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JP3318521B2 - Fluid leak detection device - Google Patents
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JP3318521B2 - Fluid leak detection device - Google Patents

Fluid leak detection device

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JP3318521B2
JP3318521B2 JP01115098A JP1115098A JP3318521B2 JP 3318521 B2 JP3318521 B2 JP 3318521B2 JP 01115098 A JP01115098 A JP 01115098A JP 1115098 A JP1115098 A JP 1115098A JP 3318521 B2 JP3318521 B2 JP 3318521B2
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flow
fluid
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義明 大石
詳基 和田
征隆 山口
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太陽鉄工株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、流体漏れ検出装置
に関し、例えばスポット溶接器の先端チップの冷却水の
漏れを検出するために利用される。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid leak detecting device, and is used, for example, for detecting a leak of cooling water at a tip of a spot welder.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は従来の流体漏れ検出のための流体
回路を示す図である。図7において、冷却水の流路RT
の一次側RT1と二次側RT2との間に、ストップバル
ブVL1、流量検出器DQj1、及びガンGN1の直列
接続体が接続されている。また、他のガンGN2につい
ても、同様に、開閉弁VL2、流量検出器DQj2、及
びガンGN2の直列接続体が接続されている。このよう
に、一次側RT1と二次側RT2との間には、多数のガ
ンGN1,2,…の冷却水回路が接続されている。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is a diagram showing a conventional fluid circuit for detecting a fluid leak. In FIG. 7, the cooling water flow path RT
A series connection of a stop valve VL1, a flow detector DQj1, and a gun GN1 is connected between the primary side RT1 and the secondary side RT2. Similarly, the series connection of the on-off valve VL2, the flow rate detector DQj2, and the gun GN2 is connected to the other gun GN2. As described above, the cooling water circuits of the many guns GN1, GN2,... Are connected between the primary side RT1 and the secondary side RT2.

【0003】流量検出器DQj1,2からは、冷却水の
流量に応じた検出信号が出力され、流量が設定値よりも
低下したか否かが監視されている。例えば、流量検出器
DQj1の検出出力が設定値よりも低下した場合には、
ガンGN1において冷却水の漏れが発生しているとし、
ストップバルブVL1を閉じる。
[0003] From the flow rate detectors DQj1 and DQj2, a detection signal corresponding to the flow rate of the cooling water is output, and it is monitored whether the flow rate has dropped below a set value. For example, when the detection output of the flow rate detector DQj1 falls below the set value,
It is assumed that a cooling water leak has occurred in the gun GN1.
Close the stop valve VL1.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の検出回
路では、ガンGN1に漏れが発生していない場合であっ
ても、ポンプPの出力流量の変動又は他のガンGN2の
漏れや使用の有無によって、流量検出器DQj1を流れ
る流量が大きく変動するため、警報出力を出すための設
定値を低く、つまり警報出力を出すための条件としての
流量の変動幅を大きく設定しておく必要があった。
However, in the conventional detection circuit, even if the gun GN1 does not leak, the output flow of the pump P fluctuates or the other gun GN2 leaks or is not used. Because of this, the flow rate flowing through the flow rate detector DQj1 fluctuates greatly, so it is necessary to set a low set value for issuing an alarm output, that is, to set a large fluctuation range of the flow rate as a condition for issuing an alarm output. .

【0005】そのため、ガンGN1に少しの漏れが発生
した場合に、それを正確に検出することができなかっ
た。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、ガ
ンのチップの冷却水の漏れなどのような流体の漏れを正
確に検出することのできる流体漏れ検出装置を提供する
ことを目的とする。
[0005] For this reason, when a small leak has occurred in the gun GN1, it has not been possible to accurately detect it. The present invention has been made in view of the above-described problems, and has as its object to provide a fluid leakage detection device that can accurately detect fluid leakage such as leakage of cooling water from a gun tip. .

