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JP3387451B2 - Positioning control device - Google Patents
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JP3387451B2 - Positioning control device - Google Patents

Positioning control device

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JP3387451B2
JP3387451B2 JP17016899A JP17016899A JP3387451B2 JP 3387451 B2 JP3387451 B2 JP 3387451B2 JP 17016899 A JP17016899 A JP 17016899A JP 17016899 A JP17016899 A JP 17016899A JP 3387451 B2 JP3387451 B2 JP 3387451B2
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fine movement
actuator
fine
coarse
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、粗動アクチュエ
ータと、この粗動アクチュエータにより駆動される粗動
部の一端に固定された微動アクチュエータとを協調制御
することにより、微動アクチュエータの一端に取り付け
られた微動部の位置決めを行う位置決め制御装置に関
し、特に、光ディスク装置や磁気ディスク装置等のヘッ
ドの位置決め制御を行う位置決め制御装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is mounted on one end of a fine movement actuator by cooperatively controlling a coarse movement actuator and a fine movement actuator fixed to one end of a coarse movement portion driven by the coarse movement actuator. More particularly, the present invention relates to a positioning control device that performs positioning control of a head of an optical disk device, a magnetic disk device, etc.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ディスク装置や磁気ディスク装置等の
ディスク装置の中には、最近、近年の記憶容量の大容量
化に伴う高記録密度化に対処するため、例えば、特開平
6−96545号公報や特開平9−251739号公報
に開示されているように、2ステージ協調位置決め機
構、あるいは2段アクチュエータと呼ばれるヘッド移動
機構により、光ディスクや磁気ディスクの所定の位置に
ヘッドが位置決めされるものがある。この種のヘッド移
動機構は、可動範囲はセンチメートル・オーダと大きい
が位置決め精度の低い粗動アクチュエータと、この粗動
アクチュエータにより駆動されるアームの一端に固定さ
れ、可動範囲はミリメートル・オーダ又はナノメートル
・オーダと小さいが位置決め精度の高い微動アクチュエ
ータとからなり、これらを協調制御することにより、セ
ンチメートル・オーダの大きな可動範囲とナノメートル
・オーダの高い位置決め精度とを両立させている。
2. Description of the Related Art Some disk devices such as an optical disk device and a magnetic disk device have recently been disclosed in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 6-96545 in order to cope with the recent increase in recording density accompanying the increase in storage capacity. As disclosed in JP-A-9-251739 and Japanese Patent Laid-Open No. 9-251739, there is one in which a head is positioned at a predetermined position on an optical disk or a magnetic disk by a two-stage coordinated positioning mechanism or a head moving mechanism called a two-stage actuator. . This type of head moving mechanism is fixed to a coarse actuator with a large movable range of centimeter order but low positioning accuracy, and one end of an arm driven by this coarse actuator, and the movable range is millimeter order or nanometer. It consists of a fine motion actuator with a high accuracy in positioning, which is small in the order of meters. By cooperating with these, a large movable range of the order of centimeters and high positioning accuracy of the order of nanometers are both achieved.

【0003】このうち、光ディスク装置においては、粗
動アクチュエータ及び微動アクチュエータのいずれにも
ボイスコイル・モータを使用しているため、微動アクチ
ュエータを構成するボイスコイル・モータの可動範囲は
数mmであり、30nm程度の位置決め精度を実現して
いる。これに対し、磁気ディスク装置においては、粗動
アクチュエータにはボイスコイル・モータを使用してい
るが、微動アクチュエータにはピエゾ素子等の電歪素子
を使用しているため、微動アクチュエータを構成する電
歪素子の可動範囲は500nm前後と非常に狭く、50
nm以下の位置決め精度を実現している。
Of these, in the optical disk device, since the voice coil motor is used for both the coarse movement actuator and the fine movement actuator, the movable range of the voice coil motor constituting the fine movement actuator is several mm. A positioning accuracy of about 30 nm is realized. On the other hand, in the magnetic disk device, a voice coil motor is used for the coarse movement actuator, but an electrostrictive element such as a piezo element is used for the fine movement actuator. The movable range of the strain element is very narrow, around 500 nm,
A positioning accuracy of nm or less is realized.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したデ
ィスク装置のヘッドの位置決め制御においては、通常、
ヘッドの目標位置と実際の位置との誤差がなくなるよう
に、フィードバック制御を行うと共に、外部からの影響
を抑圧するために、そのフィードバック・ループに積分
器を挿入している。この積分器が挿入された制御系は、
応答が遅い傾向がある。したがって、ヘッドを目標位置
に追従させている状態において、外部から加えられる振
動や衝撃が微動アクチュエータの可動範囲を越えた場
合、応答の遅い上記積分器がいわゆるワインドアップを
起こして制御系が発振し、ヘッドが暴走してしまう場合
がある。この制御系が発振するという不都合は、ディス
ク装置のヘッドの位置決め制御だけでなく、微動アクチ
ュエータの可動範囲が実用上制限される機構の位置決め
制御において、一般的に起こり得ることがよく知られて
いる。
By the way, in the above-mentioned head positioning control of the disk device, normally,
Feedback control is performed so as to eliminate the error between the target position and the actual position of the head, and an integrator is inserted in the feedback loop to suppress the influence from the outside. The control system with this integrator inserted is
Response tends to be slow. Therefore, when the vibration or impact applied from the outside exceeds the movable range of the fine motion actuator while the head is following the target position, the integrator with slow response causes so-called windup and the control system oscillates. , The head may run out of control. It is well known that the inconvenience that the control system oscillates generally occurs not only in the positioning control of the head of the disk device but also in the positioning control of the mechanism in which the movable range of the fine movement actuator is practically limited. .

