JP3343326B2 - Master information carrier - Google Patents
Master information carrierInfo
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- JP3343326B2 JP3343326B2 JP07570397A JP7570397A JP3343326B2 JP 3343326 B2 JP3343326 B2 JP 3343326B2 JP 07570397 A JP07570397 A JP 07570397A JP 7570397 A JP7570397 A JP 7570397A JP 3343326 B2 JP3343326 B2 JP 3343326B2
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大容量、高記録密
度の磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒体へ所定
の情報信号を予め記録するために用いられるマスター情
報担体に関する。The present invention relates to the large-capacity, about the master information responsible body used for pre-recording predetermined information signals on a magnetic recording medium used in a magnetic recording and reproducing apparatus having a high recording density.
【0002】[0002]
【従来の技術】小型かつ大容量の磁気記録再生装置を実
現するために、記録密度を高めることが益々求められて
いる。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスク
ドライブにあっては、面記録密度が1Gbit/in2
(1.55Mbit/mm2)を超える装置がすでに商
品化されており、数年後には面記録密度10Gbit/
in2(15.5Mbit/mm2)の装置の実用化が予
測されるほど、急激な技術進歩が認められる。2. Description of the Related Art In order to realize a small and large-capacity magnetic recording / reproducing apparatus, it is increasingly required to increase the recording density. In a hard disk drive, which is a typical magnetic recording / reproducing apparatus, the areal recording density is 1 Gbit / in 2.
(1.55 Mbit / mm 2 ) has already been commercialized, and several years later, the areal recording density is 10 Gbit / mm 2.
As the practical application of an in 2 (15.5 Mbit / mm 2 ) device is expected, rapid technical progress is recognized.
【0003】このような高記録密度化を可能とした技術
的背景として、媒体性能、ヘッド・ディスクインターフ
ェース性能の向上、パーシャルレスポンス等の新規な信
号処理方式の出現があり、これらによる線記録密度の向
上が高記録密度化に大きく寄与してきた。しかしながら
近年では、トラック密度の増加傾向が線記録密度の増加
傾向を大きく上回っている。これには、従来の誘導型磁
気ヘッドに比べて再生出力性能がはるかに優れている磁
気抵抗素子型ヘッドの実用化が寄与している。現在、磁
気抵抗素子型ヘッドを用いることにより、わずか数μm
のトラック幅で記録された信号を良好なSN比で再生す
ることができる。ヘッド性能のさらなる向上に伴い、近
い将来にはトラックピッチがサブミクロン領域に達する
ものと予想されている。[0003] As a technical background enabling such a high recording density, there has been an emergence of a new signal processing method such as an improvement in medium performance, a head-disk interface performance, and a partial response. The improvement has greatly contributed to higher recording density. However, in recent years, the trend of increase in track density has greatly exceeded the trend of increase in linear recording density. This is due to the practical use of a magnetoresistive element type head, which has much better reproduction output performance than a conventional induction type magnetic head. At present, a few μm
A signal recorded with a track width of can be reproduced with a good SN ratio. With a further improvement in head performance, it is expected that the track pitch will reach the submicron range in the near future.
【0004】このような狭トラックをヘッドが正確に走
査し、良好なSN比で信号を再生するためには、ヘッド
のトラッキングサーボ技術が重要な役割を担う。このよ
うなトラッキングサーボ技術に関しては、例えば、日本
応用磁気学会誌、Vol. 20, No. 3, p. 771 (1996)、山
口、「磁気ディスク装置の高精度サーボ技術」に詳細な
内容が開示されている。この文献によれば、現在のハー
ドディスクドライブでは、ディスクの1周、すなわち36
0度の角度において、一定の角度間隔でトラッキング用
サーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が
記録された領域を設けている。このような情報信号を予
め記録することを、プリフォーマット記録という。磁気
ヘッドは、一定間隔でこれらの信号を再生することによ
り、ヘッドの位置を確認し、必要に応じて修正しながら
正確にトラック上を走査することができる。In order for the head to accurately scan such a narrow track and reproduce a signal with a good SN ratio, the tracking servo technique of the head plays an important role. Detailed information on such tracking servo technology is disclosed in, for example, Journal of the Japan Society of Applied Magnetics, Vol. 20, No. 3, p. 771 (1996), Yamaguchi, "High-precision Servo Technology for Magnetic Disk Drives". Have been. According to this document, in the current hard disk drive, one round of the disk, that is, 36
At an angle of 0 degree, an area is provided in which a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like are recorded at a constant angle interval. Recording such an information signal in advance is called preformat recording. By reproducing these signals at regular intervals, the magnetic head can check the position of the head, and can accurately scan the track while making corrections as necessary.
【0005】上述のトラッキング用サーボ信号、アドレ
ス情報信号、再生クロック信号等はヘッドが正確にトラ
ック上を走査するための基準信号であるので、その記録
に際して、ヘッド位置決め精度が高いことが要求され
る。例えば、日本応用磁気学会第93回研究会資料、93
-5, p. 35 (1996)、植松他、「メカ・サーボ、HDI技
術の現状と展望」に記載された内容によれば、現在のハ
ードディスクドライブでは、ディスクをドライブに組み
込んだ後、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッドを
厳密に位置制御しながらプリフォーマット記録を行って
いる。Since the above-mentioned tracking servo signal, address information signal, reproduction clock signal, and the like are reference signals for the head to accurately scan the track, it is required to have high head positioning accuracy in recording. . For example, the 93rd meeting of the Japan Society of Applied Magnetics, 93
-5, p. 35 (1996), Uematsu et al., "Mechanical Servo, HDI Technology Current Status and Prospects," According to the current hard disk drive, after the disk is built into the drive, Preformat recording is performed while strictly controlling the position of the magnetic head using a servo recording device.
【0006】このようなサーボ信号、アドレス情報信
号、再生クロック信号等のプリフォーマット記録は、近
年商品化された大容量フレキシブルディスクまたはディ
スクカートリッジが着脱可能なリムーバブルハードディ
スク用媒体についても同様に、専用のサーボ記録装置を
用いて行われている。[0006] Such preformat recording of servo signals, address information signals, reproduced clock signals, and the like is also performed by a specially designed medium for a removable hard disk to which a large-capacity flexible disk or disk cartridge which has recently been commercialized can be detached. This is performed using a servo recording device.
【0007】このような専用のサーボ記録装置を用いた
磁気ヘッドによるプリフォーマット記録には、以下のよ
うな課題があった。第1に、磁気ヘッドによる記録は基
本的にヘッドと媒体との相対移動による線記録であるた
め、専用のサーボ記録装置を用いて磁気ヘッドを厳密に
位置制御しながら記録を行う上記の方法では、プリフォ
ーマット記録に多くの時間を要する。さらに、専用のサ
ーボ記録装置がかなり高価である。従って、プリフォー
マット記録に要するコストが高くなる。[0007] Preformat recording by a magnetic head using such a dedicated servo recording device has the following problems. First, since recording by a magnetic head is basically linear recording by relative movement between the head and the medium, the above method of performing recording while strictly controlling the position of the magnetic head using a dedicated servo recording device is not used. In addition, a lot of time is required for preformat recording. Furthermore, dedicated servo recording devices are quite expensive. Therefore, the cost required for preformat recording increases.
【0008】この課題は、磁気記録装置のトラック密度
が向上するほど深刻になる。ディスク径方向のトラック
数が増加することに加えて、以下の理由によってもプリ
フォーマット記録に要する時間が長くなる。つまり、ト
ラック密度が向上するほどヘッドの位置決めに高精度が
要求されるため、ディスクの1周においてトラッキング
用サーボ信号等の情報信号を記録するサーボ領域を設け
る角度間隔を小さくしなければならない。このため高記
録密度の装置ほどディスクにプリフォーマット記録すべ
き信号量が多くなり、多くの時間を要することになる。This problem becomes more serious as the track density of the magnetic recording device increases. In addition to the increase in the number of tracks in the disk radial direction, the time required for preformat recording is prolonged for the following reasons. That is, the higher the track density, the higher the accuracy of the head positioning is required. Therefore, it is necessary to reduce the angular interval for providing a servo area for recording information signals such as a servo signal for tracking in one round of the disk. Therefore, the higher the recording density of the device, the larger the amount of signals to be preformat-recorded on the disc, and the more time is required.
【0009】また、磁気ディスク媒体は小径化の傾向に
あるものの、依然として3.5インチや5インチの大径
ディスクに対する需要も多い。ディスクの記録面積が大
きいほどプリフォーマット記録すべき信号量が多くな
る。このような大径ディスクのコストパフォーマンスに
関しても、プリフォーマット記録に要する時間が大きく
影響している。Although the magnetic disk medium tends to be smaller in diameter, there is still a great demand for a 3.5-inch or 5-inch large-diameter disk. The larger the recording area of the disc, the larger the signal amount to be preformat-recorded. The time required for preformat recording also greatly affects the cost performance of such a large-diameter disk.
【0010】従来のプリフォーマット記録における第2
の課題は、ヘッド・媒体間のスペーシング、および、記
録ヘッドの先端ポール形状に起因して記録磁界が広がる
ため、プリフォーマット記録されたトラック端部の磁化
遷移が急峻性に欠けるという点である。The second in conventional preformat recording
The problem is that the magnetic field spreads due to the spacing between the head and the medium and the shape of the pole at the tip of the recording head, so that the magnetization transition at the end of the preformat-recorded track lacks sharpness. .
【0011】磁気ヘッドによる記録は、基本的にヘッド
と媒体との相対移動による動的線記録であるため、ヘッ
ド・媒体間のインターフェース性能の観点から、一定量
のヘッド・媒体間スペーシングを設けざるを得ない。ま
た、現在の磁気ヘッドは通常、記録と再生を別々に担う
2つのエレメントを有する構造上、記録ギャップの前縁
側ポール幅が記録トラック幅に相当し、後縁側ポール幅
は記録トラック幅の数倍以上に大きくなっている。Since the recording by the magnetic head is basically a dynamic linear recording by the relative movement between the head and the medium, a certain amount of head-medium spacing is provided from the viewpoint of the interface performance between the head and the medium. I have no choice. Further, the current magnetic head usually has a structure having two elements that separately perform recording and reproduction, so that the leading edge side pole width of the recording gap is equivalent to the recording track width, and the trailing edge side pole width is several times the recording track width. It is larger than above.
