JP3362787B2 - インクジェット記録ヘッド用圧電ユニット - Google Patents
インクジェット記録ヘッド用圧電ユニットInfo
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- JP3362787B2 JP3362787B2 JP2001009921A JP2001009921A JP3362787B2 JP 3362787 B2 JP3362787 B2 JP 3362787B2 JP 2001009921 A JP2001009921 A JP 2001009921A JP 2001009921 A JP2001009921 A JP 2001009921A JP 3362787 B2 JP3362787 B2 JP 3362787B2
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- piezoelectric element
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の圧電素子を
同一のヘッド基板に固定して構成されたインクジェット
記録ヘッド用の圧電ユニットに関する。
同一のヘッド基板に固定して構成されたインクジェット
記録ヘッド用の圧電ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドは、ノズルや
圧力室を形成する流路ユニットと、圧力室を加圧する圧
電素子とから構成されており、印字密度を向上させるた
めには、圧力室を加圧する圧電素子の配列密度を高める
ことが必要となる。このため、例えば特開平3-264360号
公報に見られるように圧電材料板を櫛歯状に歯割して多
数の圧電素子を形成した圧電ユニットが提案されてい
る。
圧力室を形成する流路ユニットと、圧力室を加圧する圧
電素子とから構成されており、印字密度を向上させるた
めには、圧力室を加圧する圧電素子の配列密度を高める
ことが必要となる。このため、例えば特開平3-264360号
公報に見られるように圧電材料板を櫛歯状に歯割して多
数の圧電素子を形成した圧電ユニットが提案されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しょうとする課題】この圧電ユニットによ
れば、圧電素子のそれぞれを圧力室に位置決めする場合
に比較して位置作業の簡素化を図ることができるもの
の、多数の片持梁状の圧電素子のそれぞれを各圧力室に
正確に位置決めするには困難が伴う。また、高密度化が
進むと、各圧電素子が細くなるため強度が低下し、位置
決め作業時に破損する虞がある。また、圧電素子が細く
なると、これに駆動信号を供給する導電路の確保が困難
となる。本発明は、このような問題に鑑みてなされたも
のであってその目的とするところは、圧電ユニットを構
成する各圧電素子を流路ユニットに正確に位置決めする
ことができ、かつ比較的容易に駆動信号を供給するため
の導電路を形成することができるインクジェット記録ヘ
ッドを提供することにある。
れば、圧電素子のそれぞれを圧力室に位置決めする場合
に比較して位置作業の簡素化を図ることができるもの
の、多数の片持梁状の圧電素子のそれぞれを各圧力室に
正確に位置決めするには困難が伴う。また、高密度化が
進むと、各圧電素子が細くなるため強度が低下し、位置
決め作業時に破損する虞がある。また、圧電素子が細く
なると、これに駆動信号を供給する導電路の確保が困難
となる。本発明は、このような問題に鑑みてなされたも
のであってその目的とするところは、圧電ユニットを構
成する各圧電素子を流路ユニットに正確に位置決めする
ことができ、かつ比較的容易に駆動信号を供給するため
の導電路を形成することができるインクジェット記録ヘ
ッドを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明においては、圧力室の壁を変位させてノ
ズルからインク滴を吐出させる複数の圧電素子をヘッド
基板に列状に固定するとともに、前記圧電素子の列設方
向の両側に、前記壁との位置を決めるための位置決め素
子を前記ヘッド基板に固定し、また前記圧電素子と接触
して前記圧電素子を並列に接続する導電部材を備える。
るために本発明においては、圧力室の壁を変位させてノ
ズルからインク滴を吐出させる複数の圧電素子をヘッド
基板に列状に固定するとともに、前記圧電素子の列設方
向の両側に、前記壁との位置を決めるための位置決め素
子を前記ヘッド基板に固定し、また前記圧電素子と接触