【0005】この点、特開平8−142886号公報に
は、電動パワーステアリング装置におけるステアリング
ホイールの位置決め制御について、制御系を構成する積
分器の内部状態に補正を加えるアンチ・ワインドアップ
制御が開示されている。しかし、この技術は、1ステー
ジの一般的な位置決め制御に関するものであり、光ディ
スク装置や磁気ディスク装置等のディスク装置のヘッド
の位置決め制御のように、2個のアクチュエータを協調
させてヘッドの位置決めを制御する場合には適用できな
い。
In this regard, Japanese Unexamined Patent Publication No. 8-142886 discloses an anti-windup control for correcting the steering wheel positioning control in an electric power steering apparatus by correcting the internal state of an integrator that constitutes a control system. ing. However, this technique relates to general positioning control of one stage, and the positioning of the head is performed by coordinating two actuators like the positioning control of the head of a disk device such as an optical disk device or a magnetic disk device. Not applicable when controlling.

【0006】これに対し、「アンチワインドアップ制御
による磁気ディスク装置の外乱抑圧特性向上」(日本機
械学会IIP、’98情報・知能・精密機器部門講演会
講演論文集、No.98−26、pp.27−29)に
は、制御系を構成する積分器の内部状態そのものを観測
し、積分器の出力信号をリミッタを用いて修整すること
により、磁気ディスク装置のヘッドが目標位置近傍に移
動した後の過渡応答の整定を速くする技術が開示されて
いる。しかし、この技術は、ヘッドを目標位置に追従さ
せている状態において、外部から加えられた振動や衝撃
が微動アクチュエータの可動範囲を越えることにより、
上記積分器がワインドアップを起こした場合には、適用
できない。
On the other hand, "Improvement of disturbance suppression characteristic of magnetic disk drive by anti-windup control" (Mechanical Society of Japan IIP, '98 Information, Intelligence, Precision Equipment Section Lecture Collection, No. 98-26, pp. 27-29), the internal state itself of the integrator constituting the control system was observed, and the output signal of the integrator was adjusted by using a limiter, whereby the head of the magnetic disk device moved to the vicinity of the target position. Techniques for speeding up the subsequent transient response settling are disclosed. However, in this technique, when the head is made to follow the target position, the vibration or shock applied from outside exceeds the movable range of the fine motion actuator,
Not applicable if the integrator winds up.

【0007】この発明は、上述の事情に鑑みてなされた
もので、粗動アクチュエータと、この粗動アクチュエー
タにより駆動される粗動部の一端に固定された微動アク
チュエータとを協調制御して、微動アクチュエータの一
端に取り付けられた微動部を位置決めする場合、外部か
ら加えられる振動や衝撃が微動アクチュエータの可動範
囲を越えても、振動や衝撃の影響を低減して高精度な位
置決め制御をすることができる位置決め制御装置を提供
することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and finely adjusts the coarse movement actuator and the fine movement actuator fixed to one end of the coarse movement portion driven by the coarse movement actuator in cooperation with each other. When positioning the fine movement part attached to one end of the actuator, even if the external vibration or shock exceeds the movable range of the fine movement actuator, the effect of the vibration or shock can be reduced to perform highly accurate positioning control. It is an object of the present invention to provide a positioning control device that can be used.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1記載の発明は、粗動アクチュエータと、こ
の粗動アクチュエータにより駆動される粗動部の一端に
固定された微動アクチュエータとを協調制御することに
より、微動アクチュエータの一端に取り付けられた微動
部の位置決めを行う位置決め制御装置において、上記微
動部から供給される位置誤差信号に基づいて、上記微動
部を位置決めするための微動制御信号を生成する微動制
御手段と、上記微動制御信号に基づいて、上記粗動アク
チュエータに供給するための粗動制御信号を生成する粗
動制御手段と、上記微動制御信号を上記微動アクチュエ
ータの可動範囲に対応した制限内になるように飽和処理
して上記微動アクチュエータに供給する飽和処理手段
と、上記飽和処理手段の出力信号と上記微動制御信号と
の差を求める減算器と、該減算器の減算結果に所定定数
を乗算して上記微動制御信号を補正するための補正信号
を生成する乗算器とからなる補正手段とを備えてなるこ
とを特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 includes a coarse movement actuator and a fine movement actuator fixed to one end of a coarse movement portion driven by the coarse movement actuator. In a positioning control device for positioning a fine movement part attached to one end of a fine movement actuator by cooperatively controlling the fine movement part, a fine movement control for positioning the fine movement part based on a position error signal supplied from the fine movement part. A fine movement control means for generating a signal, a coarse movement control means for generating a coarse movement control signal to be supplied to the coarse movement actuator on the basis of the fine movement control signal, and a fine movement control signal for the movable range of the fine movement actuator. Saturation processing means for supplying saturation processing to the fine movement actuator so that it is within the limit corresponding to Of the output signal and the fine movement control signal, and a multiplier for multiplying the subtraction result of the subtractor by a predetermined constant to generate a correction signal for correcting the fine movement control signal. And means.

