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JP3334428B2 - Organic binder for ceramic molding, its production method and use using the same - Google Patents
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JP3334428B2 - Organic binder for ceramic molding, its production method and use using the same - Google Patents

Organic binder for ceramic molding, its production method and use using the same

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JP3334428B2
JP3334428B2 JP14029395A JP14029395A JP3334428B2 JP 3334428 B2 JP3334428 B2 JP 3334428B2 JP 14029395 A JP14029395 A JP 14029395A JP 14029395 A JP14029395 A JP 14029395A JP 3334428 B2 JP3334428 B2 JP 3334428B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、低公害、省資源、防災
安全性及び安全衛生の観点からアルミナ等のいわゆるセ
ラミックを成形する際に、即ちセラミックス前駆体から
なる成形体、グリーンシートを製造するために用いられ
る有機系バインダーに関するものであり、特に水系で脱
バインダー性に優れたセラミック用有機系バインダーに
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the production of so-called ceramics such as alumina from the viewpoints of low pollution, resource saving, disaster prevention safety and safety and health, that is, the production of molded articles made of ceramic precursors and green sheets. In particular, the present invention relates to an organic binder for ceramics which is water-based and has excellent binder removal properties.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

(イ)従来、セラミック用バインダーとして、一般にポ
リビニルブチラール樹脂、ポリアクリル酸エステル樹脂
等の有機バインダーが用いられている。このバインダー
をアルコール、ケトン、塩素系溶剤、芳香族系溶剤等の
有機系溶剤に溶解し、又は分散し、これをセラミック微
粉末と混合し、ボールミル等で長時間混練、分散し、ス
リップ状となす。これを、脱泡後、ドクターブレード法
等で一定の厚みのシートをポリエステルフイルム等の基
材上にキャスティングして、加熱乾燥させてグリーンシ
ートを成形する方法等が採用されている。
(A) Conventionally, organic binders such as polyvinyl butyral resin and polyacrylate resin have been generally used as a binder for ceramics. This binder is dissolved or dispersed in an organic solvent such as an alcohol, a ketone, a chlorinated solvent, or an aromatic solvent, mixed with a ceramic fine powder, kneaded for a long time in a ball mill or the like, dispersed and slip-shaped. Eggplant After defoaming, a method of casting a sheet having a certain thickness on a base material such as a polyester film by a doctor blade method or the like, and drying by heating to form a green sheet is employed.

【0003】(ロ)セラミック用水溶性バインダーとし
て、アセタール化度10モル%以下である水溶性ポリビ
ニルアセタールとして特開昭56−76405号公報、
アセタール化度10〜30モル%の冷水可溶性ポリビニ
ルアセタールとして特開昭64−29408号公報、疎
水基或は特定のイオン性親水基を側鎖に有する変性ポリ
ビニルアルコールを水系有機バインダとして特開昭59
−156959号公報等で知られている。
(B) As a water-soluble binder for ceramics, JP-A-56-76405 discloses a water-soluble polyvinyl acetal having a degree of acetalization of 10 mol% or less.
JP-A-64-29408 as a cold water-soluble polyvinyl acetal having a degree of acetalization of 10 to 30 mol%, and JP-A-59-29139 as a modified polyvinyl alcohol having a hydrophobic group or a specific ionic hydrophilic group in its side chain as an aqueous organic binder.
This is known from, for example, Japanese Patent Application No. 156959.

【0004】(ハ)水溶性ポリ(メタ)アクリル酸エステ
ル系バイダーとして特公平1−53233号公報、特公
平1−44668号公報、特開平1−286955号公
報が知られている。これらは、(メタ)アクリル酸エステ
ルと(メタ)アクリル酸の共重合体をアンモニア、トリ
メチルアミン等のトリアルキルアミン、ジメチルアミノ
アルコール、モノエタノールアミン等のアミン類で中和
(pH調整)している。
(C) As water-soluble poly (meth) acrylate ester-based binders, Japanese Patent Publication No. 1-35333, Japanese Patent Publication No. 44668/1994, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-286555 are known. In these, a copolymer of (meth) acrylic acid ester and (meth) acrylic acid is neutralized (pH adjusted) with amines such as ammonia, trialkylamine such as trimethylamine, dimethylamino alcohol, and monoethanolamine. .

【0005】また、(ニ)界面活性剤を用いてビニル単
量体を乳化重合して得られたエマルジョン系バインダー
に(メタ)アクリル酸を用い、アンモニアで中和(pH
調整)しているものとして特開昭60−180955号
公報、特開昭60−180956号公報、特開昭61−
151060号公報、特開平1−286955号公報、
架橋構造を有するものとして特開昭63−260855
号公報が知られている。
[0005] Also, (d) an emulsion binder obtained by emulsion polymerization of a vinyl monomer using a surfactant is used with (meth) acrylic acid and neutralized with ammonia (pH
JP-A-60-180955, JP-A-60-180956, and JP-A-61-180956.
No. 151060, Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-28655,
JP-A-63-260855, which has a crosslinked structure
A gazette is known.

【0006】また、(ホ)(a)αーオレフィン重合
体、(b)(メタ)アクリル酸エステル単独又は(メ
タ)アクリル酸エステル単量体及びスチレン系単量体、
(c)重合開始剤からなる膨潤物を、重合用分散剤(例
えば、水溶性高分子ポリビニルアルコール)を含む水系
媒体中に分散させて懸濁重合させる系をバインダーとし
て、特開平3−131604号公報が知られている。
(E) (a) an α-olefin polymer, (b) a (meth) acrylate alone or (meth) acrylate monomer and a styrene monomer,
(C) JP-A-3-131604 using a system in which a swelled product comprising a polymerization initiator is dispersed in an aqueous medium containing a dispersant for polymerization (for example, a water-soluble polymer polyvinyl alcohol) and subjected to suspension polymerization, as a binder. Publications are known.

【0007】(ヘ)特開昭59−128266号公報に
は、(a)水溶性高分子成分100重量部に対し、
(b)疎水性高分子成分が1から1000重量部を含有
するセラミック成形用複合バインダーが知られている。
(F) JP-A-59-128266 discloses that (a) 100 parts by weight of a water-soluble polymer component
(B) Composite binders for ceramic molding containing 1 to 1000 parts by weight of a hydrophobic polymer component are known.

【0008】一方、(ト)特開昭59−995号公報、
特開昭60−254697号公報では、多層セラミック
回路板基板の製造方法が知られ、その中に熱解重合型樹
脂を含むバインダーとしてポリメタクリル酸エステル系
樹脂が開示されている。
On the other hand, (g) JP-A-59-995,
JP-A-60-254697 discloses a method for manufacturing a multilayer ceramic circuit board substrate, in which a polymethacrylate resin is disclosed as a binder containing a thermally depolymerizable resin.

【0009】(チ)特願平5−306245号公報に
は、(a)少なくとも一種以上のビニル系単量体の重合
体と(b)水溶性高分子と(c)水又は水及び水溶性有
機溶剤から形成されたセラミック成形用有機バインダが
知られている。
(H) Japanese Patent Application No. 5-306245 discloses that (a) a polymer of at least one vinyl monomer, (b) a water-soluble polymer, and (c) water or water and water-soluble polymer. Organic ceramic molding organic binders formed from organic solvents are known.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、(イ)
のバインダーでは有機溶剤としてブチルアルコール、イ
ソプロピルアルコール、トリクロロエチレン、トルエン
等が用いられている。しかし、引火による爆発性、火災
の危険性、成形時、乾燥時の臭気、特にハロゲン系溶剤
は、蒸発ガスによる環境汚染、人体への有害性の公害問
題等があり、これらを防ぐために防爆設備、廃ガス処理
設備、溶剤回収設備等の設置が必要である等の、多くの
問題がある。(ロ)、(ハ)の場合は水溶性であるため
に吸湿性が大きく、セラミックグリーンシートの特性の
バラツキが生じる等の欠点がある。(ニ)の場合、カル
ボキシル基を有するエマルジョンを用いたセラミックグ
リーンシートは引張り強さが弱く、光沢性、平滑性に劣
る等の欠点がある。また、いずれのバインダーも脱バイ
ンダー性に劣るため、焼成後のセラミックシート及びセ
ラミック基板の強度が劣る等の問題がある。また、
(ホ)の場合、(a)成分と(b)成分との相溶性が悪
く、セラミック前駆体組成物の機械的特性がよくない。
またαーオレフィン重合体やポリビニルアルコール等の
熱分解性が悪いポリマーを使用しているため、脱バイン
ダー性に劣り、焼成後のセラミック、セラミックシート
及びセラミック基板の強度が劣る等の問題がある。
(ヘ)の場合、水系分散体として乳化重合で得られた疎
水性高分子ラテックスを水に溶かした水溶性高分子溶液
に添加する方法であるが、水溶性高分子は熱分解性の悪
い高分子が多いため、水溶性高分子をバインダーとして
用いるには、添加量はできるだけ少ないことが重要であ
る。又水溶性高分子が多く存在すると、グリーンシート
が吸湿しやすいので機械的特性等のバラツキが大きい。
又乳化重合で得られた疎水性高分子ラテックスには界面
活性剤が含まれているため、セラミック粉末の種類によ
って凝集したり、脱泡時に泡が多く発生する等、作業性
が良くない。
However, (A)
In the binder, butyl alcohol, isopropyl alcohol, trichloroethylene, toluene and the like are used as organic solvents. However, explosiveness due to ignition, danger of fire, odors during molding and drying, especially halogen-based solvents have environmental problems due to evaporative gas and harm to the human body. In addition, there are many problems such as the necessity of installing waste gas treatment equipment, solvent recovery equipment and the like. The cases (b) and (c) are disadvantageous in that they are water-soluble and therefore have high hygroscopicity, causing variations in the characteristics of the ceramic green sheet. In the case of (d), the ceramic green sheet using the emulsion having a carboxyl group has drawbacks such as low tensile strength and poor glossiness and smoothness. In addition, since all the binders are inferior in debinding properties, there is a problem that the strength of the fired ceramic sheet and ceramic substrate is inferior. Also,
In the case of (e), the compatibility between the component (a) and the component (b) is poor, and the mechanical properties of the ceramic precursor composition are poor.
Further, since a polymer having low thermal decomposability such as an α-olefin polymer or polyvinyl alcohol is used, there are problems such as poor binder removal properties and inferior strength of fired ceramics, ceramic sheets and ceramic substrates.
In the case of (f), the hydrophobic polymer latex obtained by emulsion polymerization is added as a water-based dispersion to a water-soluble polymer solution dissolved in water. Because of the large number of molecules, it is important that the amount added is as small as possible in order to use a water-soluble polymer as a binder. In addition, when a large amount of water-soluble polymer is present, the green sheet easily absorbs moisture, so that there are large variations in mechanical properties and the like.
In addition, since the hydrophobic polymer latex obtained by emulsion polymerization contains a surfactant, the workability is poor, such as agglomeration depending on the type of the ceramic powder and generation of many bubbles at the time of defoaming.

【0011】一方、(ト)に用いられているポリメタク
リル酸エステル系樹脂をセラミック成形用有機バインダ
ーとして使用するには、例えば、メチルエチルケトンな
どのケトン系溶剤、ブチルアルコールなどのアルコール
系溶剤等の蒸気圧が高い有機溶剤を使用するため、火災
に対する安全性に欠ける。(チ)ではグリーンシートを
多層化する水溶性高分子が少ないので、シ−ト間の接着
性が劣ること、記載されている水溶性高分子化合物では
熱分解性が必ずしも十分ではないこと、特に低温焼結性
セラミックの100cm2以上で且つ30層以上の多層
配線基板を製造するには熱分解性の優れた材料構成から
なることが必要である。その他、グリーンシートを作成
する際の脱泡時間が長くなるという問題がある。
On the other hand, in order to use the polymethacrylate ester resin used in (g) as an organic binder for ceramic molding, for example, a vapor such as a ketone solvent such as methyl ethyl ketone or an alcohol solvent such as butyl alcohol is used. Lack of fire safety due to use of organic solvent with high pressure. In (h), the amount of the water-soluble polymer for forming the green sheet into a multilayer is small, so that the adhesiveness between sheets is inferior, and the heat-decomposability of the water-soluble polymer compound described is not necessarily sufficient. In order to manufacture a multilayer wiring board of 100 cm 2 or more and 30 or more layers of a low-temperature sinterable ceramic, it is necessary to have a material composition excellent in thermal decomposition. In addition, there is a problem that the defoaming time when producing a green sheet is prolonged.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは鋭
意検討した結果、(A)少なくとも一種類以上の1)エ
チレンオキサイド含有率が70重量%以上のアルキレン
オキサイドを付加重合せしめた平均分子量が30,00
0以上の水溶性高分子量化合物、2)活性水素基を2個
を有する有機化合物に、エチレンオキサイド含有率が7
0重量%以上のアルキレンオキサイドを付加重合せしめ
た平均分子量が30,000以上の水溶性高分子量化合
物、3)活性水素基を2個を有する有機化合物に、エチ
レンオキサイド含有率が70重量%以上のアルキレンオ
キサイドを付加重合せしめた平均分子量が1000以上
のポリヒドロキシル化合物と、多価カルボン酸又はその
低級アルキルエステルとの反応物であって、エチレンオ
キサイド含有率が68重量%以上を含有し、かつ重合度
が4.5〜21、平均分子量が30,000以上の水溶
性高分子量化合物1〜30重量部成分を重合用分散安定
剤として用い、その(A)成分の存在下、(C)水又は
水と水溶性有機溶剤中(B)少なくとも一種類以上のビ
ニル系単量体100重量部をラジカル重合開始剤で分散
重合によってセラミック成形用有機バインダ−が得られ
る。得られたセラミック成形用有機バインダーは、環境
性、安全性、更に脱バインダー性(熱分解性)に優れ、
水系セラミック有機バインダーとして有用であることを
見出し、本発明を完成した。
The present inventors have conducted intensive studies and have found that (A) at least one kind of 1) an alkylene oxide having an ethylene oxide content of 70% by weight or more is subjected to addition polymerization to obtain an average molecular weight. Is 30,00
0 or more water-soluble high molecular weight compound; 2) an organic compound having two active hydrogen groups having an ethylene oxide content of 7
A water-soluble high molecular weight compound having an average molecular weight of 30,000 or more obtained by addition polymerization of 0% by weight or more of an alkylene oxide; 3) an organic compound having two active hydrogen groups having an ethylene oxide content of 70% by weight or more; A reaction product of a polyhydroxyl compound having an average molecular weight of 1000 or more obtained by addition-polymerizing an alkylene oxide and a polycarboxylic acid or a lower alkyl ester thereof, wherein the ethylene oxide content is 68% by weight or more, and 1 to 30 parts by weight of a water-soluble high molecular weight compound having a degree of 4.5 to 21 and an average molecular weight of 30,000 or more is used as a dispersion stabilizer for polymerization, and in the presence of the component (A), (C) water or In water and a water-soluble organic solvent, (B) 100 parts by weight of at least one vinyl monomer is dispersed and polymerized with a radical polymerization initiator. Click molding organic binder - can be obtained. The obtained organic binder for ceramic molding is excellent in environmental friendliness, safety and debinding properties (thermal decomposition properties).
They have found that they are useful as aqueous ceramic organic binders, and have completed the present invention.

