JP3314731B2 - Sliding magnetic head slider - Google Patents
Sliding magnetic head sliderInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、摺動型磁気ヘッド
スライダに係り、特に磁気ヘッドを装備し、磁気ディス
クに対する記録および再生動作を当該磁気ディスクに当
接した状態で作動可能に構成された摺動型磁気ヘッドス
ライダに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sliding type magnetic head slider, and more particularly to a sliding type magnetic head slider provided with a magnetic head and capable of operating recording and reproducing operations on and from a magnetic disk in a state of contacting the magnetic disk. The present invention relates to a sliding magnetic head slider.
【0002】[0002]
【従来の技術】磁気ディスク装置の記録密度は、主に、
磁気ヘッドおよび記録媒体の磁気的特性の向上、および
磁気ヘッドのギャップ先端から記録媒体の磁性層表面ま
での距離(いわゆる磁気スぺーシング)の短縮によって
近年著しく高められている。2. Description of the Related Art The recording density of a magnetic disk drive is mainly
In recent years, it has been significantly improved by improving the magnetic properties of the magnetic head and the recording medium and shortening the distance from the tip of the gap of the magnetic head to the surface of the magnetic layer of the recording medium (so-called magnetic spacing).
【0003】磁気スペーシングは、磁気ヘッドを搭載し
且つ空気膜浮上を行う浮動型ヘッドスライダの場合、空
気軸受け面保護膜,媒体表面の保護膜,および潤滑膜等
による積層構造から成り、その媒体表面の粗さは40〜
50〔nm〕程度に設定されている。[0003] In the case of a floating head slider on which a magnetic head is mounted and an air film floats, the magnetic spacing has a laminated structure of an air bearing surface protective film, a protective film on a medium surface, a lubricating film, and the like. Surface roughness is 40 ~
It is set to about 50 [nm].
【0004】図13に、一般に多様されている浮動型ヘ
ッドスライダ(センターパッド型)の従来例を示す。こ
の図13に示す浮動型ヘッドスライダでは、空気流が、
空気流入側に設けられた切除部(又は段差)であるであ
るリーディングリセス101から空気流出側のヘッド搭
載部である第2の空気軸受面104側へ移動する間に、
第1空気軸受面104,第2の空気軸受面104におけ
るくさび効果によって空気を圧縮し、正圧力を発生させ
る構造となっている。ここで、符号105は第2の空気
軸受面104の下流側の側端面に装備された記録再生用
の磁気ヘッドを示す。FIG. 13 shows an example of a conventional floating head slider (center pad type) which has been widely used. In the floating head slider shown in FIG.
While moving from the leading recess 101, which is a cutout portion (or a step) provided on the air inflow side, to the second air bearing surface 104, which is the head mounting portion on the air outflow side,
The air is compressed by a wedge effect on the first air bearing surface 104 and the second air bearing surface 104 to generate a positive pressure. Here, reference numeral 105 denotes a recording / reproducing magnetic head mounted on the downstream side end face of the second air bearing surface 104.
【0005】前述した第1の空気軸受面103は、前述
したリーディングリセス101に沿ってスライダ本体1
00を横切って形成された軸受面横設部103Aと、そ
の両端部から中央部を囲むようにして下流側に向けてコ
字状に延設された軸受面延設部103Bとにより構成さ
れ、この面(ABS面)では正圧を発生する。[0005] The first air bearing surface 103 is formed along the leading recess 101 to move the slider body 1.
And a bearing surface extending portion 103B extending in a U-shape toward the downstream side from both ends thereof so as to surround a central portion thereof. (ABS surface) generates a positive pressure.
【0006】一方、この第1の空気軸受面103の下流
側は空気流速が急激に低下し、更に空気流の粘性効果に
よって当該第1の空気軸受面103に囲まれた主リセス
面102部分の空気分子が吸い出される状態が生じる
が、これによって、その部分の圧力が低下し、負圧力を
発生させる。On the other hand, on the downstream side of the first air bearing surface 103, the air flow velocity is sharply reduced, and further, due to the viscous effect of the air flow, a portion of the main recess surface 102 surrounded by the first air bearing surface 103 is formed. A situation occurs where air molecules are sucked out, which reduces the pressure in that area and creates a negative pressure.
【0007】実際の浮上状態では、サスペンションの押
圧荷重と負圧力の和だけ正圧力が発生し、更に圧力のピ
ッチ、ロール方向のモーメントが釣り合う姿勢にて安定
浮上するように設計されている。In the actual floating state, the positive pressure is generated by the sum of the pressing load of the suspension and the negative pressure, and furthermore, it is designed to stably float in a posture in which the pressure pitch and the moment in the roll direction are balanced.
【0008】一般に、負圧力を利用する目的は、磁気媒
体の全周にわたって浮上均一性を得ること、空気膜の剛
性を高めて浮上安定性を確保すること、シーク動作中の
スライダ沈み込みを抑制すること、及びスライダ浮上量
の高度依存性を抑制することにある。又、記録インダク
ティブヘッド、再生MRヘッドという録再分離ヘッドを
使用し、現状の磁気ディスク装置の仕様を満足するため
には、上記負圧スライダの特性は必要不可欠のものとな
っている。In general, the purpose of utilizing a negative pressure is to obtain flying uniformity over the entire circumference of a magnetic medium, to increase the rigidity of an air film to ensure flying stability, and to suppress sinking of a slider during a seek operation. And suppression of the height dependence of the flying height of the slider. The characteristics of the negative pressure slider are indispensable in order to use recording / reproducing separation heads such as a recording inductive head and a reproducing MR head and satisfy the current specifications of the magnetic disk drive.
【0009】一方、昨今における高記録密度化の進むな
かで、将来的に1平方インチ当たり10〜20〔Gb〕
或いはそれ以上に達する記録密度を実現するには、磁気
スペーシングを20〔nm〕以下にする必要性が生じて
いる。On the other hand, with the progress of high recording density in recent years, 10 to 20 Gb / sq.
Alternatively, in order to achieve a recording density that is higher than that, it is necessary to reduce the magnetic spacing to 20 [nm] or less.
【0010】この磁気スペーシングを20〔nm〕以下
にする手法として、近時においては、記録媒体面に接触
摺動しながら記録再生を行う摺動型磁気記録方式が提案
されている。この方式によると、磁気ヘッドと記録媒体
の磁性層表面との距離を理論的にはゼロにすることが可
能となっている(例えば、H.Hamilton: Jornal of Magn
eticSociety of Japan vol.15, Supplement No.S2(199
1)483 )。As a technique for reducing the magnetic spacing to 20 [nm] or less, a sliding magnetic recording method has recently been proposed in which recording and reproduction are performed while contacting and sliding on a recording medium surface. According to this method, the distance between the magnetic head and the surface of the magnetic layer of the recording medium can be made theoretically zero (for example, H. Hamilton: Jornal of Magn.
eticSociety of Japan vol.15, Supplement No.S2 (199
1) 483).
【0011】この摺動型磁気記録方式には、完全接触方
式がある。この完全接触方式では、スライダ本体が、記
録媒体である磁気ヘッドに当接するパッド(接触パッ
ド)を1個備えたもの、或いは支持安定性を考慮した三
パッド以上を備えたもの等がある。ここで、磁気ヘッド
は、スライダ本体の端部中央に配設されたパッド部分に
装備されている。The sliding magnetic recording system includes a complete contact system. In the complete contact system, there are a slider body provided with one pad (contact pad) that comes into contact with a magnetic head as a recording medium, and a slider body provided with three or more pads in consideration of support stability. Here, the magnetic head is mounted on a pad portion provided at the center of the end of the slider body.
【0012】この場合、接触パッドがサスペンションに
よる押圧荷重をすべて受けるため、接触パッドの摩耗を
低減する必要から、サスペンション荷重は通常は200
〜300〔mgf〕以下に設定されている。In this case, since the contact pad receives all the pressing load by the suspension, it is necessary to reduce the wear of the contact pad.
Mg300 [mgf] or less.
【0013】ところで、各接触パッドを備えたスライダ
本体は、磁気記録媒体(磁気ディスク)の回転に伴う摩
擦力によって、そのピッチ方向やロール方向の回転モー
メント等を励起するため摩擦力の変動が生じ、これに起
因して接触パッドの媒体表面からの跳躍を誘発しやす
い。このため、走行安定性を確保する事が難しい。By the way, in the slider body provided with each contact pad, the frictional force accompanying the rotation of the magnetic recording medium (magnetic disk) excites the rotational moment in the pitch direction and the roll direction, so that the frictional force fluctuates. Therefore, it is easy to induce a jump of the contact pad from the medium surface due to this. For this reason, it is difficult to secure running stability.
【0014】一方、摺動型磁気記録方式には、他に、テ
イルドラッグ方式がある。このテイルドラッグ方式のも
のは、通常、スライダの空気流入側に空気軸受け面を有
し、空気流出側に接触パッドを有する構造のものであ
り、磁気ヘッドを搭載するパッドのみが磁気媒体(磁気
ディスク)と接触し、空気軸受け面は浮上する形式を採
っている。On the other hand, there is another tail-drag method as a sliding magnetic recording method. This tail-drag type usually has a structure in which an air bearing surface is provided on an air inflow side of a slider and a contact pad is provided on an air outflow side, and only a pad for mounting a magnetic head is a magnetic medium (magnetic disk). ) And the air bearing surface floats.
【0015】その動作状態の概略を図14に示す。この
図14において、符号120は磁気記録媒体(磁気ディ
スク)を示し、符号121は摺動型磁気ヘッドスライダ
を示す。この図12において、記号θp はピッチ角を
示し、記号Pは摺動型磁気ヘッドスライダ121がスラ
イダーピッチ運動を生じやすい方向を示す。FIG. 14 shows an outline of the operation state. In FIG. 14, reference numeral 120 indicates a magnetic recording medium (magnetic disk), and reference numeral 121 indicates a sliding magnetic head slider. In FIG. 12, the symbol θp indicates a pitch angle, and the symbol P indicates a direction in which the sliding magnetic head slider 121 is likely to cause a slider pitch motion.
【0016】図15は、摺動型磁気ヘッドスライダ12
1がロール運動をした場合の状態(空気流の下流側から
みた場合)を示す。ここで、符号115は磁気ヘッドを
示し、記号Rは摺動型磁気ヘッドスライダ121のロー
ル運動方向Rを示す。又、記号θr はロール角を示
す。FIG. 15 shows a sliding type magnetic head slider 12.
1 shows a state in which roll movement 1 is observed (as viewed from the downstream side of the airflow). Here, reference numeral 115 indicates a magnetic head, and symbol R indicates a roll movement direction R of the sliding magnetic head slider 121. The symbol θr indicates a roll angle.
【0017】このテイルドラッグ方式では、空気軸受け
面がかなりの荷重を支持するため、摩擦力が小さく剛性
の高い空気バネが形成されるような構造となっている。
このため、摩擦力による跳躍を低減でき、走行安定性確
保することが比較的容易であり、更に高荷重のサスペン
ションを用いることが可能である。In this tail drag system, the air bearing surface supports a considerable load, and thus has a structure in which an air spring having a small frictional force and a high rigidity is formed.
Therefore, jumping due to frictional force can be reduced, running stability can be relatively easily ensured, and a suspension with a higher load can be used.
