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JP3360106B2 - Deflection color filter materials - Google Patents
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JP3360106B2 - Deflection color filter materials - Google Patents

Deflection color filter materials

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JP3360106B2
JP3360106B2 JP2000054253A JP2000054253A JP3360106B2 JP 3360106 B2 JP3360106 B2 JP 3360106B2 JP 2000054253 A JP2000054253 A JP 2000054253A JP 2000054253 A JP2000054253 A JP 2000054253A JP 3360106 B2 JP3360106 B2 JP 3360106B2
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transmittance
substrate
color filter
thin film
vacuum
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俊英 鎌田
隆徳 田野
洋史 牛島
健仁 小笹
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光の入射角度に依
存してある特定波長の光の透過率が変化する偏向カラー
フィルター用材料と、該材料を用いる偏向カラーフィル
ター(二色性カラーフィルター)及びその製造方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deflecting color filter material in which the transmittance of light of a specific wavelength changes depending on the incident angle of light, a deflecting color filter using the material (a dichroic color filter). ) And its manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーフィルターは、ある特定の波長の
光だけを吸収したり透過させたりすることによって、光
源から出てきた光の中の必要な波長だけを抽出するもの
であり、カラーディスプレイ等の表示素子に用いられる
とともに、光情報処理等のオプトエレクトロニクス分野
において不可欠なものとして注目され、現在活発に研究
開発が行われている。
2. Description of the Related Art A color filter extracts only a necessary wavelength from light emitted from a light source by absorbing or transmitting only light of a specific wavelength, and is used for a color display or the like. , And is attracting attention as an indispensable element in the field of optoelectronics such as optical information processing, and is currently being actively researched and developed.

【0003】従来、カラーフィルターとしては、金属や
誘電体などのイオンやコロイドなどを分散させたガラス
材料が高い特性を発現するものとして知られている。し
かしながら、これらのガラス等の無機化合物フィルター
では、見る角度によって透過率が異なるという偏向依存
性を発揮させることが困難であることから、3次元ディ
スプレイ等の視野角依存性が要求される素子において
は、必ずしも適切な材料とはならない。そこで、最近で
は、光の吸収に異方性を出しやすい有機化合物に注目が
集まり、偏向カラーフィルター用の色素の開発が精力的
に進められている。
Heretofore, as a color filter, a glass material in which ions such as metals and dielectrics or colloids are dispersed has been known to exhibit high characteristics. However, with inorganic compound filters such as glass, it is difficult to exhibit the polarization dependence that the transmittance varies depending on the viewing angle, so in an element that requires viewing angle dependence such as a three-dimensional display. However, this is not always the appropriate material. Therefore, recently, attention has been focused on organic compounds that easily cause anisotropy in light absorption, and the development of dyes for polarizing color filters has been vigorously pursued.

【0004】有機化合物の中にあっては、ローダミンや
メチレンブルーが光学色素として開発されてきたが、こ
れらの色素は、カラーフィルター材料とするには、大面
積結晶を製造するのが困難であり、また結晶を作製した
としても、その中で強い光吸収を示す吸収帯が異方性を
もたらすような結晶構造をとるようにすることは容易で
はない。膜化しようとしても、単体で光散乱のない均質
光学薄膜を作成するのは容易ではなく、通常は高分子な
どのマトリックス中に分散させて製膜化しなければなら
ない。このため、固体中における分子配向制御が困難と
なってしまう。さらに、充分な熱安定性が無いために、
レーザー光などの強い光に対してはもろく、使用寿命も
短いという欠点を有している。
[0004] Among organic compounds, rhodamine and methylene blue have been developed as optical dyes, but these dyes are difficult to produce large-area crystals for use as color filter materials. Even if a crystal is produced, it is not easy to take a crystal structure in which an absorption band exhibiting strong light absorption brings anisotropy. Even if it is attempted to form a film, it is not easy to prepare a homogeneous optical thin film without light scattering by itself, and it is usually necessary to form a film by dispersing it in a matrix such as a polymer. For this reason, it becomes difficult to control the molecular orientation in the solid. Furthermore, due to lack of sufficient thermal stability,
It has the drawback that it is fragile against strong light such as laser light and has a short service life.

【0005】有機化合物の強い光吸収を示す吸収帯が異
方性をもつような結晶構造制御手法、すなわち分子配向
制御技術としては、水面上に展開した有機単分子膜を固
体基板上にすくい上げ、それを累積していくラングミュ
アーブロジェット法が良く知られている。この手法を用
いると、分子の配向制御は容易となる。しかし、水面上
で単分子膜を形成する必要性があることから、分子中に
長鎖アルキル鎖を付けなければならないという分子設計
上の制約を受けること、単分子膜を1層づついちいちす
くい取らなければならないことから、製造するのに非常
に手間を要すること、光の透過率を調整するために必要
な厚膜を作成すると光学薄膜の質が劣化し、光散乱の元
となる欠陥が多く発生しやすい等の欠点を有している。
[0005] As a crystal structure control technique in which an absorption band showing strong light absorption of an organic compound has anisotropy, that is, a molecular orientation control technique, an organic monomolecular film developed on a water surface is scooped up on a solid substrate. The Langmuir-Blodgett method that accumulates it is well known. By using this method, the orientation of molecules can be easily controlled. However, since it is necessary to form a monolayer on the water surface, there is a restriction in the molecular design that a long alkyl chain must be attached to the molecule, and the monolayer is skimmed one by one. Since it must be done, it takes a lot of trouble to manufacture, and when a thick film required to adjust the light transmittance is created, the quality of the optical thin film deteriorates and many defects that cause light scattering It has disadvantages such as easy occurrence.

【0006】上記の問題点から、現在視野角異方性をも
たし得る新規カラーフィルター用色素としては、有機金
属錯体に大きな期待が寄せられている。有機金属錯体
は、化合物中に金属−金属間相互作用、金属−有機配位
子間相互作用、配位子−配位子間相互作用と多種の相互
作用を持ち、それによる強い吸収を持ちうることが知ら
れている。また、ある種のものは金属と配位子との強い
配位結合のため、熱安定性が極めて高くなり、高い耐久
性が得られることなども知られている。さらに近年は、
非線形光学材料等の光機能材料としてや、導電性材料や
磁性材料等としても注目を集めており、その潜在能力は
高く今後ますます需要が見込まれる材料である。
[0006] From the above problems, organometallic complexes have been highly expected as dyes for new color filters which can have viewing angle anisotropy at present. Organometallic complexes have various kinds of interactions with compounds, such as metal-metal interaction, metal-organic ligand interaction, ligand-ligand interaction, and can have strong absorption due to them. It is known. It is also known that certain types have extremely high thermal stability due to a strong coordination bond between a metal and a ligand, and high durability can be obtained. More recently,
Attention has also been focused on optical functional materials such as nonlinear optical materials and the like, as conductive materials and magnetic materials, and their potential is high and demand is expected to increase in the future.

【0007】現在、有機金属錯体の中で、耐久性が高
く、大面積高品質薄膜が容易に作成できる色素として
は、金属フタロシアニンが知られている。この化合物
は、中心金属を変えることにより、数種の色を発揮する
ことが可能であり、また真空蒸着法における製膜条件を
制御することで、分子配向を制御することも可能であ
る。しかし、中心金属を替えてフルカラー対応にまです
ることは困難であることと、透過率を制御するための強
い吸収帯の分子配向による異方性があまり顕著でなく、
視野角依存性をもたらすには必ずしも有利ではないこ
と、さらにこれらの化合物は合成が容易ではなく、また
高価で入手が容易ではない等という欠点を有している。
At present, among organic metal complexes, metal phthalocyanine is known as a dye having high durability and capable of easily forming a large-area, high-quality thin film. This compound can exhibit several colors by changing the central metal, and it is also possible to control the molecular orientation by controlling the film forming conditions in the vacuum evaporation method. However, it is difficult to change to the central metal to achieve full color, and the anisotropy due to the molecular orientation of the strong absorption band for controlling the transmittance is not very noticeable.
These compounds are not necessarily advantageous for providing viewing angle dependence, and further have the drawbacks that these compounds are not easy to synthesize, expensive and not easily available.

