JP3324327B2

JP3324327B2 - カラーフィルタ製造方法およびその装置

Info

Publication number: JP3324327B2
Application number: JP7690395A
Authority: JP
Inventors: 昌祐宮本; 亨石渡
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1995-03-31
Filing date: 1995-03-31
Publication date: 2002-09-17
Anticipated expiration: 2017-09-17
Also published as: JPH08271726A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子（ＬＣ
Ｄ）等に利用されるカラーフィルタの製造方法およびそ
の装置に関し、さらに詳しくは、カラーフィルターに塗
布するペーストを硬化する工程、ペーストを仮硬化する
工程、ガラス基板を洗浄する工程等で加熱されたガラス
基板を冷却するための方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、カラーフィルターの製造工程中等
でガラス基板を加熱する方法としては、加熱板を裏面か
ら接触させてガラス基板を加熱する方法が知られている
（例えば、特開平３−２６４９０２号公報、特開平３−
２６４９０３号公報、特開平４−３５５７０１号公報参
照）。同様に、加熱後にガラス基板を冷却する方法とし
て、冷却板を裏面から接触させ、真空吸着した状態でガ
ラス基板を冷却する方法も知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、カラーフィ
ルタの大型化、カラーフィルタの多面取りなどに伴なっ
てガラス基板のサイズが大型化した場合、冷却中にガラ
ス基板が割れるという問題が顕在化した。ガラス基板の
割れの原因は図４に示すとおりである。ガラス基板４０
は冷却板１の真空チャック部５により固定され、冷却板
１により冷却される。ガラス基板４０は冷却されるため
熱収縮しようとするが、冷却板１の真空チャックにより
ガラス基板４０の裏面が拘束されているため、ガラス基
板４０に熱応力が生じ、ガラス基板４０が割れるのであ
る。

【０００４】

【発明の目的】本発明の目的は、大型ガラス基板であっ
ても冷却中の割れが生じないカラーフィルタ製造方法お
よびその装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１のカラーフィル
タ製造方法は、ガラス基板上に塗膜を形成することによ
りカラーフィルタを製造する方法であって、ガラス基板
を加熱する工程と、次の処理工程との間において、ガラ
ス基板をいったん冷却板に真空吸着した後に真空吸着を
解除してガラス基板を裏面から冷却する方法である。

【０００６】請求項２のカラーフィルタ製造方法は、ガ
ラス基板を複数の冷却板により順次冷却するに当って、
ガラス基板をいったん第１番目の冷却板に真空吸着した
後に真空吸着を解除してガラス基板を裏面から冷却する
方法である。請求項３のカラーフィルタ製造方法は、ガ
ラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフィルタ
を製造する方法であって、ガラス基板を加熱する工程
と、次の処理工程との間において、ガラス基板を冷却板
により冷却するに当って、ガラス基板の厚みを２ｍｍ以
下に設定するとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板
温度と冷却板との温度差を６０℃以下に設定する方法で
ある。

【０００７】請求項４のカラーフィルタ製造方法は、冷
却板が複数設けられてあるとともに、冷却装置に搬入前
のガラス基板温度と第１番目の冷却板との温度差が６０
℃以下に設定される方法である。請求項５のカラーフィ
ルタ製造装置は、ガラス基板上に塗膜を形成することに
よりカラーフィルタを製造するに当って、ガラス基板を
加熱する工程と、次の処理工程との間に、ガラス基板を
裏面から冷却する冷却板と、冷却板温度をコントロール
する温調部と、ガラス基板を吸着する吸着部と、ガラス
基板を移載する移載部とを設けてなるカラーフィルタ製
造装置であって、冷却板では、いったんガラス基板を真
空吸着した後、吸着を解除して冷却するものである。

