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JP3375690B2 - Servo cylinder device with brake mechanism - Google Patents
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JP3375690B2 - Servo cylinder device with brake mechanism - Google Patents

Servo cylinder device with brake mechanism

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JP3375690B2
JP3375690B2 JP25445393A JP25445393A JP3375690B2 JP 3375690 B2 JP3375690 B2 JP 3375690B2 JP 25445393 A JP25445393 A JP 25445393A JP 25445393 A JP25445393 A JP 25445393A JP 3375690 B2 JP3375690 B2 JP 3375690B2
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brake
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博通 梶川
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、シリンダ使用中に流
体圧の供給断、あるいは電源断等が発生した際、シリン
ダに不都合が発生しないようにピストンを確実に制動さ
せることが可能なブレーキ機構を有するサーボシリンダ
装置に関する。 【0002】 【従来の技術】従来から、ロッドの先端に固着されたテ
ーブル等によってワークを変位させるアクチュエータに
おいて、前記ロッドをシリンダ内のピストンに係合さ
せ、このピストンを空気圧で変位させる方法と、該ロッ
ドをボールねじに固着し、このボールねじを介してモー
タ等によってピストンを変位させる方法がある。 【0003】空気圧によってピストンを変位させる方法
は、出力が大きく、負荷の大きいワークを変位させるこ
とができるが、空気自体が圧縮性流体であるため該ワー
クを精度よく位置決めすることは、実質的に困難であっ
た。 【0004】一方、モータによってワークを変位させる
方法は、電気的制御であるために停止位置を厳密に求め
ることは可能であるが、重量のあるワークを移送して位
置決めしようとするとき、出力が大きいモータを選択せ
ざるを得ず、この結果、モータ自体が大型化するという
欠点があった。 【0005】そこで、ワークを停止位置近傍まで空気圧
を利用してシリンダによって移送し、その停止位置近傍
からモータでワークを所望の位置に精度良く停止させる
アクチュエータが提案されている。このような構成をと
ることにより、モータが小型のもので済み、アクチュエ
ータ全体を小型化させることができるとともに、所望の
位置に精度良くワークを停止させることが可能になっ
た。 【0006】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ア
クチュエータのピストンを上下方向に変位させて使用す
る場合には、電源断あるいは流体圧の供給が停止する等
の故障によりワークが急激に落下するおそれがある。 【0007】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、流体圧の供給停止あるいは電源
断に拘わらず、簡略な構成でワークを原位置で保持でき
ブレーキ機構を有するサーボシリンダ装置を提供する
ことを目的とする。 【0008】 【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、シリンダボディと、 前記シリンダボデ
ィに配設され、電気信号により駆動される回転駆動源
と、 前記回転駆動源の回転駆動力によって回転する送り
ねじ軸と、 前記送りねじ軸に螺合され、前記回転駆動力
とシリンダ室に供給される圧力流体の押圧力との切換作
用下に前記シリンダボディの軸線方向に沿って変位自在
に設けられたピストンと、 前記回転駆動源の回転駆動力
を前記送りねじ軸に伝達する駆動力伝達手段と、 供給さ
れる圧力流体の押圧力により前記ピストンを非制動状態
とし、前記非制動状態からの圧力低下により前記ピスト
ンに対して制動を行うブレーキ機構と、付勢信号が付与
されることにより圧力流体供給源と前記ブレーキ機構
を連通させて該ブレーキ機構に対して圧力流体を供給
し、滅勢信号が付与されることにより前記ブレーキ機構
を大気開放する電磁制御弁と 備えることを特徴とす
る。 【0009】 【作用】本発明に係るブレーキ機構を有するサーボシリ
ンダ装置では、供給される圧力流体の圧力が低下した際
にピストンを制動するブレーキ機構を備えているため、
圧力流体供給源の故障等により圧力流体の供給が停止し
た場合には、該ブレーキ機構が作動してピストンをその
位置で制動する。 【0010】また、電源断によりシリンダボディ圧力
流体を供給する電磁制御弁が滅勢され、シリンダボディ
に供給された圧力流体の圧力が低下してピストンが落下
する状態になっていたとしても、ブレーキ機構圧力流
を供給する電制御弁が閉成して該ブレーキ機構を大
気開放することによってブレーキ機構を作動させ、ピス
トンをその位置で瞬時に制動する。 【0011】したがって、該シリンダを上下方向に使用
してもワークが落下するおそれはない。 【0012】さらに、前記電磁制御弁に付勢信号が付与
されることにより圧力流体供給源とブレーキ機構とを連
通させて前記ブレーキ機構に対して圧力流体が供給され
るこ とにより、ピストンを制動しているブレーキ機構の
制動状態が解除される。 【0013】 【実施例】本発明に係るブレーキ機構を有するサーボシ
リンダ装置について、好適な実施例を挙げ、添付の図面
を参照しながら以下詳細に説明する。 【0014】図1を参照して、サーボシリンダ装置10
を概略説明する。先ず、圧縮空気供給源(圧力流体供給
源)12から圧縮空気を所定圧力に制御する電−空レギ
ュレータ13、ノーマルクローズ型の電磁切換弁(電磁
制御弁)14を介してシリンダ本体(シリンダボディ)
16に圧縮空気を供給する。あるいは、電磁切換弁14
を介してシリンダ本体16から圧縮空気を大気開放する
ことにより、ワークWを係合しているピストンロッド1
8とともにピストン20を上下方向に変位させる。前記
ピストン20の上下動によってピストン20と係合して
いるボールねじ軸(送りねじ軸)22が回転し、タイミ
ングベルト24、モータ(回転駆動源)26の駆動軸2
8を介してエンコーダ30の出力を得、該エンコーダ3
0の信号でピストン20の変位量を検出する。ピストン
20が所定位置に到達したところでコントローラ32か
ら電−空レギュレータ13の設定値をワークWの静荷重
のみを支持する圧力値に変更するように変更信号が伝送
されるとともに、モータ26に駆動信号が伝送される。
この結果、空気圧に代えてモータ26の駆動力によって
ボールねじ軸22を介してピストン20が変位するに至
る。コントローラ32は、エンコーダ30の出力に基づ
いてピストン20が所定位置まで到達したことを確認し
た時点で、コントローラ32からの信号によりノーマル
クローズ型の電磁切換弁34が滅勢されてディスクブレ
