JP3361164B2 - Leak detection method and device - Google Patents
Leak detection method and deviceInfo
- Publication number
- JP3361164B2 JP3361164B2 JP29833693A JP29833693A JP3361164B2 JP 3361164 B2 JP3361164 B2 JP 3361164B2 JP 29833693 A JP29833693 A JP 29833693A JP 29833693 A JP29833693 A JP 29833693A JP 3361164 B2 JP3361164 B2 JP 3361164B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- work
- leak
- container
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 63
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 210000000265 leukocyte Anatomy 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011067 equilibration Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、白血球除去フ
ィルタ、血液処理器等の医療機器、水処理器、エアフィ
ルタ等の流体処理器のリークの検査方法、およびその方
法を実施するための検査装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting a leak in a fluid treatment device such as a leukocyte removal filter or a blood treatment device, a water treatment device or an air filter, and a method for implementing the method. The present invention relates to an inspection device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、このような内部が中空の製品
のリーク検査方法としては、例えば、その検査対象物
（以下、「ワーク」という）の内部を空気で直接加圧し
て、そのワークの表面に石鹸水を塗ったり、そのワーク
自体を水中に沈めたりして、気泡の発生の有無を調べる
方法、ワークの内圧を測定する圧力計を取り付けてか
ら、ワークの内部を直接加圧、もしくは減圧後、ワーク
の内部を密閉して内圧の経時的な変化を調べる方法、さ
らにヘリウムを用いたヘリウムリークディテクタと称さ
れる検査方法などがある。しかし、これらの検査方法
は、いずれも検査に時間、およびコストがかかり、短時
間に大量の製品の検査を行う方法としては適していな
い。2. Description of the Related Art Conventionally, as a leak inspection method for such a hollow product, for example, the inside of the inspection object (hereinafter referred to as "work") is directly pressurized with air to Applying soapy water on the surface or submerging the work itself in water to check for the occurrence of air bubbles, attach a pressure gauge to measure the internal pressure of the work, and then directly pressurize the inside of the work, or After depressurization, there is a method of sealing the inside of the work to check the change of the internal pressure with time, and an inspection method called helium leak detector using helium. However, all of these inspection methods require time and cost for inspection, and are not suitable as methods for inspecting a large number of products in a short time.
【０００３】また、比較的簡易な検査方法としては、圧
力変化側測定によるリーク検査方法がある。この検査方
法は、ワークの内部と外部との間に圧力差を設けたとき
に、ワークのリーク箇所を通してワーク内外の気体が圧
力の高い方から低い方へと移動して、ワーク内部の圧力
が時間経過とともに変化することを利用したものであ
る。その原理を説明すると以下のとおりである。As a relatively simple inspection method, there is a leak inspection method by measuring on the pressure change side. With this inspection method, when a pressure difference is provided between the inside and outside of the work, the gas inside and outside the work moves from the higher pressure to the lower pressure through the leak point of the work, and the pressure inside the work is It utilizes the fact that it changes over time. The principle is as follows.
【０００４】気体の状態方程式は、The equation of state of gas is
【０００５】[0005]
【数１】
ＰＶ＝ｎＲＴ …（１）
（Ｐ；圧力、Ｖ；体積、ｎ；モル数、Ｒ；定数、Ｔ；温
度）である。ここで、リーク検査中はワークの体積Ｖお
よび温度Ｔを一定とすることによって、圧力Ｐはモル数
ｎの変化に応じて変化する。すなわち、ある時間ｔ１か
らｔ２までのワークの内圧変化ΔＰは、上式（１）よ
り、## EQU1 ## PV = nRT (1) (P; pressure, V; volume, n; number of moles, R; constant, T; temperature). Here, during the leak inspection, by keeping the volume V and the temperature T of the work constant, the pressure P changes according to the change of the number of moles n. That is, the internal pressure change ΔP of the work from a certain time t1 to t2 is calculated from the above equation (1) as
【０００６】[0006]
【数２】
ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２＝Ｒ（ｎ１Ｔ１／Ｖ１−ｎ２Ｔ２／Ｖ２）
＝Ｒ（ｎ１−ｎ２）Ｔ／Ｖ …（２）
となる。なお、上式（２）中、ｔ１の時点におけるワー
クの内圧がＰ１、体積がＶ１、モル数がｎ１、温度がＴ
１であり、またｔ２の時点におけるワークの内圧がＰ
２、体積がＶ２、モル数がｎ２、温度がＴ２である。こ
のように、ワークの体積および温度を一定とすることに
より、ワークの内圧変化は気体のモル数の変化で示され
ることになる。したがって、ワークのリーク箇所から気
体の流入、流出が起これば圧力が変化して、それにより
リーク発生の有無を判定することができる。## EQU00002 ## .DELTA.P = P1-P2 = R (n1T1 / V1-n2T2 / V2) = R (n1-n2) T / V (2) In the above formula (2), the internal pressure of the work at time t1 is P1, the volume is V1, the number of moles is n1, and the temperature is T.