【０００８】請求項６のカラーフィルタ製造装置は、ガ
ラス基板を複数の冷却板により順次冷却するに当って、
ガラス基板をいったん第１番目の冷却板に真空吸着した
後に真空吸着を解除してガラス基板を裏面から冷却する
ものである。請求項７のカラーフィルタ製造装置は、ガ
ラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフィルタ
を製造するに当って、ガラス基板を加熱する工程と、次
の処理工程との間に、ガラス基板を裏面から冷却する冷
却板と、冷却板温度をコントロールする温調部と、ガラ
ス基板を吸着する吸着部と、ガラス基板を移載する移載
部とを設けてなるカラーフィルタ製造装置であって、ガ
ラス基板の厚みが２ｍｍ以下に設定されてあるととも
に、冷却装置に搬入前のガラス基板温度と冷却板との温
度差を６０℃以下に設定する温度制御器を有している。

【０００９】請求項８のカラーフィルタ製造装置は、冷
却板が複数設けられてあるとともに、冷却装置に搬入前
のガラス基板温度と第１番目の冷却板との温度差が６０
℃以下に設定されたものである。

【００１０】

【作用】請求項１のカラーフィルタ製造方法であれば、
ガラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフィル
タを製造するに当って、ガラス基板を加熱する工程と、
次の処理工程との間において、ガラス基板をいったん冷
却板に真空吸着した後に真空吸着を解除してガラス基板
を裏面から冷却するのであるから、真空吸着によりガラ
ス基板の全範囲を冷却板に良好に密着させることがで
き、次いで、真空吸着を解除するので、ガラス基板に対
する拘束力を解消させることができる。したがって、ガ
ラス基板と冷却板との間の熱伝導が均一かつ良好にな
り、ガラス基板の冷却を効率よく達成することができ、
しかも冷却に伴なってガラス基板に収縮が発生しても、
拘束力が解消されているので、ガラス基板に割れが発生
することを未然に防止することができる。

【００１１】請求項２のカラーフィルタ製造方法であれ
ば、ガラス基板を複数の冷却板により順次冷却するに当
って、ガラス基板をいったん第１番目の冷却板に真空吸
着した後に真空吸着を解除してガラス基板を裏面から冷
却するのであるから、温度が最も高いガラス基板を冷却
する第１番目の冷却板に対して、いったん真空吸着する
ことにより良好な密着性を達成した後に、真空吸着を解
除してガラス基板に対する拘束力を解消させ、この結
果、ガラス基板と第１番目の冷却板との間の熱伝導が均
一かつ良好になり、ガラス基板の冷却を効率よく達成す
ることができ、しかも冷却に伴なってガラス基板に収縮
が発生しても、拘束力が解消されているので、ガラス基
板に割れが発生することを未然に防止することができ
る。

【００１２】請求項３のカラーフィルタ製造方法であれ
ば、ガラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフ
ィルタを製造するに当って、ガラス基板を加熱する工程
と、次の処理工程との間において、ガラス基板を冷却板
により冷却する場合に、ガラス基板の厚みを２ｍｍ以下
に設定するとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板温
度と冷却板との温度差を６０℃以下に設定するのである
から、ガラス基板に収縮が発生し、かつガラス基板が真
空吸着などにより拘束されていても、ガラス基板に割れ
を生じさせるような熱応力は発生しない。即ち、ガラス
基板に割れを生じさせることなく良好な冷却を達成する
ことができる。