【0018】但し、このテイルドラッグ方式のものは、
一方では、接触部分の位置,面積,および荷重が空気膜
にて浮上している部分の姿勢によってかなり異なるた
め、接触状態が製造公差の影響を受けやすいといった難
点を有している。However, this tail drag type is
On the other hand, since the position, area, and load of the contact portion vary considerably depending on the attitude of the portion floating on the air film, there is a drawback that the contact state is easily affected by manufacturing tolerances.
【0019】[0019]
【発明が解決しよとする課題】摺動型磁気ヘッドスライ
ダにおける最大の課題は、スライダの磁気媒体に対する
接触部分の摩耗低減と、摺動動作時の安定性の確保であ
る。一方、従来より多く知られている浮揚型磁気ヘッド
スライダでは、耐CSS(コンタクト・スタート・スト
ップ)特性の向上,磁気ヘッドの腐食防止,MR再生ヘ
ッドの静電破壊防止を意図して、磁気媒体に対向する面
にDLC(ダイアモンドライクカーボン)膜を形成す
る。The biggest problems in the sliding type magnetic head slider are to reduce the wear of the slider in contact with the magnetic medium and to ensure the stability during the sliding operation. On the other hand, a floating type magnetic head slider which has been widely known is designed to improve a CSS (contact start / stop) characteristic, prevent corrosion of a magnetic head, and prevent electrostatic breakdown of an MR reproducing head. A DLC (diamond-like carbon) film is formed on the surface facing.
【0020】これに対し、磁気媒体の表面は、まず基板
の状態でスライダとの摩擦力低減及び吸着回避を目的と
したテクスチャ(意図的に粗く加工された粗さ)が形成
され、磁性膜の上に保護膜(主にカーボン)が形成さ
れ、更にその上に潤滑剤が塗布されている。そして、各
々の相乗効果によって、CSS状態以外のヘッドと媒体
との摺動状態における摩擦・摩耗特性が良好となるよう
になっている。On the other hand, on the surface of the magnetic medium, a texture (intentionally roughened roughness) is formed on the surface of the magnetic film for the purpose of reducing the frictional force with the slider and avoiding attraction. A protective film (mainly carbon) is formed thereon, and a lubricant is further applied thereon. By the synergistic effects of each other, the friction and wear characteristics in the sliding state of the head and the medium other than the CSS state are improved.
【0021】これに対して、摺動型磁気ヘッドスライダ
を使用する場合は、まず、磁気スペーシングを低減し得
ることが最大の利点であるので、摩擦力および摩耗の許
容範囲で、上記ヘッド媒体の保護膜厚、媒体潤滑膜厚及
び媒体表面粗さをできるだけ小さくし、浮上系と同等以
下にしないとその長所が生きてこない。On the other hand, in the case of using a sliding type magnetic head slider, the greatest advantage is that the magnetic spacing can be reduced. Unless the protective film thickness, the medium lubricating film thickness and the medium surface roughness are made as small as possible and equal to or less than that of the floating system, the advantages cannot be realized.
【0022】通常、摩擦力は、接触力や接触パッド形状
と共に磁気媒体の表面粗さに最も大きく影響を受け、磁
気媒体の表面粗さが細かいほど摩擦力は小さくなる。一
方、摩耗に関してはその逆で、表面粗さが粗くなるほど
接触部分での摩耗が進行する傾向にある。又、接触力に
ついては、摩擦・摩耗の抑制のためには小さくする必要
があるが、小さすぎると、スライダの媒体追従性が悪化
するという不都合が生じる。Normally, the frictional force is most greatly affected by the surface roughness of the magnetic medium as well as the contact force and the contact pad shape, and the smaller the surface roughness of the magnetic medium, the smaller the frictional force. On the other hand, with respect to abrasion, on the other hand, as the surface roughness increases, abrasion at the contact portion tends to progress. Further, the contact force needs to be reduced in order to suppress friction and wear. However, if the contact force is too small, there is a disadvantage that the medium followability of the slider deteriorates.
【0023】パッド形状については、スライダの接触面
積が広くなると面圧が低くなって摩耗に対しては有利と
なるが、やはり磁気媒体に対する追従性が悪化する。ス
ライダの接触パッドの面積は0.01平方ミリメータ以
下程度が普通であり、この面積は磁気ディスク面に対し
て10万分の1以下であるため、摩耗に対してはスライ
ダ接触パッドの方が媒体表面より厳しい条件に曝されて
いる。即ち、磁気記憶媒体の表面の保護膜の摩耗に対し
て、ヘッドスライダの接触表面の保護膜の摩耗が相対的
に大きい。そして、上述したパラメータを勘案すると、
結局、ヘッドスライダの接触パッドと磁気記憶媒体の表
面との接触荷重は、少なくとも数10〔mgf 〕の値(オ
ーダ)に保たなければならないこととなる。With respect to the pad shape, when the contact area of the slider is increased, the surface pressure is reduced, which is advantageous for abrasion. However, the followability to the magnetic medium is also deteriorated. The area of the contact pad of the slider is usually about 0.01 square millimeter or less, and this area is 1 / 100,000 or less with respect to the surface of the magnetic disk. Exposed to more severe conditions. That is, the abrasion of the protective film on the contact surface of the head slider is relatively greater than the abrasion of the protective film on the surface of the magnetic storage medium. And considering the above parameters,
As a result, the contact load between the contact pad of the head slider and the surface of the magnetic storage medium must be maintained at least in the order of several tens of mgf.
【0024】ここで、摺動型磁気ヘッドスライダにおけ
る完全接触方式の場合、先に述べた接触荷重を実現する
ためには、スライダに加える押圧荷重は200〜300
ミリグラム以下にする必要がある。この荷重は浮上系に
現在使用にされているサスペンション荷重の2分の1以
下であるため、スライダのロールピッチ方向運動を柔軟
に支持するジンバルサスペンションは、非常に柔軟な支
持剛性を持たなくてはならない。Here, in the case of the perfect contact type in the sliding type magnetic head slider, in order to realize the above-mentioned contact load, the pressing load applied to the slider is 200 to 300.
It must be less than milligrams. Since this load is less than half of the suspension load currently used for the levitation system, a gimbal suspension that flexibly supports the movement of the slider in the roll pitch direction must have extremely flexible support rigidity. No.
【0025】それは、荷重に対してジンバルサスペンシ
ョン剛性が高いと、装置に組み込む際の組立公差を吸収
できないため片当たり等の不都合を引き起こすからであ
る。その結果として、サスペンションの捻れ、曲げ振動
周波数が低下してしまうため、位置決めアクチュエータ
の制御帯域が上げられず、位置決め精度の低下をもたら
す。The reason is that if the gimbal suspension stiffness is high with respect to the load, the assembly tolerance at the time of assembling into the apparatus cannot be absorbed, which causes inconvenience such as a one-sided contact. As a result, the torsional and bending vibration frequencies of the suspension are reduced, so that the control band of the positioning actuator cannot be increased and the positioning accuracy is reduced.
【0026】更に、最近の携帯情報機器の市場の拡大に
伴って、製品の付加価値を高めるために大容量の情報記
録再生が可能な磁気ディスク装置の搭載が盛んに行われ
ている。携帯機器への導入には磁気ディスク装置の小型
化、省電力化と共に、耐衝撃性は信頼性を高める上で最
も重要な課題である。Further, with the recent expansion of the market for portable information devices, magnetic disk devices capable of recording and reproducing a large amount of information have been actively mounted in order to increase the added value of products. For the introduction to portable equipment, the impact resistance is the most important issue in improving the reliability as well as the size and power saving of the magnetic disk device.
【0027】装置が動作状態(即ち、磁気媒体が回転し
ている状態)では、衝撃力によってスライダが媒体から
跳躍する運動を抑制する力は、潤滑膜のメニスカス力と
サスペンションの荷重しかない。装置が停止している場
合のメニスカス力については、いわゆる吸着力であるの
で比較的大きな跳躍抑止力が期待できる。これに対し
て、回転中のメニスカス力はかなり小さな値であるた
め、実効的に期待できる跳躍抑止力はサスペンション荷
重のみである。When the apparatus is in an operating state (ie, a state in which the magnetic medium is rotating), only the meniscus force of the lubricating film and the load of the suspension are the forces that suppress the movement of the slider jumping from the medium due to the impact force. Since the meniscus force when the device is stopped is a so-called attraction force, a relatively large jump deterrent can be expected. On the other hand, since the meniscus force during the rotation is a considerably small value, the suspension load is the only jump suppression force that can be effectively expected.
【0028】又、スライダが衝撃によって磁気媒体より
跳躍するのは、荷重をスライダ・サスペンション系の等
価質量で除した加速度以上の衝撃が、磁気媒体とスライ
ダとの相対位置に対して加わった場合であって、スライ
ダの耐衝撃跳躍特性を改善するには荷重を上げるか、ス
ライダ・サスペンション系の等価質量を低減しなければ
ならない。The slider jumps from the magnetic medium due to the impact when an impact equal to or greater than the acceleration obtained by dividing the load by the equivalent mass of the slider / suspension system is applied to the relative position between the magnetic medium and the slider. Therefore, in order to improve the shock resistance of the slider, the load must be increased or the equivalent mass of the slider / suspension system must be reduced.
【0029】先に述べたように完全接触の場合は、荷重
を上げるとスライダ接触パッドの摩耗特性を悪化させる
ため、実際にはスライダ・サスペンション系の等価質量
を浮上系に対して少なくとも2分の1以下にしなければ
ならない。As described above, in the case of complete contact, increasing the load deteriorates the wear characteristics of the slider contact pad. Therefore, the equivalent mass of the slider / suspension system is actually reduced by at least two minutes with respect to the flying system. Must be 1 or less.
【0030】更に、スライダの軽量化においては、特に
厚さを薄くすれば走行安定性の向上及び磁気ヘッドのコ
ストダウンが期待できる。このため、その開発が進めら
れているが、サスペンションを現状の制御性能やアセン
ブリ容易性を維持したままでの小型軽量化は容易でな
い。Further, in reducing the weight of the slider, improvement in running stability and reduction in cost of the magnetic head can be expected particularly when the thickness is reduced. For this reason, its development is being promoted, but it is not easy to reduce the size and weight of the suspension while maintaining the current control performance and ease of assembly.
【0031】装置が停止している場合もスライダが磁気
媒体上にロードされている場合については、動作時と大
差なく、ヘッドロードアンロード機構によってスライダ
が媒体表面からリトラクトされている場合は、媒体損傷
は生じないが、スライダを支持するジンバルバネが柔軟
であるため、衝撃時に塑性変形を起こしやすい。When the slider is loaded on the magnetic medium even when the apparatus is stopped, there is not much difference from the operation time when the slider is retracted from the surface of the medium by the head load / unload mechanism. Although no damage is caused, the gimbal spring supporting the slider is flexible, so that it is likely to undergo plastic deformation upon impact.
【0032】一方、摺動型磁気ヘッドスライダにおける
テイルドラッグ方式では、かなり高いサスペンション荷
重を使用する事が可能になるため、耐衝撃特性は向上す
るが、通常の空気軸受け面形状のままでは、接触面積が
小さくなると共に接触荷重がかなり増加してしまう。On the other hand, in the tail drag method of the sliding magnetic head slider, it is possible to use a considerably high suspension load, so that the impact resistance is improved. As the area becomes smaller, the contact load increases considerably.