【0008】一方、数種の平面型有機金属錯体は公知の
化合物であり、これまでに導電性や非線形光学特性など
の検討がなされている。また、中心金属や、配位子を替
えることによって、様々な色を呈することが可能である
ことから、顔料などとしての適応も試みられている。し
かしながら、通常これらの化合物は、製膜に際して通常
条件下では基板に結晶の格子定数が一致するアルカリハ
ライドなどの劈開面を用いた場合にのみ、膜中の分子配
向制御が出来ることが知られており、格子面を持たない
アモルファス状態のガラス基板上などに異方性をもたせ
て製膜した例はなく、その偏向カラーフィルター材料と
しての可能性については全く知られていない。カラーフ
ィルターを作成するにあたっては、アルカリハライド等
の吸湿性のある物質をその支持基板に利用すると、耐久
性が確保できないという大きな欠点を有してしまうこと
から、通常はカラーフィルターを製造するにあたって
は、大気中での安定性に長けた石英等のガラス基板上に
色素を塗布、製膜することが要求されている。
On the other hand, several types of planar organometallic complexes are known compounds, and their conductivity and nonlinear optical properties have been studied so far. In addition, since various colors can be exhibited by changing the central metal and the ligand, application as a pigment or the like has been attempted. However, it is generally known that these compounds can control the molecular orientation in the film only when using a cleavage plane of an alkali halide or the like in which the lattice constant of the crystal coincides with the substrate under the normal conditions during film formation. There is no example in which a film is formed with anisotropy on an amorphous glass substrate having no lattice plane, and there is no known possibility of using the film as a deflection color filter material. When making a color filter, the use of a hygroscopic substance such as an alkali halide for the supporting substrate has a major drawback that durability cannot be ensured. There is a demand for coating and forming a dye on a glass substrate made of quartz or the like which has excellent stability in the atmosphere.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】偏向カラーフィルター
を実用化するに当たっては、垂直入射光の透過率と水平
入射光の透過率比が大きいこと、多様な吸収波長帯の抽
出に適応できること、散乱光がない透明薄膜材料となり
うること、大気中で安定でありなおかつ熱的にも安定で
あること、入射光に対して損傷を受けない安定性を備え
ていること、入手取扱いが容易であること等の条件を満
たさなければならないが、本発明は、上記の条件を満た
す有機金属錯体色素からなる偏向カラーフィルター用材
料、偏光カラーフィルター及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。
In practical use of a deflecting color filter, the ratio of the transmittance of vertically incident light to the transmittance of horizontally incident light is large, it can be applied to extraction of various absorption wavelength bands, and scattered light can be used. That it can be a transparent thin film material without any defects, that it is stable in the atmosphere and thermally stable, that it has stability not to be damaged by incident light, that it is easy to obtain and handle, etc. It is an object of the present invention to provide a polarizing color filter material, a polarizing color filter, and a method for manufacturing the same, which comprise an organometallic complex dye satisfying the above conditions.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、平面型構
造をとる有機金属錯化合物が、固体中で平面分子が重な
り合った結晶構造を採りうること、重なり合った分子間
で相互作用が生じ、それに基づく光の吸収が生じること
に注目し、この分子間相互作用に基づく強い光吸収帯を
固体薄膜中で完全に異方性をもたせるような配向をさせ
ることができれば偏向カラーフィルター材料を製造でき
るとの予測を行ない、種々の有機金属錯体の配向制御性
を鋭意検討してきた結果、本発明を成すにいたった。
Means for Solving the Problems The present inventors have found that an organometallic complex compound having a planar structure can have a crystal structure in which planar molecules are overlapped in a solid, and that an interaction occurs between the overlapped molecules. Focusing on the fact that light absorption occurs based on this, if a strong light absorption band based on this intermolecular interaction can be oriented so as to be completely anisotropic in a solid thin film, a deflection color filter material will be manufactured. The present inventors have made predictions that they can be made, and have made intensive studies on the orientation controllability of various organometallic complexes, and as a result, have accomplished the present invention.

【0011】即ち、本発明によれば、下記一般式(1)
で表される平面型有機金属錯体からなる偏向カラーフィ
ルター用材料が提供される。
That is, according to the present invention, the following general formula (1)
And a material for a deflection color filter comprising a planar organometallic complex represented by the formula:

【化2】 (式中、R1、R2、R3及びR4は炭素原子を結合原子と
する置換基A、ヘテロ原子を結合原子とする置換基B、
ハロゲン基又は水素を示し、R1とR2が前記置換基A及
び/又はBである場合にはそれらのR1及びR2は相互に
連結して環を形成していてもよく、またR3とR4が前記
置換基A及び/又はBである場合にはそれらのR3及び
4は相互に連結して環を形成していてもよく、Mは
銅、ニッケル、パラジウム及び白金の中から選ばれる金
属を示す) また、本発明によれば、前記の材料の薄膜を基板上に形
成してなる偏向カラーフィルターが提供される。さら
に、本発明によれば、前記の材料を基板上に−100℃
以下の温度で真空蒸着して該材料の薄膜を形成すること
を特徴とする偏向カラーフィルターの製造方法が提供さ
れる。さらにまた、本発明によれば、前記材料の薄膜の
2種以上を、基板上に積層してなる偏光カラーフィルタ
ーが提供される。さらにまた、本発明によれば、前記材
料を、基板上に−100℃以下の温度で真空蒸着して該
材料の薄膜を形成し、更にその上に該材料の薄膜の1種
以上を積層することを特徴とする偏光フィルターの製造
方法が提供される。
Embedded image (Wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are a substituent A having a carbon atom as a bonding atom, a substituent B having a hetero atom as a bonding atom,
And when R 1 and R 2 are the substituents A and / or B, R 1 and R 2 may be mutually connected to form a ring; When 3 and R 4 are the aforementioned substituents A and / or B, those R 3 and R 4 may be mutually connected to form a ring, and M represents copper, nickel, palladium and platinum. According to the present invention, there is provided a deflection color filter formed by forming a thin film of the above-mentioned material on a substrate. Further, according to the present invention, the aforementioned material is placed on a substrate at -100 ° C.
A method for manufacturing a deflection color filter is provided, wherein a thin film of the material is formed by vacuum deposition at the following temperature. Furthermore, according to the present invention, there is provided a polarizing color filter formed by laminating two or more thin films of the above materials on a substrate. Still further, according to the present invention, the material is vacuum-deposited on a substrate at a temperature of -100 ° C or less to form a thin film of the material, and further, one or more thin films of the material are stacked thereon. A method for producing a polarizing filter is provided.

【0012】本発明の偏向カラーフィルターは、可視光
領域に強い光吸収帯を持つ平面型有機金属錯体を、その
吸収の遷移モーメントを基板面に垂直に配向させ、それ
により基板面に垂直に入射した光の透過率は高いが、基
板面に水平に入射した光の透過率が著しく低下するこ
と、この際、膜内に異なる結晶構造を存在させること
で、膜の透過率の視野角依存性が現れる波長域を変化さ
せること、さらにこの際、異なる材料を用いることで、
膜の透過率の入射角依存性が現れる波長域を変化させる
こと、また異なる波長域で透過率の入射角依存性を示す
膜を少なくとも1種以上積層することで、任意の波長域
の透過率の入射角依存性を発現させること、さらに積層
する膜厚を制御することで透過率および反射率を任意の
大きさに制御することを特徴とするものである。
In the deflecting color filter of the present invention, a plane type organometallic complex having a strong light absorption band in a visible light region has its transition moment of absorption oriented perpendicular to the substrate surface, thereby being incident perpendicularly to the substrate surface. Is high, but the transmittance of light horizontally incident on the substrate surface is significantly reduced. At this time, the existence of different crystal structures in the film makes the transmittance of the film dependent on the viewing angle. By changing the wavelength range where appears, and by using different materials at this time,
By changing the wavelength range in which the transmittance of the film exhibits the dependency on the incident angle, and by laminating at least one kind of film exhibiting the dependency of the transmittance on the incident angle in different wavelength ranges, the transmittance in an arbitrary wavelength range is obtained. Is characterized in that the transmittance and the reflectance are controlled to arbitrary magnitudes by expressing the incident angle dependency of the above, and further controlling the film thickness to be laminated.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】前記炭素原子を結合原子とする置
換基Aには、脂肪族基や、芳香族基、アシル基等が包含
される。その炭素原子は1〜23、好ましくは1〜14
である。この場合、脂肪族基には、アルキル基及びシク
ロアルキル基が包含される。アルキル基としては、その
炭素数が1〜23、好ましくは1〜8、より好ましくは
1〜3であるもの、例えば、メチル、エチル、プロピ
ル、ヘキシル等が挙げられる。シクロアルキル基として
は、その炭素数が3〜23、好ましくは6〜14である
もの、例えば、シクロヘキシル、シクロオクチル等が挙
げられる。前記芳香族基には、アリール基及びアラルキ
ル基が包含される。アリール基としては、その炭素数が
6〜23、好ましくは6〜14であるもの、例えば、フ
ェニル、トリル、ナフチル等が挙げられる。アラルキル
基としては、その炭素数が7〜23、好ましくは7〜1
1であるもの、例えば、ベンジル、フェネチル、ナフチ
ルメチル等が挙げられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The substituent A having a carbon atom as a bonding atom includes an aliphatic group, an aromatic group, an acyl group and the like. Its carbon atoms are from 1 to 23, preferably from 1 to 14
It is. In this case, the aliphatic group includes an alkyl group and a cycloalkyl group. Examples of the alkyl group include those having 1 to 23, preferably 1 to 8, and more preferably 1 to 3 carbon atoms, such as methyl, ethyl, propyl and hexyl. Examples of the cycloalkyl group include those having 3 to 23, preferably 6 to 14 carbon atoms, such as cyclohexyl and cyclooctyl. The aromatic group includes an aryl group and an aralkyl group. Examples of the aryl group include those having 6 to 23, preferably 6 to 14 carbon atoms, such as phenyl, tolyl, and naphthyl. The aralkyl group has 7 to 23 carbon atoms, preferably 7 to 1 carbon atom.
And the like, for example, benzyl, phenethyl, naphthylmethyl and the like.

【0014】前記アシル基としては、下記一般式(2)
で表されるものが挙げられる。
The acyl group is represented by the following general formula (2)
Are represented.