1 and the internal pressure of the work at the time of t2 is P
2, the volume is V2, the number of moles is n2, and the temperature is T2. Thus, by keeping the volume and temperature of the work constant, the change in the internal pressure of the work is indicated by the change in the number of moles of gas. Therefore, if gas inflows or outflows from the leak portion of the work, the pressure changes, and it is possible to determine whether or not the leak has occurred.
【０００７】従来、このような検査方法を実施するため
の検査装置は、ワークと同等品で洩れのない検査器具
（通常、「マスター」と称されている）を用いるように
なっている。すなわち、その検査機器（以下、「マスタ
ー」という）の内部をワークの内部と同様に加圧して、
それらの内圧を平衡させてから、それらの内部を加圧す
るために開かれていたバルブを閉じ、一定時間経過後の
ワークとマスターとの内圧の差の測定結果からワークの
リークの有無を判定する。Conventionally, an inspection apparatus for carrying out such an inspection method uses an inspection tool (generally referred to as a "master") which is equivalent to a work and does not leak. That is, the inside of the inspection device (hereinafter referred to as “master”) is pressurized in the same manner as the inside of the work,
After balancing their internal pressures, the valves that were opened to pressurize the insides of them were closed, and the presence or absence of a workpiece leak was determined from the measurement results of the internal pressure difference between the workpiece and the master after a certain period of time. .
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に、短
時間でリーク検査を行うためには、圧力検知範囲におい
て１ｍｍＡｑ以下の感度が要求される。しかし、例え
ば、ワークの内部を直接１００ｍｍＡｑ以上に加圧した
場合、その加圧状態において、直接その内圧を１ｍｍＡ
ｑ以下の測定感度で計測することは、圧力計の測定精度
的に困難である。By the way, generally, in order to perform a leak test in a short time, a sensitivity of 1 mmAq or less is required in a pressure detection range. However, for example, when the inside of the work is directly pressurized to 100 mmAq or more, the inner pressure is directly increased to 1 mmA in the pressurized state.
It is difficult to measure with a measurement sensitivity of q or less in terms of measurement accuracy of the pressure gauge.
【０００９】そこで、前述した従来の検査装置のように
マスターを用意して、そのマスターの内部をワークと同
様に加圧して両者の内圧を平衡させてから、両者の内圧
の差の変化量を測定して、リークの有無を検知してい
る。Therefore, a master is prepared as in the above-described conventional inspection apparatus, the inside of the master is pressurized in the same manner as the work to balance the internal pressures of the two, and then the change amount of the difference between the internal pressures of the two is measured. By measuring, the presence or absence of leak is detected.
【００１０】ところが、このようなマスターを用いた従
来の検査装置の場合には、次のような問題がある。However, the conventional inspection apparatus using such a master has the following problems.
【００１１】すなわち、まず、検査に使用するマスター
には、リーク箇所がないことが必要条件となる。また、
検査時に、室温またはワークやマスターの温度が変化し
た場合、測定圧力が変化してリークの有無を正しく判定
することが困難になる。特に、短時間でリーク検査を行
おうとする場合には、前述したように極めて小さな圧力
の変化（１ｍｍＡｑ以下）を測定することが必要となる
にも拘らず、前述した式（２）からも明らかなように、
圧力測定中に温度や体積が変化した場合は、その変化が
極めて小さなものであったとしてもΔＰの値に影響を及
ぼし、正確なリーク判定を行うことが難しくなる。それ
故、従来の検査装置では、ワークが圧力によって変形し
て体積変化が生じたり、圧力測定中の温度変化による外
乱のために内部圧力が変化したりして、圧力測定が不安
定になり、また、それを回避するためには、圧力の測定
時間の延長や差圧更正などが必要となって、正確な測定
を短時間に行うことが難しくなるという新たな問題が生
じることになる。That is, first, it is a necessary condition that the master used for the inspection has no leak portion. Also,
When the room temperature or the temperature of the work or the master changes at the time of inspection, the measured pressure changes and it becomes difficult to correctly determine the presence or absence of a leak. Particularly, when a leak test is to be performed in a short time, although it is necessary to measure an extremely small change in pressure (1 mmAq or less) as described above, it is clear from the formula (2) described above. Like
If the temperature or volume changes during pressure measurement, even if the change is extremely small, it affects the value of ΔP, making it difficult to make an accurate leak determination. Therefore, in the conventional inspection device, the work is deformed by the pressure and the volume is changed, or the internal pressure is changed due to the disturbance due to the temperature change during the pressure measurement, and the pressure measurement becomes unstable, Further, in order to avoid this, it is necessary to extend the time for measuring the pressure or calibrate the differential pressure, which causes a new problem that it becomes difficult to perform accurate measurement in a short time.