【0033】これを避けるため、荷重点を空気流入端付
近へ移動させる方式が採られるが、衝撃跳躍時のスライ
ダ運動に大きな回転運動が生じてしまうため、媒体に衝
突する部分は空気軸受け面や接触パッドのエッジになる
可能性が高く、媒体打痕によるデータの破壊及びヘッド
・ディスク・インターフェスの信頼性劣化が懸念される
ことになる。In order to avoid this, a method is adopted in which the load point is moved to the vicinity of the air inflow end. However, since a large rotational movement occurs in the slider movement at the time of the impact jump, the portion that collides with the medium is the air bearing surface or the like. There is a high possibility that the contact pad becomes an edge of the contact pad, and there is a concern that data may be destroyed due to a dent of the medium and reliability of the head disk interface may be degraded.
【0034】[0034]
【発明の目的】本発明は、上記従来例の有する不都合を
改善し、とくに磁気ディスク装置の耐衝撃性能を向上さ
せる高荷重サスペンションの使用を可能とすると共に、
磁気ディスクに対する面記録密度を高くし且つ信頼性の
高い記録および再生が可能な摺動型磁気ヘッドスライダ
を提供することを、その目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to improve the disadvantages of the prior art and to enable the use of a high-load suspension for improving the shock resistance of a magnetic disk drive.
An object of the present invention is to provide a sliding magnetic head slider capable of increasing the areal recording density on a magnetic disk and performing highly reliable recording and reproduction.
【0035】[0035]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、磁気記録媒体に対向して配設されるス
ライダ本体と、このスライダ本体の磁気記録媒体に対向
する面(対向面)の空気流入側の端部に沿って設けられ
且つその両端部が下流側に延設されて成る第1の空気軸
受面と、この第1の空気軸受面における空気流入側の端
部の角部に一様に形成された所定深さの切除部(リーデ
ィングリセス)と、前述した対向面の空気流出側の端部
中央に設けられた第2の空気軸受面とを備えている。ま
た、この第2の空気軸受面の下流側の端部には、磁気ヘ
ッド装着領域が設けられている。In order to achieve the above object, according to the present invention, a slider body disposed to face a magnetic recording medium, and a surface of the slider body facing the magnetic recording medium (opposing surface). A first air bearing surface provided along an end on the air inflow side and both ends extending downstream, and a corner of the end on the air inflow side in the first air bearing surface And a second air bearing surface provided at the center of the air outflow side end of the opposing surface described above. Further, a magnetic head mounting area is provided at the downstream end of the second air bearing surface.
【0036】そして、スライダ本体の前述した第1の空
気軸受面で囲まれた主リセス面の中央部に、所定の大き
さの分圧空気軸受面を設ける、という構成を採ってい
る。In the slider body, a partial pressure air bearing surface having a predetermined size is provided at the center of the main recess surface surrounded by the above-described first air bearing surface.
【0037】このため、本発明では、例えば図1に示す
分圧空気軸受面2をスライダの中央部に設けることによ
り、サスペンションの荷重点を移動させることなく正圧
増加分及び負圧低下分共、スライダーピッチ方向のモー
メントの釣り合いをとることができる。このため、通常
姿勢におけるピッチ角の増大を抑制したまま、ヘッド第
2の空気軸受面4が支持すべき荷重を低減することがで
きる。Therefore, in the present invention, for example, by providing the partial pressure air bearing surface 2 shown in FIG. 1 at the center of the slider, the positive pressure increase and the negative pressure decrease can be performed without moving the load point of the suspension. , The moment in the slider pitch direction can be balanced. For this reason, it is possible to reduce the load to be supported by the head second air bearing surface 4 while suppressing an increase in the pitch angle in the normal posture.
【0038】このように、本発明では、接触面圧を増大
させること無く接触荷重を低減可能となり、耐摩耗特性
に優れた摺動型磁気ヘッドスライダを得ることができ
る。ここで、前述した分圧空気軸受面の中央部に空気流
に沿った切り溝を設け、これにより、当該分圧空気軸受
面を複数に分割してもよい。この場合、分割数は二分割
でも三分割でも或いは四分割でもよい。また、左右対称
に分割するのが好ましいが、左右のバランスがとれてお
れば、必ずしも左右対称でなくてもよい。更に、前述し
た分圧空気軸受面の中央部には、空気流に沿った切り溝
及びこれに直交する切り溝を設けることによって当該分
圧空気軸受面を左右対称に四分割してもよい。As described above, according to the present invention, the contact load can be reduced without increasing the contact surface pressure, and a sliding magnetic head slider having excellent wear resistance can be obtained. Here, a cut groove along the air flow may be provided at the center of the above-mentioned partial pressure air bearing surface, whereby the partial pressure air bearing surface may be divided into a plurality. In this case, the number of divisions may be two, three, or four. Although it is preferable to divide the image symmetrically, it is not always necessary to symmetrically divide the image as long as the right and left sides are balanced. Furthermore, the partial pressure air bearing surface may be divided into four symmetrically by providing a cut groove along the air flow and a cut groove orthogonal to the cut surface at the center of the above-mentioned partial pressure air bearing surface.
【0039】このようにすると、例えば図3に示す様に
左右に分割された分圧空気軸受面2A,2Bを備えるこ
とによって、高圧発生領域の偏りは各分圧空気軸受面2
A,2Bの同方向のエッジに生じるため、全体としての
正圧力分布の偏りを低減することができ、このため、前
述した摩耗特性の悪化、および磁気ヘッドと磁気記憶媒
体との間に設定される距離の増加を確実に抑制すること
ができる。四分割した場合も同様である。In this way, for example, as shown in FIG. 3, by providing the divided pressure air bearing surfaces 2A and 2B which are divided into right and left, the deviation of the high pressure generation region can be prevented by the partial pressure air bearing surfaces 2A and 2B.
Since it occurs at the edges of A and 2B in the same direction, the bias of the positive pressure distribution as a whole can be reduced, so that the above-described deterioration of the wear characteristics and the setting between the magnetic head and the magnetic storage medium can be achieved. It is possible to reliably suppress the increase in the distance. The same applies to the case of four divisions.
【0040】又、スライダ本体については、これを四角
状に形成すると共に、前述した分圧空気軸受面を四角形
状に形成してもよい。更に、前述した分圧空気軸受面
は、第1の空気軸受面で囲まれて成る領域内に配設する
とよい。このようにすると、正圧と負圧とをディスク対
向面上でバランス良く発生させることができ、このた
め、動作の安定した摺動型磁気ヘッドスライダを得るこ
とができる。The slider body may be formed in a square shape, and the above-mentioned partial pressure air bearing surface may be formed in a square shape. Further, the above-mentioned partial pressure air bearing surface may be disposed in a region surrounded by the first air bearing surface. In this way, the positive pressure and the negative pressure can be generated in a well-balanced manner on the disk-facing surface, so that a sliding magnetic head slider with stable operation can be obtained.
【0041】ここで、分圧空気軸受面の高さを、前述し
た第1の空気軸受面と同等の高さに設定するとよい。
又、スライダ本体の空気流入側の端部に形成された切除
部の深さを、第1の空気軸受面の高さを基準として1
〔μm〕以下に設定するとよい。更に、第1乃至第2の
空気軸受面の前述した主リセス面に対する高さを、6
〔μm〕以下に設定するとよい。このようにすると、空
気流入側の浮上高さが適度に設定されることを実験的に
確認することができ、動作が安定して都合がよい。Here, the height of the partial pressure air bearing surface may be set to the same height as the first air bearing surface.
Further, the depth of the cutout portion formed at the end of the slider body on the air inflow side is set to 1 with respect to the height of the first air bearing surface.
[Μm] or less. Further, the height of the first and second air bearing surfaces with respect to the aforementioned main recess surface is set to 6
[Μm] or less. By doing so, it can be experimentally confirmed that the flying height on the air inflow side is set appropriately, and the operation is stable and convenient.
【0042】又、前述した分圧空気軸受面の周囲の主リ
セス面に、当該分圧空気軸受面を囲んで所定幅の環状凹
溝(分圧リセス)を設けてもよい。この場合、環状凹溝
(分圧リセス)の深さを1〔μm〕以下に設定するとよ
い。Further, an annular groove (partial pressure recess) having a predetermined width surrounding the partial pressure air bearing surface may be provided in the main recess surface around the above-mentioned partial pressure air bearing surface. In this case, it is preferable to set the depth of the annular groove (partial pressure recess) to 1 [μm] or less.
【0043】このようにすると、分圧リセスが、基本的
には前述した図2内に開示したリーディングリセス11
と同様の作用効果を有し、定常浮上状態では空気流を効
率的に圧縮して十分なくさび効果をもたらすと共に、圧
力変化率に際しては当該分圧リセスの凹溝内に空気の流
れを形成して当該圧力変化を低減する作用をなし、これ
がため動作の安定を確保することができる。In this manner, the partial pressure recess basically corresponds to the leading recess 11 disclosed in FIG.
In the steady floating state, the air flow is efficiently compressed to provide a sufficient wedge effect, and at the time of the pressure change rate, the air flow is formed in the concave groove of the partial pressure recess. Thus, the pressure change is reduced, and the operation can be stabilized.
【0044】更に、前述した分圧空気軸受面および第1
の空気軸受面が、前述した第2の空気軸受面の下流側の
左右立ち上がり部とスライダ本体の中央部とを結ぶ直線
の内側範囲内に配設されるように構成してもよい。Further, the partial pressure air bearing surface and the first
The air bearing surface may be arranged in a range inside a straight line connecting the left and right rising portions on the downstream side of the second air bearing surface and the center portion of the slider body.
【0045】このようにすると、センターパッド型スラ
イダのロール運動にあっては、おおよそスライダ空気流
入端の両側と磁気ヘッド位置を結ぶ直線を軸に回転する
傾向にあることから、空気軸受面部分(ここでは第1の
空気軸受面3)が存在するとその部分が媒体に接触する
可能性が高くなっても、これを有効に回避することがで
きる。With this arrangement, the roll motion of the center pad type slider tends to rotate about a straight line connecting both sides of the slider air inflow end and the position of the magnetic head. Here, if the first air bearing surface 3) is present, even if the possibility that the portion comes into contact with the medium increases, this can be effectively avoided.
【0046】更に、前述したスライダ本体における対向
面の下流側の両端角部に、断面凹状で所定形状のリセス
パッドを左右対称位置に装備してもよい。又、この場
合、このリセスパッドについては、スライダ本体におけ
る第2の空気軸受面の両端部で且つ当該第2の空気軸受
面の上流側に偏った位置に左右対称に装備してもよい。Further, recessed pads having a concave cross section and a predetermined shape may be provided at the left and right corners at both end corners on the downstream side of the facing surface of the slider body. Further, in this case, the recess pad may be symmetrically provided at both ends of the second air bearing surface of the slider body and at a position deviated upstream from the second air bearing surface.
【0047】リセスパッドの深さは1〔μm〕以下にす
るとよい。又、このリセスパッドの形状については、四
角形であっても,円形であっても,或いはその他の形状
であってもよい。また、このリセスパッドについては、
左右対称に配置するのが好ましいが、左右のバランスが
とれておれば、必ずしも左右対称でなくてもよい。The depth of the recess pad is preferably set to 1 [μm] or less. Further, the shape of the recess pad may be square, circular, or another shape. In addition, about this recess pad,
It is preferable to arrange them symmetrically, but it is not always necessary to be symmetrical as long as the left and right sides are balanced.
