JP3317433B2 - ファンフィルタユニットの据付構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はファンフィルタユニ
ットの据付構造に係り、特にクリーンルームの天井部に
ファンフィルタユニットを据え付けるためのファンフィ
ルタユニットの据付構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場等のクリーンルームの天
井部には、複数台のファンフィルタユニットが敷設さ
れ、これらのファンフィルタユニットから清浄エアがク
リーンルーム内に供給される。ファンフィルタユニット
の据付構造は、断面が凸状に形成された所定長さの支持
フレームを、建屋の天井梁に吊りボルトによって垂設し
ながら格子状に組み付けることにより構築される。そし
て、ファンフィルタユニットは、前記支持フレームにそ
の周縁部が当たらないように斜めにした状態で格子状の
据付空間に挿入され、そしてファンフィルタユニットを
水平状態に戻した後、ファンフィルタユニットを降ろし
てファンフィルタユニットの下部周縁部を支持フレーム
の水平平坦部に載置することにより天井部に据え付けら
れる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ファンフィルタユニットの据付構造では、支持フレーム
が一体に形成されているため、ファンフィルタユニット
を斜めにした状態で据付空間に挿入しなければならない
という不具合が生じる。即ち、従来の据付構造ではファ
ンフィルタユニットを斜めにした分だけ、ファンフィル
タユニットの据付部からクリーンルーム建屋の天井面ま
での天井空間を大きく取らなければならないので天井空
間が不必要に大きくなり、クリーンルーム建屋が大構造
になるという欠点がある。

【０００４】また、天井の低い既存のクリーンルーム建
屋の場合には、前記天井空間を確保する分だけクリーン
ルームの作業空間が狭くなるという欠点がある。本発明
はこのような事情に鑑みてなされたもので、最小限の天
井空間でファンフィルタユニットを据え付けることがで
きるファンフィルタユニットの据付構造を提供すること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、複数台のファンフィルタユニットをクリーンル
ームの天井部に据え付けるためのファンフィルタユニッ
トの据付構造に於いて、各ファンフィルタユニットの側
壁部を包囲するように格子状に形成された天井フレーム
がクリーンルームの天井部に垂設され、前記天井フレー
ムの下面にファンフィルタユニットの下部周縁部が載置
される載置フレームが着脱自在に設けられ、前記天井フ
レームの下部取付部の内側には対向する一対の溝が形成
されるとともに、該一対の溝には長尺状のワッシャが挿
入され、該ワッシャに間隔を持って設けられた複数のボ
ルトが下方に突出し、該下方に突出した複数のボルトを
載置フレームの通し孔に挿通して締結することにより天
井フレームの下面と載置フレームの上面とが当接して連
結されることを特徴とする。

【０００６】本発明によれば、先ず、クリーンルームの
天井部に格子状の天井フレームを垂設し、そして、ファ
ンフィルタユニットを天井フレームの下方から据付状態
と同じ水平状態で持ち上げて天井フレームの格子状空間
部に挿入する。そして、天井フレームの下面に載置フレ
ームを取り付けた後、ファンフィルタユニットを降ろし
てファンフィルタユニットの下部周縁部を前記載置フレ
ームに載置する。これにより、本発明では、ファンフィ
ルタユニットの高さより僅かに高い天井空間があれば、
ファンフィルタユニットを据え付けることができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るファンフィルタユニットの据付構造の好ましい実施例
について詳説する。図１は、本発明に係るファンフィル
タユニットの据付構造が適用されたクリーンルームの室
内を示す説明図である。同図に示すクリーンルーム１０
は、天井部に多数のファンフィルタユニット１２、１２
…が密に敷設されており、このファンフィルタユニット
１２、１２…から清浄エアーがクリーンルーム１０内に
供給される。ファンフィルタユニット１２は、ユニット
本体が直方体状に形成され、その上面開口部にファンが
設けられている。ファンが駆動されると天井室内に供給
された外気及び循環気はユニット本体に吸引され、そし
て、ユニット本体に内蔵された空調機によって空調され
た後、ユニット本体の下面に取り付けられたＨＥＰＡフ
イルタを介してクリーンルーム１０に供給される。