【化3】R5CO− (2) 前記式中、R5は脂肪族基又は芳香族基を示す。その炭
素数は、1〜22好ましくは1〜14である。この場
合、脂肪族基には、アルキル基及びシクロアルキル基が
包含される。アルキル基としては、その炭素数が1〜2
2、好ましくは1〜3であるものが挙げられる。シクロ
アルキル基としては、その炭素数が3〜22、好ましく
は6〜14であるものが挙げられる。前記芳香族基に
は、アリール基及びアラルキル基が包含される。アリー
ル基としては、その炭素数が6〜22、好ましくは6〜
14であるものが挙げられる。アラルキル基としては、
その炭素数が7〜22、好ましくは7〜11であるもの
が挙げられる。
Embedded image R 5 CO— (2) In the above formula, R 5 represents an aliphatic group or an aromatic group. Its carbon number is 1 to 22, preferably 1 to 14. In this case, the aliphatic group includes an alkyl group and a cycloalkyl group. The alkyl group has 1 to 2 carbon atoms.
2, preferably 1 to 3. Examples of the cycloalkyl group include those having 3 to 22, preferably 6 to 14 carbon atoms. The aromatic group includes an aryl group and an aralkyl group. The aryl group has 6 to 22 carbon atoms, preferably 6 to 22 carbon atoms.
14. As an aralkyl group,
Those having 7 to 22, preferably 7 to 11 carbon atoms are mentioned.

【0015】前記結合原子がヘテロ原子である置換基B
において、ぞのヘテロ原子には、酸素、窒素、イオウ、
リン及びケイ素が包含される。その置換基Bを構成する
全原子数は、2〜22、好ましくは2〜13である。酸
素原子を結合原子とする置換基としては、その主鎖を構
成する全原子数が2〜21、好ましくは2〜13である
もの、例えば、以下のものが挙げられる。 (1) −OR6 前記式中、R6は水素、脂肪族基又は芳香族基を示す。
この場合、その脂肪族基及び芳香族基の具体例として
は、前記したものと同様のものが挙げられる。 (2) −(OA)n−H 前記式中、Aはメチレン、エチレン、プロピレン、ブチ
レン等の炭素数1〜4、好ましくは2〜3の低級アルキ
レン基を示す。nは2〜4、好ましくは2〜3の数を示
す。
A substituent B wherein the bonding atom is a hetero atom;
In each of the hetero atoms, oxygen, nitrogen, sulfur,
Phosphorus and silicon are included. The total number of atoms constituting the substituent B is 2 to 22, preferably 2 to 13. Examples of the substituent having an oxygen atom as a bonding atom include those having a total number of atoms constituting the main chain of 2 to 21, preferably 2 to 13, such as the following. (1) —OR 6 In the above formula, R 6 represents hydrogen, an aliphatic group or an aromatic group.
In this case, specific examples of the aliphatic group and the aromatic group include the same as those described above. (2)-(OA) n-H In the above formula, A represents a lower alkylene group having 1 to 4, preferably 2 to 3 carbon atoms such as methylene, ethylene, propylene and butylene. n shows the number of 2-4, preferably 2-3.

【0016】窒素原子を結合原子とする置換基として
は、その主鎖を構成する全原子数が3〜22、好ましく
は3〜9であるもの、例えば、以下のものが挙げられ
る。 (1) −NH−R7 前記式中、R7は水素、脂肪族基又は芳香族基を示す。
この場合、その脂肪族基及び芳香族基の具体例として
は、前記したものと同様のものが挙げられる。 (2) −(NHA)m−NR89 前記式中、Aは炭素数1〜4、好ましくは2〜3の低級
アルキレン基を示し、mは1〜4、好ましくは2〜3の
数を示す。R8、R9は、水素、脂肪族基又は芳香族基を
示す。この場合、その脂肪族基及び芳香族基の具体例と
しては前記と同様のものが挙げられる。
Examples of the substituent having a nitrogen atom as a bonding atom include those having a total number of atoms of 3 to 22, preferably 3 to 9, constituting the main chain, for example, the following: (1) —NH—R 7 In the above formula, R 7 represents hydrogen, an aliphatic group or an aromatic group.
In this case, specific examples of the aliphatic group and the aromatic group include the same as those described above. (2)-(NHA) m-NR 8 R 9 In the above formula, A represents a lower alkylene group having 1 to 4, preferably 2 to 3 carbon atoms, and m represents a number of 1 to 4, preferably 2 to 3 Is shown. R 8 and R 9 represent hydrogen, an aliphatic group or an aromatic group. In this case, specific examples of the aliphatic group and the aromatic group include the same as described above.

【0017】イオウ原子を結合原子とする置換基として
は、その主鎖を構成する原子数が2〜21、好ましくは
2〜8であるもの、例えば、以下のものが挙げられる。 (1) −SR10 前記式中、R10は水素、脂肪族基又は芳香族基を示す。
この場合、脂肪族基及び芳香族基の具体例としては、前
記と同様のものが挙げられる。 (2) −(SA)n−H 前記式中、Aは炭素数1〜4、好ましくは2〜3の低級
アルキレン基を示す。nは2〜4、好ましくは2〜3の
数を示す。
Examples of the substituent having a sulfur atom as a bonding atom include those having 2 to 21, preferably 2 to 8, atoms constituting the main chain, such as the following. (1) —SR 10 In the above formula, R 10 represents hydrogen, an aliphatic group or an aromatic group.
In this case, specific examples of the aliphatic group and the aromatic group include the same as described above. (2)-(SA) n-H In the above formula, A represents a lower alkylene group having 1 to 4, preferably 2 to 3 carbon atoms. n shows the number of 2-4, preferably 2-3.

【0018】リン原子を結合原子とする置換基として
は、その主鎖を構成する全原子数が、2〜22、好まし
くは2〜13であるもの、例えば、以下のものが挙げら
れる。 (1) −PO41112 前記式中、R11、R12は水素、脂肪族基又は芳香族基を
示す。この場合、脂肪族基及び芳香族基の具体例として
は、前記と同様のものが挙げられる。リン原子を結合原
子とする置換基の例を示すと、−PO4(CH3)2、−P
4(C65)2、−PO4(CH364)2等が挙げられ
る。
Examples of the substituent having a phosphorus atom as a bonding atom include those having a total number of atoms constituting the main chain of 2 to 22, preferably 2 to 13, such as the following. (1) —PO 4 R 11 R 12 In the above formula, R 11 and R 12 represent hydrogen, an aliphatic group or an aromatic group. In this case, specific examples of the aliphatic group and the aromatic group include the same as described above. By way of example of substituents that the phosphorus atom and the bond atoms, -PO 4 (CH 3) 2 , -P
O 4 (C 6 H 5 ) 2 and —PO 4 (CH 3 C 6 H 4 ) 2 .

【0019】ケイ素原子を結合原子とする置換基として
は、その主鎖を構成する全原子数が4〜19、好ましく
は4〜13であるもの、例えば、以下のものが挙げられ
る。 (1) −SiR131415前記式中、R13、R14、R
15は水素、脂肪族基又は芳香族基を示す。この場合、脂
肪族基及び芳香族基の具体例としては、前記と同様のも
のが挙げられる。ケイ素原子を結合原子とする置換基の
具体例としては、−SiH3、−Si(CH3)3、−Si
225、−SiH265等が挙げられる。
Examples of the substituent having a silicon atom as a bonding atom include those having the total number of atoms constituting the main chain of 4 to 19, preferably 4 to 13, such as the following. (1) —SiR 13 R 14 R 15 In the above formula, R 13 , R 14 , R
15 represents hydrogen, an aliphatic group or an aromatic group. In this case, specific examples of the aliphatic group and the aromatic group include the same as described above. Specific examples of the substituent for the silicon atom and bonded atoms, -SiH 3, -Si (CH 3 ) 3, -Si
H 2 C 2 H 5, include -SiH 2 C 6 H 5 and the like.

【0020】前記ハロゲン基には、塩素、臭素、ヨウ素
及びフッ素が包含される。
The halogen group includes chlorine, bromine, iodine and fluorine.

【0021】前記R1とR2が置換基A及び/又は置換基
Bを示す場合、そのR1とR2は相互に連結して環を形成
していてもよい。この場合の環は、4〜8員環、好まし
くは5〜6員環であることができる。
When R 1 and R 2 represent the substituent A and / or the substituent B, R 1 and R 2 may be mutually connected to form a ring. The ring in this case can be a 4- to 8-membered ring, preferably a 5- to 6-membered ring.

【0022】前記R3とR4が置換基A及び/又は置換基
Bを示す場合、そのR3とR4は相互に連結して環を形成
していてもよい。この場合の環は、4〜8員環、好まし
くは5〜6員環であることができる。
When R 3 and R 4 represent the substituent A and / or the substituent B, the R 3 and R 4 may be mutually connected to form a ring. The ring in this case can be a 4- to 8-membered ring, preferably a 5- to 6-membered ring.