【００１２】本発明の目的は、このような従来の問題を
解消し、検査対象物の内圧を直接計測することによっ
て、検査を簡易かつ短時間で行うことができ、しかも温
度変化の影響を受けにくいリーク検知の方法および装置
を提供することにある。An object of the present invention is to solve such a conventional problem and directly measure the internal pressure of an object to be inspected, so that the inspection can be carried out easily and in a short time, and the influence of the temperature change is exerted. An object of the present invention is to provide a leak detection method and device which are difficult to detect.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のリーク検知方法は、内部が中空の検査対象
物を容器内に入れてから該容器を密閉し、その後、前記
検査対象物の外周部を拘束して、前記容器内を減圧させ
てから、前記検査対象物の内部の圧力変化を測定してリ
ークの有無を検知することを特徴とする。また、本発明
のリーク検知装置は、中空の検査対象物を内部に収納可
能かつ該内部を密閉可能な容器と、前記容器の内部を減
圧する圧力調整手段と、前記検査対象物の内部の圧力の
経時的な変化に基づいてリークの有無を検知する検知手
段と、前記容器内の前記検査対象物の外周部を拘束して
その膨張を阻止する拘束手段とを備えたことを特徴とす
る。To achieve the above object, according to an aspect of the leak detection method of the present invention, the container is sealed from the inside to put a hollow test object into the container, then the
It is characterized in that the presence or absence of a leak is detected by restraining the outer peripheral portion of the inspection object and depressurizing the inside of the container, then measuring the pressure change inside the inspection object. In addition, the leak detection device of the present invention reduces the inside of the container and the container that can house the hollow inspection object and can seal the inside.
A pressure adjusting means for pressing, a detecting means for detecting the presence or absence of a leak based on a change over time of the pressure inside the inspection object, and a constraint on the outer peripheral portion of the inspection object in the container.
And restraining means for preventing the expansion .
【００１４】また、本発明のリーク検知装置は、中空の
検査対象物を内部に収納可能かつ該内部を密閉可能な容
器と、前記容器の内部を減圧または加圧する圧力調整手
段と、前記検査対象物の内部の圧力の経時的な変化に基
づいてリークの有無を検知する検知手段とを備えたこと
を特徴とする。Further, the leak detecting apparatus of the present invention comprises a container capable of accommodating a hollow object to be inspected and sealing the inside thereof, pressure adjusting means for decompressing or pressurizing the inside of the container, and the object to be inspected. And a detection unit that detects the presence or absence of a leak based on a change in pressure inside the object over time.
【００１５】[0015]
【作用】本発明では、リーク検査に際して、検査対象物
を容器内に入れてから、その容器を密閉し、検査対象物
の内側の内部空間を検査対象物の外部空間（密閉された
容器内にて検査対象物を取り囲む空間）から独立させて
から、その外部空間のみを加圧もしくは減圧させる。そ
して、検査対象物の内部空間の圧力（「ｇａｇｅ圧」と
もいう）を測定し、その圧力の変化量により検査対象物
のリーク箇所の有無を判定する。In the present invention, at the time of leak inspection, the inspection object is put in the container, and then the container is sealed, and the inner space inside the inspection object is the outer space of the inspection object (in the sealed container, Independent of the space surrounding the inspection object), and then pressurizing or depressurizing only the external space. Then, the pressure in the internal space of the inspection object (also referred to as “gage pressure”) is measured, and the presence or absence of a leak location of the inspection object is determined by the amount of change in the pressure.