【０００８】前記ファンフィルタユニット１２は図２に
示す本発明の据付構造である支持フレームによって天井
部に据え付けられる。前記支持フレームは、天井フレー
ム１４と載置フレーム１６とによって構成される。前記
天井フレーム１４は、多数本の縦フレーム１８と該縦フ
レーム１８よりも短めの横フレーム２０とを格子状に連
結することにより構築されると共に、吊りボルト２２に
よって図３に示すクリーンルーム建屋の天井梁２４に垂
設される。縦フレーム１８と横フレーム２０との連結構
造については後述する。

【０００９】前記縦フレーム１８及び横フレーム２０は
図３、図４に示すように両側面の長手方向中央部にくび
れ部２６が形成された断面略Ｉ形の金属フレームであ
り、その上部及び下部には断面凹状の取付部２８、３０
が形成されている。取付部２８の上端部には内側に折り
曲げられたフック部３２、３２が形成される。このフッ
ク部３２、３２の内側には、フック部３２、３２から抜
け出ない大きさの平板状のワッシャ３４が挿入され、ま
た、フック部３２、３２の外側には、フック部３２、３
２の外壁に摺接される爪３６、３６…が形成されたワッ
シャ３８が配置される。ワッシャ３４、３８はフック部
３２、３２を上下から挟むように配置されると共に、各
々の通し孔３４Ａ、３８Ａにナット４０を介して吊りボ
ルト２２が挿入される。そして、ワッシャ３４の下方か
ら図３に示すナット４２が吊りボルト２２に締結され
る。これにより、縦フレーム１８及び横フレーム２０が
天井部に垂設される。一方、前記取付部３０の内側には
一対の溝４４、４４が対向して形成される。前記溝４
４、４４には、ボルト４６、４６…が予め装着された長
尺状のワッシャ４８が挿入され、ワッシャ４８が溝４
４、４４に挿入されると、前記ボルト４６、４６…は図
３、図６に示すように取付部３０から下方に突出配置さ
れる。これらのボルト４６、４６は前述した載置フレー
ム１６を天井フレーム１４に連結するものである。天井
フレーム１４と載置フレーム１６との連結構造について
は後述する。

【００１０】前記載置フレーム１６は図２に示すよう
に、多数本の縦フレーム５０と該縦フレーム５０よりも
短めの横フレーム５２とを前記天井フレーム１４の下面
に連結することにより構築される。前記縦フレーム５０
及び横フレーム５２は図３、図４に示すように断面が逆
凹字形の金属フレームであり、その幅は天井フレーム１
４の幅よりも充分に広く形成されている。図４に示すよ
うに縦フレーム５０及び横フレーム５２の上面の長手方
向中央部には凸条部５４が形成され、凸条部５４には所
定の間隔で通し孔５４Ａ、５４Ａ…が形成される。この
通し孔５４Ａ、５４Ａ…は、載置フレーム１６の天井フ
レーム１４への連結時に前記ボルト４６、４６…を挿通
させるための孔である。即ち、通し孔５４Ａ、５４Ａ…
に挿通されたボルト４６、４６…に、図３に示すナット
５６、５６…を縦フレーム５０及び横フレーム５２の内
側から締結することにより載置フレーム１６が天井フレ
ーム１４に連結される。また、縦フレーム５０及び横フ
レーム５２の前記凸条部５４の両側には、水平平坦部５
８、５８が形成される。この水平平坦部５８、５８は図
３中二点鎖線で示すファンフィルタユニット１２の下部
周縁部１２Ａが載置される載置面である。

