JP3358313B2 - Lead frame manufacturing method - Google Patents
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- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームの製造
方法に係わり、特に、板厚の薄い多ピンのリードフレー
ムにおける、インナーリードまたはアウターリードの少
なくとも一方に絶縁樹脂のダムバーを有するリードフレ
ームの製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame manufacturing method, and more particularly, to a lead frame having a thin multi-pin lead frame having an insulating resin dam bar on at least one of an inner lead and an outer lead. It relates to a manufacturing method.
【0002】[0002]
【従来の技術】リードフレームの製造工程の一例の説明
を簡単に行う。まず、リードフレームとなる金属板表面
の脱脂、整面処理を行う。次いで、、金属板の両面に、
例えば、ポリビニルアルコールおよび重クロム酸アンモ
ニウムからなる水溶性のネガ型感光性樹脂を塗布する。
次いで、リードフレームのパターンとなる部分を光透過
部とし、リードフレームのパターン部以外を遮光部とし
たマスクを二枚用い、金属板の片面に一枚のマスクを当
て、金属板の他方の片面の相対する位置にもう一枚のマ
スクを当て、両面より紫外線露光を行い、リードフレー
ムのパターンとなる部分の感光性樹脂の光硬化を行う。2. Description of the Related Art An example of a lead frame manufacturing process will be briefly described. First, the surface of the metal plate serving as a lead frame is degreased and leveled. Then, on both sides of the metal plate,
For example, a water-soluble negative photosensitive resin composed of polyvinyl alcohol and ammonium bichromate is applied.
Then, using two masks each having a light transmitting portion for a portion to be a pattern of the lead frame and a light shielding portion other than the pattern portion of the lead frame, applying one mask to one surface of the metal plate and applying the other mask to the other surface of the metal plate Then, another mask is applied to the position opposite to the above, and ultraviolet light is exposed from both sides, and photo-curing of the photosensitive resin in a portion to be a pattern of the lead frame is performed.
【0003】次いで、現像を行うことにより、未硬化部
の感光性樹脂すなわち、リードフレームのパターンとな
る部分以外の感光性樹脂の除去を行う。次いで、エッチ
ング液を用い金属板のエッチングを両側から行い、リー
ドフレームのパターンとなる部分以外の金属板をエッチ
ング除去し、リードフレームのパターンとなる部分以外
を貫通させ、リードフレームのパターンとなる部分を残
す。次いで、感光性樹脂の剥膜を行う。次いで、公知の
方法、例えば、メッキ液を噴射する等の方法によりイン
ナーリードの先端部に部分貴金属メッキ処理を行い、金
属板を必要な形に打ち抜きを行いリードフレームとす
る。Next, by performing development, the photosensitive resin in the uncured portion, that is, the photosensitive resin other than the portion that becomes the pattern of the lead frame is removed. Next, the etching of the metal plate is performed from both sides using an etchant, and the metal plate other than the portion to be the pattern of the lead frame is removed by etching. Leave. Next, the photosensitive resin is stripped. Subsequently, the tip of the inner lead is partially precious metal-plated by a known method, for example, by spraying a plating solution, and the metal plate is punched into a required shape to obtain a lead frame.
【0004】次いで、半導体IC用のリードフレームに
おいては、リードフレーム上にICチップを載せ、IC
チップとリードフレームをワイヤーボンディングした
後、絶縁樹脂によるモールドを行う。そのため、リード
フレームに樹脂をモールドした際に、アウターリードの
間隙から絶縁樹脂が流出することを防止するため、図3
に示すようにリードフレームにはアウターリード3を横
切る形で土手(以下、ダムバーと記す)を付加してい
る。次いでこの図3中のダムバー1は、アウターリード
3同志を連結しておりこのまま使用するとアウターリー
ド3同志が同電位となりショートしてしまうため、絶縁
樹脂のモールド後にダムバー1は打ち抜き用金型などを
用い切断除去されている。Next, in a lead frame for a semiconductor IC, an IC chip is mounted on the lead frame, and the IC chip is mounted on the lead frame.