【0013】すなわち、本発明は、環境性、安全性、熱
分解性の優れたセラミック形成用有機バインダの成分と
して、(B)成分である、少なくとも一種類以上のビニ
ル系単量体100重量部、好ましくは少なくとも一種類
以上の(メタ)アクリル酸エステル(但し、炭素数が1
〜18個のアルキル基、炭素数が1〜12個の環状アル
キル基又はアリール基のエステル)100重量を,上記
(A)成分である重合用分散安定剤の存在下、(C)水
又は水と水溶性有機溶剤に分散した溶液中にて、ラジカ
ル重合開始剤で分散(共)重合(又は懸濁重合)させる
ことによりセラミック成形用有機バインダーが得られ、
上記の目的が達成される。
That is, according to the present invention, as a component of an organic binder for forming a ceramic which is excellent in environmental friendliness, safety and thermal decomposability, at least one kind of a vinyl monomer as component (B) is 100 parts by weight. , Preferably at least one or more (meth) acrylates (provided that the number of carbon atoms is 1)
(C) water or water in the presence of the above-mentioned component (A), the polymerization stabilizer, and 100 parts by weight of (C) an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an ester of a cyclic alkyl group or an aryl group having 1 to 12 carbon atoms. And in a solution dispersed in a water-soluble organic solvent, an organic binder for ceramic molding is obtained by dispersion (co) polymerization (or suspension polymerization) with a radical polymerization initiator,
The above object is achieved.

【0014】又(D)セラミック粉末100重量部、
(E)セラミック成形用有機バインダー5から30重量
部、必要に応じて(F)分散剤、可塑剤とからなるセラ
ミック前駆体組成物ことを特徴とするセラミック前駆体
組成物のスラリーを基材の表面に薄膜状にコーティング
することによりグリーンシートが得られ、治具にシート
を固定し、穴あけ加工を施し、導電体を穴埋め、及びシ
−ト上にパターン状に導電体層を形成し、数層から数1
0層になるように積層接着させ、所定の条件下で焼結す
る(脱バインダ工程、ついで残留炭素を少なくする工
程)ことによって多層セラミック基板が得られ、上記の
目的が達成される。
(D) 100 parts by weight of ceramic powder,
A slurry of the ceramic precursor composition, which is a ceramic precursor composition comprising (E) 5 to 30 parts by weight of an organic binder for ceramic molding and, if necessary, (F) a dispersant and a plasticizer, A green sheet is obtained by coating the surface in a thin film form, the sheet is fixed to a jig, drilling is performed, the conductor is filled, and a conductor layer is formed in a pattern on the sheet. Number 1 from layer
The multilayer ceramic substrate is obtained by laminating and adhering to zero layers and sintering under predetermined conditions (a binder removing step, and then a step of reducing residual carbon), and the above object is achieved.

【0015】又(D)成分であるセラミック粉末は、特
に限定されるものではないが、高密度化のために微細な
配線や微細な穴あけを要するグリーンシート化する際に
は、セラミック粉末の平均粒径が20.0ミクロン以下
の微粉末であることが望ましい。
The ceramic powder as the component (D) is not particularly limited. However, when forming a green sheet which requires fine wiring and fine holes for high density, the average of the ceramic powder is used. It is desirable that the fine particles have a particle size of 20.0 microns or less.

【0016】又、(D)成分である、平均粒径が20.
0ミクロン以下であるセラミック微粉末100重量部
と、(E)成分である、上記セラミック成形用有機バイ
ンダー5から30重量部と、必要に応じて(F)成分で
ある、分散剤、可塑剤とからなるセラミック前駆体組成
物で構成され、この上にパターン状及び穴埋めに導電体
層を形成し、数層から数10層になるように積層熱圧着
させ、焼結する(脱バインダ工程、ついで残留炭素を少
なくする工程)ことによって多層セラミック基板が得ら
れる。更に高密度化のためには、グリーンシート層が、
平均粒径が10.0ミクロン以下の(D)成分である、
セラミック微粉末100重量部と、(E)成分である、
上記セラミック成形用有機バインダー5から30重量部
と、必要に応じて(F)成分である、分散剤、可塑剤と
からなるセラミック前駆体組成物で構成され、複数の導
体層を上記グリーンシート層を介して積層体を焼結して
なる多層配線セラミック基板の製造法によって上記の目
的が達成される。
The component (D) having an average particle diameter of 20.
100 parts by weight of a ceramic fine powder having a particle size of 0 micron or less, 5 to 30 parts by weight of the organic binder for ceramic molding (E), and a dispersant and a plasticizer (F) as required. A conductive layer is formed on the ceramic precursor composition in a pattern and filling up the layers, and thermocompression bonding is performed to form several to several tens of layers, followed by sintering (the binder removal process, The step of reducing the residual carbon) yields a multilayer ceramic substrate. In order to further increase the density, the green sheet layer
Component (D) having an average particle size of 10.0 microns or less.
100 parts by weight of the ceramic fine powder and the component (E),
A ceramic precursor composition comprising 5 to 30 parts by weight of the ceramic forming organic binder and, if necessary, component (F), a dispersant and a plasticizer; The above object is achieved by a method of manufacturing a multilayer wiring ceramic substrate obtained by sintering a laminate through the above method.

【0017】以下に、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0018】本発明は、(A)成分である前記ポリエチ
レンオキサイド系樹脂1〜30重量部、前記(A)重合
用分散安定剤として用い、(C)水又は水及び水溶性有
機溶剤中に分散重合させてなる(B)少なくとも一種類
以上のビニル系単量体100重量部の重合体が配合され
てなることにある。
The present invention is characterized in that 1 to 30 parts by weight of the polyethylene oxide resin as the component (A) and (C) water or water and a water-soluble organic solvent are used as the polymerization stabilizer (A). The polymer (B) is obtained by blending a polymer of 100 parts by weight of at least one kind of vinyl monomer.

【0019】即ち(B)成分である少なくとも一種類以
上の(メタ)アクリル酸エステル(但し、炭素数が1〜
18個のアルキル基、炭素数が1〜12個の環状アルキ
ル基又はアリール基のエステル);100重量部を、
(A)成分である上記水溶性高分子量化合物1〜30重
量部〔(B)成分100重量部に対して〕を溶解した水
又は水と水溶性有機溶剤の混合液中にて、重合開始剤存
在下で分散(共)重合(又は懸濁重合ともいう)させる
ことを特徴とするセラミック成形用有機バインダー及び
その製法に関するものである。
That is, at least one or more (meth) acrylic acid esters (B) having a carbon number of 1 to
18 alkyl groups, an ester of a cyclic alkyl group or an aryl group having 1 to 12 carbon atoms);
In water or a mixture of water and a water-soluble organic solvent in which 1 to 30 parts by weight of the above water-soluble high molecular weight compound (A) is dissolved (based on 100 parts by weight of component (B)), a polymerization initiator is added. The present invention relates to an organic binder for ceramic molding characterized by being subjected to dispersion (co) polymerization (or suspension polymerization) in the presence thereof, and a method for producing the same.

【0020】本発明に用いられる水溶性高分子量化合物
とは水に溶けるのもである。本発明に用いられる(A)
成分である水溶性高分子量化合物として、1)エチレン
オキサイド含有率が70重量%以上のアルキレンオキサ
イドを付加重合せしめた平均分子量が30,000以上
の水溶性高分子量化合物、2)活性水素基を2個を有す
る有機化合物に、エチレンオキサイド含有率が70重量
%以上のアルキレンオキサイドを付加重合せしめた平均
分子量が30,000以上の水溶性高分子量化合物、
3)活性水素基を2個を有する有機化合物に、エチレン
オキサイド含有率が70重量%以上のアルキレンオキサ
イドを付加重合せしめた平均分子量が1000以上のポ
リヒドロキシル化合物と、多価カルボン酸又はその低級
アルキルエステルとの反応物であって、エチレンオキサ
イド含有率が68重量%以上を含有し、かつ重合度が
4.5〜21、平均分子量が30,000以上の水溶性
高分子量化合物が挙げられる。エチレンオキサイド含有
率は70重量%以上、好ましくは、70〜98重量%、
更に好ましくは75〜95重量%で、エチレンオキサイ
ド含有率が70重量%未満では水に溶解しにくくなる。
The water-soluble high molecular weight compound used in the present invention is soluble in water. (A) used in the present invention
As the water-soluble high-molecular-weight compound as a component, 1) a water-soluble high-molecular-weight compound having an average molecular weight of 30,000 or more obtained by addition-polymerizing an alkylene oxide having an ethylene oxide content of 70% by weight or more; A water-soluble high molecular weight compound having an average molecular weight of 30,000 or more obtained by addition-polymerizing an alkylene oxide having an ethylene oxide content of 70% by weight or more to an organic compound having
3) A polyhydroxyl compound having an average molecular weight of 1000 or more obtained by addition-polymerizing an alkylene oxide having an ethylene oxide content of 70% by weight or more to an organic compound having two active hydrogen groups, a polyhydric carboxylic acid or a lower alkyl thereof. A water-soluble high molecular weight compound which is a reaction product with an ester and has an ethylene oxide content of 68% by weight or more, a degree of polymerization of 4.5 to 21, and an average molecular weight of 30,000 or more. The ethylene oxide content is 70% by weight or more, preferably 70 to 98% by weight,
More preferably, it is 75 to 95% by weight, and when the ethylene oxide content is less than 70% by weight, it becomes difficult to dissolve in water.

【0021】該水溶性高分子量化合物の成分として用い
られるアルキレンオキサイドは、例えば、エチレンオキ
サイド、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド、
スチレンオキサイド等が挙げられ、その使用量はアルキ
レンオキサイド100重量部に対して、0.05〜20
重量部の範囲が好ましく、又該付加重合反応に用いられ
る水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、等の苛性アルカ
リである触媒の使用量は、出発物質及びアルキレンオキ
サイド100重量部に対して0.01〜1重量部の範囲
が好ましい。また従来のポリアルキレンオキサイド系の
平均分子量20,000以上の高分子量の合成法とし
て、例えばポリエチレンオキサイドはエイレンオキサイ
ドにジエチル亜鉛、炭酸ストロンチウム、トリエチルア
ルミニウム等のような特殊な触媒で重合し、特殊な重合
条件下、例えば溶媒としてn−ヘキサン、1,4−ジオ
キサン、n−ヘプタンを用いている。
The alkylene oxide used as a component of the water-soluble high molecular weight compound includes, for example, ethylene oxide, propylene oxide, butylene oxide,
Styrene oxide and the like are used, and the amount of the styrene oxide is 0.05 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkylene oxide.
The amount of the catalyst used in the addition polymerization reaction, which is a caustic alkali such as sodium hydroxide or potassium hydroxide, is preferably 0.01 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the starting material and the alkylene oxide. A range of 1 part by weight is preferred. As a conventional method for synthesizing a high molecular weight polyalkylene oxide having an average molecular weight of 20,000 or more, for example, polyethylene oxide is polymerized on ylene oxide with a special catalyst such as diethyl zinc, strontium carbonate, triethyl aluminum, etc. Under polymerization conditions, for example, n-hexane, 1,4-dioxane, and n-heptane are used as solvents.

【0022】又、活性炭化水素基を2個を有する有機化
合物としては、例えばエチレングリコール、ジエエチレ
ングリコ−ル、プロピレングリコ−ル、ジプロピレング
リコール、1.4−ブタンジオ−ル、1,6−へキサン
ジオ−ル、ネオペンチルグリコール、ビスフェノール
A、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコー
ル、ポリテトラエチレングリコール、等が挙げられる。
また多価カルボン酸又はその低級アルキルエステルは、
マロン酸、コハク酸、マレイン酸、フマル酸、アジピン
酸、セバチン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル
酸、イタコン酸、もしくはダイマー酸、及びこれらのモ
ノエステル、ジアルキルエステル、もしくはカルボン酸
の無水物等が挙げられる。
The organic compounds having two active hydrocarbon groups include, for example, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, 1.4-butanediol, 1,6- Hexanediol, neopentyl glycol, bisphenol A, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetraethylene glycol, and the like.
In addition, polyvalent carboxylic acid or lower alkyl ester thereof,
Malonic acid, succinic acid, maleic acid, fumaric acid, adipic acid, sebacic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, itaconic acid, or dimer acid, and anhydrides of these monoesters, dialkyl esters, or carboxylic acids, etc. Is mentioned.

【0023】本発明に用いられる(B)成分はセラミッ
ク成形用有機バインダーの主成分であり、セラミック粉
末とセラミック粉末同士を接着するものであり、例え
ば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アク
リレート、nープロピル(メタ)アクリレート、イソプ
ロピル(メタ)アクリレート、nーブチル(メタ)アク
リレート、イソブチル(メタ)アクリレート、nーアミ
ル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレ
ート、nーヘキシル(メタ)アクリレート、nーオクチ
ル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリ
レート、デシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メ
タ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ス
テアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メ
タ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレー
ト、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)
アクリレート等が挙げられる。これらの成分うち、熱分
解性の点から、メタクリル酸エステル系、更にはメタク
リル酸nーブチル、メタクリル酸タ−シャリーブチル、
メタクリル酸エチル、メタクリル酸nープロピル、メタ
クリル酸iープロピル、メタクリル酸nーオクチル、メ
タクリル酸メチルが良い。
The component (B) used in the present invention is a main component of an organic binder for forming a ceramic, and is used for bonding ceramic powders to each other. For example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate , N-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, n-amyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, n-octyl ( (Meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, iso Runiru (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth)
Acrylate and the like. Of these components, from the viewpoint of thermal decomposability, methacrylate esters, further n-butyl methacrylate, tert-butyl methacrylate,
Ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, i-propyl methacrylate, n-octyl methacrylate, and methyl methacrylate are preferred.

【0024】また、必要に応じて少なくとも一種類以上
の組合せで、(B)成分中に2ーヒドルキシエチル(メ
タ)アクリレート、2ーヒドロキシプロピル(メタ)ア
クリレート等のヒドロキシル(メタ)アクリレートを3
0重量%以下の範囲で使用することもできる。30重量
%を越える場合には、分散(懸濁)重合中に分散(懸
濁)液に分散しているポリマ粒子同志の凝集が起こるこ
とにより安定な分散(懸濁)液を得ることができず、実
用に供することができない。同様に、必要に応じて少な
くとも一種類以上の組合せで、エチレン、イソブチレ
ン、メタクリロニトリル等のエチレン系単量体、スチレ
ン(St)、αーメチルスチレン(α−MSt)等のス
チレン系単量体、マレイン酸ジエステル、フマル酸ジエ
ステル、イタコン酸ジエステル、シトラコン酸ジエステ
ル等の不飽和ジエステル系単量体等を50重量%以下で
使用できる。50重量%を越える場合には、この共重合
体をバインダーとしセラミック焼結体としたときに、脱
バインダー性が劣るため焼結体の強度が低く、また誘電
率が高く成り実用に供することができない。(B)成分
に上記ビニル単量体を共重合する目的は、熱分解性の向
上や機械的特性の改質を図るためである。
If necessary, at least one kind of a combination of (H) and a hydroxyl (meth) acrylate such as 2-hydroxypropyl (meth) acrylate or 2-hydroxypropyl (meth) acrylate in the component (B). 3
It can be used in a range of 0% by weight or less. When the content exceeds 30% by weight, a stable dispersion (suspension) can be obtained by aggregation of polymer particles dispersed in the dispersion (suspension) during dispersion (suspension) polymerization. And cannot be put to practical use. Similarly, if necessary, in combination of at least one kind or more, ethylene monomers such as ethylene, isobutylene and methacrylonitrile, styrene monomers such as styrene (St) and α-methylstyrene (α-MSt), Unsaturated diester monomers such as maleic diester, fumaric diester, itaconic diester and citraconic diester can be used in an amount of 50% by weight or less. When the amount exceeds 50% by weight, when this copolymer is used as a binder to form a ceramic sintered body, the sintered body has low strength due to poor binder removal properties, and has a high dielectric constant. Can not. The purpose of copolymerizing the vinyl monomer with the component (B) is to improve the thermal decomposability and improve the mechanical properties.