【0048】このようにすると、リセスパッドの作用に
より、定常回転時ではリセスされて正圧力は小さく、こ
のため磁気記憶媒体とはほとんど接触せず、衝撃跳躍時
やロード/アンロード時のスライダロール状態での媒体
表面の接近状態の場合のみ空気軸受面として働くため、
空気膜のダンピング効果を得やすく、スライダエッジで
の媒体接触を避けることが可能となって信頼性の高い磁
気ヘッドによる記録又は再生時の安定動作を確保するこ
とができる。With this arrangement, the recess pad is recessed during normal rotation and has a small positive pressure due to the action of the recess pad, so that it hardly comes into contact with the magnetic storage medium, and the slider roll state at the time of impact jump or load / unload. Works as an air bearing surface only when the media surface is close to
It is easy to obtain the damping effect of the air film, and it is possible to avoid the medium contact at the slider edge, and it is possible to secure a stable operation at the time of recording or reproduction with a highly reliable magnetic head.
【0049】又、前述した第1の空気軸受面の中央部
に、空気流入方向に沿って切り溝を設け、この切り溝を
介して切除部(リーディングリセス)とディスク対向面
の一部である主リセス面とを連接してもよい。A cut groove is provided in the center of the first air bearing surface in the air inflow direction, and the cut portion (leading recess) and a part of the disk facing surface are formed through the cut groove. The main recessed surface may be connected.
【0050】このようにすると、スライダ本体の空気流
入側における正圧発生面の面積が少なくなるなり、この
ため、正圧の発生が幾分抑制され、その分だけスライダ
本体のピッチ角の増大が確実に抑制される。同時に、ピ
ッチ角の媒体周速に対する依存性を抑制することが可能
になる。従って、磁気ディスク(磁気記録媒体)の全周
にわたって、第2の空気軸受面の接触面積を一定に保つ
ことが可能となり、円滑な動作が安定して継続されるこ
ととなる。In this way, the area of the positive pressure generating surface on the air inflow side of the slider main body is reduced, so that the generation of the positive pressure is somewhat suppressed, and the pitch angle of the slider main body is correspondingly increased. It is surely suppressed. At the same time, the dependency of the pitch angle on the peripheral speed of the medium can be suppressed. Therefore, the contact area of the second air bearing surface can be kept constant over the entire circumference of the magnetic disk (magnetic recording medium), and smooth operation can be stably continued.
【0051】[0051]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて順次説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0052】(第1の実施の形態)まず、図1に、テイ
ルドラッグ方式の摺動型磁気ヘッドスライダ1の磁気デ
ィスク(磁気記録媒体)に対する対向面を示す。この図
1に示す摺動型磁気ヘッドスライダ1は、いわゆるセン
ターパッド型の負圧スライダ(浮動型ヘッドスライダ)
に対して、スライダ本体1Aの中心付近に分圧空気軸受
面2を追加し、磁気ヘッドを搭載する第2の空気軸受面
4の空気流出エッジ部分のみを磁気記録媒体(磁気ディ
スク)の表面に摺動させ、その他の空気軸受面(第1の
空気軸受面3)では正圧を発生させて浮上させるように
したものである。(First Embodiment) First, FIG. 1 shows a surface of a tail-drag type sliding magnetic head slider 1 facing a magnetic disk (magnetic recording medium). The sliding magnetic head slider 1 shown in FIG. 1 is a so-called center pad type negative pressure slider (floating type head slider).
In contrast, a partial pressure air bearing surface 2 is added near the center of the slider body 1A, and only the air outflow edge portion of the second air bearing surface 4 on which the magnetic head is mounted is placed on the surface of the magnetic recording medium (magnetic disk). By sliding, the other air bearing surface (first air bearing surface 3) generates a positive pressure to float.
【0053】これを更に詳述すると、本実施形態にあっ
て、摺動型磁気ヘッドスライダ1は、磁気記録媒体に対
向して配設されるスライダ本体1Aと、このスライダ本
体1Aの前述した磁気記録媒体(磁気ディスク)に対向
する対向面(ディスク対向面)の空気流入側の端部に沿
って設けられ且つその両端部が下流側に延設されて成る
第1の空気軸受面3と、この第1の空気軸受面3におけ
る空気流入側の端部の角部に一様に形成された所定深さ
の切除部としてのリーディングリセス11と、前述した
ディスク対向面の空気流出側の端部中央に設けられた第
2の空気軸受面4とを備えている。More specifically, in the present embodiment, the sliding type magnetic head slider 1 includes a slider body 1A disposed to face a magnetic recording medium and the above-described magnetic material of the slider body 1A. A first air bearing surface 3 which is provided along an end on the air inflow side of a facing surface (disk facing surface) facing a recording medium (magnetic disk) and has both ends extending downstream; A leading recess 11 as a cut-off portion having a predetermined depth uniformly formed at a corner of an end on the air inflow side of the first air bearing surface 3, and an end on the air outflow side of the disk facing surface described above. A second air bearing surface 4 provided at the center.
【0054】この第2の空気軸受面4の下流側の端部
に、磁気ヘッド装着領域5Aが設けられている。更に、
スライダ本体1Aの前述した第1の空気軸受面3で囲ま
れた主リセス面6の中央部に、所定の大きさの分圧空気
軸受面2が設けられている。At the downstream end of the second air bearing surface 4, a magnetic head mounting area 5A is provided. Furthermore,
A partial pressure air bearing surface 2 of a predetermined size is provided at the center of the main recess surface 6 surrounded by the above-described first air bearing surface 3 of the slider body 1A.
【0055】スライダ本体1Aは所定厚さの方形状に形
成され、その一端部の端縁に、角部が断面直角状に切除
された所定深さの切除部としての空気流入用のリーディ
ングリセス11が設けられている。このリーディングリ
セス11は、前述したようにディスク対向面の角部に設
けられている。また、本実施形態にあっては、分圧空気
軸受面2は方形状に形成されているが、他の形状であっ
てもよい。The slider body 1A is formed in a rectangular shape having a predetermined thickness, and a leading recess 11 for inflow of air as a cut portion having a predetermined depth with a corner portion cut at a right angle in a cross section at one end thereof. Is provided. The leading recess 11 is provided at the corner of the disk facing surface as described above. In the present embodiment, the partial pressure air bearing surface 2 is formed in a square shape, but may have another shape.
【0056】スライダ本体1Aのディスク対向面には、
リーディングリセス11に連接して正圧発生用の第1の
空気軸受面3が形成されている。この第1の空気軸受面
3は、リーディングリセス11に沿って平行に形成され
た軸受面横設部3Aと、その両端部からスライダ本体1
Aの中央部を囲むようにして下流側に延設された二本の
軸受面延設部3B,3Bとにより構成されている。この
各軸受面延設部3Bは、その先端部がスライダ本体1A
の中央部よりも幾分下流側にまで延設されている。ここ
で、前述したリーディングリセス11は、段差状に切除
され、その深さは、本実施形態では第1の空気軸受面3
の面に位置を基準として1〔μm〕程度若しくはそれ以
下に設定されている。On the disk facing surface of the slider body 1A,
A first air bearing surface 3 for generating a positive pressure is formed in connection with the leading recess 11. The first air bearing surface 3 includes a bearing surface transverse portion 3A formed in parallel along the leading recess 11 and a slider body 1 from both ends.
A is formed by two bearing surface extending portions 3B, 3B extending downstream so as to surround the central portion of A. Each of the bearing surface extending portions 3B has a distal end portion at the slider body 1A.
Extends somewhat downstream from the central portion of the vehicle. Here, the above-described leading recess 11 is cut in a stepped shape, and the depth thereof is set to the first air bearing surface 3 in the present embodiment.
Is set to about 1 [μm] or less on the basis of the position of the surface.
【0057】そして、前述した分圧空気軸受面2は、ス
ライダ本体1Aの中央部で且つ第1の空気軸受面3の軸
受面延設部3B,3Bに囲まれた領域(主リセス面6)
に配設されている。そして、この分圧空気軸受面2の前
述した主リセス面6に対する高さは6〔μm〕以下に設
定され、その面は、前述した第1の空気軸受面3の面と
同等の高さに設定されている。ここで、主リセス面6
は、各軸受面2,3,4を除くディスク対向面を持って
構成されている。The aforementioned partial pressure air bearing surface 2 is located at the center of the slider body 1A and is surrounded by the bearing surface extending portions 3B, 3B of the first air bearing surface 3 (main recess surface 6).
It is arranged in. The height of the partial pressure air bearing surface 2 with respect to the aforementioned main recess surface 6 is set to 6 [μm] or less, and the height is set to be equal to the height of the first air bearing surface 3 described above. Is set. Here, the main recessed surface 6
Has a disk facing surface except for the bearing surfaces 2, 3, and 4.
【0058】更に、第2の空気軸受面4は、前述したよ
うにスライダ本体1Aのディスク対向面にあって、前述
したリーディングリセス11の反対側の端部中央に設け
られている。そして、この第2の空気軸受面4の下流側
の端面部分に、前述した図10の場合と同様に記録再生
用の磁気ヘッド(図示せず)が装備されている。符号5
Aは磁気ヘッド装着領域を示す。Further, as described above, the second air bearing surface 4 is provided at the center of the end opposite to the leading recess 11 on the disk facing surface of the slider main body 1A. A magnetic head (not shown) for recording / reproducing is mounted on the downstream end face of the second air bearing surface 4 as in the case of FIG. Code 5
A indicates a magnetic head mounting area.
【0059】そして、この図1に示す摺動型磁気ヘッド
スライダ1では、空気流がリーディングリセス11から
空気流出側である第2の空気軸受面4側へ移動する間
に、第1の空気軸受面3,第2の空気軸受面4における
くさび効果によって、空気を圧縮し、正圧力を発生させ
る構造となっている。In the sliding type magnetic head slider 1 shown in FIG. 1, while the air flow moves from the leading recess 11 to the second air bearing surface 4 which is the air outflow side, the first air bearing The air is compressed by the wedge effect on the surface 3 and the second air bearing surface 4 to generate a positive pressure.
【0060】一方、正圧を発生する第1の空気軸受面3
の下流側は空気流速が急激に低下し、更にこの空気流の
粘性効果によって当該第1の空気軸受面3に囲まれた主
リセス面6部分の空気分子が吸い出される状態が生じ、
これによって、その部分の圧力が低下して負圧力を発生
させる。実際の浮上状態では、サスペンションの押圧荷
重と負圧力の和だけ正圧力が発生し、更に圧力のピッチ
方向及びロール方向の各モーメントが釣り合う姿勢にて
安定浮上する。On the other hand, the first air bearing surface 3 for generating a positive pressure
On the downstream side, the air flow velocity sharply decreases, and furthermore, the viscous effect of this air flow causes a state in which air molecules at the main recess surface 6 surrounded by the first air bearing surface 3 are sucked out,
As a result, the pressure in that portion decreases, and a negative pressure is generated. In the actual floating state, a positive pressure is generated by the sum of the pressing load of the suspension and the negative pressure, and furthermore, the suspension floats stably in a posture in which the moments in the pitch direction and the roll direction of the pressure are balanced.
【0061】ここで、前述した図11に示す浮動型ヘッ
ドスライダ(従来例)の空気軸受面は、磁気ヘッドスラ
イダの媒体追従性を高めるため、スライダ本体の上下
動,ロール運動およびピッチ運動に対する剛性をできる
だけ高めることを意図して、スライダの四隅に配設され
ることが基本である。The air bearing surface of the floating head slider (conventional example) shown in FIG. 11 has rigidity to the vertical movement, roll movement and pitch movement of the slider body in order to enhance the medium followability of the magnetic head slider. It is fundamentally arranged at the four corners of the slider with the aim of increasing as much as possible.