After wire bonding the chip and the lead frame, molding with an insulating resin is performed. Therefore, in order to prevent the insulating resin from flowing out from the gap between the outer leads when the resin is molded into the lead frame, FIG.
As shown in (1), a bank (hereinafter, referred to as a dam bar) is added to the lead frame so as to cross the outer lead 3. Next, the dam bar 1 in FIG. 3 connects the outer leads 3 and if used as it is, the outer leads 3 have the same potential and short-circuit. Therefore, after the insulating resin is molded, the dam bar 1 is formed by a punching die or the like. It has been cut and removed.
【0005】しかし、近年、リードフレームは板厚が薄
くかつ、多ピン化の傾向にある。例えば、セラミックス
パッケージ用のレイヤーと呼称されるリードフレームに
おいては、パッケージサイズが大きく、また、ピン数も
200ピンから300ピン以上になり、かつ板厚も10
0μm〜150μmと非常に薄くなっている。そのた
め、アウターリード間のピッチも狭小となり、打ち抜き
用金型を用いたダムバーの切断除去は非常に困難になっ
て来ている。However, in recent years, lead frames have a tendency to be thinner and have more pins. For example, in a lead frame called a layer for a ceramic package, the package size is large, the number of pins is increased from 200 pins to 300 pins or more, and the plate thickness is 10
It is very thin, from 0 μm to 150 μm. For this reason, the pitch between the outer leads has become narrower, and it has become very difficult to cut and remove the dam bar using a punching die.
【0006】また、前述したようにインナーリードの先
端部に施す部分貴金属メッキ処理は、通常、貴金属メッ
キ液をインナーリードの先端部に噴射する方法により行
われている。そのため、貴金属メッキ処理時にはリード
フレーム上の貴金属メッキを施す面にマスキング用治具
を密着して当てたうえで、貴金属メッキ液をインナーリ
ードの先端部に噴射しメッキを行っている。[0006] As described above, the partial noble metal plating treatment to be applied to the tip of the inner lead is usually performed by spraying a noble metal plating solution to the tip of the inner lead. Therefore, at the time of precious metal plating, a masking jig is brought into close contact with the surface of the lead frame on which precious metal plating is to be performed, and then plating is performed by spraying a precious metal plating solution onto the tip of the inner lead.
【0007】しかし、この場合、マスキング用治具を用
いることでリードフレーム上面の不必要部分へのメッキ
被膜の形成は防げるが、貴金属メッキ液がインナーリー
ド側面にもれ、メッキ液が側面に回り込むことによるイ
ンナーリード側面への不用なメッキ被膜の形成を防ぐこ
とは困難であった。However, in this case, the use of a masking jig prevents the formation of a plating film on an unnecessary portion of the upper surface of the lead frame, but the noble metal plating solution leaks to the side surfaces of the inner leads, and the plating solution flows around the side surfaces. It was difficult to prevent the formation of unnecessary plating films on the side surfaces of the inner leads.