【0006】[0006]

【0007】[0007]

【発明を解決するための手段】 請求項の発明に係る装
置は、内部流路が直線であって、羽根を有するロータが
流体により回転し流量に応じた検出信号を出力するため
の2つの流量検出器と、前記2つの流量検出器の流路が
互いに平行となるように並べて配置した状態でそれらの
内部流路の両端に直線状に接続するポートを有し、内部
流路の両端の存する面を挟んで一体的に連結する2つの
連結ブロックと、からなる
According to a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus in which a rotor having a straight internal flow path and having blades is provided.
Two flow rate detectors for rotating the fluid and outputting a detection signal according to the flow rate, and a flow path of the two flow rate detectors
In a state where they are arranged side by side so as to be parallel to each other
Ports that connect linearly at both ends of the internal flow path
And two connecting blocks that are integrally connected to each other across the surfaces at both ends of the flow path.

【0008】請求項の発明に係る装置は、前記2つの
流量検出器から出力される2つの検出信号を比較する比
較回路、及び前記2つの流量検出器から出力される2つ
の検出信号の差が予め設定された設定値を超えるときに
警報信号を出力する出力回路が、一体化されて設けられ
てなる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a comparison circuit for comparing two detection signals output from the two flow detectors, and a difference between the two detection signals output from the two flow detectors. An output circuit for outputting an alarm signal when the value exceeds a preset value is provided integrally.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係る流体漏れ検出
装置DQを用いた冷却水回路CCを示す図、図2は流体
漏れ検出装置DQの流量検出ユニット11の正面図、図
3は流体漏れ検出装置DQの流量検出ユニット11の側
面図、図4は流体漏れ検出装置DQの流量検出ユニット
11の背面図、図5は流体漏れ検出装置DQの流量検出
ユニット11の動作原理を説明するための図、図6は検
出回路21の回路図である。
FIG. 1 is a diagram showing a cooling water circuit CC using a fluid leak detecting device DQ according to the present invention, FIG. 2 is a front view of a flow detecting unit 11 of the fluid leak detecting device DQ, and FIG. FIG. 4 is a rear view of the flow detection unit 11 of the fluid leakage detection device DQ, and FIG. 5 illustrates the operation principle of the flow detection unit 11 of the fluid leakage detection device DQ. FIG. 6 is a circuit diagram of the detection circuit 21.

【0010】図1に示す冷却水回路CCにおいて、冷却
水の流路RTの一次側RT1と二次側RT2との間に、
ストップバルブVL1、流体漏れ検出装置DQ1、及び
ガンGN1が接続されている。また、他のガンGN2に
ついても、同様に、開閉弁VL2、流体漏れ検出装置D
Q2、及びガンGN2が接続されている。このように、
一次側RT1と二次側RT2との間には、多数のガンG
N1,2,3…にそれぞれ冷却水を供給するために、ス
トップバルブVL1,2,3…及び流体漏れ検出装置D
Q1,2,3…が接続されている。各流体漏れ検出装置
DQ1,2,3…の構成は同じであるので、そのうちの
1つである流体漏れ検出装置DQ1についてのみ説明す
る。
In the cooling water circuit CC shown in FIG. 1, between the primary side RT1 and the secondary side RT2 of the cooling water flow path RT,
The stop valve VL1, the fluid leak detection device DQ1, and the gun GN1 are connected. Similarly, for the other gun GN2, the on-off valve VL2 and the fluid leakage detection device D
Q2 and gun GN2 are connected. in this way,
Between the primary side RT1 and the secondary side RT2, many guns G
, And a fluid leak detection device D for supplying cooling water to each of N1, 2, 3,.
Are connected. Since the configuration of each of the fluid leak detection devices DQ1, 2, 3,... Is the same, only one of them, the fluid leak detection device DQ1, will be described.

【0011】流体漏れ検出装置DQ1は、流量検出ユニ
ット11と、図1には直接的に示されていないが図6に
示す検出回路21とからなる。図2乃至図4をも参照し
て、流量検出ユニット11は、流量に応じた周波数のパ
ルス信号Spを出力するための2つの流量検出器13
A,13B、流量検出器13A,13Bを一体的に連結
するためにボルト16,16…によって取付けられた2
つの連結ブロック14A,14B、及びブロック15な
どからなる。流量検出器13A及び13Bは互いにほぼ
同じものであるので、主な構造に関してはその一方の流
量検出器13Aについてのみ説明する。
The fluid leak detecting device DQ1 comprises a flow detecting unit 11 and a detecting circuit 21 not shown in FIG. 1 but shown in FIG. 2 to 4, the flow rate detection unit 11 includes two flow rate detectors 13 for outputting a pulse signal Sp having a frequency corresponding to the flow rate.
A, 13B, 2 attached by bolts 16, 16... For integrally connecting the flow rate detectors 13A, 13B.
It consists of two connecting blocks 14A, 14B, a block 15, and the like. Since the flow detectors 13A and 13B are substantially the same, only the flow detector 13A of the main structure will be described.

