、この容器内に、光源ランプと被加熱流体を通流させる石
英ガラス管とを距離を隔てて設置し、光源ランプの設置位置を石英ガラス管よりも上方にした
ことを特徴とする薬液加熱装置。
【請求項２】請求項１記載の薬液加熱装置において、前記被加熱流体が、発火性の薬液であることを特徴とす
る薬液加熱装置。
【請求項３】内面が反射鏡面として形成され、断面が
楕円形状の筒状密閉空間容器を備え、光源ランプ及び被加熱流体を通流させる石英ガラス管
を、筒状密閉空間容器の楕円の一側及び他側の焦点位置
に、それぞれ筒状容器の長手方向に沿って設置したこと
を特徴とする薬液加熱装置。
【請求項４】内面が反射鏡面として形成され、断面の
一端側部が放物面形状を、他端側部がダブルパラボラ面
形状をそれぞれ有する筒状密閉空間容器を備え、光源ランプ及び被加熱流体を通流させる石英ガラス管
を、筒状密閉空間容器の一端側部の放物面の焦点位置、
及び他端側部のダブルパラボラ面の焦点位置に、それぞ
れ筒状容器の長手方向に沿って設置したことを特徴とす
る薬液加熱装置。