JP3372024B2 - 圧電素子保持構造 - Google Patents
圧電素子保持構造Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加速度センサなど
に適用する圧電素子の保持構造に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、この種の圧電素子保持構造として
は、図５に示すように、剪断形圧電素子１００を支持体
１０１と質量体１０２で挟むように配置し、夫々の貫通
孔１００ａ，１０１ａ，１０２ａにボルト１０３を挿通
し、このボルト１０３の端部にナットで締結して、剪断
形圧電素子１００を支持体１０１と質量体１０２で保持
したものが知られている（例えば、実公昭６１−１６５
２８号公報参照）。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、このような圧
電素子保持構造を適用した剪断形加速度ピックアップを
用いて、長期間連続して、例えば地震等の微弱な加速度
を観測する場合、外気温の変動に起因して加速度ピック
アップが発するノイズの発生頻度が無視できないという
問題があった。 【０００４】即ち、図５に示すように、ボルト１０３で
質量体１０２、圧電素子１００及び支持体１０１を締結
した場合には、支持体１０１又は質量体１０２が変形
し、この変形の結果、圧電素子１００の貫通孔１００ａ
の開口縁部周辺に応力が集中的に作用する。圧電素子１
００の貫通孔１００ａの開口縁部周辺に応力が集中的に
作用すると、この部分は局部的に破壊され、微細なクラ
ックが生じる。このようなクラックが生じた場合に、外
気温が変化すると、クラックの状態が変化し、この変化
に伴いノイズが発生することになる。 【０００５】また、ボルト１０３で質量体１０２、圧電
素子１００及び支持体１０１を締結すると、圧電素子１
００の一方の側面は質量体１０２と全面で密接し、圧電
素子１００の他方の側面は支持体１０１と全面で密接す
ることになる。このような状態において、外気温が変化
すると、質量体１０２の線膨張係数は圧電素子１００の
線膨張係数より１０倍程度大きいので、圧電素子１００
には、質量体１０２により伸長させる力が作用する。伸
長させる力が質量体１０２と圧電素子１００と間の摩擦
力より大きいときには、圧電素子１００は自身の破壊限
度を超えて伸び、一部にクラックが生じる。同様に、支
持体１０１との関係でも圧電素子１００にクラックが生
じる。圧電素子１００の一部に、一旦、クラックが生じ
ると、クラックの状態は温度によって変化するので、温
度が変われば、ノイズが発生することになる。 【０００６】本発明は、従来の技術が有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、ボルトの締め付けによる圧電素子への応力集中
や外気温の変動などにより、圧電素子に発生するクラッ
クを起因とするノイズの発生頻度を低減できる圧電素子
保持構造を提供しようとするものである。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく請
求項１に係る発明は、圧電素子を第１保持部材と第２保
持部材で挟み、これらの貫通孔にボルトを挿通して固定
する圧電素子保持構造において、前記圧電素子が対向す
る前記第１保持部材と第２保持部材の貫通孔の開口縁部
に、変形逃げ部を設けたものである。 【０００８】 【０００９】 【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は第１の実施の
形態に係る圧電素子保持構造を適用した剪断形加速度セ
ンサの断面図、図２は剪断形圧電素子の斜視図、図３は
第２の実施の形態に係る圧電素子保持構造を適用した剪
断形加速度センサの断面図、図４は第１の実施の形態に
係る圧電素子保持構造を適用した圧縮形加速度センサの
断面図である。 【００１０】第１の実施の形態に係る圧電素子保持構造
を適用した剪断形加速度センサは、図１に示すように、
支持体１、絶縁チューブ２、一対の圧電素子３，３、一
対の質量体４，４、ボルト５、ナット６及び出力端子７
からなる。 【００１１】圧電素子３，３は、それぞれ支持体１の側
面に配置され、圧電素子３，３の外側側面には、質量体
４，４が配置されている。ボルト５は、支持体１、圧電
