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JP3330816B2 - Atomic absorption photometer - Google Patents
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JP3330816B2 - Atomic absorption photometer - Google Patents

Atomic absorption photometer

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JP3330816B2
JP3330816B2 JP09111996A JP9111996A JP3330816B2 JP 3330816 B2 JP3330816 B2 JP 3330816B2 JP 09111996 A JP09111996 A JP 09111996A JP 9111996 A JP9111996 A JP 9111996A JP 3330816 B2 JP3330816 B2 JP 3330816B2
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frame
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一夫 森谷
早人 戸辺
佳定 江畠
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、測定試料を霧化し
てフレーム内で原子化し、その原子化した試料による吸
光度を測定する原子吸光光度計に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an atomic absorption spectrophotometer for atomizing a measurement sample and atomizing the sample in a frame, and measuring the absorbance of the atomized sample.

【0002】[0002]

【従来の技術】フレーム原子吸光法は、測定試料を霧化
してフレーム内で原子化し吸光度を測定することによ
り、溶液試料中の金属元素を測定する元素分析法の一つ
であって、原子吸光光度計はその分析方法を実施するた
めの測定装置である。この原子吸光光度計は、比較的分
析時間が短く溶媒による影響も少ないため、簡便にかつ
高い感度で測定することができるという優れた特徴をも
つ。また、測定可能な元素も約50種類あり、例えば鉄
鋼中の不純物や、環境試料などの測定を始め、広い範囲
の分野で利用されている。また、昨今では、特に環境分
析分野における規制値が厳しくなってきており、そのこ
とを考慮しても原子吸光光度計の役割は大きくなってい
る。
2. Description of the Related Art Flame atomic absorption spectrometry is one of the elemental analysis methods for measuring a metal element in a solution sample by atomizing a measurement sample, atomizing the sample in a flame, and measuring the absorbance. The photometer is a measuring device for performing the analysis method. This atomic absorption spectrophotometer has an excellent feature that the measurement can be performed easily and with high sensitivity because the analysis time is relatively short and the influence of the solvent is small. Also, there are about 50 types of measurable elements, which are used in a wide range of fields, such as measurement of impurities in steel and environmental samples. In recent years, regulation values in the field of environmental analysis have become stricter, and the role of the atomic absorption spectrometer has been increasing even in consideration of this.

【0003】原子吸光光度計を実際に使用するに際して
は、フレーム温度を高くするために、燃料ガスとしてア
セチレンガスもしくは水素ガスが用いられる。このフレ
ームは測定元素によって最適な条件が異なるため、測定
試料毎にフレーム用の燃料ガスの流量を変化させる必要
がある。
When an atomic absorption photometer is actually used, acetylene gas or hydrogen gas is used as a fuel gas in order to increase the flame temperature. Since the optimum conditions of the flame vary depending on the element to be measured, it is necessary to change the flow rate of the fuel gas for the flame for each measurement sample.

【0004】従来、このような流量の調整は、燃料ガス
の流路に可変ニードルバルブを設け、さらにステッピン
グモータで燃料ガスの送り量を制御することで行ってい
た。即ち、燃料を制御するための制御部において、可変
ニードルバルブに対するガスの圧力と、可変ニードルバ
ルブのニードルの隙間面積との関係から流量を求めてい
た。また、上記とは別にフレームセンサをフレームを発
生させるバーナの近傍に設けておき、フレームが実際に
点火しているかどうかを上記フレームセンサで検出する
ことによって燃料ガスが流れているかどうかを確認して
いた。
Heretofore, such flow rate adjustment has been performed by providing a variable needle valve in the flow path of the fuel gas and controlling the feed rate of the fuel gas by a stepping motor. That is, in the control unit for controlling the fuel, the flow rate is obtained from the relationship between the gas pressure on the variable needle valve and the clearance area of the needle of the variable needle valve. Also, separately from the above, a frame sensor is provided in the vicinity of a burner for generating a flame, and whether or not fuel gas is flowing is confirmed by detecting whether or not the flame is actually ignited by the above-mentioned frame sensor. Was.

【0005】このような燃料ガス流量の調整や確認方式
を含めた従来の原子吸光光度計によるフレーム点火シー
ケンスを図6により説明する。但し、このようなシーケ
ンスは、通常、燃料を制御するための制御部にプログラ
ムとして設定されているものである。点火シーケンスが
始まると、ステップS401に示すようにバーナ冷却用
の水が流れているかどうかを確認する。水が流れている
ならば次のステップS402へ進み、水が流れていなけ
ればエラー終了となる。次に、ステップS402におい
て、フレーム用の空気圧が正常であるか(十分である
か)どうかを確認する。正常な空気圧ならば次のステッ
プS403に進み、正常でない(不十分である)ならば
エラー終了となる。次に、ステップS403において、
燃料ガス圧が十分であるかどうかを確認する。十分なガ
ス圧ならば次のステップS404に進み、不十分ならば
エラー終了となる。
[0005] A flame ignition sequence by a conventional atomic absorption spectrophotometer including such a fuel gas flow rate adjustment and confirmation method will be described with reference to FIG. However, such a sequence is usually set as a program in a control unit for controlling fuel. When the ignition sequence starts, it is confirmed whether or not water for cooling the burner is flowing as shown in step S401. If water is flowing, the process proceeds to the next step S402, and if water is not flowing, an error ends. Next, in step S402, it is checked whether the air pressure for the frame is normal (sufficient). If the air pressure is normal, the process proceeds to the next step S403. If the air pressure is not normal (insufficient), an error is ended. Next, in step S403,
Check that the fuel gas pressure is sufficient. If the gas pressure is sufficient, the process proceeds to the next step S404. If the gas pressure is insufficient, the process ends with an error.