【0008】そのため、インナーリード側面への不用な
メッキ液のもれが過度になり、例えば、アウターリード
付近まで不用な側面のメッキ被膜が形成された場合、絶
縁樹脂のモールドの際に、樹脂とリードフレームの密着
不良を生じ、その結果、ICパッケージとしての耐久性
に問題を生じることがあった。[0008] Therefore, unnecessary plating solution leaks excessively to the side surfaces of the inner leads. For example, when an unnecessary side plating film is formed near the outer leads, the resin and the resin may be removed when molding the insulating resin. Poor adhesion of the lead frame occurs, and as a result, a problem may occur in the durability of the IC package.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、板厚
が薄い多ピンのリードフレームにおいて、ダムバーを絶
縁樹脂で形成するリードフレームの製造方法を提供する
ことにより、上記したような問題を有しないリードフレ
ームを得ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a lead frame in which a dam bar is formed of an insulating resin in a multi-pin lead frame having a small thickness. An object of the present invention is to obtain a lead frame that does not have a lead frame.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、ア
ウターリードまたはインナーリードの少なくとも一方
に、絶縁樹脂製のダムバーを有するリードフレームの製
造方法において、ダムバーに相当する形状に凹部を有
し、かつダムバーの無いリードフレームの形状に凹部を
有する凹型部に、ダムバーの無いリードフレームを挿入
し、前記ダムバーに相当する形状の該凹部にスキージで
かきならすことにより絶縁樹脂を充填し、光もしくは紫
外線により充填した樹脂を硬化させることを特徴とする
リードフレームの製造方法を提供することにより上記の
課題を解決しようとするものである。That is, the present invention provides a method for manufacturing a lead frame having a dam bar made of an insulating resin on at least one of an outer lead and an inner lead. In addition, a lead frame without a dam bar is inserted into a concave portion having a concave portion in the shape of a lead frame without a dam bar, and an insulating resin is filled by squeegeeing the concave portion having a shape corresponding to the dam bar, thereby filling light or ultraviolet light. It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problem by providing a method for manufacturing a lead frame, which comprises curing a resin filled by the method.
【0011】[0011]
【作用】本発明により、リードフレームのアウターリー
ドに絶縁樹脂を用いたダムバーを付すことにより、金属
製のダムバーで行っていた金型などを用いた金属製ダム
バーの切断除去作業を行う必要は無くなる。次いで、イ
ンナーリードに絶縁樹脂を用いた連結部(以下便宜的
に、インナーリード用ダムバーと記す)を付した場合、
貴金属メッキの際、噴射した貴金属メッキ液がインナー
リード側面にもれることを防止できる。また、多ピン化
で極細となったインナーリードの先端を樹脂で固定する
ことになるため、製造工程途中でのインナーリードのバ
ラつきを抑えることができ、製造途中の外圧振動や搬送
ローラー巻き込みによるインナーリードの変形不良の防
止ができる。According to the present invention, by attaching a dam bar using an insulating resin to the outer lead of a lead frame, it is no longer necessary to cut and remove a metal dam bar using a mold or the like, which has been performed with a metal dam bar. . Next, when a connecting portion using an insulating resin is attached to the inner lead (hereinafter referred to as a dam bar for inner lead for convenience),
During precious metal plating, the sprayed precious metal plating solution can be prevented from leaking to the side surfaces of the inner leads. In addition, since the tip of the inner lead, which has become ultra-fine due to the increase in the number of pins, is fixed with resin, it is possible to suppress the variation of the inner lead during the manufacturing process, Deformation defects of the lead can be prevented.
【0012】また、本発明では、凹型部に絶縁樹脂を充
填する際、スキージを用いてかきならすことでリード部
に施された余分な樹脂のかきとりを行うことができる。
そのため、リードフレーム上の余分な箇所に絶縁樹脂が
付着し残ることがなく、余分な樹脂付着を原因とするメ
ッキ不良やボンディング不良を防止できる。Further, in the present invention, when filling the concave portion with the insulating resin, the excess resin applied to the lead portion can be scraped by stroking with a squeegee.
Therefore, the insulating resin does not adhere to and remain in an extra portion on the lead frame, and a plating defect and a bonding defect due to the extra resin adhesion can be prevented.
【0013】さらに、本発明では、ダムバーを形成する
絶縁樹脂として光もしくは紫外線硬化型樹脂を用いれ
ば、凹型部に充填した樹脂の硬化処理は光もしくは紫外
線光を照射することにより短時間でできる。Further, in the present invention, if a light or ultraviolet curable resin is used as the insulating resin for forming the dam bar, the resin filled in the concave portion can be cured in a short time by irradiating the resin with light or ultraviolet light.