【0023】本発明の平面型有機金属錯体の合成方法は
特に限定されず、有機金属錯体の製造に一般的に用いら
れるいかなる方法を用いても良い。一般に好適に用いら
れる錯体の代表的な製造方法としては、配位子となる化
合物と溶剤(アルコール等)可溶性金属化合物とをアル
コール等の溶媒溶液中で反応させる方法が知られている
が、本発明ではこの方法を用いることにより、目的とす
る本発明の平面型有機金属錯体を得ることができる。
The method for synthesizing the planar organometallic complex of the present invention is not particularly limited, and any method generally used for producing an organometallic complex may be used. As a typical method for producing a complex that is generally preferably used, a method is known in which a compound serving as a ligand is reacted with a solvent (such as an alcohol) -soluble metal compound in a solvent solution of an alcohol or the like. In the present invention, the intended planar organometallic complex of the present invention can be obtained by using this method.

【0024】本発明においては、その配位子化合物とし
ては、下記一般式(3)及び一般式(4)で表されるグ
リオキシム誘導体が用いられる。 一般式(3):
In the present invention, as the ligand compound, a glyoxime derivative represented by the following general formulas (3) and (4) is used. General formula (3):

【化4】 一般式(4):Embedded image General formula (4):

【化5】 前記式中、R1、R2、R3、R4は前記と同じ意味を有す
る。また、前記一般式(3)の化合物と前記一般式
(4)の化合物とは、同一であってもよく、異なってい
てもよい。
Embedded image In the above formula, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 have the same meaning as described above. Further, the compound of the general formula (3) and the compound of the general formula (4) may be the same or different.

【0025】本発明で用いる溶剤可溶性金属化合物に
は、金属のハロゲン化物(塩化物、臭化物、ヨウ化物
等)、有機酸塩(酢酸塩等)、有機錯塩(アセチルアセ
トナート等)が包含される。一般的には、金属塩化物が
用いられる。前記一般式(1)の錯体を与える金属種M
としては、前記グリオキシム誘導体と錯体を形成する遷
移金属が用いられるが、好ましくは、銅(Cu)、ニッ
ケル(Ni)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)が用
いられる。
The solvent-soluble metal compound used in the present invention includes metal halides (chloride, bromide, iodide, etc.), organic acid salts (acetate, etc.), and organic complex salts (acetylacetonate, etc.). . Generally, metal chlorides are used. Metal species M that provides the complex of the general formula (1)
A transition metal that forms a complex with the glyoxime derivative is used, but copper (Cu), nickel (Ni), palladium (Pd), and platinum (Pt) are preferably used.

【0026】前記配位子化合物と金属化合物とを反応さ
せて有機金属錯体を生成させる場合、その金属化合物と
しては、金属種の異なった2種以上の金属化合物を用い
ることができる。この場合には、金属種の異なった有機
金属錯体の混合物を得ることができる。
When the ligand compound and the metal compound are reacted to form an organometallic complex, two or more metal compounds having different metal species can be used as the metal compound. In this case, a mixture of organometallic complexes having different metal species can be obtained.

【0027】本発明では、偏向カラーフィルターを得る
ために、前記一般式(1)の化合物の可視光から近赤外
光領域に現れる強い光吸収帯の遷移モーメントを基板面
に垂直に配向させ、透過率の視野角依存性を発現させる
よう、基板の温度を−100℃以下に冷却して、該錯体
化合物の真空蒸着を行う。この際、より効果的に配向制
御を行うためには、基板温度はより低温であることが望
ましい。その下限温度は−250℃程度である。一般に
は液体窒素温度を用いるのが好ましい。この場合、錯体
化合物としては、前記一般式(1)の錯体化合物におい
て、その金属種Mが異なった錯体化合物の混晶をも用い
ることができる。
In the present invention, in order to obtain a deflected color filter, the transition moment of the strong light absorption band of the compound of the general formula (1) appearing in the visible to near-infrared light region is oriented perpendicular to the substrate surface. The temperature of the substrate is cooled to −100 ° C. or lower so that the viewing angle dependence of the transmittance is exhibited, and the complex compound is vacuum-deposited. At this time, in order to more effectively control the orientation, it is desirable that the substrate temperature be lower. The lower limit temperature is about -250 ° C. Generally, it is preferred to use liquid nitrogen temperature. In this case, as the complex compound, a mixed crystal of a complex compound having a different metal species M in the complex compound of the general formula (1) can also be used.

【0028】本発明では、透過率の視野角依存性を発現
する波長範囲を変化させるために、該錯体化合物の真空
蒸着速度を制御し、それにより同一錯体化合物の多形を
同一薄膜中に混在させ、それぞれの多形の光吸収率の和
を利用することができる。例えば、白金ジフェニルグリ
オキシムの場合、生成する膜厚成長速度で表した蒸着速
度が毎分2nm以上の時は吸収ピーク波長が550nm
あたりに現れる赤相の多形が製膜され、蒸着速度が毎分
0.1nm以下の時は吸収ピーク波長が700nmあた
りに現れる青相の多形が製膜され、蒸着速度が毎分0.
1〜2nmの時は、それぞれの多形が混在し、蒸着速度
に比例してそれぞれの多形の存在割合が変化し、そのこ
とにより吸収波長域が変化する。この際、変化させる蒸
着速度は蒸着する錯体化合物によって微妙に異なるが、
いずれも蒸着速度が毎分0.01〜3nmの範囲の蒸着
速度の変化で、多形の存在割合の制御が可能である。
In the present invention, the vacuum deposition rate of the complex compound is controlled in order to change the wavelength range in which the viewing angle dependence of the transmittance is exhibited, whereby polymorphs of the same complex compound are mixed in the same thin film. Then, the sum of the light absorption rates of the respective polymorphs can be used. For example, in the case of platinum diphenylglyoxime, the absorption peak wavelength is 550 nm when the deposition rate expressed by the generated film growth rate is 2 nm or more per minute.
When the deposition rate is 0.1 nm or less per minute, a blue phase polymorph that has an absorption peak wavelength around 700 nm is formed, and the deposition rate is 0.1 mm / min.
At 1 to 2 nm, each polymorph is mixed, and the proportion of each polymorph changes in proportion to the deposition rate, thereby changing the absorption wavelength range. At this time, the deposition rate to be changed is slightly different depending on the complex compound to be deposited,
In each case, the rate of polymorphism can be controlled by changing the deposition rate in the range of 0.01 to 3 nm per minute.

【0029】また、本発明では、透過率の入射角依存性
を発現する波長範囲を変化させるために、前記一般式
(1)の錯体化合物の薄膜の2種以上を積層してもよ
い。この際、積層する回数および順序は特に限定されな
い。
In the present invention, two or more thin films of the complex compound represented by the general formula (1) may be laminated in order to change the wavelength range in which the transmittance depends on the incident angle. At this time, the number and order of lamination are not particularly limited.

【0030】本発明では、基板上の錯体化合物の薄膜の
厚さは、10〜100000nm、好ましくは10〜1
000nmである。第2層目以上を積層していく場合の
それぞれの薄膜の厚さは、10〜100000nm、好
ましくは10〜1000nmであるが、任意の波長にお
いてその光の透過率および反射率の大きさを調整するた
めに、薄膜の厚さは適宜調節される。
In the present invention, the thickness of the thin film of the complex compound on the substrate is 10 to 100,000 nm, preferably 10 to 10000 nm.
000 nm. The thickness of each thin film in the case of laminating the second or more layers is 10 to 100,000 nm, preferably 10 to 1000 nm, but the magnitude of the light transmittance and the reflectance at an arbitrary wavelength is adjusted. In order to do so, the thickness of the thin film is appropriately adjusted.

【0031】本発明では、第1層目を蒸着する際に基板
温度を−100℃以下に冷却するが、第2層目以上を積
層する場合、その時の基板温度は特に限定されない。一
般に簡便に用いられる温度は20〜30℃程度の室温で
あるが、異なる結晶構造を析出させるために−100℃
以下に冷却しても良い。
In the present invention, when the first layer is deposited, the substrate temperature is cooled to -100 ° C. or lower. However, when the second layer or more is laminated, the substrate temperature at that time is not particularly limited. Generally, the temperature used simply is room temperature of about 20 to 30 ° C., but −100 ° C. is required to precipitate a different crystal structure.
It may be cooled below.

【0032】本発明の平面型有機金属錯体を蒸着する基
板は特に限定されず、いかなる物を用いても良い。一般
にカラーフィルター作成用の基板として好適に用いられ
る物は、石英などのガラス基板であるが、ITO透明電
極、アルミニウム蒸着透明電極、金蒸着透明電極や、ア
クリル板等の透明プラスチック基板等も用いることが出
来る。
The substrate on which the planar organometallic complex of the present invention is deposited is not particularly limited, and any substrate may be used. In general, a glass substrate such as quartz is preferably used as a substrate for producing a color filter, but a transparent plastic substrate such as an ITO transparent electrode, an aluminum-deposited transparent electrode, a gold-deposited transparent electrode, or an acrylic plate may also be used. Can be done.

【0033】本発明において、真空蒸着に際しての、容
器の真空度、蒸着源、蒸着源と基板との距離は特に限定
されない。一般に簡便に用いられる真空度は、10-7〜1
0-5Torr程度であるが、これより高真空である方が
望ましい。
In the present invention, the degree of vacuum of the container, the evaporation source, and the distance between the evaporation source and the substrate during vacuum evaporation are not particularly limited. Generally, the degree of vacuum used simply is 10 -7 to 1
It is on the order of 0 -5 Torr, but it is desirable to have a higher vacuum.