【００１６】より具体的には、検査対象物を容器内に入
れてから、その容器を密閉し、検査対象物の開口部を圧
力の検圧系に接続して、容器の内部において検査対象物
の内部空間を外部空間から完全に独立させたのち、その
外部空間を加圧もしくは減圧させる。このとき、検査対
象物にリーク箇所があった場合は、そのリーク箇所を通
じて外部空間の気体が内部空間に流入、もしくは内部空
間の気体が外部空間に流出する。そして、このようにし
て生じる内部空間の圧力変化を測定して、リーク箇所の
有無を検知する。More specifically, after the inspection object is put in a container, the container is hermetically closed, the opening of the inspection object is connected to a pressure detection system, and the inspection object is inside the container. After the inner space of is completely independent from the outer space, the outer space is pressurized or depressurized. At this time, if the inspection object has a leak portion, the gas in the external space flows into the internal space or the gas in the internal space flows out to the external space through the leak portion. Then, the pressure change in the internal space thus generated is measured to detect the presence or absence of a leak location.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、図面と共に本発明の一実施例について
説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１８】図１は、本実施例のリーク検査装置の概略
構成を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining the schematic configuration of the leak inspection apparatus of this embodiment.
【００１９】図１において１は、内部が中空の検査対象
物（以下、「ワーク」という）であり、このワーク１に
は、その内部に貫通する開口部が１つ以上設けられてい
る。本例におけるワーク１は、内部が中空の長方体でか
つ両端に開口部が設けられている。このワーク１は、密
閉可能な容器２内に収納されて、その容器２を貫通する
検圧管３がワーク１の開口部の１つに接続される。その
ときに、検圧管３が通る容器２の貫通部、および検圧管
３とワーク１との接続口にて洩れが生じないように、そ
れらの部分をシールする。そして、ワーク１の他の開口
部の全てに盲シール４を接続して、それらの開口部を全
て閉塞する。ワーク１に接続した検圧管３の容器２の外
側端部には、検圧管３の開口部を開閉する検圧弁５と圧
力測定装置（検知手段）６の検圧部を接続する。これに
より、容器２の内部において、ワーク１の外側の外部空
間Ｓ1 と、その内側の内部空間Ｓ2 は、互いに独立した
空間となる。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an object to be inspected (hereinafter referred to as "work") having a hollow inside, and the work 1 is provided with one or more openings penetrating the inside thereof. The work 1 in this example is a rectangular parallelepiped having a hollow inside, and openings are provided at both ends. The work 1 is housed in a container 2 that can be sealed, and a pressure detection tube 3 penetrating the container 2 is connected to one of the openings of the work 1. At that time, those portions are sealed so that no leakage occurs at the penetrating portion of the container 2 through which the pressure detecting tube 3 passes and the connection port between the pressure detecting tube 3 and the work 1. Then, the blind seal 4 is connected to all the other openings of the work 1 to close all the openings. The pressure detecting valve 5 for opening and closing the opening of the pressure detecting tube 3 and the pressure detecting portion of the pressure measuring device (detecting means) 6 are connected to the outer end of the container 2 of the pressure detecting tube 3 connected to the work 1. As a result, inside the container 2, the outer space S 1 outside the work 1 and the inner space S 2 inside the work 1 are independent spaces.
【００２０】また、容器２には開口部７が設けられてお
り、その開口部７に管８を介して圧力供給源（圧力調整
手段）２０を接続する。圧力供給源２０は、例えば、加
圧エア等の加圧気体を供給する加圧ポンプ、あるいは真
空ポンプ等を備えており、前者の加圧ポンプを備えたも
のの場合は、管８を通して容器２内に加圧気体を導き入
れて外部空間Ｓ1 を加圧でき、また、後者の真空ポンプ
を備えたものの場合は、容器２内の気体を吸引して外部
空間Ｓ1 内を減圧できることになる。また、管８にはバ
ルブ９が接続されており、これを開閉することによっ
て、容器２内と圧力供給源２０とを接続したり、容器２
内を大気に開放して、容器２内と大気もしくは圧力供給
源２０との間で気体の流入、流出を行う。また、バルブ
９には、検査終了後に容器２内からワーク１を速やかに
取り出せるように、容器２内の圧力を大気に開放する機
能を持たせることもできる。また、図に示すように圧力
調整用の減圧弁１０を設けて、加圧、減圧のコントロー
ルを行うこともできる。Further, the container 2 is provided with an opening 7, and a pressure supply source (pressure adjusting means) 20 is connected to the opening 7 via a pipe 8. The pressure supply source 20 includes, for example, a pressure pump for supplying a pressure gas such as pressure air, or a vacuum pump. In the case of the former pressure pump, the pressure supply source 20 is supplied through the pipe 8 to the inside of the container 2. The external space S 1 can be pressurized by introducing a pressurized gas into the external space S 1 , and in the case of the latter vacuum pump, the external space S 1 can be depressurized by sucking the gas in the container 2. Also, a valve 9 is connected to the pipe 8, and by opening and closing this, the inside of the container 2 and the pressure supply source 20 are connected, and the container 2 is connected.