ーキ機構(ブレーキ機構)36を付勢し、ピストン20
が停止される。 【0015】このように動作するサーボシリンダ装置1
0のシリンダ本体16の構成並びにその動作について詳
細に説明する。 【0016】シリンダ本体16は、図2に示すように、
ヘッドカバー40とシリンダチューブ42とロッドカバ
ー44とワークWに係合するテーブル46とから基本的
に構成される。前記シリンダ本体16の内部には、図3
に示すように、シリンダチューブ42内に空気を供給す
る空気圧供給機構48と、ボールねじ軸回転機構50
と、ボールねじ軸22を制動してピストン20の変位を
停止させるディスクブレーキ機構36と、テーブル46
の回転を防止する回り止め機構52が設けられている。 【0017】前記空気圧供給機構48は、圧縮空気供給
源12に連通された電−空レギュレータ13、前記電−
空レギュレータ13に連通する電磁切換弁14がヘッド
カバー40内に内蔵され、前記電磁切換弁14から接続
プレート60、シリンダチューブ42の通路62を介し
てシリンダ室64のロッドカバー44側端部に連通され
ている。前記シリンダ室64のヘッドカバー40の側端
部には、シリンダチューブ42の外部に連通する通路6
6が画成されている。 【0018】前記ボールねじ軸回転機構50では、図3
に示すように、ヘッドカバー40においてボールねじ軸
22がアンギュラ玉軸受70を介して軸方向に変位自在
かつ回動自在に軸支されている。前記ボールねじ軸22
は、前記シリンダ室64内に相当する部分にのみ、ねじ
溝72が刻設されているとともに、前記シリンダ室64
のヘッドカバー40側端部で一旦拡径した後、段々に縮
径し、その端部にプーリ74が設けられている。前記ボ
ールねじ軸22は、ピストン20に嵌合されたボデイ7
8とボールねじを介して係合する。前記ピストン20に
は、図4に示すように、ロッドカバー44側端部および
ヘッドカバー40側端部に緩衝部材80a、80bが設
けられるとともに、シリンダ室64の内周面と摺動する
部分には、磁石82とピストンパッキン84が嵌合され
ている。前記磁石82は、シリンダチューブ42の外側
面の所定位置に設けられたセンサによってピストン20
の位置の異常を検出するために用いられる。 【0019】前記ヘッドカバー40の内部には、前記ボ
ールねじ軸22に平行にモータ26が設けられ、その駆
動軸28の端部にプーリ86が設けられるとともに、前
記駆動軸28の回転角度を検出するエンコーダ30が設
けられている。さらに、前記プーリ74、86間には、
タイミングベルト24が懸架されている。 【0020】ディスクブレーキ機構36は、図5に示す
ように、前記アンギュラ玉軸受70が設けられているヘ
ッドカバー40の孔部100に配設された部材により構
成されている。前記孔部100は、ボールねじ軸22の
プーリ74側から前記アンギュラ玉軸受70を指向して
二段に縮径しており、その一段目の底面に半径方向断面
L字状のブレーキ用シリンダ102がその膨出部102
aをボールねじ軸22側に指向して固着されている。前
記ブレーキ用シリンダ102の内周面に当接するように
して半径方向断面が略L字状の円筒形状のピストン10
4が配設される。前記ピストン104は、プーリ74側
に固着された制動部材106と該ピストン104の膨出
部104aとによって前記ブレーキ用シリンダ102の
膨出部102aを挟み込むように配置され、前記ピスト
ン104の膨出部104aあるいは制動部材106が前
記ブレーキ用シリンダ102の膨出部102aに当接す
ることによって前記ピストン104の軸方向の可動範囲
を規制している。さらに、前記ピストン104とブレー
キ用シリンダ102の間には空間108が画成され、ブ
レーキ用シリンダ102の内周面と摺動する前記ピスト
ン104の外周面に嵌着されたピストンパッキン114
a、114bによって前記空間108が気密に保持され
ている。圧縮空気供給源12と連通している電磁切換弁
34と前記空間108とは、ヘッドカバー40およびブ
レーキ用シリンダ102の内部に画成された通路11
0、112を介して連通されている。前記孔部100の
二段目の底面には、軸受押さえ部材116が固着されて
おり、前記軸受押さえ部材116とピストン104の間
にコイルスプリング118が挿入されている。したがっ
て、前記ピストン104は、コイルスプリング118に
よってZ1方向に常時付勢されている。さらに、前記ブ
レーキ用シリンダ102は、支持部材120を介してド
ーナツ状の円板体である制動部材122を支持してい
る。 【0021】一方、前記ボールねじ軸22は、前記プー
リ74の近傍においてコマ用キー124、コマ126を
介してブレーキディスク128を装着している。前記ブ
レーキディスク128は、制動部材122近傍で回転す
るように構成されている。 【0022】回り止め機構52は、ピストンロッド18
を介して変位されるテーブル46が前記ピストンロッド
18とともに回動することを阻止する機構である。 【0023】前記ピストンロッド18は、図3に示すよ
うに円筒形状であり、ピストン20のロッドカバー44
側に螺着されている。前記ピストンロッド18の内部の
孔部130には、ボールねじ軸22が前記孔部130の
壁面に当接することなく、前記ピストンロッド18と軸
芯を一致させて挿入されている。前記ピストンロッド1
8のロッドカバー44側端部には軸体132が螺着さ
れ、前記軸体132が図示しないボルト等によってテー
ブル46と固着されている。前記テーブル46の両端部
には、ガイドロッド134a、134bが図示しないボ
ルトによって固着されている。前記ガイドロッド134
a、134bは、ロッドカバー44の両側面に設けられ
たボールブッシュ136a、136bによって軸方向に
摺動自在に支持され、前記ロッドカバー44の端面に装
着されたフランジ138の孔部140a、140bに挿
入されている。 【0024】なお、ヘッドカバー40には、コントロー
ラ32からの制御信号および電源信号を接続する端子1
42、144が設けられた端子台146が設けられてい
る。 【0025】次に、このように構成されるサーボシリン
ダ装置10の動作説明を行う。ここでは、ワークWを上
方向に変位させる(シリンダ室64内において、ピスト
ン20を位置X1から位置X2に変位させる)場合につ
いて図6を参照して説明する。 【0026】ピストンが位置X1で停止状態(時間0〜
t1)にある場合、電−空レギュレータ13は、ワーク
W、ピストンロッド18、ピストン20等の静荷重のみ
を支持する圧力P0に設定されるとともに、電磁切換弁
14が付勢され、電磁切換弁34が滅勢されている。こ
の結果、シリンダ本体16のシリンダ室64のロッドカ
バー44側の第1室64aの圧力がP0となり、ワーク
W、ピストン20等を確実に支持する一方、ディスクブ
レーキ機構36の空間108が大気開放されているた
め、ピストン104がコイルスプリング118の弾発力
のもとにZ1方向に変位されて制動部材106がブレー
キディスク128に圧接される。このように、該ブレー
キディスク128が制動部材106、122で挟持され
ることによりボールねじ軸22の回動が阻止され、ピス
トン20を停止させている。 【0027】ピストン20を位置X2に変位させる場合
には、先ず、コントローラ32から電−空レギュレータ
13に設定圧力をP1(>P0)に変更させる変更信号
が伝送されるとともに、電磁切換弁34に付勢信号が伝
送される。この結果、圧縮空気供給源12とディスクブ
レーキ機構36の空間108とが連通し、空間108に
圧縮空気が供給され、図5において二点鎖線で示すよう