【0014】[0014]
【実施例】本発明の実施例を図を用い説明を行う。な
お、以下の図1は本発明の実施例の説明を行うため、リ
ードフレームのインナーリードおよびアウターリードの
一部分のみを略して記している。An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In FIG. 1 described below, only a part of the inner lead and the outer lead of the lead frame is omitted for the purpose of describing the embodiment of the present invention.
【0015】まず、図1(a)に示すように、型取り用
のリードフレーム10を作成する。この型取り用のリー
ドフレーム10では、アウターリード3部に、樹脂モー
ルドの際の樹脂流出防止用のダムバー1を設け、ダムバ
ー1にてアウターリード3同志をつなげている。また、
インナーリード4部の貴金属メッキエリア5に施すメッ
キ液噴射の際に、インナーリード4側面へのメッキ液の
もれを防止するためにインナーリード用ダムバー2をイ
ンナーリード4部の貴金属メッキエリア5の境界部に設
け、インナーリード用ダムバー2にてインナーリード4
同志をつなげている。First, as shown in FIG. 1A, a lead frame 10 for molding is prepared. In the lead frame 10 for molding, a dam bar 1 for preventing resin outflow at the time of resin molding is provided in the outer lead 3 portion, and the outer lead 3 is connected by the dam bar 1. Also,
When the plating solution is sprayed on the noble metal plating area 5 of the inner lead 4 part, the dam bar 2 for the inner lead is moved to the noble metal plating area 5 of the inner lead 4 part in order to prevent the plating solution from leaking to the side surface of the inner lead 4. Provided at the boundary, and inner dam 4 with inner dam 4
Connected comrades.
【0016】次いで、上記の型取り用リードフレーム1
0を、図1(b)に示すように、例えば、シリコン樹脂
等に埋め込み、その後、型取り用リードフレーム10を
シリコン樹脂から取り除く。その結果、型取り用リード
フレーム10の型が凹部として残った凹型として、雌型
6を得る。Next, the above-mentioned lead frame for molding 1
1 is buried in, for example, a silicone resin or the like, as shown in FIG. 1B, and then, the lead frame 10 for molding is removed from the silicone resin. As a result, the female mold 6 is obtained as a concave mold in which the mold of the molding lead frame 10 remains as a concave.
【0017】次いで、ダムバー1および、インナーリー
ド用ダムバー2が無く、それ以外は上記の型取り用リー
ドフレーム10と同一形状となっている、最終的に製品
として得るためのリードフレーム8を、上記の雌型6に
はめ込む。この状態において雌型6では、ダムバー1お
よび、インナーリード用ダムバー2の部分が凹部として
残っている。Next, the lead frame 8, which has neither the dam bar 1 nor the inner lead dam bar 2 but has the same shape as the above-mentioned molding lead frame 10 except for the above, is finally obtained as a product. Into the female mold 6. In this state, in the female die 6, the dam bar 1 and the inner lead dam bar 2 are left as concave portions.
【0018】次いで図1(c)に示すように、雌型6に
リードフレーム8をはめ込んだまま、雌型上のダムバー
1および、インナーリード用ダムバー2の部分にあたる
凹部に、例えば、紫外線硬化型のエポキシ系樹脂等の、
絶縁性を持つ光もしくは紫外線硬化型樹脂7を充填す
る。Next, as shown in FIG. 1 (c), while the lead frame 8 is being fitted into the female mold 6, the dam bar 1 on the female mold and the concave portion corresponding to the inner lead dam bar 2 are, for example, UV-curable. Epoxy resin, etc.
Light or ultraviolet curable resin 7 having an insulating property is filled.
【0019】次いで、図1(d)に示すように、雌型6
およびリードフレーム8上をスキージ9でかきならすこ
とにより、凹部への樹脂7の充填を密にするとともに、
リードフレーム8上に付いた余分な樹脂のかき取りを行
う。Next, as shown in FIG.