【0062】そして、流れに沿って前後に空気軸受面を
つないだ場合がいわゆる2レール型であり、前二隅およ
び後中央の合計三隅に空気軸受面を配した形状がいわゆ
るセンターパッド型であり、高荷重対応のスライダを形
成する場合には、四隅或いは三隅に配された空気軸受面
の面積を拡大していくことが普通である。The case where the air bearing surfaces are connected back and forth along the flow is the so-called two-rail type, and the shape in which the air bearing surfaces are arranged at a total of three corners at the front two corners and the rear center is the so-called center pad type. When forming a slider capable of handling a high load, it is common to increase the area of the air bearing surface disposed at the four or three corners.
【0063】一方、摺動型磁気ヘッドスライダの場合、
第2の空気軸受面3の浮上を抑制し、且つ接触荷重の低
減を意図していることから、この第2の空気軸受面積3
は小さいほどよい。On the other hand, in the case of a sliding magnetic head slider,
Since it is intended to suppress the floating of the second air bearing surface 3 and to reduce the contact load, the second air bearing area 3
The smaller the better.
【0064】また、前二隅に相当する第1の空気軸受面
3の面積を拡大するとリーディングリセス11側の浮上
量が増加してピッチ角が大きくなる。この場合、第2の
空気軸受面4の空気軸受け面積が増加して接触荷重低減
効果が期待できるが、接触面積は減少するため接触面圧
は逆に増加し、摩耗を促進させてしまう可能性が高くな
る。When the area of the first air bearing surface 3 corresponding to the two front corners is increased, the flying height on the leading recess 11 side increases, and the pitch angle increases. In this case, the air bearing area of the second air bearing surface 4 increases, and the effect of reducing the contact load can be expected. However, since the contact area is reduced, the contact surface pressure is increased and the wear may be promoted. Will be higher.
【0065】そこで、図1に示す分圧空気軸受面2をス
ライダの中央部に設けると、サスペンションの荷重点を
移動させることなくスライダ本体1Aのほぼ中心に維持
する場合、正圧増加分及び負圧低下分共、スライダーピ
ッチ方向のモーメントの釣り合いを大幅に損なうことが
ない。このため、通常姿勢におけるピッチ角の増大を抑
制したまま、ヘッド搭載空気軸受面4が支持すべき荷重
を低減することができる。When the partial pressure air bearing surface 2 shown in FIG. 1 is provided at the center of the slider, when the load point of the suspension is maintained substantially at the center of the slider body 1A without moving, the positive pressure increase and the negative The balance of the moment in the slider pitch direction is not significantly impaired with the pressure drop. Therefore, it is possible to reduce the load to be supported by the head-mounted air bearing surface 4 while suppressing an increase in the pitch angle in the normal posture.
【0066】このように、本第1の実施形態では接触面
圧を増大させること無く接触荷重を低減可能であるた
め、耐摩耗特性に優れた摺動型磁気ヘッドスライダを得
ることが可能となる。また、その面積を変更すること
で、接触面積を大幅に変更することなく、接触荷重の調
整を行うことが可能となる。As described above, in the first embodiment, since the contact load can be reduced without increasing the contact surface pressure, it is possible to obtain a sliding magnetic head slider having excellent wear resistance. . Further, by changing the area, the contact load can be adjusted without significantly changing the contact area.
【0067】(第2の実施の形態)図2に、本発明の第
2の実施形態を示す。この図2に示す第2の実施形態
は、前述した図1の実施形態において、第1の空気軸受
面3の軸受面横設部3Aを左右に分断する切り溝3Dを
設け、これによって、リーディングリセス11の中央部
を主リセス面6に連通した点に特徴を備えている。その
他の構成は前述した図1の場合と同一となっている。(Second Embodiment) FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. The second embodiment shown in FIG. 2 is different from the above-described embodiment of FIG. 1 in that a cutting groove 3D is provided to divide the horizontal bearing surface portion 3A of the first air bearing surface 3 into left and right, thereby leading It is characterized in that the central portion of the recess 11 communicates with the main recess surface 6. Other configurations are the same as those in FIG. 1 described above.
【0068】このようにしても、前述した図1の実施形
態と同様の作用効果を有するほか、更に、スライダ本体
1Aの空気流入側における正圧発生面の面積が少なくな
るなり、このため、正圧の発生が幾分抑制され、その分
だけスライダ本体1Aのピッチ角の増大が確実に抑制さ
れる。同時に、ピッチ角の媒体周速に対する依存性を抑
制することが可能になる。従って、磁気ディスク(磁気
記録媒体)の全周にわたって、第2の空気軸受面4の接
触面積を一定に保つことが可能となり、円滑な動作が安
定して継続されることとなる。In this case, in addition to having the same function and effect as the embodiment of FIG. 1 described above, the area of the positive pressure generating surface on the air inflow side of the slider body 1A is further reduced, so that the positive pressure is reduced. The generation of pressure is somewhat suppressed, and the increase in the pitch angle of the slider main body 1A is correspondingly suppressed. At the same time, the dependency of the pitch angle on the peripheral speed of the medium can be suppressed. Therefore, the contact area of the second air bearing surface 4 can be kept constant over the entire circumference of the magnetic disk (magnetic recording medium), and smooth operation can be stably continued.
【0069】(第3の実施の形態)図3に、本発明の第
3の実施形態を示す。この図3に示す第3の実施形態
は、前述した図1の実施形態において装備した分圧空気
軸受面2を、分割用の切り溝2aによって図3に示すよ
うに左右対称に二分割して分圧空気軸受面2A,2Bと
した点に特徴を備えている。その他の構成は前述した図
1に示す第1の実施形態と同一となっている。(Third Embodiment) FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. In the third embodiment shown in FIG. 3, the divided pressure air bearing surface 2 provided in the above-described embodiment of FIG. 1 is divided into two symmetrically by cutting grooves 2a as shown in FIG. The feature is that the partial pressure air bearing surfaces 2A and 2B are provided. Other configurations are the same as those of the above-described first embodiment shown in FIG.
【0070】ところで、空気軸受面に発生する正圧力
は、空気流入側より空気流出側の方が高くなることが知
られている。磁気ディスク装置の場合、多くの位置決め
アクチュエータはロータリ型を採用しているため、ヨー
角(Yaw角),即ち空気流方向とスライダの長手方向
とのなす角は、スライダ本体1Aが移動する磁気記憶媒
体の半径に沿って変化する。このとき、ヨー角がゼロの
場合は、分圧空気軸受面2A,2Bが分割されていなく
ても、高圧発生領域は左右対称であるためヘッド搭載空
気軸受面3の媒体接触部分は左右対称に一定面積だけ確
保される。Incidentally, it is known that the positive pressure generated on the air bearing surface is higher on the air outflow side than on the air inflow side. In the case of a magnetic disk drive, since many positioning actuators adopt a rotary type, the yaw angle (Yaw angle), that is, the angle between the airflow direction and the longitudinal direction of the slider is determined by the magnetic storage device in which the slider body 1A moves. It varies along the radius of the medium. At this time, when the yaw angle is zero, even if the partial pressure air bearing surfaces 2A and 2B are not divided, the high pressure generation region is symmetrical and the medium contact portion of the head mounted air bearing surface 3 is symmetrical. Only a certain area is secured.
【0071】一方、ヨー角が形成された場合、図1に示
す一枚板のような分圧空気軸受面5の形状の場合には、
スライダ本体1Aに所定の傾きが生じた際に高圧発生部
分が空気流出側のどちらかのエッジ側に偏ってしまう恐
れがあり、スライダ本体1Aがローリングし易い。On the other hand, when the yaw angle is formed, when the partial pressure air bearing surface 5 has a shape like a single plate shown in FIG.
When the slider main body 1A is inclined at a predetermined angle, the high-pressure generating portion may be biased toward one of the air outflow side edges, and the slider main body 1A easily rolls.
【0072】そして、このスライダ本体1Aがローリン
グすると、ヘッド搭載空気軸受面3の空気流出側のいず
れかのエッジ側に媒体との接触位置が偏るため、接触面
積の低下および面圧の増加が生じて摩耗特性を悪化させ
る。同時に、スライダ本体1Aがローリングすることに
より、磁気ヘッドと媒体間の距離も増加し、所定の記録
密度を維持できなくなる。When the slider body 1A rolls, the position of contact with the medium is biased to one of the edges of the air bearing surface 3 on the air outflow side, so that the contact area decreases and the surface pressure increases. Deteriorates wear characteristics. At the same time, when the slider body 1A rolls, the distance between the magnetic head and the medium also increases, so that a predetermined recording density cannot be maintained.
【0073】これに対して、図3に示す様に左右に分割
された分圧空気軸受面2A,2Bを備えることによっ
て、高圧発生領域の偏りは各分圧空気軸受面2A,2B
の同方向のエッジに生じるため、全体としての正圧力分
布の偏りを低減することができ、このため、前述した摩
耗特性の悪化、および磁気ヘッドと磁気記憶媒体との間
に設定される距離の増加を確実に抑制することができ
る。On the other hand, by providing the partial pressure air bearing surfaces 2A, 2B divided into right and left as shown in FIG. 3, the bias of the high pressure generation region is reduced by the partial pressure air bearing surfaces 2A, 2B.
Of the positive pressure distribution as a whole, it is possible to reduce the bias of the positive pressure distribution as a whole, thereby deteriorating the wear characteristics described above and reducing the distance set between the magnetic head and the magnetic storage medium. The increase can be reliably suppressed.
【0074】ここで、この実施形態では、分圧空気軸受
面を二分割して分圧空気軸受面2A,2Bとした場合を
例示したが、三つに分割してもよい。また、空気力学的
に左右のバランスが保持されるのであれば、分圧空気軸
受面の分割は左右対称でなくてもよい。Here, in this embodiment, the case where the partial pressure air bearing surface is divided into two to form the partial pressure air bearing surfaces 2A and 2B is illustrated, but it may be divided into three. In addition, if the left and right balance is maintained aerodynamically, the division of the partial pressure air bearing surface need not be symmetrical.
【0075】(第4の実施の形態)図4に、本発明の第
4の実施形態を示す。この図4に示す第4の実施形態
は、前述した図3の実施形態において、第1の空気軸受
面3の軸受面横設部3Aを左右に分断する切り溝3Dを
設け、これによって、リーディングリセス11の中央部
を主リセス面6に連通した点に特徴を備えている。その
他の構成は前述した図3の場合と同一となっている。(Fourth Embodiment) FIG. 4 shows a fourth embodiment of the present invention. The fourth embodiment shown in FIG. 4 is different from the above-described embodiment of FIG. 3 in that a cutting groove 3D is provided which divides the horizontal bearing surface portion 3A of the first air bearing surface 3 into left and right portions. It is characterized in that the central portion of the recess 11 communicates with the main recess surface 6. Other configurations are the same as those in FIG. 3 described above.
【0076】このようにしても、前述した図3の実施形
態と同様の作用効果を有するほか、更に、スライダ本体
1Aの空気流入側における正圧発生面の面積が少なくな
るなり、このため、正圧の発生が幾分抑制され、その分
だけスライダ本体1Aのピッチ角の増大が確実に抑制さ
れる。同時に、ピッチ角の媒体周速に対する依存性を抑
制することが可能になる。In this case, in addition to having the same operation and effect as the embodiment of FIG. 3 described above, the area of the positive pressure generating surface on the air inflow side of the slider body 1A is further reduced. The generation of pressure is somewhat suppressed, and the increase in the pitch angle of the slider main body 1A is correspondingly suppressed. At the same time, the dependency of the pitch angle on the peripheral speed of the medium can be suppressed.