に、コイルスプリング118の弾発力に逆らってピスト
ン104がZ2方向に変位し、ボールねじ軸22のブレ
ーキディスク128から制動部材106を離間させてデ
ィスクブレーキ機構36を非作動状態にする。すなわ
ち、ピストン20は変位自在の状態になる。この状態で
電−空レギュレータ13、電磁切換弁14から圧力P1
の圧縮空気がシリンダ本体16の前記第1室64aに導
入されることにより、ピストン20がZ1方向に変位す
る。 【0028】この際、ボールねじ軸22とボデイ78が
係合しているため、ピストン20に回転モーメントが作
用する。しかしながら、ピストンロッド18を介してピ
ストン20に接続しているテーブル46に装着された回
り止め用のガイドロッド134a、134bがフランジ
138の孔部140a、140bに挿入されているた
め、ピストン20が回転することはない。したがって、
ピストン20の変位動作に伴いボールねじ軸22が回転
するに至る。前記回転は、前記ボールねじ軸22のヘッ
ドカバー40側端部に設けられたプーリ74、タイミン
グベルト24、プーリ86を介してモータ26の駆動軸
28に伝達される。結局、駆動軸28の回転量がエンコ
ーダ30を介してコントローラ32に伝送され、ピスト
ン20の変位量として検出される。 【0029】コントローラ32において、ピストン20
が位置X2から距離ε1の切換位置に到達したことを検
出する(時間t2)と、設定圧力をP1からP0に変更
させる変更信号が電−空レギュレータ13に伝送される
とともに、モータ26に付勢信号が伝送される。この結
果、シリンダ本体16の第1室64aの圧力がP0とな
ってピストン20、ワークW等の静荷重のみを支持する
ことになるが、モータ26が駆動されるため、プーリ8
6、タイミングベルト24、プーリ74、ボールねじ軸
22を介してピストン20が低速で距離ε1だけ変位す
る。 【0030】エンコーダ30の出力に基づきコントロー
ラ32においてピストン20が位置X2に到達したこと
が検出される(時間t3)と、モータ26と電磁切換弁
34に滅勢信号が伝送される。 【0031】この結果、空間108に供給されていた圧
縮空気が通路112、110を介して電磁切換弁34か
ら大気開放される。したがって、ピストン104がコイ
ルスプリング118の弾発力によりZ1方向に変位され
(二点鎖線位置→実線位置)、制動部材106がブレー
キディスク128に圧接され、制動部材106、122
でブレーキディスク128を挟持することになる。した
がって、ボールねじ軸22の回転動作が停止され、ピス
トン20が停止位置X2で精度良く停止される。 【0032】一方、ピストン20を位置X2から位置
1に変位させる場合には、先ず、時間t4において、コ
ントローラ32から電磁切換弁14に滅勢信号が伝送さ
れるとともに、電磁切換弁34に付勢信号が伝送され
る。この結果、ディスクブレーキ機構36は、空間10
8に圧縮空気が導入され、制動部材106がボールねじ
軸22のブレーキディスク128から離間させられる。
したがって、ブレーキが非作動状態になる。そこで、シ
リンダ本体16の第1室64aの圧力が大気開放により
P0からP2に低下し、ピストン20がワークW等の負
荷によりZ2方向に変位する。 【0033】エンコーダ30からの出力に基づきコント
ローラ32でピストン20が位置X2から位置X1に向
かって変位したことを検出した(時間t5)場合には、
電磁切換弁14に付勢信号を伝送するとともに、モータ
26に付勢信号を伝送する。この結果、シリンダ本体1
6の第1室64aの圧力は、再びP0に回復し、ワーク
W等の静荷重を支持する。そこで、モータ26の駆動力
によりピストン20がZ2方向に変位される。 【0034】エンコーダ30の出力に基づいてコントロ
ーラ32によってピストン20が位置X1に到達したと
検出される(時間t6)と、モータ26と電磁切換弁3
4に滅勢信号が伝送される。したがって、ディスクブレ
ーキ機構36の空間108の圧縮空気が大気開放され、
コイルスプリング118の弾発力の作用下に制動部材1
06、122によってブレーキディスク128が挟持さ
れてボールねじ軸22の回動動作を制動するため、位
X1でピストン20が精度良く停止する。 【0035】このように、本実施例に係るサーボシリン
ダ装置10では、ボールねじ軸22に設けられたブレー
キディスク128をディスクブレーキ機構36の制動部
材106、122によって挟持することにより、ボール
ねじ軸22の回動を制動させ、ピストン20を停止させ
ている。したがって、空気圧からモータ26による低速
の変位に切り換えられたピストン20を瞬時に停止させ
ることができる。 【0036】このようなサーボシリンダ装置10におい
て、圧縮空気供給源12の故障による空気圧の供給断あ
るいは電源断による安全制御について説明する。 【0037】ディスクブレーキ機構36の作動につい
て、図6における時間t1〜t2(空気圧によピスト
ン20Z1方向変位中)との関連で説明する。 【0038】この場合には、図6に示す通常制御状態に
おいて、電−空レギュレータ13は圧力P1に設定さ
れ、電磁切換弁14、34は付勢中である。したがっ
て、シリンダ本体16の第1室64aに圧力P1の圧縮
空気が供給されている(図6(d)参照)とともに、デ
ィスクブレーキ機構36の空間108には圧縮空気が供
給され、制動部材106がボールねじ軸22のブレーキ
ディスク128から離間され、ピストン20が変位自在
となっている。 【0039】ここで、圧縮空気供給源12に故障が発生
した場合には、シリンダ本体16の第1室64aに供給
される圧縮空気の圧力が低下し、ピストン20、ワーク
W等の静荷重を支持する圧力P0よりも下回ることによ
り、ピストン20がZ2方向に変位するおそれがある。
しかしながら、ディスクブレーキ機構36では、空間1
08に供給される圧力の低下により、コイルスプリング
118の弾発力を介してピストン104がZ1方向に変
位してボールねじ軸22のブレーキディスク128に制
動部材106を圧接させる。この結果、制動部材10
6、122によってブレーキディスク128が挟持され
てボールねじ軸22の回動を制動し、ピストン20の落
下(Z2方向の変位)を阻止する。 【0040】電源断が発生した場合には、電磁切換弁1
4が滅勢され、シリンダ本体16の第1室64aが大気
開放となる。したがって、ピストン20がZ2方向に変
位するおそれがある。しかしながら、電磁切換弁34も
滅勢されるために、空間108は通路110、112を
介して大気開放され、ボールねじ軸22のブレーキディ
スク128をコイルスプリング118の弾発作用下に制
動部材106、122で挟持して制動する。この結果、
ピストン20の落下(Z2方向の変位)を阻止する。 【0041】これ以外のモータ26によるピストン20
の変位中(時間t2〜t3、時間t5〜t6)の場合、
あるいはピストン20の落下中(時間t4〜t5)の場
合についても略同様の作用が営まれるため、説明を省略
する。 【0042】また、ピストン20の制動中(時間0〜t
1、時間t3〜t4)の場合、ピストン制動中の場合に
は、電磁切換弁34が滅勢されており、空間108が大
気開放されている(図6(f)参照)ため、圧縮空気供
給源12の故障あるいは電源断による影響はない。 【0043】このように、本実施例に係るサーボシリン
ダ装置10では、ノーマルクローズ型の電磁切換弁34
で圧縮空気供給源12とディスクブレーキ機構36とを
連通させたため、また、ディスクブレーキ機構36を空
気圧低下により制動するように構成したため、圧縮空気