【0009】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の位置決め制御装置に係り、上記微動制御手段は、上
記微動制御信号を積分補償する積分補償手段を有し、上
記補正信号に基づいて、前段積分補償手段の内部状態を
変更することを特徴としている。
The invention according to claim 2 relates to the positioning control device according to claim 1, wherein the fine movement control means has an integral compensation means for integral compensation of the fine movement control signal, and based on the correction signal. Then, the internal state of the pre-stage integral compensation means is changed.

【0010】また、請求項3記載の発明は、請求項2記
載の位置決め制御装置に係り、上記微動制御手段は、上
記微動制御信号を位相補償する位相補償手段を有し、上
記補正信号に基づいて、前段位相補償手段の内部状態を
変更することを特徴としている。
The invention according to claim 3 relates to the positioning control device according to claim 2, wherein the fine movement control means has a phase compensation means for phase compensating the fine movement control signal, and based on the correction signal. Then, the internal state of the front-stage phase compensating means is changed.

【0011】また、請求項4記載の発明は、請求項2又
は3記載の位置決め制御装置に係り、上記補正信号の符
号は、上記微動制御信号が上記飽和処理手段の出力信号
より大きい場合には、上記積分補償手段の内部状態が減
少する方向でフィードバックがかかるように設定され、
上記微動制御信号が上記飽和処理手段の出力信号より小
さい場合には、上記積分補償手段の内部状態が増加する
方向でフィードバックがかかるように設定されているこ
とを特徴としている。
Further, the invention according to claim 4 relates to the positioning control device according to claim 2 or 3, wherein the sign of the correction signal is such that when the fine movement control signal is larger than the output signal of the saturation processing means. , Is set so that feedback is applied in a direction in which the internal state of the integral compensation means decreases,
When the fine movement control signal is smaller than the output signal of the saturation processing means, feedback is set so that the internal state of the integration compensation means increases.

【0012】また、請求項5記載の発明は、請求項1乃
至4のいずれか1に記載の位置決め制御装置に係り、上
記粗動アクチュエータはボイスコイル・モータからな
り、上記微動アクチュエータは電歪素子からなり、上記
粗動部はキャリッジアームからなり、上記微動部は磁気
ヘッドからなることを特徴としている。
The invention according to claim 5 relates to the positioning control device according to any one of claims 1 to 4, wherein the coarse actuator comprises a voice coil motor and the fine actuator comprises an electrostrictive element. The coarse moving part is composed of a carriage arm, and the fine moving part is composed of a magnetic head.

【0013】[0013]

【0014】[0014]

【0015】[0015]

【作用】この発明の構成によれば、外部から加えられる
振動や衝撃が微動アクチュエータの可動範囲を越えた場
合でも、振動や衝撃の影響を低減して高精度な位置決め
制御をすることができる。
According to the structure of the present invention, even if an externally applied vibration or shock exceeds the movable range of the fine movement actuator, the effect of the vibration or shock can be reduced and highly accurate positioning control can be performed.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。説明は、実施例を用い
て具体的に行う。図1は、この発明の一実施例である磁
気ディスク装置のヘッド移動機構1の位置決め制御装置
2の電気的構成を示すブロック図である。ヘッド移動機
構1は、図2に示すように、キャリッジアームからなる
粗動部11と、ボイスコイル・モータからなる粗動アク
チュエータ12と、ピエゾ素子等の電歪素子からなる微
動アクチュエータ13と、サスペンション付きの磁気ヘ
ッドからなる微動部14とから概略構成されている。ま
た、粗動部11は、その一端に粗動アクチュエータ12
が固定されていると共に、その他端に微動アクチュエー
タ13を介して微動部14が取り付けられている。粗動
アクチュエータ12は、位置決め制御装置2から供給さ
れる制御信号SC1に基づいて、粗動部11を駆動する
ことにより、微動アクチュエータ13及び微動部14を
ピボット11aを中心に図中X方向(図示せぬ磁気ディ
スクの半径方向)に移動させる。また、微動アクチュエ
ータ13は、位置決め制御装置2から供給される制御信
号SC2に基づいて図中Y方向に伸縮して、微動部14
を図中X方向に微動させる。微動部14は、位置決めの
対象である磁気ヘッドの位置と目標のトラックの位置と
の誤差を示す位置誤差信号Sを出力し、位置決め制御
装置2に供給する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The description will be specifically made using the embodiments. FIG. 1 is a block diagram showing an electrical configuration of a positioning control device 2 of a head moving mechanism 1 of a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the head moving mechanism 1 includes a coarse movement unit 11 including a carriage arm, a coarse movement actuator 12 including a voice coil motor, a fine movement actuator 13 including an electrostrictive element such as a piezo element, and a suspension. And a fine moving part 14 including a magnetic head. The coarse movement unit 11 has a coarse movement actuator 12 at one end thereof.
Is fixed, and a fine movement part 14 is attached to the other end via a fine movement actuator 13. The coarse movement actuator 12 drives the coarse movement portion 11 based on the control signal S C1 supplied from the positioning control device 2 to move the fine movement actuator 13 and the fine movement portion 14 around the pivot 11a in the X direction (in the figure). The magnetic disk is moved in the radial direction (not shown). Further, the fine movement actuator 13 expands and contracts in the Y direction in the drawing based on the control signal S C2 supplied from the positioning control device 2, and the fine movement unit 14
Is slightly moved in the X direction in the figure. The fine movement unit 14 outputs a position error signal S E indicating the error between the position of the magnetic head to be positioned and the position of the target track, and supplies it to the positioning control device 2.