【0034】本発明の錯体化合物は、固体状態で平面構
造を採る分子が積み重なった直鎖カラム構造をとり、そ
の中の隣接する分子間で中心金属の電子軌道が重なり合
い、その相互作用に基づいた強い光吸収を示す。この光
吸収は、直鎖カラムと平行方向にのみその吸収遷移モー
メントを持つため、薄膜中で直鎖カラムがすべて同一方
向を向いた配向制御がなされれば、直鎖カラムと平行方
向に入射する光の吸収は全く受けないが、垂直に入射す
る光は吸収し、その結果透過率に異方性すなわち視野角
依存性が発現されることになる。
The complex compound of the present invention has a linear column structure in which molecules having a planar structure in the solid state are stacked, and the electron orbital of the central metal overlaps between adjacent molecules in the complex, and the complex is based on the interaction. Shows strong light absorption. Since this light absorption has its absorption transition moment only in the direction parallel to the straight-chain column, if the orientation control in which the straight-chain columns are all oriented in the same direction in the thin film is performed, the light is incident in the parallel direction to the straight-chain column. Although it does not absorb light at all, it absorbs vertically incident light, which results in anisotropy, that is, viewing angle dependence of transmittance.

【0035】本発明の錯体化合物は、固体状態で平面構
造を採る分子が積み重なった直鎖カラム構造をとるが、
その際分子の積み重なり方が複数存在し、結果として結
晶形の異なる様々な多形が存在する。多形間では、分子
の相互作用力が異なるため、光の吸収エネルギーすなわ
ち吸収波長も異なってくる。この多形の吸収波長の違い
を利用し、それを同一薄膜内に混在させることで、透過
率波長分布を制御することが可能となる。多形の出現
は、当該錯体化合物が固体結晶化する際の結晶化条件の
違いにより異なってくるので、蒸着条件の違いにより存
在確率が変わってくる。また、本発明の錯体化合物の分
子の積み重なり方は、その化合物の種類によって異なっ
てくる。このため、化合物間では分子の相互作用力が異
なるため、光の吸収エネルギーすなわち吸収波長も異な
ってくる。この異なる化合物の吸収波長の違いを利用
し、それを同一薄膜内又は別々の薄膜内に混在させるこ
とで、透過率波長分布を制御することが可能となる。光
を吸収させたい波長に吸収を持つ化合物を、少なくとも
2種以上組み合わせることにより、任意の波長のみを透
過させることが可能となってくる。
The complex compound of the present invention has a linear column structure in which molecules having a planar structure in a solid state are stacked.
At that time, there are a plurality of ways of stacking molecules, and as a result, various polymorphs having different crystal forms exist. Since the interaction force of molecules differs between polymorphs, the absorption energy of light, that is, the absorption wavelength also differs. By utilizing the difference in the absorption wavelength of the polymorph and mixing it in the same thin film, it becomes possible to control the transmittance wavelength distribution. Since the appearance of the polymorph varies depending on the crystallization conditions when the complex compound crystallizes in a solid state, the existence probability varies depending on the vapor deposition conditions. Further, the way of stacking the molecules of the complex compound of the present invention differs depending on the type of the compound. For this reason, since the interaction force of molecules differs between compounds, the absorption energy of light, that is, the absorption wavelength also differs. By utilizing the difference between the absorption wavelengths of the different compounds and mixing them in the same thin film or in different thin films, it becomes possible to control the transmittance wavelength distribution. By combining at least two or more compounds having absorption at a wavelength at which light is to be absorbed, it becomes possible to transmit only an arbitrary wavelength.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明に係わる平面型有機金属錯体は、
原料となる配位子化合物(グリオキシム誘導体)が安価
で入手することができる取扱いの容易なものであり、な
おかつ金属塩化物や金属アセチルアセトナート化合物等
とアルコール溶液中で反応させることで容易に製造する
ことができる。さらに該錯体化合物は、昇華法あるいは
ニトロベンゼン、オルトジクロロベンゼン、ジメチルホ
ルムアミド溶液などによる再結晶法により容易に精製す
ることができる。
The planar organometallic complex according to the present invention comprises:
The ligand compound (glyoxime derivative) as the raw material is inexpensive and easy to handle, and is easily produced by reacting with a metal chloride or metal acetylacetonate compound in an alcohol solution. can do. Further, the complex compound can be easily purified by a sublimation method or a recrystallization method using a nitrobenzene, orthodichlorobenzene, dimethylformamide solution or the like.

【0037】本発明によれば、従来結晶格子面などが出
ていないアモルファス基板表面上では不可能であった、
金属錯体の薄膜内の配向制御が可能となり、それにより
透過率の視野角依存性を発現させることが可能となる。
According to the present invention, it has not been possible on an amorphous substrate surface on which a crystal lattice plane or the like has not been formed.
It is possible to control the orientation of the metal complex in the thin film, thereby making it possible to express the viewing angle dependence of the transmittance.

【0038】本発明による平面型有機金属錯体による薄
膜は、垂直に入射した光の透過率が100%に近い時で
も、水平に入射した光の透過率を著しく低下させること
が出来る。
The thin film of the planar organometallic complex according to the present invention can significantly reduce the transmittance of horizontally incident light even when the transmittance of vertically incident light is close to 100%.

【0039】本発明による平面型有機金属錯体は、基板
上に製膜する際、蒸着速度を適宜調節することにより膜
内に異なる結晶形を混在させることができ、それにより
透過率の視野角依存性を発現させる波長域を任意に調整
することが可能である。
When the planar organometallic complex according to the present invention is formed on a substrate, different crystal forms can be mixed in the film by appropriately adjusting the deposition rate, whereby the transmittance depends on the viewing angle. It is possible to arbitrarily adjust the wavelength range in which the property is exhibited.

【0040】本発明にかかわる平面型有機金属錯体は、
金属原子が直線上に配列した一次元鎖構造を有し、結晶
性が極めて高い化合物である。また、置換基を適切に選
択することにより金属原子間距離を適宜変化させたり、
異なる中心金属を導入することで吸収極大波長を任意に
移動させることができる。このため、これらを少なくと
も1種以上適宜組み合わせて積層することにより、任意
の波長における透過率の入射角依存性を発現させる波長
域を任意に調整することが可能であり、フィルターをか
ける波長帯域の選択を容易に行うことが出来る。
The planar organometallic complex according to the present invention comprises:
The compound has a one-dimensional chain structure in which metal atoms are arranged in a straight line, and has extremely high crystallinity. Further, by appropriately selecting the substituent, the distance between metal atoms can be appropriately changed,
The absorption maximum wavelength can be arbitrarily shifted by introducing a different center metal. Therefore, by appropriately combining at least one or more of these, by laminating, it is possible to arbitrarily adjust the wavelength range in which the incident angle dependence of the transmittance at an arbitrary wavelength is expressed, and the wavelength band to be filtered is adjusted. Selection can be made easily.

【0041】本発明による錯体化合物は、真空蒸着法に
より薄膜化することができるため、膜厚を自由に制御し
た膜の作製が容易にできる。このことにより、カラーフ
ィルターの透過率を、膜厚により任意に調整することが
できる。また、製造した薄膜は均質で光散乱性が少な
く、大気中でも極めて安定である。
Since the complex compound according to the present invention can be made into a thin film by a vacuum evaporation method, it is easy to produce a film whose thickness is freely controlled. Thus, the transmittance of the color filter can be arbitrarily adjusted depending on the film thickness. Further, the produced thin film is homogeneous, has little light scattering property, and is extremely stable even in the atmosphere.

【0042】[0042]

【実施例】以下に、本発明を実施例によりさらに詳細に
説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるもの
ではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

【0043】参考例1 ジフェニルグリオキシム(前記一般式(1)において、
1〜R4:フェニル基)0.12gを、100mlのビ
ーカー中でエタノール50mlに溶解させた。ここに5
mlの純水に溶解したテトラクロロ白金酸(II)カリウ
ム0.20gを加え、ホットプレート上、反応温度を4
0−50℃にコントロールしながら8時間撹拌した。反
応が進むにつれて茶褐色の微細な粒状沈澱が生じた。撹
拌終了後、反応液を室温に戻し、析出した沈澱物をろ過
した。沈澱物はエタノールと純水で洗浄した後、デシケ
ーター中で減圧乾燥した。得られた生成物をジメチルホ
ルムアミド溶液にして再結晶することにより、赤紫色の
白金ジフェニルグリオキシマトの針状結晶0.16gを
得た。
Reference Example 1 Diphenylglyoxime (in the above formula (1),
(R 1 to R 4 : phenyl group) 0.12 g was dissolved in 50 ml of ethanol in a 100 ml beaker. Here 5
0.20 g of potassium tetrachloroplatinate (II) dissolved in 100 ml of pure water was added, and the reaction temperature was set to 4 on a hot plate.
The mixture was stirred for 8 hours while controlling at 0-50 ° C. As the reaction proceeded, a fine brownish granular precipitate formed. After completion of the stirring, the reaction solution was returned to room temperature, and the deposited precipitate was filtered. The precipitate was washed with ethanol and pure water, and then dried in a desiccator under reduced pressure. The obtained product was recrystallized from a dimethylformamide solution to obtain 0.16 g of red-purple needle-like crystals of platinum diphenylglyoximat.