【0025】本発明に用いられる溶剤としては、例え
ば、水、メタノール、エタノール、プロパノール、イソ
プロパノール(IPA)等のアルコール類、エチレング
リコールメチルエーテル、エチレングリコールエチルエ
ーテル、エチレングリコールブチルエーテル(EM)等
のエチレングリコール誘導体、ジエチレングリコールメ
チルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、
ジエチレングリコールブチルエーテル等のジエチレング
リコール誘導体、プロピレングリコールメチルエーテル
(PM)、プロピレングリコールエチルエーテル、プロ
ピレングリコールブチルエーテル等のプロピレングリコ
ール誘導体、酢酸メチル、酢酸エチル等の酢酸エステル
誘導体、乳酸メチル、乳酸エチル(EL)等の乳酸エス
テル誘導体等のような水溶性溶剤が挙げられる。少なく
とも一種以上の水または水及び水溶性溶剤から選ばれ
る。又水に溶けにくいアルコール系溶剤を一部添加して
も良い。水及び水溶性溶剤を使用する場合の混合割合
は、水100〜50重量%、水溶性溶剤0〜50、好ま
しくは水95〜70重量%、水溶性有機溶剤5〜30重
量%である。
Examples of the solvent used in the present invention include water, alcohols such as methanol, ethanol, propanol and isopropanol (IPA), and ethylene such as ethylene glycol methyl ether, ethylene glycol ethyl ether and ethylene glycol butyl ether (EM). Glycol derivatives, diethylene glycol methyl ether, diethylene glycol ethyl ether,
Diethylene glycol derivatives such as diethylene glycol butyl ether, propylene glycol methyl ether (PM), propylene glycol derivatives such as propylene glycol ethyl ether and propylene glycol butyl ether, acetate derivatives such as methyl acetate and ethyl acetate, methyl lactate and ethyl lactate (EL) Water-soluble solvents such as lactate derivatives and the like can be mentioned. It is selected from at least one or more of water or water and a water-soluble solvent. Further, an alcohol-based solvent that is hardly soluble in water may be partially added. When water and a water-soluble solvent are used, the mixing ratio is 100 to 50% by weight of water, 0 to 50% of a water-soluble solvent, preferably 95 to 70% by weight of water, and 5 to 30% by weight of a water-soluble organic solvent.

【0026】水溶性有機溶剤の働きは、分散重合を行う
際に水溶性有機溶剤が存在すると、生成される重合体の
粒子が微粒子化しやすく、分散重合がスム−スに進行し
やすい。又重合釜への重合物の付着が少ない。
The function of the water-soluble organic solvent is as follows. If the water-soluble organic solvent is present during the dispersion polymerization, the polymer particles formed are liable to become fine particles, and the dispersion polymerization proceeds smoothly. Also, adhesion of the polymer to the polymerization vessel is small.

【0027】重合開始剤としては、例えば、2,2’−
アゾビス(イソブチロニトリル)〔AIBN)、2,
2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、
2,2’−アゾビス(イソブチルバレロニトリル)等の
アゾ化合物、タシャリーブチルハイドロパ−オキサイド
(t−BHPO)、ベンゾイルパーオキサイド、tーブ
チルパーオキサイド等の過酸化物、過硫酸アンモニウム
(APS)、過硫酸カリウム(KPS)のようなの過硫
酸塩等の水溶性重合開始剤が特に制限なく使用できる。
使用量は、モノマーの総量100重量部に対して0.0
5〜5重量部を使用することが望ましい。また、必要に
応じてタシャリードデシルメルカプタン、チオグリコー
ル酸、α−メチルスチレンオリゴマ等の連鎖移動剤、酸
素ガス等を用いることによってバインダの分子量が制御
できる。
Examples of the polymerization initiator include, for example, 2,2′-
Azobis (isobutyronitrile) [AIBN), 2,
2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile),
Azo compounds such as 2,2′-azobis (isobutylvaleronitrile), peroxides such as tert-butyl hydroperoxide (t-BHPO), benzoyl peroxide and t-butyl peroxide, ammonium persulfate (APS); A water-soluble polymerization initiator such as a persulfate such as potassium persulfate (KPS) can be used without any particular limitation.
The amount used is 0.0 to 100 parts by weight of the total amount of the monomers.
It is desirable to use 5 to 5 parts by weight. In addition, the molecular weight of the binder can be controlled by using a chain transfer agent such as tasharydecyl mercaptan, thioglycolic acid, α-methylstyrene oligomer, oxygen gas, or the like, if necessary.

【0028】この反応は、重合触媒の種類にもよるが、
通常40〜90℃で行うことができる。低温では、高分
子量の生成物を与え、高温では低分子量の重合体が得ら
れる。
This reaction depends on the type of polymerization catalyst,
Usually, it can be carried out at 40 to 90 ° C. Lower temperatures give higher molecular weight products and higher temperatures give lower molecular weight polymers.

【0029】本発明に用いられる上記バインダであるビ
ニル単量体の重合体の平均重量分子量は10万〜100
万、好ましくは20万〜55万である。10万未満では
グリーンシートの機械的特性が十分に得られず、100
万を超えるとバインダー樹脂の流動性が低くなり、グリ
ーンシートの機械的特性が十分に得られにくい。
The average molecular weight of the vinyl monomer polymer used as the binder in the present invention is 100,000 to 100.
10,000, preferably 200,000 to 550,000. If it is less than 100,000, the mechanical properties of the green sheet cannot be sufficiently obtained, and
If it exceeds 10,000, the fluidity of the binder resin becomes low, and it is difficult to obtain sufficient mechanical properties of the green sheet.

【0030】本発明により得られた重合体の粒子径は電
子顕微鏡、マイクロトラック法等で測定できる。
The particle size of the polymer obtained according to the present invention can be measured by an electron microscope, a microtrack method or the like.

【0031】本発明に用いられるセラミック用有機バイ
ンダとして使用する場合には、ポリマの平均粒径(粒径
分布の中心)が5ミクロン以下、好ましくは3.0ミク
ロン以下が良い。このようなポリマ粒径を製造するに
は、重合用分散安定剤として、上記(A)成分であるポ
リエチレンオキサイド系水溶性高分子化合物が平均分子
量3万以上であることが良い。好ましくは10〜40万
が良い。(A)成分の使用量は、上記ビニル単量体の総
量100重量部に対して1〜30重量部である。好まし
くは、3〜20重量部、更に好ましくは3〜15重量
部、又セラミック成形用有機バインダを低温焼結用ガラ
スセラミックに用いるには、(A)成分であるポリエチ
レンオキサイド系水溶性高分子化合物をできるだけ少な
い使用量が好ましく、1〜9.5重量部が良い。又上記
(A)成分の使用量約10〜30重量部を多くしてグリ
−ンシ−トを多層化すると、シ−ト間の接着が良好にな
るほか、セラミック前駆体組成物であるスラリ−の脱
泡、脱水又は脱水及び水溶性有機溶剤の時間が短くなる
等のメリットがある。(A)成分の1重量部未満の場合
には、全く分散しない、又はポリマー粒子が大きくなり
粒子同士の癒着によるブロック化が起こる。30重量部
を越える場合には、(A)成分と(B)成分の重合体と
からなる重合体組成物は相溶しにくくなるため、シ−ト
の機械的強度の低下、更には脱バインダー性が劣るた
め、焼結体の強度が低く、また誘電率が高く成り実用に
供することができない。
When used as the organic binder for ceramics used in the present invention, the average particle size of the polymer (the center of the particle size distribution) is preferably 5 μm or less, more preferably 3.0 μm or less. In order to produce such a polymer particle size, it is preferable that the polyethylene oxide-based water-soluble polymer compound as the component (A) has an average molecular weight of 30,000 or more as a dispersion stabilizer for polymerization. Preferably, it is 100,000 to 400,000. The amount of the component (A) used is 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the vinyl monomer. Preferably 3 to 20 parts by weight, more preferably 3 to 15 parts by weight. In order to use an organic binder for ceramic molding in a glass ceramic for low-temperature sintering, a polyethylene oxide-based water-soluble polymer compound as the component (A) Is preferably used as little as possible, and preferably 1 to 9.5 parts by weight. When the amount of the component (A) is increased from about 10 to 30 parts by weight and the green sheet is multi-layered, the adhesion between the sheets is improved and the slurry which is a ceramic precursor composition is used. There are merits such as defoaming, dehydration or dehydration of water and shortening the time of a water-soluble organic solvent. If the amount of the component (A) is less than 1 part by weight, no dispersion occurs, or the polymer particles become large and blockage occurs due to adhesion between the particles. When the amount exceeds 30 parts by weight, the polymer composition comprising the component (A) and the polymer of the component (B) becomes difficult to be compatible with each other, so that the mechanical strength of the sheet is lowered and the binder is removed. Due to poor properties, the strength of the sintered body is low and the dielectric constant is high, so that it cannot be put to practical use.

【0032】(A)成分はポリマ−であるため、作成さ
れたグリーンシート外観が、低分子の界面活性剤を使用
した場合よりも非常に平滑で、表面からセラミック粉末
が脱落しにくく、又脱泡時に泡立ちが少なく作業性に優
れている。一般の水溶性高分子化合物を使用した場合、
湿度によるグリーンシートの機械的特性のバラツキ、ひ
いては穴開け加工精度を低下させる原因になる。しか
し、ポリエチレンオキシド系樹脂(融点50数℃〜65
℃、平均分子量10〜100万)は、フイルム形態では
吸湿性が低く、更に(B)成分の重合体と混合してバイ
ンダーとして用いても湿度にあまり左右されにくいこと
を見出した。また、本発明によって得られた水系有機バ
インダーの性能は、同成分よりなる有機溶剤系から作成
されたグリーンシートと同等以上であることを見出し
た。更には単独のポリエチレンオキサイド樹脂よりも
(A)であるエチレンオキサイドに30重量%より少な
いプロピレンオキサイドを共重合させて得られた重合体
は熱分解性に優れ、残留炭素が少ない。
Since the component (A) is a polymer, the appearance of the formed green sheet is much smoother than when a low-molecular surfactant is used, and the ceramic powder hardly falls off from the surface, and the green sheet is hardly removed. Less foaming during foaming and excellent workability. When a general water-soluble polymer compound is used,
This causes variations in the mechanical properties of the green sheet due to humidity and, consequently, lowers the accuracy of drilling. However, polyethylene oxide resin (melting point: 50 ° C. to 65 ° C.)
(C, average molecular weight of 100,000 to 1,000,000) was found to be less hygroscopic in the film form and hardly influenced by humidity even when used as a binder after being mixed with the polymer of component (B). In addition, it has been found that the performance of the aqueous organic binder obtained by the present invention is equal to or higher than that of a green sheet prepared from an organic solvent based on the same components. Further, a polymer obtained by copolymerizing less than 30% by weight of propylene oxide with ethylene oxide (A) than a single polyethylene oxide resin has excellent thermal decomposability and low residual carbon.

【0033】本発明に用いられる重合用分散安定剤の働
きは、分散(懸濁)重合により(B)成分のビニル単量
体から得られた重合体の微粒子が安定に存在させること
であり、又分散剤が高分子量化合物であるためセラミッ
ク用有機バインダの一部としての働きもする。そこで、
重合用分散剤は、例えばガラスセラミック多層基板のよ
うに低温で脱バインダーを行う場合には熱分解性、耐湿
性の優れた性能も兼ね備えことが必要である。
The function of the dispersion stabilizer for polymerization used in the present invention is to allow the fine particles of the polymer obtained from the vinyl monomer (B) by dispersion (suspension) polymerization to stably exist. Further, since the dispersant is a high molecular weight compound, it also functions as a part of an organic binder for ceramics. Therefore,
In the case of performing debinding at a low temperature, for example, in the case of a glass ceramic multilayer substrate, the dispersant for polymerization needs to have both excellent properties of thermal decomposition and moisture resistance.

【0034】本発明に用いられるセラミック用有機バイ
ンダの基本的な性能は、前記有機バインダを用いて作製
されたグリーンシートの機械的特性(ハンドリング性)
が良く、熱分解性に優れ(焼結時の残留炭素が少ないこ
と)ていることが必要である。そのためには、重合用分
散剤の添加量が出来るだけ少ない方が良い。
The basic performance of the organic binder for ceramic used in the present invention is based on the mechanical properties (handling property) of the green sheet produced using the organic binder.
It is necessary to have good thermal decomposition properties (residual carbon during sintering should be small). For this purpose, it is better that the amount of the dispersant for polymerization is as small as possible.

【0035】又(F)成分として用いられる界面活性剤
は、例えば、ラウリル硫酸ナトリウムなどの高級アルコ
−ル硫酸エステル塩のアニオン界面活性剤、ポリオキシ
エチレンアルキルエ−テル等のエ−テル型非イオン界面
活性剤、カルボキシベタイン型、アミノカルボン酸塩の
両性界面活性剤等であり、この界面活性剤の添加量は
0.5〜8重量部、好ましくは1〜5重量部である。特
に好ましい界面活性剤としては非イオン界面活性剤、界
面活性剤の添加量は0.5重量部未満の場合には分散効
果が良くない。8重量部を超えると、バインダとして使
用時に泡が発生してスラリ−の取扱いにくい等の問題が
ある。
Surfactants used as component (F) include, for example, anionic surfactants of higher alcohol sulfates such as sodium lauryl sulfate and ether type non-surfactants such as polyoxyethylene alkyl ether. Examples of the surfactant include an ionic surfactant, a carboxybetaine type, and an amphoteric surfactant of an aminocarboxylate, and the amount of the surfactant is 0.5 to 8 parts by weight, preferably 1 to 5 parts by weight. Particularly preferred surfactants are nonionic surfactants, and when the added amount of the surfactant is less than 0.5 part by weight, the dispersing effect is not good. If the amount is more than 8 parts by weight, there is a problem that foam is generated when used as a binder and the slurry is difficult to handle.