【0017】ここで、図3及び図4にヘッド移動機構1
の周波数特性の一例を示す。図3は、粗動アクチュエー
タ12の入力端から微動部14の出力端(トラックラン
ナウトを零とした場合は磁気ヘッドの位置に相当)まで
の周波数特性の一例であり、(a)はゲイン特性の一
例、(b)は位相特性の一例である。図3(a)及び
(b)から分かるように、低周波数域のゲイン特性が−
40dB/decの傾きを有し、位相特性が略−180
度であるので、制御信号SC1は、磁気ヘッドの位置の
加速度の次元に相当している。したがって、制御信号S
C1の振幅に制限があった場合でも、それは加速度に対
する制限であり、物理的にストッパーなどにぶつかるま
でが粗動アクチュエータ12の可動範囲となるだけであ
り、事実上、磁気ヘッドの位置の変位には制限が加わら
ない。図4は、微動アクチュエータ13の入力端から微
動部14の出力端(トラックランナウトを零とした場合
は磁気ヘッドの位置に相当)までの周波数特性の一例で
あり、(a)はゲイン特性の一例、(b)は位相特性の
一例である。図4(a)及び(b)から分かるように、
低周波数域のゲイン特性が略水平であり、位相特性が略
0度であるので、制御信号SC2は、直接、磁気ヘッド
の位置の次元に対応していることがわかる。したがっ
て、制御信号SC2の振幅に電源電圧等により制限があ
った場合には、それがそのまま微動アクチュエータ13
の可動範囲の制限となる。以上説明したように、典型的
な磁気ディスク装置の場合では、電源電圧(例えば、±
30Vなど)等による制御信号SC2の振幅の制限は、
微動アクチュエータ13の可動範囲の制限(例えば、±
500nm)となり、非常に狭い。
The head moving mechanism 1 is shown in FIGS. 3 and 4.
An example of the frequency characteristic of is shown. FIG. 3 shows an example of the frequency characteristic from the input end of the coarse movement actuator 12 to the output end of the fine movement portion 14 (corresponding to the position of the magnetic head when the track runout is set to zero). As an example, (b) is an example of a phase characteristic. As can be seen from FIGS. 3A and 3B, the gain characteristic in the low frequency range is −
It has a slope of 40 dB / dec and a phase characteristic of approximately -180.
Since it is in degrees, the control signal S C1 corresponds to the dimension of the acceleration of the position of the magnetic head. Therefore, the control signal S
Even if there is a limit on the amplitude of C1 , it is a limit on the acceleration and only the movable range of the coarse motion actuator 12 is reached until it physically hits a stopper or the like. Is not restricted. FIG. 4 shows an example of frequency characteristics from the input end of the fine movement actuator 13 to the output end of the fine movement unit 14 (corresponding to the position of the magnetic head when the track runout is zero), and FIG. 4A shows an example of the gain characteristic. , (B) are examples of phase characteristics. As can be seen from FIGS. 4A and 4B,
Since the gain characteristic in the low frequency range is substantially horizontal and the phase characteristic is substantially 0 degree, it can be seen that the control signal S C2 directly corresponds to the dimension of the position of the magnetic head. Therefore, when the amplitude of the control signal S C2 is limited by the power supply voltage or the like, it is directly as it is.
It will limit the movable range of. As described above, in the case of a typical magnetic disk device, the power supply voltage (for example, ±
The limit of the amplitude of the control signal S C2 due to (for example, 30 V) is
Limitation of the movable range of the fine movement actuator 13 (for example, ±
500 nm), which is very narrow.

【0018】また、位置決め制御装置2は、図1に示す
ように、サンプラ21と、A/D変換器22と、符号反
転器23と、微動コントローラ24と、粗動コントロー
ラ25と、リミッタ26と、減算器27と、乗算器28
と、D/A変換器29及び30と、フィルタ31及び3
2とから概略構成されている。これらのうち、符号反転
器23、微動コントローラ24、粗動コントローラ2
5、リミッタ26、減算器27及び乗算器28は、いず
れもデジタル回路で構成されている。サンプラ21は、
ヘッド移動機構1の微動部14から供給される位置誤差
信号Sを所定周期でサンプリングしてA/D変換器2
2に供給する。A/D変換器22は、サンプラ21の出
力信号を離散的な位置誤差データDにデジタル変換し
て符号反転器23に供給する。符号反転器23は、位置
誤差データDの符号を反転して微動コントローラ24
に供給する。
As shown in FIG. 1, the positioning control device 2 includes a sampler 21, an A / D converter 22, a sign inverter 23, a fine movement controller 24, a coarse movement controller 25, and a limiter 26. , Subtractor 27 and multiplier 28
, D / A converters 29 and 30, and filters 31 and 3
2 and 2. Of these, the sign inverter 23, the fine movement controller 24, and the coarse movement controller 2
5, the limiter 26, the subtractor 27, and the multiplier 28 are all composed of digital circuits. Sampler 21
The position error signal S E supplied from the fine movement unit 14 of the head moving mechanism 1 is sampled at a predetermined cycle and the A / D converter 2
Supply to 2. The A / D converter 22 digitally converts the output signal of the sampler 21 into discrete position error data D E and supplies it to the sign inverter 23. The sign inverter 23 inverts the sign of the position error data D E to perform the fine movement controller 24.
Supply to.