【0012】流量検出器13Aは、図5によく示される
ように、アルミニウム合金などの金属材料又は合成樹脂
材料などからなる直方体状の本体130、本体130に
対し軸133を中心にして回転するように取付けられた
ロータ131、ロータ131の羽根の先端部分に取付け
られた永久磁石132、及び本体130に設けられて永
久磁石132に感応するセンサ134などからなる。
As shown in FIG. 5, the flow detector 13A has a rectangular parallelepiped main body 130 made of a metal material such as an aluminum alloy or a synthetic resin material, and rotates around a shaft 133 with respect to the main body 130. , A permanent magnet 132 attached to the tip of the blade of the rotor 131, and a sensor 134 provided on the main body 130 and responsive to the permanent magnet 132.

【0013】本体130に設けられた流路135を流体
が流れると、その流体とともに羽根が移動し、その結
果、ロータ131が回転する。ロータ131が回転する
と、それとともに永久磁石132が移動するので、これ
にともなってセンサ134からパルス信号Spが出力さ
れる。図5に示す例では、ロータ131が1回転する
と、センサ134からは3つのパルス信号Spが出力さ
れる。このパルス信号Spが、本発明における検出信号
である。なお、このような原理で動作する流量検出器1
3A自体は公知である。
When the fluid flows through the flow path 135 provided in the main body 130, the blades move together with the fluid, and as a result, the rotor 131 rotates. When the rotor 131 rotates, the permanent magnet 132 moves with it, and accordingly, the pulse signal Sp is output from the sensor 134. In the example shown in FIG. 5, when the rotor 131 makes one rotation, the sensor 134 outputs three pulse signals Sp. This pulse signal Sp is the detection signal in the present invention. In addition, the flow rate detector 1 which operates on such a principle
3A itself is known.

【0014】図2に示すように、本体130の中央に円
筒状に突出する周壁130aが設けられており、周壁1
30aの内方に円柱形状の凹所が形成されている。この
凹所にはロータ131がはめ込まれ、周壁130aの内
周面にネジ込まれた透明のカバー136で密閉されてい
る。透明のカバー136によって、ロータ131の回転
の様子が外部から容易に確認できる。また、本体130
には、その裏面側において、直方体形状の容器状のカバ
ー137が取付けられている。カバー137の内部に、
検出回路21が組み込まれている。カバー137に取付
けられたコネクタCNから電線CVが引き出され、互い
に相手の流量検出器13A,13Bの検出回路21又は
外部に接続されている。
As shown in FIG. 2, a cylindrical peripheral wall 130a is provided at the center of the main body 130.
A cylindrical recess is formed inside 30a. The rotor 131 is fitted into this recess, and is sealed with a transparent cover 136 screwed into the inner peripheral surface of the peripheral wall 130a. With the transparent cover 136, the state of rotation of the rotor 131 can be easily checked from the outside. Also, the main body 130
, A rectangular parallelepiped container-shaped cover 137 is attached on the back side. Inside the cover 137,
The detection circuit 21 is incorporated. The electric wire CV is drawn out from the connector CN attached to the cover 137, and is connected to the detection circuit 21 of the counterpart flow detectors 13A and 13B or to the outside.

【0015】流量検出器13Aの本体130には、黄色
に発光する漏れ表示灯PL1、及びリセットボタンBT
1が設けられている。流量検出器13Bの本体130に
は、赤色に発光する流量表示灯PL2、及び流量設定ト
リマBT2が設けられている。
The main body 130 of the flow detector 13A has a leak indicator light PL1 that emits yellow light and a reset button BT.
1 is provided. The main body 130 of the flow detector 13B is provided with a flow indicator PL2 that emits red light and a flow setting trimmer BT2.