して前記圧電素子を並列に接続する導電部材を備える。
【０００５】
【作用】組立時には両側の位置決め素子により圧電素子
を所定位置に位置決めし、また別部材である導電部材に
より導電路を確保して各圧電素子に信号を供給する。
を所定位置に位置決めし、また別部材である導電部材に
より導電路を確保して各圧電素子に信号を供給する。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１（ａ）乃至（ｃ）は、それぞ
れ本発明によるインクジェット記録ヘッドの一実施例を
示すものであって、複数の圧電素子１は、図３に示した
ように一半（図中、上半分）が自由端となるように他半
（図中、下半分）をヘッド基板２に固定され、また圧電
素子１の両側には、圧電素子１よりも幅が大きく構成さ
れた位置決め素子３、３が固定されて圧電ユニット４と
して構成されている。
れ本発明によるインクジェット記録ヘッドの一実施例を
示すものであって、複数の圧電素子１は、図３に示した
ように一半（図中、上半分）が自由端となるように他半
（図中、下半分）をヘッド基板２に固定され、また圧電
素子１の両側には、圧電素子１よりも幅が大きく構成さ
れた位置決め素子３、３が固定されて圧電ユニット４と
して構成されている。
【０００７】これら振動子１と位置決め素子３は、それ
ぞれの先端面１ａ、３ａが同一平面に位置するように形
成され、また位置決め素子３は、その両側面がヘッド基
板２の側面よりも内側に位置するように配置されてい
る。
ぞれの先端面１ａ、３ａが同一平面に位置するように形
成され、また位置決め素子３は、その両側面がヘッド基
板２の側面よりも内側に位置するように配置されてい
る。
【０００８】圧電ユニット４は、ヘッド基板２の表面に
圧電素子１に接続する薄膜電極５と、位置決め素子３に
接続する薄膜電極６が形成されている。圧電素子１は、
図３（ｂ）に示したように圧電材料を挟んで積層されて
いる内部電極の一方と先端１ａで接続する外部電極７
と、内部電極の他方の極と後端１ｂで接続する外部電極
８とが形成されている。各圧電素子１の外部電極７は導
電部材９により並列に接続されて薄膜電極６に、また外
部電極８は、薄膜電極５に接続されている。導電部材
は、図３（ａ）からも明らかなように、少なくとも複数
の圧電素子１をカバーするとともに、両側に配置された
位置決め素子３、３に対向するようにその長さが設定さ
れている。
圧電素子１に接続する薄膜電極５と、位置決め素子３に
接続する薄膜電極６が形成されている。圧電素子１は、
図３（ｂ）に示したように圧電材料を挟んで積層されて
いる内部電極の一方と先端１ａで接続する外部電極７
と、内部電極の他方の極と後端１ｂで接続する外部電極
８とが形成されている。各圧電素子１の外部電極７は導
電部材９により並列に接続されて薄膜電極６に、また外
部電極８は、薄膜電極５に接続されている。導電部材
は、図３（ａ）からも明らかなように、少なくとも複数
の圧電素子１をカバーするとともに、両側に配置された
位置決め素子３、３に対向するようにその長さが設定さ
れている。
【０００９】このような構成により、駆動すべき圧電素
子１の薄膜電極５と薄膜電極６との間に駆動信号を印加
することにより、圧電素子１が薄膜電極５と導電部材９
とを介して充電されて、矢印ｚ方向に圧電素子１が収縮
し、また電荷を放電すると圧電素子１が伸長して充電前
の状態に復帰する。
子１の薄膜電極５と薄膜電極６との間に駆動信号を印加
することにより、圧電素子１が薄膜電極５と導電部材９
とを介して充電されて、矢印ｚ方向に圧電素子１が収縮
し、また電荷を放電すると圧電素子１が伸長して充電前
の状態に復帰する。
【００１０】流路ユニット１０は、圧力室１１を形成す
る圧力室板１２と、圧力室１１の容積を変化させる壁１
３と、圧力室１１に連通するノズル１４を有するノズル
板１５とから構成されている。
る圧力室板１２と、圧力室１１の容積を変化させる壁１
３と、圧力室１１に連通するノズル１４を有するノズル
板１５とから構成されている。
【００１１】ヘッド基板固定部材２０は、両端に開口を
備えた筒胴状に形成されていて、一端に流路ユニット１
０の固定面２１が形成され、胴部にはヘッド基板２を収
容する凹部２２と、圧電素子１及び位置決め素子３を収
容する凹部２３とが形成されている。
備えた筒胴状に形成されていて、一端に流路ユニット１
０の固定面２１が形成され、胴部にはヘッド基板２を収
容する凹部２２と、圧電素子１及び位置決め素子３を収
容する凹部２３とが形成されている。