【0019】微動コントローラ24は、位置誤差データ
(−D)に基づいて、磁気ヘッドを磁気ディスクの目
標のトラックに位置決めするための出力データDC1
生成するものであり、図5に示すように、積分補償器4
1と、位相補償器42と、加算器43とから概略構成さ
れている。積分補償器41は、加算器44と、ユニット
・ディレイ45と、乗算器46とから概略構成されてい
る。加算器44は、乗算器28の出力データDAと、位
置誤差データ(−D)と、ユニット・ディレイ45の
出力データとを加算して加算結果をユニット・ディレイ
45に供給する。ユニット・ディレイ45は、加算器4
4の出力データを所定時間(1/z)遅延した後、加算
器44及び乗算器46に供給する。乗算器46は、ユニ
ット・ディレイ45の出力データに所定定数(KiF)
を乗算して乗算結果を加算器43に供給する。
The fine movement controller 24 generates output data D C1 for positioning the magnetic head on the target track of the magnetic disk based on the position error data (-D E ) and is shown in FIG. Integral compensator 4
1, a phase compensator 42, and an adder 43. The integral compensator 41 is roughly composed of an adder 44, a unit delay 45, and a multiplier 46. The adder 44 adds the output data DA of the multiplier 28, the position error data (−D E ) and the output data of the unit delay 45, and supplies the addition result to the unit delay 45. The unit delay 45 is the adder 4
After delaying the output data of No. 4 by a predetermined time (1 / z), it is supplied to the adder 44 and the multiplier 46. The multiplier 46 outputs a predetermined constant (KiF) to the output data of the unit delay 45.
And the multiplication result is supplied to the adder 43.

【0020】位相補償器42は、乗算器47〜50と、
加算器51及び52と、ユニット・ディレイ53とから
概略構成されている。乗算器47及び48は、それぞれ
位置誤差データ(−D)に所定定数(BF)及び(D
F)を乗算して乗算結果を加算器51及び52に供給す
る。加算器51は、乗算器47の出力データと、乗算器
49の出力データとを加算して加算結果をユニット・デ
ィレイ53に供給する。ユニット・ディレイ53は、加
算器51の出力データを所定時間(1/z)遅延した
後、乗算器49及び50に供給する。乗算器49及び5
0は、それぞれユニット・ディレイ53の出力データに
所定定数(AF)及び(CF)を乗算して乗算結果を加
算器51及び52に供給する。乗算器49の所定定数
(AF)は、位相補償器42の極を決定するフィードバ
ック・ゲインである。加算器52は、乗算器48の出力
データと、乗算器50の出力データとを加算して加算結
果を加算器43に供給する。加算器43は、積分補償器
41の出力データと、位相補償器42の出力データとを
加算して加算結果を出力データDC1として粗動コント
ローラ25、リミッタ26及び減算器27に供給する。
図6は、微動コントローラ24の周波数特性の一例であ
り、(a)はゲイン特性の一例、(b)は位相特性の一
例である。図6から分かるように、微動コントローラ2
4は、積分補償を基本的な役割としている。
The phase compensator 42 includes multipliers 47 to 50,
It is configured by adders 51 and 52 and a unit delay 53. Multipliers 47 and 48 convert the position error data (-D E ) into predetermined constants (BF) and (D), respectively.
F) is multiplied and the multiplication result is supplied to the adders 51 and 52. The adder 51 adds the output data of the multiplier 47 and the output data of the multiplier 49 and supplies the addition result to the unit delay 53. The unit delay 53 delays the output data of the adder 51 by a predetermined time (1 / z) and then supplies the output data to the multipliers 49 and 50. Multipliers 49 and 5
0 multiplies the output data of the unit delay 53 by predetermined constants (AF) and (CF), respectively, and supplies the multiplication results to the adders 51 and 52. The predetermined constant (AF) of the multiplier 49 is the feedback gain that determines the pole of the phase compensator 42. The adder 52 adds the output data of the multiplier 48 and the output data of the multiplier 50 and supplies the addition result to the adder 43. The adder 43 adds the output data of the integral compensator 41 and the output data of the phase compensator 42, and supplies the addition result to the coarse movement controller 25, the limiter 26, and the subtracter 27 as output data D C1 .
6A and 6B show examples of frequency characteristics of the fine movement controller 24. FIG. 6A shows an example of gain characteristics, and FIG. 6B shows an example of phase characteristics. As can be seen from FIG. 6, the fine movement controller 2
4 has an integral compensation as a basic role.

【0021】粗動コントローラ25は、微動コントロー
ラ24の出力データDC1を微動アクチュエータ13の
変位とみなしてこれを零とするように粗動アクチュエー
タ12を駆動するための出力データDC2を生成するも
のであり、図7に示すように、積分補償器61と、位相
補償器62と、加算器63とから概略構成されている。
積分補償器61は、加算器64と、ユニット・ディレイ
65と、乗算器66とから概略構成されている。加算器
64は、微動コントローラ24の出力データD C1と、
ユニット・ディレイ65の出力データとを加算して加算
結果をユニット・ディレイ65に供給する。ユニット・
ディレイ65は、加算器64の出力データを所定時間
(1/z)遅延した後、加算器64及び乗算器66に供
給する。乗算器66は、ユニット・ディレイ65の出力
データに所定定数(KiC)を乗算して乗算結果を加算
器63に供給する。
The coarse movement controller 25 is a fine movement controller.
Output data D of LA24C1Of the fine actuator 13
The coarse motion actuator is set so that the displacement is regarded as zero.
Output data D for driving the data 12C2Also produces
Therefore, as shown in FIG. 7, the integration compensator 61 and the phase
It is roughly composed of a compensator 62 and an adder 63.
The integral compensator 61 includes an adder 64 and a unit delay.
65 and a multiplier 66. Adder
64 is output data D of the fine movement controller 24 C1When,
Add the output data of the unit delay 65
The result is supplied to the unit delay 65. unit·
The delay 65 outputs the output data of the adder 64 for a predetermined time.
After being delayed by (1 / z), it is supplied to the adder 64 and the multiplier 66.
To pay. The multiplier 66 outputs the output of the unit delay 65.
Multiply the data by a predetermined constant (KiC) and add the multiplication result
Supply to the container 63.