【００１１】縦フレーム５０及び横フレーム５２の下部
開放部には、室内照明用蛍光灯６０を支持したアンダー
カバー６２が前記下部開放部と面一に装着される。アン
ダーカバー６２の内側には、板バネ部材６４がネジ６６
によって固定され、板バネ部材６４の上端には、くの字
状の板バネ片６８、６８が形成されている。この板バネ
片６８、６８は、アンダーカバー６２の装着時に縦フレ
ーム５０及び横フレーム５２の内側に突出形成されたス
トッパー片７０、７０に係合し、アンダーカバー６２を
縦フレーム５０及び横フレーム５２に支持させるもので
ある。即ち、アンダーカバー６２を縦フレーム５０及び
横フレーム５２の下部開放部に押し付けていくと、前記
板バネ片６８、６８がストッパー片７０、７０に押され
て内側に弾性変形し、この状態で更に押し込むと板バネ
片６８、６８がストッパー片７０、７０を乗り越えて図
３に示すようにストッパー片７０、７０に係合する。こ
れにより、アンダーカバー６２が縦フレーム５０及び横
フレーム５２に装着される。また、装着後のアンダーカ
バー６２を下方に引っ張れば、板バネ片６８、６８がス
トッパー片７０、７０に押されて内側に弾性変形しスト
ッパー片７０、７０を乗り越えるので、アンダーカバー
６２を縦フレーム５０及び横フレーム５２から取り外す
ことができる。

【００１２】次に、天井フレーム１４の縦フレーム１８
と横フレーム２０との連結構造について説明する。図５
は天井フレーム１４の外周部以外の連結部分を示す縦フ
レーム１８と横フレーム２０との組立斜視図である。先
ず、吊りボルト２２、２２によって垂設された縦フレー
ム１８の両側面に２本の横フレーム２０、２０の端部を
それぞれ押し当てて、縦フレーム１８と横フレーム２
０、２０とを直交状態に保持する。この時、縦フレーム
１８のくびれ部２６に穿設された４個のボルト通し孔７
２Ａ、７２Ｂ、７２Ｃ、７２Ｄの通し孔７２Ｂと通し孔
７２Ｃの間に２本の横フレーム２０を押し当てる。次
に、Ｌ字状に形成された４個のワッシャ７４、７６、７
８、８０を用いて縦フレーム１８と横フレーム２０とを
連結する。

【００１３】即ち、ワッシャ７４のボルト通し孔７４
Ａ、及び前記ボルト通し孔７２Ａを介してボルト８２を
挿入し、このボルト８２をワッシャ７６のネジ孔７６Ａ
に締結する。次に、ワッシャ７６のボルト通し孔７６
Ｂ、及び前記ボルト通し孔７２Ｂを介してボルト８４を
挿入し、このボルト８４をワッシャ７４のネジ孔７４Ｂ
に締結する。次に、ワッシャ７８のボルト通し孔７８
Ａ、及び前記ボルト通し孔７２Ｄを介してボルト８６を
挿入し、このボルト８６をワッシャ８０のネジ孔８０Ａ
に締結する。次に、ワッシャ８０のボルト通し孔８０
Ｂ、及び前記ボルト通し孔７２Ｃを介してボルト８８を
挿入し、このボルト８８をワッシャ７８のネジ孔７８Ｂ
に締結する。これにより、４個のワッシャ７４〜８０が
縦フレーム１８に仮止めされる。

【００１４】そして、ワッシャ７４のボルト通し孔７４
Ｃ、及び図中左側の横フレーム２０に形成されたボルト
通し孔２０Ａを介してボルト９０を挿入し、このボルト
９０をワッシャ７８のネジ孔７８Ｃに締結する。次に、
ワッシャ７８のボルト通し孔７８Ｄ、及び前記横フレー
ム２０のボルト通し孔２０Ｂを介してボルト９２を挿入
し、このボルト９２をワッシャ７４のネジ孔７４Ｄに締
結する。これにより、図中左側の横フレーム２０が縦フ
レーム１８に連結される。次に、ワッシャ７６のボルト
通し孔７６Ｃ、及び図中右側の横フレーム２０に形成さ
れたボルト通し孔２０Ｃを介してボルト９４を挿入し、
このボルト９４をワッシャ８０のネジ孔８０Ｃに締結す
る。次に、ワッシャ８０のボルト通し孔８０Ｄ、及び前
記横フレーム２０のボルト通し孔２０Ｄを介してボルト
９６を挿入し、このボルト９６をワッシャ７６のネジ孔
７６Ｄに締結する。これにより、図中右側の横フレーム
２０が縦フレーム１８に連結される。