【0044】参考例2 参考例1において、ジフェニルグリオキシムの代りに、
ジメチルグリオキシム(前記一般式(1)において、R
1〜R4:メチル基)を用いた以外は同様にして実験を行
い、白金ジメチルグリオキシマト(濃青色、針状結晶)
を得た。
Reference Example 2 In Reference Example 1, instead of diphenylglyoxime,
Dimethylglyoxime (in the general formula (1), R
An experiment was carried out in the same manner except that 1 to R 4 : methyl group) was used, and platinum dimethylglyoximat (dark blue, needle-like crystals)
I got

【0045】参考例3 参考例1において、ジフェニルグリオキシムの代りに、
ジメチルグリオキシムを用い、テトラクロロ白金酸(I
I)カリウムの代りに、ニッケル(II)アセチルアセテ
ートを用いた以外は同様にして実験を行ってニッケルジ
メチルグリオキシマト(濃赤色、針状結晶)を得た。
Reference Example 3 In Reference Example 1, instead of diphenylglyoxime,
Using dimethylglyoxime, tetrachloroplatinic acid (I
I) An experiment was conducted in the same manner except that nickel (II) acetyl acetate was used instead of potassium to obtain nickel dimethylglyoximat (dark red, needle-like crystals).

【0046】参考例4 参考例1において、ジフェニルグリオキシムの代りに、
ジメチルグリオキシムを用い、テトラクロロ白金酸(I
I)カリウムの代りに、塩化パラジウム(II)を用いた
以外は同様にして実験を行ってパラジウムジメチルグリ
オキシマト(黄色、針状結晶)を得た。
Reference Example 4 In Reference Example 1, instead of diphenylglyoxime,
Using dimethylglyoxime, tetrachloroplatinic acid (I
I) Palladium dimethylglyoximat (yellow, needle-like crystals) was obtained in the same manner as described above except that palladium (II) chloride was used instead of potassium.

【0047】実施例1 参考例1で得られた錯体化合物をガラス製蒸着ヒーター
(石英るつぼ:φ20×H45mm)に乗せ蒸着試料と
した。合成石英(ESグレード;面積15×30mm、
厚さ:1.0mm))を蒸着用ボートの上方に固定し、
真空度を3×10-7Torrにまで減圧した。その後
基板を−175℃に冷却し、毎分0.2nmの速度で約
160nmの厚さに真空蒸着を行った。このようにして
作成した膜について、その透過率の視野角依存性を紫外
可視分光光度計にて測定した。この時の、白金ジフェニ
ルグリオキシマト蒸着薄膜の透過率の視野角依存性を図
1ならびに表1に示す。波長700nmを中心に、50
0から900nmの波長範囲で、透過率の視野角依存性
が現れている。550nm付近に透過率が落ちているピ
ークが見られるが、これは全体の1割程度混在した赤相
多形の存在による物である。
Example 1 The complex compound obtained in Reference Example 1 was placed on a glass evaporation heater (quartz crucible: φ20 × H45 mm) to obtain an evaporation sample. Synthetic quartz (ES grade; area 15 x 30 mm,
Thickness: 1.0 mm)) is fixed above the evaporation boat,
The pressure was reduced to 3 × 10 −7 Torr. Thereafter, the substrate was cooled to −175 ° C., and vacuum deposition was performed at a rate of 0.2 nm per minute to a thickness of about 160 nm. The viewing angle dependence of the transmittance of the film thus prepared was measured with an ultraviolet-visible spectrophotometer. FIG. 1 and Table 1 show the viewing angle dependence of the transmittance of the platinum-diphenylglyoximato-deposited thin film at this time. Centering on a wavelength of 700 nm, 50
In the wavelength range of 0 to 900 nm, the viewing angle dependence of the transmittance appears. A peak at around 550 nm where the transmittance is reduced is seen, which is due to the presence of the red phase polymorph present in about 10% of the whole.

【0048】[0048]

【表1】 [Table 1]

【0049】実施例2 参考例1で得られた錯体化合物をガラス製蒸着ヒーター
(石英るつぼ:φ20×H45mm)に乗せ蒸着試料と
した。合成石英(ESグレード;面積15×30mm、
厚さ:1.0mm))を蒸着用ボートの上方に固定し、
真空度を7×10-7Torrにまで減圧した。その後
基板を−175℃に冷却し、毎分2.1nmの速度で約
100nmの厚さに真空蒸着を行った。このようにして
作成した膜について、その透過率の視野角依存性を紫外
可視分光光度計にて測定した。この時の、白金ジフェニ
ルグリオキシマト蒸着薄膜の透過率の視野角依存性を図
2ならびに表2に示す。波長550nmを中心に、450
から700nmの波長範囲で、透過率の視野角依存性が
現れている。実施例1と全く同じ化合物を用いているに
もかかわらず、透過率の視野角依存性が現れる波長分布
が、実施例1とは異なっていることが示されている。
Example 2 The complex compound obtained in Reference Example 1 was placed on a glass evaporation heater (quartz crucible: φ20 × H45 mm) to obtain an evaporation sample. Synthetic quartz (ES grade; area 15 x 30 mm,
Thickness: 1.0 mm)) is fixed above the evaporation boat,
The degree of vacuum was reduced to 7 × 10 −7 Torr. Thereafter, the substrate was cooled to −175 ° C., and vacuum deposition was performed at a rate of 2.1 nm per minute to a thickness of about 100 nm. The viewing angle dependence of the transmittance of the film thus prepared was measured with an ultraviolet-visible spectrophotometer. At this time, the viewing angle dependence of the transmittance of the platinum diphenylglyoximato evaporated thin film is shown.
2 and Table 2. With a wavelength of 550 nm as the center, 450
In the wavelength range from to 700 nm, the viewing angle dependence of the transmittance appears. It is shown that the wavelength distribution where the viewing angle dependency of the transmittance appears differs from that of Example 1 even though the same compound as in Example 1 is used.

【0050】[0050]

【表2】 [Table 2]

【0051】実施例3 参考例1で得られた白金ジフェニルグリオキシマトをガ
ラス製蒸着ヒーター(石英るつぼ:φ20×H45m
m)に乗せ蒸着試料とした。合成石英(ESグレード;
面積15×30mm、厚さ:1.0mm)を蒸着用ボー
トの上方に固定し、真空度を4×10-7Torrにま
で減圧した。その後基板を−175℃に冷却し、毎分6
nmの速度で約80nmの厚さに真空蒸着を行った。そ
の後基板温度を25℃とし、白金ジフェニルグリオキシ
マト薄膜の上に、参考例2で得た白金ジメチルグリオキ
シマトを、毎分1.5nmの速度で約140nmの厚さ
に真空蒸着した。このようにして作成した膜について、
その透過率の入射角依存性を紫外可視分光光度計にて測
定した。この時の、積層蒸着薄膜の透過率の入射角依存
性を図3ならびに表3に示す。波長620nmを中心
に、500から900nmの波長範囲で、透過率の入射
角依存性が現れている。
Example 3 The platinum diphenylglyoximato obtained in Reference Example 1 was applied to a glass deposition heater (quartz crucible: φ20 × H45m).
m) to obtain an evaporation sample. Synthetic quartz (ES grade;
(Area 15 × 30 mm, thickness: 1.0 mm) was fixed above the evaporation boat, and the degree of vacuum was reduced to 4 × 10 −7 Torr. Thereafter, the substrate is cooled to -175 ° C.
Vacuum deposition was performed at a speed of nm to a thickness of about 80 nm. Thereafter, the substrate temperature was set at 25 ° C., and the platinum dimethylglyoximat obtained in Reference Example 2 was vacuum-deposited on the platinum diphenylglyoximato thin film at a rate of 1.5 nm per minute to a thickness of about 140 nm. About the membrane created in this way,
The dependence of the transmittance on the incident angle was measured with an ultraviolet-visible spectrophotometer. FIG. 3 and Table 3 show the incident angle dependence of the transmittance of the laminated deposited thin film at this time. The incident angle dependence of the transmittance appears in the wavelength range of 500 to 900 nm centering on the wavelength of 620 nm.