The inside is opened to the atmosphere, and gas is allowed to flow in and out between the inside of the container 2 and the atmosphere or the pressure supply source 20. Further, the valve 9 can be provided with a function of releasing the pressure in the container 2 to the atmosphere so that the work 1 can be quickly taken out from the container 2 after the inspection is completed. Further, as shown in the figure, a pressure reducing valve 10 for pressure adjustment may be provided to control pressurization and pressure reduction.
【００２１】しかして、圧力供給源２０によって外部空
間Ｓ1 を加圧または減圧した状態において、容器１内の
ワーク１にリーク箇所があった場合は、ワーク１のリー
ク箇所からワーク１の内部空間Ｓ2 に外部空間Ｓ1 より
気体が流入、もしくは内部空間Ｓ2 の気体が外部空間Ｓ
1 へ流出し、ワーク１の内部空間Ｓ2 の圧力が上昇もし
くは降下する。この内部空間Ｓ2 の圧力上昇もしくは降
下を圧力測定装置６が検知しリークの発生を判定する。If there is a leak point in the work 1 in the container 1 while the external space S 1 is pressurized or depressurized by the pressure supply source 20, the leak space of the work 1 causes the internal space of the work 1 to flow. Gas flows into S 2 from the external space S 1 , or gas in the internal space S 2 flows to the external space S 1.
1, and the pressure in the internal space S 2 of the work 1 rises or falls. The pressure measuring device 6 detects the rise or fall of the pressure in the internal space S 2 and determines the occurrence of leak.
【００２２】図２に、本実施例のリーク検査装置の具体
的な構成を示す。FIG. 2 shows a specific structure of the leak inspection apparatus of this embodiment.
【００２３】本構成のリーク検査装置には、容器２の蓋
２ａをアクチュエータ２ｂの伸縮動作によって自動的に
図中の左右方向に開閉させて容器２を密閉させる開閉機
構Ａと、ワーク１の開口部に検圧管３および盲シール４
をアクチュエータ３ａおよび４ａの伸縮動作によって図
中の左右方向に移動させて自動的に接続する開閉機構Ｂ
およびＣが備えられている。さらに、ワーク１の膨張を
抑止すべく、アクチュエータ１１ａの伸縮動作によって
押圧板１１ｂをワーク１の上面を押圧する押圧機構（拘
束手段）Ｄと、ワーク１の側面および下面の位置を規制
してワーク１の位置決めと膨張の抑止機能をもつホルダ
１２が備えられている。In the leak inspection apparatus of this construction, the lid 2a of the container 2 is automatically opened / closed in the left-right direction in the drawing by the expansion / contraction operation of the actuator 2b to seal the container 2 and the opening of the work 1. Pressure measuring tube 3 and blind seal 4
Opening and closing mechanism B for automatically connecting by moving the actuators 3a and 4a in the horizontal direction in the figure by the expansion and contraction operation of the actuators 3a and 4a
And C are provided. Further, in order to suppress the expansion of the work 1, the pressing mechanism (restricting means) D that presses the pressing plate 11b against the upper surface of the work 1 by the expansion and contraction of the actuator 11a and the positions of the side surface and the lower surface of the work 1 are restricted. 1 is provided with a holder 12 having a positioning function and an expansion suppressing function.
【００２４】検査装置のホルダ１２にセットされたワー
ク１は、アクチュエータ２ｂによって容器２の蓋２ａが
自動的に閉じられることにより、その容器２内に収納さ
れる。それから、アクチュエータ３ａおよび４ａの動作
によって、ワーク１の開口部を検圧管３および盲シール
４でシールし、容器２の内部にて、ワーク１の内部空間
Ｓ2 を外部空間Ｓ1 から独立させる。このとき、アクチ
ュエータ１１ａを作動させ、押圧板１１ｂによってワー
ク１の上面を押さえる。そして、バルブ９を開いて容器
２内の外部空間Ｓ1 内を加圧もしくは減圧する。加圧も
しくは減圧による外部空間Ｓ1 の圧力が検査上の設定値
に到達してから、検圧弁５を閉じる。それから、一定時
間の圧力変化を圧力測定装置６により測定し、その圧力
変化の程度が所定の基準値の範囲をはずれた場合は、ワ
ーク１にリーク箇所があると判定する。The work 1 set in the holder 12 of the inspection device is stored in the container 2 by automatically closing the lid 2a of the container 2 by the actuator 2b. Then, by operating the actuators 3a and 4a, the opening of the work 1 is sealed with the pressure detection tube 3 and the blind seal 4, and the inner space S 2 of the work 1 is separated from the outer space S 1 inside the container 2. At this time, the actuator 11a is operated and the pressing plate 11b presses the upper surface of the work 1. Then, the valve 9 is opened to pressurize or depressurize the inside of the external space S 1 inside the container 2. After the pressure in the external space S 1 due to pressurization or depressurization has reached the set value for inspection, the pressure detection valve 5 is closed. Then, the pressure change for a certain period of time is measured by the pressure measuring device 6, and when the degree of the pressure change is out of the range of the predetermined reference value, it is determined that the work 1 has a leak point.
