JP3355460B2 - 固体アルゴンによる洗浄方法及び装置 - Google Patents
固体アルゴンによる洗浄方法及び装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微小な粒子でなる固体ア
ルゴンによって物品の表面の付着物を除去したり、洗浄
する方法と装置に関する。
ルゴンによって物品の表面の付着物を除去したり、洗浄
する方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】物品の表面に付着している汚物等を除去
して清浄化する手段としては、洗浄液を用いるのが一般
的であるが、洗浄後の処理等の問題から、微小固型物を
被洗浄面に噴射する方法が提案されている。
して清浄化する手段としては、洗浄液を用いるのが一般
的であるが、洗浄後の処理等の問題から、微小固型物を
被洗浄面に噴射する方法が提案されている。
【０００３】例えば、特開昭６１−１５７４９号公報記
載の発明は、ドライアイス粒子群を洗浄剤として被洗浄
面に衝突させて該面の付着物を除去するものである。ま
た、特開平１−２０７１８２号公報記載の発明は、半導
体ウエハの洗浄方法として、従来は超純水を被洗浄面に
噴射すると共に、ブラッシングによって行っていた不都
合を、超純水を液体窒素により微細な凍結粒子とし、該
粒子を被洗浄面に噴射して洗浄する方法を提案してい
る。
載の発明は、ドライアイス粒子群を洗浄剤として被洗浄
面に衝突させて該面の付着物を除去するものである。ま
た、特開平１−２０７１８２号公報記載の発明は、半導
体ウエハの洗浄方法として、従来は超純水を被洗浄面に
噴射すると共に、ブラッシングによって行っていた不都
合を、超純水を液体窒素により微細な凍結粒子とし、該
粒子を被洗浄面に噴射して洗浄する方法を提案してい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したドライアイス
粒子群を洗浄剤として使用する方法並びに超純水を微細
な凍結粒子とし、洗浄剤として使用する方法も、洗浄用
粒子を得るには別途寒冷源として液体窒素が使用される
が、この液体窒素は当然気化して消費される。また、ど
ちらの方法も、粒子の原料である炭酸ガスや超純水は、
処理後回収されることなく洗浄の目的のみに消費され
る。
粒子群を洗浄剤として使用する方法並びに超純水を微細
な凍結粒子とし、洗浄剤として使用する方法も、洗浄用
粒子を得るには別途寒冷源として液体窒素が使用される
が、この液体窒素は当然気化して消費される。また、ど
ちらの方法も、粒子の原料である炭酸ガスや超純水は、
処理後回収されることなく洗浄の目的のみに消費され
る。
【０００５】本発明は、上記のような事情に鑑み提案さ
れたものであり、例えば半導体工業分野等においては、
大量の窒素ガス，アルゴンガスが使用されるが、これら
消費されるガスと、洗浄工程とを有機的に結合すること
により、有利なシステムが得られることの知見に基づく
ものである。すなわち、一般に高純度の窒素及びアルゴ
ンは、深冷分離法による空気分離装置によって製造され
る。また、この種のガスの搬送は、液状とするのが有利
なことから、これら液化ガスの持つ寒冷を有効に利用す
ることは、コスト低減上必要なことである。
れたものであり、例えば半導体工業分野等においては、
大量の窒素ガス，アルゴンガスが使用されるが、これら
消費されるガスと、洗浄工程とを有機的に結合すること
により、有利なシステムが得られることの知見に基づく
ものである。すなわち、一般に高純度の窒素及びアルゴ
ンは、深冷分離法による空気分離装置によって製造され
る。また、この種のガスの搬送は、液状とするのが有利
なことから、これら液化ガスの持つ寒冷を有効に利用す
ることは、コスト低減上必要なことである。
【０００６】したがって、本発明の主な目的は、窒素，
アルゴンを液状で生産する空気分離装置を有するか、も
しくは上記ガスを大量に消費するため、液状で搬送さ
れ、貯留され、いずれもガス状で消費されるユーザーに
有効な固体アルゴンによる洗浄方法及び装置を提供する
ことにある。
アルゴンを液状で生産する空気分離装置を有するか、も
しくは上記ガスを大量に消費するため、液状で搬送さ
れ、貯留され、いずれもガス状で消費されるユーザーに