【0036】又、バインダとともに使用される可塑剤
は、基本的には水又は水系溶剤と共沸しにくいもので、
且つビニル単量体から得られたポリマと相溶性が良いこ
とである。例えば、ジブチルフタレート(DBPと略
す)、ジー2ーエチルヘキシルフタレート(DOP)、
ジイソノニルフタレート(DINP)、ジイソデシルフ
タレート(DIDP)、ジヘプチルフタレート(DH
P)、ジーnーオクチルフタレート(NーDOP)ブチ
ルベンジルフタレート(BBP)、エチルフタリルエチ
ルグリコレート等のフタル酸エステル系、ジー2ーエチ
ルヘキシルアジペート(DOA)、ジブチルジグリコー
ルアジペート(BXA)等の脂肪族エステル系、トリプ
ロピレングリコールメチルエーテル(TPM)、ジプロ
ピレングリコールーnーブチルエーテル(DPnB)、
トリプロピレングリコールーnーブチルエーテル(TP
nB)、プロピレングリコールフェニルエーテル(PP
h)等のプロピレン系グリコールエーテルが挙げられ
る。好ましくは、DOP、DINP、DIDP、DH
P、NーDOPが良い。上記可塑剤はそれぞれの形態に
応じて添加すれば良く、特に制限されるものでない。即
ち、セラミック用有機バインダーを使用して成形された
セラミック前駆体組成物の機械的特性が保持され、ハン
ドリング性が優れていれば良い。即ち、可塑剤の添加量
を変えるることによって得られたグリーンシートの機械
的特性を可塑剤で調整できる。一つの目安として、グリ
ーンシートのハンドリング性と穴開け加工精度を得るた
めには、伸びが5から25%程度が必要である。可塑剤
の添加方法はビニル単量体の分散重合時、又は重合後で
もよい。好ましくはポリマの粒子同志の癒着を防止する
ためにも重合時に添加するのが良い。
The plasticizer used together with the binder is basically one which is hardly azeotropic with water or an aqueous solvent.
In addition, it has good compatibility with the polymer obtained from the vinyl monomer. For example, dibutyl phthalate (abbreviated as DBP), di-2-ethylhexyl phthalate (DOP),
Diisononyl phthalate (DINP), diisodecyl phthalate (DIDP), diheptyl phthalate (DH
P), phthalic acid esters such as di-n-octyl phthalate (N-DOP) butylbenzyl phthalate (BBP), ethyl phthalyl ethyl glycolate, di-2-ethylhexyl adipate (DOA), dibutyl diglycol adipate (BXA), etc. Aliphatic ester, tripropylene glycol methyl ether (TPM), dipropylene glycol-n-butyl ether (DPnB),
Tripropylene glycol-n-butyl ether (TP
nB), propylene glycol phenyl ether (PP
h) and the like. Preferably, DOP, DINP, DIDP, DH
P, N-DOP is good. The above-mentioned plasticizer may be added according to each form, and is not particularly limited. That is, it is only necessary that the mechanical properties of the ceramic precursor composition formed by using the organic binder for ceramic are maintained and the handling properties are excellent. That is, the mechanical properties of the green sheet obtained by changing the amount of the plasticizer can be adjusted with the plasticizer. As a guide, the elongation is required to be about 5 to 25% in order to obtain the handling property and the perforation processing accuracy of the green sheet. The plasticizer may be added at the time of dispersion polymerization of the vinyl monomer or after the polymerization. Preferably, it is added during polymerization in order to prevent adhesion of polymer particles.

【0037】本発明に用いられるセラミック成形用有機
バインダーの固形分濃度は30重量%以下、15重量%
以上とする。50重量%を超えると(B)成分の粒径が
大きくなり、15重量%未満では作業性が低下する。
The organic binder for ceramic molding used in the present invention has a solid content of 30% by weight or less, 15% by weight or less.
Above. If it exceeds 50% by weight, the particle size of the component (B) becomes large, and if it is less than 15% by weight, the workability decreases.

【0038】本発明に用いられるセラミック成形用有機
バインダーの製造方法は、(B)成分であるモノマーの
総量100重量部を、(C)水又は水と水溶性有機溶剤
の混合液中に(A)成分1〜30重量部((B)成分で
あるビニル単量体の総量100重量部に対して)を溶解
し、この溶液中で(B)成分であるビニル単量体を激し
く撹拌しながら分散(懸濁)して重合触媒存在下、激し
く撹拌しながら加熱、重合又は共重合反応を行う。
In the method for producing the organic binder for ceramic molding used in the present invention, 100 parts by weight of the total amount of the monomer as the component (B) is added to (C) water or a mixture of water and a water-soluble organic solvent. ) Component 1 to 30 parts by weight (based on 100 parts by weight of the total amount of the vinyl monomer (B)) is dissolved, and the vinyl monomer (B) is vigorously stirred in the solution. The mixture is dispersed (suspended) and heated, polymerized or copolymerized in the presence of a polymerization catalyst with vigorous stirring.

【0039】本発明に用いられるセラミック粉末の平均
粒径が20.0ミクロン以下、好ましくは10ミクロン
以下、更に好ましくは5ミクロン以下である。セラミッ
ク粉末としては、例えば、Al23、SiO2、3Al2
3・SiO2、PbO、Al 23・MgO、B23、C
aO、BaO、ZrO2、ZnO、Na2O、P25、K
2O、Li2O等から少なくとも1種以上より選ばれたも
のである。更に詳しく言えば、アルミナ(Al23)、
アノ−サイト(Anorthite、CaO・AlO・
2SiO2)、ムライト(Mulli−te,3Al2
3・2SiO2)、コージェライト(Cordierit
e,2MgO・2Al23・5SiO2)、スポジュ−
メン(Spodumene,Li2O・Al23・Si
2)のうち少なくとも一種のセラミック粉末、SiO2
−B23−Na2O系、SiO2−B23−K2O系、S
iO2−B23−Li2O系、SiO2−B23−Zn
O、系等のホウ珪酸ガラスのうち、少なくとも1種以上
のガラスセラミック粉末より選ばれる。又これらのガラ
スセラミックが銅の融点より低温で焼成可能な非結晶性
又は結晶性ガラスセラミック、抗折強度が強いことが好
ましく、さらには焼結後にクリストバライト(Cris
tobalite)が生成しにくい成分が好ましい。こ
のセラミック微粒子は球状、粉砕状のもの等が使用され
る。微細なスルーホール加工を必要とする場合には、グ
リーンシート用セラミック粉末の平均粒径は、一般的に
10ミクロン以下、更に好ましくは5ミクロン以下が望
ましい。
The average of the ceramic powder used in the present invention
Particle size less than 20.0 microns, preferably 10 microns
Or less, more preferably 5 microns or less. Ceramic
As the powder, for example, AlTwoOThree, SiOTwo, 3AlTwo
OThree・ SiOTwo, PbO, Al TwoOThree・ MgO, BTwoOThree, C
aO, BaO, ZrOTwo, ZnO, NaTwoO, PTwoOFive, K
TwoO, LiTwoSelected from at least one or more of O, etc.
It is. More specifically, alumina (AlTwoOThree),
Anorthite (Anorthite, CaO, AlO,
2SiOTwo), Mullite (Mulli-te, 3Al)TwoO
Three・ 2SiOTwo), Cordierite
e, 2MgO.2AlTwoOThree・ 5SiOTwo), Spoju-
Men (Spodumene, LiTwoO ・ AlTwoOThree・ Si
OTwo) At least one ceramic powder, SiOTwo
-BTwoOThree-NaTwoO-based, SiOTwo-BTwoOThree-KTwoO system, S
iOTwo-BTwoOThree−LiTwoO-based, SiOTwo-BTwoOThree-Zn
O, at least one or more borosilicate glasses
Selected from glass ceramic powders. Also these gala
Amorphous that ceramics can be fired below the melting point of copper
Or, it is preferable to use crystalline glass ceramic and strong bending strength.
More preferably, after sintering, cristobalite (Cris
Components that are unlikely to produce tobalite) are preferred. This
The ceramic fine particles used are spherical, pulverized, etc.
You. If fine through-hole processing is required,
The average particle size of the ceramic powder for lean sheet is generally
10 microns or less, more preferably 5 microns or less
Good.

【0040】又本発明に用いられるセラミック原料とし
ては、BaTiO3等の高誘電体材料、抵抗体材料等も
挙げられ、特に制限されるものではない。
The ceramic raw material used in the present invention includes a high dielectric material such as BaTiO 3 , a resistor material and the like, and is not particularly limited.

【0041】本発明に用いられるセラミック用分散助剤
としては、ポリアクリル酸のアンモニウム等のポリアク
リル酸の塩、ホスヘ−トエステル(Phosphate
ester)、ポリエチレングリコ−ル、ポリビニル−
2−ピロリドン及び共重合体、グリセロ−ルトリオレ−
ト(Glycerol trioleaste)等があ
げられる(Advaces in ceramics、
Vol.21、Ceramic Powder Sci
ence p537〜547、1987)。また3,6
−ジメチル−4−オクチン−3,6−ジオ−ル、2,
4,7,9,−テトラメチル−5デシン−4,7−ジオ
−ル、そのエチレンオキサイドを付加した液状等の非イ
オン界面活性剤(エチレンオキサイド含有量として、付
加モル数:1.3、3.5、10、30、重量%:2
0、40、65、85)、2,4,7,9,−テトラメ
チル−5デシン−4,7−ジオ−ルとポリオキシエチレ
ンアルキルフェニルエ−テルとをエチレングリコ−ルに
高濃度に溶解した液状の非イオン界面活性剤、さらに必
要に応じてその他の界面活性剤としては、例えば、ラウ
リル硫酸ナトリウムなどの高級アルコ−ル硫酸エステル
塩のアニオン界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキル
エ−テル、ポリオキシエチレンポリプロピレンアルキル
エ−テル等のエ−テル型非イオン界面活性剤、カルボキ
シベタイン型、アミノカルボン酸塩の両性界面活性剤等
が挙げられる。
Examples of the dispersing aid for ceramics used in the present invention include salts of polyacrylic acid such as ammonium polyacrylic acid, phosphate esters (Phosphate).
ester), polyethylene glycol, polyvinyl-
2-pyrrolidone and copolymer, glycerol triole
(Glycerol trioleaste) and the like (Advases in ceramics,
Vol. 21, Ceramic Powder Sci
ence p537-547, 1987). 3,6
-Dimethyl-4-octyne-3,6-diol, 2,
4,7,9-Tetramethyl-5-decyne-4,7-diol, a nonionic surfactant such as a liquid to which ethylene oxide has been added (the number of moles of ethylene oxide added: 1.3, 3.5, 10, 30, weight%: 2
0, 40, 65, 85), 2,4,7,9, -tetramethyl-5-decyne-4,7-diol and polyoxyethylene alkylphenyl ether at high concentrations in ethylene glycol. Examples of the dissolved liquid nonionic surfactant and, if necessary, other surfactants include, for example, anionic surfactants of higher alcohol sulfates such as sodium lauryl sulfate, and polyoxyethylene alkyl ethers. And ether type nonionic surfactants such as polyoxyethylene polypropylene alkyl ether, carboxybetaine type and aminocarboxylate amphoteric surfactants.

【0042】セラミック用分散助剤は、セラミック粉末
同志が凝集しにくくし、スラリ−の流動を容易にするも
のである。セラミック用分散助剤は溶剤(水、水及び水
溶性溶剤)に溶解又は分散した溶液に、セラミック粉末
を添加して使用する。使用する場合、ボ−ルミルを用い
て湿式混合を1から5時間行ない、次にセラミック用有
機バインダを所定量添加し、更にこのセラミック前駆体
組成物をボ−ルミルを用いて湿式混合を少なくとも10
時間以上行なってもよい。
The ceramic dispersing aid makes it difficult for the ceramic powders to agglomerate and facilitates the flow of the slurry. The ceramic dispersion aid is used by adding a ceramic powder to a solution dissolved or dispersed in a solvent (water, water and a water-soluble solvent). When used, wet mixing is performed for 1 to 5 hours using a ball mill, a predetermined amount of an organic binder for ceramic is added, and the ceramic precursor composition is further wet-mixed using a ball mill for at least 10 hours.
It may be performed for more than an hour.

【0043】本発明に用いられるセラミック前駆体組成
物の製造法は、(D)成分であるセラミック粉末100
重量部と、(E)成分である、バインダーとして(メ
タ)アクリル系樹脂分散液5から30重量部と、必要に
応じて、各種セラミック用分散助剤のうちから選ばれた
分散剤とからなるセラミック前駆体組成物をボールミル
を用いて湿式混合を少なくとも5時間以上行ない、セラ
ミック前駆体組成物スラリーにし、脱泡工程を経たの
ち、押出成形法、射出成形法、ドクターブレード法、カ
レンダ−ロ−ル法等によつて成形される。製法は特に制
限されるものではない。
The method for producing the ceramic precursor composition used in the present invention is as follows.
Parts by weight, 5 to 30 parts by weight of a (meth) acrylic resin dispersion liquid as a binder, which is a component (E), and, if necessary, a dispersant selected from various ceramic dispersion aids. The ceramic precursor composition is wet-mixed using a ball mill for at least 5 hours or more to form a slurry of the ceramic precursor composition. After a defoaming step, an extrusion molding method, an injection molding method, a doctor blade method, and a calendar roll are used. It is formed by a metal method or the like. The production method is not particularly limited.

【0044】本発明に用いられるセラミックの製造法
は、上記の製法で得られたセラミック前駆体組成物を3
50〜1800℃の温度で少なくとも5時間以上空気中
或いは非還元性雰囲気中で焼成することによって得るこ
とができる。
The method for producing the ceramic used in the present invention is as follows.
It can be obtained by firing at a temperature of 50 to 1800 ° C. for at least 5 hours in air or in a non-reducing atmosphere.