供給源12の故障あるいは電源断に拘わらずピストン2
0を素早く停止させ、ワークWの落下事故等を確実に阻
止することができる。 【0044】なお、本実施例に係るシリンダ本体16の
回り止め機構52では、ガイドロッド134a、134
bによってピストン20およびテーブル46の回り止め
を行っているが、ピストンロッド18にスプライン状の
凸条を設け、ロッドカバー44側に前記凸条が嵌合する
孔部を画成することによっても回り止め機能が達成でき
る。 【0045】また、ワークWが重量の軽い場合には、自
重で落下(Z2方向)しないおそれがあるため、シリン
ダ室64のヘッドカバー40側の第2室64bと圧縮空
気供給源12とを通路66、減圧弁150を介して連通
させる構成が考えられる。この場合、ピストン20をZ
2方向に変位させる際に、電磁切換弁14が滅勢されて
第1室64aが大気開放された場合、前記第2室64b
には常時、圧力が付与されいるため、前記第1室64a
と第2室64bとの圧力差に基づいてピストン20をZ
2方向に変位させることができる。 【0046】 【発明の効果】本発明に係るブレーキ機構を有するサー
ボシリンダ装置によれば、以下の効果が得られる。 【0047】すなわち、供給される圧力流体の圧力が低
下した際にピストンを制動するブレーキ機構を備えてい
るため、圧力流体供給源の故障等により圧力流体の供給
が停止した場合には、該ブレーキ機構が作動してピスト
ンをその位置で制動することができる。 【0048】また、電源断によりシリンダボディ圧力
流体を供給する電磁制御弁が滅勢され、シリンダボディ
に供給される圧力流体圧力が低下してピストンが落下
する状態になっていたとしても、ブレーキ機構圧力流
を供給する電制御弁が閉成して該ブレーキ機構を大
気開放することによってブレーキ機構を作動させ、ピス
トンをその位置で瞬時に制動することができる。 【0049】したがって、該シリンダを上下方向に使用
した際に、圧力流体供給源の故障や電源断等が発生して
もワークが落下することを確実に阻止できる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piston for preventing inconvenience from occurring in a cylinder when supply of fluid pressure or power supply is interrupted while the cylinder is in use. Cylinder with a brake mechanism that can reliably brake the vehicle
Related to the device . 2. Description of the Related Art Conventionally, in an actuator for displacing a work by a table or the like fixed to the tip of a rod, the rod is engaged with a piston in a cylinder, and the piston is displaced by air pressure. There is a method in which the rod is fixed to a ball screw and the piston is displaced by a motor or the like via the ball screw. [0003] The method for displacing the piston by air pressure, the output is large, it is possible to displace the large work load, to position because the word <br/> click air itself is compressible fluid accurately It was practically difficult. On the other hand, in the method of displacing a work by a motor, a stop position can be strictly obtained because of electric control. However, when a heavy work is transferred and positioned, an output is not obtained. A large motor must be selected, resulting in a disadvantage that the motor itself becomes large. Therefore, an actuator has been proposed in which a work is transferred by a cylinder to the vicinity of a stop position by using air pressure, and the work is accurately stopped at a desired position by a motor from the vicinity of the stop position. By adopting such a configuration, the motor can be small, and the entire actuator can be miniaturized, and the work can be stopped at a desired position with high accuracy. However, when the actuator is used by displacing the piston of the actuator in the vertical direction, the work suddenly drops due to a failure such as a power failure or a stoppage of fluid pressure supply. There is a possibility that. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and has a brake mechanism capable of holding a work at an original position with a simple configuration irrespective of a stoppage of supply of fluid pressure or a cutoff of power. It is an object to provide a servo cylinder device . [0008] To achieve the above object Means for Solving the Problems] The present invention includes a cylinder body, said Shirindabode
Rotating drive source that is disposed in the
And a feed rotating by the rotational driving force of the rotational driving source.