【0016】連結ブロック14A及び14Bには、それ
ぞれ、ポート141,142、及びポート143,14
4が設けられている。ポート141及び143は流量検
出器13Aの流路135に接続され、ポート142及び
144は流量検出器13Bの流路135に接続されてい
る。また、連結ブロック14A,14Bの裏面には、全
体をフレームなどに取付けるためのネジ穴145,14
5及び146,146が設けられている。
The connecting blocks 14A and 14B have ports 141, 142 and ports 143, 14 respectively.
4 are provided. The ports 141 and 143 are connected to the flow path 135 of the flow detector 13A, and the ports 142 and 144 are connected to the flow path 135 of the flow detector 13B. Screw holes 145, 14 for attaching the whole to a frame or the like are provided on the back surfaces of the connecting blocks 14A, 14B.
5 and 146, 146 are provided.

【0017】なお、図2でも理解できるように、2つの
流量検出器13A,13Bは、互いに並べて配置され、
それらが配置された方向と直角の方向から、連結ブロッ
ク14A,14Bにより挟まれて一体的に連結されてい
る。
As can be understood from FIG. 2, the two flow rate detectors 13A and 13B are arranged side by side.
From the direction perpendicular to the direction in which they are arranged, they are sandwiched and integrally connected by the connecting blocks 14A and 14B.

【0018】図6において、検出回路21は、F/V変
換器211,212、零点調整器211a,212a、
比較器213、絶対値変換器214、比較器215、流
量設定トリマBT2、ラッチ回路216、及び出力回路
217などからなる。
In FIG. 6, the detection circuit 21 includes F / V converters 211 and 212, zero point adjusters 211a and 212a,
It comprises a comparator 213, an absolute value converter 214, a comparator 215, a flow setting trimmer BT2, a latch circuit 216, an output circuit 217, and the like.

【0019】F/V変換器211,212にパルス信号
Sp1,2が入力にされると、パルス信号Sp1,2の
周波数に比例した電圧AV1,2にそれぞれ変換され
る。パルス信号Spが入力されないときの電圧AV1,
2は、零点調整器211a,212aによって調整され
る。したがって、零点調整器211a,212aを調整
することによって、電圧AV1,2の間にオフセットを
与えることが可能であり、これによって、後段の絶対値
変換器214及び比較器215を省略することも可能で
ある。
When the pulse signals Sp1 and Sp2 are input to the F / V converters 211 and 212, they are converted into voltages AV1 and AV2 proportional to the frequency of the pulse signals Sp1 and Sp2, respectively. The voltage AV1, when the pulse signal Sp is not input,
2 is adjusted by the zero point adjusters 211a and 212a. Therefore, by adjusting the zero point adjusters 211a and 212a, it is possible to provide an offset between the voltages AV1 and AV2, whereby the absolute value converter 214 and the comparator 215 at the subsequent stage can be omitted. It is.

【0020】比較器213は、F/V変換器211,2
12から出力される電圧AV1,2を比較し、その差に
応じた電圧BVを出力する。電圧BVは正負の値を取り
うる。絶対値変換器214は、電圧BVの絶対値を出力
する。比較器215は、絶対値変換器214からの出力
と流量設定トリマBT2により設定された電圧VSとを
比較し、絶対値変換器214からの出力が電圧VSを越
えた場合に、出力を「1」とする。ラッチ回路216
は、比較器215からの出力を、リセットボタンBT1
によるリセットが行われるまで保持する。出力回路21
7は、ラッチ回路216からの出力を増幅し、例えばオ
ンオフの接点信号などとして外部に出力する。
The comparator 213 includes F / V converters 211 and 211
12 and outputs a voltage BV corresponding to the difference between the voltages AV1 and AV2. The voltage BV can take a positive or negative value. Absolute value converter 214 outputs the absolute value of voltage BV. The comparator 215 compares the output from the absolute value converter 214 with the voltage VS set by the flow rate setting trimmer BT2, and when the output from the absolute value converter 214 exceeds the voltage VS, sets the output to “1”. ". Latch circuit 216
Outputs the output from the comparator 215 to the reset button BT1
Hold until a reset is performed. Output circuit 21
7 amplifies the output from the latch circuit 216 and outputs the amplified output to the outside as, for example, an on / off contact signal.