【0077】従って、磁気ディスク(磁気記録媒体)の
全周にわたって、第2の空気軸受面4の接触面積を一定
に保つことが可能となり、円滑な動作が安定して継続さ
れることとなる。即ち、この第4の実施形態によると、
前述した第2の実施形態と第3の実施形態が備えている
利点を両方備えたものを得ることができる。Therefore, the contact area of the second air bearing surface 4 can be kept constant over the entire circumference of the magnetic disk (magnetic recording medium), and smooth operation can be stably continued. That is, according to the fourth embodiment,
It is possible to obtain an apparatus having both the advantages of the second and third embodiments.
【0078】(第5の実施の形態)図5に、本発明の第
5の実施形態を示す。この図5に示す第5の実施形態
は、前述した図1に示す第1の実施形態において、分圧
空気軸受面2に代えて四分割された分圧空気軸受面2
a,2b,2c,2dを枡目状に装備した点に特徴を備
えている。符号2E,2Fはそれぞれ四分割用の切り溝
を示す。その他の構成は前述した図1に示す第1の実施
形態と同一となっている。(Fifth Embodiment) FIG. 5 shows a fifth embodiment of the present invention. The fifth embodiment shown in FIG. 5 is different from the first embodiment shown in FIG. 1 in that the divided air bearing surface 2 is divided into four parts instead of the divided air bearing surface 2.
The feature is that a, 2b, 2c, and 2d are provided in a grid pattern. Reference numerals 2E and 2F indicate kerfs for four divisions, respectively. Other configurations are the same as those of the above-described first embodiment shown in FIG.
【0079】このようにしても、前述した図1の実施形
態の場合と同等の作用効果を有するほか、更に、ヨー角
の角変動に際して僅かなローリングが生じても四分割さ
れた分圧空気軸受面2a,2b,2c,2dの相互間に
溝によって圧力差を逃げることができ、このため自然に
矯正されてより安定した状態で正圧分布の偏りを防止す
ることができるという利点がある。In this case, the same operation and effect as those of the embodiment shown in FIG. 1 can be obtained. In addition, even if a slight rolling occurs due to the yaw angle fluctuation, the divided pressure air bearing is divided into four parts. There is an advantage that the pressure difference can be escaped by the groove between the surfaces 2a, 2b, 2c, and 2d, so that the bias of the positive pressure distribution can be prevented in a more stable state that is naturally corrected.
【0080】ここで、この実施形態では、分圧空気軸受
面を四分割して分圧空気軸受面2a,2b,2c,2d
とした場合を例示したが、5つ以上に分割してもよい。
また、空気力学的に左右のバランスが保持されるのであ
れば、この分圧空気軸受面の分割は左右対称でなくても
よい。In this embodiment, the divided pressure air bearing surface is divided into four parts to divide the divided pressure air bearing surfaces 2a, 2b, 2c, 2d.
Although the above example is described, it may be divided into five or more.
If the left and right balance is maintained aerodynamically, the division of the partial pressure air bearing surface need not be symmetrical.
【0081】(第6の実施の形態)図6に、本発明の第
6の実施形態を示す。この図6に示す第6の実施形態
は、前述した図2に示す第2の実施形態において、分圧
空気軸受面2に代えて四分割された分圧空気軸受面2
a,2b,2c,2dを枡目状に装備した点に特徴を備
えている。その他の構成は前述した図2に示す第2の実
施形態と同一となっている。(Sixth Embodiment) FIG. 6 shows a sixth embodiment of the present invention. The sixth embodiment shown in FIG. 6 differs from the second embodiment shown in FIG. 2 in that the divided air bearing surface 2 is divided into four parts instead of the divided air bearing surface 2.
The feature is that a, 2b, 2c, and 2d are provided in a grid pattern. Other configurations are the same as those of the above-described second embodiment shown in FIG.
【0082】このようにしても、前述した図2の実施形
態の場合と同等の作用効果を有するほか、更に、ヨー角
の角変動に際して僅かなローリングが生じても四分割さ
れた分圧空気軸受面2a,2b,2c,2dの相互間に
溝によって圧力差を逃げることができ、このため自然に
矯正されてより安定した状態で正圧分布の偏りを防止す
ることができるという利点がある。即ち、この第6の実
施形態によると、前述した第2の実施形態と第5の実施
形態が備えている利点を両方備えたものを得ることがで
きる。In this case, the same operation and effect as those of the embodiment shown in FIG. 2 can be obtained. In addition, even if a slight rolling occurs due to the yaw angle change, the divided air bearing is divided into four parts. There is an advantage that the pressure difference can be escaped by the groove between the surfaces 2a, 2b, 2c, and 2d, so that the bias of the positive pressure distribution can be prevented in a more stable state that is naturally corrected. That is, according to the sixth embodiment, it is possible to obtain the one having both the advantages of the second and fifth embodiments.
【0083】(第7の実施の形態)図7に、本発明の第
7の実施形態を示す。この図7に示す第7の実施形態
は、前述した図2に示す第2の実施形態において、分圧
空気軸受面2の周りに深さ1〔μm〕以下の環状凹部と
しての分圧リセス2Eを設けた点に特徴を備えている。
その他の構成は前述した図2に示す第2の実施形態と同
一となっている。(Seventh Embodiment) FIG. 7 shows a seventh embodiment of the present invention. The seventh embodiment shown in FIG. 7 is different from the second embodiment shown in FIG. 2 in that the partial pressure recess 2E as an annular recess having a depth of 1 [μm] or less around the partial pressure air bearing surface 2. The feature is that the point provided.
Other configurations are the same as those of the above-described second embodiment shown in FIG.
【0084】この分圧リセス2Eは、基本的には前述し
た図2内に開示したリーディングリセス11と同様の作
用効果を有し、定常浮上状態では空気流を効率的に圧縮
して十分なくさび効果をもたらすと共に、圧力変化率に
際しては当該分圧リセス2Eの溝内に空気の流れを形成
して当該圧力変化を低減する作用をなし、これがため動
作の安定を確保することができる。This partial pressure recess 2E has basically the same operation and effect as the leading recess 11 disclosed in FIG. 2 described above, and in a steady floating state, compresses the air flow efficiently and produces a sufficient wedge. In addition to the effect, at the time of the pressure change rate, an action of reducing the pressure change by forming a flow of air in the groove of the partial pressure recess 2E is performed, so that stable operation can be ensured.
【0085】また、動作が安定している分、装置起動時
における浮上速度を高める効果も期待することができ、
耐CSS特性に優れた摺動型磁気ヘッドスライダを得る
ことができる。Further, since the operation is stable, the effect of increasing the flying speed at the time of starting the apparatus can be expected.
A sliding magnetic head slider having excellent CSS resistance can be obtained.
【0086】ここで、この第7の実施形態では、第1の
空気軸受面3の軸受面横設部3Aを左右に分断する切り
溝3Dを設け、これによって、リーディングリセス11
の中央部を主リセス面6に連通した場合を例示したが、
切り溝3Dは特に設けなくてもよい。このようにする
と、前述した図1に示す実施形態と同様に、ヨー角を適
度に増加させることができ、始動時および停止時の動作
の安定度を増すことができて都合がよい。Here, in the seventh embodiment, a cutting groove 3D is provided to divide the bearing surface lateral portion 3A of the first air bearing surface 3 left and right.
The case where the central part of is communicated with the main recessed surface 6 is illustrated,
The cut groove 3D does not need to be particularly provided. In this manner, similarly to the embodiment shown in FIG. 1 described above, the yaw angle can be appropriately increased, and the stability of the operation at the time of starting and stopping can be advantageously increased.
【0087】(第8の実施の形態)図8に、本発明の第
8の実施形態を示す。この図8に示す第8の実施形態
は、前述した図2に示す第2の実施形態において、各分
圧空気軸受面2A,2Bの周りに、前述した図7におけ
る分圧リセスと同等の深さ1〔μm〕以下の分圧リセス
2Ea,2Ebを設けた点に特徴を備えている。その他
の構成は前述した図2に示す第2の実施形態と同一とな
っている。(Eighth Embodiment) FIG. 8 shows an eighth embodiment of the present invention. The eighth embodiment shown in FIG. 8 differs from the second embodiment shown in FIG. 2 in that a depth equivalent to that of the above-described partial pressure recess in FIG. 7 is provided around each of the partial pressure air bearing surfaces 2A and 2B. It is characterized in that partial pressure recesses 2Ea and 2Eb of 1 [μm] or less are provided. Other configurations are the same as those of the above-described second embodiment shown in FIG.
【0088】このようにしても、前述した図2に示す第
2の実施形態と同等の作用効果を有するほか、更に、前
述した図7に示す第7の実施形態と同等の作用効果を有
する摺動型磁気ヘッドスライダを得ることができる。即
ち、この第8の実施の形態によると、前述した第2の実
施形態と第5の実施形態が備えている利点を両方備えた
摺動型磁気ヘッドスライダを得ることができる。In this case, in addition to having the same operation and effect as the above-described second embodiment shown in FIG. 2, the slide having the same operation and effect as the above-described seventh embodiment shown in FIG. A dynamic magnetic head slider can be obtained. That is, according to the eighth embodiment, it is possible to obtain a sliding magnetic head slider having both the advantages of the second and fifth embodiments described above.
【0089】ここで、この第8の実施形態では、第1の
空気軸受面3の軸受面横設部3Aを左右に分断する切り
溝3Dを設け、これによって、リーディングリセス11
の中央部を主リセス面6に連通した場合を例示したが、
切り溝3Dは特に設けなくてもよい。このようにする
と、前述した図2に示す実施形態と同様にヨー角を適度
に増加させることができ、始動時および停止時の動作の
安定度を増すことができて都合がよい。Here, in the eighth embodiment, a kerf 3D is provided to divide the laterally extending bearing surface portion 3A of the first air bearing surface 3 into left and right portions.
The case where the central part of is communicated with the main recessed surface 6 is illustrated,
The cut groove 3D does not need to be particularly provided. In this manner, similarly to the embodiment shown in FIG. 2 described above, the yaw angle can be appropriately increased, and the stability of the operation at the time of starting and stopping can be advantageously increased.
【0090】(第9の実施の形態)図9に、本発明の第
9の実施形態を示す。この図9に示す第9の実施形態で
は、前述した図2に示す第2の実施形態において開示し
た分圧空気軸受面2および第1の空気軸受面3を、前述
した第2の空気軸受面4の下流側の左右立ち上がり部と
スライダ本体1Aの両側面中央部とを個別に結ぶ直線L
1 ,L2 の内側に配設した点に構造上の特徴を備え
ている。その他の構成は、前述した図2の実施形態と同
一となっている。(Ninth Embodiment) FIG. 9 shows a ninth embodiment of the present invention. In the ninth embodiment shown in FIG. 9, the partial pressure air bearing surface 2 and the first air bearing surface 3 disclosed in the second embodiment shown in FIG. 2 are replaced with the second air bearing surface described above. 4 is a straight line L connecting the left and right rising portions on the downstream side of FIG.
1, L2 has a structural feature at a point disposed inside. Other configurations are the same as those in the embodiment of FIG. 2 described above.