【0052】[0052]

【表3】 [Table 3]

【0053】実施例4 参考例1で得られた白金ジフェニルグリオキシマトをガ
ラス製蒸着ヒーター(石英るつぼ:φ20×H45m
m)に乗せ蒸着試料とした。合成石英(ESグレード;
面積15×30mm、厚さ:1.0mm))を蒸着用ボ
ートの上方に固定し、真空度を3×10-7Torrに
まで減圧した。その後基板を−175℃に冷却し、毎分
6nmの速度で約60nmの厚さに真空蒸着を行った。
その後基板温度を22℃とし、白金ジフェニルグリオキ
シマト薄膜の上に、参考例3で得たニッケルジメチルグ
リオキシマトを、毎分0.5nmの速度で約130nm
の厚さに真空蒸着した。このようにして作成した膜につ
いて、その透過率の入射角依存性を紫外可視分光光度計
にて測定した。この時の、積層蒸着薄膜の透過率の入射
角依存性を図4ならびに表4に示す。波長540nmを
中心に、450から650nmの波長範囲で、透過率の
入射角依存性が現れている。透過率の入射角依存性が現
れる波長分布が、実施例1とは異なっていることが示さ
れている。
Example 4 The platinum diphenylglyoximato obtained in Reference Example 1 was applied to a glass deposition heater (quartz crucible: φ20 × H45m).
m) to obtain an evaporation sample. Synthetic quartz (ES grade;
(Area 15 × 30 mm, thickness: 1.0 mm)) was fixed above the evaporation boat, and the degree of vacuum was reduced to 3 × 10 −7 Torr. Thereafter, the substrate was cooled to −175 ° C., and vacuum evaporation was performed at a rate of 6 nm per minute to a thickness of about 60 nm.
Thereafter, the substrate temperature was set to 22 ° C., and the nickel dimethylglyoximat obtained in Reference Example 3 was placed on the platinum diphenylglyoximato thin film at a rate of 0.5 nm per minute for about 130 nm.
Vacuum deposited to a thickness of. With respect to the film thus formed, the dependence of the transmittance on the incident angle was measured with an ultraviolet-visible spectrophotometer. FIG. 4 and Table 4 show the dependency of the transmittance of the laminated thin film on the incident angle at this time. The incident angle dependence of the transmittance appears in the wavelength range of 450 to 650 nm centering on the wavelength of 540 nm. It is shown that the wavelength distribution at which the incident angle dependence of the transmittance appears differs from that of the first embodiment.

【0054】[0054]

【表4】 [Table 4]

【0055】実施例5 参考例1で得られた白金ジフェニルグリオキシマトをガ
ラス製蒸着ヒーター(石英るつぼ:φ20×H45m
m)に乗せ蒸着試料とした。合成石英(ESグレード;
面積15×30mm、厚さ:1.0mm))を蒸着用ボ
ートの上方に固定し、真空度を3×10-7Torrに
まで減圧した。その後基板を−175℃に冷却し、毎分
5.5nmの速度で約60nmの厚さに真空蒸着を行っ
た。その後基板温度を22℃とし、白金ジフェニルグリ
オキシマト薄膜の上に、参考例4で得たパラジウムジメ
チルグリオキシマトを、毎分1.0nmの速度で約15
0nmの厚さに真空蒸着した。このようにして作成した
膜について、その透過率の入射角依存性を紫外可視分光
光度計にて測定した。この時の、積層蒸着薄膜の透過率
の入射角依存性を図5ならびに表5に示す。波長460
nmを中心に、400から600nmの波長範囲で、透
過率の入射角依存性が現れている。
Example 5 The platinum diphenylglyoximat obtained in Reference Example 1 was applied to a glass deposition heater (quartz crucible: φ20 × H45m).
m) to obtain an evaporation sample. Synthetic quartz (ES grade;
(Area 15 × 30 mm, thickness: 1.0 mm)) was fixed above the evaporation boat, and the degree of vacuum was reduced to 3 × 10 −7 Torr. Thereafter, the substrate was cooled to −175 ° C., and vacuum evaporation was performed at a rate of 5.5 nm per minute to a thickness of about 60 nm. Thereafter, the substrate temperature was set to 22 ° C., and the palladium dimethylglyoximate obtained in Reference Example 4 was applied on the platinum diphenylglyoximato thin film at a rate of 1.0 nm / min for about 15 minutes.
Vacuum deposited to a thickness of 0 nm. With respect to the film thus formed, the dependence of the transmittance on the incident angle was measured with an ultraviolet-visible spectrophotometer. FIG. 5 and Table 5 show the dependency of the transmittance of the laminated thin film on the incident angle at this time. Wavelength 460
The incident angle dependence of the transmittance appears in the wavelength range of 400 to 600 nm centering on nm.

【0056】[0056]

【表5】 [Table 5]

【0057】実施例6 参考例1で得られた白金ジフェニルグリオキシマトをガ
ラス製蒸着ヒーター(石英るつぼ:φ20×H45m
m)に乗せ蒸着試料とした。合成石英(ESグレード;
面積15×30mm、厚さ:1.0mm))を蒸着用ボ
ートの上方に固定し、真空度を3×10-7Torrに
まで減圧した。その後基板を−175℃に冷却し、毎分
7nmの速度で約60nmの厚さに真空蒸着を行った。
その後基板温度を24℃とし、白金ジフェニルグリオキ
シマト薄膜の上に、参考例2で得た白金ジメチルグリオ
キシマトを、毎分0.4nmの速度で約100nmの厚
さに真空蒸着した。引き続きその上に、参考例4で得た
パラジウムジメチルグリオキシマトを、毎分0.3nm
の速度で約100nmの厚さに真空蒸着した。さらにそ
の上に、参考例3で得たニッケルジメチルグリオキシマ
トを、毎分0.3nmの速度で約100nmの厚さに真
空蒸着した。このようにして作成した膜について、その
透過率の入射角依存性を紫外可視分光光度計にて測定し
た。この時の、積層蒸着薄膜の透過率の入射角依存性を
図6ならびに表6に示す。350から850nmの広い
波長範囲で、透過率の入射角依存性が現れている。
Example 6 A glass deposition heater (quartz crucible: φ20 × H45m) was prepared using the platinum diphenylglyoximat obtained in Reference Example 1
m) to obtain an evaporation sample. Synthetic quartz (ES grade;
(Area 15 × 30 mm, thickness: 1.0 mm)) was fixed above the evaporation boat, and the degree of vacuum was reduced to 3 × 10 −7 Torr. Thereafter, the substrate was cooled to −175 ° C., and vacuum evaporation was performed at a rate of 7 nm per minute to a thickness of about 60 nm.
Thereafter, the substrate temperature was set to 24 ° C., and the platinum dimethylglyoximato obtained in Reference Example 2 was vacuum-deposited on the platinum diphenylglyoximato thin film at a rate of 0.4 nm per minute to a thickness of about 100 nm. Subsequently, the palladium dimethylglyoximate obtained in Reference Example 4 was added at 0.3 nm / min.
Vacuum deposited at a speed of about 100 nm to a thickness of about 100 nm. Further, the nickel dimethylglyoximato obtained in Reference Example 3 was vacuum-deposited thereon at a rate of 0.3 nm per minute to a thickness of about 100 nm. With respect to the film thus formed, the dependence of the transmittance on the incident angle was measured with an ultraviolet-visible spectrophotometer. FIG. 6 and Table 6 show the incident angle dependence of the transmittance of the laminated thin film at this time. In a wide wavelength range from 350 to 850 nm, the incident angle dependence of the transmittance appears.

【0058】[0058]

【表6】 [Table 6]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】基板温度を−175℃、試料の蒸着速度を0.
2nm/minとし、石英基板上に真空蒸着して作成し
た白金ジフェニルグリオキシマト薄膜の透過率スペクト
ルを示す図。実線は、基板面に垂直に入射光を照射した
場合の透過率分布。破線は基板面の垂線から60度傾い
た角度から入射光を照射した場合の透過率分布である。
700nm近傍の透過率に大きな視野角依存性が現れて
いる。
FIG. 1 shows a substrate temperature of -175 ° C. and a sample deposition rate of 0.
The figure which shows the transmittance | permeability spectrum of the platinum diphenylglyoximato thin film which made 2 nm / min and vacuum-evaporated on the quartz substrate. The solid line shows the transmittance distribution when the substrate surface is irradiated with incident light perpendicularly. The broken line indicates the transmittance distribution when the incident light is irradiated from an angle inclined by 60 degrees from the perpendicular to the substrate surface.
A large viewing angle dependence appears in the transmittance near 700 nm.

【図2】基板温度を−175℃、試料の蒸着速度を2.
1nm/minとし、石英基板上に真空蒸着して作成し
た白金ジフェニルグリオキシマト薄膜の透過率スペクト
ルを示す図。実線は、基板面に垂直に入射光を照射した
場合の透過率分布。破線は基板面の垂線から60度傾い
た角度から入射光を照射した場合の透過率分布である。
550nm近傍の透過率に大きな視野角依存性が現れて
いる。
FIG. 2 shows a substrate temperature of -175 ° C. and a sample deposition rate of 2.
The figure which shows the transmittance | permeability spectrum of the platinum diphenylglyoximato thin film which made 1 nm / min and was vacuum-deposited on the quartz substrate. The solid line shows the transmittance distribution when the substrate surface is irradiated with incident light perpendicularly. The broken line indicates the transmittance distribution when the incident light is irradiated from an angle inclined by 60 degrees from the perpendicular to the substrate surface.
A large viewing angle dependence appears in the transmittance near 550 nm.