【００２５】このように、本発明では、ワークのリーク
検査に際して、ワーク１の内部空間Ｓ2 を大気圧（測定
環境の室内気圧）の状態で外部空間Ｓ1 と遮断し、その
外部空間Ｓ1 のみを加圧もしくは減圧させるため、内部
空間Ｓ2 内の圧力変化の測定を大気圧近傍の範囲にて行
うことができる。そのため、圧力測定装置６は、測定範
囲が０〜数ｍｍＡｑのものでもよく、極めて微少な圧力
（１ｍｍＡｑ以下）を検出する測定器を使用することが
可能となり、短時間で高精度なリーク検査が行えること
になる。As described above, according to the present invention, in the leak inspection of the work, the inner space S 2 of the work 1 is shut off from the outer space S 1 under the atmospheric pressure (the room pressure of the measurement environment), and the outer space S 1 is cut off. Since only the pressure is increased or decreased, it is possible to measure the pressure change in the internal space S 2 in the range near the atmospheric pressure. Therefore, the pressure measuring device 6 may have a measuring range of 0 to several mmAq, and it is possible to use a measuring device that detects an extremely minute pressure (1 mmAq or less), and a highly accurate leak test can be performed in a short time. You can do it.
【００２６】さらに、ワーク１を検査装置の容器２内に
収納してリーク検査を行うため、周囲の温度変化の影響
を受けにくい。また、外部空間Ｓ1 を真空ポンプ等を備
え圧力供給源２０によって減圧してリーク検査を行う場
合は、ワーク１と、その周囲の気体との間に温度差があ
ったとしても、外部空間Ｓ1 の気体そのものが除去され
るためにワーク１が断熱されることになり、温度変化の
外乱をなくした正確な検査が実施できることになる。Further, since the work 1 is housed in the container 2 of the inspection device and the leak inspection is performed, it is not easily affected by the ambient temperature change. Further, when the leak inspection is performed by depressurizing the external space S 1 with the pressure supply source 20 equipped with a vacuum pump or the like, even if there is a temperature difference between the work 1 and the gas around it, the external space S 1 Since the gas 1 itself is removed, the work 1 is thermally insulated, and an accurate inspection without the disturbance of temperature change can be performed.
【００２７】また、ワーク１の周面を押圧機構Ｄおよび
ホルダ１２によって拘束することにより、ワーク１の外
部空間Ｓ1 を減圧した場合におけるワーク１の膨張を抑
止して、ワーク１の体積変化により外乱をなくすことが
できる。Further, by restraining the peripheral surface of the work 1 by the pressing mechanism D and the holder 12, the expansion of the work 1 when the external space S 1 of the work 1 is decompressed is suppressed, and the volume change of the work 1 is suppressed. Disturbance can be eliminated.
【００２８】（リーク検査の実施例）本発明によるリー
ク検知装置を用い、外部空間Ｓ1 を減圧することによる
リーク検査の実施例について説明する。(Embodiment of Leak Inspection) An embodiment of leak inspection by depressurizing the external space S 1 by using the leak detection device according to the present invention will be described.
【００２９】測定対象のワーク１として、白血球除去フ
ィルタ（商品名；セパセル（内容積１０ｃｍ3 ））を用
い、リーク検査を実施した。比較のため、従来の検査方
法である加圧式（マスター使用）の市販機を使用しての
リーク検査も実施した。A leukocyte removal filter (trade name; Sepacell (internal volume: 10 cm 3 )) was used as the work 1 to be measured, and a leak test was performed. For comparison, a leak test using a conventional pressurizing type (using master) commercial machine was also carried out.
【００３０】使用したワーク１は、水中での気泡観察に
より１ｋｇ／ｃｍ2 （ｇａｇｅ圧）の加圧のもとで洩れ
量が、
ワークＡ … １．７５×１０-4ｃｍ3 ／秒
ワークＢ … ０．９５×１０-4ｃｍ3 ／秒
となる２つのワークＡ，Ｂを用意した。The work 1 used had a leakage amount under the pressurization of 1 kg / cm 2 (gage pressure) by observing bubbles in the water. Work A ... 1.75 × 10 −4 cm 3 / sec Work B ... Two workpieces A and B having 0.95 × 10 −4 cm 3 / sec were prepared.