【0091】ここで、センターパッド型スライダのロー
ル運動の特性について説明すると、センターパッド型ス
ライダは、2レール型に対して左右に配される空気軸受
面積小さいため、ロール方向の剛性が低く、ロール運動
の回転軸がスライダ中心軸回りではなく、おおよそスラ
イダ空気流入端の両側と磁気ヘッド位置を結ぶ直線を軸
に回転する傾向にある。Here, the characteristics of the roll motion of the center pad type slider will be described. The center pad type slider has a small air bearing area disposed on the left and right sides of the two-rail type, so the rigidity in the roll direction is low, and The rotation axis of the movement tends to rotate not about the center axis of the slider but about a straight line connecting both sides of the slider air inflow end and the position of the magnetic head.
【0092】通常の装置動作時にこのロール方向振動が
生じるのは主にシーク動作中であり、更に問題となるの
はシーク中では見かけのヨー角が増減し、浮上量が小さ
くなる場合がある。その時、前述した回転軸の外側に空
気軸受面部分(ここでは第1の空気軸受面3)が存在す
るとその部分が媒体に接触する可能性が高くなる。The roll direction vibration is generated during the normal operation of the apparatus mainly during the seek operation. Further, during the seek operation, the apparent yaw angle increases and decreases, and the flying height may decrease. At that time, if an air bearing surface portion (here, the first air bearing surface 3) exists outside the above-described rotating shaft, the possibility that the portion comes into contact with the medium increases.
【0093】この第9の実施形態では、かかる不都合を
改善することを意図したものであって、実効上のロール
回転軸よりも内側に空気軸受面を配するようにし(又ロ
ール回転軸より外に空気軸受面を設ける必要がある場合
はできうる限り浅くリセスするようにし)、これによっ
て信頼性の高いヘッド媒体インタフェースを備えた摺動
型磁気ヘッドスライダを得るようにした。The ninth embodiment is intended to remedy such inconvenience, and the air bearing surface is arranged inside the effective roll rotation shaft (and outside the roll rotation shaft). If it is necessary to provide an air bearing surface, the recess should be made as shallow as possible), thereby obtaining a sliding magnetic head slider having a highly reliable head medium interface.
【0094】尚、この分圧空気軸受面2および第1の空
気軸受面3を、前述した第2の空気軸受面4の下流側の
左右立ち上がり部とスライダ本体1Aの両側面中央部と
を個別に結ぶ直線L1 ,L2 の内側に配設する、と
いう構造を、本実施形態では前述した図2の実施形態に
ついて実施した場合を例示したが、これを他の実施形態
(図1,図3乃至図8の各実施形態)にそれぞれ適用し
てもよい。The partial pressure air bearing surface 2 and the first air bearing surface 3 are separately provided at the left and right rising portions on the downstream side of the second air bearing surface 4 and at the center of both side surfaces of the slider body 1A. In this embodiment, the structure in which the structure is arranged inside the straight lines L1 and L2 connected to the first embodiment is exemplified in the embodiment of FIG. 2 described above. Each of the embodiments shown in FIG. 8) may be applied.
【0095】(第10の実施の形態)図10に、本発明
の第10の実施形態を示す。この図10に示す第10の
実施形態では、前述した図9に示す第9の実施形態にお
いて、前述した図9の実施形態において装備した分圧空
気軸受面2を、分割用の切り溝2aによって図10に示
すように左右に二分割して分圧空気軸受面2A,2Bと
した点に特徴を備えている。その他の構成は前述した図
9に示す第9の実施形態と同一となっている。(Tenth Embodiment) FIG. 10 shows a tenth embodiment of the present invention. In the tenth embodiment shown in FIG. 10, in the ninth embodiment shown in FIG. 9, the partial pressure air bearing surface 2 provided in the embodiment shown in FIG. As shown in FIG. 10, it is characterized in that it is divided into two parts, left and right, to form divided pressure air bearing surfaces 2A and 2B. Other configurations are the same as those of the ninth embodiment shown in FIG.
【0096】この図10に示す第10の実施形態は、前
述した図9に示す実施形態の主要部、即ち、分圧空気軸
受面2および第1の空気軸受面3を、第2の空気軸受面
4の下流側の左右立ち上がり部とスライダ本体1Aの両
側面中央部とを個別に結ぶ直線L1 ,L2 の内側に
配設する、という技術的思想を、前述した図4に示す第
4の実施形態について実施した場合を示すものである。
このようにしても、前述した図9の第9の実施形態と同
様の作用効果を有するほか、更に、図4に示す実施形態
の作用効果をも兼ね備えたものを得ることができる。In the tenth embodiment shown in FIG. 10, the main parts of the embodiment shown in FIG. 9, that is, the partial pressure air bearing surface 2 and the first air bearing surface 3 are replaced with the second air bearing. The technical idea of disposing inside the straight lines L1 and L2 respectively connecting the left and right rising portions on the downstream side of the surface 4 and the center portions on both side surfaces of the slider body 1A is shown in the above-described fourth embodiment shown in FIG. It shows a case where the embodiment is implemented.
In this case, in addition to the same operation and effect as the ninth embodiment in FIG. 9 described above, it is possible to obtain the one having the operation and effect of the embodiment shown in FIG.
【0097】(第11の実施の形態)図11に、本発明
の第11の実施形態を示す。この図11に示す第11の
実施形態では、前述した図2に示す第2の実施形態にお
いて、空気流出端側の主リセス面6内の下流側の両端角
部に、深さ1(μm)以下のリセスされた四角形状のリ
セスパッド12A,12Bを設けた点に特徴を備えてい
る。その他の構成は、前述した図2に示す第2の実施形
態と同一となっている。(Eleventh Embodiment) FIG. 11 shows an eleventh embodiment of the present invention. In the eleventh embodiment shown in FIG. 11, in the second embodiment shown in FIG. 2 described above, a depth 1 (μm) is provided at both corners on the downstream side in the main recess surface 6 on the air outflow end side. It is characterized in that the following recessed rectangular recess pads 12A and 12B are provided. Other configurations are the same as those of the above-described second embodiment shown in FIG.
【0098】このリセスパッド12A,12Bを設ける
と、特に衝撃跳躍時あるいはヘッドのロードアンロード
時にその効果を発揮する。これを更に説明すると、ま
ず、通常センターパッド型スライダは、2レール型に対
して左右に配される空気軸受の面積が小さいためロール
方向の剛性低く、且つ前述したようにロールの回転軸が
スライダ中心軸回りではなく、スライダ空気流入端の両
側と磁気ヘッド位置を結ぶ直線を軸に回転する傾向にあ
る。When the recess pads 12A and 12B are provided, the effect is exerted particularly at the time of impact jump or when the head is unloaded. More specifically, first, the center pad type slider usually has low rigidity in the roll direction due to the small area of the air bearings arranged on the left and right sides of the two-rail type, and the roll rotation axis is the slider as described above. Instead of rotating around the center axis, the magnetic head tends to rotate about a straight line connecting both sides of the slider air inflow end and the position of the magnetic head.
【0099】一方、衝撃跳躍時及びロードアンロード時
においては、十分な空気膜が形成されていないためロー
ル剛性はさらに弱くなっている。このとき、前述した図
1又は図2に示すような形状の場合、空気流出端の両側
に空気軸受面がないため、ロールした状態でスライダが
媒体に近づくと、有効な空気膜のダンピング効果が得ら
れないため、スライダのエッジにて媒体と接触する可能
性が高くなる。On the other hand, at the time of impact jump and at the time of unloading, the roll stiffness is further weakened because a sufficient air film is not formed. At this time, in the case of the shape as shown in FIG. 1 or FIG. 2 described above, since there is no air bearing surface on both sides of the air outflow end, when the slider approaches the medium in a rolled state, an effective air film damping effect is obtained. Since it cannot be obtained, the possibility of contact with the medium at the edge of the slider increases.
【0100】これに対して、リセスパッド12A,12
Bを設けると、定常回転時ではリセスされているため正
圧力は小さく、このため磁気記憶媒体とはほとんど接触
せず、衝撃跳躍時やロード/アンロード時のスライダロ
ール状態での媒体表面の接近状態の場合のみ空気軸受面
として働くため、空気膜のダンピング効果を得やすく、
スライダエッジでの媒体接触を避けることが可能となっ
て信頼性の高いヘッド媒体インターフェスを得ることが
できる。On the other hand, the recess pads 12A, 12A
When B is provided, the positive pressure is small due to the recess at the time of steady rotation, so that it hardly comes into contact with the magnetic storage medium, and the approach of the medium surface in the state of the slider roll at the time of impact jump or load / unload. Only in the state, it works as an air bearing surface, so it is easy to obtain the damping effect of the air film,
Media contact at the slider edge can be avoided, and a highly reliable head medium interface can be obtained.
【0101】ここで、上記リセスパッド12A,12B
については、前述した図2の実施形態以外の他の実施形
態にそっくりしのまま適用しても、これと同等の作用効
果を得ることができる。また、このリセスパッド12
A,12Bに形状については、必ずしも四角形状に限定
するものではなく、円形状であっても又その他の形状で
あってもよい。Here, the recess pads 12A, 12B
Can be applied to other embodiments other than the embodiment of FIG. 2 as described above, and the same operation and effect can be obtained. Also, the recess pad 12
The shape of A and 12B is not necessarily limited to a square shape, but may be a circular shape or another shape.
【0102】(第12の実施の形態)図12に、本発明
の第12の実施形態を示す。この図12に示す第12の
実施形態は、前述した図4における第4の実施形態にお
いて、第2の空気軸受面4の両側に近い一で且つ当該第
2の空気軸受面4の上流側(図12に上方向)に偏った
位置に、前述した図11におけるリセスパッド12A,
12Bと同等の断面凹状で深さを1(μm)以下のリセ
スパッド13A,13Bを左右対称に装備した点に特徴
を備えている。その他の構成は前述した図4における第
4の実施形態と同一となっている。(Twelfth Embodiment) FIG. 12 shows a twelfth embodiment of the present invention. The twelfth embodiment shown in FIG. 12 is different from the fourth embodiment in FIG. 4 described above in that it is close to both sides of the second air bearing surface 4 and upstream of the second air bearing surface 4 ( The recess pad 12A in FIG.
It is characterized in that recessed pads 13A and 13B having a recessed section equivalent to that of 12B and having a depth of 1 (μm) or less are provided symmetrically. Other configurations are the same as those of the above-described fourth embodiment in FIG.
【0103】このようにすると、前述した図4における
第4の実施形態と同等の作用効果を有するほか、更に、
前述した図11における第11の実施形態が備えている
作用効果をも備えたものとなっている。ここで、上記リ
セスパッド13A,13Bについては、前述した図4の
実施形態以外の他の実施形態にそっくりしのまま適用し
ても、これと同等の作用効果を得ることができる。With this arrangement, the same operation and effect as those of the fourth embodiment shown in FIG. 4 can be obtained.
It also has the functions and effects of the eleventh embodiment in FIG. 11 described above. Here, even if the recess pads 13A and 13B are applied to the other embodiments other than the embodiment of FIG.
