JP3313985B2 - Laser beam measuring device - Google Patents
Laser beam measuring deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザービームプ
リンタにおいて、レーザービームを走査する回転多面鏡
の回転状態で、動的なレーザービームの性能を測定する
レーザービーム測定装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser beam measuring apparatus for measuring dynamic laser beam performance in a laser beam printer in a rotating polygon mirror for scanning a laser beam.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、レーザービームプリンタは二次元
像を形成するために図6に示すように構成されており、
固定配置されたレーザー出射部1から画像濃度に合わせ
て時間的に強度変化されたレーザービームが出射され、
コリメータレンズ2、シリンドリカルレンズ3から成る
光学系を通って、回転多面鏡4に導かれる。このレーザ
ービームは回転軸Oを中心に矢印A方向に高速回転する
回転多面鏡4により一次元の主走査が行われ、fθレン
ズである走査レンズ5により円筒状の感光体である感光
ドラム6表面の母線B方向に線像を形成する。2. Description of the Related Art Conventionally, a laser beam printer is configured as shown in FIG. 6 to form a two-dimensional image.
A laser beam whose intensity is temporally changed in accordance with the image density is emitted from the fixedly arranged laser emitting unit 1,
The light is guided to a rotary polygon mirror 4 through an optical system including a collimator lens 2 and a cylindrical lens 3. This laser beam is subjected to one-dimensional main scanning by a rotating polygon mirror 4 which rotates at high speed in the direction of arrow A about a rotation axis O, and a scanning lens 5 which is an fθ lens causes a surface of a photosensitive drum 6 which is a cylindrical photosensitive member to be scanned. A line image is formed in the direction of the generatrix B.
【0003】そして、感光ドラム6が回転軸Xを中心に
回転することにより、主走査と直交する一次元の副走査
が行われ、二次元像がプリントアウトされる。従って、
感光ドラム6の表面上におけるレーザービームの結像状
態や主走査の直線性はプリンタの性能を左右し、従来は
回転多面鏡4の回転を止めた静止状態で、感光ドラム6
面上でのレーザービームの結像状態を検出している。When the photosensitive drum 6 rotates about the rotation axis X, a one-dimensional sub-scan perpendicular to the main scan is performed, and a two-dimensional image is printed out. Therefore,
The image forming state of the laser beam on the surface of the photosensitive drum 6 and the linearity of the main scanning affect the performance of the printer. Conventionally, in the stationary state where the rotation of the rotary polygon mirror 4 is stopped, the photosensitive drum 6
It detects the imaging state of the laser beam on the surface.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例においては、実際の動作状態である回転多面鏡4が
回転している状態でレーザービームの測定を行わないた
めに、回転多面鏡4が回転することにより生ずる機械的
力や回転駆動部からの熱伝導等による反射面の変形によ
る影響や、回転多面鏡4の回転により発生する周りの空
気の擾乱による影響等が含まれた状態でのレーザービー
ムの結像性能が分からないという問題がある。However, in the above-mentioned conventional example, since the laser beam is not measured while the rotary polygon mirror 4 is rotating in an actual operating state, the rotary polygon mirror 4 rotates. Laser in a state that includes the influence of the deformation of the reflecting surface due to the mechanical force generated by the rotation and the heat conduction from the rotary driving unit, and the influence of the disturbance of the surrounding air generated by the rotation of the rotary polygon mirror 4. There is a problem that the imaging performance of the beam cannot be understood.
【0005】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
回転多面鏡の回転状態でのレーザービームの結像性能を
測定するレーザービーム測定装置を提供することにあ
る。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems,
An object of the present invention is to provide a laser beam measuring device for measuring the imaging performance of a laser beam in a rotating state of a rotary polygon mirror.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係るレーザービーム測定装置は、回転多面鏡
の回転走査に同期してパルス点灯するレーザー出射部
と、円筒形の感光ドラム面上での結像性能を決める光学
系を移動する駆動部と、前記感光ドラムの表面の結像相
当位置に配置しレーザービームの結像状態を前記感光ド
ラムの母線相当方向に沿って測定する測定部と、前記回
転多面鏡により走査するレーザービームの走査タイミン
グを検出する走査タイミング検出部とを有し、前記回転
多面鏡を回転しながらレーザービームの結像に係る前記
光学系位置及び測定位置を変更し、それぞれの位置で前
記測定部によりレーザービームの結像状態を測定するこ
とを特徴とする。According to the present invention, there is provided a laser beam measuring apparatus comprising: a laser emitting section for turning on and off a pulse in synchronization with the rotation scanning of a rotary polygon mirror; A driving unit that moves an optical system that determines the imaging performance described above, and a measurement that is arranged at a position corresponding to the imaging on the surface of the photosensitive drum and measures the imaging state of the laser beam along a direction corresponding to the generatrix of the photosensitive drum. Unit, having a scanning timing detection unit for detecting the scanning timing of the laser beam scanning by the rotating polygon mirror, the optical system position and the measurement position related to the image of the laser beam while rotating the rotating polygon mirror. In this case, the imaging state of the laser beam is measured at each position by the measurement unit.