有効な固体アルゴンによる洗浄方法及び装置を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、液体アルゴンを液体窒素との熱交換により
過冷却せしめた後、減圧，噴出せしめることによって微
小固体アルゴン粒子群を生成し、生成された微小固体ア
ルゴン粒子群を噴出力によって被洗浄物の表面に吹き付
けて該表面を洗浄することを特徴とするものである。
成するため、液体アルゴンを液体窒素との熱交換により
過冷却せしめた後、減圧，噴出せしめることによって微
小固体アルゴン粒子群を生成し、生成された微小固体ア
ルゴン粒子群を噴出力によって被洗浄物の表面に吹き付
けて該表面を洗浄することを特徴とするものである。
【０００８】また、本発明は、液体アルゴン貯槽及び液
体窒素貯槽をそれぞれ設け、貯留液体アルゴン及び貯留
液体窒素をそれぞれ熱交換器に導いて熱交換させて液体
アルゴンを過冷却せしめる手段と、過冷却された液体ア
ルゴンをスパッタリング箱内で減圧噴出せしめて微小固
体アルゴン粒子群を生成させるとともに生成された微小
固体アルゴン粒子群を噴出力によって被洗浄物の表面に
吹き付け洗浄する手段とを設けたことを特徴とし、さら
に、これに、前記熱交換器を導出した窒素ガスを供給ラ
インに供給すると共に前記熱交換器を導出した液体窒素
を前記液体窒素貯槽に回収する手段と、前記スパッタリ
ング箱を導出した液体アルゴンを前記液体アルゴン貯槽
へ回収すると共にアルゴンガスの大部分を液体窒素によ
り再液化して同じく回収する手段とを設けたことを特徴
とするものである。
体窒素貯槽をそれぞれ設け、貯留液体アルゴン及び貯留
液体窒素をそれぞれ熱交換器に導いて熱交換させて液体
アルゴンを過冷却せしめる手段と、過冷却された液体ア
ルゴンをスパッタリング箱内で減圧噴出せしめて微小固
体アルゴン粒子群を生成させるとともに生成された微小
固体アルゴン粒子群を噴出力によって被洗浄物の表面に
吹き付け洗浄する手段とを設けたことを特徴とし、さら
に、これに、前記熱交換器を導出した窒素ガスを供給ラ
インに供給すると共に前記熱交換器を導出した液体窒素
を前記液体窒素貯槽に回収する手段と、前記スパッタリ
ング箱を導出した液体アルゴンを前記液体アルゴン貯槽
へ回収すると共にアルゴンガスの大部分を液体窒素によ
り再液化して同じく回収する手段とを設けたことを特徴
とするものである。
【０００９】
【作 用】本発明は、以上の如く液体窒素により液体ア
ルゴンを過冷却して、減圧噴出することにより固化した
アルゴンの微小粒子群をそのまま洗浄剤とするものであ
るから、殊に半導体分野に好適である。また、使用ガス
はほとんど回収されるので無駄なく実施できる。
ルゴンを過冷却して、減圧噴出することにより固化した
アルゴンの微小粒子群をそのまま洗浄剤とするものであ
るから、殊に半導体分野に好適である。また、使用ガス
はほとんど回収されるので無駄なく実施できる。
【００１０】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明すると、図１に
おいて、１は空気を深冷分離によって酸素，窒素，アル
ゴンに分離し、窒素，アルゴンを採取する周知の空気分
離装置である。空気分離装置１において採取された液体
窒素は、管２より液体窒素貯槽３に導入，貯留され、大
部分は、液状でローリーにより搬出され、一部は管４よ
り蒸発器５を経て気化され、管６を介して窒素ガス供給
ラインへ供給されて消費される。
おいて、１は空気を深冷分離によって酸素，窒素，アル
ゴンに分離し、窒素，アルゴンを採取する周知の空気分
離装置である。空気分離装置１において採取された液体
窒素は、管２より液体窒素貯槽３に導入，貯留され、大
部分は、液状でローリーにより搬出され、一部は管４よ
り蒸発器５を経て気化され、管６を介して窒素ガス供給
ラインへ供給されて消費される。
【００１１】また、空気分離装置１で採取された液体ア
ルゴンは、管７より液体アルゴン貯槽８に導入貯留さ
れ、大部分は前記液体窒素同様ローリーに搬出され、一
部は管９より蒸発器１０を経て気化され、管１１を介し
てアルゴンガス供給ラインへ供給されて消費される。な
お、空気分離装置１で採取される窒素ガスは、管１２よ
り導出され、所望圧力に圧縮された後、前記窒素ガス供
給ライン６を介して消費される。
ルゴンは、管７より液体アルゴン貯槽８に導入貯留さ