【0022】位相補償器62は、乗算器67〜70と、
加算器71及び72と、ユニット・ディレイ73とから
概略構成されている。乗算器67及び68は、それぞれ
微動コントローラ24の出力データDC1に所定定数
(BC)及び(DC)を乗算して乗算結果を加算器71
及び72に供給する。加算器71は、乗算器67の出力
データと、乗算器69の出力データとを加算して加算結
果をユニット・ディレイ73に供給する。ユニット・デ
ィレイ73は、加算器71の出力データを所定時間(1
/z)遅延した後、乗算器69及び70に供給する。乗
算器69及び70は、それぞれユニット・ディレイ73
の出力データに所定定数(AC)及び(CC)を乗算し
て乗算結果を加算器71及び72に供給する。加算器7
2は、乗算器68の出力データと、乗算器70の出力デ
ータとを加算して加算結果を加算器63に供給する。加
算器63は、積分補償器61の出力データと、位相補償
器62の出力データとを加算して加算結果を出力データ
C2としてD/A変換器29に供給する。図8は、粗
動コントローラ25の周波数特性の一例であり、(a)
はゲイン特性の一例、(b)は位相特性の一例である。
図8から分かるように、粗動コントローラ25は、周波
数500Hz付近で位相を60度程度回復させる位相補
償を基本的な役割としている。
The phase compensator 62 includes multipliers 67 to 70,
It is configured by adders 71 and 72 and a unit delay 73. The multipliers 67 and 68 multiply the output data D C1 of the fine movement controller 24 by predetermined constants (BC) and (DC), respectively, and add the multiplication result to the adder 71.
And 72. The adder 71 adds the output data of the multiplier 67 and the output data of the multiplier 69 and supplies the addition result to the unit delay 73. The unit delay 73 outputs the output data of the adder 71 for a predetermined time (1
/ Z) delay and then supply to multipliers 69 and 70. The multipliers 69 and 70 respectively include a unit delay 73.
The output data of is multiplied by a predetermined constant (AC) and (CC), and the multiplication result is supplied to the adders 71 and 72. Adder 7
2 adds the output data of the multiplier 68 and the output data of the multiplier 70 and supplies the addition result to the adder 63. The adder 63 adds the output data of the integral compensator 61 and the output data of the phase compensator 62, and supplies the addition result to the D / A converter 29 as output data D C2 . FIG. 8 shows an example of the frequency characteristic of the coarse movement controller 25.
Is an example of a gain characteristic, and (b) is an example of a phase characteristic.
As can be seen from FIG. 8, the coarse movement controller 25 has a basic role of phase compensation for recovering the phase by about 60 degrees in the vicinity of the frequency of 500 Hz.

【0023】また、図1に示すリミッタ26は、微動コ
ントローラ24の出力データDC1を微動アクチュエー
タ13を構成するピエゾ素子の可動範囲に対応した制限
内になるように処理し、処理結果を出力データDLとし
てD/A変換器30及び減算器27に供給する。減算器
27は、リミッタ26の出力データDLから微動コント
ローラ24の出力データDC1を減算して減算結果を乗
算器28に供給する。また、乗算器28は、減算器27
の出力データに所定定数(AWG)を乗算して乗算結果
を出力データDAとして、微動コントローラ24を構成
する積分補償器41の内部状態(xF2)を修整するた
めに、微動コントローラ24にフィードバックする。こ
のフィードバックされる出力データDAの符号は、微動
コントローラ24の出力データDC1がリミッタ26の
出力データDLより大きい場合には、微動コントローラ
24を構成する積分補償器41の内部状態(xF2)が
減少する方向でフィードバックがかかるように設定さ
れ、出力データDC1が出力データDLより小さい場合
には、積分補償器41の内部状態(xF2)が増加する
方向でフィードバックがかかるように設定されているも
のとする。
The limiter 26 shown in FIG. 1 processes the output data D C1 of the fine movement controller 24 so as to be within the limit corresponding to the movable range of the piezo element forming the fine movement actuator 13, and outputs the processing result as output data. The DL is supplied to the D / A converter 30 and the subtractor 27. The subtractor 27 subtracts the output data D C1 of the fine movement controller 24 from the output data DL of the limiter 26 and supplies the subtraction result to the multiplier 28. Further, the multiplier 28 is a subtractor 27
Is multiplied by a predetermined constant (AWG), and the multiplication result is used as output data DA, which is fed back to the fine movement controller 24 in order to modify the internal state (x F2 ) of the integral compensator 41 constituting the fine movement controller 24. . When the output data D C1 of the fine movement controller 24 is larger than the output data DL of the limiter 26, the sign of the fed back output data DA indicates that the internal state (x F2 ) of the integral compensator 41 constituting the fine movement controller 24 is the same. The feedback is set to decrease, and when the output data D C1 is smaller than the output data DL, the feedback is set to increase the internal state (x F2 ) of the integral compensator 41. Be present.