素子３，３、質量体４，４を貫通している。このボルト
５の端部にナット６螺着して締め付けることにより、圧
電素子３，３と質量体４，４が支持体１に固定される。 【００１２】支持体１は、金属部材でなり、断面Ｔ字状
の形状を備える。直立部分には、絶縁チューブ２及びボ
ルト５を挿通するための貫通孔１ａが形成されている。
更に、貫通孔１ａの両開口縁部には、外気温の変動によ
って支持体１が膨張し支持体１の開口縁部が圧電素子３
の貫通孔３ａの開口縁部を圧迫しないようにするため、
所定の内径と所定の深さの変形逃げ部１ｂ，１ｂが形成
されている。 【００１３】絶縁チューブ２は、ボルト５と質量体４，
４との絶縁を保つためのもので、テフロン等の高分子部
材からなる。圧電素子３は、図２に示すように、四角板
状の形状を有した剪断形圧電素子である。圧電素子３の
中央には、貫通孔３ａが形成され、厚み方向の両面に
は、電極３ｂ，３ｃを備える。ここで、矢印ａは分極方
向を示す。 【００１４】質量体４，４は、図１に示すように、金属
部材でなり、略円柱形状を有し、中央にボルト５を挿通
するための貫通孔４ａが形成されている。また、質量体
４，４が圧電素子３，３と当接する貫通孔４ａの開口縁
部には、外気温の変動によって質量体４，４が膨張し質
量体４，４の開口縁部が圧電素子３の貫通孔３ａの開口
縁部を圧迫しないようにするため、所定の内径と所定の
深さの変形逃げ部４ｂ，４ｂが形成されている。 【００１５】以上のように構成した第１の実施の形態に
係る圧電素子保持構造の作用について説明する。第１の
実施の形態に係る圧電素子保持構造は、支持体１に変形
逃げ部１ｂ，１ｂを設けると共に、質量体４，４にも変
形逃げ部４ｂ，４ｂを設けているので、ボルト５を締め
付けることにより支持体１及び質量体４，４の開口縁部
周辺が変形しても、圧電素子３，３の貫通孔３ａの開口
縁部近傍を局部的に圧迫することはない。 【００１６】従って、支持体１及び質量体４，４の変形
によって圧電素子３，３の貫通孔３ａの開口縁部周辺に
応力が集中的に作用するこのがないので、圧電素子３，
３の開口縁部周辺におけるクラックの発生を未然に防止
できる。従って、加速度センサのノイズ発生頻度を抑制
できる。 【００１７】第２の実施の形態に係る圧電素子保持構造
を適用した加速度センサは、図３に示すように、支持体
１１、絶縁チューブ２、４枚のスペーサ１２、一対の圧
電素子３，３、一対の質量体１４，１４、ボルト５、ナ
ット６及び出力端子７からなる。 【００１８】圧電素子３，３の外側側面には、質量体１
４，１４が配置されている。ボルト５は、支持体１１、
圧電素子３，３、質量体１４，１４を貫通している。こ
のボルト５の端部にナット６を螺着して締め付けること
により、圧電素子３，３と質量体１４，１４が支持体１
１に固定される。 【００１９】支持体１１は、金属部材でなり、断面Ｔ字
状の形状を備える。直立部分には、絶縁チューブ２及び
ボルト５を挿通するための貫通孔１１ａを備える。スペ
ーサ１２は、圧電素子３，３よりも小さい外形で、中央
に貫通孔を形成した円盤状の金属薄板、例えば燐青銅薄
板である。 【００２０】スペーサ１２は、支持体１１と圧電素子
３，３の間、圧電素子３，３と質量体１４，１４の間に
配置してある。質量体１４，１４は、金属部材でなり、
略円柱形状を有し、中央にボルト５を挿通するための貫
通孔１４ｂを有している。 【００２１】以上のように構成した第２の実施の形態に
係る圧電素子保持構造の作用について説明する。第２の
実施の形態に係る圧電素子保持構造を適用した加速度セ
ンサの場合には、圧電素子３，３の各両側面にスペーサ
１２を配置しているので、圧電素子３，３の両側面とも
スペーサ１２と密接することになる。 【００２２】圧電素子３，３がスペーサ１２と密接する
ことにより、スペーサ１２を設けないで直接支持体１１
及び質量体１４，１４と接触させて保持する場合と比較
して、圧電素子３，３の接触面積が小さくなり、外気温
が変化した場合においても、圧電素子３，３を伸長させ
る力の絶対値が減少する。従って、圧電素子３，３のク
ラック発生を未然に防止でき、加速度センサのノイズ発
生頻度を抑制できる。 【００２３】なお、上述の実施の形態においては、剪断
形圧電素子３，３を使用した剪断形加速度センサに適用
した場合について説明したが、本発明に係る圧電素子保