れ、大部分は前記液体窒素同様ローリーに搬出され、一
部は管９より蒸発器１０を経て気化され、管１１を介し
てアルゴンガス供給ラインへ供給されて消費される。な
お、空気分離装置１で採取される窒素ガスは、管１２よ
り導出され、所望圧力に圧縮された後、前記窒素ガス供
給ライン６を介して消費される。
【００１２】次に、１３は洗浄装置であり、その詳細は
図２と共に後記するが、液体アルゴン過冷却用の液体窒
素が前記液体窒素貯槽３より管１４を介して取出されて
供給される。洗浄装置１３に供給されて気液混合状態と
なった窒素は、管１５より取出され、フラッシュボトル
１６に導入されて気液分離され、窒素ガスは管１７を介
して前記窒素ガス供給ラインへ送られる。一方、フラッ
シュボトル１６で分離された液体窒素は、その底部から
管１８に取出され、管１９を経て前記液体窒素貯槽３に
回収される。
図２と共に後記するが、液体アルゴン過冷却用の液体窒
素が前記液体窒素貯槽３より管１４を介して取出されて
供給される。洗浄装置１３に供給されて気液混合状態と
なった窒素は、管１５より取出され、フラッシュボトル
１６に導入されて気液分離され、窒素ガスは管１７を介
して前記窒素ガス供給ラインへ送られる。一方、フラッ
シュボトル１６で分離された液体窒素は、その底部から
管１８に取出され、管１９を経て前記液体窒素貯槽３に
回収される。
【００１３】また、洗浄装置１３において微小粒子源と
なる液体アルゴンは、液体アルゴン貯槽８より管２０を
介して供給されるが、該洗浄装置１３において気化した
アルゴンは、管２１を介してフィルター２２に導入さ
れ、不純物を除去される。次いで、管２３より予冷器２
４を通り、再液化器２５において液体窒素により液化さ
れた後、管２６を経て前記液体アルゴン貯槽８に回収さ
れる。なお、前記再液化器２５には、液体窒素貯槽３の
液体窒素が管２７を介して供給され、アルゴンガスを凝
縮液化せしめ、気化した窒素は、管２８より前記予冷器
２４に導入されてアルゴンガスを予冷した後、管２９よ
り窒素ガス供給ライン６に合流される。
なる液体アルゴンは、液体アルゴン貯槽８より管２０を
介して供給されるが、該洗浄装置１３において気化した
アルゴンは、管２１を介してフィルター２２に導入さ
れ、不純物を除去される。次いで、管２３より予冷器２
４を通り、再液化器２５において液体窒素により液化さ
れた後、管２６を経て前記液体アルゴン貯槽８に回収さ
れる。なお、前記再液化器２５には、液体窒素貯槽３の
液体窒素が管２７を介して供給され、アルゴンガスを凝
縮液化せしめ、気化した窒素は、管２８より前記予冷器
２４に導入されてアルゴンガスを予冷した後、管２９よ
り窒素ガス供給ライン６に合流される。
【００１４】前記洗浄装置１３において洗浄作用を終
え、未だ液状のアルゴンは、管３０に導出された後、フ
ィルター３１に導入されて不純物を除去する。次いで管
３２を介してフラッシュボトル３３に導入されて気液分
離され、その内、アルゴンガスは、管３４を経てアルゴ
ンガス供給ライン１１に合流される。一方、分離された
液体アルゴンは、フラッシュボトル３３底部より管３５
に取出され、前記液体アルゴン貯槽８に回収される。
え、未だ液状のアルゴンは、管３０に導出された後、フ
ィルター３１に導入されて不純物を除去する。次いで管
３２を介してフラッシュボトル３３に導入されて気液分
離され、その内、アルゴンガスは、管３４を経てアルゴ
ンガス供給ライン１１に合流される。一方、分離された
液体アルゴンは、フラッシュボトル３３底部より管３５
に取出され、前記液体アルゴン貯槽８に回収される。
【００１５】次に、図２は、洗浄装置１３の一実施例を
示したもので、図１と同一の部分は同一符合をもって示
してある。図２において、液体アルゴン貯槽８より管２
０に導出される液体アルゴンは、複数基設けられたアル
ゴン固化用熱交換器５０のそれぞれに分岐管５１を介し
て供給される。一方、液体窒素貯槽３より管１４に導出
された液体窒素が分岐管５２を介してそれぞれアルゴン
固化用熱交換器５０に供給され、該各熱交換器５０にお
いて熱交換が行われる。この熱交換により液体アルゴン
は、より沸点の低い液体窒素によって過冷却されるが、
供給された液体窒素は、次いで導出用の各分岐管５３に
より集められ、気液混合状態で管１５に至り、前記工程
によって消費又は回収される。
示したもので、図１と同一の部分は同一符合をもって示