【0012】上記の2点は、いずれも、記録トラック端
部における記録磁界の広がりを生じる要因となり、結果
的にプリフォーマット記録されたトラック端部の磁化遷
移が急峻性に欠ける、あるいはトラック端両側に消去領
域を生じるという結果を生ずる。現在のトラッキングサ
ーボ技術では、ヘッドがトラックを外れて走査した際の
再生出力の変化量に基づいてヘッドの位置検出を行って
いる。従って、サーボ領域間に記録されたデータ信号を
再生する際のようにヘッドがトラック上を正確に走査し
たときのSN比に優れることだけではなく、ヘッドがト
ラックを外れて走査したときの再生出力変化量、すなわ
ちオフトラック特性が急峻であることが要求される。従
って、上述のようにプリフォーマット記録されたトラッ
ク端部の磁化遷移が急峻性に欠けると、今後のサブミク
ロントラック記録における正確なトラッキングサーボ技
術の実現が困難になる。Both of the above two points cause a spread of the recording magnetic field at the end of the recording track, and as a result, the magnetization transition at the end of the track on which the preformat recording is performed lacks sharpness, or both sides of the track end. This results in the generation of an erased area in In the current tracking servo technology, the position of the head is detected based on the amount of change in the reproduction output when the head scans off the track. Therefore, not only is the S / N ratio excellent when the head scans the track accurately as in reproducing the data signal recorded between the servo areas, but also the reproduction output when the head scans off the track. It is required that the amount of change, that is, the off-track characteristic is steep. Accordingly, if the magnetization transition at the end of the track on which the preformat recording is performed lacks sharpness as described above, it is difficult to realize an accurate tracking servo technique in future submicron track recording.
【0013】上記のような磁気ヘッドによるプリフォー
マット記録における2つの課題を解決する手段に関して
は、既に様々な技術が提案されている。例えば特開昭6
3−183623号公報には、第1の課題に対する解決
策として、磁気転写技術を用いたトラッキングサーボ信
号等の複写技術が開示されている。この磁気転写技術を
用いれば、プリフォーマット記録の際の生産性が改善さ
れることは事実である。しかしながら、この磁気転写技
術は、フレキシブルディスクのように保磁力が比較的低
く、面記録密度が小さい磁気ディスク媒体には有効であ
るが、今日のハードディスク媒体のように数百メガビッ
トからギガビットオーダーの面記録密度を担う分解能を
備えた高保磁力媒体に対して使用することは不可能であ
る。Various techniques have already been proposed for solving the two problems in the preformat recording by the magnetic head as described above. For example, JP
Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-183623 discloses a copying technique such as a tracking servo signal using a magnetic transfer technique as a solution to the first problem. It is a fact that the productivity at the time of preformat recording is improved by using this magnetic transfer technique. However, this magnetic transfer technology is effective for magnetic disk media having a relatively low coercive force and a low areal recording density, such as a flexible disk, but has a surface area on the order of several hundred megabits to a gigabit, such as today's hard disk media. It cannot be used for a high coercive force medium having a resolution that bears the recording density.
【0014】磁気転写技術においては、転写効率を確保
するために、被転写ディスク保磁力の1.5倍程度の振
幅の交流バイアス磁界を印加する必要がある。マスター
ディスクに記録されたマスター情報は磁化パターンであ
るので、この交流バイアス磁界によってマスター情報が
消磁されないようにするためには、マスターディスクの
保磁力は被転写ディスクの保磁力の3倍程度以上である
ことが要求される。現在の高密度ハードディスク媒体の
保磁力は高面記録密度を担うために1500〜2500
エルステッドもある。さらに将来の10ギガビットオー
ダーの面記録密度を担うためには、この値は3000〜
4000エルステッドにも達することが予想される。つ
まりマスターディスクには、現状において4500〜7
500エルステッド、将来的には9000〜12000
エルステッドの保磁力が要求されることになる。In the magnetic transfer technique, it is necessary to apply an AC bias magnetic field having an amplitude of about 1.5 times the coercive force of the transferred disk in order to secure transfer efficiency. Since the master information recorded on the master disk is a magnetization pattern, in order to prevent the master information from being demagnetized by the AC bias magnetic field, the coercive force of the master disk should be at least about three times the coercive force of the transferred disk. It is required that there be. The coercive force of the current high-density hard disk medium is 1500 to 2500 to support a high areal recording density.
There is also Oersted. In order to support a surface recording density of 10 gigabit order in the future, this value should be 3000 to
It is expected to reach 4000 Oersteds. In other words, the master disk currently has 4500-7
500 Oersted, 9000 to 12000 in the future
Oersted coercivity will be required.
【0015】マスターディスクにおいてこのような保磁
力を実現することは、磁性材料の選択の面から困難であ
る。さらに、現在の磁気記録技術では、このような高保
磁力を有するマスターディスクにマスター情報を記録す
ることができない。従って、磁気転写技術においては、
マスターディスクにおいて実現可能な保磁力値を考慮す
ると、必然的に被転写ディスクの保磁力に制約を受ける
ことになる。It is difficult to realize such a coercive force in the master disk from the viewpoint of selecting a magnetic material. Furthermore, with the current magnetic recording technology, master information cannot be recorded on a master disk having such a high coercive force. Therefore, in magnetic transfer technology,
Considering the coercive force value that can be realized in the master disk, the coercive force of the disk to be transferred is necessarily limited.
【0016】また、例えば特開平7−153060号公
報には、トラッキング用サーボ信号、アドレス情報信
号、再生クロック信号等に対応する凹凸形状を有するデ
ィスク媒体用基板をスタンパにより形成し、この基板上
に磁性層を形成するプリエンボストディスク技術が開示
されている。この技術は、前述の2つの課題の両方に対
して有効な解決策となる。しかしながら、ディスク表面
の凹凸形状が記録再生時のヘッドの浮上特性(あるいは
接触記録の場合には媒体とのコンタクト状態)に影響を
及ぼし、その結果、ヘッド・媒体インターフェース性能
に問題を生じることが予想される。また、スタンパで製
造される基板は基本的にプラスチック基板であるため、
媒体性能の確保のために必要な磁性層成膜時の基板加熱
ができず、必要な媒体SN比が確保されないという問題
もある。[0016] For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-153060, a disk medium substrate having irregularities corresponding to a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal and the like is formed by a stamper, and the substrate is formed on the substrate. A pre-embossed disk technology for forming a magnetic layer has been disclosed. This technique is an effective solution to both of the above two problems. However, it is expected that the uneven shape of the disk surface will affect the flying characteristics of the head during recording / reproduction (or the contact state with the medium in the case of contact recording), and as a result, a problem will occur in the head-medium interface performance. Is done. Also, since the substrate manufactured by the stamper is basically a plastic substrate,
There is also a problem that the substrate cannot be heated at the time of forming the magnetic layer necessary for securing the medium performance, and the required medium S / N ratio cannot be secured.
【0017】このように、プリフォーマット記録に関す
る前述の課題に対して、特開昭63−183623号公
報または特開平7−153060号公報に記載された技
術は、媒体SN比、インターフェース性能等の他の重要
な性能を犠牲にすることとなり、真に有効な解決策とは
ならない。As described above, the technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-183623 or Japanese Patent Application Laid-Open No. 153060/1993 solves the above-mentioned problems related to preformat recording. Sacrifice important performance and is not a truly effective solution.
【0018】別のプリフォーマット記録技術が特願平8
−191889号の明細書に記載されている。この記録
技術では、基体の表面に情報信号に対応する凹凸形状が
形成され、この凹凸形状の少なくとも凸部の表面が強磁
性材料で形成されているマスター情報担体の表面を、磁
気記録媒体の表面に接触させることにより、マスター情
報担体表面の凹凸形状に対応する磁化パターンを磁気記
録媒体に記録する。Another preformat recording technique is disclosed in Japanese Patent Application No. Hei.
-191889. In this recording technique, an uneven shape corresponding to an information signal is formed on a surface of a base, and a surface of a master information carrier in which at least a surface of a convex portion of the uneven shape is formed of a ferromagnetic material is formed on a surface of a magnetic recording medium. , A magnetization pattern corresponding to the uneven shape of the master information carrier surface is recorded on the magnetic recording medium.
【0019】マスター情報担体の凸部表面を形成する強
磁性材料として好ましくは、高飽和磁束密度を有する軟
質磁性膜、あるいは基体面内保磁力が40kA/m以下
の硬質もしくは半硬質磁性膜を用いる。さらに好ましく
は、マスター情報担体表面を磁気記録媒体表面に接触さ
せる際に、マスター情報担体の凸部表面を形成する強磁
性材料を励磁するための直流磁界、あるいは磁化パター
ンの記録を助成するための交流バイアス磁界を印加す
る。これにより、特開昭63−183623号公報また
は特開平7−153060号公報に記載された技術に関
して先に述べた課題をも解決することができる。As the ferromagnetic material forming the convex surface of the master information carrier, a soft magnetic film having a high saturation magnetic flux density or a hard or semi-hard magnetic film having a coercivity of 40 kA / m or less is preferably used. . More preferably, when the surface of the master information carrier is brought into contact with the surface of the magnetic recording medium, a DC magnetic field for exciting the ferromagnetic material forming the convex surface of the master information carrier, or for assisting the recording of a magnetization pattern. An AC bias magnetic field is applied. As a result, the problems described above with respect to the technology described in JP-A-63-183623 or JP-A-7-153060 can also be solved.
【0020】上記の特願平8−191889号の明細書
に記載されている記録技術は、従来の専用のサーボ記録
装置を用いた磁気ヘッドによるプリフォーマット記録に
おける課題、あるいは特開昭63−183623号公報
または特開平7−153060号公報に開示された技術
の課題に関して、以下のような特徴を有している。The recording technique described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889 is a problem in preformat recording by a magnetic head using a conventional dedicated servo recording apparatus, or Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-183623. With respect to the problems of the technology disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-153060, the following features are provided.