持構造はこれに限らず、その他の圧電素子に適用でき
る。 【００２４】例えば、図４に示すように、圧縮形圧電素
子を用いた圧縮形加速度センサの構成としてもよい。こ
こで、２１は支持体で、その中央にねじ穴２１ａを有し
ている。ねじ穴２１ａの開口縁部には変形逃げ部２１ｂ
を形成している。 【００２５】一対の圧縮形圧電素子２２，２２は、互い
に分極方向が相反する方向を向くように配置している。
また、これら２枚の圧縮形圧電素子２２，２２の間に
は、共通電極板２３を設けている。 【００２６】質量体２４は、支持体２１と共に、２枚の
圧縮形圧電素子２２，２２を挟むように配置している。
ボルト２５は、質量体２４に形成した貫通孔２４ａ、一
対の圧縮形圧電素子２２，２２及び共通電極板２３を貫
通して、支持体２１のねじ穴２１ａに螺合している。な
お、２６は絶縁チューブである。図４に示す圧電素子保
持構造も、図１に示す剪断形加速度センサと同様の作用
効果を奏する。 【００２７】また、上述の実施の形態において、第１の
実施の形態に係る圧電素子保持構造の変形逃げ部１ｂ，
４ｂの形状として、ザグリ形状としたが、ボルト５の締
め付け力、質量体４，４の寸法、形状に応じてその他の
形状であってもよい。例えば、円錐状にえぐってもよい
し、また、２段になるようにアナ繰りしてもよい。 【００２８】更に、上述の第１及び第２の実施の形態に
おいては、圧電素子保持構造を、加速度センサに適用し
た場合について説明した。しかし、本発明に係る圧電素
子保持構造はこれに限らず、圧電素子を２つの保持部材
で挟み、これらにボルトを貫通して固定する構造であれ
ば、その他の圧電素子を備える装置、例えば、インパル
スハンマーに使用する力センサにも適用できる。 【００２９】 【発明の効果】以上説明したように請求項１に係る圧電
素子保持構造によれば、第１保持部材及び第２保持部材
に変形逃げ部を設けたことにより、ボルト締め付けに伴
う第１保持部材及び第２保持部材の変形による圧電素子
への応力集中が回避され、圧電素子の開口縁部周辺にお
けるクラックの発生を防止できるので、加速度センサな
どに適用した場合のノイズの発生頻度を抑制できる。 【００３０】
に適用する圧電素子の保持構造に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、この種の圧電素子保持構造として
は、図５に示すように、剪断形圧電素子１００を支持体
１０１と質量体１０２で挟むように配置し、夫々の貫通
孔１００ａ，１０１ａ，１０２ａにボルト１０３を挿通
し、このボルト１０３の端部にナットで締結して、剪断
形圧電素子１００を支持体１０１と質量体１０２で保持
したものが知られている（例えば、実公昭６１−１６５
２８号公報参照）。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、このような圧
電素子保持構造を適用した剪断形加速度ピックアップを
用いて、長期間連続して、例えば地震等の微弱な加速度
を観測する場合、外気温の変動に起因して加速度ピック
アップが発するノイズの発生頻度が無視できないという
問題があった。 【０００４】即ち、図５に示すように、ボルト１０３で
質量体１０２、圧電素子１００及び支持体１０１を締結
した場合には、支持体１０１又は質量体１０２が変形
し、この変形の結果、圧電素子１００の貫通孔１００ａ
の開口縁部周辺に応力が集中的に作用する。圧電素子１
００の貫通孔１００ａの開口縁部周辺に応力が集中的に
作用すると、この部分は局部的に破壊され、微細なクラ
ックが生じる。このようなクラックが生じた場合に、外
気温が変化すると、クラックの状態が変化し、この変化
に伴いノイズが発生することになる。 【０００５】また、ボルト１０３で質量体１０２、圧電
素子１００及び支持体１０１を締結すると、圧電素子１
００の一方の側面は質量体１０２と全面で密接し、圧電
素子１００の他方の側面は支持体１０１と全面で密接す
ることになる。このような状態において、外気温が変化
すると、質量体１０２の線膨張係数は圧電素子１００の
線膨張係数より１０倍程度大きいので、圧電素子１００
には、質量体１０２により伸長させる力が作用する。伸
長させる力が質量体１０２と圧電素子１００と間の摩擦
力より大きいときには、圧電素子１００は自身の破壊限