【0007】[0007]
【発明の実施の形態】本発明を図1〜図5に図示の実施
例に基づいて詳細に説明する。図1は実施例の平面図を
示し、レーザービームを出射するレーザービーム発光部
10の前方の光路上には、光軸方向に移動して主走査方
向の合焦位置を変化させるコリメータレンズ11、光軸
方向に移動して副走査方向の合焦位置を変化させるシリ
ンドリカルレンズ12、矢印T方向に高速回転する回転
多面鏡13が順次に配列されており、回転多面鏡13の
反射方向の光路上には、感光ドラム相当位置Pに焦点を
有する走査レンズ14、走査レンズ14による結像位置
に二次元センサ等を有するレーザービーム測定部15が
配置されている。レーザービーム測定部15は主走査方
向の任意の位置に移動可能な移動機構16を有し、走査
レーザービームの端部位置には、光電センサを有するレ
ーザービーム走査タイミング検出部17が設けられてい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in FIGS. FIG. 1 shows a plan view of the embodiment. A collimator lens 11 that moves in the optical axis direction to change the focus position in the main scanning direction is provided on an optical path in front of a laser beam emitting unit 10 that emits a laser beam. A cylindrical lens 12 that moves in the optical axis direction to change the focus position in the sub-scanning direction, and a rotary polygon mirror 13 that rotates at a high speed in the direction of arrow T are sequentially arranged, and are arranged on the optical path in the reflection direction of the rotary polygon mirror 13. A scanning lens 14 having a focal point at a position P corresponding to a photosensitive drum, and a laser beam measuring unit 15 having a two-dimensional sensor or the like at an image forming position by the scanning lens 14. The laser beam measuring unit 15 has a moving mechanism 16 that can move to an arbitrary position in the main scanning direction, and a laser beam scanning timing detecting unit 17 having a photoelectric sensor is provided at an end position of the scanning laser beam. .
【0008】レーザービーム発光部10からのレーザー
ビームは、コリメータレンズ11、シリンドリカルレン
ズ12を通って回転多面鏡13に反射され、走査レンズ
14により走査され、感光ドラム相当位置Pに焦点を結
んで直線状に結像する。レーザービーム測定部15はこ
の像位置におけるレーザービームの強度分布を測定し、
また走査タイミング検出部17は回転多面鏡13による
レーザービームの走査タイミングを検出し、レーザービ
ーム発光部10をパルス点灯させるタイミングや、レー
ザービーム測定部15の測定タイミングを生成する。The laser beam from the laser beam emitting unit 10 passes through a collimator lens 11 and a cylindrical lens 12, is reflected by a rotary polygon mirror 13, is scanned by a scanning lens 14, and focuses on a photosensitive drum equivalent position P to form a straight line. An image is formed. The laser beam measuring unit 15 measures the intensity distribution of the laser beam at this image position,
The scanning timing detecting unit 17 detects the scanning timing of the laser beam by the rotating polygon mirror 13 and generates the timing for turning on the laser beam emitting unit 10 in a pulse and the measuring timing of the laser beam measuring unit 15.