【0021】特願平8−191889号の明細書に記載
された記録技術では、一方向に磁化されたマスター情報
担体表面の凸部の強磁性材料が発生する記録磁界によ
り、マスター情報担体の凹凸形状に対応した磁化パター
ンが磁気記録媒体に記録される。すなわち、マスター情
報担体表面に、トラッキング用サーボ信号、アドレス情
報信号、再生クロック信号等に対応する凹凸形状を形成
することにより、これらの情報信号のプリフォーマット
記録を磁気記録媒体に行うことができる。In the recording technique described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889, unevenness of a master information carrier is generated by a recording magnetic field generated by a ferromagnetic material on a surface of a master information carrier magnetized in one direction. A magnetization pattern corresponding to the shape is recorded on the magnetic recording medium. That is, by forming irregularities corresponding to the tracking servo signal, the address information signal, the reproduction clock signal, and the like on the surface of the master information carrier, preformat recording of these information signals can be performed on the magnetic recording medium.
【0022】この記録技術では、凹凸形状による磁気抵
抗変化に起因して凸部の強磁性材料から生ずる漏れ磁界
により記録が行われる。従って、その記録メカニズム
は、磁気ヘッドの記録ギャップから生ずる漏れ磁界によ
り記録を行う従来の磁気ヘッドを用いる記録と基本的に
は同様である。しかし、従来の磁気ヘッドによる記録が
ヘッドと媒体との相対移動による動的線記録であるのに
対し、上記の構成による記録はマスター情報担体と媒体
との相対移動を伴わない静的な面記録であるということ
ができる。このような特徴により、特願平8−1918
89号の明細書に記載された記録技術は、プリフォーマ
ット記録に関する前述の課題に対して、以下のように有
効な解決策を提供する。In this recording technique, recording is performed by a leakage magnetic field generated from a ferromagnetic material in a convex portion due to a change in magnetoresistance due to an uneven shape. Therefore, the recording mechanism is basically the same as that of recording using a conventional magnetic head that performs recording using a leakage magnetic field generated from a recording gap of the magnetic head. However, while the recording by the conventional magnetic head is dynamic line recording by the relative movement of the head and the medium, the recording by the above configuration is a static surface recording without the relative movement of the master information carrier and the medium. It can be said that. Due to such features, Japanese Patent Application No. 8-1918
The recording technique described in the specification of No. 89 provides an effective solution to the above-mentioned problem relating to preformat recording as follows.
【0023】第1に、この記録技術は面記録であるた
め、プリフォーマット記録に要する時間が従来の磁気ヘ
ッドによる記録に比べて非常に短い。また、磁気ヘッド
を厳密に位置制御しながら記録を行うための高価なサー
ボ記録装置が不要である。従って、プリフォーマット記
録に関する生産性を大幅に向上することができるととも
に、生産コストを低減することができる。First, since this recording technique is surface recording, the time required for preformat recording is much shorter than the recording by a conventional magnetic head. Further, an expensive servo recording device for performing recording while strictly controlling the position of the magnetic head is not required. Therefore, the productivity for preformat recording can be greatly improved, and the production cost can be reduced.
【0024】第2に、この記録技術はマスター情報担体
と媒体との相対移動を伴わない静的記録であるため、マ
スター情報担体表面と磁気記録媒体表面とを密着させる
ことにより、記録時の両者間のスペーシングを最小限に
することができる。さらに、磁気ヘッドによる記録のよ
うに、記録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がり
を生じることもない。このためプリフォーマット記録さ
れたトラック端部の磁化遷移は、従来の磁気ヘッドによ
る記録に比べて優れた急峻性を有する。その結果、より
正確なトラッキングが可能となる。Second, since this recording technique is a static recording that does not involve the relative movement of the master information carrier and the medium, the recording information is brought into close contact with the surface of the magnetic recording medium by the close contact between the master information carrier and the magnetic recording medium. The spacing between them can be minimized. Furthermore, unlike the recording by the magnetic head, the recording magnetic field does not spread due to the pole shape of the recording head. Therefore, the transition of the magnetization at the end of the track on which the preformat recording is performed has an excellent steepness as compared with the recording by the conventional magnetic head. As a result, more accurate tracking becomes possible.
【0025】また、特願平8−191889号の明細書
に記載された記録技術は、特開昭63−183623号
公報に開示された磁気転写技術や特開平7−15306
0号公報に開示されたプリエンボストディスク技術に関
して述べたような問題を生じることはない。つまり、プ
リフォーマット記録される磁気記録媒体の構成や磁気特
性に制約を受けることはない。The recording technique described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889 is a magnetic transfer technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-183623 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-15306.
There is no problem as described with respect to the pre-embossed disc technology disclosed in Japanese Patent Publication No. That is, there is no restriction on the configuration and magnetic characteristics of the magnetic recording medium on which preformat recording is performed.
【0026】例えば、特開昭63−183623号公報
に開示された磁気転写技術において、磁化パターンによ
り記録されたマスター情報を備えるマスターディスク
は、それ自体が磁気記録媒体であるために相応の磁気記
録媒体分解能を必要とする。このため、マスターディス
ク磁性層の磁束密度および膜厚を十分に大きくすること
ができず、発生する転写磁界の大きさが非常に小さいも
のとなってしまう。またマスター情報は磁化パターンに
より記録されているため、ダイビットの突き合わせ磁化
による減磁を生じ、磁化遷移領域における転写磁界勾配
も緩やかである。このような弱い転写磁界によっても十
分な転写効率を確保するために、磁気転写技術において
は、被転写ディスク保磁力の1.5倍程度もの振幅の交
流バイアス磁界を印加する必要がある。結果的に前述の
ように、被転写ディスクの保磁力が制約を受け、記録密
度の比較的低いフレキシブルディスク等にしか使用する
ことができなかった。For example, in the magnetic transfer technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-183623, a master disk provided with master information recorded by a magnetization pattern is a magnetic recording medium itself, and therefore has a corresponding magnetic recording medium. Requires medium resolution. For this reason, the magnetic flux density and the film thickness of the master disk magnetic layer cannot be made sufficiently large, and the magnitude of the generated transfer magnetic field becomes very small. Further, since the master information is recorded in a magnetization pattern, demagnetization occurs due to the butt magnetization of the dibit, and the transfer magnetic field gradient in the magnetization transition region is gentle. In order to secure sufficient transfer efficiency even with such a weak transfer magnetic field, in the magnetic transfer technique, it is necessary to apply an AC bias magnetic field having an amplitude of about 1.5 times the coercive force of the transferred disk. As a result, as described above, the coercive force of the disk to be transferred is limited, and the disk can be used only for a flexible disk having a relatively low recording density.
【0027】これに対して、特願平8−191889号
の明細書に記載されたマスター情報担体は、マスター情
報を凹凸形状パターンとして有しており、その凹凸形状
による磁気抵抗変化に起因して凸部の強磁性材料から生
ずる漏れ磁界により記録を行う点が磁気ヘッドによる記
録に似ている。磁気転写技術におけるマスターディスク
のように磁気記録媒体としての分解能を必要としないの
で、マスター情報担体の凸部表面を形成する強磁性材料
の磁束密度および体積を従来の磁気ヘッドと同等まで大
きくすることにより、磁気ヘッドと同等の大きな記録磁
界を発生することができる。これにより、通常のフレキ
シブルディスク、ハードディスク、さらには将来のギガ
ビット記録を担う高保磁力媒体に至るまで、あらゆる磁
気記録媒体に対して十分な記録能力を発揮することがで
きる。On the other hand, the master information carrier described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889 has master information in a concave and convex pattern. The point that recording is performed by using a leakage magnetic field generated from the ferromagnetic material of the convex portion is similar to recording by a magnetic head. Since the resolution as a magnetic recording medium is not required unlike the master disk in magnetic transfer technology, the magnetic flux density and volume of the ferromagnetic material forming the convex surface of the master information carrier must be as large as that of a conventional magnetic head. As a result, a large recording magnetic field equivalent to that of the magnetic head can be generated. As a result, it is possible to exhibit sufficient recording capability for all magnetic recording media, including ordinary flexible disks, hard disks, and even high coercive force media for gigabit recording in the future.
【0028】また、特開平7−153060号公報に開
示されたプリエンボストディスク技術は、前述のように
プリフォーマット記録されるディスク媒体の基板材料と
形状に制約を受けるため、媒体成膜時の基板温度に関係
する媒体SN比性能およびヘッドの浮上特性(接触記録
の場合は媒体とのコンタクト状態)に関してヘッド・媒
体インターフェース性能を犠牲にしていた。これに対
し、特願平8−191889号の明細書に記載された記
録技術は、上記のようにプリフォーマット記録される磁
気記録媒体の基板材料や表面形状においては何らの制約
も受けない。In the pre-embossed disk technology disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-153060, the substrate material and shape of the disk medium on which preformat recording is performed are restricted as described above. With respect to the medium SN ratio performance related to the substrate temperature and the flying characteristics of the head (the contact state with the medium in the case of contact recording), the head-medium interface performance was sacrificed. On the other hand, the recording technique described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889 is not subject to any restrictions on the substrate material and surface shape of the magnetic recording medium on which preformat recording is performed as described above.
【0029】[0029]
【発明が解決しようとする課題】上述のように、特願平
8−191889号の明細書に記載された記録技術は、
プリフォーマット記録される磁気記録媒体の構成や磁気
特性を問わずに静的な面記録を行うことができる技術を
提供するものであり、媒体SN比、インターフェース性
能等の他の重要性能を犠牲にすることなく、良好なプリ
フォーマット記録を効率的に行うことができる優れた技
術である。As described above, the recording technique described in the specification of Japanese Patent Application No. 8-191889 is as follows.
It provides a technology that can perform static surface recording irrespective of the configuration and magnetic characteristics of the magnetic recording medium to be preformatted, and sacrifices other important performance such as medium S / N ratio and interface performance. This is an excellent technique that can efficiently perform good preformat recording without performing.