And by squeezing the lead frame 8 with a squeegee 9 to densely fill the concave portion with the resin 7,
Excess resin on the lead frame 8 is scraped off.
【0020】次いで、光もしくは紫外線を照射すること
により、上記の凹部に充填した樹脂7の硬化を行う。次
いで、雌型6から樹脂7の付いたリードフレーム8を取
り出すことで図2に示す、絶縁樹脂製のダムバー1およ
びインナーリード用ダムバー2の付いたリードフレーム
を得る。次いで、このリードフレームに対し、公知の方
法により貴金属メッキおよび樹脂モールド等の製造工程
を行いICパッケージを得る。Next, the resin 7 filled in the concave portion is cured by irradiating light or ultraviolet light. Next, by taking out the lead frame 8 with the resin 7 from the female mold 6, a lead frame with a dam bar 1 made of insulating resin and a dam bar 2 for inner leads shown in FIG. 2 is obtained. Next, a manufacturing process such as precious metal plating and resin molding is performed on the lead frame by a known method to obtain an IC package.
【0021】なお、上記の実施例では凹部に樹脂7を充
填後、スキージ9で余分な樹脂のかき取りを行っている
が、スキージ9を用いることで凹部への樹脂の充填を行
いつつ、余分な樹脂のかき取りをするという、両工程を
同時に行っても構わない。また、上記の実施例では、リ
ードフレーム8にダムバー1とインナーリード用ダムバ
ー2の両方を形成しているが、必要に応じ、どちらか一
方の形成でも構わない。In the above embodiment, after the concave portion is filled with the resin 7, excess resin is scraped off with the squeegee 9. Both steps, that is, scraping of a suitable resin, may be performed simultaneously. Further, in the above embodiment, both the dam bar 1 and the inner lead dam bar 2 are formed on the lead frame 8, but either one of them may be formed if necessary.
【0022】[0022]
【発明の効果】本発明により、リードフレームのアウタ
ーリードに絶縁樹脂を用いたダムバーを付すことによ
り、金属製のダムバーで行っていた打ち抜き用金型など
を用いた金属製ダムバーの切断除去作業を行う必要が無
くなるため、従来の打ち抜き用金型を用いたダムバーの
切断除去で生じていた極細のアウターリードの変形不良
を防止でき、また、生産効率の向上にもつながる。次い
で、インナーリードに絶縁樹脂を用いたインナーリード
用ダムバーを付した場合、貴金属メッキの際、噴射した
貴金属メッキ液がインナーリード側面にもれることを防
止でき、樹脂モールド不良によるICパッケージの耐久
性の低下を防止できる。また、多ピン化で極細となった
インナーリードの先端を樹脂で固定することになるた
め、製造工程途中でのインナーリードのバラつきを抑え
ることができ、製造途中の外圧振動や搬送ローラー巻き
込みによるインナーリードの変形不良の防止ができる。According to the present invention, by attaching a dam bar using an insulating resin to the outer lead of the lead frame, the metal dam bar can be cut and removed using a punching die or the like, which has been performed with a metal dam bar. This eliminates the necessity of performing such a process, so that it is possible to prevent defective deformation of the extra-fine outer lead caused by cutting and removing the dam bar using a conventional die for punching, and to improve production efficiency. Next, when a dam bar for inner leads using insulating resin is attached to the inner leads, the noble metal plating solution sprayed during noble metal plating can be prevented from leaking to the side of the inner leads, and the durability of the IC package due to resin molding failure Can be prevented from decreasing. In addition, since the tip of the inner lead, which has become ultra-fine due to the increase in the number of pins, is fixed with resin, it is possible to suppress variations in the inner lead during the manufacturing process, and due to external pressure vibration during manufacturing and the inner roller caused by entanglement of the transport roller. Deformation defects of the lead can be prevented.