【0009】図2は測定動作のフローチャート図を示
し、主走査方向のレーザービームの測定において、先ず
ステップS1で回転多面鏡13を回転し、ステップS2で副
走査方向の合焦位置にシリンドリカルレンズ12を移動
しておく。次に、ステップS3で移動機構16により測定
部15を主走査位置の初期位置に移動し、ステップS4で
この主走査方向の移動位置で、主走査合焦位置を変化さ
せるコリメータレンズ11を初期位置に移動する。FIG. 2 is a flowchart of the measurement operation. In the measurement of the laser beam in the main scanning direction, first, the rotating polygon mirror 13 is rotated in step S1, and the cylindrical lens 12 is moved to the in-focus position in the sub scanning direction in step S2. Keep moving. Next, in step S3, the measuring unit 15 is moved to the initial position of the main scanning position by the moving mechanism 16, and in step S4, the collimator lens 11 that changes the focus position in the main scanning direction at the moving position in the main scanning direction is moved to the initial position. Go to
【0010】ステップS5、S6、S7で合焦位置を含む移動
範囲内にコリメータレンズ11を移動しながら、測定部
15によりそのコリメータレンズ11の位置毎にレーザ
ービームの強度分布を求め、レーザービームの主走査方
向のビーム径を測定し、ビーム径が最も小さくなった位
置を合焦位置とする。このようにして、コリメータレン
ズ11の位置移動に対するビーム径の変化が測定できる
が、これは主走査方向の1個所における測定なので、ス
テップS8、S9で移動機構16により測定部15を適当に
移動させながら、同様の操作を行って主走査方向の合焦
位置の変化を測定する。In steps S5, S6, and S7, while moving the collimator lens 11 within the movement range including the in-focus position, the measuring unit 15 obtains the intensity distribution of the laser beam for each position of the collimator lens 11, and obtains the laser beam intensity distribution. The beam diameter in the main scanning direction is measured, and the position where the beam diameter becomes smallest is set as the focus position. In this manner, a change in the beam diameter with respect to the movement of the position of the collimator lens 11 can be measured. However, since this is a measurement at one point in the main scanning direction, the measuring unit 15 is appropriately moved by the moving mechanism 16 in steps S8 and S9. While the same operation is being performed, the change of the focus position in the main scanning direction is measured.
【0011】レーザービームの測定は回転多面鏡13の
回転状態で行うので、走査タイミング検出部17により
レーザービームを検出してから、レーザービーム測定部
15の二次元センサの視野内に入るまでの間に、回転多
面鏡13による走査でレーザービームが移動する十分に
小さい時間だけ、レーザービーム出射部10をパルス発
光することにより、静止に近い状態でレーザービームを
測定することができる。Since the measurement of the laser beam is performed while the rotary polygon mirror 13 is being rotated, a period from when the laser beam is detected by the scanning timing detecting unit 17 to when the laser beam enters the visual field of the two-dimensional sensor of the laser beam measuring unit 15 is measured. In addition, the laser beam can be measured in a nearly stationary state by pulsing the laser beam emitting unit 10 for a sufficiently short time during which the laser beam moves during scanning by the rotating polygon mirror 13.
【0012】また、レーザービームの測定は、レーザー
ビーム測定部15で受光したレーザービーム強度の主走
査方向及び副走査方向に分布する状態で行い、その強度
分布が最も急峻な分布を示したときを合焦位置として、
それからどの程度外れているか又は広がりを持つかによ
り測定する。The measurement of the laser beam is performed in a state where the intensity of the laser beam received by the laser beam measuring unit 15 is distributed in the main scanning direction and the sub-scanning direction, and when the intensity distribution shows the steepest distribution. As the focus position,
It is measured by how far it is from or has spread.
【0013】図3は合焦位置にあるときにレーザービー
ム測定部15の二次元センサが撮像したレーザービーム
の強度分布を等高線で表した図であり、(a) は合焦位置
にある場合、(b) は合焦位置からずれている場合の強度
分布である。また、図4は図3のレーザービームの線L
に沿った一次元断面であり、縦軸が強度、横軸が位置と
したときの分布を表し、図4(a) 、(b) はそれぞれ図3
(a) 、(b) に対応している。FIG. 3 is a diagram showing contour lines of the intensity distribution of the laser beam picked up by the two-dimensional sensor of the laser beam measuring unit 15 at the in-focus position. FIG. (b) is the intensity distribution when it is out of focus. FIG. 4 shows a line L of the laser beam shown in FIG.
4 (a) and 4 (b) respectively show a one-dimensional cross-section along the line, and the distribution when the vertical axis indicates intensity and the horizontal axis indicates position.
(a) and (b) are supported.