度を超えて伸び、一部にクラックが生じる。同様に、支
持体１０１との関係でも圧電素子１００にクラックが生
じる。圧電素子１００の一部に、一旦、クラックが生じ
ると、クラックの状態は温度によって変化するので、温
度が変われば、ノイズが発生することになる。 【０００６】本発明は、従来の技術が有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、ボルトの締め付けによる圧電素子への応力集中
や外気温の変動などにより、圧電素子に発生するクラッ
クを起因とするノイズの発生頻度を低減できる圧電素子
保持構造を提供しようとするものである。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく請
求項１に係る発明は、圧電素子を第１保持部材と第２保
持部材で挟み、これらの貫通孔にボルトを挿通して固定
する圧電素子保持構造において、前記圧電素子が対向す
る前記第１保持部材と第２保持部材の貫通孔の開口縁部
に、変形逃げ部を設けたものである。 【０００８】 【０００９】 【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は第１の実施の
形態に係る圧電素子保持構造を適用した剪断形加速度セ
ンサの断面図、図２は剪断形圧電素子の斜視図、図３は
第２の実施の形態に係る圧電素子保持構造を適用した剪
断形加速度センサの断面図、図４は第１の実施の形態に
係る圧電素子保持構造を適用した圧縮形加速度センサの
断面図である。 【００１０】第１の実施の形態に係る圧電素子保持構造
を適用した剪断形加速度センサは、図１に示すように、
支持体１、絶縁チューブ２、一対の圧電素子３，３、一
対の質量体４，４、ボルト５、ナット６及び出力端子７
からなる。 【００１１】圧電素子３，３は、それぞれ支持体１の側
面に配置され、圧電素子３，３の外側側面には、質量体
４，４が配置されている。ボルト５は、支持体１、圧電
素子３，３、質量体４，４を貫通している。このボルト
５の端部にナット６螺着して締め付けることにより、圧
電素子３，３と質量体４，４が支持体１に固定される。 【００１２】支持体１は、金属部材でなり、断面Ｔ字状
の形状を備える。直立部分には、絶縁チューブ２及びボ
ルト５を挿通するための貫通孔１ａが形成されている。
更に、貫通孔１ａの両開口縁部には、外気温の変動によ
って支持体１が膨張し支持体１の開口縁部が圧電素子３
の貫通孔３ａの開口縁部を圧迫しないようにするため、
所定の内径と所定の深さの変形逃げ部１ｂ，１ｂが形成
されている。 【００１３】絶縁チューブ２は、ボルト５と質量体４，
４との絶縁を保つためのもので、テフロン等の高分子部
材からなる。圧電素子３は、図２に示すように、四角板
状の形状を有した剪断形圧電素子である。圧電素子３の
中央には、貫通孔３ａが形成され、厚み方向の両面に
は、電極３ｂ，３ｃを備える。ここで、矢印ａは分極方
向を示す。 【００１４】質量体４，４は、図１に示すように、金属
部材でなり、略円柱形状を有し、中央にボルト５を挿通
するための貫通孔４ａが形成されている。また、質量体
４，４が圧電素子３，３と当接する貫通孔４ａの開口縁
部には、外気温の変動によって質量体４，４が膨張し質
量体４，４の開口縁部が圧電素子３の貫通孔３ａの開口
縁部を圧迫しないようにするため、所定の内径と所定の
深さの変形逃げ部４ｂ，４ｂが形成されている。 【００１５】以上のように構成した第１の実施の形態に
係る圧電素子保持構造の作用について説明する。第１の
実施の形態に係る圧電素子保持構造は、支持体１に変形
逃げ部１ｂ，１ｂを設けると共に、質量体４，４にも変
形逃げ部４ｂ，４ｂを設けているので、ボルト５を締め
付けることにより支持体１及び質量体４，４の開口縁部
周辺が変形しても、圧電素子３，３の貫通孔３ａの開口
縁部近傍を局部的に圧迫することはない。 【００１６】従って、支持体１及び質量体４，４の変形
によって圧電素子３，３の貫通孔３ａの開口縁部周辺に
応力が集中的に作用するこのがないので、圧電素子３，
３の開口縁部周辺におけるクラックの発生を未然に防止
できる。従って、加速度センサのノイズ発生頻度を抑制
できる。 【００１７】第２の実施の形態に係る圧電素子保持構造
を適用した加速度センサは、図３に示すように、支持体
１１、絶縁チューブ２、４枚のスペーサ１２、一対の圧
