JP3305151B2 - Image display device - Google Patents
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- JP3305151B2 JP3305151B2 JP05208795A JP5208795A JP3305151B2 JP 3305151 B2 JP3305151 B2 JP 3305151B2 JP 05208795 A JP05208795 A JP 05208795A JP 5208795 A JP5208795 A JP 5208795A JP 3305151 B2 JP3305151 B2 JP 3305151B2
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- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、画像表示装置に関し、
特に冷陰極電子源を用いた平面型の画像表示装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image display device,
In particular, the present invention relates to a flat type image display device using a cold cathode electron source.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、冷陰極電子源を用いた平面型の画
像形成装置として、図9に断面を示すような装置が知ら
れている(特開平2−299136号公報)。2. Description of the Related Art Conventionally, as a flat type image forming apparatus using a cold cathode electron source, an apparatus having a cross section shown in FIG. 9 has been known (Japanese Patent Laid-Open No. 2-299136).
【0003】この画像形成装置は、表面伝導形電子放出
素子と呼ばれる冷陰極電子源を用いたもので、基板21
上に電子放出素子25(電極22、23と該電極間に形
成された電子放出部24からなる)が作製され、該基板
21と対向して配置されるフェースプレート30はガラ
ス板27の内面に蛍光面28が形成されている。蛍光面
28はカラー画像形成装置では通常図8に示すようなブ
ラックストライプなどと呼ばれる黒色導伝材31と蛍光
体32がガラス板27上にパターニングされた後、ブラ
ックストライプ31と蛍光体32の両者を覆うようにメ
タルバック29が形成されて構成される。ブラックスト
ライプが設けられる目的は、カラー蛍光面で必要となる
三原色蛍光体の、各蛍光体32間の塗り分け部を黒くす
ることで混色等を目立たなくすることと、蛍光面28で
外光を反射することにより生じるコントラストの低下を
防ぐことなどである。[0003] This image forming apparatus uses a cold cathode electron source called a surface conduction electron-emitting device.
An electron-emitting device 25 (consisting of electrodes 22 and 23 and an electron-emitting portion 24 formed between the electrodes) is formed thereon, and a face plate 30 arranged opposite to the substrate 21 is provided on an inner surface of a glass plate 27. A phosphor screen 28 is formed. In a color image forming apparatus, after a black conductive material 31 and a fluorescent material 32 called a black stripe or the like as shown in FIG. 8 are patterned on a glass plate 27, both the black stripe 31 and the fluorescent material 32 are formed. Metal back 29 is formed so as to cover. The purpose of providing the black stripe is to make the color separation etc. inconspicuous by making the painted portions between the phosphors 32 of the three primary color phosphors necessary for the color phosphor screen, and to make the phosphor screen 28 prevent external light. This is to prevent a decrease in contrast caused by reflection.
【0004】またメタルバック29の目的は、比抵抗が
一般に1010〜1012Ω・cmと高い蛍光体32に電荷
(電子)が溜まり電位が低下することを防ぎ、電子ビー
ム加速用の電圧を印加するための電極として作用するこ
と、蛍光体の発光のうち装置内面側への光を鏡面反射す
ることにより輝度を向上させること、負イオンの衝突に
よるダメージからの蛍光体32の保護等があり、上記目
的に適した材料として通常Alが用いられる。メタルバ
ック29は、ブラックストライプ31と蛍光体32のパ
ターン形成後、フィルミングと呼ばれる処理(有機膜を
ブラックストライプ31と蛍光体32上に塗布する)の
後Alの真空装着で形成され、その後有機フィルムの焼
成除去によって完成するが、メタルバック処理後の蛍光
面28、特にメタルバック29の強度は指でこするとは
がれる程度に弱い。The purpose of the metal back 29 is to prevent charges (electrons) from accumulating in the phosphor 32, whose specific resistance is generally as high as 10 10 to 10 12 Ω · cm, to reduce the potential, and to reduce the voltage for accelerating the electron beam. It acts as an electrode for applying the voltage, improves the brightness by mirror-reflecting light emitted from the phosphor toward the inner surface of the device, and protects the phosphor 32 from damage due to negative ion collision. Al is usually used as a material suitable for the above purpose. The metal back 29 is formed by vacuum mounting of Al after a process called filming (coating an organic film on the black stripe 31 and the phosphor 32) after forming the pattern of the black stripe 31 and the phosphor 32. Although the film is completed by baking and removing the film, the strength of the phosphor screen 28, particularly the metal back 29 after the metal back treatment is weak enough to peel off with a finger.
【0005】また、電子放出素子25が形成された基板
21とフェースプレート30を大気から受ける圧力に対
してほぼ一定の間隔に保つために、耐大気圧スペーサー
26が複数個配置されている。In order to keep the substrate 21 on which the electron-emitting devices 25 are formed and the face plate 30 at a substantially constant interval with respect to the pressure from the atmosphere, a plurality of atmospheric pressure-resistant spacers 26 are arranged.
【0006】ここで電子放出素子25として用いた表面
伝導形電子放出素子は、熱電子源に対して冷陰極電子源
と呼ばれる電子源の一つである。Here, the surface conduction electron-emitting device used as the electron-emitting device 25 is one of electron sources called cold cathode electron sources with respect to thermionic electron sources.
【0007】冷陰極電子源には電界放出型(以下、FE
型と略す)、金属/絶縁層/金属型(以下、MIM型と
略す)や表面伝導形電子放出素子等がある。A field emission type (hereinafter referred to as FE) is used as a cold cathode electron source.
Type), metal / insulating layer / metal type (hereinafter abbreviated as MIM type), surface conduction electron-emitting devices, and the like.
【0008】FE型の例としては、W.P.Dyke
& W.W.Dolan,“Field emissi
on”,Advance in Electron P
hysics,8,89(1956)やC.A.Spi
ndt,“Physicalproperties o
f thin−film field emissio
n cathodes with molybdenu
m cones”,J.Appl.Phys.,47,
5248(1976)等が知られている。As an example of the FE type, W. P. Dyke
& W. W. Dolan, "Field emissi
on ", Advance in Electron P
physics, 8, 89 (1956) and C.I. A. Spi
ndt, "Physicalproperties o
f thin-film field emissio
n cathodes with mollybdenu
m cones ", J. Appl. Phys., 47,
5248 (1976) and the like are known.
【0009】MIM型の例としては、C.A.Mea
d,“operation of tunnel−em
ission devices”,J.Appl.Ph
ys.,32,646(1961)等が知られている。Examples of the MIM type include C.I. A. Mea
d, “operation of tunnel-em
issue devices ", J. Appl. Ph.
ys. , 32, 646 (1961).
【0010】表面伝導形電子放出素子の例としては、
M.I.Elinsin,RadioEng.Elec
tron Phys.,10,1290,(1965)
等がある。Examples of the surface conduction electron-emitting device include:
M. I. Elinsin, RadioEng. Elec
Tron Phys. , 10, 1290, (1965)
Etc.