A screw shaft and the feed screw shaft, wherein the rotational driving force is
Operation between pressure and pressing force of pressure fluid supplied to cylinder chamber
Freely displaceable along the axial direction of the cylinder body for use
And a rotational driving force of the rotational driving source
Drive force transmission means for transmitting to said feed screw shaft, the supply of
The piston is in non-braking state by the pressing force of the pressurized fluid
And the pressure drop from the non-braking state causes the piston
A brake mechanism for braking, by energizing signal is applied and the brake mechanism and the pressure fluid supply source is communicated with respect to emissions supplying pressure fluid to said braking mechanism
And, the brake mechanism <br/> By de-energized signal is applied, characterized in that it comprises the that collecting magnetic valve be opened to the atmosphere to. [0009] Saboshiri with the engagement Lube rake mechanism to the present invention
Since the cylinder device has a brake mechanism that brakes the piston when the pressure of the supplied pressure fluid decreases,
When the supply of the pressure fluid is stopped due to a failure of the pressure fluid supply source or the like , the brake mechanism operates to brake the piston at that position. In addition, pressure is applied to the cylinder body when the power is turned off.
The electromagnetic control valve that supplies fluid is deactivated, and the cylinder body
Reduced pressure of the supplied pressure fluid is to be as a piston was ready to fall, the pressure flow to the brake mechanism
Body closed is that electrostatic magnetic control valve to supply to actuate the brake mechanism by the brake mechanism is opened to the atmosphere, to brake instantaneously piston at that position. Therefore , even if the cylinder is used in the vertical direction, there is no danger that the work will fall. Further, an energizing signal is applied to the electromagnetic control valve.
Communication between the pressure fluid supply source and the brake mechanism.
Pressurized fluid is supplied to the brake mechanism
By and Turkey, of the brake mechanism that is braking the piston
The braking state is released. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A servo system having a brake mechanism according to the present invention is described.
For Linda device, like the preferred embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Referring to FIG. 1, a servo cylinder device 10
Will be described briefly. First, a compressed air supply source (pressure fluid supply
12 ) an electro-pneumatic regulator 13 for controlling compressed air to a predetermined pressure from a source 12, a normally closed electromagnetic switching valve (electromagnetic
Control valve) 14 via the cylinder body (cylinder body)
16 is supplied with compressed air. Alternatively, the electromagnetic switching valve 14
The compressed air is released from the cylinder body 16 to the atmosphere through the
The piston 20 is displaced in the up and down direction together with 8. The ball screw shaft (feed screw shaft) 22 engaged with the piston 20 is rotated by the vertical movement of the piston 20, and the timing belt 24 and the drive shaft 2 of the motor (rotation drive source) 26
8, the output of the encoder 30 is obtained.
The displacement of the piston 20 is detected by a signal of 0. When the piston 20 reaches a predetermined position, a change signal is transmitted from the controller 32 to change the set value of the electro-pneumatic regulator 13 to a pressure value that supports only the static load of the work W, and a drive signal is transmitted to the motor 26. Is transmitted.
As a result, the piston 20 is displaced via the ball screw shaft 22 by the driving force of the motor 26 instead of the air pressure. When the controller 32 confirms that the piston 20 has reached the predetermined position based on the output of the encoder 30, the normally closed electromagnetic switching valve 34 is deenergized by a signal from the controller 32 and the disc brake mechanism (brake) Mechanism) to bias the piston 20
Is stopped. The servo cylinder device 1 which operates as described above
The configuration and operation of the zero cylinder body 16 will be described in detail. The cylinder body 16 is, as shown in FIG.
It is basically composed of a head cover 40, a cylinder tube 42, a rod cover 44, and a table 46 that engages with the work W. FIG. 3 shows the inside of the cylinder body 16.
As shown in FIG. 5, an air pressure supply mechanism 48 for supplying air into the cylinder tube 42 and a ball screw shaft rotation mechanism 50
A disk brake mechanism 36 that brakes the ball screw shaft 22 to stop the displacement of the piston 20;
A detent mechanism 52 for preventing rotation of the motor is provided. The air pressure supply mechanism 48 includes an electro-pneumatic regulator 13 connected to the compressed air supply source 12,
An electromagnetic switching valve 14 communicating with the empty regulator 13 is built in the head cover 40, and is communicated from the electromagnetic switching valve 14 to an end of the cylinder chamber 64 on the rod cover 44 side via the connection plate 60 and the passage 62 of the cylinder tube 42. ing. A passage 6 communicating with the outside of the cylinder tube 42 is provided at a side end of the head cover 40 of the cylinder chamber 64.
6 are defined. In the ball screw shaft rotating mechanism 50, FIG.
As shown in (1), the ball screw shaft 22 is supported in the head cover 40 via an angular ball bearing 70 so as to be freely displaceable and rotatable in the axial direction. The ball screw shaft 22
The screw groove 72 is formed only in a portion corresponding to the inside of the cylinder chamber 64,
The diameter is once increased at the end of the head cover 40 side, and then gradually reduced, and a pulley 74 is provided at the end. The ball screw shaft 22 is attached to the body 7 fitted to the piston 20.
8 and a ball screw. As shown in FIG. 4, the piston 20 is provided with cushioning members 80 a and 80 b at the rod cover 44 side end and the head cover 40 side end, and at a portion sliding with the inner peripheral surface of the cylinder chamber 64. , Magnet 82 and piston packing 84 are fitted. The magnet 82 is connected to the piston 20 by a sensor provided at a predetermined position on the outer surface of the cylinder tube 42.