【００１５】また、縦フレーム１８、１８同士の連結は
図５に示すように、縦フレーム１８、１８の端部を押し
当てて、この押し当てた連結部分を２枚の平板ワッシャ
９８、１００で挟み付ける。そして、ワッシャ９８のボ
ルト通し孔９８Ａ、及び連結する方の縦フレーム１８に
形成されたボルト通し孔１８Ａを介してボルト１０２を
挿入し、このボルト１０２をワッシャ１００のネジ孔１
００Ａに締結する。次に、ワッシャ９８のボルト通し孔
９８Ｂ、及び前記縦フレーム１８のボルト通し孔１８Ｂ
を介してボルト１０４を挿入し、このボルト１０４をワ
ッシャ１００のネジ孔１００Ｂに締結する。次に、ワッ
シャ１００のボルト通し孔１００Ｃ、及び連結される方
の縦フレーム１８に形成されたボルト通し孔１８Ｃを介
してボルト１０６を挿入し、このボルト１０６をワッシ
ャ９８のネジ孔９８Ｃに締結する。次に、ワッシャ１０
０のボルト通し孔１００Ｄ、及び縦フレーム１８のボル
ト通し孔１８Ｄを介してボルト１０８を挿入し、このボ
ルト１０８をワッシャ９８のネジ孔９８Ｄに締結する。
これにより、縦フレーム１８、１８同士が連結される。

【００１６】このように縦フレーム１８と横フレーム２
０とを順次連結し、図２、図６に示す格子状の天井フレ
ーム１４を構築する。縦フレーム１８と横フレーム２０
とで画成される各矩形状空間１１０は、図６に示すよう
に水平状態のファンフィルタユニット１２の側壁部を包
囲する大きさに形成される。そして、天井フレーム１４
の下面に載置フレーム１６の縦フレーム５０と横フレー
ム５２とがボルト４６、４６…によって連結されると、
前記矩形状空間１１０の外縁部は図７に示すように、縦
フレーム５０と横フレーム５２との水平平坦部５８、５
８…によって額縁状に形成される。この額縁状の水平平
坦部５８、５８…にファンフィルタユニット１２の下部
周縁部１２Ａが載置される。これにより、ファンフィル
タユニット１２、１２…が矩形状空間部１１０、１１０
…内に据え付けられる。尚、縦フレーム１８、横フレー
ム２０の締結用に使用したボルト８２等は図８に示すよ
うに、締結時に縦フレーム１８及び横フレーム２０の取
付部２８、３０を結ぶ面２９から突出しない長さに形成
されている。

【００１７】図９は天井フレーム１４の外周部の連結部
分を示す縦フレーム１８と横フレームとの組立斜視図で
ある。先ず、吊りボルト２２、２２…によって垂設され
た縦フレーム１８の内側面に横フレーム２０の端部を押
し当てて、縦フレーム１８と横フレーム２０とをＴ字状
態に保持する。次に、平板状のワッシャ１１２とＬ字状
の２個のワッシャ１１４、１１６とを用いて連結する。