【００１２】ヘッド基板２を収容する凹部２２は、ヘッ
ド基板２との間に若干の間隙ｇを形成できる程度の長さ
に選択されている。一方、圧電素子１及び位置決め素子
３を収容する凹部２３は、固定面２１側の長さが、圧電
ユニット４の位置決め素子間の距離Ｌ１とほぼ一致する
ように設定され、また他端側の長さＬ２が距離Ｌ１より
も大きく構成され、流路ユニット固定面の手前で斜面２
４により接続されている。
ド基板２との間に若干の間隙ｇを形成できる程度の長さ
に選択されている。一方、圧電素子１及び位置決め素子
３を収容する凹部２３は、固定面２１側の長さが、圧電
ユニット４の位置決め素子間の距離Ｌ１とほぼ一致する
ように設定され、また他端側の長さＬ２が距離Ｌ１より
も大きく構成され、流路ユニット固定面の手前で斜面２
４により接続されている。
【００１３】流路ユニット１０を、これに形成された孔
１６をヘッド基板固定部材２０の固定面２１に形成され
た凸部２５により位置決め、接着等により固定した状態
で、ヘッド固定部材２０の後方から、圧電ユニット４の
ヘッド基板２を凹部２２に位置合わせして装入すると、
位置決め素子３、３の両側が凹部２２の斜面２４、２４
に案内されて凹部２３の側壁２３ａに一致して、つまり
図中符号ｙ方向の位置合わせを受けながら流路ユニット
１０の圧力壁１３に到達する。一方、凹部２２はヘッド
固定基板２の幅よりも若干大きく構成されているから、
位置決め素子３のｙ方向の移動に合わせてヘッド固定基
板２が追従して移動する。
１６をヘッド基板固定部材２０の固定面２１に形成され
た凸部２５により位置決め、接着等により固定した状態
で、ヘッド固定部材２０の後方から、圧電ユニット４の
ヘッド基板２を凹部２２に位置合わせして装入すると、
位置決め素子３、３の両側が凹部２２の斜面２４、２４
に案内されて凹部２３の側壁２３ａに一致して、つまり
図中符号ｙ方向の位置合わせを受けながら流路ユニット
１０の圧力壁１３に到達する。一方、凹部２２はヘッド
固定基板２の幅よりも若干大きく構成されているから、
位置決め素子３のｙ方向の移動に合わせてヘッド固定基
板２が追従して移動する。
【００１４】位置決め素子３は、その先端を図１（ｃ）
に示したように圧力室１１が形成されておらず比較的剛
性が高く、かつヘッド基板固定部材側の位置に当接して
図中ｚ方向の位置合わせを受けるため、前述のｙ方向の
位置合わせと相まって圧電素子１が各圧力室１１の領域
に壁１３を無用に押圧することなく圧力壁１３に当接す
る。
に示したように圧力室１１が形成されておらず比較的剛
性が高く、かつヘッド基板固定部材側の位置に当接して
図中ｚ方向の位置合わせを受けるため、前述のｙ方向の
位置合わせと相まって圧電素子１が各圧力室１１の領域
に壁１３を無用に押圧することなく圧力壁１３に当接す
る。
【００１５】このようにして３者の位置合わせが終了し
た段階で、ヘッド基板２とヘッド基板固定部材２０との
対向面を接着剤により固定することにより記録ヘッドが
完成する。
た段階で、ヘッド基板２とヘッド基板固定部材２０との
対向面を接着剤により固定することにより記録ヘッドが
完成する。
【００１６】このように、ヘッド基板固定部材２０には
ヘッド基板２を収容する凹部２３と圧電素子１及び位置
決め素子２を収容する凹部２２とが可及的に独立するよ
うに形成されているため、振動ユニット４の挿入工程に
おいては、ヘッド基板２は、その両端面がヘッド基板固
定部材４の凹部２３にガイドされ、また圧電素子１及び
位置決め素子３が凹部２２にガイドされるから、比較的
脆い積層圧電材料からなる圧電素子１が他部材と衝突す
るのを防止して、折損等の事故を防止することができ
る。
ヘッド基板２を収容する凹部２３と圧電素子１及び位置
決め素子２を収容する凹部２２とが可及的に独立するよ
うに形成されているため、振動ユニット４の挿入工程に
おいては、ヘッド基板２は、その両端面がヘッド基板固
定部材４の凹部２３にガイドされ、また圧電素子１及び
位置決め素子３が凹部２２にガイドされるから、比較的
脆い積層圧電材料からなる圧電素子１が他部材と衝突す
るのを防止して、折損等の事故を防止することができ
る。
【００１７】このように構成された記録ヘッドは、駆動
信号の印加を受けると、圧電素子１が収縮して圧力室１
１の容積が増加し、インクが圧力室１１を満たす。つい
で圧電素子１の電荷を放電させると、圧電素子１が初期
状態に伸長して圧力室１１が加圧され、ノズル１４から
インク滴が吐出する。
信号の印加を受けると、圧電素子１が収縮して圧力室１
１の容積が増加し、インクが圧力室１１を満たす。つい