【0014】ビーム径は図4(a) において強度のピーク
値に対する所定の割合、例えば1/e2 ≒0.35に閾
値Hを設定したときのビーム径Cを位置C1から位置C2の
距離として測定する。これに対して、図4(b) は合焦位
置からずれているときのビーム径Dは位置D1から位置D2
の距離を表しており、ビーム径Cよりもビーム径Dの方
が大きい。The beam diameter is defined as a distance from the position C1 to the position C2 when the threshold value H is set to a predetermined ratio to the peak value of the intensity in FIG. 4A, for example, 1 / e 2 ≒ 0.35. Measure. On the other hand, FIG. 4B shows that the beam diameter D when deviated from the in-focus position is shifted from the position D1 to the position D2.
, And the beam diameter D is larger than the beam diameter C.
【0015】また、図5に示すようにコリメータレンズ
11をずらしながら、各位置でのビーム径を求めること
により、合焦範囲を測定することができる。縦軸にビー
ム径、横軸にコリメータレンズ11の位置をとると、こ
のときのビーム径の変化は分布E、Fのようになる。こ
のとき、合焦範囲としてビーム径に所定の閾値Hを設定
し、その閾値H以下のビーム径となるコリメータレンズ
11の位置を合焦範囲として求める。即ち、分布Eでは
コリメータレンズ11の位置E1からE2の範囲を合焦範囲
とし、分布Fではコリメータレンズ11の位置F1からF2
の範囲を合焦範囲とする。Further, as shown in FIG. 5, the focusing range can be measured by obtaining the beam diameter at each position while shifting the collimator lens 11. If the vertical axis indicates the beam diameter and the horizontal axis indicates the position of the collimator lens 11, the change in the beam diameter at this time will be like distributions E and F. At this time, a predetermined threshold value H is set for the beam diameter as the focusing range, and the position of the collimator lens 11 having a beam diameter equal to or smaller than the threshold value H is determined as the focusing range. That is, in the distribution E, the range from the position E1 to the position E2 of the collimator lens 11 is set as the focusing range.
Is the focusing range.
【0016】また、回転多面鏡13の回転による影響
は、回転多面鏡13を静止させた状態で、レーザービー
ム測定部15にレーザービームが入射する位置に回転多
面鏡13の回転角を合わせて結像性能を測定し、回転多
面鏡13を回転させたときの結像性能の測定に対して、
合焦位置、合焦範囲、レーザービームの広がりにどの程
度のずれが発生するかにより測定する。例えば、図5に
おいて分布曲線Eは回転多面鏡13が静止しているとき
に測定したビーム径変化曲線、分布曲線Fは回転多面鏡
13が回転状態で測定したときのビーム径変化曲線を表
し、両者間で合焦範囲がずれていることが分かる。The effect of the rotation of the rotary polygon mirror 13 is determined by adjusting the rotation angle of the rotary polygon mirror 13 to a position where the laser beam enters the laser beam measuring unit 15 with the rotary polygon mirror 13 stationary. For measuring the image performance, and measuring the image performance when the rotating polygon mirror 13 is rotated,
The measurement is performed based on the in-focus position, the in-focus range, and how much the laser beam spreads. For example, in FIG. 5, a distribution curve E represents a beam diameter change curve measured when the rotary polygon mirror 13 is stationary, and a distribution curve F represents a beam diameter change curve measured when the rotary polygon mirror 13 is rotating. It can be seen that the focusing range is shifted between the two.
【0017】レーザービーム測定部15を移動機構16
により移動する代りに、移動方向の適当な位置にレーザ
ービーム測定部15を複数配置してもよく、また回転多
面鏡13を回転させながら測定する際に、レーザービー
ムをパルス点灯する代りに、高速シャッタ機能を有する
二次元センサを使用してもよい。更に、回転多面鏡13
の回転数を任意に変えて特性を測定することも可能であ
る。The laser beam measuring unit 15 is moved to a moving mechanism 16
Instead of moving the laser beam, a plurality of laser beam measuring units 15 may be arranged at appropriate positions in the moving direction. When measuring while rotating the rotary polygon mirror 13, instead of turning on the laser beam in pulses, high-speed A two-dimensional sensor having a shutter function may be used. Furthermore, the rotating polygon mirror 13
It is also possible to measure the characteristics while arbitrarily changing the number of rotations.