【００１８】即ち、ワッシャ１１２のボルト通し孔１１
２Ａ、及び縦フレーム１８のボルト通し孔７２Ａを介し
てボルト１１８を挿入し、このボルト１１８をワッシャ
１１４のネジ孔１１４Ａに締結する。次に、ワッシャ１
１２のボルト通し孔１１２Ｂ、及びボルト通し孔７２Ｂ
を介してボルト１２０を挿入し、このボルト１２０をワ
ッシャ１１４のネジ孔１１４Ｂに締結する。次に、ワッ
シャ１１２のボルト通し孔１１２ＣＡ、及びボルト通し
孔７２Ｃ（図５参照）を介してボルト１２２を挿入し、
このボルト１２２をワッシャ１１６のネジ孔１１６Ｃに
締結する。次に、ワッシャ１１２のボルト通し孔１１２
Ｄ、及びボルト通し孔７２Ｄ（図５参照）を介してボル
ト１２４を挿入し、このボルト１２４をワッシャ１１６
のネジ孔１１６Ｄに締結する。そして、ワッシャ１１６
のボルト通し孔１１６Ａ、及び横フレーム２０のボルト
通し孔２０Ｄを介してボルト１２６を挿入し、このボル
ト１２６をワッシャ１１４のネジ孔１１４Ｄに締結す
る。次に、ワッシャ１１６のボルト通し孔１１６Ｂ、及
び横フレーム２０のボルト通し孔２０Ｃを介してボルト
１２８を挿入し、このボルト１２８をワッシャ１１４の
ネジ孔１１４Ｃに締結する。これにより、天井フレーム
１４の外周部に位置する縦フレーム１８に横フレーム２
０が連結される。

【００１９】図１０は、蛍光灯６０等のケーブル１３０
の配線構造を示す説明図である。前記ケーブル１３０は
クリーンルーム１０の外部からクリーンルーム１０の天
井部に配設され、そして、図示の如く天井フレーム１
４、及び載置フレーム１６を介して蛍光灯６０（図６参
照）まで配設される。例えば天井フレーム１４の縦フレ
ーム１８のくびれ部２６には矩形状の切除部２６Ａが形
成され、この切除部２６Ａに対応した取付部２８の底
面、及び取付部３０の上面には切除部２６Ａと連通する
貫通孔２８Ａ、３０Ａが形成される。ケーブル１３０
は、前記貫通孔２８Ａから切除部２６Ａ及び貫通孔３０
Ａを介して配線され、そして、例えば載置フレーム１６
の縦フレーム５０に形成された貫通孔５４Ｂを介して蛍
光灯６０まで配設される。

【００２０】前記縦フレーム１８には、該縦フレーム１
８の補強用プレート１３２、１３４が設けられる。これ
らのプレート１３２、１３４は、前記切除部２６Ａを両
側面から挟むように縦フレーム１８のくびれ部２６に４
本のボルト１３６、１３６…で締結される。前記プレー
ト１３２、１３４の切除部２６Ａに位置する略中央部に
は膨出部１３２Ａ、１３４Ａが形成され、この膨出部１
３２Ａ、１３４Ａによってケーブル１３０がプレート１
３２、１３４に干渉しないようになっている。また、前
記膨出部１３２Ａ、１３４Ａは図８に示したボルト８２
と同様に、縦フレーム１８の取付部２８、３０を結ぶ面
２９から突出しない大きさに形成されている。

【００２１】次に、ファンフィルタユニット１２の据付
方法について説明する。先ず、クリーンルーム１０の天
井部に縦フレーム１８と横フレーム２０と順次連結して
天井フレーム１４を構築する。次に、ファンフィルタユ
ニット１２を図１１に示すように、パンタグラフ式昇降
装置１４０の載置台１４２上に、据付状態と同じ水平状
態に載置する。次いで、パンタグラフ式昇降装置１４０
を駆動し、ファンフィルタユニット１２を持ち上げて天
井フレーム１４の格子状空間部１１０（図６参照）に挿
入する。この時、ファンフィルタユニット１２の下部
が、天井フレーム１４の下面よりも若干量上方に位置す
るようにファンフィルタユニット１２を位置させる。