【0104】[0104]
【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、これを磁気ディスク装置に装備し
且つサスペンションによる押圧荷重を従来の高荷重とし
た場合であっても、分圧空気軸受面の作用により磁気記
憶媒体(磁気ディスク)に対する接触荷重を有効に抑制
することができ、且つ磁気記憶媒体に対する摩擦・摩耗
を有効に抑制することができ、同時に耐久性を向上させ
ることも可能となり、これを装備した磁気ヘッド装置全
体の耐衝撃性および信頼性の向上をも図り得るという従
来にない優れた摺動型磁気ヘッドスライダを提供するこ
とができる。Since the present invention is constructed and functions as described above, according to the present invention, even if the magnetic disk drive is equipped with the same and the load applied by the suspension is a conventional high load, the partial pressure By the action of the air bearing surface, the contact load on the magnetic storage medium (magnetic disk) can be effectively suppressed, and the friction and wear on the magnetic storage medium can be effectively suppressed, and at the same time, the durability can be improved. Thus, it is possible to provide an unprecedented excellent sliding magnetic head slider capable of improving the shock resistance and reliability of the entire magnetic head device equipped with the slider.
【図1】 本発明の第1の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding type magnetic head slider according to a first embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の第2の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding type magnetic head slider according to a second embodiment of the present invention.
【図3】 本発明の第3の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to a third embodiment of the present invention.
【図4】 本発明の第4の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to a fourth embodiment of the present invention.
【図5】 本発明の第5の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to a fifth embodiment of the present invention.
【図6】 本発明の第6の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to a sixth embodiment of the present invention.
【図7】 本発明の第7の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to a seventh embodiment of the present invention.
【図8】 本発明の第8の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to an eighth embodiment of the present invention.
【図9】 本発明の第9の実施形態である摺動型磁気ヘ
ッドスライダのディスク対向面を示す構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to a ninth embodiment of the present invention.
【図10】 本発明の第10の実施形態である摺動型磁
気ヘッドスライダのディスク対向面を示す構成図であ
る。FIG. 10 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to a tenth embodiment of the present invention.
【図11】 本発明の第11の実施形態である摺動型磁
気ヘッドスライダのディスク対向面を示す構成図であ
る。FIG. 11 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to an eleventh embodiment of the present invention.
【図12】 本発明の第12の実施形態である摺動型磁
気ヘッドスライダのディスク対向面を示す構成図であ
る。FIG. 12 is a configuration diagram showing a disk facing surface of a sliding magnetic head slider according to a twelfth embodiment of the present invention.
【図13】 従来例(浮上系負圧センターパッド型スラ
イダ)の空気軸受面の形状を示す概略説明図である。FIG. 13 is a schematic explanatory view showing a shape of an air bearing surface of a conventional example (a floating system negative pressure center pad type slider).
【図14】 摺動型磁気ヘッドスライダのスライダの浮
上姿勢を示す概略説明図である。FIG. 14 is a schematic explanatory view showing a flying attitude of the slider of the sliding magnetic head slider.
【図15】 摺動型磁気ヘッドスライダのスライダのロ
ール運動の方向及び浮上姿勢を示す概略説明図である。FIG. 15 is a schematic explanatory view showing the direction of the roll motion and the flying attitude of the slider of the sliding magnetic head slider.
1A スライダ本体 2A,2B,2a,2b,2c,2d 分圧空気軸受面 2C,2E,2F 切り溝 2E,2Ea,2Eb 環状凹部としての分圧リセス 3 第1の空気軸受面 4 第2の空気軸受面 5A 磁気ヘッド装着領域 6 主リセス面 11 切除部としてのリーディングリセス 12A,12B,13A,13B リセスパッド 1A Slider body 2A, 2B, 2a, 2b, 2c, 2d Partial pressure air bearing surface 2C, 2E, 2F Cut groove 2E, 2Ea, 2Eb Partial pressure recess as an annular recess 3 First air bearing surface 4 Second air Bearing surface 5A Magnetic head mounting area 6 Main recess surface 11 Leading recess 12A, 12B, 13A, 13B as a cutout recess pad
Claims (18)
イダ本体と、このスライダ本体の前記磁気記録媒体に対
向する対向面の空気流入側の端部に沿って設けられ且つ
その両端部が下流側に延設されて成る第1の空気軸受面
と、この第1の空気軸受面における前記空気流入側の端
部の角部に一様に形成された所定深さの切除部と、前記
対向面の空気流出側の端部中央に設けられた第2の空気
軸受面とを備え、この第2の空気軸受面の下流側の端部
に磁気ヘッド装着領域を備えてなる摺動型磁気ヘッドス
ライダにおいて、 前記スライダ本体の前記第1の空気軸受面で囲まれた主
リセス面の中央部に、所定の大きさの分圧空気軸受面を
設けたことを特徴とする摺動型磁気ヘッドスライダ。1. A slider main body disposed to face a magnetic recording medium, and both ends of the slider main body are provided along an air-inflow-side end of a surface of the slider main body facing the magnetic recording medium. A first air bearing surface extending downstream, a cutout portion having a predetermined depth uniformly formed at a corner of an end of the first air bearing surface on the air inflow side; A second air bearing surface provided at the center of the air outflow side end of the opposing surface, and a magnetic head mounting area at a downstream end of the second air bearing surface. In a head slider, a partial pressure air bearing surface having a predetermined size is provided at a central portion of a main recess surface surrounded by the first air bearing surface of the slider main body. Slider.
り溝を設けて当該分圧空気軸受面を、複数に分割したこ
とを特徴とする請求項1記載の摺動型磁気ヘッドスライ
ダ。2. The sliding type magnetic head slider according to claim 1, wherein a cut groove is provided on the partial pressure air bearing surface along the air flow to divide the partial pressure air bearing surface into a plurality. .
り溝を設けて当該分圧空気軸受面を、左右対称で且つ複
数に分割したことを特徴とする請求項1記載の摺動型磁
気ヘッドスライダ。3. The sliding device according to claim 1, wherein a cut groove is provided on the partial pressure air bearing surface along the air flow, and the partial pressure air bearing surface is bilaterally symmetric and divided into a plurality. Type magnetic head slider.
に沿った切り溝及びこれに直交する切り溝を設けて当該
分圧空気軸受面を左右対称に2分割したことを特徴とす
る請求項1記載の摺動型磁気ヘッドスライダ。4. The partial pressure air bearing surface is divided into two parts symmetrically by providing a cut groove along the air flow and a cut groove perpendicular to the cut groove at the center of the partial pressure air bearing surface. The sliding magnetic head slider according to claim 1.
に沿った切り溝及びこれに直交する切り溝を設けて当該
分圧空気軸受面を左右対称に四分割したことを特徴とす
る請求項1記載の摺動型磁気ヘッドスライダ。5. The partial pressure air bearing surface is divided into four parts symmetrically by providing a cut groove along the air flow and a cut groove orthogonal to the cut groove at the center of the partial pressure air bearing surface. The sliding magnetic head slider according to claim 1.
共に、前記分圧空気軸受面を四角形状に形成したことを
特徴とする請求項1,2,3,4又は5記載の摺動型磁
気ヘッドスライダ。6. The sliding type magnet according to claim 1, wherein said slider main body is formed in a square shape, and said partial pressure air bearing surface is formed in a square shape. Head slider.
軸受面で囲まれて成る領域内に配設したことを特徴とす
る請求項1,2,3,4,5又は6記載の摺動型磁気ヘ
ッドスライダ。7. The partial pressure air bearing surface is disposed in a region surrounded by the first air bearing surface. Sliding type magnetic head slider.
の空気軸受面と同等の高さに設定したことを特徴とする
請求項1,2,3,4,5,6又は7記載の摺動型磁気
ヘッドスライダ。8. The height of the partial pressure air bearing surface is set to the first
8. A sliding magnetic head slider according to claim 1, wherein the height is set to be equal to the height of the air bearing surface.
形成された切除部の深さを、前記第1の空気軸受面の高
さを基準として1〔μm〕以下に設定したことを特徴と
する請求項1,2,3,4,5,6,7又は8記載の摺
動型磁気ヘッドスライダ。9. A depth of a cut portion formed at an end of the slider body on an air inflow side is set to 1 μm or less based on a height of the first air bearing surface. The sliding magnetic head slider according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, or 8.
主リセス面に対する高さを、6〔μm〕以下に設定した
ことを特徴とする請求項1,2,3,4,5,6,7,
8又は9記載の摺動型磁気ヘッドスライダ。10. A height of the first and second air bearing surfaces with respect to the main recess surface is set to 6 μm or less. 6,7,
10. The sliding magnetic head slider according to 8 or 9.
面に、当該分圧空気軸受面を囲んで所定幅の環状凹溝を
設けたことを特徴とする請求項1,2,3,4,5,
6,7,8,9又は10記載の摺動型磁気ヘッドスライ
ダ。11. A main recess surface around the partial pressure air bearing surface is provided with an annular groove having a predetermined width surrounding the partial pressure air bearing surface. 4,5,
11. The sliding magnetic head slider according to 6, 7, 8, 9 or 10.
m〕以下に設定されていることを特徴とした請求項11
記載の摺動型磁気ヘッドスライダ。12. The annular groove has a depth of 1 μm.
m] The following is set:
A sliding magnetic head slider according to any of the preceding claims.
軸受面が、前記第2の空気軸受面の下流側の左右立ち上
がり部と前記スライダ本体の両側面中央部とを個別に結
ぶ直線の内側範囲内に配設されていることを特徴とした
請求項1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,1
1又は12記載の摺動型磁気ヘッドスライダ。13. The partial pressure air bearing surface and the first air bearing surface are straight lines that individually connect left and right rising portions on the downstream side of the second air bearing surface and central portions on both side surfaces of the slider body. 2. The method according to claim 1, wherein said first, second, third, fourth, fifth, sixth, seventh, eighth, ninth, tenth, and tenth parts are disposed within said inner area.
13. The sliding magnetic head slider according to 1 or 12.
流側の両端角部に、断面凹状で所定形状のリセスパッド
を左右対称位置に装備したことを特徴とする請求項1,
2,3,4,5,6,7,8,9,10,11,12又
は13記載の摺動型磁気ヘッドスライダ。14. The slider body according to claim 1, wherein recessed pads having a concave cross section and a predetermined shape are provided at left and right corners at both end corners on the downstream side of the facing surface of the slider body.
The sliding magnetic head slider according to 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, or 13.
軸受面の両端部で且つ当該第2の空気軸受面の上流側に
偏った位置に、断面凹状で所定形状のリセスパッドを左
右対称に装備したことを特徴とする請求項1,2,3,
4,5,6,7,8,9,10,11,12,13又は
14記載の摺動型磁気ヘッドスライダ。15. A recess pad having a concave cross section and a predetermined shape is provided symmetrically at both ends of the second air bearing surface of the slider body and at positions deviated upstream of the second air bearing surface. Claims 1, 2, 3,
A sliding magnetic head slider according to 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, or 14.
とを特徴とする請求項14,又は15記載の摺動型磁気
ヘッドスライダ。16. The sliding magnetic head slider according to claim 14, wherein said recess pad is formed in a square shape.
以下としたことを特徴とする請求項16記載の摺動型磁
気ヘッドスライダ。17. The recess pad has a depth of 1 μm.
17. The sliding type magnetic head slider according to claim 16, wherein:
気流入方向に沿って切り溝を設け、この切り溝を介して
前記切除部と対向面の一部である主リセス面とを連接し
たことを特徴とする請求項1,2,3,4,5,6,
7,8,9,10,11,12,13,14,15,1
6又は17記載の摺動型磁気ヘッドスライダ。18. A cut groove is provided at a central portion of the first air bearing surface along an air inflow direction, and the cut portion and a main recess surface which is a part of an opposing surface are formed through the cut groove. 4. The method according to claim 1, wherein the connection is made.
7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 1
18. The sliding magnetic head slider according to 6 or 17.
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