してある。図２において、液体アルゴン貯槽８より管２
０に導出される液体アルゴンは、複数基設けられたアル
ゴン固化用熱交換器５０のそれぞれに分岐管５１を介し
て供給される。一方、液体窒素貯槽３より管１４に導出
された液体窒素が分岐管５２を介してそれぞれアルゴン
固化用熱交換器５０に供給され、該各熱交換器５０にお
いて熱交換が行われる。この熱交換により液体アルゴン
は、より沸点の低い液体窒素によって過冷却されるが、
供給された液体窒素は、次いで導出用の各分岐管５３に
より集められ、気液混合状態で管１５に至り、前記工程
によって消費又は回収される。
【００１６】前記各熱交換器５０において過冷却された
液体アルゴンは、次いで噴出管５４を介して該管５４に
連節されたスパッタリング箱５５に至り、減圧噴射され
ることによって微小粒子状の固体アルゴンが生成され
る。スパッタリング箱５５内には、例えば入口端より出
口端へ移動するコンベア５６が設けられ、該コンベア５
６上の被洗浄物５７の表面には、移動する過程あるいは
間欠移動の静止時に、噴出管５４より噴出力によって噴
射される微小固体アルゴン粒子群が吹き付けられる。
液体アルゴンは、次いで噴出管５４を介して該管５４に
連節されたスパッタリング箱５５に至り、減圧噴射され
ることによって微小粒子状の固体アルゴンが生成され
る。スパッタリング箱５５内には、例えば入口端より出
口端へ移動するコンベア５６が設けられ、該コンベア５
６上の被洗浄物５７の表面には、移動する過程あるいは
間欠移動の静止時に、噴出管５４より噴出力によって噴
射される微小固体アルゴン粒子群が吹き付けられる。
【００１７】このようにして被洗浄物５７の表面に附着
していた汚れ、不純物等は、微小固体アルゴンが吹き付
けられることにより、その衝撃と、吹き付け後、固体ア
ルゴンが液化する際の表面張力で洗浄される。
していた汚れ、不純物等は、微小固体アルゴンが吹き付
けられることにより、その衝撃と、吹き付け後、固体ア
ルゴンが液化する際の表面張力で洗浄される。
【００１８】次に洗浄作用を終えた微小固体アルゴンの
内、気化分は、管２１より取出され、また、液化アルゴ
ンは、スパッタリング箱５５の底部より適宜の手段で集
められた後、管３０に取出され、それぞれ前記した手段
をもって消費あるいは回収される。
内、気化分は、管２１より取出され、また、液化アルゴ
ンは、スパッタリング箱５５の底部より適宜の手段で集
められた後、管３０に取出され、それぞれ前記した手段
をもって消費あるいは回収される。
【００１９】上記実施例においては、空気分離装置１と
洗浄装置１３とが併設され、該洗浄装置１３で使用され
る液体アルゴン及び液体窒素が空気分離装置１で採取さ
れているが、該分離装置１を設けていない場合でも実施
可能である。即ち、別途の空気分離装置において生産さ
れた液体アルゴンや液体窒素がローリーによって液体ア
ルゴン貯槽８及び液体窒素貯槽３に供給されることによ
って、前記実施例と同様の効果が得られる。
洗浄装置１３とが併設され、該洗浄装置１３で使用され
る液体アルゴン及び液体窒素が空気分離装置１で採取さ
れているが、該分離装置１を設けていない場合でも実施
可能である。即ち、別途の空気分離装置において生産さ
れた液体アルゴンや液体窒素がローリーによって液体ア
ルゴン貯槽８及び液体窒素貯槽３に供給されることによ
って、前記実施例と同様の効果が得られる。
【００２０】したがって、窒素ガス及びアルゴンガスを
大量に消費するユーザーは、輸送手段として、これらガ
スを液状で搬送貯蔵し、これを気化して使用するのが通
常であるから、洗浄装置と共に上記実施例にみられるガ
ス回収手段を附設することによって容易に実施できる。
大量に消費するユーザーは、輸送手段として、これらガ
スを液状で搬送貯蔵し、これを気化して使用するのが通
常であるから、洗浄装置と共に上記実施例にみられるガ
ス回収手段を附設することによって容易に実施できる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、洗浄剤として固体アルゴン粒
子を使用するものであるから、殊に半導体基板等の活性
化を嫌う物品の洗浄に好適である。また、微小粒子の衝
突のみならず固体アルゴンが液化する際の表面張力作用
と相俟って洗浄効果が高い。
子を使用するものであるから、殊に半導体基板等の活性