【0021】次に、流体漏れ検出装置DQ1の動作を説
明する。図1において、ストップバルブVL1が開いて
おり、流体漏れ検出装置DQ1を介してガンGN1に冷
却水が供給されている。このとき、冷却水の漏れがない
場合には、2つの流量検出器13A,13Bには同じ量
の冷却水が流れるので、それぞれから出力されるパルス
信号Spの周波数は同じである。したがって、検出回路
21において、比較器213から出力される電圧BVは
零か又は小さく、比較器215からの出力はない。
Next, the operation of the fluid leak detecting device DQ1 will be described. In FIG. 1, the stop valve VL1 is open, and cooling water is supplied to the gun GN1 via the fluid leak detection device DQ1. At this time, if there is no leakage of cooling water, the same amount of cooling water flows through the two flow rate detectors 13A and 13B, so that the frequency of the pulse signal Sp output from each of them is the same. Therefore, in the detection circuit 21, the voltage BV output from the comparator 213 is zero or small, and there is no output from the comparator 215.

【0022】そこで、ガンGN1のチップが抜けるなど
して冷却水の漏れが生じると、流量検出器13Bに流れ
る冷却水の量は流量検出器13Aよりも少なくなる。そ
うすると、それらのパルス信号Spの周波数は互いに異
なり、比較器213の出力する電圧BVは大きくなる。
この電圧BVが流量設定トリマBT2により設定された
電圧VSを越えた場合に、出力回路217から警報のた
めの出力が行われ、同時に漏れ表示灯PL1が点灯す
る。出力回路217からの警報の出力によって、例えば
ストップバルブVL1が閉じられ、冷却水の漏れが停止
され、他のガンGN2への影響が遮蔽される。
Therefore, if the cooling water leaks due to the chip of the gun GN1 coming off, the amount of the cooling water flowing to the flow detector 13B becomes smaller than that of the flow detector 13A. Then, the frequencies of the pulse signals Sp are different from each other, and the voltage BV output from the comparator 213 increases.
When the voltage BV exceeds the voltage VS set by the flow rate setting trimmer BT2, an output for alarm is performed from the output circuit 217, and at the same time, the leak indicator light PL1 is turned on. By the output of the alarm from the output circuit 217, for example, the stop valve VL1 is closed, the leakage of the cooling water is stopped, and the influence on the other gun GN2 is blocked.

【0023】このように、流体漏れ検出装置DQ1によ
ると、検出回路21の設定を適当な値とすることによっ
て、ガンGN1のチップの冷却水の漏れなどのような流
体の僅かな漏れを正確に検出することができる。流体漏
れ検出装置DQ1に検出回路21が内蔵され、外部から
設定値を容易に調整できるので、調整及び取り扱いが容
易である。連結ブロック14A,14Bに設けられたポ
ート141〜144が接近しているので、配管が容易で
ある。
As described above, according to the fluid leak detecting device DQ1, by setting the setting of the detecting circuit 21 to an appropriate value, a slight leak of fluid such as a leak of cooling water of the tip of the gun GN1 can be accurately detected. Can be detected. The detection circuit 21 is built in the fluid leakage detection device DQ1, and the set value can be easily adjusted from the outside, so that adjustment and handling are easy. Since the ports 141 to 144 provided in the connection blocks 14A and 14B are close to each other, piping is easy.

【0024】しかも、流体漏れ検出装置DQ1は、2つ
の流量検出器13A,13Bを一体化して構成されてい
るので、流量検出器13A,13Bの間で部品を共通化
することができ、大量生産による品質の向上と価格の低
下を図ることができる。また、各流量検出器13A,1
3Bの流路135と連結ブロック14A,14Bのポー
ト141〜144とが直接に直線状に接続されているの
で、冷却水が流れ易く故障が少ない。
In addition, since the fluid leak detector DQ1 is constructed by integrating the two flow detectors 13A and 13B, parts can be shared between the flow detectors 13A and 13B, and mass production is possible. Quality can be improved and the price can be reduced. In addition, each flow detector 13A, 1
Since the flow path 135 of 3B and the ports 141 to 144 of the connection blocks 14A and 14B are directly connected in a straight line, the cooling water is easy to flow and there are few failures.