【００１３】請求項４のカラーフィルタ製造方法であれ
ば、冷却板が複数設けられてあるとともに、冷却装置に
搬入前のガラス基板温度と第１番目の冷却板との温度差
が６０℃以下に設定されるのであるから、温度が最も高
いガラス基板を第１番目の冷却板で冷却する場合に、ガ
ラス基板に割れが生じることを確実に防止できる。請求
項５のカラーフィルタ製造装置であれば、ガラス基板上
に塗膜を形成することによりカラーフィルタを製造する
に当って、ガラス基板を加熱する工程と、次の処理工程
との間に、ガラス基板を裏面から冷却する冷却板と、冷
却板温度をコントロールする温調部と、ガラス基板を吸
着する吸着部と、ガラス基板を移載する移載部とを設け
てなり、冷却板では、いったんガラス基板を真空吸着し
た後、吸着を解除して冷却するのであるから、真空吸着
によりガラス基板の全範囲を冷却板に良好に密着させる
ことができ、次いで、真空吸着を解除するので、ガラス
基板に対する拘束力を解消させることができる。したが
って、ガラス基板と冷却板との間の熱伝導が均一かつ良
好になり、ガラス基板の冷却を効率よく達成することが
でき、しかも冷却に伴なってガラス基板に収縮が発生し
ても、拘束力が解消されているので、ガラス基板に割れ
が発生することを未然に防止することができる。

【００１４】請求項６のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、ガラス基板を複数の冷却板により順次冷却するに当
って、ガラス基板をいったん第１番目の冷却板に真空吸
着した後に真空吸着を解除してガラス基板を裏面から冷
却するのであるから、温度が最も高いガラス基板を冷却
する第１番目の冷却板に対して、いったん真空吸着する
ことにより良好な密着性を達成した後に、真空吸着を解
除してガラス基板に対する拘束力を解消させ、この結
果、ガラス基板と第１番目の冷却板との間の熱伝導が均
一かつ良好になり、ガラス基板の冷却を効率よく達成す
ることができ、しかも冷却に伴なってガラス基板に収縮
が発生しても、拘束力が解消されているので、ガラス基
板に割れが発生することを未然に防止することができ
る。

【００１５】請求項７のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、ガラス基板上に塗膜を形成することによりカラーフ
ィルタを製造するに当って、ガラス基板を加熱する工程
と、次の処理工程との間に、ガラス基板を裏面から冷却
する冷却板と、冷却板温度をコントロールする温調部
と、ガラス基板を吸着する吸着部と、ガラス基板を移載
する移載部とを設けてなり、ガラス基板の厚みが２ｍｍ
以下に設定されてあるとともに、冷却装置に搬入前のガ
ラス基板温度と冷却板との温度差を６０℃以下に設定す
る温度制御器を有しているのであるから、ガラス基板に
収縮が発生し、かつガラス基板が真空吸着などにより拘
束されていても、ガラス基板に割れを生じさせるような
熱応力は発生しない。即ち、ガラス基板に割れを生じさ
せることなく良好な冷却を達成することができる。

【００１６】請求項８のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、冷却板が複数設けられてあるとともに、冷却装置に
搬入前のガラス基板温度と第１番目の冷却板との温度差
が６０℃以下に設定されているのであるから、温度が最
も高いガラス基板を第１番目の冷却板で冷却する場合
に、ガラス基板に割れが生じることを確実に防止でき
る。

【００１７】

【実施例】以下、本発明を、図を参照して具体的に説明
する。図３はカラーフィルタ製造工程を示す概略ブロッ
ク図である。カラーフィルタ製造工程は、ガラス基板上
にブラックマトリクスを形成する工程、ガラス基板を洗
浄する工程、ガラス基板にペーストを塗布する工程、ペ
ーストを仮硬化させる工程、露光する工程、現像する工
程、ペーストを硬化させる工程、ＩＴＯ（酸化インジウ
ム、酸化すず）成膜工程をこの順に含んでいる。ただ
し、ガラス基板にペーストを塗布する工程からペースト
を硬化させる工程までは、３原色のそれぞれに対してペ
ーストを変更して反復される。

【００１８】また、このカラーフィルタ製造工程におい
て、ガラス基板を洗浄する工程（特に、洗浄後の乾燥工
程）、ペーストを仮硬化させる工程、ペーストを硬化さ
せる工程は、それぞれの処理の性質上、ガラス基板に対
する加熱処理が必須である。したがって、これらの工程
の処理が終了した後、次の工程が開始されるまでの間に
ガラス基板を十分に冷却しなければならず、この目的を
達成するために、該当する工程間にガラス基板を冷却す
る工程が介在される。ただし、ガラス基板の冷却工程
は、カラーフィルタ製造における本質的な工程ではな
く、付加的工程であるから、一般的には、図４の概略ブ
ロック図には図示されない。