化を嫌う物品の洗浄に好適である。また、微小粒子の衝
突のみならず固体アルゴンが液化する際の表面張力作用
と相俟って洗浄効果が高い。
【００２２】さらに、洗浄に使用されるアルゴンガス及
び寒冷源である窒素ガスは、共に回収されるので無駄が
ない効果を有する。
び寒冷源である窒素ガスは、共に回収されるので無駄が
ない効果を有する。
【図１】 本発明の一実施例を示す系統図である。
【図２】 本発明の洗浄装置の一実施例を示す概略図で
ある。
ある。
１…空気分離装置、３…液体窒素貯槽、５，１０…蒸発
器、８…液体アルゴン貯槽、１３…洗浄装置、１６，３
３…フラッシュボトル、２２，３１…フィルター、２４
…予冷器、２５…再液化器、５０…アルゴン固化用熱交
換器、５４…噴出管、５５…スパッタリング箱、５６…
コンベア、５７…被洗浄物
器、８…液体アルゴン貯槽、１３…洗浄装置、１６，３
３…フラッシュボトル、２２，３１…フィルター、２４
…予冷器、２５…再液化器、５０…アルゴン固化用熱交
換器、５４…噴出管、５５…スパッタリング箱、５６…
コンベア、５７…被洗浄物
Claims (3)
- 【請求項１】 液体アルゴンを液体窒素との熱交換によ
り過冷却せしめた後、減圧，噴出せしめることによって
微小固体アルゴン粒子群を生成し、生成された微小固体
アルゴン粒子群を噴出力によって被洗浄物の表面に吹き
付けて該表面を洗浄することを特徴とする固体アルゴン
による洗浄方法。 - 【請求項２】 液体アルゴン貯槽及び液体窒素貯槽をそ
れぞれ設け、貯留液体アルゴン及び貯留液体窒素をそれ
ぞれ熱交換器に導いて熱交換させて液体アルゴンを過冷
却せしめる手段と、過冷却された液体アルゴンをスパッ
タリング箱内で減圧噴出せしめて微小固体アルゴン粒子
群を生成させるとともに生成された微小固体アルゴン粒
子群を噴出力によって被洗浄物の表面に吹き付け洗浄す
る手段とを設けたことを特徴とする固体アルゴンによる
洗浄装置。 - 【請求項３】 前記熱交換器を導出した窒素ガスを供給
ラインに供給すると共に前記熱交換器を導出した液体窒
素を前記液体窒素貯槽に回収する手段と、前記スパッタ
リング箱を導出した液体アルゴンを前記液体アルゴン貯
槽へ回収すると共にアルゴンガスの大部分を液体窒素に
より再液化して同じく回収する手段とを設けたことを特
徴とする請求項２記載の固体アルゴンによる洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28831392A JP3355460B2 (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 固体アルゴンによる洗浄方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28831392A JP3355460B2 (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 固体アルゴンによる洗浄方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06134673A JPH06134673A (ja) | 1994-05-17 |
| JP3355460B2 true JP3355460B2 (ja) | 2002-12-09 |
Family
ID=17728566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28831392A Expired - Fee Related JP3355460B2 (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 固体アルゴンによる洗浄方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3355460B2 (ja) |
-
1992
- 1992-10-27 JP JP28831392A patent/JP3355460B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06134673A (ja) | 1994-05-17 |
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