【0030】しかしながら、この記録技術を真に効果的
なものとするためには、マスター情報担体と磁気記録媒
体との間に均一な密着性を実現する必要がある。両者間
に均一な密着性が実現されない場合は、スペーシングロ
スに起因して充分な記録信号強度が得られず、従って良
好なSN比を確保できないおそれがある。さらに、記録
磁界の広がりに起因してトラック端部の磁化遷移が急峻
性に欠け、充分なオフトラック特性が得られないおそれ
がある。However, in order to make this recording technique truly effective, it is necessary to realize uniform adhesion between the master information carrier and the magnetic recording medium. If uniform adhesion is not realized between the two, sufficient recording signal intensity cannot be obtained due to spacing loss, and therefore, a satisfactory SN ratio may not be secured. Furthermore, the magnetization transition at the track end lacks sharpness due to the spread of the recording magnetic field, and there is a possibility that sufficient off-track characteristics cannot be obtained.
【0031】そこで、本発明は、マスター情報を凹凸形
状パターンとして有するマスタ情報担体を用いて記録媒
体に情報を静的に記録する技術において、マスター情報
担体に対して磁気記録媒体を均一に密着させて、信頼性
の高いプリフォーマット記録を行うことができる手段を
提供することを目的とする。Therefore, the present invention relates to a technique for statically recording information on a recording medium using a master information carrier having master information as an uneven pattern, wherein the magnetic recording medium is uniformly brought into close contact with the master information carrier. It is another object of the present invention to provide means for performing highly reliable preformat recording.
【0032】[0032]
【課題を解決するための手段】本発明によるマスター情
報担体の第1の構成は、ディスク状基体の表面に、強磁
性薄膜よりなり、情報信号に対応する凹凸形状パターン
が形成された領域と、前記凹凸形状パターンが形成され
ていない領域とが、周方向に所定の角度間隔で交互に設
けられ、前記凹凸形状パターンが形成されていない領域
の少なくとも一部分に複数の貫通孔が設けられたことを
特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a master information carrier comprising, on a surface of a disk-shaped substrate, a region formed of a ferromagnetic thin film and having an uneven pattern corresponding to an information signal; The region where the uneven pattern is not formed is alternately provided at a predetermined angular interval in the circumferential direction, and a plurality of through holes are formed in at least a part of the region where the uneven pattern is not formed. It is characterized by being provided .
【0033】また、本発明によるマスター情報担体の第
2の構成は、ディスク状基体の表面に、強磁性薄膜より
なり、情報信号に対応する凹凸形状パターンが形成され
た領域と、前記凹凸形状パターンが形成されていない領
域とが、周方向に所定の角度間隔で交互に設けられ、前
記凹凸形状パターンが形成されていない領域の少なくと
も一部分の表面高さが、前記凹凸形状パターンが形成さ
れた領域の表面高さよりも低いことを特徴とする。A second structure of the master information carrier according to the present invention is a master information carrier comprising: a region in which a surface of a disk-shaped substrate is formed of a ferromagnetic thin film and has an uneven pattern corresponding to an information signal; Are formed alternately at predetermined angular intervals in the circumferential direction, and the surface height of at least a part of the region where the uneven pattern is not formed is the region where the uneven pattern is formed. wherein the lower equalizer Metropolitan than the surface height of the.
【0034】[0034]
【0035】[0035]
【0036】[0036]
【0037】上記のような本発明のマスター情報担体を
用いることにより、マスター情報担体に対して磁気記録
媒体を均一に密着させることができ、信頼性の高いプリ
フォーマット記録を行うことができる。[0037] By using <br/> master information responsible of the present invention as described above, it is possible to uniformly contact a magnetic recording medium to the master information carrier, performs highly reliable preformat recording be able to.
【0038】[0038]
【0039】また、前記マスター情報担体と前記磁気記
録媒体との位置合わせを行うための手段として、前記マ
スター情報担体の内周部または外周部に、前記磁気記録
媒体の内周または外周に合わせてマーカーが配置されて
いることが好ましい。As means for aligning the master information carrier with the magnetic recording medium, the master information carrier may be aligned with the inner or outer periphery of the master information carrier in accordance with the inner or outer periphery of the magnetic recording medium. Preferably, a marker is located.
【0040】[0040]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1から図8を用いて説明する。 (実施の形態1)図3は、マスター情報担体に形成され
た情報信号を磁気記録媒体に記録するための本発明によ
る装置の第1実施形態を示す断面図である。図中、31
a、31bはマスター情報担体、32はハードディス
ク、33は上フランジ、34は下フランジ、35a,3
5bは永久磁石、36a,36bは排気装置、37a,
37bは三方弁、30はOリングである。永久磁石15
a,15bの磁化方向は紙面の裏から表への向きであ
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. (Embodiment 1) FIG. 3 is a sectional view showing a first embodiment of an apparatus according to the present invention for recording an information signal formed on a master information carrier on a magnetic recording medium. In the figure, 31
a, 31b are master information carriers, 32 is a hard disk, 33 is an upper flange, 34 is a lower flange, 35a, 3
5b is a permanent magnet, 36a and 36b are exhaust devices, 37a and
37b is a three-way valve, and 30 is an O-ring. Permanent magnet 15
The magnetization directions of a and 15b are from the back of the paper to the front.
【0041】マスター情報担体31a,31bの表面に
は、例えば図1に示すように、情報信号に対応した微細
な凹凸形状が形成された領域12が、所定の角度間隔で
設けられている。この領域12の一部(図1中の領域
A)を拡大したものを図2に示す。トラッキング用サー
ボ信号、クロック信号およびアドレス情報信号のそれぞ
れの領域がトラック長さ方向に順番に配置されている。
図2においてハッチングを施してある部分が凸部であ
り、凸部表面はCo等の強磁性材料で形成されている。On the surfaces of the master information carriers 31a and 31b, for example, as shown in FIG. 1, regions 12 having fine irregularities corresponding to information signals are provided at predetermined angular intervals. FIG. 2 is an enlarged view of a part of the region 12 (region A in FIG. 1). The respective areas of the tracking servo signal, the clock signal, and the address information signal are sequentially arranged in the track length direction.
In FIG. 2, a hatched portion is a convex portion, and the surface of the convex portion is formed of a ferromagnetic material such as Co.
【0042】このような情報信号に対応した微細な凹凸
形状をマスター情報担体の表面に形成する方法を以下に
説明する。まず、表面粗度が細かく平坦性の良いガラス
基板表面にCo等で構成される強磁性薄膜をスパッタリ
ング法により成膜する。次に、例えばフォトリソグラフ
ィ法のようなレーザビームまたは電子ビームを用いたリ
ソグラフィ技術を用いてレジスト膜を露光、現像した
後、ドライエッチング等によって凹凸形状を形成する。
あるいは基板表面にレジスト膜を形成・パターニングし
た後、Co等で構成される強磁性薄膜を成膜してレジス
ト膜を除去する、いわゆるリフトオフ法によって凹凸形
状を形成する。A method for forming a fine uneven shape corresponding to such an information signal on the surface of the master information carrier will be described below. First, a ferromagnetic thin film made of Co or the like is formed on a glass substrate having a fine surface roughness and good flatness by a sputtering method. Next, after exposing and developing the resist film using a lithography technique using a laser beam or an electron beam such as a photolithography method, an uneven shape is formed by dry etching or the like.
Alternatively, after forming and patterning a resist film on the surface of the substrate, a ferromagnetic thin film made of Co or the like is formed, and the resist film is removed to form an uneven shape by a so-called lift-off method.
【0043】なお凹凸形状を形成する方法はこれらに限
られず、例えばレーザ、電子ビームまたはイオンビーム
を用いて、あるいは機械加工によって、微細な凹凸形状
を直接加工してもよい。また、強磁性薄膜をガラス基板
に形成する方法は、スパッタリング法に限らず、真空蒸
着法、イオンプレーティング法、CVD法、めっき法
等、従来から行われている一般的な薄膜形成方法を用い
ることができる。The method of forming the irregularities is not limited to these, and fine irregularities may be directly processed by using, for example, a laser, an electron beam or an ion beam, or by machining. The method of forming a ferromagnetic thin film on a glass substrate is not limited to a sputtering method, and a conventional general thin film forming method such as a vacuum deposition method, an ion plating method, a CVD method, and a plating method is used. be able to.
【0044】情報信号に対応した微細な凹凸形状の凸部
表面と凹部底面との段差は、マスター情報が記録される
磁気記録媒体の表面性およびマスター情報のビットサイ
ズにもよるが、一般的には0.05μm以上、好ましく
は0.1μm以上とする。一実施例において、0.5μ
mとした。The level difference between the surface of the convex portion and the bottom surface of the concave portion corresponding to the information signal depends on the surface property of the magnetic recording medium on which the master information is recorded and the bit size of the master information. Is 0.05 μm or more, preferably 0.1 μm or more. In one embodiment, 0.5 μ
m.
【0045】凹凸形状の凸部表面を形成する強磁性薄膜
材料はCoに限らない。硬質磁性材料、半硬質磁性材
料、軟質磁性材料を問わず、多くの種類の磁性材料を用
いることができる。マスター情報が記録される磁気記録
媒体の種類によらず十分な記録磁界を発生するためには
磁性材料の飽和磁束密度が大きいほどよい。特に200
0エルステッドを超える高保磁力磁気ディスクや磁性層
厚の大きいフレキシブルディスクに対しては、飽和磁束
密度が0.8テスラ以下になると十分な記録が行われな
い場合があるので、一般的には0.8テスラ以上、好ま
しくは1.0テスラ以上の飽和磁束密度を有する磁性材
料を用いる。The material of the ferromagnetic thin film forming the surface of the convex portion of the concavo-convex shape is not limited to Co. Many types of magnetic materials can be used regardless of a hard magnetic material, a semi-hard magnetic material, and a soft magnetic material. In order to generate a sufficient recording magnetic field irrespective of the type of the magnetic recording medium on which the master information is recorded, the larger the saturation magnetic flux density of the magnetic material, the better. Especially 200
For a high coercivity magnetic disk exceeding 0 Oe or a flexible disk having a large magnetic layer thickness, sufficient recording may not be performed if the saturation magnetic flux density is 0.8 Tesla or less. A magnetic material having a saturation magnetic flux density of 8 Tesla or more, preferably 1.0 Tesla or more is used.