【００３１】従来の加圧式の市販機を用いて、リーク検
査に、
加圧（１ｋｇ／ｃｍ2 （ｇａｇｅ圧）時間） … ５秒
平衡（マスターとワークの圧力を平衡させる（時間）） … ８秒
検出（差圧測定）時間 … １０秒
の合計２３秒の時間をかけた。Using a conventional pressurizing type commercial machine, for leak inspection, pressurization (1 kg / cm 2 (gage pressure) time) ... 5 seconds Equilibration (master and work pressures are equilibrated (time)) ... 8 Second detection (differential pressure measurement) time ... A total of 23 seconds of 10 seconds was taken.
【００３２】一方、本発明によるリーク検知装置では、
リーク検査に、
減圧（１ｔｏｒｒ以下）開始後検出開始までの時間 … ２秒
検出（ワークの内圧測定）時間 … ４秒
の合計６秒の時間をかけた。On the other hand, in the leak detection device according to the present invention,
The leak test was performed for a total of 6 seconds, that is, the time from the start of depressurization (1 torr or less) to the start of detection ... 2 seconds Detection (measurement of internal pressure of work) ...
【００３３】リーク検査では、圧力変化ΔＰ（検出開始
時間の圧力Ｐ0 と検出終了時の圧力Ｐ1 との差の絶対
値）が、基準の値（水中リーク検査で洩れたワークのΔ
Ｐの値などにより決められる値）より大きければリーク
有り、小さければリーク無しと判定される。今回の試験
においては、基準の値０．５ｍｍＡｑとし、そのときの
判定精度（［判定が正しい回数］／「検査回数」×１０
０（％））を比較した。リーク検査は、５回繰り返して
実施した。その結果を下表１に示す。In the leak inspection, the pressure change ΔP (the absolute value of the difference between the pressure P 0 at the detection start time and the pressure P 1 at the detection end) is a reference value (Δ of the work leaked in the underwater leak inspection).
It is determined that there is a leak if it is larger than a value determined by the value of P or the like, and no leak if it is smaller. In this test, the standard value was set to 0.5 mmAq, and the determination accuracy at that time ([the number of correct determinations] / “the number of inspections” × 10
0 (%)) were compared. The leak test was repeated 5 times. The results are shown in Table 1 below.
【００３４】[0034]
【表１】 [Table 1]
【００３５】ΔＰの値は、検査機が外乱（ワークやマス
ターおよび測定機周囲の温度変化、ワークやマスターの
体積変化）を受けると、リークによるワーク内部への気
体の流入もしくはワーク内部からの気体の流出による圧
力変化の値に、外乱による圧力変化の値が加減されて、
正確なリーク有り無しの判定が困難になる。The value of ΔP is such that when the inspection machine is subjected to disturbance (temperature change around the work and master and the measuring machine, volume change of the work and master), gas inflows into the work due to leakage or gas from the inside of the work. The value of the pressure change due to the disturbance is added to or subtracted from the value of the pressure change due to the outflow of
It becomes difficult to accurately determine whether or not there is a leak.
【００３６】表１に示す結果から、本発明によるリーク
検査が市販機よりも短時間にかつ正確に実施できること
が確認された。From the results shown in Table 1, it was confirmed that the leak test according to the present invention can be carried out more accurately and in a shorter time than the commercial machine.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のリーク検
知方法および装置は、検査対象物のリーク有無を短時間
で簡易に検知することができ、しかも、検査対象物の温
度や検査対象物の周囲の環境温度の変化等の影響を受け
にくくて、正確な検知が可能である。As described above, the leak detecting method and apparatus of the present invention can easily detect the presence or absence of a leak of an inspection object in a short time, and further, can detect the temperature of the inspection object and the inspection object. Accurate detection is possible because it is unlikely to be affected by changes in the ambient temperature around.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明のリーク検査装置の概要構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a leak inspection apparatus of the present invention.
【図２】本発明のリーク検査装置の具体的な構成例の説
明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a specific configuration example of a leak inspection device of the present invention.