It is used to detect an abnormality in the position of. The inside of the head cover 40, parallel to motors 26 is provided on the ball screw shaft 22, together with the pulley 86 is provided at the end of the drive shaft 28, the rotation angle of the drive shaft 28 An encoder 30 for detecting is provided. Further, between the pulleys 74 and 86,
A timing belt 24 is suspended. As shown in FIG. 5, the disc brake mechanism 36 is composed of a member disposed in a hole 100 of the head cover 40 in which the angular ball bearing 70 is provided. The hole portion 100 is reduced in diameter in two stages from the pulley 74 side of the ball screw shaft 22 toward the angular ball bearing 70, and a brake cylinder 102 having an L-shaped cross section in the radial direction is formed on the bottom surface of the first stage. Is the bulging part 102
a is fixed to the ball screw shaft 22 side. A cylindrical piston 10 having a substantially L-shaped cross section in a radial direction so as to contact the inner peripheral surface of the brake cylinder 102.
4 are provided. The piston 104 is disposed so as to sandwich the bulging portion 102a of the brake cylinder 102 between the braking member 106 fixed to the pulley 74 side and the bulging portion 104a of the piston 104. The movable range of the piston 104 in the axial direction is restricted by the contact of the brake member 104a or the bulging portion 102a of the brake cylinder 102 with the braking member 104a. Further, a space 108 is defined between the piston 104 and the brake cylinder 102, and a piston packing 114 fitted on the outer peripheral surface of the piston 104 sliding on the inner peripheral surface of the brake cylinder 102.
The space 108 is kept airtight by a and 114b. The electromagnetic switching valve 34 communicating with the compressed air supply source 12 and the space 108 are connected to the head cover 40 and the passage 11 defined inside the brake cylinder 102.
0 and 112. A bearing holding member 116 is fixed to the bottom surface of the second stage of the hole 100, and a coil spring 118 is inserted between the bearing holding member 116 and the piston 104. Therefore, the piston 104 is constantly urged in the Z1 direction by the coil spring 118. Further, the brake cylinder 102 supports a braking member 122, which is a donut-shaped disk, via a supporting member 120. On the other hand, a brake disc 128 is mounted on the ball screw shaft 22 in the vicinity of the pulley 74 via a frame key 124 and a frame 126. The brake disk 128 is configured to rotate near the braking member 122. The anti-rotation mechanism 52 includes a piston rod 18
Is a mechanism for preventing the table 46 displaced via the shaft from rotating together with the piston rod 18. The piston rod 18 has a cylindrical shape as shown in FIG.
It is screwed on the side. The ball screw shaft 22 is inserted into the hole 130 inside the piston rod 18 so as to be aligned with the piston rod 18 without contacting the wall surface of the hole 130. The piston rod 1
A shaft 132 is screwed to the end of the rod cover 44 on the side of the rod cover 8, and the shaft 132 is fixed to the table 46 by bolts or the like (not shown). Guide rods 134a and 134b are fixed to both ends of the table 46 by bolts (not shown). The guide rod 134
a and 134b are axially slidably supported by ball bushes 136a and 136b provided on both side surfaces of the rod cover 44. Has been inserted. A terminal 1 for connecting a control signal and a power signal from the controller 32 is connected to the head cover 40.
A terminal block 146 provided with 42 and 144 is provided. Next, the operation of the servo cylinder device 10 configured as described above will be described. Here, in displacing the workpiece W upwardly (cylinder chamber 64, piston
Let Displacement to position X2 the emissions 20 from the position X1) with reference to FIG. 6 will be described. The piston is stopped at the position X1 (time 0 to 0).
In the case of t1), the electro-pneumatic regulator 13 is set to the pressure P0 that supports only the static load of the work W, the piston rod 18, the piston 20, and the like, and the electromagnetic switching valve 14 is energized, and the electromagnetic switching valve 34 are exterminated. As a result, the pressure in the first chamber 64a on the rod cover 44 side of the cylinder chamber 64 of the cylinder body 16 becomes P0, and reliably supports the work W, the piston 20, and the like, while the space 108 of the disc brake mechanism 36 is opened to the atmosphere. Therefore, the piston 104 is displaced in the Z1 direction under the elastic force of the coil spring 118, and the braking member 106 is pressed against the brake disk 128. Thus, the brake <br/> key disk 128 is rotation of the ball screw shaft 22 is prevented by being held between the braking member 106, 122, and the piston 20 is stopped. When the piston 20 is displaced to the position X2, first, a change signal for changing the set pressure to P1 (> P0) is transmitted from the controller 32 to the electro-pneumatic regulator 13, and the change signal is transmitted to the electromagnetic switching valve 34. An activation signal is transmitted. As a result, the compressed air supply source 12 and the space 108 of the disc brake mechanism 36 communicate with each other, and compressed air is supplied to the space 108. As shown by a two-dot chain line in FIG. As a result, the piston 104 is displaced in the Z2 direction, and the brake member 106 is separated from the brake disk 128 of the ball screw shaft 22 to bring the disk brake mechanism 36 into an inoperative state. That is, the piston 20 becomes freely displaceable. In this state, the pressure P1 is supplied from the electro-pneumatic regulator 13 and the electromagnetic switching valve 14.
Is introduced into the first chamber 64a of the cylinder body 16, the piston 20 is displaced in the Z1 direction. At this time, since the ball screw shaft 22 and the body 78 are engaged, a rotational moment acts on the piston 20. However, since the detent guide rods 134a and 134b mounted on the table 46 connected to the piston 20 via the piston rod 18 are inserted into the holes 140a and 140b of the flange 138, the piston 20 rotates. I will not do it. Therefore,
The ball screw shaft 22 rotates with the displacement operation of the piston 20. The rotation is transmitted to the drive shaft 28 of the motor 26 via a pulley 74, a timing belt 24, and a pulley 86 provided at an end of the ball screw shaft 22 on the head cover 40 side. Eventually, the rotation amount of the drive shaft 28 is transmitted to the controller 32 via the encoder 30 and detected as the displacement amount of the piston 20. In the controller 32, the piston 20
Urging together is transmitted to the air regulator 13, the motor 26 - but from position X2 to detect that it has reached the switching position of the distance ε1 and (time t2), change signal collector for changing the set pressure from P1 P0 A power signal is transmitted. As a result, the pressure in the first chamber 64a of the cylinder body 16 becomes P0, and supports only the static load of the piston 20, the work W, and the like.