【0023】また、本発明では、凹型部に絶縁樹脂を充
填する際、スキージを用いてかきならすことで余分な樹
脂のかきとりを行っている。そのため、リードフレーム
上の余分な箇所に絶縁樹脂が付着し残ることがなく、余
分な樹脂付着を原因とするメッキ不良やボンディング不
良を防止できる。In the present invention, when filling the concave portion with the insulating resin, the excess resin is scraped by stroking with a squeegee. Therefore, the insulating resin does not adhere to and remain in an extra portion on the lead frame, and a plating defect and a bonding defect due to the extra resin adhesion can be prevented.
【0024】さらに、本発明では、ダムバーを形成する
絶縁樹脂として光もしくは紫外線硬化型樹脂を用いれ
ば、凹型部に充填した樹脂の硬化処理は光もしくは紫外
線光を照射することにより短時間でできる等、本発明は
多ピンのリードフレームを製造する上で実用上優れてい
るといえる。Furthermore, in the present invention, if a light or ultraviolet curable resin is used as the insulating resin forming the dam bar, the curing of the resin filled in the concave portion can be performed in a short time by irradiating light or ultraviolet light. It can be said that the present invention is practically excellent in manufacturing a multi-pin lead frame.
【0025】[0025]
【図1】(a)〜(d)は本発明の絶縁樹脂製ダムバー
を付したリードフレームの製造方法の実施例を工程順に
示す斜視説明図。FIGS. 1A to 1D are perspective explanatory views showing an embodiment of a method of manufacturing a lead frame provided with an insulating resin dam bar according to the present invention in the order of steps.
【図2】本発明の絶縁樹脂製ダムバーを付したリードフ
レームの一実施例を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing one embodiment of a lead frame provided with an insulating resin dam bar of the present invention.
【図3】従来のダムバーを付したリードフレームの一例
を示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing an example of a conventional lead frame provided with a dam bar.
1 ダムバー 2 インナーリード用ダムバー 3 アウターリード 4 インナリード 5 メッキエリア 6 雌型 7 絶縁樹脂 8 リードフレーム 9 スキージ 10 型取り用リードフレーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dam bar 2 Dam bar for inner lead 3 Outer lead 4 Inner lead 5 Plating area 6 Female type 7 Insulating resin 8 Lead frame 9 Squeegee 10 Lead frame for molding
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/50 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 23/50
Claims (3)
なくとも一方に、絶縁樹脂製のダムバーを有するリード
フレームの製造方法において、ダムバーに相当する形状
に凹部を有し、かつダムバーの無いリードフレームの形
状に凹部を有する凹型部に、ダムバーの無いリードフレ
ームを挿入し、前記ダムバーに相当する形状の凹部に絶
縁樹脂を充填し、硬化させることを特徴とするリードフ
レームの製造方法。1. A method for manufacturing a lead frame having a dam bar made of an insulating resin on at least one of an outer lead and an inner lead, wherein the recess has a shape corresponding to the dam bar, and has a recess having no dam bar. A lead frame without a dam bar is inserted into a concave portion having a shape, and a concave portion having a shape corresponding to the dam bar is filled with an insulating resin and cured.
ある請求項1記載のリードフレームの製造方法。2. The method according to claim 1, wherein the insulating resin is a light or ultraviolet curable resin.
に施したあと、スキージでかきならすことにより該凹部
に充填する請求項1または請求項2記載のリードフレー
ムの製造方法。3. The method for manufacturing a lead frame according to claim 1, wherein the insulating resin is applied to the concave portion having a shape corresponding to the dam bar, and then the concave portion is filled with the squeegee.
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| JP20050294A JP3358313B2 (en) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | Lead frame manufacturing method |
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| JPH0864751A JPH0864751A (en) | 1996-03-08 |
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1994
- 1994-08-25 JP JP20050294A patent/JP3358313B2/en not_active Expired - Fee Related
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