【0025】上述の実施形態の検出回路21によると、
絶対値変換器214及び比較器215が設けられている
ので、F/V変換器211,212のいずれの入力を流
量検出器13A,13Bの出力のいずれに接続しても正
常に動作する。しかし、検出回路21として種々の回路
を採用することが可能である。例えば、上述したよう
に、F/V変換器211,212において、零点調整器
211a,212aによって一方のF/V変換器212
の出力電圧AV2が設定値だけ大きくなるようにオフセ
ットを与えておき、比較器213によって電圧AV2か
ら電圧AV1を差し引くように比較する。そして、比較
器213の出力がマイナスになったときに警報の出力を
出すように構成する。なお、流量検出器13A,13B
を用いて、冷却水の流量自体を計測することも可能であ
る。
According to the detection circuit 21 of the above embodiment,
Since the absolute value converter 214 and the comparator 215 are provided, even if any input of the F / V converters 211 and 212 is connected to any of the outputs of the flow detectors 13A and 13B, normal operation is performed. However, various circuits can be employed as the detection circuit 21. For example, as described above, in the F / V converters 211 and 212, one of the F / V converters 212 and 212a is controlled by the zero point adjusters 211a and 212a.
Is given so that the output voltage AV2 becomes larger by the set value, and the comparator 213 compares the voltage AV2 by subtracting the voltage AV1. Then, the configuration is such that an alarm is output when the output of the comparator 213 becomes negative. The flow detectors 13A, 13B
It is also possible to measure the flow rate of the cooling water itself using.

【0026】また、冷却水回路CCにおいて、その一次
側RT1に流量検出器DQm1を設けておき、これによ
って全体の流量を計測することができる。全体の流量と
各流体漏れ検出装置DQにおける流量との比較によっ
て、検出回路21の動作状態を異ならせ、最も感度がよ
く正確な検出が行えるようにしてもよい。
In the cooling water circuit CC, a flow rate detector DQm1 is provided on the primary side RT1 so that the entire flow rate can be measured. By comparing the total flow rate with the flow rate in each fluid leak detection device DQ, the operation state of the detection circuit 21 may be changed so that the most sensitive and accurate detection can be performed.

【0027】上述の実施形態において、永久磁石132
とセンサ134との組み合わせは、種々のものが可能で
ある。例えば、鉄片と近接センサーを用いてもよい。ま
た、ロータ131又は軸133の回転を光学的に検出し
てもよい。
In the above embodiment, the permanent magnet 132
Various combinations of the sensor and the sensor 134 are possible. For example, an iron piece and a proximity sensor may be used. Further, the rotation of the rotor 131 or the shaft 133 may be optically detected.

【0028】また、流体漏れ検出装置DQには、流体の
漏れの検出の機能のみではなく、当該流体漏れ検出装置
DQを通る流量が所定の値以下となって冷却が十分に行
えない状態となったときに、流量不足警報を出力する機
能を一体的に組み込むことができる。こによって、冷却
水の管理がより一層効果的に行われる。さらに、一次側
から流体漏れ検出装置DQに流れ込む流量を表示するた
めの流量表示器を流体漏れ検出装置DQ1に一体的に設
けることもできる。そのような流量表示器として、例え
ば流量をデジタル値で表示するパネル、又はアナログ値
を表示するメータなどを用いることができる。
The fluid leak detecting device DQ has not only a function of detecting a fluid leak but also a state in which the flow rate passing through the fluid leak detecting device DQ becomes a predetermined value or less and cooling cannot be sufficiently performed. In this case, a function of outputting a flow rate shortage alarm can be integrated. Thereby, the management of the cooling water is performed more effectively. Further, a flow rate display for displaying the flow rate flowing from the primary side into the fluid leak detection device DQ can be provided integrally with the fluid leak detection device DQ1. As such a flow rate display, for example, a panel that displays a flow rate as a digital value, a meter that displays an analog value, or the like can be used.

【0029】その他、流体漏れ検出装置DQ1,2、流
量検出器13A,13Bなどの全体又は各部の構成、形
状、材質、個数、動作などは、本発明の趣旨に沿って種
々変更することができる。
In addition, the configuration, shape, material, number, operation, etc. of the whole or each part of the fluid leak detection devices DQ1, DQ2 and the flow rate detectors 13A, 13B can be variously changed in accordance with the gist of the present invention. .