【0046】図1に示すように、マスター情報担体11
の情報信号に対応した凹凸形状が形成された領域12以
外の領域に貫通孔13が設けられている。貫通孔13
は、マスター情報担体の基板がガラスの場合、超音波加
工やレーザ加工、ウエットエッチング等の公知の加工方
法を用いて形成することができる。貫通孔の径はできる
だけ小さく、貫通孔の数はできるだけ多い方が好まし
い。一実施例において、超音波加工を用いて直径1mm
の貫通孔を3mm四方にひとつの割合で形成した。As shown in FIG. 1, the master information carrier 11
The through-hole 13 is provided in a region other than the region 12 in which the uneven shape corresponding to the information signal is formed. Through hole 13
When the substrate of the master information carrier is glass, it can be formed using a known processing method such as ultrasonic processing, laser processing, or wet etching. It is preferable that the diameter of the through hole is as small as possible and the number of the through holes is as large as possible. In one embodiment, the diameter is 1 mm using ultrasonic machining.
Was formed at a rate of one per 3 mm square.
【0047】マスター情報担体に形成された情報信号を
磁気記録媒体であるハードディスクに記録する際に、マ
スター情報パターンの中心をハードディスクの中心に合
わせてから密着させる必要がある。この位置合わせを容
易にするために、図1に示すように、マスター情報担体
11の内周部にマーカー14が形成されている。マーカ
ー14は、情報信号に対応した凹凸形状と同時に形成さ
れる。このマスター情報担体11の内周部に形成された
マーカー14はハードディスクの内周を位置合わせする
ように形成されているが、ハードディスクの外周を位置
合わせするように、マスター情報担体11の外周部にマ
ーカーを形成してもよい。When recording the information signal formed on the master information carrier on a hard disk as a magnetic recording medium, it is necessary to align the center of the master information pattern with the center of the hard disk and then to bring the master information pattern into close contact. To facilitate this alignment, a marker 14 is formed on the inner periphery of the master information carrier 11, as shown in FIG. The marker 14 is formed simultaneously with the uneven shape corresponding to the information signal. The marker 14 formed on the inner periphery of the master information carrier 11 is formed so as to align the inner periphery of the hard disk. However, the marker 14 is formed on the outer periphery of the master information carrier 11 so as to align the outer periphery of the hard disk. A marker may be formed.
【0048】本実施形態において、マスター情報担体に
形成された情報信号を磁気記録媒体であるハードディス
クに記録する手順を図3、4および5を用いて説明す
る。本実施形態では、大気圧を利用してマスター情報担
体31a,31bとハードディスク32とを全面的かつ
均一に密着させる。マスター情報担体31a,31bと
ハードディスク32との間に存在する空気をマスター情
報担体31a,31bに設けられた貫通孔39を通して
排気することにより、ハードディスク32がマスター情
報担体31a,31bに押し付けられ、マスター情報担
体31a,31bに形成された凹凸形状パターンの凸部
表面とハードディスク32とが密着する。この後、永久
磁石35a,35bを用いて、マスター情報担体31
a,31bに形成された凹凸形状パターンの凸部表面の
強磁性薄膜を磁化させることにより、凹凸形状に対応し
た情報信号をハードディスク32に記録する。以下に手
順を詳しく述べる。In this embodiment, a procedure for recording an information signal formed on a master information carrier on a hard disk as a magnetic recording medium will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, the master information carriers 31a and 31b and the hard disk 32 are brought into close contact with the hard disk 32 entirely using the atmospheric pressure. By exhausting air existing between the master information carriers 31a and 31b and the hard disk 32 through the through holes 39 provided in the master information carriers 31a and 31b, the hard disk 32 is pressed against the master information carriers 31a and 31b, The surface of the convex portion of the concavo-convex pattern formed on the information carriers 31a and 31b is in close contact with the hard disk 32. Thereafter, using the permanent magnets 35a and 35b, the master information carrier 31 is used.
By magnetizing the ferromagnetic thin film on the surface of the convex portion of the concavo-convex pattern formed on the a and 31b, an information signal corresponding to the concavo-convex shape is recorded on the hard disk 32. The procedure is described in detail below.
【0049】まず、図5に示すように、永久磁石52を
用いてハードディスク32を円周方向に沿って矢印51
の方向に予め磁化させておく。なお、永久磁石に代えて
電磁石を用いてもよい。次に図3に示すように、下フラ
ンジ34の溝にOリング30を装着し、この上にマスタ
ー情報担体31bおよびハードディスク32を重ねる。
この際、前述のようにマスター情報パターンの中心とハ
ードディスク32の中心とを合わせるためのマーカー
(図1の14)がマスター情報担体31bに設けてある
ので、このマーカーをハードディスク32の内周に合わ
せる。さらにハードディスク32の上にマスター情報担
体31a,そしてOリング30を溝に装着した上フラン
ジ33を重ねる。この際も上記と同様に、マスター情報
担体31aの内周部に設けられたマーカーをハードディ
スク32の内周に合わせる。First, as shown in FIG. 5, the hard disk 32 is moved along the circumferential direction by the arrow 51 using the permanent magnet 52.
In advance in the direction of. Note that an electromagnet may be used instead of the permanent magnet. Next, as shown in FIG. 3, the O-ring 30 is attached to the groove of the lower flange 34, and the master information carrier 31b and the hard disk 32 are overlaid thereon.
At this time, since the marker (14 in FIG. 1) for aligning the center of the master information pattern with the center of the hard disk 32 is provided on the master information carrier 31b as described above, this marker is aligned with the inner periphery of the hard disk 32. . Further, the master information carrier 31a and the upper flange 33 having the O-ring 30 mounted in the groove are overlapped on the hard disk 32. At this time, similarly to the above, the marker provided on the inner periphery of the master information carrier 31a is adjusted to the inner periphery of the hard disk 32.
【0050】上側の三方弁37aを操作して排気装置3
6aにより、上フランジ33とマスター情報担体31a
との間の空気を吸引する。下側の三方弁37bは、下フ
ランジ34とマスター情報担体31bとの空間が大気圧
になるように切り替えておく。マスター情報担体31a
とハードディスク32との間の空気がマスター情報担体
31aに設けられた貫通孔39を通して排気されること
により、ハードディスク32はマスター情報担体31a
に押し付けられ、両者が全面的に密着する。次に図4
(a)に示すように、永久磁石35aを上フランジに平
行に、かつ、排気ダクト38aを中心に回すことによ
り、直流励磁磁界41aを印加する。この操作により、
マスター情報担体31aに形成された凹凸形状パターン
の凸部表面の強磁性薄膜が磁化され、凹凸形状に対応し
た情報信号がハードディスク32に記録される。前述し
たように、ハードディスク32は予め永久磁石等を用い
て円周方向に沿って初期磁化させておくが、この初期磁
化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石35aによ
り印加する磁界の方向とは同一であっても逆であっても
よい。一実施例では逆方向とした。The exhaust device 3 is operated by operating the upper three-way valve 37a.
6a, the upper flange 33 and the master information carrier 31a
To suck the air between. The lower three-way valve 37b is switched so that the space between the lower flange 34 and the master information carrier 31b is at atmospheric pressure. Master information carrier 31a
The air between the hard disk 32 and the hard disk 32 is exhausted through a through hole 39 provided in the master information carrier 31a, so that the hard disk 32
, So that the two are in close contact with each other. Next, FIG.
As shown in (a), the DC excitation magnetic field 41a is applied by rotating the permanent magnet 35a parallel to the upper flange and around the exhaust duct 38a. With this operation,
The ferromagnetic thin film on the surface of the projection of the uneven pattern formed on the master information carrier 31a is magnetized, and an information signal corresponding to the uneven shape is recorded on the hard disk 32. As described above, the hard disk 32 is preliminarily magnetized in the circumferential direction using a permanent magnet or the like in advance. The initial magnetization direction and the direction of the magnetic field applied by the permanent magnet 35a when recording an information signal are recorded. And may be the same or opposite. In one embodiment, the direction is reversed.
【0051】次に、下側の三方弁37bを操作して排気
装置36bにより、下フランジ34とマスター情報担体
31bとの間の空気を吸引する。上側の三方弁37a
は、上フランジ33とマスター情報担体31aとの空間
が大気圧になるように切り替えておく。マスター情報担
体31bとハードディスク32との間の空気がマスター
情報担体31bに設けられた貫通孔39を通して排気さ
れることにより、ハードディスク32はマスター情報担
体31bに押し付けられ、両者が全面的に密着する。Next, the air between the lower flange 34 and the master information carrier 31b is sucked by the exhaust device 36b by operating the lower three-way valve 37b. Upper three-way valve 37a
Is switched so that the space between the upper flange 33 and the master information carrier 31a is at atmospheric pressure. When the air between the master information carrier 31b and the hard disk 32 is exhausted through the through hole 39 provided in the master information carrier 31b, the hard disk 32 is pressed against the master information carrier 31b, and both are brought into close contact with each other.
【0052】図4(b)に示すように、永久磁石35b
を下フランジ34に平行に、かつ、排気ダクト38bを
中心に回すことにより直流励磁磁界41bを印加する。
この操作により、マスター情報担体31bに形成された
凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜が磁化され
て、凹凸形状に対応した情報信号がハードディスク32
に記録される。一実施例では、ハードディスク32の初
期磁化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石35b
により印加する磁界の方向とを逆にした。As shown in FIG. 4B, the permanent magnet 35b
Is turned parallel to the lower flange 34 and around the exhaust duct 38b to apply the DC exciting magnetic field 41b.
By this operation, the ferromagnetic thin film on the surface of the convex portion of the concavo-convex pattern formed on the master information carrier 31b is magnetized, and an information signal corresponding to the concavo-convex shape is transmitted to the hard disk 32.
Will be recorded. In one embodiment, the initial magnetization direction of the hard disk 32 and the permanent magnet 35b are used when recording the information signal.
And the direction of the applied magnetic field was reversed.