電素子３，３、一対の質量体１４，１４、ボルト５、ナ
ット６及び出力端子７からなる。 【００１８】圧電素子３，３の外側側面には、質量体１
４，１４が配置されている。ボルト５は、支持体１１、
圧電素子３，３、質量体１４，１４を貫通している。こ
のボルト５の端部にナット６を螺着して締め付けること
により、圧電素子３，３と質量体１４，１４が支持体１
１に固定される。 【００１９】支持体１１は、金属部材でなり、断面Ｔ字
状の形状を備える。直立部分には、絶縁チューブ２及び
ボルト５を挿通するための貫通孔１１ａを備える。スペ
ーサ１２は、圧電素子３，３よりも小さい外形で、中央
に貫通孔を形成した円盤状の金属薄板、例えば燐青銅薄
板である。 【００２０】スペーサ１２は、支持体１１と圧電素子
３，３の間、圧電素子３，３と質量体１４，１４の間に
配置してある。質量体１４，１４は、金属部材でなり、
略円柱形状を有し、中央にボルト５を挿通するための貫
通孔１４ｂを有している。 【００２１】以上のように構成した第２の実施の形態に
係る圧電素子保持構造の作用について説明する。第２の
実施の形態に係る圧電素子保持構造を適用した加速度セ
ンサの場合には、圧電素子３，３の各両側面にスペーサ
１２を配置しているので、圧電素子３，３の両側面とも
スペーサ１２と密接することになる。 【００２２】圧電素子３，３がスペーサ１２と密接する
ことにより、スペーサ１２を設けないで直接支持体１１
及び質量体１４，１４と接触させて保持する場合と比較
して、圧電素子３，３の接触面積が小さくなり、外気温
が変化した場合においても、圧電素子３，３を伸長させ
る力の絶対値が減少する。従って、圧電素子３，３のク
ラック発生を未然に防止でき、加速度センサのノイズ発
生頻度を抑制できる。 【００２３】なお、上述の実施の形態においては、剪断
形圧電素子３，３を使用した剪断形加速度センサに適用
した場合について説明したが、本発明に係る圧電素子保
持構造はこれに限らず、その他の圧電素子に適用でき
る。 【００２４】例えば、図４に示すように、圧縮形圧電素
子を用いた圧縮形加速度センサの構成としてもよい。こ
こで、２１は支持体で、その中央にねじ穴２１ａを有し
ている。ねじ穴２１ａの開口縁部には変形逃げ部２１ｂ
を形成している。 【００２５】一対の圧縮形圧電素子２２，２２は、互い
に分極方向が相反する方向を向くように配置している。
また、これら２枚の圧縮形圧電素子２２，２２の間に
は、共通電極板２３を設けている。 【００２６】質量体２４は、支持体２１と共に、２枚の
圧縮形圧電素子２２，２２を挟むように配置している。
ボルト２５は、質量体２４に形成した貫通孔２４ａ、一
対の圧縮形圧電素子２２，２２及び共通電極板２３を貫
通して、支持体２１のねじ穴２１ａに螺合している。な
お、２６は絶縁チューブである。図４に示す圧電素子保
持構造も、図１に示す剪断形加速度センサと同様の作用
効果を奏する。 【００２７】また、上述の実施の形態において、第１の
実施の形態に係る圧電素子保持構造の変形逃げ部１ｂ，
４ｂの形状として、ザグリ形状としたが、ボルト５の締
め付け力、質量体４，４の寸法、形状に応じてその他の
形状であってもよい。例えば、円錐状にえぐってもよい
し、また、２段になるようにアナ繰りしてもよい。 【００２８】更に、上述の第１及び第２の実施の形態に
おいては、圧電素子保持構造を、加速度センサに適用し
た場合について説明した。しかし、本発明に係る圧電素
子保持構造はこれに限らず、圧電素子を２つの保持部材
で挟み、これらにボルトを貫通して固定する構造であれ
ば、その他の圧電素子を備える装置、例えば、インパル
スハンマーに使用する力センサにも適用できる。 【００２９】 【発明の効果】以上説明したように請求項１に係る圧電
素子保持構造によれば、第１保持部材及び第２保持部材
に変形逃げ部を設けたことにより、ボルト締め付けに伴
う第１保持部材及び第２保持部材の変形による圧電素子
への応力集中が回避され、圧電素子の開口縁部周辺にお
けるクラックの発生を防止できるので、加速度センサな
どに適用した場合のノイズの発生頻度を抑制できる。 【００３０】
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る圧電素子保持構造を適
用した剪断形加速度センサの断面図 【図２】剪断形圧電素子の斜視図 【図３】第２の実施の形態に係る圧電素子保持構造を適
用した剪断形加速度センサの断面図 【図４】第１の実施の形態に係る圧電素子保持構造を適
用した圧縮形加速度センサの断面図 【図５】従来の圧電素子保持構造の要部断面図 【符号の説明】 １，１１，２１…支持体（第１保持部材）、１ａ，３
ａ，４ａ，１１ａ，１４ａ，２４ａ…貫通孔、１ｂ，４
ｂ，２１ｂ…変形逃げ部、２，２６…絶縁チューブ、３
…剪断形圧電素子、３ｂ，３ｃ…電極、４，１４，２４
…質量体（第２保持部材）、５，２５…ボルト、６…ナ
ット、７…出力端子、１２…スペーサ、２２…圧縮形圧
電素子、２３…電極板。
用した剪断形加速度センサの断面図 【図２】剪断形圧電素子の斜視図 【図３】第２の実施の形態に係る圧電素子保持構造を適
用した剪断形加速度センサの断面図 【図４】第１の実施の形態に係る圧電素子保持構造を適
用した圧縮形加速度センサの断面図 【図５】従来の圧電素子保持構造の要部断面図 【符号の説明】 １，１１，２１…支持体（第１保持部材）、１ａ，３
ａ，４ａ，１１ａ，１４ａ，２４ａ…貫通孔、１ｂ，４
ｂ，２１ｂ…変形逃げ部、２，２６…絶縁チューブ、３
…剪断形圧電素子、３ｂ，３ｃ…電極、４，１４，２４
…質量体（第２保持部材）、５，２５…ボルト、６…ナ
ット、７…出力端子、１２…スペーサ、２２…圧縮形圧
電素子、２３…電極板。
─────────────────────────────────────────────────────
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(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01P 15/09
G01D 5/12
G01L 1/16
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 圧電素子を第１保持部材と第２保持部材
で挟み、これらの貫通孔にボルトを挿通して固定する圧
電素子保持構造において、前記圧電素子が対向する前記
第１保持部材と第２保持部材の貫通孔の開口縁部に、変
形逃げ部を設けたことを特徴する圧電素子保持構造。
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|---|---|---|---|
| JP08008698A JP3372024B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 圧電素子保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08008698A JP3372024B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 圧電素子保持構造 |
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| JP3372024B2 true JP3372024B2 (ja) | 2003-01-27 |
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ID=13708403
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5866907B2 (ja) * | 2011-09-16 | 2016-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 力センサー、力検出装置、ロボットハンド、ロボット、および力センサーの製造方法 |
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-
1998
- 1998-03-27 JP JP08008698A patent/JP3372024B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN102039557B (zh) * | 2010-08-02 | 2012-11-07 | 大连理工大学 | 磨削测力仪在机标定方法和水平力加载器 |
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