【0045】本発明に用いられる多層セラミック基板は
つぎの製造法によって得られる。(D)成分である、平
均粒径が20.0ミクロン以下のセラミック微粉末10
0重量部と、(E)成分である、バインダーとして(メ
タ)アクリル系樹脂懸濁液5から30重量部と、必要に
応じて(F)成分である、各種セラミック用分散剤のう
ちから選ばれた分散剤をセラミック粉末とからなるセラ
ミック前駆体組成物をボ−ルミルをもちいて湿式混合を
5〜50時間行ない、セラミック前駆体組成物スラリ−
にし、脱泡工程を経たのち、室温から120℃のキャス
ト温度でドクタ−ブレ−ド法等によつてグリ−ンシ−ト
が成形される。必要に応じて得られたグリ−ンシ−トの
機械的特性を向上させるために、更に100〜120℃
にて30分から90分乾燥しても良い。得られた厚さ
0.05〜2mmのグリ−ンシ−トを所定の大きさ(例
えば、10〜200mm×10〜200mm角)に切断
し、必要な層、所定の位置にスル−ホ−ルを打ち抜く。
スル−ホ−ルの直径は制限されるものではないが、最小
40ミクロンまで可能である。この打ち抜かれたグリ−
ンシ−ト上に、例えば、W(融点3410℃)、Mo
(融点2620℃)、Ag(融点961.9)、Au
(融点1064℃)、Pt(融点1769℃)、Pd
(融点1554℃)、Cu(融点1083.4℃)、N
i(融点1453℃)等の一種類以上の導体を主成分と
した導体ペ−ストをスクリ−ン印刷法によって所定の位
置に印刷する。こうして導体をスクリ−ンマスクを介し
て印刷したグリ−ンシ−トに所定の回路を形成し、この
回路形成されたグリ−ンシ−ト数層から数十層を積層
し、温度80〜150℃、圧力0.98MPa〜29.
4MPa(10〜300kgf/cm2)で熱プレス圧
着する。得られた積層体を所定の形状、大きさになるよ
うに切断する。これを上記の導体の種類によって焼成温
度が異なる(一般には導体の融点以下で焼成)が、室温
〜1800℃の温度で少なくとも5時間以上空気中或い
は非還元性雰囲気中で焼成することによってセラミック
基板が得られる。
The multilayer ceramic substrate used in the present invention is obtained by the following manufacturing method. (D) Component, ceramic fine powder 10 having an average particle size of 20.0 microns or less
0 parts by weight, 5 to 30 parts by weight of a (meth) acrylic resin suspension as a binder, which is the component (E), and if necessary, selected from various ceramic dispersants which are the component (F). The ceramic precursor composition comprising the obtained dispersant and ceramic powder is subjected to wet mixing using a ball mill for 5 to 50 hours to obtain a ceramic precursor composition slurry.
After a defoaming step, a green sheet is formed by a doctor blade method or the like at a casting temperature from room temperature to 120 ° C. In order to improve the mechanical properties of the green sheet obtained as required, the temperature is further increased to 100 to 120 ° C.
For 30 to 90 minutes. The obtained green sheet having a thickness of 0.05 to 2 mm is cut into a predetermined size (for example, 10 to 200 mm × 10 to 200 mm square), and a through hole is formed in a required layer and a predetermined position. Punch out.
The diameter of the through-hole is not limited, but can be as small as 40 microns. This punched grease
On the sheet, for example, W (melting point 3410 ° C.), Mo
(Melting point: 2620 ° C.), Ag (melting point: 961.9), Au
(Melting point 1064 ° C), Pt (melting point 1769 ° C), Pd
(Melting point 1554 ° C), Cu (melting point 1083.4 ° C), N
A conductor paste mainly composed of one or more conductors such as i (melting point 1453 ° C.) is printed at a predetermined position by a screen printing method. Thus, a predetermined circuit is formed on a green sheet on which a conductor is printed via a screen mask, and several to several tens of layers of the green sheet formed with the circuit are laminated, and a temperature of 80 to 150 ° C. Pressure 0.98 MPa to 29.
Hot press bonding is performed at 4 MPa (10 to 300 kgf / cm 2 ). The obtained laminate is cut into a predetermined shape and size. The sintering temperature varies depending on the type of the above conductor (generally sintering at a temperature equal to or lower than the melting point of the conductor). Is obtained.

【0046】多層ガラスセラミック回路基板を製造する
には、焼成の際、空気中又は非還元性雰囲気中、その昇
温過程で室温又は350〜450℃で焼成し、更に60
0〜900℃で焼成して脱バインダした後、必要に応じ
て残留炭素を飛散させるために窒素、水素(H2)と水
蒸気(H2O)又は窒素と水蒸気の体積比が10~7〜1
0~4或いは窒素ガス及び水蒸気(水蒸気分圧0.005
〜0.5気圧に制御した不活性雰囲気)の雰囲気中下
で、900℃から上記導体の融点以下で焼結することに
よって多層セラミック回路基板が得られる。
In order to manufacture a multilayer glass ceramic circuit board, at the time of firing, firing is performed at room temperature or 350 to 450 ° C. in the air or in a non-reducing atmosphere during the heating process.
After firing at 0 to 900 ° C. to remove the binder, the volume ratio of nitrogen, hydrogen (H 2 ) and water vapor (H 2 O) or nitrogen and water vapor is 10 to 7 to disperse residual carbon if necessary. 1
0 to 4 or nitrogen gas and water vapor (water vapor partial pressure 0.005
By sintering at 900 ° C. to the melting point of the above conductor under an atmosphere of (inert atmosphere controlled to 0.5 atm), a multilayer ceramic circuit board is obtained.

【0047】本発明により得られるセラミック成形用有
機バインダーは、水単独又は水及び水溶性有機溶剤とか
らなるもので、非水溶性有機溶剤を全く又はほとんど使
用することなく必要性がなく、セラミックの分散性、表
面の平滑性、密度、伸び、及び強度において優れたセラ
ミックグリーンシートを生成することができ、低公害、
省資源の観点から有利である。また、該グリーンシート
を積層、焼成することにより緻密で、表面平滑性及び強
度おいてに優れた多層セラミック基板が得られる。
The ceramic forming organic binder obtained according to the present invention is composed of water alone or water and a water-soluble organic solvent. It can produce ceramic green sheets excellent in dispersibility, surface smoothness, density, elongation, and strength, low pollution,
This is advantageous from the viewpoint of resource saving. Further, by laminating and firing the green sheets, a multilayer ceramic substrate which is dense and excellent in surface smoothness and strength can be obtained.

【0048】本発明の微粒子化した水系有機バインダの
使用により、1000℃以下の温度で焼結可能であり、
所望のグリ−ンシ−ト積層法によって容易に低誘電率で
あるガラスセラミック基板の多層化ができ、導体として
中性又は還元雰囲気で焼成できるCu、Ni、をはじ
め、Ni、Au、Ag、Pd等の金属や合金等が使用で
きるようになり、実装密度を高くすることができるよう
になる。
By using the finely divided aqueous organic binder of the present invention, sintering can be performed at a temperature of 1000 ° C. or less,
A desired green sheet laminating method can easily form a glass ceramic substrate having a low dielectric constant, and can be used as a conductor such as Cu, Ni, Ni, Au, Ag, and Pd, which can be fired in a neutral or reducing atmosphere. Can be used, and the mounting density can be increased.

【0049】また本発明による多層ガラスセラミック基
板は、熱分解性の優れた有機バインダ−を使用すること
ができるため、焼結後の残留炭素を少なくでき、ガラス
セラミックの機械的強度、誘電率に優れ、かつ、低吸湿
性の優れた水系有機バインダ−を使用することができる
ため、微細配線化に必要なグリ−シ−トの穴あけ精度に
優れた多層ガラスセラミック基板を実用に供すことが可
能になる。ここで本発明による基板の機械的強度は抗折
強度で約1500kg/cm2以上、好ましくは200
0kg/cm2以上であり、1500kg/cm2未満で
は信頼性不十分となる。また高速化を図るには誘電率7
を超えないためであり、好ましくは5.5以下が良い。
さらには、多層ガラスセラミック基板の特性としては、
熱膨張係数4.0×10~6/℃以下、絶縁抵抗1013Ω
・cm以上が望ましい。
Further, the multilayer glass ceramic substrate according to the present invention can use an organic binder having excellent thermal decomposability, so that residual carbon after sintering can be reduced, and the mechanical strength and dielectric constant of the glass ceramic can be reduced. Since it is possible to use an aqueous organic binder that is excellent and has low moisture absorption, it is possible to put into practical use a multilayer glass-ceramic substrate that excels in the precision of drilling the grease sheet required for fine wiring. become. Here, the mechanical strength of the substrate according to the present invention is not less than about 1500 kg / cm 2 , preferably 200 in terms of bending strength.
0 kg / cm 2 or more, and less than 1500 kg / cm 2 , the reliability becomes insufficient. In order to increase the speed, a dielectric constant of 7
Is preferably not more than 5.5.
Furthermore, as a characteristic of the multilayer glass ceramic substrate,
Thermal expansion coefficient 4.0 × 10 ~ 6 / ℃ or less, insulation resistance 10 13 Ω
・ Cm or more is desirable.

【0050】以上の諸特性を兼備することが、配線密度
の増大による微細配線化とともに、配線抵抗の低減化、
高速化に対応した基板材料の低誘電率化、及び高密度配
線化の要求に答えられるようになる。
The combination of the above-mentioned various characteristics is accompanied by the miniaturization due to the increase in the wiring density, the reduction in the wiring resistance,
It is possible to respond to the demands for lowering the dielectric constant of the substrate material and increasing the density of the wiring in response to high speed.

【0051】[0051]

【作用】本発明の特徴は、上記セラミック成形用有機バ
インダーが水系セラミック有機バインダ−として有用で
あり、且つセラミック微粉末間の結合には上記セラミッ
ク成形用有機バインダーがその機能を発揮し、グリ−ン
シ−トの諸特性、即ち、柔軟性、成形性、分散性、表面
状態、穴あけ寸法精度を満たすものである。更に回路パ
タ−ン付グリ−ンシ−トの積層体の諸特性、即ち、積層
圧着性、機械的強度等を満たすものである。
The feature of the present invention is that the above-mentioned organic binder for ceramic molding is useful as an aqueous ceramic organic binder, and the organic binder for ceramic molding exhibits its function for bonding between ceramic fine powders. It satisfies the properties of the sheet, namely, flexibility, moldability, dispersibility, surface condition, and dimensional accuracy for drilling. Further, it satisfies various characteristics of the laminated body of the green sheet with the circuit pattern, that is, the lamination pressure bonding property, the mechanical strength, and the like.

【0052】[0052]

【実施例】以下に本発明の実施例を示すが、本発明はこ
れに限定されるものではない。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

【0053】単に%とある場合は重量%を意味する。When there is simply a percentage, it means weight%.

【0054】セラミック粉末100重量部、セラミック
成形用有機バインダー5〜30重量部を加え合わせセラ
ミック前駆体組成物をえた。これをボールミルにて混練
した。このようにしてセラミック前駆体組成物スラリー
を作製した後、更にこのスラリーから減圧で空気を脱泡
した。このように調製した均一なスラリー混合液の粘度
を調整して、ドクターブレード型キャスト装置を用い、
ポリエステルフィルム上に塗布して乾燥してグリーンシ
ートを作製した。シートの諸物性は、成形性、柔軟性、
分散性について評価した。
100 parts by weight of ceramic powder and 5 to 30 parts by weight of an organic binder for ceramic molding were added to obtain a ceramic precursor composition. This was kneaded in a ball mill. After preparing the ceramic precursor composition slurry in this manner, air was further removed from the slurry under reduced pressure. By adjusting the viscosity of the uniform slurry mixture prepared in this way, using a doctor blade type casting device,
A green sheet was prepared by coating on a polyester film and drying. Various physical properties of the sheet include moldability, flexibility,
The dispersibility was evaluated.

【0055】(成形性)ポリエステルフィルム上に塗布
して乾燥後、目視により評価した。
(Formability) After coating on a polyester film and drying, it was visually evaluated.

【0056】○:ポリエステルシートでのグリーンシー
トの剥離がよく、割れが無いこと。
:: Good peeling of the green sheet with the polyester sheet, and no cracking.

【0057】△:若干割れのあるグリーンシートである
こと。
Δ: Green sheet with some cracks.

【0058】×:ヒビ割れてグリーンシートにならない
こと。
X: No cracking to form a green sheet.

【0059】(柔軟性)グリーンシートの中央部を直径
のことなる5種のガラス芯棒のそれぞれで抑え、これを
中心とする180°の折り曲げ試験を行った。シートに
割れが入る直前の芯棒の直径(mmφ)で、柔軟性を示し
た。芯棒の直径は2、3、4、6、8mmである。
(Flexibility) The center portion of the green sheet was suppressed by each of five types of glass core rods having different diameters, and a 180 ° bending test was performed on the center. The flexibility was indicated by the diameter (mmφ) of the core rod immediately before the sheet cracked. The diameter of the core rod is 2, 3, 4, 6, 8 mm.

【0060】(分散性) 〇:グリーンシート中セラミック微粒子の分散状態で二
次凝集が少ないこと。
(Dispersibility) 〇: Small secondary aggregation in the dispersed state of ceramic fine particles in the green sheet.

【0061】△:グリーンシート中セラミック微粒子の
分散状態で二次凝集が若干多いこと。
△: The secondary aggregation is slightly increased in the dispersed state of the ceramic fine particles in the green sheet.

【0062】×:グリーンシート中セラミック微粒子の
分散状態で二次凝集が多いこと。
×: A large amount of secondary aggregation in the dispersed state of the ceramic fine particles in the green sheet.

【0063】〈実施例1〉 (セラミック成形用有機バインダーの合成)撹拌機、温
度計、還流コンデンサ、滴下ロート及びガス導入管を備
えた2lのフラスコに窒素ガス気流下にイオン交換水1
89gを仕込み、そこに撹拌しながらポリエチレンオキ
サイド系樹脂(第一工業製薬製、パオゲンPP−15、
平均分子量:約10〜14万)21gを添加して10重
量%ポリエチレンオキサイド系樹脂の水溶液を得た。次
にイオン交換水452.8gを添加してから重合開始ま
で窒素ガス1.0l/分流量で重合系を置換しながら、
次にメタクリル酸n−ブチル300g、可塑剤ジイソデ
シルフタレート(DIDP)21g、過硫酸アンモニウ
ム0.45gを溶かした5%水溶液9gを仕込み後、約
1時間窒素ガスを流し続けた。フラスコ内の溶液を60
℃にし、分散重合を5時間続けた。重合を完結するた
め、重合温度70、75、80℃と段階的に温度を上げ
ながら重合し、2時間続けた。重合溶液を室温まで冷却
し、固形分濃度32%のセラミックス成形用有機バイン
ダーを得た。
Example 1 (Synthesis of Organic Binder for Ceramic Molding) Ion-exchanged water was placed in a 2 liter flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a gas inlet tube under a nitrogen gas stream.
89 g of polyethylene oxide resin (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., Paogen PP-15,
(Average molecular weight: about 100,000 to 140,000) was added to obtain an aqueous solution of a 10% by weight polyethylene oxide resin. Next, while adding 452.8 g of ion-exchanged water and replacing the polymerization system at a flow rate of nitrogen gas of 1.0 l / min until the start of polymerization,
Next, 300 g of n-butyl methacrylate, 21 g of plasticizer diisodecyl phthalate (DIDP), and 9 g of a 5% aqueous solution in which 0.45 g of ammonium persulfate were charged, and then a nitrogen gas was kept flowing for about 1 hour. 60 solution in flask
C. and the dispersion polymerization was continued for 5 hours. In order to complete the polymerization, the polymerization was carried out while gradually increasing the polymerization temperature to 70, 75, and 80 ° C., and continued for 2 hours. The polymerization solution was cooled to room temperature to obtain a ceramic molding organic binder having a solid content of 32%.

【0064】(グリーンシートの作製)アルミナ粉末を
主成分として、全体の組成としてはムライト 94.9
重量%、アルミナ 5.1重量%の成分を有する粒径5
ミクロン以下のセラミック粉末100重量部に、イオン
交換水32重量部、分散助剤0.25重量部を添加し、
混合したのち、かき混ぜながらセラミックス成形用有機
バインダー18重量部を加え合わせセラミック前駆体組
成物を得た。これをアルミナ製内張り容器、アルミナ製
ボールを用いたボールミルにて24時間混練した。この
ようにしてセラミック前駆体組成物スラリーを作製した
後、更にこのスラリーから加温減圧で脱泡した。このよ
うに調製した均一なスラリー混合液の粘度を調整して
2,000〜5,000cpsとし、ドクターブレード
型キャスト装置を用い、ポリエステルフィルム上に塗布
して120℃で乾燥してグリーンシートを作製した。シ
ートの諸物性は表1に示すように、成形性、柔軟性、分
散性ともに良好であった。
(Preparation of Green Sheet) Alumina powder is a main component, and the overall composition is mullite 94.9.
5% by weight, alumina 5.1% by weight, particle size 5
32 parts by weight of ion-exchanged water and 0.25 parts by weight of a dispersing aid are added to 100 parts by weight of a ceramic powder having a size of not more than micron,
After mixing, 18 parts by weight of an organic binder for forming a ceramic were added with stirring to obtain a ceramic precursor composition. This was kneaded for 24 hours in a ball mill using an alumina-lined container and alumina balls. After preparing the slurry of the ceramic precursor composition in this way, the slurry was further defoamed by heating under reduced pressure. The viscosity of the uniform slurry mixture thus prepared was adjusted to 2,000 to 5,000 cps, and applied to a polyester film using a doctor blade type casting device and dried at 120 ° C. to produce a green sheet. did. As shown in Table 1, the physical properties of the sheet were all good in moldability, flexibility and dispersibility.