【0053】以上の手順により、ハードディスク32の
両面に短時間でプリフォーマット記録を行うことができ
る。マスター情報担体に形成された凹凸形状パターンの
凸部表面の強磁性薄膜を磁化するのに永久磁石を用いる
代わりに、電磁石を用いてもよい。また、永久磁石とマ
スター情報担体との間に上フランジ33または下フラン
ジ34が介在している状態でマスター情報担体表面の強
磁性薄膜を磁化することになるので、上フランジ33お
よび下フランジ34の材質は黄銅鋼等の非磁性材である
ことが好ましい。According to the above procedure, preformat recording can be performed on both sides of the hard disk 32 in a short time. Instead of using a permanent magnet to magnetize the ferromagnetic thin film on the convex surface of the concave / convex pattern formed on the master information carrier, an electromagnet may be used. Further, since the ferromagnetic thin film on the surface of the master information carrier is magnetized in a state where the upper flange 33 or the lower flange 34 is interposed between the permanent magnet and the master information carrier, the upper flange 33 and the lower flange 34 are not magnetized. The material is preferably a non-magnetic material such as brass steel.
【0054】本実施形態において、磁気記録媒体がハー
ドディスクでなくフレキシブルディスクである場合、マ
スター情報担体に設けた貫通孔が大きいとフレキシブル
ディスクが貫通孔に吸い込まれて変形し、プリフォーマ
ット記録が正確な場所に行われなかったり、記録される
べき信号が欠落することになる。従って、前述したよう
に貫通孔の大きさはできるだけ小さく、かつ、できるだ
け多くの貫通孔を設けることが好ましい。このようにす
ることにより、ハードディスクだけでなくフレキシブル
ディスクにも信頼性の高いプリフォーマット記録を行う
ことができる。また、本実施形態は、磁気記録媒体の両
側にマスター情報担体を配置するので、磁気記録媒体の
両面に短時間で効率良くプリフォーマット記録を行うこ
とができ、生産性の向上に寄与し得る。In this embodiment, when the magnetic recording medium is not a hard disk but a flexible disk, if the through-hole provided in the master information carrier is large, the flexible disk is sucked into the through-hole and deformed, so that the preformat recording can be performed accurately. Missing signals or missing signals to be recorded in place. Therefore, as described above, it is preferable that the size of the through hole is as small as possible and that as many as possible. By doing so, highly reliable preformat recording can be performed not only on a hard disk but also on a flexible disk. Further, in the present embodiment, since the master information carriers are arranged on both sides of the magnetic recording medium, preformat recording can be efficiently performed on both sides of the magnetic recording medium in a short time, which can contribute to improvement in productivity.
【0055】(実施の形態2)図7は、マスター情報担
体に形成された情報信号を磁気記録媒体に記録するため
の本発明による装置の第2実施形態を示す断面図であ
る。図中、71はマスター情報担体、72はハードディ
スク、73は上フランジ、74は下フランジ、75は永
久磁石、70は弾性板である。また76は排気装置、7
7は三方弁、78は排気ダクト、79は上フランジ73
と下フランジ74を固定するためのボルトである。(Embodiment 2) FIG. 7 is a sectional view showing a second embodiment of the device according to the present invention for recording an information signal formed on a master information carrier on a magnetic recording medium. In the figure, 71 is a master information carrier, 72 is a hard disk, 73 is an upper flange, 74 is a lower flange, 75 is a permanent magnet, and 70 is an elastic plate. 76 is an exhaust device, 7
7 is a three-way valve, 78 is an exhaust duct, 79 is an upper flange 73
And a bolt for fixing the lower flange 74.
【0056】マスター情報担体71の表面には、例えば
図6(a)に示すように、情報信号に対応した微細な凹
凸形状が形成された領域62が所定の角度間隔で設けら
れている。この領域に記録される情報信号の具体例は、
第1実施形態と同様に図2に示されている。このような
凹凸形状は、第1実施形態で説明したように、表面粗度
が細かく平坦性の良いガラス基板表面にCo等で構成さ
れる強磁性薄膜をスパッタリング法により成膜した後、
例えばフォトリソグラフィ法のようなレーザビームまた
は電子ビームを用いたリソグラフィ技術を用いてレジス
ト膜を露光、現像した後ドライエッチング等によって形
成される。On the surface of the master information carrier 71, for example, as shown in FIG. 6A, regions 62 having fine irregularities corresponding to information signals are provided at predetermined angular intervals. A specific example of the information signal recorded in this area is:
It is shown in FIG. 2 as in the first embodiment. As described in the first embodiment, such a concavo-convex shape is obtained by forming a ferromagnetic thin film made of Co or the like on a glass substrate surface having fine surface roughness and good flatness by a sputtering method,
For example, the resist film is formed by exposing and developing a resist film using a lithography technique using a laser beam or an electron beam such as a photolithography method, and then by dry etching or the like.
【0057】図6に示すように、本実施形態では、マス
ター情報担体61の情報信号に対応した凹凸形状が形成
されている領域62および外周部(図6(a)の白ヌキ
部分)の表面高さに比べて、他の領域63(図6(a)
のハッチング部分)の表面高さを低くしてある。以下、
この領域63を凹部領域という。図6(b)は、図6
(a)における円周方向の一点鎖線A−Aに沿う断面を
示している。領域62上には、例えば図2に示すような
情報信号に対応した凹凸形状が形成されている。この凹
凸形状を前述のようにして形成した後、凹部領域63を
機械加工、超音波加工、レーザ加工等の公知の加工方法
を用いて形成する。凹凸形状が形成された領域62と凹
部領域63との段差は、マスター情報担体61の基板の
厚さにもよるが数10μm以上、好ましくは100μm
以上とする。As shown in FIG. 6, in the present embodiment, the surface of the region 62 and the outer peripheral portion (white blank portion in FIG. 6A) where the uneven shape corresponding to the information signal of the master information carrier 61 is formed. Compared to the height, other areas 63 (FIG. 6A)
(Hatched portion of FIG. 2) is reduced in surface height. Less than,
This region 63 is called a concave region. FIG.
FIG. 3A shows a cross section taken along a one-dot chain line AA in the circumferential direction in FIG. On the region 62, for example, an uneven shape corresponding to the information signal as shown in FIG. 2 is formed. After forming the concavo-convex shape as described above, the concave region 63 is formed using a known processing method such as mechanical processing, ultrasonic processing, or laser processing. The step between the region 62 having the uneven shape and the concave region 63 depends on the thickness of the substrate of the master information carrier 61, but is several tens μm or more, preferably 100 μm.
Above.
【0058】マスター情報担体61に形成された情報信
号を磁気記録媒体であるハードディスクに記録する際
に、マスター情報パターンの中心をハードディスクの中
心に合わせて密着させる必要がある。本実施形態のマス
ター情報担体61内周部にも第1実施形態と同様に、図
6に示すようなマーカー64が形成され、これによって
ハードディスクの内周が位置合わせされる。この場合
も、マーカーの形成位置はマスター情報担体61内周部
に限らず、ハードディスクの外周を位置合わせするよう
に、マスター情報担体61の外周部にマーカーを形成し
てもよい。When the information signal formed on the master information carrier 61 is recorded on a hard disk as a magnetic recording medium, it is necessary to bring the center of the master information pattern into close contact with the center of the hard disk. Similar to the first embodiment, a marker 64 as shown in FIG. 6 is also formed on the inner periphery of the master information carrier 61 of the present embodiment, whereby the inner periphery of the hard disk is aligned. In this case as well, the marker formation position is not limited to the inner peripheral portion of the master information carrier 61, and the marker may be formed on the outer peripheral portion of the master information carrier 61 so as to align the outer periphery of the hard disk.
【0059】本実施形態において、マスター情報担体に
形成された情報信号を磁気記録媒体であるハードディス
クに記録する手順を図7および8を用いて説明する。本
実施形態では、マスター情報担体71の情報信号に対応
した凹凸形状が形成されている領域とハードディスク7
2とを大気圧を利用して均一に密着させ、さらにマスタ
ー情報担体71とハードディスク72とを機械的に圧接
させる。情報信号に対応した凹凸形状が形成されていな
い凹部領域の表面高さを、凹凸形状が形成されている領
域の表面高さよりも低くしておくことによって、マスタ
ー情報担体71とハードディスク72との間に空隙がで
きる。この空隙の空気を排気することによって、マスタ
ー情報担体71の情報信号に対応した凹凸形状が形成さ
れている領域とハードディスク72とが密着する。この
後、永久磁石75を用いて、マスター情報担体に形成さ
れた凹凸形状パターンの凸部表面の強磁性薄膜を磁化さ
せることにより、凹凸形状に対応した情報信号をハード
ディスク72に記録する。以下に手順を詳しく述べる。In this embodiment, a procedure for recording an information signal formed on a master information carrier on a hard disk as a magnetic recording medium will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, the area of the master information carrier 71 where the uneven shape corresponding to the information signal is formed and the hard disk 7
2 and the hard disk 72 are mechanically pressed against each other using the atmospheric pressure. By setting the surface height of the recessed area where the uneven shape corresponding to the information signal is not formed to be lower than the surface height of the area where the uneven shape is formed, the distance between the master information carrier 71 and the hard disk 72 is reduced. A void is formed in By exhausting the air in the gap, the hard disk 72 comes into close contact with the area of the master information carrier 71 where the uneven shape corresponding to the information signal is formed. Then, the permanent magnet 75 magnetizes the ferromagnetic thin film on the convex surface of the concave / convex pattern formed on the master information carrier, thereby recording an information signal corresponding to the concave / convex shape on the hard disk 72. The procedure is described in detail below.
【0060】まず、図5に示すように、永久磁石52を
用いてハードディスク72を円周方向に沿って矢印51
の方向に予め磁化させておく。次に、図7に示すよう
に、下フランジ74に弾性板70、ハードディスク7
2、マスター情報担体71を順番に重ねる。弾性板70
の中央にはハードディスク72と同程度の大きさの貫通
孔が形成されている。マスター情報担体71をハードデ
ィスク72に重ねる際は、前述のマーカー(図6の6
4)をハードディスク72の内周に合わせる。最後にマ
スター情報担体71上に弾性板70および上フランジ7
3を重ねる。弾性板70には、シリコンゴム等の弾性を
有する種々の材料を用いることができる。三方弁77を
操作して、マスター情報担体71の情報信号に対応した
凹凸形状が形成されていない凹部領域と、ハードディス
ク72との間の空気を排気装置76により排気する。こ
れによって情報信号に対応した凹凸形状が形成されてい
る領域とハードディスク72とが密着する。本実施形態
では排気ダクト78が装置の中央に配置してあるため、
マスター情報担体71の中央での排気コンダクタンスが
大きい。従って、ハードディスク72の中央孔からの排
気による負圧がマスター情報担体71の中央部に大きく
作用する一方、外周部にはあまり強く作用せず、その結
果、マスター情報担体71の外周部とハードディスクと
の密着性が悪くなる可能性がある。First, as shown in FIG. 5, using a permanent magnet 52, a hard disk 72 is moved along an arrow 51 along a circumferential direction.