で圧電素子１の電荷を放電させると、圧電素子１が初期
状態に伸長して圧力室１１が加圧され、ノズル１４から
インク滴が吐出する。
【００１８】図４は、上述した圧電ユニットの製造方法
の一実施例を示すものであって、表面に２ミクロンメー
トル以下の薄膜電極３０が形成された快削性セラミック
スからなるヘッド基板３１と、圧電特性を備えた積層圧
電素材３２とを用意する（図４（ａ））。積層圧電素材
３２は、その幅ｗが両側の位置決め素子３の両側の距離
Ｌ１よりも大きいものが選択されている。
の一実施例を示すものであって、表面に２ミクロンメー
トル以下の薄膜電極３０が形成された快削性セラミック
スからなるヘッド基板３１と、圧電特性を備えた積層圧
電素材３２とを用意する（図４（ａ））。積層圧電素材
３２は、その幅ｗが両側の位置決め素子３の両側の距離
Ｌ１よりも大きいものが選択されている。
【００１９】積層圧電素材３２の両側面３２ａが、形成
すべき位置決め素子３の両側よりも外側に位置するよう
に位置決めしてヘッド基板３１に接合する（図４
（ｂ））。形成すべき圧電素子１及び位置決め素子３に
合わせてスライシング機によって積層圧電素材３２を切
断する。この切断過程において切削深度を薄膜電極３０
よりも若干、ヘッド基板３１に食い込むように調整して
おくと、薄膜電極３０を圧電素子１及び位置決め素子３
に合わせて分離でき、それぞれにに接続する導電パター
ン３３、３４を形成できる（図４（ｃ））。
すべき位置決め素子３の両側よりも外側に位置するよう
に位置決めしてヘッド基板３１に接合する（図４
（ｂ））。形成すべき圧電素子１及び位置決め素子３に
合わせてスライシング機によって積層圧電素材３２を切
断する。この切断過程において切削深度を薄膜電極３０
よりも若干、ヘッド基板３１に食い込むように調整して
おくと、薄膜電極３０を圧電素子１及び位置決め素子３
に合わせて分離でき、それぞれにに接続する導電パター
ン３３、３４を形成できる（図４（ｃ））。
【００２０】このように一枚の積層圧電素材３２をヘッ
ド基板３１に固定してから、圧電素子１と位置決め素子
３とに切分けるため、それぞれの位置精度を切削精度で
管理することができ、位置決め素子３、複数の圧電素子
１を高い精度でヘッド基板２に作りつけることができ
る。
ド基板３１に固定してから、圧電素子１と位置決め素子
３とに切分けるため、それぞれの位置精度を切削精度で
管理することができ、位置決め素子３、複数の圧電素子
１を高い精度でヘッド基板２に作りつけることができ
る。
【００２１】最後に位置決め素子、及び圧電素子１の列
設方向に延びる共通電極板３５を取付け、端部を導電パ
ターン３４に接続することにより圧電ユニットが完成す
る（図４（ｄ））。
設方向に延びる共通電極板３５を取付け、端部を導電パ
ターン３４に接続することにより圧電ユニットが完成す
る（図４（ｄ））。
【００２２】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
組立時には両側の位置決め素子により圧電素子を所定位
置に正確に位置決めでき、また別部材である導電部材に
より導電路を確保できて、各圧電素子に確実に駆動信号
を供給することができる。
組立時には両側の位置決め素子により圧電素子を所定位
置に正確に位置決めでき、また別部材である導電部材に
より導電路を確保できて、各圧電素子に確実に駆動信号
を供給することができる。
【図１】図（ａ）乃至（ｃ）は、それぞれ本発明の圧電
ユニットを用いたインクジェット記録ヘッドの一実施例
を、圧電素子の列設方向に平行な断面での構造を示す
図、圧電素子及び位置決め素子の先端部近傍を拡大して
示す断面図である。
ユニットを用いたインクジェット記録ヘッドの一実施例
を、圧電素子の列設方向に平行な断面での構造を示す
図、圧電素子及び位置決め素子の先端部近傍を拡大して
示す断面図である。
【図２】同上記録ヘッドを構成するヘッド基板固定部材
の一実施例を示す上面図である。
の一実施例を示す上面図である。
【図３】図（ａ）、（ｂ）は、それぞれ同上記録ヘッド
に使用する本発明が特徴とする圧電ユニットの一実施例
を示す斜視図と圧電素子の位置での断面図である。
に使用する本発明が特徴とする圧電ユニットの一実施例
を示す斜視図と圧電素子の位置での断面図である。
【図４】図（ａ）乃至（ｄ）は、それぞれ同上圧電ユニ
ットの製造方法を示す図である。
ットの製造方法を示す図である。
１ 圧電素子
２ ヘッド基板
３ 位置決め素子
４ 圧電ユニット
９ 導電部材
１０ 流路ユニット