【0065】(多層配線セラミック基板の作製)グリー
ンシートをパンチ金型を用いて、200mm×200mm角
に切断し、ガイド用の穴を施した。その後、このガイド
用の穴を利用してグリーンシートを固定し、パンチ法に
より所定位置に径0.1mmのスルーホールを打ち抜い
た。粒径5ミクロン以下のタングステン粉末:エチルセ
ルロース:α−テレピネオール:2,2,4−トリメチ
ルペンタンジオ−ルモノイソブチレ−ト=100:2:
18(重量比)の導体ペーストをグリーンシートにあけ
たスルーホールに充填し、次にスクリーン印刷法により
所定回路パターンをグリーンシート表面に印刷した。こ
のように導体を印刷し、回路形成されたグリーンシート
をガイド用の穴の位置を合わせて40枚を積層し、12
0℃、100kgf/cm2の圧力にて熱プレス圧着を行な
った。得られた積層体を必要な形状に切断し、150mm
×150mm角のグリーンシート積層板とし、窒素−水素
−水蒸気の混合雰囲気焼成炉内で1600℃で2時間焼
成した。焼成の際には昇温過程で脱バインダを充分に行
なった。このグリーンシート積層法によって120mm×
120mm角、厚さ7mmの多層配線セラミック基板を作製
した。
(Preparation of Multilayer Wiring Ceramic Substrate) A green sheet was cut into a 200 mm × 200 mm square using a punch die, and a hole for a guide was formed. Thereafter, the green sheet was fixed using the guide holes, and a through-hole having a diameter of 0.1 mm was punched at a predetermined position by a punch method. Tungsten powder having a particle size of 5 μm or less: ethyl cellulose: α-terpineol: 2,2,4-trimethylpentaneddiol monoisobutyrate = 100: 2:
18 (weight ratio) of the conductive paste was filled in the through holes formed in the green sheet, and then a predetermined circuit pattern was printed on the surface of the green sheet by a screen printing method. The conductor was printed in this manner, and 40 sheets of the green sheet on which the circuit was formed were laminated with the positions of the holes for the guides aligned.
Hot press bonding was performed at 0 ° C. and a pressure of 100 kgf / cm 2 . The obtained laminate is cut into a required shape, and 150 mm
A green sheet laminate having a size of 150 mm square was fired at 1600 ° C. for 2 hours in a firing furnace in a mixed atmosphere of nitrogen, hydrogen and steam. During the firing, the binder was sufficiently removed during the heating process. 120mm ×
A multilayer wiring ceramic substrate having a size of 120 mm square and a thickness of 7 mm was manufactured.

【0066】〈実施例2〜15〉 (セラミック成形用有機バインダーの合成)水溶性高分
子量化合物の種類及び量、モノマーの配合比、重合開始
剤の種類及び量、分散媒の種類及び量を表1に示すごと
く替えた他は実施例1と同様に実験を行ない、セラミッ
ク成形用有機バインダーを得た。
<Examples 2 to 15> (Synthesis of Organic Binder for Ceramic Molding) The types and amounts of water-soluble high-molecular-weight compounds, the compounding ratios of monomers, the types and amounts of polymerization initiators, and the types and amounts of dispersion media are shown in Tables. An experiment was conducted in the same manner as in Example 1 except that the composition was changed as shown in Example 1 to obtain an organic binder for ceramic molding.

【0067】(グリーンシートの作製)セラミック成形
用有機バインダー及びその添加量を替えた他は実施例1
と同様にして実験を行ない、グリーンシートを作製し、
その諸特性を表1に示した。
(Preparation of Green Sheet) Example 1 was repeated except that the organic binder for ceramic molding and the amount added were changed.
Perform an experiment in the same manner as above to produce a green sheet,
The characteristics are shown in Table 1.

【0068】[0068]

【表1】 [Table 1]

【0069】(多層配線セラミック基板の作製)実施例
1と同様にして実験を行ない、グリーンシートより多層
配線セラミック基板を作製した。
(Preparation of Multilayer Wiring Ceramic Substrate) An experiment was conducted in the same manner as in Example 1, and a multilayer wiring ceramic substrate was prepared from green sheets.

【0070】〈実施例12〜31〉 (セラミック成形用有機バインダーの合成)水溶性高分
子量化合物の種類及び量、モノマーの配合比、重合開始
剤の種類及び量、分散媒の種類及び量を表2,3に示す
ごとく替えた他は実施例1と同様に実験を行ない、セラ
ミック成形用有機バインダーを得た。
<Examples 12 to 31> (Synthesis of Organic Binder for Ceramic Molding) The types and amounts of water-soluble high molecular weight compounds, the compounding ratios of monomers, the types and amounts of polymerization initiators, and the types and amounts of dispersion media are shown in Tables. An experiment was conducted in the same manner as in Example 1 except that the composition was changed as shown in 2 and 3, and an organic binder for ceramic molding was obtained.

【0071】[0071]

【表2】 [Table 2]

【0072】[0072]

【表3】 [Table 3]

【0073】(グリーンシートの作製)ガラスセラミッ
ク用として、ホウケイ酸ガラス(SiO284重量%、
29重量%、Al3 3%、K2O 4重量%成
分組成、粒径5ミクロン以下)粉末50重量部、ムライ
ト50重量部を、分散助剤A6114(商品名、固形分
40%、東亜合成化学製)0.125重量部、イオン交
換水32g、イソプロピルアルコ−ル13.5重量部を
混合し、これに表2記載のセラミック成形用有機バイン
ダー5〜30重量部を加え合わせセラミック前駆体組成
物を得た。これをアルミナ製内張り容器、アルミナ製ボ
ールを用いたボールミルにて24時間混練した。以下、
実施例1と同様にして実験を行ない、グリーンシートを
作製し、その諸特性を表2,3に示した。
(Preparation of Green Sheet) For glass ceramic, borosilicate glass (84% by weight of SiO 2 ,
9% by weight of B 2 O 3, 3 % by weight of Al 2 O 3 , 4% by weight of K 2 O, particle size of 5 μm or less) 50 parts by weight of powder and 50 parts by weight of mullite were mixed with a dispersion aid A6114 (trade name, solid 0.125 parts by weight of 40%, manufactured by Toa Gosei Chemical Co., Ltd.), 32 g of ion-exchanged water, and 13.5 parts by weight of isopropyl alcohol, and 5 to 30 parts by weight of an organic binder for ceramic molding shown in Table 2 were added thereto. A combined ceramic precursor composition was obtained. This was kneaded for 24 hours in a ball mill using an alumina-lined container and alumina balls. Less than,
An experiment was conducted in the same manner as in Example 1 to produce a green sheet, and its properties are shown in Tables 2 and 3.

【0074】(多層配線セラミック基板の作製)粒径5
ミクロン以下の銅粉末:ビヒクル〔エチルセルロース:
2,2,4−トリメチルペンタンジオ−ルモノイソブチ
レ−ト〕=89:11〔10:90〕(重量%)の導体
ペーストを用い、窒素−水素−水蒸気の焼成雰囲気で、
焼成温度を350から850℃、20時間脱バインダ
後、窒素雰囲気で950〜1040℃、2時間本焼成し
た以外は、実施例1と同様にして実験を行ない、グリー
ンシートより多層配線セラミック基板を作製した。
(Preparation of Multilayer Wiring Ceramic Substrate) Particle Size 5
Submicron copper powder: vehicle [ethyl cellulose:
2,2,4-trimethylpentanediole monoisobutyrate] = 89: 11 [10:90] (% by weight) using a conductive paste of nitrogen-hydrogen-steam,
The experiment was conducted in the same manner as in Example 1 except that the firing temperature was 350 to 850 ° C., the binder was removed for 20 hours, and then the main firing was performed at 950 to 1040 ° C. for 2 hours in a nitrogen atmosphere. did.

【0075】得られた多層ガラスセラミック基板の諸特
性は、何れも誘電率5.5以下、抗折強度2000kg
/cm2以上、熱膨張係数3.5×10~6/℃以下、絶
縁抵抗>1013Ω・cmを満たしていた。
The characteristics of the obtained multilayer glass ceramic substrate are as follows: dielectric constant: 5.5 or less, flexural strength: 2000 kg
/ Cm 2 or more, thermal expansion coefficient of 3.5 × 10 6 / ° C. or less, and insulation resistance> 10 13 Ω · cm.

【0076】〈実施例32〉 (セラミック成形用有機バインダーの合成)撹拌機、温
度計、還流コンデンサ、滴下ロート及び窒素ガス導入管
を備えた2lのフラスコに窒素ガス気流下にイオン交換
水189.0g、パオゲンPP−15(平均分子量;約
10〜14万)21gを撹拌しつつ、添加し、均一に溶
解し、さらにイオン交換水336.2gを添加し、30
分間実施例1と同様に窒素ガス置換した。撹拌しなが
ら、IPA225.1g、メタクリル酸n−ブチル30
0g、可塑剤ジイソノニルフタレート31.5g、重合
開始剤過硫酸アンモニウム0.45gを添加し、30分
から1時間で窒素ガスを置換した。重合温度を60℃で
4時間加熱し続け、更に重合温度を段階的に又は徐々に
80℃まで昇温して2時間重合し、反応を完結した。こ
れを室温まで冷却し、固形分濃度32%のセラミックス
成形用有機バインダーを得た〔ポリマー50%平均粒
径;3.0ミクロン以下、懸濁液の粘度;7Pa・s、
重量平均分子量;40万。〕 (グリーンシートの作製)ガラスセラミック用として、
ホウケイ酸ガラス(SiO284重量%、B239重量
%、Al23 3%、K2O 4重量%成分組成、粒径5
ミクロン以下)粉末63.1重量部、ムライト36.9
重量部をイオン交換水40重量部(必要に応じてイオン
交換水の一部をIPA等の水溶性溶剤に置き換えてもよ
い)、セラミック分散剤A6114(商品名、固形分4
0%、東亜合成化学製)0.1重量部を混合し、これを
アルミナ製内張り容器、アルミナ製ボールを用いたボー
ルミルにて2時間混練した。更にセラミックス成形用有
機バインダー20重量部を加え合わせセラミック前駆体
組成物を得た。これをアルミナ製内張り容器、アルミナ
製ボールを用いたボールミルにて24時間混練した。こ
のようにしてセラミック前駆体組成物スラリーを作製し
た後、更にこのスラリーを減圧133.3Pa〜666
5Pa(1mmHg〜50mmHg)下で脱泡した。こ
のように調製した均一なスラリー混合液を、更に加温減
圧下で水及び有機溶剤を飛散させながら粘度を調整して
3Pa・s〜10Pa・sとし、ドクターブレード型キ
ャスト装置を用い、ポリエステルフィルム上にキャステ
ィングして120℃で乾燥して厚さ0.2mmのグリー
ンシートを作製した。シートの諸物性は表3に示すよう
に、成形性、柔軟性、分散性ともに良好であった。
Example 32 (Synthesis of Organic Binder for Ceramic Molding) Ion-exchanged water was placed in a 2 l flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel, and a nitrogen gas inlet tube under a nitrogen gas stream. 0 g and 21 g of Paogen PP-15 (average molecular weight: about 100,000 to 140,000) were added with stirring and uniformly dissolved, and 336.2 g of ion-exchanged water was added.
The nitrogen gas was replaced in the same manner as in Example 1 for one minute. While stirring, 225.1 g of IPA, n-butyl methacrylate 30
0 g, 31.5 g of a plasticizer diisononyl phthalate and 0.45 g of a polymerization initiator ammonium persulfate were added, and nitrogen gas was replaced in 30 minutes to 1 hour. The polymerization temperature was continuously heated at 60 ° C. for 4 hours, and the polymerization temperature was raised stepwise or gradually to 80 ° C., and the polymerization was completed for 2 hours to complete the reaction. This was cooled to room temperature to obtain an organic binder for forming ceramics having a solid content of 32% [50% polymer average particle diameter: 3.0 μm or less, viscosity of suspension: 7 Pa · s,
Weight average molecular weight: 400,000. (Production of green sheet)
Borosilicate glass (84% by weight of SiO 2, 9% by weight of B 2 O 3, 3 % of Al 2 O 3 , 4% by weight of K 2 O) Component composition, particle size 5
63.1 parts by weight of powder, mullite 36.9
40 parts by weight of ion-exchanged water (a part of the ion-exchanged water may be replaced with a water-soluble solvent such as IPA if necessary), a ceramic dispersant A6114 (trade name, solid content 4
(0.1% by weight, 0%, manufactured by Toa Gosei Chemical Co., Ltd.) and kneaded for 2 hours in an alumina lined container and a ball mill using alumina balls. Further, 20 parts by weight of an organic binder for forming a ceramic was added to obtain a ceramic precursor composition. This was kneaded for 24 hours in a ball mill using an alumina-lined container and alumina balls. After preparing the ceramic precursor composition slurry in this way, the slurry is further reduced in pressure to 133.3 Pa to 666.
Degassing was performed under 5 Pa (1 mmHg to 50 mmHg). The uniform slurry mixture prepared in this manner is further heated and reduced in pressure while spraying water and an organic solvent under reduced pressure to adjust the viscosity to 3 Pa · s to 10 Pa · s. It was cast on top and dried at 120 ° C. to produce a green sheet having a thickness of 0.2 mm. As shown in Table 3, the physical properties of the sheet were all good in moldability, flexibility and dispersibility.