【0011】表面伝導形電子放出素子は基板上に形成さ
れた小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことによ
り、電子放出が生ずる現象を利用するものである。The surface conduction electron-emitting device utilizes the phenomenon that electron emission occurs when a current flows through a small-area thin film formed on a substrate in parallel with the film surface.
【0012】この表面伝導形電子放出素子としては、前
記エリンソン等によるSnO2 薄膜を用いたもの、Au
薄膜によるもの[G.Dittmer:“Thin S
olid Films”,9,317(1972)]、
In2 O3 /SnO2 薄膜によるもの[M.Hartw
ell and C.G.Fonstad:“IEEE
Trans.ED Conf.”,519(197
5)]、カーボン薄膜によるもの[荒木久 他:真空、
第26巻、第1号、22頁(1983)]等が報告され
ている。ほかにも本出願人が先に提案した、微粒子を用
いた表面伝導形電子放出素子の例がある(USP506
6883号明細書)。これら表面伝導形電子放出素子
は、素子構造が簡単である、電子放出の応答速度が速
い、等の特長を持っている。As the surface conduction electron-emitting device, a device using a SnO 2 thin film by Erinson et al., Au
By a thin film [G. Dittmer: "Thin S
Solid Films ", 9, 317 (1972)],
In 2 O 3 / SnO 2 by thin film [M. Hartw
ell and C.I. G. FIG. Fonstad: "IEEE
Trans. ED Conf. ", 519 (197
5)], using a carbon thin film [Hisashi Araki et al .: Vacuum,
26, No. 1, p. 22 (1983)]. There is another example of a surface conduction electron-emitting device using fine particles proposed by the present applicant (USP 506).
No. 6883). These surface conduction electron-emitting devices have features such as a simple device structure and a high electron emission response speed.
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例において、耐大気圧スペーサー26は、フェースプ
レート30の内面の蛍光体32の無い部分(ブラックス
トライプ31)上などに直接当接して配置されている
が、少しでも該スペーサーの位置合わせずれや変形が生
じたりすると、フェースプレート30内面に形成された
蛍光面28、特にメタルバック29面を傷つけこれらの
剥離を生じたり、耐圧不良を生じたりする問題があっ
た。However, in the above conventional example, the anti-atmospheric pressure spacer 26 is disposed in direct contact with a portion of the inner surface of the face plate 30 where the phosphor 32 is not provided (black stripe 31). However, even if the spacer is misaligned or deformed even a little, the phosphor screen 28 formed on the inner surface of the face plate 30, particularly the metal back 29, is damaged, and these spacers are separated or a pressure resistance failure occurs. There was a problem.
【0014】またスペーサー26とフェースプレート3
0との電気的な接続が不十分であり、電場が局所的に変
化することにより、電子放出素子から放出された電子ビ
ームの所望の軌道を乱すような影響を及ぼすことがあっ
た。The spacer 26 and the face plate 3
In some cases, the electrical connection with zero is insufficient, and the electric field changes locally, which may disturb the desired trajectory of the electron beam emitted from the electron-emitting device.
【0015】さらに、スペーサー26、フェースプレー
ト30間の電気的な接続が不十分な上に、スペーサー2
6の位置ずれ等により接続が不安定となることは、特に
フェースプレートには電子加速用の高電圧が印加されて
いるため、予期せぬ放電を誘発する原因となった。Further, the electrical connection between the spacer 26 and the face plate 30 is insufficient, and the spacer 2
The instability of connection due to a displacement or the like of 6 caused an unexpected discharge, particularly because a high voltage for electron acceleration was applied to the face plate.
【0016】以上のように、スペーサー、フェースプレ
ート間の電気的接続の不十分さ、不安定さのいずれも、
安定して信頼性の高い画像表示装置を得ることを困難と
する原因であり、問題であった。As described above, both the insufficient and unstable electrical connection between the spacer and the face plate are
This is a cause and problem of making it difficult to obtain a stable and reliable image display device.
【0017】本発明は、耐大気圧スペーサーがフェース
プレート内面の蛍光面、特にメタルバックを損傷しない
とともに、該スペーサーとフェースプレートとの電気的
接続を安定化させることにより、上記従来の問題点を解
決し、長期的に安定した画像の得られる画像表示装置を
提供することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned conventional problems by preventing the atmospheric pressure-resistant spacer from damaging the phosphor screen on the inner surface of the face plate, particularly the metal back, and stabilizing the electrical connection between the spacer and the face plate. It is an object of the present invention to provide an image display device that can solve the problem and obtain a stable image over a long period.
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
すべく成された本発明は、電子放出素子が配置された基
板と、該基板と対向して配置され、該電子放出素子から
放出された電子の照射を受け画像を形成する蛍光体と該
蛍光体に照射される電子の加速用電極とをその内面に有
するフェースプレートと、大気圧に対して該基板と該フ
ェースプレートとの間隔を保持するためのスペーサーと
を少なくとも有する画像表示装置において、上記スペー
サーがフェースプレート内面において、蛍光体の無い部
位に固定手段を介して固定されているとともに、該スペ
ーサーが、上記加速用電極と電気的導通手段にて接続さ
れて、形成されていることを特徴とする画像表示装置に
ある。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate on which an electron-emitting device is disposed, a substrate disposed opposite to the substrate, and an electron-emitting device. A face plate having on its inner surface a phosphor for forming an image upon irradiation of the electrons and an electrode for accelerating electrons to be irradiated on the phosphor, and a distance between the substrate and the face plate with respect to atmospheric pressure. In the image display device having at least a spacer for holding, the spacer is fixed to a portion where no phosphor is present on the inner surface of the face plate via fixing means , and the spacer is electrically connected to the acceleration electrode. Connected by conducting means
It is in, is that it is formed in the image display apparatus according to claim.
【0019】本発明によれば、スペーサーとフェースプ
レート内面の蛍光面との当接部において、位置ずれが起
きず蛍光面やメタルバックが損傷を受けないので、画像
表示面が損傷したり、メタルバックのはがれによる放電
等が発生しにくくなる。According to the present invention, at the contact portion between the spacer and the phosphor screen on the inner surface of the face plate, no displacement occurs and the phosphor screen and the metal back are not damaged. Discharge or the like due to back peeling is less likely to occur.
【0020】また、スペーサーとフェースプレート内面
の当接部にて、電場が滑らかに変化し、その構造上、当
接部がずれたりすることが無いので、電気的連続性が不
安定になることも解消されることにより、電子ビームの
軌道が安定し、長期にわたり安定した画像が得られると
ともに、放電による画像の乱れや装置の劣化を抑制し、
信頼性の高い画像表示装置となる。In addition, the electric field changes smoothly at the contact portion between the spacer and the inner surface of the face plate, and the contact portion does not shift due to its structure, so that the electrical continuity becomes unstable. Is also eliminated, the orbit of the electron beam is stabilized, and a stable image can be obtained for a long period of time.
An image display device with high reliability is obtained.
【0021】[0021]
【実施例】以下実施例を用いて本発明を説明する。The present invention will be described below with reference to examples.
【0022】[実施例1]本実施例は、図1に示すよう
な画像表示装置を作製したものである。[Embodiment 1] In this embodiment, an image display device as shown in FIG. 1 is manufactured.
【0023】同図中、1はガラス基板、2は素子電極素
子部4と素子電極配線部3からなる素子電極、5は電子
放出部である。また、10はガラス基板9の内面に蛍光
体13,ブラックストライプ15,メタルバック16か
らなる蛍光面8が形成されているフェースプレート、7
はスペーサーである。In FIG. 1, 1 is a glass substrate, 2 is an element electrode composed of an element electrode element section 4 and an element electrode wiring section 3, and 5 is an electron emission section. Reference numeral 10 denotes a face plate in which a fluorescent screen 8 composed of a phosphor 13, a black stripe 15, and a metal back 16 is formed on the inner surface of a glass substrate 9.
Is a spacer.
【0024】本実施例における電子放出素子部分の拡大
図を図2に示す。図2において、14は一対の素子電極
素子部4間に形成された電子放出部形成用薄膜である。FIG. 2 is an enlarged view of the electron-emitting device in this embodiment. In FIG. 2, reference numeral 14 denotes a thin film for forming an electron-emitting portion formed between a pair of device electrode device portions 4.
【0025】また、フェースプレート10内面の平面図
を図3に示す。図3において、スペーサー接合部12は
赤(R)、緑(G)、青(B)の蛍光体13の間に形成
されたブラックストライプ15と重なるようにストライ
プ状に形成されている。FIG. 3 is a plan view of the inner surface of the face plate 10. In FIG. 3, the spacer junction 12 is formed in a stripe shape so as to overlap with the black stripe 15 formed between the red (R), green (G), and blue (B) phosphors 13.
【0026】次に、本装置の作製法を説明する。Next, a method of manufacturing the present apparatus will be described.
【0027】(1)ガラス基板1を有機溶剤により充分
に洗浄後、該基板1面上に、厚さ1000ÅのNiから
なる素子電極2を形成した(図1及び図2参照)。この
時、配線部3はフェースプレート側の蛍光体ストライプ
と直交する方向(図中X方向)に沿って複数本形成し、
素子部4は該複数の配線部3のうち隣り合う一対の配線
部3のそれぞれに電気的に接続され、かつ3μmの間隔
(図2中L1で示す)をもって対向するよう作製し、ま
た配線部3に沿った方向(X方向)に複数個作製した。(1) After the glass substrate 1 was sufficiently washed with an organic solvent, a device electrode 2 made of Ni having a thickness of 1000 ° was formed on the surface of the substrate 1 (see FIGS. 1 and 2). At this time, a plurality of wiring portions 3 are formed along a direction (X direction in the drawing) orthogonal to the phosphor stripe on the face plate side.
The element section 4 is formed so as to be electrically connected to each of a pair of adjacent wiring sections 3 among the plurality of wiring sections 3 and to face each other at an interval of 3 μm (indicated by L1 in FIG. 2). A plurality of samples were produced in the direction (X direction) along No. 3.
【0028】(2)有機パラジウム(奥野製薬(株)
製、ccp−4230)含有溶液を塗布した後、300
℃で10分間の加熱処理をして、酸化パラジウム(Pd
O)微粒子からなる微粒子膜を形成し、エッチング等で
パターニング処理を施し、各素子電極素子部4間に電子
放出部形成用薄膜14を設けた(図2参照)。ここで電
子放出部形成用薄膜14は、その幅(素子の幅)Wを3
00μmとし、素子電極素子部4間のほぼ中央部に配置
した。また、この電子放出部形成用薄膜14の膜厚は1
00Å、シート抵抗値は5×104 Ω/□であった。な
おここで述べる微粒子膜とは、複数の微粒子が集合した
膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散配
置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、あるい
は、重なり合った状態(島状も含む)の膜をさし、その
粒径とは、前記状態で粒子形状が認識可能な微粒子につ
いての径をいう。(2) Organic palladium (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.)
After applying a solution containing ccp-4230), 300
C. for 10 minutes to give palladium oxide (Pd
O) A fine particle film made of fine particles was formed and subjected to patterning by etching or the like, and a thin film 14 for forming an electron-emitting portion was provided between each element electrode element portion 4 (see FIG. 2). Here, the width (width of the element) W of the electron-emitting-portion-forming thin film 14 is 3
The thickness was set to approximately 00 μm, and it was arranged at a substantially central portion between the device electrodes 4. The thickness of the electron-emitting-portion-forming thin film 14 is 1
00 °, and the sheet resistance was 5 × 10 4 Ω / □. Note that the fine particle film described here is a film in which a plurality of fine particles are aggregated, and has a fine structure not only in a state in which the fine particles are individually dispersed and arranged, but also in a state in which the fine particles are adjacent to each other or overlapped (island shape) ), And the particle size refers to the diameter of the fine particles whose particle shape can be recognized in the above state.
【0029】(3)次に素子電極素子部4間に電圧を印
加し、電子放出部形成用薄膜14を通電処理(フォーミ
ング処理と呼ぶ)することにより、電子放出部5を素子
電極素子部4間に作製し電子放出素子を完成した。(3) Next, a voltage is applied between the device electrode element portions 4 and the electron emission portion forming thin film 14 is subjected to an energizing process (referred to as a forming process), so that the electron emission portion 5 is formed in the device electrode device portion 4 An electron-emitting device was completed in between.
【0030】(4)次にフェースプレート10の作製法
について述べる。(4) Next, a method of manufacturing the face plate 10 will be described.
【0031】ガラス基板9を弗酸等にてよく洗浄したあ
と、ホトリソグラフィーによりブラックストライプ15
(図3参照)を形成する。ブラックストライプ15の材
料は黒鉛を主成分とした。その後、三原色蛍光体13を
一色ずつレジストと混ぜスラリー状にして塗布し、所定
の位置に現像、定着させることを繰り返すというCRT
で通常用いられるスラリー法にてカラー蛍光層(蛍光体
13とブラックストライプ15とを合わせてこう呼ぶこ
ととする)を作製した。蛍光体13の厚さは20〜30
μmでムラやはがれのない良好な塗布状態が得られた。
尚、ブラックストライプ,蛍光体とも印刷でも作製で
き、その際、ブラックストライプの材料はガラス成分
(黒色のもの)でも良い。After the glass substrate 9 is thoroughly washed with hydrofluoric acid or the like, the black stripes 15 are formed by photolithography.
(See FIG. 3). The material of the black stripe 15 was mainly composed of graphite. Thereafter, the CRT is repeated, in which the three primary color phosphors 13 are mixed with a resist one by one and applied in a slurry form, and then developed and fixed at a predetermined position.
A color phosphor layer (the phosphor 13 and the black stripe 15 are collectively referred to as a combination) was produced by a slurry method generally used in (1). The thickness of the phosphor 13 is 20 to 30
A good coating state without unevenness or peeling was obtained at μm.
Note that both the black stripe and the phosphor can be produced by printing, and in this case, the material of the black stripe may be a glass component (black).
【0032】(5)次に、フィルミングと呼ばれる、カ
ラー蛍光層表面の平滑化処理を行った後、スペーサー接
合部12のブラックストライプ15をメタルマスクで覆
い、真空蒸着によりAlをほぼ2000Åの厚さでカラ
ー蛍光層の内面側に形成し、メタルマスクを除去してパ
ターニングすることでメタルバック16を作製した。そ
の後、フィルミング膜を焼成してメタルバック16が完
成する。以上のように、蛍光体13,ブラックストライ
プ15,メタルバック16とで蛍光面8が構成される。(5) Next, after performing a smoothing process on the surface of the color fluorescent layer, which is called filming, the black stripe 15 of the spacer junction 12 is covered with a metal mask, and Al is deposited by vacuum evaporation to a thickness of approximately 2000 mm. Then, a metal back 16 was formed by forming a pattern on the inner surface side of the color fluorescent layer, removing the metal mask, and patterning. After that, the filming film is fired to complete the metal back 16. As described above, the phosphor 13, the black stripe 15, and the metal back 16 constitute the phosphor screen 8.
【0033】スペーサー接合部12のブラックストライ
プの幅W1は、通常のブラックストライプ15の幅10
0μmに対しパターニングの必要性から300μmとし
た。The width W1 of the black stripe at the spacer junction 12 is equal to the width 10 of the normal black stripe 15.
0 μm was set to 300 μm from the necessity of patterning.
【0034】(6)次にスペーサー7とフェースプレー
ト10との接合(固定)について図4を用いて詳述す
る。(6) Next, the joining (fixing) between the spacer 7 and the face plate 10 will be described in detail with reference to FIG.
【0035】前述のように、メタルバック16がパター
ニングされ、ブラックストライプ15部が露出している
部分に、フリットガラス17をディスペンサーにより幅
100μm、厚さ10μmにて塗布した後、平板状のガ
ラス材からなるスペーサー7(幅W2が200μm、Z
方向の高さ4mmで、長さは、装置及び、スペーサーの
配置等により、適当な長さに決められる)を位置合わせ
し、450℃で10分以上焼成することで固定した。As described above, the metal back 16 is patterned and the frit glass 17 is applied to a portion where the black stripe 15 is exposed by a dispenser with a width of 100 μm and a thickness of 10 μm. Spacer 7 (width W2 is 200 μm, Z
The height in the direction is 4 mm, and the length is determined to be an appropriate length depending on the apparatus, the arrangement of the spacers, etc.), and fixed by firing at 450 ° C. for 10 minutes or more.
【0036】次に、スプレー法等により、メタルバック
16とスペーサー7の側壁面が接続されるよう導電層1
8を形成した。Next, the conductive layer 1 is connected by a spray method or the like so that the metal back 16 and the side wall surface of the spacer 7 are connected.
8 was formed.
【0037】(7)以上のようにして電子放出素子を作
製した基板1と、内面に複数のスペーサー7が固定され
たフェースプレート10とを、不図示の側壁を介し対向
して配置し、フェースプレート10、側壁、基板1の接
合部にフリットガラスを塗布し、大気中あるいは窒素雰
囲気中で400℃ないし500℃で10分以上焼成する
ことで封着した。(7) The substrate 1 on which the electron-emitting device is manufactured as described above, and the face plate 10 having a plurality of spacers 7 fixed on the inner surface are arranged to face each other via a side wall (not shown). Frit glass was applied to the joint between the plate 10, the side wall, and the substrate 1, and sealed by baking at 400 ° C. to 500 ° C. for 10 minutes or more in the air or a nitrogen atmosphere.
【0038】(8)以上のようにして完成したガラス外
囲器(基板1、側壁、フェースプレート10で構成され
る)内の雰囲気を排気管(不図示)を通じ真空ポンプに
て排気し、十分な真空度に達した後、10-6Torr程
度の真空度で、不図示の排気管をガスバーナーで熱する
ことで溶着し外囲器の封止を行った。(8) The atmosphere in the glass envelope (comprised of the substrate 1, the side wall, and the face plate 10) completed as described above is exhausted by a vacuum pump through an exhaust pipe (not shown). After reaching an appropriate vacuum degree, the exhaust pipe (not shown) was welded at a degree of vacuum of about 10 -6 Torr by heating with a gas burner, and the envelope was sealed.
【0039】(9)最後に封止後の真空度を維持するた
めに、ゲッター処理を行った。これは、封止を行う直前
あるいは封止後に、抵抗加熱あるいは高周波加熱等の加
熱法により、画像形成装置内の所定の位置に配置された
ゲッター(不図示)を加熱し、蒸着膜を形成する処理で
ある。ゲッターは通常Ba等が主成分であり、該蒸着膜
の吸着作用により、真空度を維持するものである。(9) Finally, a getter process was performed to maintain the degree of vacuum after sealing. In this method, a getter (not shown) disposed at a predetermined position in an image forming apparatus is heated by a heating method such as resistance heating or high-frequency heating immediately before or after sealing to form a deposited film. Processing. The getter usually contains Ba or the like as a main component, and maintains the degree of vacuum by the adsorption action of the deposited film.
【0040】以上述べた構成は、画像表示装置を作製す
る上で必要な概略構成であり、例えば各部材の材料等、
詳細な部分は本実施例の内容に限られるものではなく、
画像表示装置の用途に適するよう適宜選択する。The structure described above is a schematic structure necessary for manufacturing an image display device.
The detailed part is not limited to the contents of this embodiment,
It is appropriately selected so as to be suitable for the use of the image display device.
【0041】以上のように作製した本実施例の画像表示
装置においては、スペーサーとフェースプレート内面と
の当接部において、位置ずれが起きず蛍光面やメタルバ
ックが損傷を受けないので、画像表示面が損傷したり、
メタルバックはがれによる放電等が発生しにくかった。In the image display device of the present embodiment manufactured as described above, no displacement occurs at the contact portion between the spacer and the inner surface of the face plate, and the fluorescent screen and the metal back are not damaged. Surface damage,
Discharge and the like due to peeling of the metal back were difficult to occur.
【0042】また、スペーサーとフェースプレート内面
の当接部にて、電場が滑らかに変化し、その構造上、当
接部がずれたりすることが無いので、電気的連続性が不
安定になることも解消されることにより、電子ビームの
軌道が安定し、長期にわたり安定した画像を表示でき
た。In addition, the electric field changes smoothly at the contact portion between the spacer and the inner surface of the face plate, and the contact portion does not shift due to its structure, so that the electrical continuity becomes unstable. As a result, the trajectory of the electron beam was stabilized, and a stable image could be displayed for a long period of time.
【0043】[実施例2]本実施例の、基板への電子放
出素子の作製法及び装置全体の構成は、実施例1と同様
なので省略する。[Embodiment 2] The method of manufacturing an electron-emitting device on a substrate and the configuration of the entire apparatus according to this embodiment are the same as those in Embodiment 1, and will not be described.
【0044】本実施例では、スペーサーとフェースプレ
ートとの接合部のみ実施例1と異なるので、図5を用い
て説明する。This embodiment is different from the first embodiment only in the joint between the spacer and the face plate, and will be described with reference to FIG.