【0018】[0018]
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るレーザ
ービーム測定装置は、レーザービームを走査する回転多
面鏡が回転している状態で、動的にレーザービームの強
度分布を測定することにより、回転多面鏡の回転がレー
ザービームの走査特性へ及ぼす影響を測定することが可
能となる。As described above, the laser beam measuring apparatus according to the present invention dynamically measures the intensity distribution of the laser beam while the rotating polygon mirror for scanning the laser beam is rotating. It is possible to measure the effect of the rotation of the rotating polygon mirror on the scanning characteristics of the laser beam.
【図1】実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment.
【図2】測定動作のフローチャート図である。FIG. 2 is a flowchart of a measurement operation.
【図3】レーザービームの強度分布の等高線図である。FIG. 3 is a contour diagram of an intensity distribution of a laser beam.
【図4】レーザービームの強度分布のグラフ図である。FIG. 4 is a graph showing an intensity distribution of a laser beam.
【図5】ビーム径による合焦範囲のグラフ図である。FIG. 5 is a graph showing a focusing range according to a beam diameter;
【図6】従来例のレーザービームプリンタの構成図であ
る。FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional laser beam printer.
10 レーザービーム出射部 11 コリメータレンズ 12 シリンドリカルレンズ 13 回転多面鏡 14 走査レンズ 15 レーザービーム測定部 16 移動機構 17 走査タイミング検出部 Reference Signs List 10 laser beam emitting part 11 collimator lens 12 cylindrical lens 13 rotating polygon mirror 14 scanning lens 15 laser beam measuring part 16 moving mechanism 17 scanning timing detecting part
Claims (3)
点灯するレーザー出射部と、円筒形の感光ドラム面上で
の結像性能を決める光学系を移動する駆動部と、前記感
光ドラムの表面の結像相当位置に配置しレーザービーム
の結像状態を前記感光ドラムの母線相当方向に沿って測
定する測定部と、前記回転多面鏡により走査するレーザ
ービームの走査タイミングを検出する走査タイミング検
出部とを有し、前記回転多面鏡を回転しながらレーザー
ビームの結像に係る前記光学系位置及び測定位置を変更
し、それぞれの位置で前記測定部によりレーザービーム
の結像状態を測定することを特徴とするレーザービーム
測定装置。1. A laser emitting unit which emits a pulse in synchronization with the rotation scanning of a rotary polygon mirror, a driving unit which moves an optical system for determining an imaging performance on a cylindrical photosensitive drum surface, A measuring unit arranged at a position corresponding to the image formation on the surface and measuring the image forming state of the laser beam along a direction corresponding to the generatrix of the photosensitive drum; and a scanning timing detection for detecting a scanning timing of the laser beam scanned by the rotary polygon mirror. And changing the optical system position and the measurement position related to the imaging of the laser beam while rotating the rotating polygon mirror, and measuring the imaging state of the laser beam by the measurement unit at each position. A laser beam measuring device characterized by the above-mentioned.
方向に移動するようにした請求項1に記載のレーザービ
ーム測定装置。2. The laser beam measuring apparatus according to claim 1, wherein the measuring section moves in a direction corresponding to a generatrix of the photosensitive drum.
ムの結像状態と静止時の結像状態とを比較して、前記回
転多面鏡の回転が及ぼす影響を測定する請求項1に記載
のレーザービーム測定装置。3. The method according to claim 1, wherein an effect of the rotation of the rotary polygon mirror is measured by comparing an image forming state of the laser beam when the rotary polygon mirror rotates and an image forming state at a standstill. Laser beam measuring device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27710196A JP3313985B2 (en) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | Laser beam measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27710196A JP3313985B2 (en) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | Laser beam measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10104541A JPH10104541A (en) | 1998-04-24 |
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Family Applications (1)
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| JP27710196A Expired - Fee Related JP3313985B2 (en) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | Laser beam measuring device |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3313985B2 (en) |
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|---|---|---|---|---|
| DE10002196A1 (en) | 2000-01-19 | 2001-07-26 | Heidelberger Instr Mikrotechni | Method for control of position of rotating mirrors by optically determining position monitors laser beam reflected from mirror to diode position sensor |
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1996
- 1996-09-27 JP JP27710196A patent/JP3313985B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH10104541A (en) | 1998-04-24 |
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