【0006】ステップS404では、燃料ガス流量の設
定を行う。実際には、前述の流量調整用のパルスモータ
に対し、燃料ガス流量が点火すべき適正な流量となるよ
うにパルスを送る。次に、ステップS405において種
火用のバルブを開け、種火に点火し、次のステップS4
06でバーナのバルブを開けてバーナにフレームを点火
する。その後、フレームの安定を待ち、ステップS40
7で前述のフレームセンサによりフレームの点火を確認
する。この時、フレームが点火していることが確認され
ると、次のシーケンス即ち測定等に進み、フレームが点
火していないと判断された場合にはエラー終了となる。
In step S404, a fuel gas flow rate is set. Actually, a pulse is sent to the above-mentioned pulse motor for adjusting the flow rate so that the fuel gas flow rate becomes an appropriate flow rate to be ignited. Next, in step S405, a pilot valve is opened to ignite the pilot flame, and in the next step S4
At 06, the burner valve is opened and the flame is ignited to the burner. Then, wait for the frame to stabilize, and step S40
At 7, the ignition of the flame is confirmed by the aforementioned flame sensor. At this time, when it is confirmed that the flame is ignited, the process proceeds to the next sequence, that is, measurement, and the like, and when it is determined that the flame is not ignited, an error ends.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の技
術では、可変ニードルバルブとステッピングモータとの
関係から燃料ガスの流量を間接的に求めていたため、実
際にどれだけの流量の燃料ガスが流れているのか、或い
は求められた流量の燃料ガスが実際に流れているかどう
かということはわからなかった。このように、燃料ガス
の実流量を観測していなかったため、仮に可変ニードル
バルブやステッピングモータに異常があった場合には、
設定した流量とは異なる流量で点火もしくは測定が行わ
れる可能性がある。また、フレームセンサでフレームの
点火を確認しているものの、その確認方法もやはり上記
と同様に間接的なものであるために十分とはいえなかっ
た。
In the prior art as described above, the flow rate of the fuel gas is indirectly determined from the relationship between the variable needle valve and the stepping motor. It was not known whether it was flowing or if the required flow rate of fuel gas was actually flowing. As described above, since the actual flow rate of the fuel gas was not observed, if there was an abnormality in the variable needle valve or the stepping motor,
The ignition or measurement may be performed at a flow rate different from the set flow rate. Further, although the ignition of the flame is confirmed by the flame sensor, the method of confirming the ignition is not sufficient because it is also indirect as in the above.

【0008】本発明の目的は、実際の燃料ガスの流量を
確実に知ることができ、燃料ガスを安全かつ正確に制御
することが可能な原子吸光光度計を提供することであ
る。
[0008] An object of the present invention is to provide an atomic absorption spectrophotometer capable of surely knowing the actual flow rate of fuel gas and controlling the fuel gas safely and accurately.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は次のように構成される。測定試料と燃料ガ
スを混合するためのフレームチャンバと、このフレーム
チャンバに接続され、フレームを点火するためのバーナ
と、測定元素の線スペクトルを含んだ光を発する光源部
と、前記フレームチャンバ内に測定試料を噴霧する噴霧
部と、前記光源部から発せられた光を前記フレームを通
過させ前記測定試料による吸収が行われた後の光を検出
する光検出部と、前記燃料ガスの流量および燃焼を制御
する燃料ガス制御部とを有する原子吸光光度計におい
て、前記フレームチャンバに供給される前記燃料ガス
を測定する燃料ガス流量計を備え、前記燃料ガス制
御部は、前記フレームを点火するための制御シーケンス
と、前記フレーム燃焼を監視するための制御シーケンス
と、前記フレームを消火するための制御シーケンスを行
い、いずれの制御シーケンスにおいても前記燃料ガス流
量計の測定結果を用いて、予め定められたガス流量がフ
レームチャンバに供給されているか否かを判断する。
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. Measurement sample and fuel gas
And a frame chamber for mixing
Burner connected to the chamber and for igniting the flame
A light source unit that emits light including a line spectrum of a measurement element, and a spray that sprays a measurement sample into the frame chamber.
Unit, a light detection unit that detects light after light emitted from the light source unit passes through the frame and is absorbed by the measurement sample, and fuel gas control that controls the flow rate and combustion of the fuel gas And an atomic absorption spectrophotometer having a portion of the fuel gas supplied to the frame chamber .
Comprising a fuel gas flow meter for measuring the flow rate, the fuel gas system
The control unit controls the ignition of the flame.
And a control sequence for monitoring the flame combustion
And a control sequence for extinguishing the frame is performed.
In each control sequence, the fuel gas flow
Using the measurement result of the meter, the predetermined gas flow rate is
It is determined whether or not it is being supplied to the frame chamber.

【0010】[0010]

【0011】(2)好ましくは、上記(1)において、
前記燃料ガス流量計は、熱式流量計である。
(2) Preferably, in the above (1),
The fuel gas flow meter is a thermal flow meter.

【0012】(3)また、好ましくは、上記(1)にお
いて、前記フレームを点火するための制御シーケンス
は、前記燃料ガスの流量がゼロであること、前記バーナ
に水が流れていること、及び空気圧及び燃料ガス圧が正
常であることを確認し、正常であれば前記燃料ガスの流
量を設定して点火を行い、正常でないときは処理を終了
する。 (4)また、好ましくは、上記(3)において、前記設
定された燃料ガスの流量は、測定元素の測定に適切な流
量であり、前記フレームを点火した後、前記設定された
流量と前記燃料ガス流量計の測定結果とを比較すると共
に、その比較動作を一定時間毎に所定回数繰り返す。
(3) Preferably, in the above (1),
Control sequence for igniting the flame
Means that the flow rate of the fuel gas is zero;
Water is flowing through the air, and the air pressure and fuel gas pressure are correct.
The fuel gas flow is normal.
Set the amount and ignite, if not normal, end the process
I do. (4) Preferably, in (3) above,
The specified flow rate of the fuel gas is
The amount is the set after ignition of the flame
Comparing the flow rate with the measurement result of the fuel gas flow meter,
Then, the comparison operation is repeated a predetermined number of times at regular intervals.