In advance in the direction of. Next, as shown in FIG.
2. Overlap the master information carriers 71 in order. Elastic plate 70
A through hole having a size similar to that of the hard disk 72 is formed in the center of. When the master information carrier 71 is overlaid on the hard disk 72, the marker (6 in FIG. 6) is used.
4) is adjusted to the inner circumference of the hard disk 72. Finally, the elastic plate 70 and the upper flange 7 are placed on the master information carrier 71.
Stack three. Various materials having elasticity, such as silicon rubber, can be used for the elastic plate 70. By operating the three-way valve 77, the air is exhausted by the exhaust device 76 between the hard disk 72 and the concave area where the uneven shape corresponding to the information signal of the master information carrier 71 is not formed. As a result, the area where the uneven shape corresponding to the information signal is formed and the hard disk 72 come into close contact with each other. In this embodiment, since the exhaust duct 78 is arranged at the center of the device,
The exhaust conductance at the center of the master information carrier 71 is large. Therefore, the negative pressure due to the exhaust from the central hole of the hard disk 72 largely acts on the central portion of the master information carrier 71, but does not act so strongly on the outer peripheral portion. May have poor adhesion.
【0061】そこで、本実施形態では、上フランジ73
とマスター情報担体71との間、および、下フランジ7
4とハードディスク72との間に弾性板70をそれぞれ
設け、さらに上フランジ73と下フランジ74とをボル
ト79を用いて接続している。そして、ボルト79の締
め付けトルクを調整することにより、マスター情報担体
71とハードディスク72とが適切に圧接されるように
している。このようにして、マスター情報担体71の情
報信号に対応した凹凸形状が形成されている領域とハー
ドディスク72とが均一に密着する。Therefore, in the present embodiment, the upper flange 73
And the master information carrier 71, and the lower flange 7
An elastic plate 70 is provided between the hard disk 4 and the hard disk 72, and an upper flange 73 and a lower flange 74 are connected with bolts 79. Then, by adjusting the tightening torque of the bolt 79, the master information carrier 71 and the hard disk 72 are appropriately pressed against each other. In this way, the area of the master information carrier 71 where the uneven shape corresponding to the information signal is formed and the hard disk 72 are in close contact with each other.
【0062】最後に図8に示すように、永久磁石75を
上フランジ73に平行に、かつ円周方向に沿って回すこ
とにより、直流励磁磁界81を印加する。この操作によ
り、マスター情報担体71に形成された情報信号に対応
した凹凸形状の凸部表面の強磁性薄膜が磁化され、凹凸
形状に対応した情報信号がハードディスク72に記録さ
れる。前述のように、ハードディスク72はあらかじめ
永久磁石等を用いて円周方向に初期磁化させておくが、
この初期磁化方向と、情報信号を記録する際に永久磁石
75により印加する磁界の方向とは同一であっても逆で
あってもよい。一実施例では逆方向とした。なお、第1
実施形態でも述べたように、永久磁石とマスター情報担
体との間に上フランジ73が介在している状態でマスタ
ー情報担体表面の強磁性薄膜を磁化することになるの
で、上フランジ73の材質は黄銅鋼等の非磁性材料であ
ることが好ましい。Finally, as shown in FIG. 8, a DC exciting magnetic field 81 is applied by rotating the permanent magnet 75 in parallel with the upper flange 73 and along the circumferential direction. By this operation, the ferromagnetic thin film on the surface of the convex portion having the uneven shape corresponding to the information signal formed on the master information carrier 71 is magnetized, and the information signal corresponding to the uneven shape is recorded on the hard disk 72. As described above, the hard disk 72 is initially magnetized in the circumferential direction using a permanent magnet or the like in advance.
The direction of the initial magnetization may be the same as or opposite to the direction of the magnetic field applied by the permanent magnet 75 when recording the information signal. In one embodiment, the direction is reversed. The first
As described in the embodiment, since the ferromagnetic thin film on the surface of the master information carrier is magnetized in a state where the upper flange 73 is interposed between the permanent magnet and the master information carrier, the material of the upper flange 73 is It is preferably a non-magnetic material such as brass steel.
【0063】上述のように、本実施形態ではマスター情
報担体の情報信号に対応した凹凸形状が形成されていな
い領域の表面高さを、凹凸形状が形成されている領域の
表面高さよりも低くすることにより、マスター情報担体
とハードディスクとの間に空隙をつくる。そして、この
空隙の空気を排気することによって凹凸形状が形成され
ている領域をハードディスクと密着させる。さらに、マ
スター情報担体とハードディスクを機械的に圧接させる
手段を設けることによって、信頼性の一層高いプリフォ
ーマット記録を可能にしている。As described above, in the present embodiment, the surface height of the region where the uneven shape corresponding to the information signal of the master information carrier is not formed is lower than the surface height of the region where the uneven shape is formed. This creates a gap between the master information carrier and the hard disk. By exhausting the air in the gap, the area where the uneven shape is formed is brought into close contact with the hard disk. Further, by providing means for mechanically pressing the master information carrier and the hard disk, preformat recording with higher reliability is enabled.
【0064】[0064]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、マスター
情報担体の情報信号に対応した凹凸形状が形成されてい
ない領域の少なくとも一部分に貫通孔を設け、この貫通
孔からマスター情報担体と磁気記録媒体との間に存在す
る空気を排気することにより、あるいは、凹凸形状が形
成されていない領域の少なくとも一部分の表面高さを、
凹凸形状が形成された領域の表面高さよりも低くして、
凹凸形状が形成されていない領域と磁気記録媒体との間
に存在する気体を排気することにより、マスター情報担
体と磁気記録媒体とを均一に密着させ、信頼性の高いプ
リフォーマット記録を実現することができる。As described above, according to the present invention, a through-hole is provided in at least a part of a region where a concave / convex shape corresponding to an information signal of a master information carrier is not formed. By exhausting the air existing between the recording medium or, or the surface height of at least a part of the region where the uneven shape is not formed,
Lower than the surface height of the area where the uneven shape was formed,
By exhausting the gas present between the region where the uneven shape is not formed and the magnetic recording medium, the master information carrier and the magnetic recording medium are brought into close contact with each other to realize highly reliable preformat recording. Can be.
【図1】本発明の第1実施形態に係るマスター情報担体
の構造を模式的に示す平面図FIG. 1 is a plan view schematically showing a structure of a master information carrier according to a first embodiment of the present invention.
【図2】図1のA部拡大図であり、マスター情報担体の
表面に形成された情報信号に対応した凹凸形状パターン
の一例を示すFIG. 2 is an enlarged view of a portion A of FIG. 1, showing an example of a concavo-convex pattern corresponding to an information signal formed on a surface of a master information carrier.
【図3】図1のマスター情報担体の情報信号を磁気記録
媒体に記録するマスター情報磁気記録装置の構成を示す
図FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a master information magnetic recording apparatus for recording the information signal of the master information carrier of FIG. 1 on a magnetic recording medium.
【図4】図3のマスター情報磁気記録装置を用いてマス
ター情報担体の情報信号を磁気記録媒体に記録する方法
を示す図4 is a diagram showing a method for recording an information signal of a master information carrier on a magnetic recording medium using the master information magnetic recording device of FIG. 3;
【図5】磁気記録媒体を予め初期磁化する方法の一例を
示す図FIG. 5 is a diagram showing an example of a method for initial magnetizing a magnetic recording medium in advance.
【図6】本発明の第2実施形態に係るマスター情報担体
の平面構造および断面構造を模式的に示す図FIG. 6 is a diagram schematically showing a planar structure and a cross-sectional structure of a master information carrier according to a second embodiment of the present invention.
【図7】図6のマスター情報担体の情報を磁気記録媒体
に記録するマスター情報磁気記録装置の構成を示す図FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a master information magnetic recording apparatus for recording information on the master information carrier of FIG. 6 on a magnetic recording medium.
【図8】図7のマスター情報磁気記録装置を用いてマス
ター情報担体の情報信号を磁気記録媒体に記録する方法
を示す図8 is a diagram showing a method for recording an information signal of a master information carrier on a magnetic recording medium using the master information magnetic recording device of FIG. 7;
11,31a,31b,61,71 マスター情報担体 12 62 情報信号に対応した凹凸形状が形成されて
いる領域 13,39 貫通孔 14,64 ハードディスク内周位置合わせ用マーカー 32,72 ハードディスク 33,73 上フランジ 34,74 下フランジ 35a,35b,75 永久磁石 36a,36b,76 排気装置 37a,37b,77 三方弁 38a,38b,78 排気ダクト 30 Oリング 41a,41b,81 直流励磁磁界 63 凹部領域 70 弾性板 79 ボルト11, 31a, 31b, 61, 71 Master information carrier 12 62 Region in which unevenness corresponding to information signal is formed 13, 39 Through hole 14, 64 Hard disk inner peripheral position alignment marker 32, 72 Hard disk 33, 73 On Flange 34, 74 Lower flange 35a, 35b, 75 Permanent magnet 36a, 36b, 76 Exhaust device 37a, 37b, 77 Three-way valve 38a, 38b, 78 Exhaust duct 30 O-ring 41a, 41b, 81 DC excitation magnetic field 63 Recessed area 70 Elasticity Board 79 bolt
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東間 清和 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 石田 達朗 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平4−134629(JP,A) 特開 昭48−53704(JP,A) 特開 昭50−60212(JP,A) 特開 昭63−183623(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/62 - 5/86 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Seiwa Higashima 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Tatsuro Ishida 1006 Kadoma Kadoma Kadoma, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-4-134629 (JP, A) JP-A-48-53704 (JP, A) JP-A-50-60212 (JP, A) JP-A-63-183623 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 5/62-5/86
Claims (3)
りなり、情報信号に対応する凹凸形状パターンが形成さ
れた領域と、前記凹凸形状パターンが形成されていない
領域とが、周方向に所定の角度間隔で交互に設けられ、
前記凹凸形状パターンが形成されていない領域の少なく
とも一部分に複数の貫通孔が設けられたことを特徴とす
るマスター情報担体。1. A region formed of a ferromagnetic thin film and having a concavo-convex pattern corresponding to an information signal and a region where the concavo-convex pattern is not formed are formed on a surface of a disk-shaped substrate in a circumferential direction. Are provided alternately at angular intervals of
A master information carrier, wherein a plurality of through holes are provided in at least a part of a region where the uneven pattern is not formed.