【図3】石英基板上に、基板温度−175℃で白金ジフ
ェニルグリオキシマト薄膜を真空蒸着し、更にその上に
白金ジメチルグリオキシマト薄膜を積層した膜の透過率
スペクトルを示す図。実線は、基板面に垂直に入射光を
照射した場合の透過率分布。一点鎖線は基板面の垂線か
ら20度傾いた角度から、破線は基板面の垂線から40
度傾いた角度から、二点鎖線は基板面の垂線から60度
傾いた角度から、点線は基板面の垂線から70度傾いた
角度から入射光を照射した場合の透過率分布である。7
00nm近傍の透過率に大きな入射角依存性が現れてい
る。
FIG. 3 is a view showing a transmittance spectrum of a film in which a platinum diphenylglyoximato thin film is vacuum-deposited on a quartz substrate at a substrate temperature of −175 ° C., and a platinum dimethylglyoximat thin film is further laminated thereon. The solid line shows the transmittance distribution when the substrate surface is irradiated with incident light perpendicularly. The dashed line indicates an angle of 20 degrees from the perpendicular to the substrate surface, and the dashed line indicates 40 degrees from the perpendicular to the substrate surface.
The two-dot chain line indicates the transmittance distribution when the incident light is irradiated from an angle inclined 60 degrees from the perpendicular to the substrate surface, and the dotted line indicates the transmittance distribution when the incident light is irradiated from the angle inclined 70 degrees from the perpendicular to the substrate surface. 7
A large incident angle dependence appears in the transmittance near 00 nm.

【図4】石英基板上に、基板温度−175℃で白金ジフ
ェニルグリオキシマト薄膜を真空蒸着し、更にその上に
ニッケルジメチルグリオキシマト薄膜を積層した膜の透
過率スペクトルを示す図。実線は、基板面に垂直に入射
光を照射した場合の透過率分布。一点鎖線は基板面の垂
線から20度傾いた角度から、破線は基板面の垂線から
40度傾いた角度から、二点鎖線は基板面の垂線から6
0度傾いた角度から、点線は基板面の垂線から70度傾
いた角度から入射光を照射した場合の透過率分布であ
る。550nm近傍の透過率に大きな入射角依存性が現
れている。
FIG. 4 is a diagram showing a transmittance spectrum of a film in which a platinum diphenylglyoximato thin film is vacuum-deposited on a quartz substrate at a substrate temperature of −175 ° C., and a nickel dimethylglyoximato thin film is further laminated thereon. The solid line shows the transmittance distribution when the substrate surface is irradiated with incident light perpendicularly. The alternate long and short dash line is an angle inclined by 20 degrees from the perpendicular to the substrate surface, the broken line is an angle inclined by 40 degrees from the perpendicular to the substrate surface, and the alternate long and two short dashes line is 6 degrees from the perpendicular to the substrate surface.
From the angle inclined at 0 °, the dotted line indicates the transmittance distribution when the incident light is irradiated at an angle inclined at 70 ° from the perpendicular to the substrate surface. A large incident angle dependence appears in the transmittance near 550 nm.

【図5】石英基板上に、基板温度−175℃で白金ジフ
ェニルグリオキシマト薄膜を真空蒸着し、更にその上に
パラジウムジメチルグリオキシマト薄膜を積層した膜の
透過率スペクトルを示す図。実線は、基板面に垂直に入
射光を照射した場合の透過率分布。一点鎖線は基板面の
垂線から20度傾いた角度から、破線は基板面の垂線か
ら40度傾いた角度から、二点鎖線は基板面の垂線から
60度傾いた角度から、点線は基板面の垂線から70度
傾いた角度から入射光を照射した場合の透過率分布であ
る。450nm近傍の透過率に大きな入射角依存性が現
れている。
FIG. 5 is a diagram showing a transmittance spectrum of a film in which a platinum diphenylglyoximato thin film is vacuum-deposited on a quartz substrate at a substrate temperature of −175 ° C., and a palladium dimethylglyoximat thin film is further laminated thereon. The solid line shows the transmittance distribution when the substrate surface is irradiated with incident light perpendicularly. The alternate long and short dash line is from an angle inclined by 20 degrees from the perpendicular to the substrate surface, the broken line is from an angle inclined by 40 degrees from the perpendicular to the substrate surface, the two-dot chain line is from an angle inclined by 60 degrees from the perpendicular to the substrate surface, and the dotted line is the angle from the perpendicular to the substrate surface. It is a transmittance distribution when incident light is irradiated from an angle inclined by 70 degrees from a perpendicular. A large incident angle dependence appears in the transmittance near 450 nm.

【図6】石英基板上に、基板温度−175℃で白金ジフ
ェニルグリオキシマト薄膜を真空蒸着し、更にその上に
白金ジメチルグリオキシマト薄膜、パラジウムジメチル
グリオキシマト薄膜、ニッケルジメチルグリオキシマト
薄膜を順次積層した膜の透過率スペクトルを示す図。実
線は、基板面に垂直に入射光を照射した場合の透過率分
布。破線は基板面の垂線から70度傾いた角度から入射
光を照射した場合の透過率分布である。350から85
0nmの広い波長範囲で、透過率に大きな入射角依存性
が現れている。
FIG. 6 A platinum diphenylglyoximato thin film is vacuum-deposited on a quartz substrate at a substrate temperature of -175 ° C., and a platinum dimethylglyoximat thin film, a palladium dimethylglyoximat thin film, and a nickel dimethylglyoximat thin film are further formed thereon. The figure which shows the transmittance | permeability spectrum of the film | membrane which laminated | stacked sequentially. The solid line shows the transmittance distribution when the substrate surface is irradiated with incident light perpendicularly. The broken line is the transmittance distribution when the incident light is irradiated from an angle inclined by 70 degrees from the perpendicular of the substrate surface. 350 to 85
In a wide wavelength range of 0 nm, the transmittance has a large incident angle dependence.

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C07F 15/00 C07F 15/00 F (72)発明者 田野 隆徳 茨城県つくば市東1丁目1番 工業技術 院物質工学工業技術研究所内 (72)発明者 牛島 洋史 茨城県つくば市東1丁目1番 工業技術 院物質工学工業技術研究所内 (72)発明者 小笹 健仁 茨城県つくば市東1丁目1番 工業技術 院物質工学工業技術研究所内 (56)参考文献 特開 平4−8771(JP,A) 特開 平4−23868(JP,A) 特開 平9−230134(JP,A) 特開 昭64−93556(JP,A) 特開 平4−62970(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 5/20 Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI C07F 15/00 C07F 15/00 F (72) Inventor Takanori Tano 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki Pref. Inventor Hiroshi Ushijima 1-1-1, Higashi, Tsukuba-shi, Ibaraki Pref., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (72) Inventor Kenji Osasa 1-1-1, Higashi, Higashi, Tsukuba-shi, Ibaraki Pref. Document JP-A-4-8771 (JP, A) JP-A-4-23868 (JP, A) JP-A-9-230134 (JP, A) JP-A-64-93556 (JP, A) 62970 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 5/20

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 下記一般式(1)で表される平面型有機
金属錯体からなる偏向カラーフィルター用材料。 【化1】 (式中、R1、R2、R3及びR4は炭素原子を結合原子と
する置換基A、ヘテロ原子を結合原子とする置換基B、
ハロゲン基又は水素を示し、R1とR2が前記置換基A及
び/又はBである場合にはそれらのR1及びR2は相互に
連結して環を形成していてもよく、またR3とR4が前記
置換基A及び/又はBである場合にはそれらのR3及び
4は相互に連結して環を形成していてもよく、Mは
銅、ニッケル、パラジウム及び白金の中から選ばれる金
属を示す)
1. A polarizing color filter material comprising a planar organometallic complex represented by the following general formula (1). Embedded image (Wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are a substituent A having a carbon atom as a bonding atom, a substituent B having a hetero atom as a bonding atom,
And when R 1 and R 2 are the substituents A and / or B, R 1 and R 2 may be mutually connected to form a ring; When 3 and R 4 are the aforementioned substituents A and / or B, those R 3 and R 4 may be mutually connected to form a ring, and M represents copper, nickel, palladium and platinum. Indicates a metal selected from the list)
【請求項2】 請求項1の材料の薄膜を基板上に形成し
てなる偏向カラーフィルター。
2. A deflecting color filter comprising a thin film of the material according to claim 1 formed on a substrate.
【請求項3】 請求項1の材料を基板上に−100℃以
下の温度で真空蒸着して該材料の薄膜を形成することを
特徴とする偏向カラーフィルターの製造方法。
3. A method for manufacturing a deflecting color filter, comprising forming a thin film of the material of claim 1 on a substrate by vacuum vapor deposition at a temperature of -100 ° C. or less.
【請求項4】 該材料の真空蒸着速度が、1分間当りの
膜厚成長速度で表して、0.01〜3nmである請求項
3の方法。
4. The method according to claim 3, wherein the vacuum deposition rate of the material is 0.01 to 3 nm, expressed as a film growth rate per minute.
【請求項5】 請求項1の材料の薄膜の2種以上を、基
板上に積層してなる偏光カラーフィルター。
5. A polarizing color filter comprising two or more thin films of the material according to claim 1 laminated on a substrate.
【請求項6】 請求項1の材料を基板上に−100℃以
下の温度で真空蒸着して該材料の薄膜を形成し、更にそ
の上に請求項1の材料の1種以上を積層することを特徴
とする偏光カラーフィルターの製造方法。
6. The method according to claim 1, wherein the material according to claim 1 is vacuum-deposited on a substrate at a temperature of -100 ° C. or less to form a thin film of the material, and further, at least one kind of the material according to claim 1 is laminated thereon. A method for producing a polarizing color filter, comprising:
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