【0013】また、好ましくは、上記(3)において、
前記設定された燃料ガスの流量は、測定元素の測定に適
切な流量であり、前記フレーム燃焼を監視するための制
御シーケンスは、前記バーナに水が流れていること、及
び空気圧及び燃料ガス圧が正常であること、前記フレー
ムが点火していること、前記燃料ガス流量計の測定結果
が設定された流量と比較して適切であることを確認し、
異常があれば前記フレームを消火する。
Preferably, in the above (3),
The set fuel gas flow rate is suitable for the measurement of the measurement element.
The flow rate is high, and the
The control sequence is that water is flowing through the burner and
Air pressure and fuel gas pressure are normal,
That the fuel gas flow meter is lit
Is appropriate compared to the set flow rate,
If abnormal, extinguish the flame.

【0014】また、好ましくは、上記(3)において、
前記フレームを消火するための制御シーケンスは、前記
燃料ガスの流れを止めた後、前記燃料ガス流量計の測定
結果が流量ゼロであることを確認し、ゼロで無い場合
は、異常と判断して讐告を発する。
Preferably, in the above (3),
The control sequence for extinguishing the frame comprises:
After stopping the flow of fuel gas, measure the fuel gas flow meter
Check that the result is zero, if not
Determines that something is abnormal and issues a vengeance.

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明による原子吸光光度計の一
実施形態について、図1から図5を参照しながら説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the atomic absorption photometer according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0018】図1は本実施形態の原子吸光光度計の概略
構成図であり、図2は本実施形態の原子吸光光度計の機
能ブロック図である。図1に示す原子吸光光度計は、試
料と燃料ガスと空気を混合するためのフレームチャンバ
1、フレーム11を点火するためのバーナ2、試料を噴
霧するネブライザ3、ネブライザ3に試料を送る供給管
4、燃料ガス供給管5、空気供給管6、燃料ガスおよび
空気の流量を制御する燃料ガス制御部7、測定元素の線
スペクトルを含む光束8aを発生させるホローカソード
ランプ8、フレーム11を通過した光束11aを分光す
る分光器9、分光器9で分光された光束9aを検知する
検知器10、フレーム11の点火の有無を調べるための
フレームセンサ12を備えている。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an atomic absorption spectrophotometer of the present embodiment, and FIG. 2 is a functional block diagram of the atomic absorption photometer of the present embodiment. The atomic absorption spectrometer shown in FIG. 1 includes a frame chamber 1 for mixing a sample, fuel gas, and air, a burner 2 for igniting a frame 11, a nebulizer 3 for spraying the sample, and a supply pipe for sending the sample to the nebulizer 3. 4. Fuel gas supply pipe 5, air supply pipe 6, fuel gas control unit 7 for controlling the flow rate of fuel gas and air, hollow cathode lamp 8 for generating luminous flux 8a containing line spectrum of measurement element, and frame 11 The spectroscope 9 includes a spectroscope 9 for splitting the light beam 11a, a detector 10 for detecting the light beam 9a split by the spectrometer 9, and a frame sensor 12 for checking whether or not the flame 11 is ignited.

【0019】また、図2に示すように、燃料ガス制御部
7にはコントロール部13、燃料ガスの流量を精密に測
定するマスフローメータ14、燃料ガスの流量を精密に
調整するマスフローコントローラ15、空気の流量を調
整する空気流量設定部16が備えられており、マスフロ
ーメータ14にはアセチレンガス等の燃料ガス源17
が、空気流量設定部16には空気源18がそれぞれ接続
されており、さらにコントロール部13には入出力装置
を兼ねた主制御装置19が接続されている。なお、空気
流量設定部16としては、マスフローメータ14やマス
フローコントローラ15と同様のもので構成してもよ
い。また、燃料ガス供給管5にはガス圧計20が、空気
供給管6には空気圧計21が、それぞれ接続されてお
り、ガス圧計20および空気圧計21の計測値がコント
ロール部13に入力されるようになっている。さらに、
バーナ2を冷却するために水冷管22が通っており、水
冷管22には水の流量を測定する流量計23が取り付け
られており、流量計23の計測値がコントロール部13
に入力されるようになっている。
As shown in FIG. 2, the fuel gas control section 7 includes a control section 13, a mass flow meter 14 for precisely measuring the flow rate of the fuel gas, a mass flow controller 15 for precisely adjusting the flow rate of the fuel gas, The mass flow meter 14 is provided with an air flow rate setting section 16 for adjusting the flow rate of the fuel gas.
However, an air source 18 is connected to the air flow rate setting unit 16, and a main control unit 19 also serving as an input / output device is connected to the control unit 13. Note that the air flow rate setting unit 16 may be configured with the same one as the mass flow meter 14 and the mass flow controller 15. A gas pressure gauge 20 is connected to the fuel gas supply pipe 5, and an air pressure gauge 21 is connected to the air supply pipe 6, so that the measured values of the gas pressure gauge 20 and the air pressure gauge 21 are input to the control unit 13. It has become. further,
A water cooling tube 22 passes through the water cooling tube 22 for cooling the burner 2, and a flow meter 23 for measuring the flow rate of water is attached to the water cooling tube 22.
To be entered.

【0020】上記のマスフローメータ14は熱式流量計
であって、極細いバイパス流路を設けておき、そのバイ
パス流路の2箇所を電熱線でソレノイド状に囲み、バイ
パス流路を流れる流体を上流側の電熱線で加熱し、下流
側の電熱線の電圧値より流体の流量を知るものである。
また、マスフローコントローラ15は、精密なニードル
の動きによって流路断面積を制御し流体の流量を精密に
設定する精密ニードルバルブを備えた装置であり、ニー
ドルバルブはそのニードル駆動源に設定電圧を与えるこ
とで流量の設定が行われる。通常、これらマスフローメ
ータ14およびマスフローコントローラ15は、組み合
わせて用いられる。
The mass flow meter 14 is a thermal type flow meter, which has a very thin bypass flow path, and surrounds two places of the bypass flow path in a solenoid shape with a heating wire to flow the fluid flowing through the bypass flow path. Heating is performed by the heating wire on the upstream side, and the flow rate of the fluid is known from the voltage value of the heating wire on the downstream side.
The mass flow controller 15 is a device having a precision needle valve for controlling the flow path cross-sectional area by precise movement of the needle and precisely setting the flow rate of the fluid. The needle valve applies a set voltage to the needle drive source. This sets the flow rate. Usually, the mass flow meter 14 and the mass flow controller 15 are used in combination.