【００１９】図１は本発明のガラス基板冷却装置の一実
施例を示す概略図である。１は第１冷却板、２は第２冷
却板であり、冷却板が２個の場合である。ガラス基板４
０は赤外線加熱オーブン（以下、ＩＲオーブンと略称す
る）１５により赤外加熱され、シャトルコンベア（図示
はしていない）により第１冷却板１に移載される。な
お、このＩＲオーブン１５は、前工程におけるガラス基
板４０の加熱のために用いられるものであり、ガラス基
板冷却装置の一部を構成するものではない。ガラス基板
４０は真空チャック部５により第１冷却板１に密着さ
れ、この状態でガラス基板４０は冷却される。第１冷却
板１での冷却後、ガラス基板４０はシャトルコンベア
（図示はしていない）により第２冷却板２に移載され、
ガラス基板４０は同様に冷却される。冷却後、ガラス基
板４０は次工程に搬送される。図２に冷却板の詳細の一
例を示す。冷却板１の温度制御は、ヒーター２３、温度
計２４、冷却水配管２５、バルブ２２、および制御部３
０で行う。即ち、温度計２４で冷却板の温度を測定し、
ヒータ−２３のＯＮ／ＯＦＦと冷却水配管用のバルブ２
２の開閉により冷却板１の温度を制御する。バルブ２２
の開閉、ヒータ−２３のＯＮ／ＯＦＦのコントロールは
制御部３０により行う。なお、複数の冷却板で冷却する
理由は冷却処理長を伸ばして、タクトタイムを短縮させ
るためである。

【００２０】通常、ガラス基板４０を冷却板１で冷却す
る際は、図２に示すバルブ２１ａを開にし、真空チャッ
ク５を真空源（真空ポンプ２６）に通じさせておき、ガ
ラス基板４０を真空吸着状態で保持させておくが、本発
明ではガラス基板４０を真空吸着した後、吸着を解除す
る。具体的には、例えば、次の（１）から（４）の何れ
かの処理が行われる。（１）まず、真空源（真空ポンプ２６）に接続するバル
ブ２１ａを開とし、いったんガラス基板４０を真空チャ
ック５により真空吸着した後、バルブ２１ａを閉として
吸着を解除する。（２）まず、真空源（真空ポンプ２
６）に接続するバルブ２１ａを開とし、いったんガラス
基板４０を真空チャック５により真空吸着した後、バル
ブ２１ａを閉とし、次に圧空源（コンプレッサー２７）
に接続するバルブ２１ｂを所定時間開として積極的に吸
着を解除する（この場合、圧空源に通じずに大気圧に開
放することも好ましい）。（３）まず、真空源（真空ポ
ンプ２６）に接続するバルブ２１ａを開とし、いったん
ガラス基板４０を真空チャック５により真空吸着した
後、バルブ２１ａを閉とし、弱い真空源（低真空ポンプ
２８）に接続するバルブ２１ｃを開とし吸着を解除す
る。（４）まず、真空源（真空ポンプ２６）に接続する
バルブ２１ａを開とし、いったんガラス基板４０を真空
チャック５により真空吸着した後、バルブ２１ａを閉と
し、弱い真空源（低真空ポンプ２８）に接続するバルブ
２１ｃを開とし、いったんガラス基板４０を弱い真空源
で吸着した後、バルブ２１ｃを閉として吸着を解除す
る。

【００２１】本発明で使用するガラス基板は、特に限定
されないが、例えば、ソーダライムガラス、ホウケイ酸
系無アルカリガラス等が好ましく用いられる。本発明で
使用する冷却板の材質は、特に限定されないが、アルミ
合金、ステンレス等が好ましく用いられる。上述したよ
うに、冷却板の割れの原因は次のとおりである。ガラス
基板は冷却板により熱収縮しようとするが、真空吸着に
よりガラス基板の裏面は拘束されており、熱応力が発生
するからである。

【００２２】この解決手段として、冷却板でのガラス基
板吸着を行わない手段が考えられる。しかし、真空吸着
を行わずにガラス基板を冷却板上に移載すると、ガラス
基板と冷却板間の空気が逃げないため、冷却板に対する
ガラス基板の位置がずれて、ガラス基板に温度ムラが生
じたり、または、次の搬送で搬送位置がずれて最悪の場
合、ガラス基板が破損するという新たな問題が生じる。
また、別の解決手段として、冷却板に直接接触させるの
ではなく、複数のピンでガラス基板を支持することによ
り、ガラス基板と冷却板間の空気を逃がして冷却する手
段も考えられるが、この場合は冷却効率が悪化するとい
う新たな問題が生じる。

【００２３】本発明のカラーフィルタ製造方法およびそ
の装置によれば、いったんガラス基板を真空吸着した
後、吸着を解除して冷却するように設定されている。こ
のため、ガラス基板を冷却板上に移載する際に、基板の
位置がずれることがなく、また、冷却時にはガラス基板
の裏面を真空チャックにより拘束しないため、ガラス基
板はフリーの状態となり、ガラス基板の割れは生じな
い。

【００２４】また、本発明のカラーフィルタ製造方法お
よびその装置によれば、冷却板が複数の場合、いったん
ガラス基板を真空吸着した後、吸着を解除することを第
１冷却板だけで行うため、より均一にガラス基板を冷却
することが可能である。いったんガラス基板の真空吸着
を解除すると、冷却板とガラス基板の接触状態が均一に
ならずに、ガラス基板に温度ムラが生じる可能性がある
ため、いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解
除して冷却するように設定することは、ガラス基板と冷
却板の温度差が激しい第１冷却板だけで行い、第２冷却
板以降では真空吸着を解除せずに冷却することが好まし
いのである。

【００２５】また、ガラス基板の割れは、冷却装置に搬
入前のガラス基板と第１冷却板との温度差が大きいから
である。温度差を少なくすれば、ガラス基板の割れは生
じなくなる。しかし、温度差が少なければ冷却効率が悪
くなり、冷却板の個数を増やさなければならない。この
点に関して、鋭意検討した結果、例えば室温まで冷却す
る場合、ガラス基板の厚みを２ｍｍ以下に設定し、冷却
装置に搬入前のガラス基板温度と第１冷却板との温度差
を４０〜６０℃に設定することにより、ガラス基板に割
れが生じずに、また、冷却板の個数を増やさずにガラス
基板を冷却できることを見いだした。このため、冷却装
置に搬入前のガラス基板と第１冷却板との温度差は４０
〜６０℃に設定することが好ましい。

【００２６】本発明のカラーフィルタ製造方法およびそ
の装置によれば、ガラス基板の厚みが２ｍｍ以下に設定
されているとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板温
度と第１冷却板との温度差が６０℃以下に設定されてい
る。このため、ガラス基板の割れが生じない。この場
合、真空吸着を解除しないで冷却板で冷却を行うことも
好ましく用いられる。

【００２７】また、本発明で用いられる冷却板の個数は
複数が好ましく、タクトタイムを短縮できる。具体例１図１に示すような構成の装置によりガラス基板の冷却を
行った。ガラス基板は、サイズ：３６０×４６５ｍｍ、
厚み：１．１ｍｍの無アルカリガラス基板（コーニング
社製７０５９）を用いた。まず、ＩＲオーブン１５でガ
ラス基板４０を１００℃に加熱した後、シャトルコンベ
ア（図示はしていない）で第１冷却板１に移載した。第
１冷却板１では真空チャック部５によりガラス基板４０
をいったん真空吸着して固定した後、吸着を解除して冷
却を行った。第１冷却板１で６０秒間冷却後、ガラス基
板４０をシャトルコンベアで第２冷却板２に移載した。
第２冷却板２では、真空吸着しながら、冷却を行い、６
０秒に次工程に搬送した。なお、第１冷却板１，第２冷
却板２の温度設定は２５℃とした。

【００２８】この結果、ガラス基板の割れを生じずに、
ガラス基板をムラなく冷却することができた。比較例１第１冷却板で真空吸着解除を行わないこと以外は具体例
１と同様にガラス基板の冷却を行った。

【００２９】この結果、ガラス基板の中央部に割れが生
じ、良好に冷却することはできなかった。具体例２図１に示すような構成の装置によりガラス基板の冷却を
行った。ガラス基板は、サイズ：３６０×４６５ｍｍ、
厚み：１．１ｍｍの無アルカリガラス基板（コーニング
社製７０５９）を用いた。まず、ＩＲオーブン１５でガ
ラス基板４０を１００℃に加熱した後、シャトルコンベ
ア（図示はしていない）で第１冷却板１に移載した。第
１冷却板１で真空吸着しながら冷却を行い、６０秒、ガ
ラス基板４０をシャトルコンベアで第２冷却板２に移載
した。第２冷却板２でも同様に冷却を行い、６０秒に次
工程に搬送した。なお、第１冷却板の温度設定は５０℃
とし、冷却装置の搬入前のガラス基板温度と第１冷却板
との温度差を５０℃とした。第２冷却板の温度設定は２
５℃とした。

【００３０】この結果、ガラス基板の割れを生じずに、
ガラス基板を充分に冷却することができた。比較例２第１冷却板の温度設定を２５℃に設定すること以外は具
体例２と同様にガラス基板の冷却を行った。

【００３１】この結果、ガラス基板の中央部に割れが生
じ、良好に冷却することはできなかった。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明
は、いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解除
して冷却するように設定されているため、ガラス基板を
冷却板上に移載する際にガラス基板と冷却板間の空気が
逃げず、基板の位置がずれることがなく、また、冷却時
にはガラス基板の裏面を真空チャックにより拘束しない
ため、ガラス基板の割れを生じずに、ガラス基板を冷却
することができるという特有の効果を奏する。

【００３３】請求項２の発明は、冷却板が複数の場合、
いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解除して
冷却することを第１冷却板だけで行うため、より均一に
ガラス基板を冷却することができるという特有の効果を
奏する。請求項３の発明は、冷却装置に搬入前のガラス
基板温度と第１冷却板との温度差を６０℃以下に設定す
ることにより、ガラス基板の割れ生じずに、ガラス基板
を冷却することができるという特有の効果を奏する。

【００３４】請求項４の発明は、冷却板の個数が複数で
あるため、冷却処理長が伸び、タクトタイムを短縮する
ことができるという特有の効果を奏する。請求項５の発
明は、いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解
除して冷却するように設定されているため、ガラス基板
を冷却板上に移載する際にガラス基板と冷却板間の空気
が逃げず、基板の位置がずれることなく、また冷却時に
はガラス基板の裏面を真空チャックにより拘束しないた
め、ガラス基板の割れを生じずに、ガラス基板を冷却す
ることができるという特有の効果を奏する。

【００３５】請求項６の発明は、冷却板が複数の場合、
いったんガラス基板を真空吸着した後、吸着を解除して
冷却することを第１冷却板だけで行うため、より均一に
ガラス基板を冷却することが可能であるという特有の効
果を奏する。請求項７の発明は、冷却装置に搬入前のガ
ラス基板温度と第１冷却板との温度差を６０℃以下に設
定することにより、ガラス基板の割れが生じずに、ガラ
ス基板を冷却することができるという特有の効果を奏す
る。