【0045】本実施例では、ガラス基板9上に蛍光体1
3とブラックストライプ15を形成した後、スペーサー
接合部12のブラックストライプ15をメタルマスクで
覆い、スプレー法によりフィルミング膜を塗布し、メタ
ルマスクを除去してフィルミング膜のパターニングを行
う。続いてAl蒸着してメタルバック16を形成する。In this embodiment, the phosphor 1 is placed on the glass substrate 9.
After the formation of the black stripe 15 and the black stripe 15, the black stripe 15 of the spacer junction 12 is covered with a metal mask, a filming film is applied by a spray method, and the metal mask is removed to pattern the filming film. Subsequently, Al is deposited to form a metal back 16.
【0046】次に、スペーサー接合部12のメタルバッ
ク16の上から導電性フリットガラス19をディスペン
サーにより塗布し、そこにスペーサー7を当接後、フリ
ットガラスを400℃から500℃で10分以上焼成す
る事で、スペーサー7を固定した。導電性フリットガラ
ス19は、体積抵抗が、10の10乗程度のフリットガ
ラスを用いたが、さらに低い抵抗が必要な場合は、金属
等の導電材を混ぜても良かった。Next, a conductive frit glass 19 is applied from above the metal back 16 of the spacer joint 12 by a dispenser, and the spacer 7 is brought into contact therewith, and the frit glass is baked at 400 to 500 ° C. for 10 minutes or more. By doing so, the spacer 7 was fixed. As the conductive frit glass 19, frit glass having a volume resistance of about 10 to the 10th power was used. However, if a lower resistance was required, a conductive material such as a metal could be mixed.
【0047】本実施例では、メタルバック16ではなく
フィルミング膜をパターニングするため、パターニング
が大気中で行える利点があると共に、スペーサー接合部
12のブラックストライプ15とメタルバック16がフ
ィルミング膜を介さず直接接触しているため、メタルバ
ック上にディスペンサー等により導電性フリットガラス
を塗布しても剥離等起こらない十分な強度を有してお
り、また導電性フリットガラス19により、スペーサー
の固定と、スペーサーとメタルバックとの電気的接続が
同時に行え、より簡易な作製法で実施例1と同様な効果
が得られた。In this embodiment, since the filming film is patterned instead of the metal back 16, there is an advantage that the patterning can be performed in the air, and the black stripe 15 of the spacer junction 12 and the metal back 16 are interposed between the filming film. Since it is in direct contact with the metal back, it has sufficient strength so that it does not peel off even when conductive frit glass is applied to the metal back with a dispenser or the like. The electrical connection between the spacer and the metal back was made simultaneously, and the same effect as in Example 1 was obtained with a simpler manufacturing method.
【0048】[実施例3]本実施例も、スペーサーとフ
ェースプレートとの接合部のみ実施例1と異なるので、
図6を用いて説明する。[Embodiment 3] This embodiment is also different from Embodiment 1 only in the joint between the spacer and the face plate.
This will be described with reference to FIG.
【0049】本実施例では、ガラス基板9上に蛍光体1
3とブラックストライプ15を形成した後、スペーサー
接合部12のブラックストライプ15上に導電性フリッ
トガラス19を塗布し、該フリットガラス19をメタル
マスク等により被覆をした上、スプレー法によりフィル
ミング膜を塗布しメタルマスクを除去してフィルミング
膜のパターニングを行う。続いて、Al蒸着してメタル
バック16を形成し、つぎに、前記フィルミング膜を焼
成,除去するが、通常400℃程度で行なわれる焼成
を、本実施例ではフリットガラス19の軟化点以上の温
度で行うことにより、該焼成工程において、スペーサー
当接部のメタルバック(Al)16がフリットガラス1
9に熔融し、結果として導電性フリットガラスが露出し
た構造のスペーサー接合部12を得られるようにしたも
のである。In this embodiment, the phosphor 1 is placed on the glass substrate 9.
3 and the black stripe 15 are formed, a conductive frit glass 19 is applied on the black stripe 15 of the spacer junction 12, and the frit glass 19 is coated with a metal mask or the like, and a filming film is formed by a spray method. The coating and the removal of the metal mask are performed to pattern the filming film. Subsequently, a metal back 16 is formed by vapor deposition of Al, and then the filming film is baked and removed. In this embodiment, calcination usually performed at about 400 ° C. is performed. By performing the heating at the temperature, the metal back (Al) 16 at the spacer abutting portion becomes frit glass 1 in the firing step.
9, the spacer joint 12 having a structure in which the conductive frit glass is exposed is obtained.
【0050】具体的には、フィルミング膜の焼成は、4
50℃で約1時間行った。Specifically, the firing of the filming film is performed by
Performed at 50 ° C. for about 1 hour.
【0051】本実施例では、メタルバック16とスペー
サー7との電気的接続が簡易に行え又、メタルバック
(Al)をフリットガラス19に熔融させる為、電気的
接続の低抵抗化が簡易であり、前実施例と同様な効果が
得られた。In this embodiment, the electrical connection between the metal back 16 and the spacer 7 can be easily performed, and the metal back (Al) is melted in the frit glass 19, so that the electrical connection can be easily reduced in resistance. The same effect as in the previous embodiment was obtained.
【0052】[実施例4]本実施例では、図7に示した
ようにまずガラス基板9のほぼ内面全面にITOからな
る透明電極20を形成した。Embodiment 4 In this embodiment, as shown in FIG. 7, a transparent electrode 20 made of ITO was first formed on almost the entire inner surface of the glass substrate 9.
【0053】その上に蛍光体13とブラックストライプ
15を形成し、フィルミングした後にパターニングされ
たメタルバック16を作製するのは実施例1と同様であ
る。A phosphor 13 and a black stripe 15 are formed thereon, and a metal back 16 patterned after filming is manufactured as in the first embodiment.
【0054】但し、本実施例ではスペーサー接合部12
は、透明電極20とスペーサー7が電気的に導通するよ
うになっている。However, in this embodiment, the spacer joint 12
Is such that the transparent electrode 20 and the spacer 7 are electrically connected.
【0055】具体的には、ブラックストライプ15は導
電性を有する黒鉛にて形成されており、その上から導電
性フリットガラス19が塗布されて、スペーサー接合部
12が構成されている。本実施例では、画像のコントラ
ストを重視して、光の反射の小さい黒鉛の上に導電性フ
リットガラスを塗布したが、場合によっては黒鉛のブラ
ックストライプを省略して、黒色の導電性フリットガラ
スを用いてもよい。More specifically, the black stripe 15 is formed of graphite having conductivity, and a conductive frit glass 19 is applied thereon to form the spacer joint 12. In the present embodiment, the conductive frit glass was applied on graphite with small light reflection in consideration of the contrast of the image.However, in some cases, the graphite black stripe was omitted, and a black conductive frit glass was used. May be used.