１ ワーク（検査対象物） ２ 容器 ５ 検圧弁 ６ 圧力測定装置（検知手段） ２０ 圧力供給源（圧力調整手段） Ｄ 拘束手段 1 work (inspection object) 2 containers 5 Pressure detection valve 6 Pressure measuring device (detection means) 20 Pressure supply source (pressure adjusting means) D restraint means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/32 G01M 3/26 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01M 3/32 G01M 3/26
Claims (2)
てから該容器を密閉し、その後、前記検査対象物の外周
部を拘束して、前記容器内を減圧させてから、前記検査
対象物の内部の圧力変化を測定してリークの有無を検知
することを特徴とするリーク検知方法。1. A test object having a hollow interior is placed in a container, the container is hermetically sealed, and thereafter, an outer periphery of the test object.
A leak detecting method comprising: restraining a part to reduce the pressure in the container, and then measuring the change in pressure inside the inspection object to detect the presence or absence of a leak.
該内部を密閉可能な容器と、 前記容器の内部を減圧する圧力調整手段と、 前記検査対象物の内部の圧力の経時的な変化に基づいて
リークの有無を検知する検知手段と、 前記容器内の前記検査対象物の外周部を拘束してその膨
張を阻止する拘束手段と を備えたことを特徴とするリー
ク検知装置。2. A container capable of accommodating a hollow inspection object therein and sealing the inside thereof, a pressure adjusting means for decompressing the inside of the container, and a change with time of the internal pressure of the inspection object. detection means for detecting the presence or absence of leakage based on its bulging to restrain the outer periphery of the test object in the container
A leak detecting device, comprising: a restraining means for preventing the tension .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29833693A JP3361164B2 (en) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | Leak detection method and device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29833693A JP3361164B2 (en) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | Leak detection method and device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07151637A JPH07151637A (en) | 1995-06-16 |
| JP3361164B2 true JP3361164B2 (en) | 2003-01-07 |
Family
ID=17858352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29833693A Expired - Fee Related JP3361164B2 (en) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | Leak detection method and device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3361164B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008026202A (en) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Yazaki Corp | Wire harness water-stop inspection device and water-stop inspection method |
| JP5222533B2 (en) * | 2007-11-16 | 2013-06-26 | 矢崎総業株式会社 | Sealing material filling device |
| EP3111823A4 (en) * | 2015-01-26 | 2018-01-10 | Olympus Corporation | Leak tester and endoscope reprocessor |
| CN108235762A (en) * | 2016-10-12 | 2018-06-29 | 华为技术有限公司 | A kind of detection method of sealing performance, device and storage medium |
| CN106932153A (en) * | 2017-04-27 | 2017-07-07 | 保定天威电气设备结构有限公司 | A kind of method and device of container part leak detection |
-
1993
- 1993-11-29 JP JP29833693A patent/JP3361164B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07151637A (en) | 1995-06-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7560498B2 (en) | System and method for detecting possible loss of integrity of flexible bags for biopharmaceutical products - Patents.com | |
| US6513366B1 (en) | Method and apparatus for package leak testing | |
| JP3001820B2 (en) | Container leak test method and apparatus | |
| EP0632258A2 (en) | Methods and apparatus for detection of large leaks | |
| US4774830A (en) | Testing container seals | |
| US20190346336A1 (en) | Leak Detection Installation, Method, Usage and Corresponding Computer Program Storage Means | |
| US4542643A (en) | Fluid leak testing method | |
| EP3690419B1 (en) | System and method for detecting a possible loss of integrity of a flexible bag for biopharmaceutical product | |
| US5170660A (en) | Process and apparatus for volume-testing a hollow body | |
| US20220178782A1 (en) | Method and system, using a colorimetric indicator, for detecting a possible loss of integrity of a flexible bag for biopharmaceutical product | |
| JP2583880B2 (en) | Pack airtightness inspection method and apparatus | |
| JP3201667B2 (en) | Check valve test apparatus and check valve test method | |
| JP3361164B2 (en) | Leak detection method and device | |
| JP2875829B2 (en) | Accuracy check device for safety valve automatic inspection device | |
| JP7510791B2 (en) | Air Leak Testing Equipment | |
| JP4154077B2 (en) | Air leak detection method for sealed containers | |
| JP3715543B2 (en) | Airtight performance test method | |
| JP2649490B2 (en) | Housing watertightness test equipment | |
| JP3502687B2 (en) | Pressure leak measurement method | |
| EP0041530B1 (en) | Fluid-tightness testing of large vessels | |
| JP2003254855A (en) | Leakage-detecting apparatus | |
| CA1299394C (en) | Testing containing seals | |
| JP3024456B2 (en) | Airtightness inspection method for hollow containers | |
| JPH0843241A (en) | Leakage measuring method | |
| EP1469296A1 (en) | Process and apparatus for checking sealor tightness of a package made of flexible or semirigid material |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |