JP3375445B2 - How to support the crystal resonator element - Google Patents
How to support the crystal resonator elementInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は圧電振動子に関し、特に
水晶振動子の構成要素である水晶振動片の保持方法に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric vibrator, and more particularly to a method of holding a crystal vibrating piece which is a constituent element of a crystal vibrator.
【0002】[0002]
【従来の技術】AT水晶振動片等偏平な水晶振動片を備
えた水晶振動子には、気密端子を用いるリードタイプ
と、表面実装型いわゆるSMDタイプとがある。2. Description of the Related Art Crystal oscillators provided with a flat crystal resonator element such as an AT crystal resonator element are classified into a lead type using airtight terminals and a surface mount type so-called SMD type.
【0003】このうちSMD水晶振動子はマイクロコン
ピュータ、通信機器等のクロック源としてプリント配線
基板への実装に適しており、近年多く用いられている。Of these, the SMD crystal oscillator is suitable for mounting on a printed wiring board as a clock source for microcomputers, communication devices and the like, and has been widely used in recent years.
【0004】SMD水晶振動子における水晶振動片の支
持方法として従来知られているものとしては、第1の方
法として図7に示すように、平板型の水晶振動片6を接
着剤20により基板1上に片持支持する方法がある。As a conventionally known method for supporting the crystal vibrating piece in the SMD crystal unit, as a first method, as shown in FIG. 7, a flat plate type crystal vibrating piece 6 is bonded to the substrate 1 by an adhesive 20. There is a method of cantilever support above.
【0005】第2の方法として図8に示すように、コン
ベックス型の水晶振動片6を接着剤20により基板1上
に片持支持する方法がある。As a second method, as shown in FIG. 8, there is a method of supporting the convex type quartz vibrating piece 6 on the substrate 1 in a cantilever manner with an adhesive 20.
【0006】第3の方法としては特開平4ー36711
1号公報に記載され図9に示すように、水晶振動片6を
基板1上の金属配線7に取り付けた専用の緩衝バネ22
の上に接着剤20により両持支持する方法がある。As a third method, Japanese Patent Laid-Open No. 4-36711
As described in Japanese Patent Publication No. 1 and shown in FIG. 9, a dedicated buffer spring 22 in which a crystal vibrating piece 6 is attached to a metal wiring 7 on a substrate 1
There is a method of supporting both ends by an adhesive agent 20 on the top.
【0007】さらに第4の方法として図10に示すよう
に、基板1上の金属配線7に取付けた一般的な支持バネ
15の上に接着剤20により水晶振動片を両持支持する
方法がある。Further, as a fourth method, as shown in FIG. 10, there is a method of supporting both sides of a crystal vibrating piece with an adhesive 20 on a general supporting spring 15 attached to a metal wiring 7 on a substrate 1. .
【0008】ここで図7、図8、図9、図10に示すよ
うに、基板1は金属配線7を備え、水晶振動片6は電極
11を備え、導電性接着剤20によって導電固定されて
いる。基板1の周辺部に図示しない封止剤等の手段によ
りキャップ10を結合し、封止を行い水晶振動子を完成
する。Here, as shown in FIGS. 7, 8, 9, and 10, the substrate 1 is provided with the metal wiring 7, the crystal vibrating piece 6 is provided with the electrode 11, and is electrically conductively fixed by the conductive adhesive 20. There is. The cap 10 is bonded to the peripheral portion of the substrate 1 by means such as a sealant (not shown) and sealed to complete the crystal unit.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】前記の第1及び第2の
方法においては、従来は接着剤20として150〜30
0℃で固化する熱硬化型接着剤を使用するのであるが、
接着剤を加熱して硬化すると、接着剤は収縮しこの収縮
により水晶振動片6は図7および図8において図上反時
計方向に回転させるモーメントを受け、振動片の先端が
基板1から離れて持ち上がる。In the above-mentioned first and second methods, the adhesive 20 is conventionally 150 to 30.
A thermosetting adhesive that solidifies at 0 ° C is used.
When the adhesive is heated and cured, the adhesive contracts and the contraction causes the crystal vibrating piece 6 to receive a moment to rotate counterclockwise in FIGS. 7 and 8, and the tip of the vibrating piece separates from the substrate 1. Lift up.
【0010】持ち上がる量は図8に示すコンベックス型
の水晶振動片を用いている第2の方法の方が図7に示す
平板型の水晶振動片を用いている第1の方法の場合より
も大であるが、第1および第2の方法のいずれの場合も
持ち上がることに変りはない。The amount of lifting is larger in the second method using the convex type crystal vibrating piece shown in FIG. 8 than in the first method using the flat plate type crystal vibrating piece shown in FIG. However, in both cases of the first and second methods, there is no change in lifting.
【0011】この結果いずれの場合においても、基板
1とキャップ10の間の逃げに必要なスペースが増大
し、水晶振動子の薄型化が十分にできない。水晶振動
片6の下側においては、接着剤20を加熱して硬化する
際に溶剤のガス抜きが十分にできず、接着剤20内に気
泡すなわちボイドが発生するため、接着力が十分出せ
ず、耐衝撃性も低下する。As a result, in any case, the space required for the clearance between the substrate 1 and the cap 10 increases, and the crystal resonator cannot be sufficiently thinned. On the lower side of the crystal vibrating piece 6, when the adhesive 20 is heated and cured, the solvent cannot be sufficiently degassed, and bubbles or voids are generated in the adhesive 20, so that the adhesive strength is not sufficiently exerted. The impact resistance is also reduced.
【0012】前記の第3の方法においては図9に示すよ
うに専用の緩衝バネ22を使用するため、緩衝バネ2
2によるスペースのため水晶振動片6の支持位置が高く
なるので水晶振動子の薄型化を困難にする。緩衝バネ
22の部材の分だけコストアップとなる。In the third method described above, since the dedicated buffer spring 22 is used as shown in FIG. 9, the buffer spring 2 is used.
Because of the space due to 2, the supporting position of the crystal vibrating piece 6 becomes high, which makes it difficult to thin the crystal resonator. The cost is increased by the amount of the member of the buffer spring 22.
【0013】前記の第4の方法においては図10に示す
ように水晶振動片6は接着剤20の硬化時の収縮によ
り、支持バネ15の立ち下がりの角部26を支点として
図上水晶振動片6の左端部においては反時計方向、右端
部においては時計方向のモーメント矢印27を受けて上
に凸の形状に変形し、矢印28及び29で示すような歪
応力を発生する。この歪応力の発生により水晶振動子の
特性が劣化する。In the fourth method, as shown in FIG. 10, the crystal vibrating piece 6 contracts when the adhesive 20 is hardened, and the falling corner portion 26 of the supporting spring 15 is used as a fulcrum to support the crystal vibrating piece. The left end portion of 6 receives a moment arrow 27 in the counterclockwise direction at the left end portion thereof and a clockwise moment at the right end portion thereof, and is deformed into a convex shape to generate strain stress as indicated by arrows 28 and 29. The generation of this strain stress deteriorates the characteristics of the crystal unit.
【0014】本発明はSMDタイプの水晶振動子におけ
る水晶振動片の支持方法について、前記の従来例の問題
点を解決し、水晶振動子の薄型化、耐衝撃性の向
上、コストの低減を可能にすることを目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems of the conventional example with respect to the method of supporting the crystal resonator element in the SMD type crystal resonator, and enables the crystal resonator to be made thinner, the shock resistance to be improved, and the cost to be reduced. The purpose is to
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
の第1の手段として、本発明は水晶振動片を保持部にて
支持する水晶振動片の支持方法において、水晶振動片を
保持部にて支持する水晶振動片の支持方法において、前
記保持部に第1の接着剤を塗布する工程と、前記保持部
に塗布された前記第1の接着剤の溶剤を蒸発させて前記
第1の接着剤を半硬化以上の状態にする仮キュア工程
と、前記第1の接着剤上に第2の接着剤を塗布する工程
と、前記水晶振動片の端部が前記第1の接着剤及び前記
第2の接着剤と接触するように前記水晶振動片を前記保
持部上に載置する工程と、前記水晶振動片の端部を固着
するために追加の第2の接着剤を前記水晶振動片の端部
表面に塗布する工程と、前記第1及び第2の接着剤をキ
ュア温度で固化する工程とを備え、前記第1及び第2の
接着剤の硬化収縮時に前記水晶片が立ち上がるのを前記
第1の接着剤によって阻止したことを特徴とする。また
第2の手段として、本発明は水晶振動片を保持部にて支
持する水晶振動片の支持方法において、前記保持部に第
1の接着剤を塗布する工程と、前記保持部に塗布された
前記第1の接着剤の溶剤を蒸発させて前記第1の接着剤
を半硬化以上の状態にする仮キュア工程と、前記水晶振
動片の端部に第2の接着剤を塗布する工程と、前記水晶
振動片の端部が前記第1の接着剤と接触するように前記
水晶振動片を前記保持部上に載置する工程と、前記第1
及び第2の接着剤をキュア温度で固化する工程とを備
え、前記第1及び第2の接着剤の硬化収縮時に前記水晶
片が立ち上がるのを前記第1の接着剤によって阻止した
ことを特徴とする。As a first means for solving the above problems, the present invention provides a method for supporting a crystal vibrating piece in which a holding portion holds the crystal vibrating piece in the holding portion. In the method for supporting a crystal vibrating piece that is supported by a method, a step of applying a first adhesive to the holding part, and a step of evaporating a solvent of the first adhesive applied to the holding part to perform the first adhesion. Temporary curing step of making the agent half-cured or more, and step of applying a second adhesive on the first adhesive
And an end portion of the crystal vibrating piece is the first adhesive and
Placing the crystal vibrating piece on the holding part so as to come into contact with a second adhesive, and adding an additional second adhesive to fix the end of the crystal vibrating piece. End of
The method includes a step of applying to the surface and a step of solidifying the first and second adhesives at a curing temperature .
When the adhesive cures and shrinks,
It is characterized by being blocked by the first adhesive . As a second means, the present invention provides a method of supporting a crystal vibrating piece in which a crystal vibrating piece is supported by a holding portion, a step of applying a first adhesive to the holding portion, and a step of applying the first adhesive to the holding portion. A temporary curing step of evaporating the solvent of the first adhesive to bring the first adhesive into a semi-hardened state or more; and a step of applying a second adhesive to an end portion of the crystal vibrating piece. Placing the crystal vibrating piece on the holding portion so that an end portion of the crystal vibrating piece contacts the first adhesive;
And a step of solidifying the second adhesive at a curing temperature, the quartz crystal when the first and second adhesives cure and shrink.
It is characterized in that the piece is prevented from standing up by the first adhesive .
【0016】上記問題を解決するための第3の手段とし
て、本発明は前記第1の手段において、前記仮キュア工
程後の前記第1の接着剤の形状は、前記水晶振動片の端
部の形状に略類似した形状をしていることを特徴とす
る。As a third means for solving the above-mentioned problems, the present invention provides the temporary cure process according to the first means.
After that, the shape of the first adhesive is the end of the crystal vibrating piece.
It is characterized in that it has a shape substantially similar to the shape of the part.
【0017】上記問題を解決するための第4の手段とし
て、本発明は前記第1の手段において、第1の接着剤と
第2の接着剤が同一の材料の接着剤であることを特徴と
する。また、第5の手段としては、上記第1から第4の
手段のいずれか1つを用いた水晶振動子の製造方法であ
る。 As a fourth means for solving the above-mentioned problems, the present invention is the same as the first means, except that the first adhesive is used.
The second adhesive is an adhesive made of the same material . In addition, as a fifth means, the above first to fourth
A method for manufacturing a crystal unit using any one of the methods.
It
【0018】[0018]
【作用】本発明によれば、第1の接着剤を加熱等によ
り、少なくとも溶剤が飛ぶ程度に、即ち溶剤が蒸発する
程度に仮キュアをした後、第1の接着剤の上に第2の接
着剤を塗布し、水晶振動片の端部が第1の接着剤及び第
2の接着剤と接触するように水晶振動片を保持部上に載
置し、更に水晶振動片の端部を固着するために追加の第
2の接着剤を水晶振動片の端部表面に塗布するものであ
る。なお、第2接着剤は、予め水晶振動片の端部に塗布
しておいても良い。According to the present invention, the first adhesive is temporarily cured by heating or the like to such an extent that at least the solvent is blown, that is, the solvent is evaporated, and then the second adhesive is applied onto the first adhesive . Contact
Apply the adhesive, and make sure that the end of the crystal vibrating piece is
Place the crystal vibrating piece on the holding part so that it will come into contact with the adhesive of 2.
Position, and add an additional piece to secure the end of the crystal vibrating piece.
The second adhesive is applied to the end surface of the crystal vibrating piece.
It The second adhesive may be applied to the end of the crystal vibrating piece in advance.
【0019】この際、第1の接着剤が水晶振動片の形状
の略類似形状をなすことによりスペーサーの役割をして
水晶振動片の位置決めを正確にするので、第2の接着剤
がキュア温度での加熱により固化して収縮しても、これ
による水晶振動片の移動または変形が効果的に阻止され
る。[0019] At this time, since the first adhesive is accurate positioning of the crystal resonator element and the role of the spacer by a substantially similar shape of the shape of the quartz crystal vibrating element, the second adhesive is cured Temperature Even if the crystal vibrating piece is solidified and contracted by heating at 1, the movement or deformation of the crystal vibrating piece due to this is effectively prevented.
【0020】また、水晶振動片の下部に位置する第1の
接着剤は水晶振動片を載置する前に加熱等により十分に
ガス抜きすることができるためボイドの発生を防ぐこと
ができる。さらに、第1の接着剤と第2の接着剤は同一
または同質のものを用いれば、互いになじみ易い。これ
らにより水晶振動片を保持部に強固に接合することがで
きる。Further, since the first adhesive located under the crystal vibrating piece can be sufficiently degassed by heating before mounting the crystal vibrating piece, generation of voids can be prevented. Further, if the first adhesive and the second adhesive are the same or of the same quality, they are easily compatible with each other. With these, the crystal vibrating piece can be firmly bonded to the holding portion.
【0021】上記の理由により、片持支持の場合は接着
の際の水晶振動片の自由端の立ち上がりが阻止されるた
め水晶振動子の薄型化が十分に図れる。For the above reason, in the case of cantilever support, rising of the free end of the crystal vibrating reed at the time of bonding is prevented, so that the crystal resonator can be sufficiently thinned.
【0022】接着強度の増加により水晶振動子の耐衝撃
性が向上する。The increase in the adhesive strength improves the impact resistance of the crystal unit.
【0023】更に、水晶振動片が水平に保持されること
に伴い後述するように、周波数調整用蒸着パターンが正
確に形成できるため、従来より水晶振動子の特性が向上
する。Further, as the quartz crystal vibrating piece is held horizontally, as will be described later, since the frequency adjusting vapor deposition pattern can be accurately formed, the characteristics of the quartz oscillator are improved as compared with the conventional case.
【0024】両持支持の場合には、接着の際の水晶振動
片の変形が阻止されるので、変形に伴って水晶振動片に
発生していた歪応力が激減し、従来よりも水晶振動子の
特性が向上する。In the case of both-sided support, deformation of the crystal vibrating piece during adhesion is prevented, so that the strain stress generated in the crystal vibrating piece due to the deformation is drastically reduced, and the crystal resonator is more than conventional. The characteristics of are improved.
【0025】水晶振動片の支持のための専用の緩衝バネ
を用いることなく、通常の支持バネを用いることにより
水晶振動子の特性を十分に確保することができるので、
水晶振動子のコストを低減し薄型化を図ることができ
る。Since it is possible to sufficiently secure the characteristics of the crystal unit by using an ordinary support spring without using a dedicated buffer spring for supporting the crystal vibrating piece,
The cost of the crystal unit can be reduced and the thickness can be reduced.
【0026】[0026]
(実施例1)本発明の第1の実施例としてSMD水晶振
動子の基板に接着剤により水晶振動片を片持支持する水
晶振動片の支持方法につき図1を参照して説明する。図
1は本実施例の方法を示す工程図である。図1において
は基板1に設けた金属配線および水晶振動片6の表面の
電極の図示を省略する。(Embodiment 1) As a first embodiment of the present invention, a method of supporting a crystal vibrating piece which is cantilever-supported by an adhesive on a substrate of an SMD crystal resonator will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a process chart showing the method of this embodiment. In FIG. 1, the metal wiring provided on the substrate 1 and the electrodes on the surface of the crystal vibrating piece 6 are not shown.
【0027】ST1において逃げ部2を有する基板1を
準備する。In ST1, the substrate 1 having the relief portion 2 is prepared.
【0028】ST2において基板1の保持部4にスクリ
ーン印刷、デイスペンサー、スタンピング等の手段によ
り第1の接着剤3を塗布する。In ST2, the first adhesive 3 is applied to the holding portion 4 of the substrate 1 by means of screen printing, dispenser, stamping or the like.
【0029】第1の接着剤3としては封止等後工程で高
温に加熱される場合には、導電性の高分子系熱可塑性接
着剤を使用する。As the first adhesive 3, a conductive polymer type thermoplastic adhesive is used when it is heated to a high temperature in a post process such as sealing.
【0030】後工程で高温に加熱されない場合は第1の
接着剤3として一般に使用される導電性のエポキシ系熱
硬化接着剤を使用することができる。When the latter is not heated to a high temperature, a conductive epoxy thermosetting adhesive generally used as the first adhesive 3 can be used.
【0031】ST3においては加熱して仮キュアを行い
第1の接着剤3の溶剤を飛ばして、即ち溶剤を蒸発させ
て、少なくとも接着面に触れたときに接着剤がつかない
程度の半硬化状態以上とする。In ST3, heating is carried out to perform temporary curing to remove the solvent of the first adhesive 3, that is, to evaporate the solvent.
Then, at least the semi-cured state is such that the adhesive does not stick to the adhesive surface when it is touched.
【0032】ST4において第1の接着剤3の上に第2
の接着剤25を塗布する。ここで第2の接着剤25とし
ては第1の接着剤3と同一または類似の接着剤を使用す
ると良い。In ST4, the second adhesive is placed on the first adhesive 3.
Adhesive 25 is applied. Here, as the second adhesive 25, the same or similar adhesive as the first adhesive 3 may be used.
【0033】なお、ST3において上記の代わりに図示
は省略するが、第1の接着剤3の上に更に補充の第1の
接着剤を塗布した後に仮キュアを行い、その上に更にS
T4のように第2の接着剤25を塗布しても良い。Although not shown in the drawing instead of the above in ST3, a supplementary first adhesive is further applied onto the first adhesive 3 and then temporary curing is performed, and then S is further applied.
The second adhesive 25 may be applied as in T4.
【0034】ST5においてコンベックス型の水晶振動
片6の端部を基板1に載置する。このとき、(イ)第1
の接着剤3はその形状を保持しつつ水晶振動片6の端部
と接触し位置決めを行う。(ロ)ST4において第2の
接着剤25が塗布されている場合は第2の接着剤25は
流動し、位置決めされた水晶振動片6と保持部4の間お
よび周辺の空間を充填する。Convex crystal vibration in ST5
The end of the piece 6 is placed on the substrate 1. At this time, (a) first
While maintaining its shape, the adhesive 3 comes into contact with the end of the crystal vibrating piece 6 for positioning. (B) When the second adhesive 25 is applied in ST4, the second adhesive 25 flows and fills the space between the positioned crystal vibrating piece 6 and the holding portion 4 and the peripheral space.
【0035】ST6において更に追加の第2の接着剤5
を水晶振動片6の端部の表面およびST4において塗布
した第2の接着剤25または第1の接着剤3の表面にデ
イスペンサーにより塗布する。In ST6, an additional second adhesive 5 is further added.
Is applied to the surface of the end portion of the crystal vibrating piece 6 and the surface of the second adhesive 25 or the first adhesive 3 applied in ST4 by a dispenser.
【0036】ST5とST6の代わりに後述するように
予め水晶振動片6の端部に第2の接着剤5を塗布してお
き、その端部が第1の接着剤3と接触するようにして水
晶振動片6を基板1に載置するようにしてもよい。Instead of ST5 and ST6, the second adhesive 5 is applied to the end of the crystal vibrating piece 6 in advance so that the end comes into contact with the first adhesive 3 as will be described later. The crystal vibrating piece 6 may be mounted on the substrate 1.
【0037】ST7において第1の接着剤3および第2
の接着剤5を含めて最終的なキュアを行いこれら全体を
固化する。In ST7, the first adhesive 3 and the second adhesive 3
A final cure is performed by including the adhesive 5 in the above to solidify the whole.
【0038】このとき第2の接着剤5の部分は収縮する
が、第1の接着剤3の部分はほとんど変形することなく
水晶振動片6の位置決めを行うので自由端6bの持ち上
がり量は基板1と水晶振動片6との間にスキができる程
度の極く僅かとなる。At this time, the portion of the second adhesive 5 contracts, but the portion of the first adhesive 3 positions the crystal vibrating piece 6 with almost no deformation, so that the free end 6b is lifted up by the substrate 1. And the crystal vibrating piece 6 is very small so that a gap is generated.
【0039】本実施例の方法を用いて製造した水晶振動
子について図面を参照して説明する。尚、以下の説明に
おいてはST4の接着剤25の塗布しない場合について
説明する。図2は本実施例の方法により水晶振動片を支
持してなるSMD水晶振動子の完成体の一例を示す図で
ある。図2に示すように絶縁材よりなる基板1には金属
配線7が引き回されており、金属配線7の上に第1の接
着剤3および第2の接着剤5により、すでに述べたよう
にして水晶振動片6を接着保持する。このとき、これら
接着剤は導電性であるから、電気的な接続もなされる。
水晶振動片6の表面の電極は図示を省略する。第1の接
着剤3および第2の接着剤5はともに導電性の高分子系
熱可塑性接着剤である。A crystal resonator manufactured by the method of this embodiment will be described with reference to the drawings. In the following description, the case where the adhesive 25 of ST4 is not applied will be described. FIG. 2 is a diagram showing an example of a completed SMD crystal resonator formed by supporting a crystal resonator element by the method of this embodiment. As shown in FIG. 2, the metal wiring 7 is routed around the substrate 1 made of an insulating material, and the first wiring 3 and the second wiring 5 are used on the metal wiring 7 as described above. The crystal vibrating piece 6 is adhered and held. At this time, since these adhesives are electrically conductive, they are also electrically connected.
The electrodes on the surface of the crystal vibrating piece 6 are not shown. Both the first adhesive 3 and the second adhesive 5 are conductive polymer thermoplastic adhesives.
【0040】基板1の周辺部において金属配線7を跨い
で絶縁性の保護膜8を形成し、保護膜8の上に低融点ガ
ラス9によりキャップ10を接合して封止を行い水晶振
動子を完成する。このとき、低融点ガラス9が溶融する
温度に加熱しても、第1の接着剤3および第2の接着剤
5は共に熱可塑性であるから、熱分解してガスを発生す
ることや基板1と水晶振動片6の線膨張の差による応力
で基板1もしくは水晶振動片6から剥離することがな
い。In the peripheral portion of the substrate 1, an insulating protective film 8 is formed across the metal wiring 7, and a cap 10 is bonded onto the protective film 8 with a low melting point glass 9 to seal the quartz resonator. Complete. At this time, even if the low-melting glass 9 is heated to a melting temperature, the first adhesive 3 and the second adhesive 5 are both thermoplastic, so that they are thermally decomposed to generate gas and the substrate 1 Does not separate from the substrate 1 or the crystal vibrating piece 6 due to the stress due to the difference in linear expansion of the crystal vibrating piece 6.
【0041】図3は本実施例の方法により水晶振動片を
支持してなるSMD水晶振動子の完成体の他の例を示す
図である。図3に示すように絶縁材よりなる基板1には
金属配線7が引き回されており、金属配線7の上に第1
の接着剤3および第2の接着材5によりすでに述べたよ
うにして水晶振動片6を接着保持するとともに電気的接
続を行う。水晶振動片6の表面の電極は図示を省略す
る。ここで第1の接着剤3および第2の接着剤5はとも
に一般に使用される導電性のエポキシ系熱硬化接着剤で
ある。FIG. 3 is a view showing another example of a completed SMD crystal resonator formed by supporting a crystal resonator element by the method of this embodiment. As shown in FIG. 3, the metal wiring 7 is routed around the substrate 1 made of an insulating material, and the first wiring is formed on the metal wiring 7.
The crystal vibrating piece 6 is bonded and held and electrically connected by the adhesive 3 and the second adhesive 5 as described above. The electrodes on the surface of the crystal vibrating piece 6 are not shown. Here, the first adhesive 3 and the second adhesive 5 are both commonly used conductive epoxy thermosetting adhesives.
【0042】次に基板1の周辺部において溶接または有
機封止剤18により、第1の接着剤3および第2の接着
剤5を高温に加熱することなくキャップ10を結合し封
止を行い水晶振動子を完成する。Next, in the peripheral portion of the substrate 1, the cap 10 is joined and sealed by welding or the organic sealant 18 without heating the first adhesive 3 and the second adhesive 5 to a high temperature. Complete the oscillator.
【0043】本実施例の効果について説明する。図1、
図2および図3に示すように水晶振動片6が基板1に対
し水平またはほぼ水平となる。一般には第1の接着剤3
により位置決めされて若干斜めに載置され、第1の接着
剤3および第2の接着剤5の最終硬化によって水平とな
る。The effects of this embodiment will be described. Figure 1,
As shown in FIGS. 2 and 3, the crystal vibrating piece 6 is horizontal or substantially horizontal to the substrate 1. Generally the first adhesive 3
And is placed at a slight angle, and becomes horizontal by the final curing of the first adhesive 3 and the second adhesive 5.
【0044】図4は水晶振動片6の表面にマスク12を
用いて周波数調整用蒸着パターン13を形成する方法を
示す図である。本実施例の支持方法によれば図4に示す
ように水晶振動片6を水平に保持することができるの
で、水晶振動片6とマスク12に対する位置関係が常に
一定となり、周波数調整用蒸着パターン13を所定の位
置に正確に形成することができる。これにより水晶振動
子の特性を従来よりも向上させることができる。FIG. 4 is a view showing a method of forming the frequency adjusting vapor deposition pattern 13 on the surface of the quartz crystal vibrating piece 6 by using the mask 12. According to the supporting method of the present embodiment, the crystal vibrating piece 6 can be held horizontally as shown in FIG. 4, so that the positional relationship between the crystal vibrating piece 6 and the mask 12 is always constant, and the vapor deposition pattern 13 for frequency adjustment is used. Can be accurately formed at a predetermined position. As a result, the characteristics of the crystal unit can be improved as compared with the conventional one.
【0045】上記の水平保持および蒸着パターンの正確
な形成への効果はコンベックス型水晶振動片の場合に特
に顕著であるが、平板型の水晶振動片の場合にも十分な
効果が得られる。The above-mentioned effect on the horizontal holding and accurate formation of the vapor deposition pattern is particularly remarkable in the case of the convex type crystal vibrating piece, but a sufficient effect can be obtained also in the case of the flat plate type crystal vibrating piece.
【0046】すでに説明したのと同様の理由により水晶
振動子の薄型化が可能となる。The crystal resonator can be thinned for the same reason as described above.
【0047】すでに説明したのと同様の理由により水晶
振動子の耐衝撃性が向上する。The shock resistance of the crystal unit is improved for the same reason as described above.
【0048】(実施例2)本発明の第2の実施例とし
て、基板上に設けた1対の支持バネの上に水晶振動片を
接着剤により両持支持する方法につき図5を参照して説
明する。図5は本実施例の支持方法を示す工程図であ
る。図5においては水晶振動片6の表面の電極の図示を
省略する。(Embodiment 2) As a second embodiment of the present invention, referring to FIG. 5, a method for supporting both sides of a crystal vibrating piece with an adhesive on a pair of support springs provided on a substrate will be described. explain. FIG. 5 is a process drawing showing the supporting method of this embodiment. In FIG. 5, the electrodes on the surface of the crystal vibrating piece 6 are not shown.
【0049】ST1において一対の支持バネ15を備え
た基板1を用意する。基板1は金属配線7を備え、金属
配線7に一対の支持ばね15がロー付け等により接合さ
れている。In ST1, the substrate 1 provided with the pair of support springs 15 is prepared. The substrate 1 includes a metal wiring 7, and a pair of support springs 15 are joined to the metal wiring 7 by brazing or the like.
【0050】ST2において支持バネ15の上面のコー
ナー部に第1の接着剤3を塗布する。この接着剤の種類
は第1の実施例の場合と同様である。In ST2, the first adhesive 3 is applied to the corner portion of the upper surface of the support spring 15. The type of this adhesive is the same as in the case of the first embodiment.
【0051】ST3においては第1の接着剤3を半硬化
キュアする。このとき第1の接着剤3は支持バネ15に
濡れることと収縮して体積が減少することにより、その
表面形状がコンベックス型の水晶振動片の端部に適合し
た斜面となる。In ST3, the first adhesive 3 is semi-cured. At this time, the first adhesive 3 wets the support spring 15 and contracts to reduce its volume, so that its surface shape becomes a slope adapted to the end of the convex type quartz vibrating piece.
【0052】ST4において前記ST1〜ST3の工程
とは独立に、コンベックス型の水晶振動片6の両端部に
第1の接着剤3と同一または同質の第2の接着剤5を塗
布しておく。In ST4, a second adhesive 5 of the same quality or the same quality as the first adhesive 3 is applied to both ends of the convex type quartz vibrating piece 6 independently of the steps of ST1 to ST3.
【0053】ST5において、ST4においてコンベッ
クス型の水晶振動片6の両端部に第2の接着剤5を塗布
したものを、ST3において支持バネ15上に塗布した
第1の接着剤3の上に重ねるようにして載置する。 In ST5, the second adhesive 5 applied to both ends of the convex type quartz vibrating piece 6 in ST4 is overlaid on the first adhesive 3 applied to the support spring 15 in ST3. Place it like this.
【0054】ST6において第1の接着剤3および第2
の接着剤5を最終キュアし、水晶振動片6の支持の工程
を終了する。この結果これらの接着剤により水晶振動片
6が支持バネ15に接着保持される。このとき、これら
接着剤は導電性であるから、水晶振動片6と支持バネ1
5の電気的な接続もなされる。In ST6, the first adhesive 3 and the second adhesive 3
The adhesive 5 is finally cured, and the step of supporting the crystal vibrating piece 6 is completed. As a result, the crystal vibrating piece 6 is bonded and held to the support spring 15 by these adhesives. At this time, since these adhesives are conductive, the crystal vibrating piece 6 and the support spring 1 are
5 electrical connections are also made.
【0055】[0055]
【0056】[0056]
【0057】[0057]
【0058】図6は本実施例の支持方法を用いてなる水
晶振動子の完成体を示す図である。支持工程の終了後、
図6に示すように封止剤18により基板1の周辺部にキ
ャップ10を接合して封止を行い水晶振動子を完成す
る。FIG. 6 is a view showing a completed crystal unit using the supporting method of this embodiment. After the end of the supporting process,
As shown in FIG. 6, the cap 10 is bonded to the peripheral portion of the substrate 1 with the encapsulant 18 to perform encapsulation to complete the crystal unit.
【0059】本実施例の効果につき述べる。本実施例の
支持方法によれば、支持バネ15と接着剤がよくなじ
む。第1の接着剤3を水晶振動片6の形状に沿った形
に予め形成することができる。これらの結果により、
第1の接着剤3と支持バネ15により水晶振動片6が効
果的に位置決めされるので、最終的な接着剤硬化の際に
第2の接着剤5が収縮しても水晶振動片はほとんど変形
しない。従って従来に比して歪応力が激減し、水晶振動
子の特性が向上する。すでに述べたように一般的な支
持バネ15を用いても、水晶振動子の特性を十分確保す
ることができるので、水晶振動子のコスト低減および薄
型化を図ることができる。The effects of this embodiment will be described. According to the supporting method of this embodiment, the supporting spring 15 and the adhesive are well compatible with each other. The first adhesive 3 can be preformed in a shape that follows the shape of the crystal vibrating piece 6. With these results,
Since the crystal vibrating piece 6 is effectively positioned by the first adhesive 3 and the support spring 15, even if the second adhesive 5 contracts during the final adhesive curing, the crystal vibrating piece is almost deformed. do not do. Therefore, the strain stress is drastically reduced as compared with the conventional one, and the characteristics of the crystal unit are improved. As already described, even if the general support spring 15 is used, the characteristics of the crystal unit can be sufficiently ensured, so that the cost and the thickness of the crystal unit can be reduced.
【0060】[0060]
【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、水
晶振動子の薄型化、特性の向上、耐衝撃性の向
上、およびコスト低減が可能となる。As described above, according to the present invention, it is possible to reduce the thickness of a crystal resonator, improve its characteristics, improve its impact resistance, and reduce its cost.
【図1】本発明の第1の実施例における水晶振動片の支
持方法を示す工程図である。FIG. 1 is a process diagram showing a method of supporting a quartz crystal resonator element according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第1の実施例の方法により水晶振動片
を支持してなるSMD水晶振動子の完成体の一例を示す
断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a completed SMD crystal resonator supporting a crystal resonator element according to the method of the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第1の実施例の方法により水晶振動片
を支持してなるSMD水晶振動子の完成体の他の例を示
す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another example of a completed SMD crystal resonator supporting a crystal resonator element according to the method of the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第1の実施例の方法により支持された
水晶振動片の表面に周波数調整用蒸着パターンを形成す
る方法を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a method of forming a frequency adjustment vapor deposition pattern on the surface of the quartz crystal resonator element supported by the method of the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第2の実施例における水晶振動片の支
持方法を示す工程図である。FIG. 5 is a process drawing showing the method of supporting the quartz crystal resonator element according to the second embodiment of the present invention.
【図6】本発明の第2の実施例の方法により水晶振動片
を支持してなるSMD水晶振動子の完成体を示す断面図
である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a completed SMD crystal resonator supporting a crystal resonator element according to the method of the second embodiment of the present invention.
【図7】従来のSMD水晶振動子における水晶振動片の
支持方法を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a method of supporting a crystal vibrating piece in a conventional SMD crystal resonator.
【図8】従来のSMD水晶振動子における水晶振動片の
支持方法を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a method of supporting a crystal vibrating piece in a conventional SMD crystal resonator.
【図9】従来のSMD水晶振動子における水晶振動片の
支持方法を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a method of supporting a crystal vibrating piece in a conventional SMD crystal resonator.
【図10】従来のSMD水晶振動子における水晶振動片
の支持方法を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing a method of supporting a crystal vibrating piece in a conventional SMD crystal resonator.
1 基板 2 逃げ部 3 第1の接着剤 4 保持部 5 第2の接着剤 6 水晶振動片 7 金属配線 8 保護膜 9 低融点ガラス 10 キャップ 11 電極 12 マスク 13 周波数調整用蒸着パターン 15 支持バネ 18 封止剤 20 接着剤 22 緩衝バネ 25 第2の接着剤 26 角部 27 モーメントの矢印 28 歪応力の矢印 29 歪応力の矢印 1 substrate 2 escape section 3 First adhesive 4 holding part 5 Second adhesive 6 Crystal vibrating piece 7 Metal wiring 8 protective film 9 Low melting glass 10 cap 11 electrodes 12 masks 13 Frequency adjustment evaporation pattern 15 Support spring 18 Sealant 20 adhesive 22 Buffer spring 25 Second adhesive 26 Corner 27 Moment arrow 28 Strain stress arrow 29 Strain stress arrow
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 剛 長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107 番地5 シメオ精密株式会社内 (72)発明者 若林 久雄 東京都新宿区西新宿2丁目1番1号 シ チズン時計株式会社本社内 (56)参考文献 特開 昭62−207008(JP,A) 特開 昭63−164515(JP,A) 実開 昭61−33521(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 3/00 - 3/04 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takeshi Murata 4107, Miyota, Miyota-cho, Kitasaku-gun, Kitano, Nagano Prefecture 5 Simeo Precision Co., Ltd. (72) Inventor Hisao Wakabayashi 2-1-1 Nishishinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Chisun Watch Co., Ltd. Head Office (56) Reference JP 62-207008 (JP, A) JP 63-164515 (JP, A) Actual development 61-33521 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H03H 3/00-3/04
Claims (5)
動片の支持方法において、前記保持部に第1の接着剤を
塗布する工程と、前記保持部に塗布された前記第1の接
着剤の溶剤を蒸発させて前記第1の接着剤を半硬化以上
の状態にする仮キュア工程と、前記第1の接着剤上に第
2の接着剤を塗布する工程と、前記水晶振動片の端部が
前記第1の接着剤及び前記第2の接着剤と接触するよう
に前記水晶振動片を前記保持部上に載置する工程と、前
記水晶振動片の端部を固着するために追加の第2の接着
剤を前記水晶振動片の端部表面に塗布する工程と、前記
第1及び第2の接着剤をキュア温度で固化する工程とを
備え、前記第1及び第2の接着剤の硬化収縮時に前記水
晶片が立ち上がるのを前記第1の接着剤によって阻止し
たことを特徴とする水晶振動片の支持方法。1. A method of supporting a crystal vibrating piece in which a crystal vibrating piece is supported by a holding portion, the step of applying a first adhesive to the holding portion, and the first bonding applied to the holding portion. A temporary curing step for evaporating the solvent of the agent to make the first adhesive half-cured or more; and a first curing step on the first adhesive.
Applying the second adhesive, and placing the crystal vibrating piece on the holding part so that the end of the crystal vibrating piece comes into contact with the first adhesive and the second adhesive. And an additional second adhesive to secure the end of the crystal vibrating piece.
A step of applying an agent to the end surface of the crystal vibrating piece,
And a step of solidifying the first and second adhesives at a curing temperature, wherein the water is added when the first and second adhesives cure and shrink.
The first adhesive prevents the crystal fragments from rising.
A method for supporting a crystal resonator element, which is characterized in that
動片の支持方法において、前記保持部に第1の接着剤を
塗布する工程と、前記保持部に塗布された前記第1の接
着剤の溶剤を蒸発させて前記第1の接着剤を半硬化以上
の状態にする仮キュア工程と、前記水晶振動片の端部に
第2の接着剤を塗布する工程と、前記水晶振動片の端部
が前記第1の接着剤と接触するように前記水晶振動片を
前記保持部上に載置する工程と、前記第1及び第2の接
着剤をキュア温度で固化する工程とを備え、前記第1及
び第2の接着剤の硬化収縮時に前記水晶片が立ち上がる
のを前記第1の接着剤によって阻止したことを特徴とす
る水晶振動片の支持方法。2. A method of supporting a crystal vibrating reed in which a crystal vibrating piece is supported by a holding portion, the step of applying a first adhesive to the holding portion, and the first bonding applied to the holding portion. A temporary curing step of evaporating the solvent of the agent to bring the first adhesive into a semi-hardened state or more; a step of applying a second adhesive to an end portion of the crystal vibrating piece; A step of placing the crystal vibrating piece on the holding portion such that an end portion of the quartz vibrating piece contacts the first adhesive; and a step of solidifying the first and second adhesives at a curing temperature , The first and second
And the crystal piece rises when the second adhesive cures and shrinks.
The method for supporting a quartz crystal resonator element , wherein: is prevented by the first adhesive .
の形状は、前記水晶振動片の端部の形状に略類似した形
状をしていることを特徴とする請求項1又は2記載の水
晶振動片の支持方法。3. The first adhesive after the temporary curing step
The shape of is similar to the shape of the end of the crystal resonator element.
The method for supporting a water crystal resonator element according to claim 1 or 2, wherein the method for supporting a water crystal resonator element.
料の接着剤であることを特徴とする請求項1又は2記載
の水晶振動片の支持方法。4. The same material as the first adhesive and the second adhesive.
It is an adhesive agent for materials, and is characterized by the above-mentioned.
Method of supporting the quartz crystal vibrating piece.
載の水晶振動片の支持方法を用いた水晶振動子の製造方
法。 5. The method according to any one of claims 1 to 4.
Of manufacturing a crystal unit using the method of supporting the mounted crystal resonator element
Law.
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|---|---|---|---|---|
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1994
- 1994-12-27 JP JP33697094A patent/JP3375445B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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