【0030】なお、本発明に係る流体漏れ検出装置は、
半導体製造におけ冷却水、純水、又はチラー吐出流量の
管理、成形機の冷却水の管理、その他の種々の流量の管
理に用いることができる。
The fluid leak detecting device according to the present invention comprises:
It can be used for managing the flow rate of cooling water, pure water, or chiller discharge in semiconductor production, managing the cooling water of a molding machine, and managing various other flow rates.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によると、ガンのチップの冷却水
の漏れなどのような流体の漏れを正確に検出することが
できる。
According to the present invention, leakage of fluid such as leakage of cooling water from a gun tip can be accurately detected.

【0032】しかも、内部流路が直線である各流量検出
器の流路と連結ブロックが直接に直線状に接続されてい
るので、冷却水が流れ易く故障が少ない
Furthermore , each flow rate detection in which the internal flow path is straight
The flow path of the vessel and the connecting block are directly connected in a straight line.
Therefore, the cooling water flows easily and there are few failures .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る流体漏れ検出装置を用いた冷却水
回路を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a cooling water circuit using a fluid leak detection device according to the present invention.

【図2】流体漏れ検出装置の流量検出ユニットの正面図
である。
FIG. 2 is a front view of a flow detection unit of the fluid leakage detection device.

【図3】流体漏れ検出装置の流量検出ユニットの側面図
である。
FIG. 3 is a side view of a flow detection unit of the fluid leakage detection device.

【図4】流体漏れ検出装置の流量検出ユニットの背面図
である。
FIG. 4 is a rear view of a flow detection unit of the fluid leakage detection device.

【図5】流量検出ユニットの動作原理を説明するための
図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining the operation principle of the flow rate detection unit.

【図6】検出回路の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of a detection circuit.

【図7】従来の流体漏れ検出のための流体回路を示す図
である。
FIG. 7 is a diagram showing a conventional fluid circuit for detecting fluid leakage.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 流量検出ユニット 13A,13B 流量検出器 14A,14B 連結ブロック 213 比較器(比較回路) 215 比較器(比較回路,出力回路) 216 ラッチ回路(出力回路) 217 出力回路 DQ 流体漏れ検出装置 Sp パルス信号(検出信号) 11 Flow rate detection unit 13A, 13B Flow rate detector 14A, 14B Connecting block 213 Comparator (comparison circuit) 215 Comparator (comparison circuit, output circuit) 216 Latch circuit (output circuit) 217 Output circuit DQ Fluid leak detection device Sp pulse signal (Detection signal)

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−309833(JP,A) 特開 昭63−36129(JP,A) 特開 平9−292303(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01M 3/28 Continuation of the front page (56) References JP-A-4-309833 (JP, A) JP-A-63-36129 (JP, A) JP-A-9-292303 (JP, A) (58) Fields studied (Int .Cl. 7 , DB name) G01M 3/28

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】流路における流体の漏れを検出する装置で
あって、内部流路が直線であって、羽根を有するロータが流体に
より回転し 流量に応じた検出信号を出力するための2つ
の流量検出器と、 前記2つの流量検出器の流路が互いに平行となるように
並べて配置した状態でそれらの内部流路の両端に直線状
に接続するポートを有し、内部流路の両端の存する面を
挟んで一体的に連結する2つの連結ブロックと、 からなることを特徴とする流体漏れ検出装置。
An apparatus for detecting leakage of a fluid in a flow path , wherein the internal flow path is straight, and a rotor having blades is connected to the fluid.
Two flow detectors for rotating and outputting a detection signal according to the flow rate, so that the flow paths of the two flow rate detectors are parallel to each other
Linear at both ends of their internal flow path in side-by-side arrangement
A fluid leak detection device, comprising: two connection blocks that have ports that connect to the internal flow path, and that are integrally connected to each other while sandwiching surfaces at both ends of the internal flow path .
【請求項2】前記2つの流量検出器から出力される2つ
の検出信号を比較する比較回路、及び前記2つの流量検
出器から出力される2つの検出信号の差が予め設定され
た設定値を超えるときに警報信号を出力する出力回路
が、一体化されて設けられてなる、 請求項記載の流体漏れ検出装置。
2. A comparison circuit for comparing two detection signals output from the two flow rate detectors, and a difference between the two detection signals output from the two flow rate detectors is set to a preset value. output circuit for outputting an alarm signal when exceeding becomes provided to be integrated, fluid leakage detecting apparatus according to claim 1.
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