【0056】また、透明電極20とメタルバック16と
は、画像表示エリアの外側等で導通させることにより同
電位が印加されるようになっている。The same potential is applied to the transparent electrode 20 and the metal back 16 by conducting them outside the image display area.
【0057】本実施例では、スペーサー7と電子加速電
圧が印加される電極(メタルバック16と透明電極2
0)との、電気的導通が更に良好となるため、特に電子
軌道が安定し、放電を起こさない画像表示装置が得られ
た。In this embodiment, the spacer 7 and the electrode (metal back 16 and transparent electrode 2) to which the electron acceleration voltage is applied are applied.
Since the electrical continuity with 0) was further improved, the electron trajectory was particularly stabilized, and an image display device free from electric discharge was obtained.
【0058】[実施例5]本実施例においては、図10
に示すように、スペーサー基材41の表面に、105 〜
1012[Ω/□]の表面抵抗値を有する半導電性膜42
を形成し、スペーサー7を構成した。[Embodiment 5] In this embodiment, FIG.
As shown in the surface of the spacer base material 41, 10 5 -
Semiconductive film 42 having a surface resistance of 10 12 [Ω / □]
Was formed to form the spacer 7.
【0059】具体的には、ソーダライムガラスからなる
スペーサー基材41上に、厚さ1000Åの酸化錫を、
電子ビーム法を用いたイオンプレーティングによってア
ルゴン・酸素雰囲気中で成膜した。この時、半導電性膜
42の表面抵抗値は、約109 [Ω/□]であった。Specifically, on a spacer base material 41 made of soda lime glass, tin oxide having a thickness of 1000
The film was formed in an argon / oxygen atmosphere by ion plating using an electron beam method. At this time, the surface resistance of the semiconductive film 42 was about 10 9 [Ω / □].
【0060】この他、スペーサー基材41としては、例
えば石英ガラス、Na等の不純物含有量を減少したガラ
ス、アルミナ等のセラミックス部材等が挙げられるが、
素子を作製する基板1やフェースプレート用のガラス板
9等と熱膨張率が近いことを考慮して適宜用いることが
できる。In addition, examples of the spacer substrate 41 include quartz glass, glass having a reduced impurity content such as Na, and ceramic members such as alumina.
It can be appropriately used in consideration of the fact that the coefficient of thermal expansion is close to that of the substrate 1 for manufacturing the element, the glass plate 9 for the face plate, and the like.
【0061】また、半導電性膜42の材料としては、上
記酸化錫以外に、例えばシリコン、ゲルマニウム等の4
族半導体、ガリウムひ素等の化合物半導体、酸化ニッケ
ル、酸化亜鉛等の酸化物半導体、あるいは上記各種半導
体に微量の不純物を加えた不純物半導体をアモルファス
状態、多結晶状態、あるいは単結晶状態に成膜したもの
等を挙げることができる。半導電性膜42の成膜方法と
しては、真空蒸着法、スパッタ法、化学的気相堆積法等
の真空成膜法によるものや、有機溶液あるいは分散溶液
をディッピングあるいはスピンナーを用いて塗布・焼成
する工程等からなる塗布法によるもの等を挙げることが
でき、対象となる材料に応じて適宜選択される。The material of the semiconductive film 42 may be, for example, silicon or germanium, in addition to the above-mentioned tin oxide.
Group semiconductors, compound semiconductors such as gallium arsenide, oxide semiconductors such as nickel oxide and zinc oxide, or impurity semiconductors obtained by adding a small amount of impurities to the above various semiconductors were formed into an amorphous state, a polycrystalline state, or a single crystal state. And the like. As a method for forming the semiconductive film 42, a method using a vacuum film forming method such as a vacuum evaporation method, a sputtering method, a chemical vapor deposition method, or a method of applying and baking an organic solution or a dispersion solution by dipping or using a spinner. And the like, which are based on a coating method comprising a step of performing the above, and are appropriately selected according to the target material.
【0062】上記のように、基材41を半導電性膜42
で被覆して構成されたスペーサー7の固定法は実施例1
と同様である。As described above, the base material 41 is
The fixing method of the spacer 7 formed by coating with
Is the same as
【0063】即ち、メタルバック16がパターニングさ
れブラックストライプ15部が露出している部分に、フ
リットガラス17をディスペンサーにより幅100μ
m、厚さ10μmにて塗布した後、スペーサー7(幅W
2が200μm、Z方向の高さ4mmで、厚さ1000
Åの酸化錫が表面に成膜されている)を位置合わせし、
450℃で10分以上焼成することで固定した。That is, the frit glass 17 is applied with a dispenser to a portion having a width of 100 μm on a portion where the metal back 16 is patterned and the black stripe 15 is exposed.
m, a thickness of 10 μm, and then a spacer 7 (width W
2 is 200 μm, height 4 mm in Z direction, thickness 1000
錫 tin oxide is deposited on the surface)
It was fixed by firing at 450 ° C. for 10 minutes or more.
【0064】次に、スプレー法等により、メタルバック
16とスペーサー7の側壁面(酸化錫の半導電性膜で覆
われている)が接続されるよう導電層18を形成した。Next, a conductive layer 18 was formed by a spray method or the like so that the metal back 16 and the side wall surface of the spacer 7 (covered with a semiconductive film of tin oxide) were connected.
【0065】本実施例では、スペーサーとフェースプレ
ート内面の当接にて、その構造上、当接部がずれたりす
ることがないため、画像表示面が損傷したり、メタルバ
ックはがれによる放電等が発生しにくいという実施例1
と同様な効果が得られた。In this embodiment, the contact between the spacer and the inner surface of the face plate does not cause a shift in the contact portion due to its structure. Therefore, the image display surface is damaged, and the discharge due to the metal back peeling or the like is prevented. Example 1 that hardly occurs
The same effect as described above was obtained.
【0066】また、スペーサー表面が半導電性膜で被覆
されており、さらに該フェースプレート内面のメタルバ
ック16と電気的に連続して接続されていることによ
り、電場が滑らかに変化するとともに、電子やイオン等
の不測の電荷がスペーサー表面に滞ることがないため、
電子ビームの軌道が安定し、長期にわたり安定した画像
を表示できた。The surface of the spacer is covered with a semiconductive film, and is electrically connected to the metal back 16 on the inner surface of the face plate. Since unexpected charges such as ions and ions do not stay on the spacer surface,
The orbit of the electron beam was stabilized, and a stable image could be displayed for a long time.
【0067】[実施例6]本実施例においてはスペーサ
ー7として、実施例5と同様、基材41の表面に、10
5 〜1012[Ω/□]の表面抵抗値を有する半導電性膜
42を形成した構造を用いた。[Embodiment 6] In this embodiment, as in the case of the embodiment 5, the spacer 7 is formed on the surface of the
A structure in which a semiconductive film 42 having a surface resistance of 5 to 10 12 [Ω / □] was formed was used.
【0068】具体的には、ソーダライムガラスからなる
スペーサー基材41上に、厚さ1000Åの酸化錫を、
電子ビーム法を用いたイオンプレーティングによってア
ルゴン・酸素雰囲気中で成膜した。この時、半導電性膜
42の表面抵抗値は、約109 [Ω/□]であった。Specifically, tin oxide having a thickness of 1000 ° is formed on a spacer base material 41 made of soda lime glass.