【0077】(多層配線セラミック基板の作製)得られ
たグリーンシートをパンチ金型を用いて、200mm×2
00mm角に切断し、ガイド用の穴を施した。その後、こ
のガイド用の穴を利用してグリーンシートを固定し、パ
ンチ法により所定位置に径0.1mmのスルーホールを打
ち抜いた。粒径5ミクロン以下のCu粉末:ビヒクル
〔エチルセルロース:2,2,4−トリメチルペンタン
ジオ−ルモノイソブチレ−ト〕=89:11〔10:9
0〕(重量%)の導体ペーストを用い、グリーンシート
に開けたスルーホールに充填し、次にスクリーン印刷法
により所定回路パターンをグリーンシート表面に印刷し
た。このように導体を印刷し、回路形成されたグリーン
シートをガイド用の穴の位置を合わせて40枚を積層
し、120℃、圧力9.80MPa(100kgf/c
2)にて熱プレス圧着を行なった。得られた積層体を
必要な形状に切断し、150mm×150mm角のグリーン
シート積層体とし、窒素ー水素ー水蒸気(圧力比;0.
6気圧:0.2気圧:0.2気圧)の混合雰囲気焼成炉
内で350〜850℃で20時間脱津バインダ後、95
0〜1040℃で2時間焼成した。焼成の際には昇温過
程で脱バインダを充分に行なった。このグリーンシート
積層法によって120mm×120mm角、厚さ7mmの多層
配線セラミック基板を作製した。
(Preparation of Multilayer Wiring Ceramic Substrate) The obtained green sheet was cut into a 200 mm × 2 mm
It was cut into 00 mm squares and provided with holes for guides. Thereafter, the green sheet was fixed using the guide holes, and a through-hole having a diameter of 0.1 mm was punched at a predetermined position by a punch method. Cu powder with a particle size of 5 microns or less: vehicle [ethyl cellulose: 2,2,4-trimethylpentanediole monoisobutyrate] = 89: 11 [10: 9]
0] (% by weight) was filled in through holes formed in the green sheet using a conductor paste of (% by weight), and then a predetermined circuit pattern was printed on the surface of the green sheet by a screen printing method. The conductor is printed in this way, and 40 sheets of the green sheet on which the circuit is formed are laminated with the positions of the holes for the guides aligned, and 120 ° C., a pressure of 9.80 MPa (100 kgf / c)
m 2 ), hot press bonding was performed. The obtained laminate was cut into a required shape to form a green sheet laminate of 150 mm × 150 mm square, and nitrogen-hydrogen-water vapor (pressure ratio;
(6 atm: 0.2 atm: 0.2 atm) in a mixed atmosphere baking furnace at 350 to 850 ° C for 20 hours after removing the binder, 95
It baked at 0-1040 degreeC for 2 hours. During the firing, the binder was sufficiently removed during the heating process. By this green sheet laminating method, a multilayer wiring ceramic substrate having a size of 120 mm × 120 mm square and a thickness of 7 mm was produced.

【0078】得られた多層ガラスセラミック基板の諸特
性は、誘電率5.2、抗折強度2000kg/cm2
熱膨張係数3.5×10~6/℃、絶縁抵抗>1013Ω・
cmであった。
The properties of the obtained multilayer glass ceramic substrate were as follows: dielectric constant: 5.2, flexural strength: 2000 kg / cm 2 ,
Thermal expansion coefficient of 3.5 × 10 ~ 6 / ℃, insulation resistance> 10 13 Ω ·
cm.

【0079】〈比較例1〉 (バインダー樹脂)オクチルアクリルアミドを4.0モ
ル%,トリメチルー3ー(1ーメタクリルアミドープロ
ピル)アンモニウムクロリド2.0モル%を含有するポ
リ酢酸ビニル系共重合体で、その酢酸ビニル成分の8
8.7モル%がケン化され、かつ20℃における4%水
溶液粘度が34センチポイズである変性PVAをバイン
ダーとした。
Comparative Example 1 (Binder Resin) A polyvinyl acetate copolymer containing 4.0 mol% of octylacrylamide and 2.0 mol% of trimethyl-3- (1-methacrylamido-propyl) ammonium chloride. , 8 of its vinyl acetate component
8.7 mol% of a saponified modified PVA having a viscosity of 34 centipoise in a 4% aqueous solution at 20 ° C. was used as a binder.

【0080】(グリーンシートの作製)アルミナ粉末を
主成分として全体の組成としてはAl23 33%、S
iO233%、ほうけい酸ガラス 34%の成分を有する
粒径5ミクロン以下のセラミック粉末100重量部、前
記バインダー樹脂を6部、分散剤としてポリオキシエチ
レンノニルフェノールエーテルを1部、イオン交換水5
0部を加え合わせセラミック前駆体組成物をえた。これ
をアルミナ製内張り容器、アルミナ製ボールを用いたボ
ールミルにて24時間混練した。以下実施例1と同様に
して実験を行ない、グリーンシートを作製し、その諸特
性を表4に示した。
(Preparation of Green Sheet) Alumina powder as a main component, the overall composition was 33% Al 2 O 3 ,
100 parts by weight of a ceramic powder having a particle size of 5 μm or less having components of 33% of iO 2 and 34% of borosilicate glass, 6 parts of the binder resin, 1 part of polyoxyethylene nonylphenol ether as a dispersant, and 5 parts of ion-exchanged water
0 parts were added to obtain a ceramic precursor composition. This was kneaded for 24 hours in a ball mill using an alumina-lined container and alumina balls. Thereafter, an experiment was performed in the same manner as in Example 1 to produce a green sheet, and various characteristics are shown in Table 4.

【0081】[0081]

【表4】 [Table 4]

【0082】〈比較例2〉 (バインダー樹脂)アクリル酸、アクリル酸ブチル、ア
クリル酸エチル重合比(50/25/25)重量平均分
子量約10万の共重合体のモノエタノールアミン塩20
gを分散剤として水/メタノール重合比(5/5)80
gの混合溶媒中でアクリル酸エチルを過硫酸アンモニウ
ム0.4gを重合開始剤として乳化重合し、固形分50
%のラテックスを得た。
Comparative Example 2 (Binder resin) Monoethanolamine salt of a copolymer of acrylic acid, butyl acrylate, and ethyl acrylate having a polymerization ratio (50/25/25) and a weight average molecular weight of about 100,000
g of water / methanol polymerization ratio (5/5) 80
of ethyl acrylate in 0.4 g of a mixed solvent using 0.4 g of ammonium persulfate as a polymerization initiator to obtain a solid content of 50 g.
% Latex was obtained.

【0083】(グリーンシートの作製)前記ラテックス
を24部、イオン交換水18部を用いた他は、比較例1
と同様にして実験を行ない、グリーンシートを作製し、
その諸特性を表4に示した。
(Preparation of Green Sheet) Comparative Example 1 was repeated except that 24 parts of the latex and 18 parts of ion-exchanged water were used.
Perform an experiment in the same manner as above to produce a green sheet,
The properties are shown in Table 4.

【0084】〈比較例3〉 (バインダー樹脂)分散剤として非イオン系界面活性剤
を乳化剤としてアクリル酸ブチル、アクリル酸、メタア
クリル酸重合比(70/15/15)の組成を有するラ
テックスを得た。
Comparative Example 3 (Binder Resin) A latex having a composition of butyl acrylate, acrylic acid, and methacrylic acid (70/15/15) was obtained using a nonionic surfactant as a dispersant and an emulsifier. Was.

【0085】(グリーンシートの作製)前記ラテックス
10部(固形分)、中和剤としてモノエタノールアミン
及びイオン交換水25部を用いた他は、比較例1と同様
にして実験を行ない、グリーンシートを作製し、その諸
特性を表4に示した。
(Preparation of Green Sheet) An experiment was carried out in the same manner as in Comparative Example 1 except that 10 parts (solid content) of the latex and monoethanolamine and 25 parts of ion-exchanged water were used as a neutralizing agent. Were prepared, and the characteristics thereof are shown in Table 4.

【0086】〈比較例4〉 (バインダー樹脂)ポリオキシエチレンオクチルフェニ
ルエーテルの塩化グリシンベタインエステル4重量部、
ポリオキシプロピレンポリオキシエチレングリコールの
ジメタクリル酸エステル4重量部を乳化剤として、重合
開始剤として2,2′ーアゾビス(N,N′ージメチレ
ンイソブチルアミジン)塩酸塩を用い、アクリル酸エチ
ル75重量部、メタクリル酸メチル75重量部、Nーメ
チロールアクリル酸アミド4.5重量部の組成を有する
ラテックスを得た。
Comparative Example 4 (Binder Resin) 4 parts by weight of glycine betaine chloride of polyoxyethylene octyl phenyl ether,
Using 4 parts by weight of dimethacrylic acid ester of polyoxypropylene polyoxyethylene glycol as an emulsifier, 2,2'-azobis (N, N 'dimethyleneisobutylamidine) hydrochloride as a polymerization initiator, and 75 parts by weight of ethyl acrylate A latex having a composition of 75 parts by weight of methyl methacrylate and 4.5 parts by weight of N-methylolacrylamide was obtained.

【0087】(グリーンシートの作製)前記ラテックス
10部(固形分)、可塑剤としてポリエチレングリコー
ル(分子量200)3部およびエチルカルビトール2
部、イオン交換水25部を用いた他は、比較例1と同様
にして実験を行ない、グリーンシートを作製し、その諸
特性を表4に示した。
(Preparation of Green Sheet) 10 parts of the latex (solid content), 3 parts of polyethylene glycol (molecular weight: 200) as a plasticizer and ethyl carbitol 2
, And an experiment was conducted in the same manner as in Comparative Example 1 except that 25 parts by weight of ion-exchanged water was used, and a green sheet was produced.

【0088】〈比較例5〉 (バインダー樹脂)(B)成分である疎水性高分子の水系
分散体:メタクリル酸エステル(MMA/nーBMA/
LMA/CHMA=10/60/10/20、固形分4
8%)のエマルジョンと(A)成分である10%水溶性高
分子PVA(重合500、ケン化度88.5モル%、)を
1/1重量比で混合し、グリーンシート用有機バインダ
(複合バインダ)を得た。
Comparative Example 5 (Binder Resin) Aqueous Dispersion of Hydrophobic Polymer as Component (B): Methacrylate (MMA / n-BMA /
LMA / CHMA = 10/60/10/20, solid content 4
8%) and a 10% water-soluble polymer PVA (polymerization 500, saponification degree 88.5 mol%) as the component (A) were mixed at a 1/1 weight ratio, and an organic binder for green sheets (composite) was mixed. Binder).

【0089】(グリーンシートの作製)アルミナ粉末を
主成分として全体の組成としてはAl2333%、Si
2 33%、ほうけい酸ガラス 34%の成分を有する
粒径5ミクロン以下のセラミック粉末100重量部、前
記ラテックス16部(固形分)水50重量部、ポリアク
リル酸アンモニウム塩の分散助剤0.3部を、ボールミ
ルで2時間混合したのち、複合バインダを固形分で10
部添加し粉体と均一に混合した以外は。比較例1と同様
にして実験を行ない、グリーンシートを作製し、その諸
特性を表4に示した。
(Preparation of Green Sheet) Alumina powder as the main component, the overall composition was 33% Al 2 O 3 ,
100 parts by weight of a ceramic powder having a particle size of 5 μm or less containing 33% of O 2 and 34% of borosilicate glass, 16 parts of the latex (solid content), 50 parts by weight of water, and a dispersing aid for ammonium polyacrylate 0 After mixing 3 parts with a ball mill for 2 hours, the composite binder was
Except that it was added and mixed uniformly with the powder. An experiment was performed in the same manner as in Comparative Example 1 to produce a green sheet, and various characteristics are shown in Table 4.

【0090】但し、表1,2,3,4,5中の略称は以
下の通りとする。
However, the abbreviations in Tables 1, 2, 3, 4, and 5 are as follows.

【0091】nーBMA:nーブチルメタクリレート,
iーBMA:イソブチルメタクリレート、tーBMA:
タ−シャリ−ブチルメタクリレート、HEMA:2ーヒ
ドロキシエチルメタクリレート、St:スチレン,EM
A:エチルメタクリレート、LMA:ラウリルメタクリ
レ−ト、CHMA:シクロヘキシルメタクリレ−ト、M
MA:メチルメタクリレート、PEO:ポリエチレンオ
キサイド、PVA:ポリビニルアルコ−ル、EL:乳酸
メチル,IPA:イソプロピルアルコール、BPO:ベ
ンゾイルパ−オキサイド、AIBN:2,2’−アゾビ
ス(イソブチロニトリル)、APS:過硫酸アンモニウ
ム、KPS:過硫酸カリウム、tーBHPO:ターシャ
リーブチルハイドロパーオキシド。
N-BMA: n-butyl methacrylate,
i-BMA: isobutyl methacrylate, t-BMA:
Tert-butyl methacrylate, HEMA: 2-hydroxyethyl methacrylate, St: styrene, EM
A: Ethyl methacrylate, LMA: Lauryl methacrylate, CHMA: Cyclohexyl methacrylate, M
MA: methyl methacrylate, PEO: polyethylene oxide, PVA: polyvinyl alcohol, EL: methyl lactate, IPA: isopropyl alcohol, BPO: benzoyl peroxide, AIBN: 2,2′-azobis (isobutyronitrile), APS: Ammonium persulfate, KPS: potassium persulfate, t-BHPO: tert-butyl hydroperoxide.

【0092】次いで実施例1、6、11、16、20、
22、24、26、30、32及び比較例1〜5で得ら
れた有機バインダーを白金ルツボ中に入れ、600℃の
電気炉中で窒素雰囲気下3時間で灰化させ、その重量を
測定した。また、実施例1,6,11で得られたグリー
ンシート5枚を120℃、100kgf/cm2にて熱プレ
ス圧着を行った。この時の剥離数を目視により観察し
た。さらに、窒素ー水素ー水蒸気(圧力比;0.6気
圧:0.2気圧:0.2気圧)雰囲気で1600℃、2
時間焼成してセラミックシートを得た。実施例16、2
0、22、24、26、30、32及び比較例1〜5で
得られたグリーンシート5枚を120℃、100kgf/
cm2にて熱プレス圧着を行った。この時の剥離数を目視
により観察した。さらに、この積層体を窒素ー水素ー水
蒸気(圧力比;0.65気圧:1×10~4気圧:0.3
5気圧)雰囲気で350から850℃、20時間脱バイ
ンダ後、窒素雰囲気で950〜1040℃、2時間本焼
成した。これらのシートの密度を測定し、表面状態を目
視により観察した。その結果を表5に示す。
Next, Examples 1, 6, 11, 16, 20,
The organic binders obtained in 22, 24, 26, 30, 32 and Comparative Examples 1 to 5 were put into a platinum crucible, ashed in an electric furnace at 600 ° C. under a nitrogen atmosphere for 3 hours, and the weight was measured. . Five green sheets obtained in Examples 1, 6, and 11 were subjected to hot press compression at 120 ° C. and 100 kgf / cm 2 . The number of peelings at this time was visually observed. Further, in an atmosphere of nitrogen-hydrogen-steam (pressure ratio: 0.6 atm: 0.2 atm: 0.2 atm), the temperature is set to 1600 ° C,
After firing for a time, a ceramic sheet was obtained. Example 16 and 2
0, 22, 24, 26, 30, 32 and 5 green sheets obtained in Comparative Examples 1 to 5 at 120 ° C. and 100 kgf /
Hot press bonding was performed at cm 2 . The number of peelings at this time was visually observed. Further, this laminated body was subjected to nitrogen-hydrogen-water vapor (pressure ratio: 0.65 atm: 1 × 10 to 4 atm: 0.3
After removing the binder at 350 to 850 ° C. for 20 hours in an atmosphere (5 atm), main firing was performed at 950 to 1040 ° C. for 2 hours in a nitrogen atmosphere. The density of these sheets was measured, and the surface condition was visually observed. Table 5 shows the results.