りなり、情報信号に対応する凹凸形状パターンが形成さ
れた領域と、前記凹凸形状パターンが形成されていない
領域とが、周方向に所定の角度間隔で交互に設けられ、
前記凹凸形状パターンが形成されていない領域の少なく
とも一部分の表面高さが、前記凹凸形状パターンが形成
された領域の表面高さよりも低いことを特徴とするマス
ター情報担体。2. A disk-shaped substrate having a surface formed of a ferromagnetic thin film on which a concavo-convex pattern corresponding to an information signal is formed and a region on which the concavo-convex pattern is not formed is provided with a predetermined circumferential direction. Are provided alternately at angular intervals of
The uneven at least a portion the surface height of the shape pattern is not formed region, the master information carrier, wherein the low equalizer Metropolitan than the surface height of the irregularities pattern-formed region.
報担体の情報信号を記録する磁気記録媒体との位置合わ
せを行うためのマーカーが配置されていることを特徴と
する請求項1または2記載のマスター情報担体。3. The master according to claim 1, wherein a marker for positioning the master information carrier and a magnetic recording medium for recording an information signal of the master information carrier is arranged. Information carrier.
Priority Applications (26)
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| TW086110062A TW342495B (en) | 1996-07-22 | 1997-07-16 | Master information carrier, method of producing the same, and method for recording master information signal on magnetic recording medium |
| KR10-2001-7002517A KR100419262B1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Master information carrier, process for producing the carrier, and method and apparatus for recording master information signal on magnetic recording medium by using the carrier |
| KR1020017002514A KR100351096B1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Master information carrier, process for producing the carrier, and method and apparatus for recording master information signal on magnetic recording medium by using the carrier |
| EP97930855A EP0915456B1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Method for manufacturing a magnetic recording medium using a master information carrier |
| CNB021403015A CN1224006C (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Magnetic recorder, method for magnetic medium and magnetic record replay deivce |
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| CNB02140304XA CN1228766C (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Method for producing main information carrier and magnetic record medium and magnetic record replay device |
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| KR1020017002515A KR100351497B1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Master information carrier, process for producing the carrier, and method and apparatus for recording master information signal on magnetic recording medium by using the carrier |
| CN021403058A CN1216372C (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Manufacturing method of magnetic recording medium for recording master information |
| KR1020017014250A KR100351498B1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Master information carrier, process for producing the carrier, and method and apparatus for recording master information signal on magnetic recording medium by using the carrier |
| DE69739989T DE69739989D1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | METHOD OF MANUFACTURING A MAGNETIC RECORDING MEDIUM USING AN ORIGINAL INFORMATION CARRIER |
| CNB021403066A CN1224008C (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Main information carrier and its producing method, magnetic recording method magnetic record replay device |
| KR1020017002516A KR100357736B1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Master information carrier, process for producing the carrier, and method and apparatus for recording master information signal on magnetic recording medium by using the carrier |
| US09/101,590 US6347016B1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Master information carrier, process for producing the carrier, and method and apparatus for recording master information signal on magnetic recording medium by using the carrier |
| CNB971939950A CN1156823C (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Master information carrier |
| PCT/JP1997/002519 WO1998003972A1 (en) | 1996-07-22 | 1997-07-18 | Master information carrier, process for producing the carrier, and method and apparatus for recording master information signal on magnetic recording medium by using the carrier |
| IDP972541A ID17855A (en) | 1996-07-22 | 1997-07-22 | MASTER INFORMATION CARRIER, METHODS FOR MAKING THE CARRIER, METHODS AND TOOLS FOR WRITING INFORMATION INTO THE MAGNETIC RECORD MEDIUM BY USING THE CARRIER |
| MYPI97003322A MY137198A (en) | 1996-07-22 | 1997-07-22 | Master information carrier, method for producing the carrier, method and apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier |
| US10/027,871 US6590727B2 (en) | 1996-07-22 | 2001-12-21 | Master information carrier, method for producing the carrier, method and apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier |
| US10/085,503 US6606208B2 (en) | 1996-07-22 | 2002-02-26 | Master information carrier, method for producing the carrier, method and apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier |
| US10/086,236 US6587290B2 (en) | 1996-07-22 | 2002-02-26 | Master information carrier, method for producing the carrier, and method apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier |
| US10/108,029 US6567227B2 (en) | 1996-07-22 | 2002-03-26 | Master information carrier, method for producing the carrier, method and apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier |
| US10/108,032 US6606209B2 (en) | 1996-07-22 | 2002-03-26 | Master information carrier, method for producing the carrier, method and apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier |
| US10/396,674 US6961196B2 (en) | 1996-07-22 | 2003-03-25 | Master information carrier, method for producing the carrier, method and apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier |
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| JP2001243624A (en) | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method |
| MY124923A (en) | 2000-03-10 | 2006-07-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | Master medium for magnetic transfer including metal disk with relief or recess pattern |
| CN1174380C (en) | 2000-03-31 | 2004-11-03 | 松下电器产业株式会社 | Master disk and magnetic disk manufacturing method using the same |
| JP3973187B2 (en) | 2000-04-28 | 2007-09-12 | 富士フイルム株式会社 | Magnetic transfer method |
| JP2001325724A (en) | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method and magnetic recording medium |
| JP4161540B2 (en) * | 2000-06-28 | 2008-10-08 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | Magnetic transfer method for perpendicular magnetic recording medium |
| JP2002050038A (en) | 2000-08-03 | 2002-02-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method |
| JP2002056530A (en) | 2000-08-14 | 2002-02-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transferring method |
| JP2002074656A (en) | 2000-09-04 | 2002-03-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method |
| JP3963637B2 (en) | 2000-09-04 | 2007-08-22 | 富士フイルム株式会社 | Magnetic transfer method |
| JP2002163823A (en) | 2000-09-12 | 2002-06-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | Device for magnetic transfer |
| JP2002092870A (en) | 2000-09-12 | 2002-03-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method for manufacturing magnetic recording medium |
| JP3424077B2 (en) | 2000-10-25 | 2003-07-07 | 松下電器産業株式会社 | Master information carrier and method of manufacturing information recording medium using master information carrier |
| MY134099A (en) | 2000-11-28 | 2007-11-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transferring method, and method and apparatus for cleaning magnetic transfer master medium |
| KR20020062593A (en) | 2001-01-22 | 2002-07-26 | 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 | Master carrier for magnetic transfer |
| MY134132A (en) | 2001-02-01 | 2007-11-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method and apparatus |
| JP3953765B2 (en) | 2001-04-16 | 2007-08-08 | 富士フイルム株式会社 | Magnetic transfer device |
| US6850377B2 (en) * | 2001-04-25 | 2005-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Master information carrier/magnetic recording medium defect inspection method |
| KR20020086291A (en) | 2001-05-11 | 2002-11-18 | 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 | Master carrier for magnetic transfer |
| KR20020088375A (en) | 2001-05-18 | 2002-11-27 | 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 | Master carrier for magnetic transfer, magnetic transfer method and method of manufacturing master carrier for magnetic transfer |
| JP2002342923A (en) | 2001-05-18 | 2002-11-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method |
| CN1240058C (en) | 2001-05-18 | 2006-02-01 | 富士胶片株式会社 | Method for cleaning main carrier |
| JP4076056B2 (en) | 2001-05-21 | 2008-04-16 | 富士フイルム株式会社 | Magnetic transfer method |
| JP2002367166A (en) | 2001-06-08 | 2002-12-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method for high-density magnetic recording medium |
| JP2002367165A (en) | 2001-06-08 | 2002-12-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method for high-density magnetic recording medium |
| JP2002373411A (en) | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic recording medium and drive apparatus thereof |
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| KR20030001315A (en) | 2001-06-25 | 2003-01-06 | 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 | Master carrier for magnetic transfer |
| SG112852A1 (en) * | 2001-10-04 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Manufacturing method for magnetic recording medium, and master information carrier used therefor |
| KR20030043747A (en) * | 2001-11-28 | 2003-06-02 | 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 | Master carrier for magnetic transfer and magnetic transfer method |
| US6980380B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-12-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Master information carrier and method for manufacturing magnetic disk |
| EP1376548A3 (en) | 2002-06-25 | 2008-07-30 | FUJIFILM Corporation | Magnetic transfer system |
| JP2004079060A (en) | 2002-08-14 | 2004-03-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | Master carrier for magnetic transfer |
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| US7294251B2 (en) | 2003-08-19 | 2007-11-13 | Fujifilm Corporation | Process of producing master carrier for magnetic transfer |
| JP2005276292A (en) | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Master carrier for magnetic transfer, magnetic transfer method, and magnetic recording medium |
| JP2005276295A (en) | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic transfer method, magnetic transfer apparatus, and magnetic recording medium |
| EP1612838A3 (en) | 2004-06-30 | 2006-08-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd | Electron beam lithography method |
| JP2006031896A (en) | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | Amplitude servo pattern, magnetic recording medium and its manufacturing method, patterned master support for magnetic transfer used in its manufacturing method, and magnetic record reproduction device |
| JP4550504B2 (en) * | 2004-07-22 | 2010-09-22 | 株式会社日立製作所 | Manufacturing method of recording medium |
| JP2006092596A (en) | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Signal processing method for magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device |
| KR101440130B1 (en) * | 2008-05-27 | 2014-09-15 | 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 | Master recording medium with improved magnetic transfer performance |
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