The film was formed in an argon / oxygen atmosphere by ion plating using an electron beam method. At this time, the surface resistance of the semiconductive film 42 was about 10 9 [Ω / □].
【0069】本実施例のフェースプレートとスペーサー
の接合は、図11に示すように実施例2と同様な方法で
行ったので、詳細は省略する。The joining of the face plate and the spacer in this embodiment was performed in the same manner as in Embodiment 2 as shown in FIG.
【0070】本実施例においては、スペーサー7の固定
と、スペーサー7とメタルバック16との電気的接続が
同時に行えるので、より簡易な作製法でスペーサーとフ
ェースプレートとの接合ができ、該当接部がずれたりす
ることがないため、画像表示面が損傷したり、メタルバ
ックはがれによる放電等が発生しにくいという実施例1
と同様な効果が得られると共に、スペーサー表面が半導
電性膜で被覆されており、さらに該フェースプレート内
面のメタルバック16と電気的に連続して接続されてい
ることにより、電場が滑らかに変化するとともに、電子
やイオン等の不測の電荷がスペーサー表面に滞ることが
ないため、電子ビームの軌道が安定し、長期にわたり安
定した画像を表示できるという効果が得られた。In this embodiment, since the fixing of the spacer 7 and the electrical connection between the spacer 7 and the metal back 16 can be performed simultaneously, the spacer and the face plate can be joined by a simpler manufacturing method. Example 1 in which the image display surface is not damaged and the discharge or the like due to the metal back peeling is unlikely to occur because no displacement occurs.
The same effect as described above is obtained, and the surface of the spacer is covered with a semiconductive film, and is electrically connected to the metal back 16 on the inner surface of the face plate. At the same time, since unexpected charges such as electrons and ions do not stay on the surface of the spacer, the trajectory of the electron beam is stabilized, and an effect that a stable image can be displayed for a long time is obtained.
【0071】[実施例7]本実施例も、スペーサー7と
して、実施例5と同様、基材41の表面に、105 〜1
012[Ω/□]の表面抵抗値を有する半導電性膜42を
形成した構造を用いた。[0071] [Embodiment 7] This embodiment also, as the spacer 7, similarly to Example 5, on the surface of the substrate 41, 10 5-1
A structure in which a semiconductive film 42 having a surface resistance of 0 12 [Ω / □] was formed was used.
【0072】具体的には、ソーダライムガラスからなる
スペーサー基材41上に、厚さ1000Åの酸化錫を、
電子ビーム法を用いたイオンプレーティングによってア
ルゴン・酸素雰囲気中で成膜した。この時、半導電性膜
42の表面抵抗値は、約109 [Ω/□]であった。Specifically, on a spacer substrate 41 made of soda-lime glass, tin oxide having a thickness of 1000
The film was formed in an argon / oxygen atmosphere by ion plating using an electron beam method. At this time, the surface resistance of the semiconductive film 42 was about 10 9 [Ω / □].
【0073】本実施例では、図12に示すように、半導
電性膜42で被覆されたスペーサー7とフェースプレー
トとの接合の方法において、実施例3と同様な方法を用
いた。詳細は省略する。In the present embodiment, as shown in FIG. 12, the same method as that of the third embodiment was used for joining the spacer 7 covered with the semiconductive film 42 to the face plate. Details are omitted.
【0074】本実施例では、スペーサー7とメタルバッ
ク16との電気的接続が容易に行え、またメタルバック
16をフリットガラス19に熔融させるため、電気的接
続の低抵抗化が簡易である上、スペーサーとのメタルバ
ックの接続部において、電場が滑らかに変化するととも
に、電子やイオン等の不測の電荷がスペーサー表面に滞
ることがないため、電子ビームの軌道が安定し、長期に
わたり安定した画像を表示できる点で前述の実施例と同
様な効果が得られた。In this embodiment, the electrical connection between the spacer 7 and the metal back 16 can be easily performed, and the metal back 16 is melted in the frit glass 19, so that the electrical connection can be easily reduced in resistance. At the connection of the metal back with the spacer, the electric field changes smoothly and unexpected charges such as electrons and ions do not stay on the spacer surface, so the orbit of the electron beam is stable and a stable image over a long period of time An effect similar to that of the above-described embodiment was obtained in that it could be displayed.
【0075】[実施例8]本実施例も、スペーサー7と
して、実施例5と同様、基材41の表面に、105 〜1
012[Ω/□]の表面抵抗値を有する半導電性膜42を
形成した構造を用いた。[Embodiment 8] In this embodiment, as in the case of the embodiment 5, the spacer 7 is formed on the surface of the base material 41 by 10 5 to 1.
A structure in which a semiconductive film 42 having a surface resistance of 0 12 [Ω / □] was formed was used.
【0076】具体的には、ソーダライムガラスからなる
スペーサー基材41上に、厚さ1000Åの酸化錫を、
電子ビーム法を用いたイオンプレーティングによってア
ルゴン・酸素雰囲気中で成膜した。この時、半導電性膜
42の表面抵抗値は、約109 [Ω/□]であった。More specifically, tin oxide having a thickness of 1000 ° is placed on a spacer base material 41 made of soda lime glass.
The film was formed in an argon / oxygen atmosphere by ion plating using an electron beam method. At this time, the surface resistance of the semiconductive film 42 was about 10 9 [Ω / □].
【0077】本実施例では、図13に示すように、半導
電性膜42で被覆されたスペーサー7とフェースプレー
トとの接合の方法において、実施例4と同様、スペーサ
ー7とフェースプレート内面の透明電極20とを電気的
に導通するよう接合した。詳細は省略する。In the present embodiment, as shown in FIG. 13, in the method of joining the spacer 7 covered with the semiconductive film 42 and the face plate, the spacer 7 and the inner surface of the face plate are transparent as in the case of the fourth embodiment. The electrode 20 was joined so as to be electrically conductive. Details are omitted.
【0078】本実施例では、フェースプレート内面の電
極(透明電極20)とスペーサー7との電気的接続が確
実に行えるため、スペーサーと透明電極との接続部にお
いて、電気的導通がさらに良好となり、電場が滑らかに
変化するとともに、電子やイオン等の不測の電荷がスペ
ーサー表面に滞ることがないため、電子ビームの軌道が
安定し、長期にわたり安定した画像を表示できる点で前
述の実施例と同様な効果が得られた。In this embodiment, since the electrical connection between the electrode (transparent electrode 20) on the inner surface of the face plate and the spacer 7 can be reliably performed, the electrical connection is further improved at the connection between the spacer and the transparent electrode. Similar to the previous embodiment in that the electric field changes smoothly and unexpected charges such as electrons and ions do not stay on the spacer surface, so that the trajectory of the electron beam is stable and a stable image can be displayed for a long time. Effect was obtained.