【0021】上記のような原子吸光光度計の運転に際し
ては、予め硝酸や塩酸などの酸性溶液に供試材を溶解し
て測定用の試料溶液を作成しておく。そして、その試料
溶液を供給管4よりネブライザ3に導入して霧状にし、
その霧状になった測定試料をフレームチャンバ1内に放
出する。また、燃料ガス源17から供給された燃料ガス
はマスフローメータ14で流量の測定が行われ、マスフ
ローコントローラ15で流量の設定が行われた後に燃料
ガス供給管5を介してフレームチャンバ1内に供給され
る。さらに、空気空気源18からの空気は空気流量設定
部16で流量が設定された後に空気供給管6を介してフ
レームチャンバ1内に供給される。マスフローメータ1
4による燃料ガスの流量、および空気流量設定部16に
よる空気の流量は、コントロール部13において予め設
定したそれぞれの流量と比較および監視される。
In the operation of the atomic absorption spectrophotometer as described above, the test material is dissolved in an acidic solution such as nitric acid or hydrochloric acid to prepare a sample solution for measurement. Then, the sample solution is introduced into the nebulizer 3 from the supply pipe 4 to form a mist,
The atomized measurement sample is discharged into the frame chamber 1. The flow rate of the fuel gas supplied from the fuel gas source 17 is measured by the mass flow meter 14, the flow rate is set by the mass flow controller 15, and then supplied into the frame chamber 1 via the fuel gas supply pipe 5. Is done. Further, the air from the air / air source 18 is supplied into the frame chamber 1 via the air supply pipe 6 after the flow rate is set by the air flow rate setting unit 16. Mass flow meter 1
The flow rate of the fuel gas by the control unit 4 and the flow rate of the air by the air flow rate setting unit 16 are compared and monitored with respective flow rates preset in the control unit 13.

【0022】フレームチャンバ1内では測定試料と燃料
ガスと空気とが混合されバーナ2に送られる。そして、
バーナ2の細長いスリットから混合気体が大気中に放出
され、その混合気体に点火することにより、バーナ2の
スリット上でフレーム11が形成され、測定試料中の元
素が原子化されて原子蒸気となる。また、フレームセン
サ12はフレーム11の点火の有無を監視する。この原
子蒸気の存在するフレーム11にホローカソードランプ
8から測定元素の線スペクトルを有する光束8aを通過
させると、フレーム11中の原子蒸気によって光吸収が
起こる。その後、フレーム11を通過した光束11aは
分光器9で分光され、分光された光束9aは検知器17
で検知され、原子吸収測定が行われる。その原子吸収測
定のデータは主制御装置19に送られてデータ処理が施
され、分析結果が出力される。
In the frame chamber 1, the measurement sample, fuel gas and air are mixed and sent to the burner 2. And
The mixed gas is released into the atmosphere from the elongated slit of the burner 2 and ignited by the mixed gas to form a frame 11 on the slit of the burner 2, and the elements in the measurement sample are atomized into atomic vapor. . Further, the flame sensor 12 monitors the presence or absence of ignition of the flame 11. When a light beam 8a having a line spectrum of a measurement element is passed from the hollow cathode lamp 8 to the frame 11 where the atomic vapor is present, light absorption occurs due to the atomic vapor in the frame 11. Thereafter, the light beam 11a passing through the frame 11 is split by the spectroscope 9, and the split light beam 9a is
And an atomic absorption measurement is performed. The data of the atomic absorption measurement is sent to the main controller 19 and subjected to data processing, and the analysis result is output.

【0023】次に、本実施形態によるフレーム点火監視
シーケンスを、図3により説明する。但し、このシーケ
ンスは、燃料ガス制御部7のコントロール部13にプロ
グラムとして設定されているものである(以下、図4お
よび図5のシーケンスについても同様とする)。まず、
ステップS101において、フレームセンサ12により
バーナ2が消火しているかどうかを確認し、消火してい
ない場合、即ち点火している場合には最後までジャンプ
し、このフレーム点火確認シーケンスを終了して次のシ
ーケンスに進む。また、消火してる場合には、ステップ
S102に進み、マスフローメータ14によって実際に
燃料ガスが流れていないことを確認する。ここで、燃料
ガスが流れている場合は、点火していないにもかかわら
ず燃料ガスが流れていることになるため、エラー終了と
なり、一方、燃料ガスが流れていない場合は次のステッ
プS103に進む。上記ステップS101およびS10
2では、フレームセンサ12およびマスフローメータ1
4によって二重にバーナ2の消火状態の確認を行ってい
るため、いずれかの故障による燃料ガスの誤流出の可能
性を小さくできる。
Next, a flame ignition monitoring sequence according to the present embodiment will be described with reference to FIG. However, this sequence is set as a program in the control unit 13 of the fuel gas control unit 7 (the same applies to the sequences in FIGS. 4 and 5 below). First,
In step S101, it is confirmed whether or not the burner 2 is extinguished by the flame sensor 12. If it is not extinguished, that is, if it is ignited, the process jumps to the end. Proceed to sequence. If the fire has been extinguished, the process proceeds to step S102, and it is confirmed by the mass flow meter 14 that the fuel gas is not actually flowing. Here, if the fuel gas is flowing, it means that the fuel gas is flowing despite the fact that ignition is not performed, so that an error is terminated. On the other hand, if the fuel gas is not flowing, the process proceeds to the next step S103. move on. Steps S101 and S10 above
2, the frame sensor 12 and the mass flow meter 1
4, the fire extinguishing state of the burner 2 is double-checked, so that the possibility of erroneous outflow of fuel gas due to any failure can be reduced.

【0024】ステップS103では、バーナ2冷却用の
水が水冷管22を流れているかどうかを流量計23で確
認し、流れているならば次のステップS104へ進み、
流れていなければエラー終了となる。ステップS104
では、空気圧が正常であるか(十分であるか)を空気圧
計21によって確認し、正常な空気圧ならば次のステッ
プS105に進み、正常でない(不十分である)ならば
エラー終了となる。ステップS105では、燃料ガス圧
が正常であるか(十分であるか)をガス圧計20によっ
て確認し、正常な燃料ガス圧ならば次のステップS10
6に進み、正常でない(不十分である)ならばエラー終
了となる。
In step S103, it is confirmed by the flow meter 23 whether or not the water for cooling the burner 2 is flowing through the water cooling pipe 22, and if it is flowing, the flow proceeds to the next step S104.
If it does not flow, an error ends. Step S104
Then, whether the air pressure is normal (sufficient) is checked by the air pressure gauge 21. If the air pressure is normal, the process proceeds to the next step S105, and if the air pressure is not normal (insufficient), an error ends. In step S105, whether the fuel gas pressure is normal (sufficient) is checked by the gas pressure gauge 20, and if the fuel gas pressure is normal, the next step S10
The process proceeds to step 6, and if not normal (insufficient), an error is ended.

【0025】ステップS106では、マスフローコント
ローラ15により燃料ガスの流量を設定する。この時、
例えば点火流量に応じた設定電圧をコントロール部13
からマスフローコントローラ15に与える。次に、ステ
ップS107において図示しない種火用のバルブを開
け、種火に点火し、次のステップS108でバーナ2の
バルブを開けてバーナ2にフレーム11を点火する。そ
の後、フレーム11の安定を待ち、ステップS109で
フレームセンサ12によりフレーム11の点火を確認す
る。この時、フレーム11が点火していないと判断され
た場合にはエラー終了となり、フレーム11が点火して
いることが確認されると、次のステップS110に進
む。 ステップS110では、燃料ガスの流量が設定さ
れた適切な流量かどうかを確認する。即ち、マスフロー
メータ14によって実際の燃料ガス流量を測定し、コン
トロール部13において、測定された実際の燃料ガス流
量とマスフローコントローラ15で設定した流量とを比
較および監視する。しかもステップS110は、上記の
ような比較および監視の動作を、一定時間間隔、例えば
100マイクロ秒程度の微小な時間間隔で、所定回数分
だけ繰り返すマイクロループを有している。この比較お
よび監視の結果、燃料ガス流量が設定流量と異なってい
る場合はエラー終了となり、燃料ガス流量が適切であれ
ばこのフレーム点火確認シーケンスを終了して次のシー
ケンス(例えば測定等)に進む。
In step S106, the mass flow controller 15 sets the flow rate of the fuel gas. At this time,
For example, the control unit 13 sets a set voltage corresponding to the ignition flow rate.
To the mass flow controller 15. Next, in step S107, a pilot flame valve (not shown) is opened to ignite the pilot flame, and in the next step S108, the burner 2 valve is opened to ignite the flame 11 in the burner 2. Thereafter, the ignition of the flame 11 is confirmed by the flame sensor 12 in step S109 until the flame 11 is stabilized. At this time, if it is determined that the flame 11 is not ignited, an error is terminated. If it is confirmed that the flame 11 is ignited, the process proceeds to the next step S110. In step S110, it is checked whether or not the flow rate of the fuel gas is the set appropriate flow rate. That is, the actual fuel gas flow rate is measured by the mass flow meter 14, and the control unit 13 compares and monitors the measured actual fuel gas flow rate with the flow rate set by the mass flow controller 15. In addition, step S110 has a micro loop that repeats the above-described comparison and monitoring operation a predetermined number of times at a fixed time interval, for example, a minute time interval of about 100 microseconds. As a result of the comparison and monitoring, if the fuel gas flow rate is different from the set flow rate, an error is terminated. If the fuel gas flow rate is appropriate, the flame ignition confirmation sequence is terminated and the process proceeds to the next sequence (for example, measurement). .

【0026】マスフローメータ14によって実際の燃料
ガス流量を測定し、コントロール部13で比較および監
視する上記のようなステップS110が存在することに
より、実際の燃料ガス流量をマイクロループの一定時間
内で確認することができ、燃料ガスの点火時にその燃料
ガス流量の調整が正常であるかどうかを検証することが
できる。特に従来では、ステッピングモータの故障やバ
ルブ近傍のつまりなどのために、設定した燃料ガスの流
量と実際の流量とが異なる場合があったが、このような
ことがなくなる。また、点火時の燃料ガスの誤流出を防
止して安全性を向上することが可能になる。
The actual fuel gas flow rate is measured by the mass flow meter 14 and compared with the control unit 13 to check and monitor the actual fuel gas flow rate within a certain period of time due to the presence of step S110. It is possible to verify whether the adjustment of the fuel gas flow rate at the time of ignition of the fuel gas is normal. In particular, in the related art, the set flow rate of the fuel gas may be different from the actual flow rate due to a failure of the stepping motor or clogging in the vicinity of the valve. Further, it is possible to prevent erroneous outflow of the fuel gas at the time of ignition and improve safety.

【0027】次に、本実施形態によるフレーム燃焼監視
シーケンスを、図4により説明する。燃料ガスが燃焼し
フレーム11が形成されている間は必ずこのシーケンス
が実行される。まず、ステップS201において、バー
ナ2冷却用の水が水冷管22を流れているかどうかを流
量計23で確認し、流れているならば次のステップS2
02へ進み、流れていなければ異常と認めてフレーム消
火シーケンス(図5参照)へ進む。ステップS202で
は、空気圧が正常であるか(十分であるか)を空気圧計
21によって確認し、正常な空気圧ならば次のステップ
S203に進み、正常でない(不十分である)ならばフ
レーム消火シーケンスへ進む。ステップ203では、燃
料ガス圧が正常であるか(十分であるか)をガス圧計2
0によって確認し、正常な燃料ガス圧ならば次のステッ
プS204に進み、正常でない(不十分である)ならば
フレーム消火シーケンスへ進む。ステップS204で
は、フレームセンサ12によりフレーム11の点火を確
認し、フレーム11が点火していないと判断された場合
にはフレーム消火シーケンスへ進み、フレーム11が点
火していることが確認されると、次のステップS205
に進む。
Next, a flame combustion monitoring sequence according to this embodiment will be described with reference to FIG. This sequence is always executed while the fuel gas is burning and the frame 11 is formed. First, in step S201, it is confirmed by the flow meter 23 whether or not the water for cooling the burner 2 is flowing through the water cooling pipe 22, and if it is flowing, the next step S2
02, if it does not flow, it is recognized as abnormal, and the flow proceeds to the frame extinguishing sequence (see FIG. 5). In step S202, whether the air pressure is normal (sufficient) is checked by the air pressure gauge 21. If the air pressure is normal, the process proceeds to the next step S203. If the air pressure is not normal (insufficient), the flow proceeds to the flame extinguishing sequence. move on. In step 203, the gas pressure gauge 2 checks whether the fuel gas pressure is normal (sufficient).
If the fuel gas pressure is normal, the process proceeds to the next step S204, and if the fuel gas pressure is not normal (insufficient), the process proceeds to the flame extinguishing sequence. In step S204, the ignition of the flame 11 is confirmed by the flame sensor 12, and when it is determined that the flame 11 is not ignited, the process proceeds to the flame extinguishing sequence. When it is confirmed that the flame 11 is ignited, Next step S205
Proceed to.

【0028】ステップS205では、燃料ガスの流量が
設定された適切な流量かどうかを、図3のステップS1
10と同様のマイクロループで確認する。即ち、マスフ
ローメータ14によって実際の燃料ガス流量を測定し、
コントロール部13で測定された実際の燃料ガス流量と
マスフローコントローラ15で設定した流量とを比較お
よび監視し、かつこの比較および監視の動作を一定時間
間隔で所定回数繰り返す。そして、燃料ガス流量が設定
流量と異なっている場合はフレーム消火シーケンスへ進
み、燃料ガス流量が適切であればステップS206に進
む。
In step S205, it is determined in step S1 of FIG. 3 whether the flow rate of the fuel gas is a set appropriate flow rate.
Confirm with the same micro loop as in 10. That is, the actual fuel gas flow rate is measured by the mass flow meter 14,
The actual fuel gas flow rate measured by the control unit 13 is compared and monitored with the flow rate set by the mass flow controller 15, and the operation of the comparison and monitoring is repeated a predetermined number of times at regular time intervals. If the fuel gas flow rate is different from the set flow rate, the flow proceeds to the flame extinguishing sequence, and if the fuel gas flow rate is appropriate, the flow proceeds to step S206.

【0029】ステップS206では、バーナ2を消火し
てフレーム11の形成を中止したり、或いは燃料ガスの
種類を変えるなどの何らかの動作要求が入力されるまで
待ち、そのような要求がなければステップS201に戻
る。つまり、何らかの動作要求が入力されるまではステ
ップS201からステップS206までをループとして
繰り返すことになる。また、ステップS201からステ
ップS206までのループの繰り返し時間間隔は、例え
ば1秒程度の短い時間に設定される。さらに、ステップ
S206で何らかの動作要求が入力されると、このルー
プを抜け出し、次のシーケンス即ち要求された動作に進
む。
In step S206, the burner 2 is extinguished and the formation of the frame 11 is stopped, or an operation request such as changing the type of fuel gas is input. If there is no such request, step S201 is performed. Return to That is, steps S201 to S206 are repeated as a loop until some operation request is input. In addition, the repetition time interval of the loop from step S201 to step S206 is set to a short time, for example, about 1 second. Further, if any operation request is input in step S206, the process exits this loop and proceeds to the next sequence, that is, the requested operation.

【0030】マスフローメータ14によって実際の燃料
ガス流量を測定し、コントロール部13で比較および監
視する上記のようなステップS205が存在することに
より、燃料ガスの燃焼中の実際の燃料ガス流量をマイク
ロループの一定時間内で確認することができる。また、
燃料ガスの燃焼中の何らかの動作要求が入力されるまで
の間ステップS201からステップS206までのルー
プを繰り返すことにより、燃料ガスの燃焼中においては
常に燃料ガス流量の正確な確認を行うことができ、たと
え燃料ガスの誤流出異常が発生した場合でも、少なくと
も上記ループの繰り返し時間程度(例えば、ループの時
間間隔を1秒とした場合には最大でも2秒程度)の短時
間にその異常を発見することができる。従って、燃料ガ
スの燃焼中に安全な燃料ガスの燃焼を行うことができ
る。
The actual flow rate of the fuel gas is measured by the mass flow meter 14, and the control unit 13 compares and monitors the actual flow rate of the fuel gas. Can be confirmed within a certain period of time. Also,
By repeating the loop from step S201 to step S206 until any operation request during the combustion of the fuel gas is input, it is possible to always accurately check the flow rate of the fuel gas during the combustion of the fuel gas. Even if an erroneous outflow of fuel gas occurs, the abnormality is found in a short time at least as long as the repetition time of the loop (for example, at most about 2 seconds when the time interval of the loop is 1 second). be able to. Therefore, safe combustion of the fuel gas can be performed during combustion of the fuel gas.

【0031】次に、本実施形態によるフレーム消火シー
ケンスを、図5により説明する。まず、ステップS30
1において、バーナ2のバルブを閉じて燃料ガスを止め
る。そして、ステップS302において、燃料ガスの流
量が0であるかどうかを、図3のステップS110と同
様のマイクロループで確認する。この際、燃料ガス流量
が0でなければ、消火しているにも拘らず燃料ガスが流
れていることになり、燃料ガス制御部7の異常やガスの
リーク等の異常が考えられるため、ステップS303に
示すように警告を発生してユーザにそのことを知らせ
る。また、ステップS302で燃料ガス流量が0である
ことが確認されればこのフレーム消火シーケンスを終了
する。
Next, a frame extinguishing sequence according to the present embodiment will be described with reference to FIG. First, step S30
At 1, the valve of the burner 2 is closed to stop the fuel gas. Then, in step S302, it is checked whether or not the flow rate of the fuel gas is 0 by the same micro loop as in step S110 in FIG. At this time, if the fuel gas flow rate is not 0, it means that the fuel gas is flowing despite the fact that the fire is extinguished, and abnormalities such as abnormality of the fuel gas control unit 7 and gas leak are considered. As shown in S303, a warning is generated and the user is notified of that. If it is confirmed in step S302 that the fuel gas flow rate is 0, the flame extinguishing sequence ends.

【0032】このフレーム消火シーケンスでは、マスフ
ローメータ14およびコントロール部13によって実際
の燃料ガス流量が0であるかどうかを比較および監視す
るステップS302が存在することにより、結果的に消
火時の燃料ガスのリーク試験を行うことができ、消火時
の自己診断を行うことができる。従って、フレーム11
の消火の際の安全性を向上することが可能となる。
In this flame extinguishing sequence, the mass flow meter 14 and the control unit 13 compare and monitor whether or not the actual fuel gas flow rate is 0, and as a result, the fuel gas flow during fire extinguishing is consequently provided. A leak test can be performed, and a self-diagnosis at the time of fire extinguishing can be performed. Therefore, frame 11
It is possible to improve the safety at the time of fire extinguishing.

【0033】以上のような本実施形態によれば、マスフ
ローメータ14によって実際の燃料ガス流量を測定し、
コントロール部13で比較および監視するステップを設
けるので、実際の燃料ガス流量をマイクロループの一定
時間内で確認することができ、燃料ガスの点火時におけ
る燃料ガス流量の調整が正常であるかどうかを検証した
り、燃料ガスの燃焼中の実際の燃料ガス流量を確認した
り、消火時の燃料ガスのリーク試験を行ったりすること
が可能となる。また、燃料ガスの燃焼中においてフレー
ム点火監視シーケンスのループを繰り返すので、たとえ
燃料ガスの誤流出異常が発生した場合でも、少なくとも
そのループの繰り返し時間程度の短時間に異常を発見す
ることができる。従って、燃料ガスを正確に制御するこ
とができ、燃料ガスの誤流出やリークを防止して安全性
を向上することができる。
According to the present embodiment as described above, the actual fuel gas flow rate is measured by the mass flow meter 14,
Since a step of comparing and monitoring is provided in the control unit 13, the actual fuel gas flow rate can be confirmed within a fixed time of the micro loop, and whether the adjustment of the fuel gas flow rate at the time of fuel gas ignition is normal or not is determined. It is possible to perform verification, check the actual fuel gas flow rate during fuel gas combustion, and perform a fuel gas leak test when extinguishing a fire. In addition, since the loop of the flame ignition monitoring sequence is repeated during the combustion of the fuel gas, even if an erroneous outflow of the fuel gas occurs, it is possible to find the abnormality at least as short as the repetition time of the loop. Therefore, the fuel gas can be accurately controlled, and erroneous outflow or leakage of the fuel gas can be prevented, thereby improving safety.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明によれば、フレーム燃料ガス監視
手段によって燃料ガスの実際の流量と予め設定した流量
とを一定時間毎に比較および監視するので、燃料ガスの
流量を確実に知ることができ、燃料ガスを正確に制御し
て安全性を向上することができる。
According to the present invention, the actual fuel gas flow rate and the preset flow rate are compared and monitored at regular time intervals by the flame fuel gas monitoring means, so that the fuel gas flow rate can be reliably known. It is possible to accurately control the fuel gas and improve the safety.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態による原子吸光光度計の概
略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an atomic absorption photometer according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した原子吸光光度計の機能ブロック図
である。
FIG. 2 is a functional block diagram of the atomic absorption photometer shown in FIG.

【図3】図1に示した原子吸光光度計によるフレーム点
火監視シーケンスを示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing a flame ignition monitoring sequence by the atomic absorption photometer shown in FIG. 1;

【図4】図1に示した原子吸光光度計によるフレーム燃
焼監視シーケンスを示すフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart showing a flame combustion monitoring sequence by the atomic absorption photometer shown in FIG. 1;

【図5】図1に示した原子吸光光度計によるフレーム消
火シーケンスを示すフローチャートである。
FIG. 5 is a flowchart showing a flame extinguishing sequence by the atomic absorption photometer shown in FIG. 1;

【図6】従来の原子吸光光度計によるフレーム点火シー
ケンスを示すフローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart showing a flame ignition sequence by a conventional atomic absorption photometer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フレームチャンバ 2 バーナ 3 ネブライザ 4 供給管 5 燃料ガス供給管 6 空気供給管 7 燃料ガス制御部 8 ホローカソードランプ 8a 光束 9 分光器 10 検知器 11 フレーム 11a 光束 12 フレームセンサ 13 コントロール部 14 マスフローメータ 15 マスフローコントローラ 16 空気流量設定部 20 ガス圧計 21 空気圧計 23 流量計 Reference Signs List 1 frame chamber 2 burner 3 nebulizer 4 supply pipe 5 fuel gas supply pipe 6 air supply pipe 7 fuel gas control unit 8 hollow cathode lamp 8a luminous flux 9 spectrometer 10 detector 11 frame 11a luminous flux 12 frame sensor 13 control unit 14 mass flow meter 15 Mass flow controller 16 Air flow setting unit 20 Gas pressure gauge 21 Air pressure gauge 23 Flow meter

フロントページの続き (72)発明者 木元 尚志 茨城県ひたちなか市市毛882番地 株式 会社 日立製作所 計測器事業部内 審査官 樋口 宗彦 (56)参考文献 特開 平5−126730(JP,A) 特開 平4−336397(JP,A) 特開 平5−20568(JP,A) 特開 平8−42847(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 F23N 5/18 実用ファイル(PATOLIS) 特許ファイル(PATOLIS)Continued on the front page (72) Inventor Takashi Kimoto 882 Ma, Hitachinaka-shi, Ibaraki Pref. Measuring Instrument Division, Hitachi, Ltd. Examiner, Munehiko Higuchi (56) References JP-A-5-126730 (JP, A) JP-A-4-336397 (JP, A) JP-A-5-20568 (JP, A) JP-A-8-42847 (JP, A) (58) Fields studied (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 21 / 00-21/01 G01N 21/17-21/61 F23N 5/18 Practical file (PATOLIS) Patent file (PATOLIS)

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】測定試料と燃料ガスを混合するためのフレ
ームチャンバと、このフレームチャンバに接続され、フ
レームを点火するためのバーナと、測定元素の線スペク
トルを含んだ光を発する光源部と、前記フレームチャン
バ内に測定試料を噴霧する噴霧部と、前記光源部から発
せられた光を前記フレームを通過させ前記測定試料によ
る吸収が行われた後の光を検出する光検出部と、前記燃
料ガスの流量および燃焼を制御する燃料ガス制御部とを
有する原子吸光光度計において、前記フレームチャンバに供給される 前記燃料ガスの流
を測定する燃料ガス流量計を備え、 前記燃料ガス制御部は、前記フレームを点火するための
制御シーケンスと、前記フレーム燃焼を監視するための
制御シーケンスと、前記フレームを消火するための制御
シーケンスを行い、いずれの制御シーケンスにおいても
前記燃料ガス流量計の測定結果を用いて、予め定められ
たガス流量がフレームチャンバに供給されているか否か
を判断する ことを特徴とする原子吸光光度計。
1. A frame for mixing a measurement sample and a fuel gas.
Frame chamber and a frame chamber connected to the frame chamber.
A burner for igniting the flame , a light source for emitting light including a line spectrum of the element to be measured, and a flame chamber.
A spray unit for spraying a measurement sample in the server, and a light detector for detecting the light after absorbing light emitted from the light source unit by the measurement sample is passed through the frame is performed, the fuel gas in an atomic absorption spectrophotometer having a flow rate and the fuel gas control unit for controlling the combustion, the flow amount of the fuel gas supplied to the frame chamber
A fuel gas flow meter that measures the
A control sequence for monitoring the flame combustion
Control sequence and control for extinguishing the frame
Sequence, and in any control sequence
Using the measurement result of the fuel gas flow meter, a predetermined
Gas flow is being supplied to the frame chamber
An atomic absorption spectrophotometer characterized in that:
【請求項2】請求項1記載の原子吸光光度計において、
前記燃料ガス流量計、熱式流量計であることを特徴と
する原子吸光光度計。
2. The atomic absorption spectrophotometer according to claim 1, wherein
The fuel gas flow meter, atomic absorption spectrophotometer, which is a thermal flow meter.
【請求項3】請求項1記載の原子吸光光度計において、
前記フレームを点火するための制御シーケンスは、前記
燃料ガスの流量がゼロであること、前記バーナに水が流
れていること、及び空気圧及び燃料ガス圧が正常である
ことを確認し、正常であれば前記燃料ガスの流量を設定
して点火を行い、正常でないときは処理を終了すること
を特徴とする原子吸光光度計。
3. The atomic absorption spectrophotometer of claim 1 Symbol placement,
The control sequence for igniting the flame is
The fuel gas flow rate is zero, and water flows through the burner.
Air pressure and fuel gas pressure are normal
Check that the fuel gas flow rate is normal
An atomic absorption spectrophotometer characterized in that the ignition is performed, and the processing is terminated when it is not normal .
【請求項4】請求項3記載の原子吸光光度計において、
前記設定された燃料ガスの流量は、測定元素の測定に適
切な流量であり、前記フレームを点火した後、前記設定
された流量と前記燃料ガス流量計の測定結果とを比較す
ると共に、その比較動作を一定時間毎に所定回数繰り返
ことを特徴とする原子吸光光度計。
4. The atomic absorption spectrophotometer according to claim 3, wherein
The set fuel gas flow rate is suitable for the measurement of the measurement element.
The flow rate is low and the flame
The measured flow rate is compared with the measurement result of the fuel gas flow meter.
And the comparison operation is repeated a predetermined number of times at regular intervals.
Atomic absorption spectrophotometer, characterized in that to.
【請求項5】請求項3記載の原子吸光光度計において、
前記設定された燃料ガスの流量は、測定元素の測定に適
切な流量であり、前記フレーム燃焼を監視するための制
御シーケンスは、前記バーナに水が流れていること、及
び空気圧及び燃料ガス圧が正常であること、前記フレー
ムが点火していること、前記燃料ガス流量計の測定結果
が設定された流量と比較して適切であることを確認し、
異常があれば前記フレームを消火することを特徴とする
原子吸光光度計。
5. The atomic absorption spectrophotometer according to claim 3, wherein
The set fuel gas flow rate is suitable for the measurement of the measurement element.
The flow rate is high, and the
The control sequence is that water is flowing through the burner and
Air pressure and fuel gas pressure are normal,
That the fuel gas flow meter is lit
Is appropriate compared to the set flow rate,
An atomic absorption spectrometer characterized in that the flame is extinguished if there is an abnormality .
【請求項6】請求項3記載の原子吸光光度計において、
前記フレームを消火するための制御シーケンスは、前記
燃料ガスの流れを止めた後、前記燃料ガス流量計の測定
結果が流量ゼロであることを確認し、ゼロで無い場合
は、異常と判断して讐告を発することを特徴とする原子
吸光光度計。
6. The atomic absorption spectrophotometer according to claim 3, wherein
The control sequence for extinguishing the frame comprises:
After stopping the flow of fuel gas, measure the fuel gas flow meter
Check that the result is zero, if not
Is an atom characterized by determining that something is abnormal and issuing a revenge report
Spectrophotometer.
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