Especially made, but since the motor 26 is driven, the pulley 8
6, a timing belt 24, the pulley 74, the piston 20 through a ball screw shaft 22 is displaced by a distance ε1 at a low speed. [0030] It is detected that the piston 20 reaches the position X2 in the controller 32 based on the output of the encoder 30 (time t3), deenergizing signal is transmitted to the motor 26 and the electromagnetic switching valve 34. As a result, the compressed air supplied to the space 108 is released from the electromagnetic switching valve 34 to the atmosphere through the passages 112 and 110. Therefore, the piston 104 is displaced in the Z1 direction by the elastic force of the coil spring 118 (the position indicated by the two-dot chain line → the position indicated by the solid line), and the braking member 106 is pressed against the brake disk 128, and the braking members 106, 122
With this, the brake disk 128 is held. Therefore, the rotation operation of the ball screw shaft 22 is stopped, and the piston 20 is accurately stopped at the stop position X2. On the other hand, the piston 20 is moved from the position X2 to the position X.
When the displacement is changed to 1, first, at time t4, a deactivation signal is transmitted from the controller 32 to the electromagnetic switching valve 14, and an energizing signal is transmitted to the electromagnetic switching valve 34. As a result, the disc brake mechanism 36
8, the compressed air is introduced, and the braking member 106 is separated from the brake disk 128 of the ball screw shaft 22.
Therefore, the brake is deactivated. Then, the pressure of the first chamber 64a of the cylinder body 16 is reduced from P0 to P2 by opening to the atmosphere, and the piston 20 is displaced in the Z2 direction by the load of the work W or the like. The piston 32 moves from the position X2 to the position X1 by the controller 32 based on the output from the encoder 30.
When the displacement is detected (time t5),
An energizing signal is transmitted to the electromagnetic switching valve 14 and an energizing signal is transmitted to the motor 26. As a result, the cylinder body 1
The pressure in the first chamber 64a of 6 returns to P0 again, and supports the static load of the work W or the like. Then, the piston 20 is displaced in the Z2 direction by the driving force of the motor 26. The piston 20 by the controller 32 based on the output of the encoder 30 is detected to have reached the position X1 and (time t6), the motor 26 and the electromagnetic switching valve 3
4 is transmitted. Therefore, the compressed air in the space 108 of the disc brake mechanism 36 is released to the atmosphere,
The braking member 1 is acted upon by the elastic force of the coil spring 118.
06,122 for the brake disk 128 is sandwiched to brake the rotation of the ball screw shaft 22 by the piston 20 in position <br/> X1 is accurately stopped. As described above, in the servo cylinder device 10 according to the present embodiment, the brake disk 128 provided on the ball screw shaft 22 is sandwiched between the braking members 106 and 122 of the disk brake mechanism 36 so that the ball screw shaft 22 Is stopped, and the piston 20 is stopped. Therefore, the piston 20 switched from the air pressure to the low-speed displacement by the motor 26 can be stopped instantaneously. A description will be given of the safety control in the servo cylinder device 10 in which the supply of air pressure or the power supply is cut off due to the failure of the compressed air supply source 12. [0037] The operation of the disk brake mechanism 36 is described in the context of the time in FIG. 6 t1 to t2 (in piston <br/> down 20 Ri by the air pressure displacement in the Z1 direction). [0038] In this case, in the normal control state shown in FIG. 6, electric - pneumatic regulator 13 is set to pressure P1, the electromagnetic switching valve 14, 34 is being energized. Therefore, the compressed air at the pressure P1 is supplied to the first chamber 64a of the cylinder body 16 (see FIG. 6D), and the compressed air is supplied to the space 108 of the disc brake mechanism 36, so that the braking member 106 The piston 20 is free to be displaced by being separated from the brake disk 128 of the ball screw shaft 22. Here, when a failure occurs in the compressed air supply source 12, the pressure of the compressed air supplied to the first chamber 64a of the cylinder body 16 decreases, and the static load of the piston 20, the work W and the like is reduced. When the pressure is lower than the supporting pressure P0, the piston 20 may be displaced in the Z2 direction.
However, in the disc brake mechanism 36, the space 1
Due to a decrease in the pressure supplied to the coil 08, the piston 104 is displaced in the Z1 direction by the elastic force of the coil spring 118, and the braking member 106 is pressed against the brake disk 128 of the ball screw shaft 22. As a result, the braking member 10
The brake disk 128 is sandwiched by the brake gears 6 and 122 to brake the rotation of the ball screw shaft 22 and prevent the piston 20 from falling (displacement in the Z2 direction). When a power failure occurs, the electromagnetic switching valve 1
4 is deactivated, and the first chamber 64a of the cylinder body 16 is opened to the atmosphere. Therefore, the piston 20 may be displaced in the Z2 direction. However, since the electromagnetic switching valve 34 is also deenergized, the space 108 is opened to the atmosphere through the passages 110 and 112, and the brake disk 128 of the ball screw shaft 22 is moved by the coil spring 118 so that the braking member 106, It is clamped at 122 and braked. As a result,
This prevents the piston 20 from falling (displacement in the Z2 direction). Other than the above, the piston 20 by the motor 26
During the displacement (time t2 to t3, time t5 to t6),
Alternatively, even when the piston 20 is falling (time t4 to t5), substantially the same operation is performed, and the description is omitted. Also, during braking of the piston 20 (time 0 to t)
1, during time t3 to t4), during piston braking, the electromagnetic switching valve 34 is deenergized, and the space 108 is opened to the atmosphere (see FIG. 6 (f)). There is no effect from a source 12 failure or power loss. As described above, in the servo cylinder device 10 according to the present embodiment, the normally closed electromagnetic switching valve 34
Since the compressed air supply source 12 and the disc brake mechanism 36 are communicated with each other at the same time, and the disc brake mechanism 36 is configured to be braked by lowering the air pressure, the piston 2 can be operated regardless of the failure of the compressed air supply source 12 or the power cutoff.