【0079】[0079]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
ペーサーとフェースプレート内面の蛍光面との当接部に
おいて、位置ずれが起きず、また蛍光面やメタルバック
が損傷を受けないので、画像表示面が損傷したり、メタ
ルバックはがれによる放電等が起こりにくい。As described above, according to the present invention, no misalignment occurs at the contact portion between the spacer and the phosphor screen on the inner surface of the face plate, and the phosphor screen and the metal back are not damaged. The image display surface is unlikely to be damaged, and discharge or the like due to metal back peeling is unlikely to occur.
【0080】さらにスペーサーとフェースプレート内面
の電子加速用電圧を印加する電極との電気的導通が良好
になることにより、スペーサーとフェースプレートとの
接合部の電場が滑らかに変化し、また構造上、スペーサ
ーのフェースプレートへの当接部がずれたりすることに
よる導通の不安定さも改善されるため、電子ビームの軌
道が安定する。Further, the electric conduction between the spacer and the electrode for applying the electron acceleration voltage on the inner surface of the face plate is improved, so that the electric field at the junction between the spacer and the face plate changes smoothly. Since the instability of conduction due to the displacement of the contact portion of the spacer with the face plate is also improved, the trajectory of the electron beam is stabilized.
【0081】本発明によれば、放電による画像の乱れや
装置の劣化がなく、信頼性の高い画像を長期にわたり提
供できる画像表示装置を得られる効果があった。According to the present invention, there is an effect that an image display device capable of providing a highly reliable image for a long time without disturbing the image or deterioration of the device due to the discharge is provided.
【図1】本発明の第一の実施例の画像表示装置の概略構
成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an image display device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第一の実施例の画像表示装置の素子部
拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of an element portion of the image display device according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第一の実施例の画像表示装置の蛍光面
拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a phosphor screen of the image display device according to the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第一実施例のスペーサー接合部拡大図
である。FIG. 4 is an enlarged view of a spacer joint according to the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第二実施例のスペーサー接合部拡大図
である。FIG. 5 is an enlarged view of a spacer joint according to a second embodiment of the present invention.
【図6】本発明の第三実施例のスペーサー接合部拡大図
である。FIG. 6 is an enlarged view of a spacer joint according to a third embodiment of the present invention.
【図7】本発明の第四実施例のスペーサー接合部拡大図
である。FIG. 7 is an enlarged view of a spacer joint according to a fourth embodiment of the present invention.
【図8】従来の画像表示装置の蛍光面拡大図である。FIG. 8 is an enlarged view of a phosphor screen of a conventional image display device.
【図9】従来の画像表示装置の概略構造を示す断面図で
ある。FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a schematic structure of a conventional image display device.
【図10】本発明の第五実施例のスペーサー接合部拡大
図である。FIG. 10 is an enlarged view of a spacer joint according to a fifth embodiment of the present invention.
【図11】本発明の第六実施例のスペーサー接合部拡大
図である。FIG. 11 is an enlarged view of a spacer joint according to a sixth embodiment of the present invention.
【図12】本発明の第七実施例のスペーサー接合部拡大
図である。FIG. 12 is an enlarged view of a spacer joint according to a seventh embodiment of the present invention.
【図13】本発明の第八実施例のスペーサー接合部拡大
図である。FIG. 13 is an enlarged view of a spacer joint according to an eighth embodiment of the present invention.
1 基板 2 素子電極 3 素子電極配線部 4 素子電極素子部 5 電子放出部 7 スペーサー 8 蛍光面 9 ガラス板 10 フェースプレート 12 スペーサー接合部 13 蛍光体 14 電子放出部形成用薄膜 15 ブラックストライプ 16 メタルバック 17 フリットガラス 18 導電層 19 導電性フリットガラス 20 透明電極 41 スペーサー基材 42 半導電性膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Element electrode 3 Element electrode wiring part 4 Element electrode element part 5 Electron emission part 7 Spacer 8 Phosphor screen 9 Glass plate 10 Face plate 12 Spacer joint part 13 Phosphor 14 Thin film for electron emission part formation 15 Black stripe 16 Metal back Reference Signs List 17 frit glass 18 conductive layer 19 conductive frit glass 20 transparent electrode 41 spacer base material 42 semiconductive film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 29/87 H01J 31/12 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 29/87 H01J 31/12
Claims (8)
板と対向して配置され、該電子放出素子から放出された
電子の照射を受け画像を形成する蛍光体と該蛍光体に照
射される電子の加速用電極とをその内面に有するフェー
スプレートと、該基板と該フェースプレートとの間隔を
大気圧に対して保持する為のスペーサーとを少なくとも
有する画像表示装置において、該スペーサーがフェース
プレートの蛍光体の無い部位に固定手段を介して固定さ
れているとともに、該加速用電極と該スペーサーとが電
気的導通手段にて接続されていることを特徴とする画像
表示装置。1. A substrate on which an electron-emitting device is arranged, a phosphor which is arranged to face the substrate and which receives an electron emitted from the electron-emitting device to form an image, and which is irradiated on the phosphor. An image display device comprising at least a face plate having an electrode for accelerating electrons on its inner surface and a spacer for maintaining a distance between the substrate and the face plate with respect to the atmospheric pressure. An image display device, wherein the acceleration electrode and the spacer are connected to each other by an electric conduction means , while being fixed to a portion where no phosphor is provided via fixing means .
定する固定手段と、前記電子の加速用電極とスペーサー
とを接続する電気的導通手段とが独立である請求項1に
記載の画像表示装置。2. Solid the spacer to the face plate
The image display device according to claim 1, wherein the fixing means for fixing and the electric conduction means for connecting the electrode for accelerating electrons and the spacer are independent.
定する固定手段と、前記電子の加速用電極とスペーサー
とを接続する電気的導通手段とが同一である請求項1に
記載の画像表示装置。3. Solid the spacer to the face plate
The image display device according to claim 1, wherein the fixing means for fixing and the electric conduction means for connecting the electron acceleration electrode and the spacer are the same.
と共通な電圧をスペーサーとフェースプレートとの接合
部に印加するための独立な電極を有する請求項1に記載
の画像表示装置。4. The image display apparatus according to claim 1 that have a separate electrode for applying a voltage and common voltage applied to the accelerating electrode of the electron at the junction of the spacer and the face plate .
と共通な電圧をスペーサーとフェースプレートとの接合
部に印加するための電極が該加速用電極である請求項1
に記載の画像表示装置。5. An electrode for applying a voltage common to a voltage applied to the electrode for acceleration of electrons to a junction between a spacer and a face plate is the electrode for acceleration.
An image display device according to claim 1.
ている請求項1〜5のいずれかに記載の画像表示装置。6. The image display device according to claim 1, wherein the spacer is covered with a semiconductive film.
/□]の表面抵抗値を有する請求項6に記載の画像表示
装置。7. The semiconductor device according to claim 1, wherein the semiconductive film has a thickness of 10 5 to 10 12 [Ω].
The image display device according to claim 6, which has a surface resistance value of //].
素子である請求項1〜7のいずれかに記載の画像表示装
置。8. The image display device according to claim 1, wherein said electron-emitting device is a surface conduction electron-emitting device.
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