【００３６】請求項８の発明は、冷却板の個数が複数で
あるため、冷却処理長が伸び、タクトタイムを短縮する
ことができるという特有の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガラス基板冷却装置の一実施態様例を
示す図である。

【図２】冷却板の詳細を示す一実施態様例である。

【図３】カラーフィルタ製造工程を示す概略ブロック図
である。

【図４】ガラス基板の割れを説明する図である。

【符号の説明】

１第１冷却板２第２冷却板５真空チャック部２２バルブ２３ヒータ３０制御部４０ガラス基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 5/20 - 5/28

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラス基板（４０）上に塗膜を形成する
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、ガ
ラス基板（４０）を加熱する工程と、次の処理工程との
間において、ガラス基板（４０）をいったん冷却板
（１）に真空吸着した後に真空吸着を解除してガラス基
板（４０）を裏面から冷却することを特徴とするカラー
フィルタ製造方法。
【請求項２】ガラス基板（４０）を複数の冷却板
（１）（２）により順次冷却するに当って、ガラス基板
（４０）をいったん第１番目の冷却板（１）に真空吸着
した後に真空吸着を解除してガラス基板（４０）を裏面
から冷却する請求項１に記載のカラーフィルタ製造方
法。
【請求項３】ガラス基板（４０）上に塗膜を形成する
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、ガ
ラス基板（４０）を加熱する工程と、次の処理工程との
間において、ガラス基板（４０）を冷却板（１）により
冷却するに当って、ガラス基板（４０）の厚みを２ｍｍ
以下に設定するとともに、冷却装置に搬入前のガラス基
板（４０）と冷却板（１）との温度差を６０℃以下に設
定することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項４】冷却板（１）（２）が複数設けられてあ
るとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板（４０）と
第１番目の冷却板（１）との温度差が６０℃以下に設定
されてある請求項３記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項５】ガラス基板（４０）上に塗膜を形成する
ことによりカラーフィルタを製造するに当って、ガラス
基板（４０）を加熱する工程と、次の処理工程との間
に、ガラス基板（４０）を裏面から冷却する冷却板
（１）と、冷却板温度をコントロールする温調部（２
２）（２３）（３０）と、ガラス基板（４０）を吸着す
る吸着部（５）と、ガラス基板（４０）を移載する移載
部とを設けてなるカラーフィルタ製造装置であって、冷
却板（１）では、いったんガラス基板（４０）を真空吸
着した後、吸着を解除して冷却することを特徴とするカ
ラーフィルタ製造装置。
【請求項６】ガラス基板（４０）を複数の冷却板
（１）（２）により順次冷却するに当って、ガラス基板
（４０）をいったん第１番目の冷却板（１）に真空吸着
した後に真空吸着を解除してガラス基板（４０）を裏面
から冷却する請求項５に記載のカラーフィルタ製造装
置。
【請求項７】ガラス基板（４０）上に塗膜を形成する
ことによりカラーフィルタを製造するに当って、ガラス
基板（４０）を加熱する工程と、次の処理工程との間
に、ガラス基板（４０）を裏面から冷却する冷却板
（１）と、冷却板温度をコントロールする温調部（２
２）（２３）（３０）と、ガラス基板（４０）を吸着す
る吸着部（５）と、ガラス基板（４０）を移載する移載
部とを設けてなるカラーフィルタ製造装置であって、ガ
ラス基板の厚みが２ｍｍ以下に設定されてあるととも
に、冷却装置に搬入前のガラス基板（４０）と冷却板
（１）との温度差を６０℃以下に設定する温度制御器
（３０）を有することを特徴とするカラーフィルタ製造
装置。
【請求項８】冷却板（１）（２）が複数設けられてあ
るとともに、冷却装置に搬入前のガラス基板（４０）と
第１番目の冷却板（１）との温度差が６０℃以下に設定
されてある請求項７記載のカラーフィルタ製造装置。