0 can be stopped quickly, and a fall accident or the like of the work W can be reliably prevented. In the detent mechanism 52 of the cylinder body 16 according to the present embodiment, the guide rods 134a, 134
Although the rotation of the piston 20 and the table 46 is stopped by the b, the spline-shaped protrusion is provided on the piston rod 18 and the hole is formed on the rod cover 44 side by defining a hole into which the protrusion fits. A stopping function can be achieved. When the work W is light in weight, the work W may not fall by its own weight (Z2 direction). Therefore, the second chamber 64b on the head cover 40 side of the cylinder chamber 64 and the compressed air supply source 12 are connected to each other by the passage 66. A configuration in which communication is performed via the pressure reducing valve 150 is conceivable. In this case, the piston 20 is
When displacing in two directions, if the electromagnetic switching valve 14 is deactivated and the first chamber 64a is opened to the atmosphere, the second chamber 64b
Since the pressure is always applied to the first chamber 64a,
The piston 20 based on the pressure difference between the piston 20 and the second chamber 64b.
It can be displaced in two directions. The server with the engagement Lube rake mechanism to the present invention
According to the bo cylinder device , the following effects can be obtained. That is, since a brake mechanism is provided for braking the piston when the pressure of the supplied pressure fluid is reduced, when the supply of the pressure fluid is stopped due to a failure of the pressure fluid supply source or the like , the brake is stopped. mechanism can be braked at the position of the piston operates. Further, pressure is applied to the cylinder body due to power cutoff.
The electromagnetic control valve that supplies fluid is deactivated, and the cylinder body
Reduced pressure of the pressure fluid to be supplied to the even piston was ready to fall, the pressure flow to the brake mechanism
Body closed is that electrostatic magnetic control valve to supply to actuate the brake mechanism by the brake mechanism is opened to the atmosphere, can be braked instantaneously piston at that position. Therefore , when the cylinder is used in the vertical direction, it is possible to reliably prevent the workpiece from falling even if a failure of the pressure fluid supply source or a power failure occurs.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置の全
体構成図である。 【図2】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のシ
リンダ本体の斜視説明図である。 【図3】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のシ
リンダ本体の一部断面説明図である。 【図4】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のシ
リンダ本体におけるピストン部分の断面説明図である。 【図5】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のシ
リンダ本体におけるディスクブレーキ機構の一部断面説
明図である。 【図6】本発明の実施例に係るサーボシリンダ装置のタ
イミングチャートである。 【符号の説明】 10…サーボシリンダ装置 13…電−空レ
ギュレータ 14、34…電磁切換弁 16…シリンダ
本体 20、104…ピストン 22…ボールね
じ軸 24…タイミングベルト 26…モータ 28…駆動軸 30…エンコー
ダ 32…コントローラ 36…ディスク
ブレーキ機構 74、86…プーリ 106、122
…制動部材 108…空間 118…コイル
スプリング 128…ブレーキディスク
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an overall configuration diagram of a servo cylinder device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an explanatory perspective view of a cylinder main body of the servo cylinder device according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a partially sectional explanatory view of a cylinder main body of the servo cylinder device according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is an explanatory sectional view of a piston portion in a cylinder body of the servo cylinder device according to the embodiment of the present invention. FIG. 5 is a partially sectional explanatory view of a disk brake mechanism in a cylinder body of the servo cylinder device according to the embodiment of the present invention. FIG. 6 is a timing chart of the servo cylinder device according to the embodiment of the present invention. [Description of References] 10 ... Servo cylinder device 13 ... Electro-pneumatic regulator 14, 34 ... Electromagnetic switching valve 16 ... Cylinder main body 20, 104 ... Piston 22 ... Ball screw shaft 24 ... Timing belt 26 ... Motor 28 ... Drive shaft 30 ... Encoder 32 ... Controller 36 ... Disc brake mechanism 74, 86 ... Pulley 106, 122
... braking member 108 ... space 118 ... coil spring 128 ... brake disc

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 薫 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (56)参考文献 実開 平2−119503(JP,U) 実開 昭60−116433(JP,U) 実開 昭58−88031(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F15B 15/26 F15B 15/08 F16J 1/16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Kaoru Suzuki 4-2-2 Kinudai, Taniwara-mura, Tsukuba-gun, Ibaraki Pref. SMC Corporation Tsukuba Technical Center (56) Reference Reference ) Actually open sho 60-116433 (JP, U) Actually open sho 58-88031 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) F15B 15/26 F15B 15/08 F16J 1 / 16

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】シリンダボディと、 前記シリンダボディに配設され、電気信号により駆動さ
れる回転駆動源と、 前記回転駆動源の回転駆動力によって回転する送りねじ
軸と、 前記送りねじ軸に螺合され、前記回転駆動力とシリンダ
室に供給される圧力流体の押圧力との切換作用下に前記
シリンダボディの軸線方向に沿って変位自在に設けられ
たピストンと、 前記回転駆動源の回転駆動力を前記送りねじ軸に伝達す
る駆動力伝達手段と、 供給される圧力流体の押圧力により前記ピストンを非制
動状態とし、前記非制動状態からの圧力低下により前記
ピストンに対して制動を行うブレーキ機構と、 付勢信号が付与されることにより圧力流体供給源と前記
ブレーキ機構とを連通させて該ブレーキ機構に対して圧
力流体を供給し、滅勢信号が付与されることにより前記
ブレーキ機構を大気開放する電磁制御弁と 備えることを特徴とするブレーキ機構を有するサーボ
シリンダ装置
(57) [Claim 1] A cylinder body, and a cylinder body, which is driven by an electric signal.
Rotating drive source, and a feed screw rotated by the rotating drive force of the rotary drive source
Shaft, and the rotation driving force and the cylinder screwed to the feed screw shaft.
Under the action of switching with the pressing force of the pressure fluid supplied to the chamber.
It is provided to be displaceable along the axial direction of the cylinder body.
And the rotational drive force of the rotational drive source is transmitted to the feed screw shaft.
The piston is not controlled by the driving force transmitting means and the pressing force of the supplied pressure fluid.
To a moving state, and the pressure drop from the non-braking state causes the
A brake mechanism for braking the piston, and a pressure fluid supply source and
A brake mechanism by communicating pressure to the brake mechanism
By supplying a force fluid and receiving a deactivation signal
Servo having a brake mechanism for a brake mechanism comprising: the that collecting magnetic valve be opened to the atmosphere and
Cylinder device .
JP25445393A 1993-10-12 1993-10-12 Servo cylinder device with brake mechanism Expired - Lifetime JP3375690B2 (en)

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