【００２２】そして、天井フレーム１４の下面に載置フ
レーム１６の縦フレーム５０、及び横フレーム５２をボ
ルト４６、４６…によって順次連結し、格子状空間部１
１０に額縁状の水平平坦部５８、５８…を形成する（図
７参照）。縦フレーム５０、及び横フレーム５２の連結
作業は、図１１に示すように作業者が梯子１４４を利用
して行う。そして、ファンフィルタユニット１２をパン
タグラフ式昇降装置１４０で降ろして、ファンフィルタ
ユニット１２の下部周縁部１２Ａを前記額縁状の水平平
坦部５８、５８…に載置する。これにより、１台目のフ
ァンフィルタユニット１２の据え付け作業が終了する。
そして、２台目のファンフィルタユニット１２を据え付
ける場合には、据え付け位置にパンタグラフ式昇降装置
１４０を移動して、載置台１４２上に２台目のファンフ
ィルタユニット１２を載置し、前述した工程を順次行え
ば良い。

【００２３】従って、本実施例では、ファンフィルタユ
ニット１２を据付状態と同じ水平状態で天井フレーム１
４の格子状空間１１０に挿入し、そして天井フレーム１
４の下面に載置フレーム１６を連結してファンフィルタ
ユニット１２を据え付けるようにしたので、ファンフィ
ルタユニット１２の高さＨ１（図３参照）よりも僅かに
高い天井空間１５０があればファンフィルタユニット１
２を据え付けることができる。

【００２４】これにより、本実施例では、天井空間１５
０の高さＨ２を最小限に抑えることができるので、クリ
ーンルーム１０が大構造にならず、また、既存のクリー
ンルームでもクリーンルームの室内空間を広くとること
ができる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るファ
ンフィルタユニットの据付構造によれば、ファンフィル
タユニットの側壁部を包囲するように格子状に形成され
た天井フレームと、ファンフィルタユニットの下部周縁
部が載置される載置フレームとから構成し、ファンフィ
ルタユニットの高さより僅かに高い天井空間で据え付け
可能としたので、最小限の天井空間でファンフィルタユ
ニットを据え付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るファンフィルタユニットの据付構
造が適用されたクリーンルームの実施例を示す説明図

【図２】ファンフィルタユニットの据付構造の分解斜視
図

【図３】ファンフィルタユニットの据付構造の断面図

【図４】ファンフィルタユニットの据付構造の組立斜視
図

【図５】天井フレームの組立斜視図

【図６】ファンフィルタユニットの組み付け斜視図

【図７】ファンフィルタユニットの据付構造の矩形状空
間を示す上面図

【図８】天井フレームの連結部分の断面図

【図９】天井フレームの組立斜視図

【図１０】ケーブル配線構造を示す説明図

【図１１】ファンフィルタユニットの据付手順を示す説
明図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム １２…ファンフィルタユニット １４…天井フレーム １６…載置フレーム １８…天井フレームの縦フレーム ２０…天井フレームの横フレーム ２２…吊りボルト ５０…載置フレームの縦フレーム ５２…載置フレームの横フレーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F24F 7/04 - 7/06

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数台のファンフィルタユニットをクリー
   ンルームの天井部に据え付けるためのファンフィルタユ
   ニットの据付構造に於いて、 各ファンフィルタユニットの側壁部を包囲するように格
   子状に形成された天井フレームがクリーンルームの天井
   部に垂設され、前記天井フレームの下面にファンフィル
   タユニットの下部周縁部が載置される載置フレームが着
   脱自在に設けられ、 前記天井フレームの下部取付部の内側には対向する一対
   の溝が形成されるとともに、該一対の溝には長尺状のワ
   ッシャが挿入され、該ワッシャに間隔を持って設けられ
   た複数のボルトが下方に突出し、該下方に突出した複数
   のボルトを載置フレームの通し孔に挿通して締結するこ
   とにより天井フレームの下面と載置フレームの上面とが
   当接して連結される ことを特徴とするファンフィルタユ
   ニットの据付構造。
2. 【請求項２】前記載置フレームの下部開放部には、該下
   部開放部に蛍光灯を支持するカバーが板バネ部材を介し
   て着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求
   項１に記載のファンフィルタユニットの据付構造。
3. 【請求項３】前記天井フレームと前記載置フレームとに
   は、ケーブルを配線可能な貫通孔、切除部が形成されて
   いることを特徴とする請求項１又は２に記載のファンフ
   ィルタユニットの据付構造。