１１ 圧力室
１２ 圧力室板
２０ ヘッド基板固定部材
２１ 固定面
２２、２３ 圧電ユニット収容用の凹部
Claims (5)
- 【請求項１】 圧力室の壁を変位させてノズルからイン
ク滴を吐出させる複数の圧電素子をヘッド基板に列状に
固定するとともに、前記圧電素子の列設方向の両側に、
前記壁との位置を決めるための位置決め素子を前記ヘッ
ド基板に固定し、また前記圧電素子と接触して前記圧電
素子を並列に接続する導電部材を備えたインクジェット
記録ヘッド用圧電ユニット。 - 【請求項２】 前記導電部材が、前記ヘッド基板に形成
された薄膜電極に導電的に接続されている請求項１に記
載のインクジェット記録ヘッド用圧電ユニット。 - 【請求項３】 前記導電部材が、前記位置決め素子に対
向する位置まで延長されている請求項１に記載のインク
ジェット記録ヘッド用圧電ユニット。 - 【請求項４】 前記圧電素子の表面に外部電極が形成さ
れ、前記導電部材が前記外部電極と導電関係を形成して
いる請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド用圧電
ユニット。 - 【請求項５】 前記導電部材が、前記圧電素子の、前記
ヘッド基板に固定されている側と反対の面に固定されて
いる請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド用圧電
ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001009921A JP3362787B2 (ja) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | インクジェット記録ヘッド用圧電ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001009921A JP3362787B2 (ja) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | インクジェット記録ヘッド用圧電ユニット |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34534391A Division JP3199076B2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録ヘッド用圧電ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001187452A JP2001187452A (ja) | 2001-07-10 |
| JP3362787B2 true JP3362787B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=18877331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001009921A Expired - Lifetime JP3362787B2 (ja) | 2001-01-18 | 2001-01-18 | インクジェット記録ヘッド用圧電ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3362787B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4973854B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2012-07-11 | セイコーエプソン株式会社 | 加圧接合装置及びそれを用いた圧電素子ユニットの製造方法 |
-
2001
- 2001-01-18 JP JP2001009921A patent/JP3362787B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001187452A (ja) | 2001-07-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020605 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020925 |
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|
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