【0093】[0093]

【表5】 [Table 5]

【0094】[0094]

【発明の効果】本発明により得られるセラミック成形用
有機バインダーは、非水溶性有機溶剤を全く又は使用す
ることなく、セラミックの分散性、表面の平滑性、密
度、機械的強度において優れたセラミックグリーンシー
トを生成することができ、低公害、省資源の観点から、
有利である。特にドクターブレード法において、有機溶
媒系から安全で衛生的な水系への移行が可能であり、又
機械的強度の改良等優れた特性を可ね備えたものであっ
て、セラミック用バインダーとして有用である。
The organic binder for ceramic molding obtained according to the present invention is a ceramic green excellent in ceramic dispersibility, surface smoothness, density and mechanical strength without using or using a water-insoluble organic solvent at all. Sheets can be generated, from the viewpoint of low pollution and resource saving,
It is advantageous. Particularly in the doctor blade method, it is possible to shift from an organic solvent system to a safe and sanitary water system, and it also has excellent properties such as improved mechanical strength, and is useful as a binder for ceramics. is there.

フロントページの続き (72)発明者 木下 円 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 藤田 毅 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 千石 則夫 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 小林 二三幸 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社 日立製作所汎用コンピュータ事業部内 審査官 深草 祐一 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/632 C08L 71/02 C09J 171/02 Continuing on the front page (72) Inventor Kinoshita Enji, Hitachi, Ltd. Production Technology Laboratory, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture (72) Inventor Takeshi Fujita 1-Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Prefecture Hitachi, Ltd. Within the Computer Division (72) Inventor Norio Chiishi 1st Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Prefecture Within the General-purpose Computer Division of Hitachi, Ltd. (72) Inventor Fumiko Kobayashi 1st Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Hitachi, Ltd. General-purpose computer business In-house Examiner Yuichi Fukakusa (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) C04B 35/632 C08L 71/02 C09J 171/02

Claims (16)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】(A)エチレンオキサイド含有率が70重
量%以上のアルキレンオキサイドを付加重合せしめた平
均分子量が30000以上の水溶性高分子量化合物1〜
30重量部成分を重合用分散安定剤として用い、(C)
水または水及び水溶性有機溶媒中で(B)少なくとも一
種類以上のビニル系単量体100重量部を分散重合させ
てなる重合体とからなることを特徴とするセラミック成
形用有機バインダー。
1. A water-soluble high molecular weight compound (A) having an average molecular weight of 30,000 or more obtained by addition polymerization of (A) an alkylene oxide having an ethylene oxide content of 70% by weight or more.
Using 30 parts by weight of a component as a dispersion stabilizer for polymerization, (C)
An organic binder for ceramic molding, comprising: (B) a polymer obtained by dispersion-polymerizing 100 parts by weight of at least one kind of vinyl monomer in water or water and a water-soluble organic solvent.
【請求項2】(A)活性水素基2個を有する有機化合物
に、エチレンオキサイド含有率が70重量%以上のアル
キレンオキサイドを付加重合せしめた平均分子量が30
000以上の水溶性高分子量化合物10〜30重量部成
分を重合用分散安定剤として用い、(C)水または水及
び水溶性有機溶媒中で(B)少なくとも一種類以上のビ
ニル系単量体100重量部を分散重合させてなる重合体
とからなることを特徴とするセラミック成形用有機バイ
ンダー。
2. An (A) organic compound having two active hydrogen groups is subjected to addition polymerization of an alkylene oxide having an ethylene oxide content of 70% by weight or more to have an average molecular weight of 30.
(C) in water or water and a water-soluble organic solvent, and (B) at least one or more vinyl-based monomers. An organic binder for ceramic molding, comprising a polymer obtained by dispersing and polymerizing parts by weight.
【請求項3】(A)活性水素基2個を有する有機化合物
に、エチレンオキサイド含有率が70重量%以上のアル
キレンオキサイドを付加重合せしめた平均分子量が10
00以上のポリヒドロキシル化合物と、多価カルボン酸
またはその低級アルキルエステルとの反応物であって、
エチレンオキサイド含有率が68重量%以上を含有し、
かつ重合度が4.5〜21、平均分子量が30000以
上の水溶性高分子量化合物1〜30重量部成分を重合用
分散安定剤として用い、(C)水または水及び水溶性有
機溶媒中で(B)少なくとも一種類以上のビニル系単量
体100重量部を分散重合させてなる重合体とからなる
ことを特徴とするセラミック成形用有機バインダー。
3. An average molecular weight obtained by subjecting (A) an organic compound having two active hydrogen groups to addition polymerization of an alkylene oxide having an ethylene oxide content of 70% by weight or more to be 10 or more.
A reaction product of at least 00 polyhydroxyl compound and a polyvalent carboxylic acid or a lower alkyl ester thereof,
An ethylene oxide content of 68% by weight or more;
And 1 to 30 parts by weight of a water-soluble high-molecular weight compound having a degree of polymerization of 4.5 to 21 and an average molecular weight of 30,000 or more is used as a dispersion stabilizer for polymerization. B) An organic binder for ceramic molding, comprising: a polymer obtained by dispersion-polymerizing 100 parts by weight of at least one kind of vinyl monomer.
【請求項4】 前記(A)成分であるエチレンオキサイド
含有率が70〜98重量%であることを特徴とする請求
項1記載のセラミック成形用有機バインダー。
Wherein said (A) according to claim 1, wherein the ceramic molding an organic binder, characterized in that component a is an ethylene oxide content of from 70 to 98 wt%.
【請求項5】 前記(B)成分であるビニル系単量体が
(メタ)アクリル酸エステルであることを特徴とする請
求項1記載のセラミック成形用有機バインダー。
Wherein said component (B) is a vinyl monomer (meth) according to claim 1, wherein the ceramic molding an organic binder, wherein the acrylic acid ester.
【請求項6】 前記(B)成分である(メタ)アクリル酸
エステルが、炭素数が1〜18個のアルキル基または/
及び炭素数が3〜12個の環状アルキル基または/及び
アリール基のエステルであることを特徴とする請求項5
記載のセラミック成形用有機バインダー。
Wherein said (B) is a component (meth) acrylic acid ester, a carbon number 1 to 18 alkyl groups or /
And an ester of a cyclic alkyl group and / or an aryl group having 3 to 12 carbon atoms.
The organic binder for ceramic molding according to the above.
【請求項7】 前記(B)成分である(メタ)アクリル酸
エステルが、炭素数が1〜18個のアルキル基または/
及び炭素数が3〜12個の環状アルキル基または/及び
アリール基及びヒドロキシアルキル基のエステル50%
以上と、それと共重合可能なビニル系単量体50%以下
とからなることを特徴とする請求項1記載のセラミック
成形用有機バインダー。
7. The (meth) acrylic ester as the component (B) is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or / and
And 50% of an ester of a cyclic alkyl group having 3 to 12 carbon atoms and / or an aryl group and a hydroxyalkyl group
2. The organic binder for ceramic molding according to claim 1, comprising the above and 50% or less of a vinyl monomer copolymerizable therewith.
【請求項8】 少なくとも一種類以上のビニル系単量体、
水溶性高分子量化合物である分散安定剤、重合開始剤及
び水または水及び水溶性有機溶剤の存在下で分散重合さ
せる際において、(A)成分であるエチレンオキサイド
含有率が70重量%以上のアルキレンオキサイドを付加
重合せしめた平均分子量が30000以上の水溶性高分
子量化合物1〜30重量部を重合用分散安定剤として用
い、(C)水または水及び水溶性有機溶媒中で(B)少な
くとも一種類以上のビニル系単量体100重量部を分散
重合させてなる重合体とからなることを特徴とするセラ
ミック成形用有機バインダーの製法。
8. At least one kind of vinyl monomer,
When the dispersion polymerization is carried out in the presence of a dispersion stabilizer, a polymerization initiator and water or water and a water-soluble organic solvent, which are water-soluble high molecular weight compounds, an alkylene having an ethylene oxide content of component (A) of 70% by weight or more. Using 1 to 30 parts by weight of a water-soluble high molecular weight compound having an average molecular weight of 30,000 or more obtained by addition polymerization of an oxide as a polymerization stabilizer, and (C) at least one of (B) in water or water and a water-soluble organic solvent. A method for producing an organic binder for ceramic molding, comprising a polymer obtained by dispersing and polymerizing 100 parts by weight of the vinyl monomer.
【請求項9】 少なくとも一種類以上のビニル系単量体、
水溶性高分子量化合物である分散安定剤、重合開始剤及
び水または水及び水溶性有機溶剤の存在下で分散重合さ
せる際において、(A)活性水素基2個を有する有機化
合物に、エチレンオキサイド含有率が70重量%以上の
アルキレンオキサイドを付加重合せしめた平均分子量が
30000以上の水溶性高分子量化合物1〜30重量部
成分を重合用分散安定剤として用い、(C)水または水
及び水溶性有機溶媒中で(B)少なくとも一種類以上の
ビニル系単量体100重量部を分散重合させてなる重合
体とからなることを特徴とするセラミック成形用有機バ
インダーの製法。
9. at least one or more vinyl monomers,
When dispersion polymerization is carried out in the presence of a water-soluble high molecular weight compound, a dispersion stabilizer, a polymerization initiator and water or water and a water-soluble organic solvent, (A) an organic compound having two active hydrogen groups contains ethylene oxide. (C) water or water and a water-soluble organic compound; 1-30 parts by weight of a water-soluble high-molecular-weight compound having an average molecular weight of 30,000 or more obtained by addition polymerization of an alkylene oxide having a rate of 70% by weight or more; And (B) a polymer obtained by dispersion-polymerizing 100 parts by weight of at least one vinyl monomer in a solvent.
【請求項10】 少なくとも一種類以上のビニル系単量
体、水溶性高分子量化合物である分散安定剤、重合開始
剤及び水または水及び水溶性有機溶剤の存在下で分散重
合させる際において、(A)活性水素基2個を有する有
機化合物に、エチレンオキサイド含有率が70重量%以
上のアルキレンオキサイドを付加重合せしめた平均分子
量が1000以上のポリヒドロキシル化合物と、多価カ
ルボん酸またはその低級アルキルエステルとの反応物で
あって、エチレンオキサイド含有率が68重量%以上を
含有し、かつ重合度が4.5〜21、平均分子量が30
000以上の水溶性高分子量化合物1〜30重量部成分
を重合用分散安定剤として用い、(C)水または水及び
水溶性有機溶媒中で(B)少なくとも一種類以上のビニ
ル系単量体100重量部を分散重合させてなる重合体と
からなることを特徴とするセラミック成形用有機バイン
ダーの製法。
(10) When the dispersion polymerization is carried out in the presence of at least one kind of a vinyl monomer, a water-soluble high molecular weight compound, a dispersion stabilizer, a polymerization initiator and water or water and a water-soluble organic solvent, A) An organic compound having two active hydrogen groups, an addition compound of an alkylene oxide having an ethylene oxide content of 70% by weight or more is addition-polymerized, and a polyhydroxyl compound having an average molecular weight of 1000 or more, a polyvalent carboxylic acid or a lower alkyl thereof. A reaction product with an ester, which has an ethylene oxide content of 68% by weight or more, a degree of polymerization of 4.5 to 21, and an average molecular weight of 30.
(C) in water or water and a water-soluble organic solvent, and (B) at least one or more vinyl-based monomers. A method for producing an organic binder for ceramic molding, comprising: a polymer obtained by dispersing and polymerizing parts by weight.
【請求項11】 (D)セラミック粉末100重量部と、
(E)バインダーとして請求項1乃至3の何れかに記載
のセラミック成形用有機バインダー5〜30重量部とか
らなることを特徴とするセラミック前駆体組成物。
11. A (D) 100 parts by weight of ceramic powder,
(E) A ceramic precursor composition comprising 5 to 30 parts by weight of the organic binder for ceramic molding according to any one of claims 1 to 3 as a binder.
【請求項12】 (D)セラミック粉末100重量部と、
(E)バインダーとして請求項1乃至3の何れかに記載
のセラミック成形用有機バインダー5〜30重量部とか
らなるセラミック前駆体組成物を焼結してなることを特
徴とするセラミック。
12. (D) 100 parts by weight of ceramic powder;
(E) A ceramic obtained by sintering a ceramic precursor composition comprising 5 to 30 parts by weight of the organic binder for ceramic molding according to any one of claims 1 to 3 as a binder.
【請求項13】 (D)成分である、平均粒径が20.0
μm以下であるセラミック粉末100重量部と、(E)
成分であるバインダーとして請求項1乃至3の何れかに
記載のセラミック成形用有機バインダー5〜30重量部
とからなるセラミック前駆体組成物の薄膜からなること
を特徴とするセラミックグリーンシート。
13. The component (D) having an average particle size of 20.0%.
(E) 100 parts by weight of ceramic powder of
A ceramic green sheet comprising a thin film of a ceramic precursor composition comprising 5 to 30 parts by weight of the organic binder for ceramic molding according to any one of claims 1 to 3 as a binder as a component.
【請求項14】 (D)成分である、平均粒径が20.0
μm以下であるセラミック粉末100重量部と、(E)
成分であるバインダーとして請求項1乃至3の何れかに
記載のセラミック成形用有機バインダー5〜30重量部
とからなるセラミックグリーンシートを焼結してなるセ
ラミックシート。
14. The component (D) having an average particle size of 20.0%.
(E) 100 parts by weight of ceramic powder of
A ceramic sheet obtained by sintering a ceramic green sheet comprising 5 to 30 parts by weight of the organic binder for ceramic molding according to any one of claims 1 to 3 as a binder as a component.
【請求項15】 セラミックグリーンシート層が、(D)
成分である、平均粒径が20.0μm以下であるセラミ
ック粉末100重量部と、(E)成分であるバインダー
として請求項1乃至3の何れかに記載のセラミック成形
用有機バインダー5〜30重量部とからなるセラミック
前駆体組成物で構成され、複数の導体層が上記セラミッ
クシート層を介しての積層体とし、これを焼結してなる
ことを特徴とする多層配線セラミック基板。
15. The method according to claim 15, wherein the ceramic green sheet layer comprises (D)
4. A ceramic powder having an average particle diameter of 20.0 [mu] m or less as a component, 100 parts by weight, and an organic binder for ceramic molding according to any one of claims 1 to 3 as a binder as the component (E). A multilayer wiring ceramic substrate comprising a ceramic precursor composition comprising: a plurality of conductor layers formed into a laminate with the ceramic sheet layer interposed therebetween; and sintering the laminate.
【請求項16】 請求項12,14または15の何れかに
記載の(D)成分と(E)成分とからなるセラミック前
駆体組成物で構成され、セラミックグリーンシート層を
積層体とし、これを焼結して得られる少なくともセラミ
ック、セラミックシートまたは多層配線セラミック基板
の何れかが、誘電率7以下、かつ抗折強度1500kg
/cm2以上の特性を有することを特徴とする多層配線
セラミック基板。
16. A ceramic green sheet layer comprising a ceramic precursor composition comprising the component (D) and the component (E) according to claim 12, wherein the ceramic green sheet layer is a laminate. At least one of the ceramic, ceramic sheet or multilayer wiring ceramic substrate obtained by sintering has a dielectric constant of 7 or less and a flexural strength of 1500 kg.
A multilayer wiring ceramic substrate having characteristics of at least / cm2.
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