【0024】また、D/A変換器29は、粗動コントロ
ーラ25の出力データDC2を連続的な信号にアナログ
変換してフィルタ31に供給する。D/A変換器30
は、リミッタ26の出力データDLを連続的な信号にア
ナログ変換してフィルタ32に供給する。フィルタ31
は、D/A変換器29の出力信号の周波数帯域を500
Hz程度に制限して機械共振を減衰させた後、制御信号
C1としてヘッド移動機構1の粗動アクチュエータ1
2に供給する。フィルタ32は、D/A変換器30の出
力信号の周波数帯域を2kHz前後に制限して機械共振
を減衰させた後、制御信号SC2としてヘッド移動機構
1の微動アクチュエータ13に供給する。
Further, the D / A converter 29 converts the output data D C2 of the coarse movement controller 25 into a continuous signal and supplies it to the filter 31. D / A converter 30
Outputs analog data from the output data DL of the limiter 26 to a continuous signal and supplies the continuous signal to the filter 32. Filter 31
Is the frequency band of the output signal of the D / A converter 29 is 500
After damping the mechanical resonance by limiting to about Hz, the coarse movement actuator 1 of the head moving mechanism 1 is used as a control signal S C1.
Supply to 2. The filter 32 limits the frequency band of the output signal of the D / A converter 30 to around 2 kHz to attenuate the mechanical resonance, and then supplies it as the control signal S C2 to the fine movement actuator 13 of the head moving mechanism 1.

【0025】次に、上記構成の位置決め制御装置2の動
作について説明する。まず、外部から加えられた振動や
衝撃等によって生じる変位が微動アクチュエータ13の
可動範囲内である定常状態時の動作について説明する。
ヘッド移動機構1を構成する微動部14から位置決め制
御装置2に供給された位置誤差信号Sは、サンプラ2
1においてサンプリングされた後、A/D変換器22に
おいて位置誤差データDに変換され、さらに、符号反
転器23において符号が反転されて位置誤差データ(−
)として微動コントローラ24に供給される。これ
により、微動コントローラ24において、位置誤差デー
タ(−D)に基づいて、磁気ヘッドを磁気ディスクの
目標のトラックに位置決めするための出力データDC1
が生成され、出力データDC1は、粗動コントローラ2
5、リミッタ26及び減算器27に供給される。微動コ
ントローラ24の出力データDC1は、リミッタ26に
おいて、微動アクチュエータ13を構成するピエゾ素子
の可動範囲に対応した制限内になるように処理された
後、出力データDLとしてD/A変換器30及び減算器
27に供給される。リミッタ26の出力データDLは、
D/A変換器30において、アナログ変換された後、フ
ィルタ32において、その周波数帯域が2kHz前後に
制限され、制御信号SC2としてヘッド移動機構1の微
動アクチュエータ13に供給される。これにより、微動
部14を構成するサスペンション付きの磁気ヘッドは、
2kHz前後の帯域で高精度に位置決め制御される。な
お、今の場合、外部から加えられた振動や衝撃等によっ
て生じた変位は微動アクチュエータ13の可動範囲内に
あるので、微動コントローラ24の出力データDC1
リミッタ26の出力データDLとは等しい。したがっ
て、減算器27の減算結果は零であり、微動コントロー
ラ24には、乗算器28の出力データDAはフィードバ
ックされず、微動コントローラ24を構成する積分補償
器41の内部状態(xF2)は修整されない。
Next, the operation of the positioning control device 2 having the above configuration will be described. First, the operation in a steady state in which the displacement caused by externally applied vibration or shock is within the movable range of the fine movement actuator 13 will be described.
The position error signal S E supplied from the fine movement unit 14 constituting the head moving mechanism 1 to the positioning control device 2 is the sampler 2
After being sampled at 1, the position error data D E is converted by the A / D converter 22, and the sign is inverted by the sign inverter 23 so that the position error data (−
It is supplied to the fine movement controller 24 as D E ). As a result, in the fine movement controller 24, the output data D C1 for positioning the magnetic head on the target track of the magnetic disk based on the position error data (−D E ).
Is generated, and the output data D C1 is generated by the coarse motion controller 2
5, supplied to the limiter 26 and the subtractor 27. The output data D C1 of the fine movement controller 24 is processed by the limiter 26 so as to be within the limit corresponding to the movable range of the piezo element forming the fine movement actuator 13, and then is output as the output data DL by the D / A converter 30 and It is supplied to the subtractor 27. The output data DL of the limiter 26 is
After being analog-converted in the D / A converter 30, the frequency band thereof is limited to around 2 kHz in the filter 32 and is supplied to the fine movement actuator 13 of the head moving mechanism 1 as the control signal S C2 . As a result, the magnetic head with suspension that constitutes the fine movement unit 14
Positioning is controlled with high accuracy in the band of around 2 kHz. In this case, since the displacement caused by externally applied vibration or shock is within the movable range of the fine movement actuator 13, the output data DC1 of the fine movement controller 24 and the output data DL of the limiter 26 are equal. Therefore, the subtraction result of the subtractor 27 is zero, the output data DA of the multiplier 28 is not fed back to the fine movement controller 24, and the internal state (x F2 ) of the integral compensator 41 constituting the fine movement controller 24 is adjusted. Not done.

【0026】一方、粗動コントローラ25において、微
動コントローラ24の出力データD C1に基づいて、微
動アクチュエータ13の変位を零とするように粗動アク
チュエータ12を駆動するための出力データDC2が生
成される。粗動コントローラ25の出力データD
C2は、D/A変換器29において、アナログ変換され
た後、フィルタ31において、その周波数帯域が500
Hz程度に制限され、制御信号SC1としてヘッド移動
機構1の粗動アクチュエータ12に供給される。これに
より、粗動部11を構成するキャリッジアームは、微動
部14を構成するサスペンション付きの磁気ヘッドを追
いかけるように制御される。
On the other hand, the coarse movement controller 25
Output data D of the motion controller 24 C1Based on
The coarse motion actuator is set so that the displacement of the dynamic actuator 13 becomes zero.
Output data D for driving the tuner 12C2Raw
Is made. Output data D of coarse movement controller 25
C2Is analog-converted in the D / A converter 29.
Then, in the filter 31, the frequency band is 500
Control signal S limited to about HzC1Move head as
It is supplied to the coarse movement actuator 12 of the mechanism 1. to this
As a result, the carriage arm that forms the coarse movement unit 11 moves slightly.
The magnetic head with suspension that composes part 14 is added.
Controlled to go.

【0027】このように、外部から加えられた振動や衝
撃が微動アクチュエータ13を構成するピエゾ素子の可
動範囲内である定常状態時においては、サスペンション
付きの磁気ヘッドを磁気ディスクの目標のトラックに精
密に位置決めするために移動したピエゾ素子を追いかけ
てボイスコイル・モータによりキャリッジアームが移動
する協調制御が実現される。したがって、本来のピエゾ
素子の可動範囲(キャリッジアームが固定されている場
合に相当)では位置決めできないような大きなトラック
の揺れに対しても、大まかな動きはボイスコイル・モー
タによりカバーされるので、ピエゾ素子の高精度な位置
決め状態が維持できる。また、粗動コントローラ25
は、微動コントローラ24の出力データDC1に基づい
て予見的な制御が可能となるので、リミッタ26におい
て飽和処理された後の出力データDLを利用する場合と
比べて、はるかに制御系の安定度が向上する。
As described above, in a steady state in which the vibration or impact applied from the outside is within the movable range of the piezo element which constitutes the fine movement actuator 13, the magnetic head with suspension is precisely moved to the target track of the magnetic disk. Coordinated control is achieved in which the carriage arm moves by the voice coil motor following the piezo element that has moved for positioning. Therefore, the rough movement is covered by the voice coil motor even when a large track shake cannot be positioned in the original movable range of the piezo element (corresponding to the case where the carriage arm is fixed). The highly accurate positioning state of the element can be maintained. In addition, the coarse movement controller 25
Can perform predictive control based on the output data D C1 of the fine movement controller 24, and therefore, the stability of the control system is much higher than that in the case of using the output data DL after saturation processing in the limiter 26. Is improved.

【0028】次に、外部から加えられた振動や衝撃等に
よって粗動アクチュエータ12を構成するボイスコイル
・モータの応答速度では対応できない大きな変位が生
じ、その変位が微動アクチュエータ13を構成するピエ
ゾ素子の可動範囲を越えた場合の動作について説明す
る。ヘッド移動機構1から供給された位置誤差信号S
は、サンプラ21、A/D変換器22及び符号反転器2
3において順次処理され、その処理結果が位置誤差デー
タ(−D)として微動コントローラ24に供給され
る。これにより、微動コントローラ24において、位置
誤差データ(−D)に基づき出力データD が生成
されるので、出力データDC1は、リミッタ26におい
て、ピエゾ素子の可動範囲に対応した制限内になるよう
に処理された後、出力データDLとしてD/A変換器3
0及び減算器27に供給される。出力データDLは、D
/A変換器30において、アナログ変換された後、フィ
ルタ32において、その周波数帯域が2kHz前後に制
限され、制御信号SC2としてヘッド移動機構1の微動
アクチュエータ13に供給される。これにより、微動部
14を構成するサスペンション付きの磁気ヘッドは、2
kHz前後の帯域で高精度に位置決め制御される。
Next, a large displacement which cannot be handled by the response speed of the voice coil motor constituting the coarse actuator 12 occurs due to externally applied vibration or shock, and the displacement of the piezoelectric element constituting the fine actuator 13 occurs. The operation when the movable range is exceeded will be described. Position error signal S E supplied from the head moving mechanism 1
Is a sampler 21, an A / D converter 22, and a sign inverter 2
3 is sequentially processed, and the processing result is supplied to the fine movement controller 24 as position error data (-D E ). As a result, the fine movement controller 24 generates the output data D C 1 based on the position error data (−D E ), so that the output data D C1 is within the limit corresponding to the movable range of the piezo element in the limiter 26. After being processed as described above, the D / A converter 3 outputs the output data DL.
0 and the subtracter 27. The output data DL is D
After being analog-converted in the / A converter 30, the frequency band thereof is limited to around 2 kHz in the filter 32 and is supplied to the fine movement actuator 13 of the head moving mechanism 1 as a control signal S C2 . As a result, the magnetic head with suspension that constitutes the fine movement unit 14 is
Positioning is controlled with high accuracy in the band around kHz.

【0029】今の場合、外部から加えられた振動や衝撃
等によって生じた変位は微動アクチュエータ13の可動
範囲外にあるので、微動コントローラ24の出力データ
の絶対値は、リミッタ26の出力データDLの絶
対値より大きい。したがって、減算器27において、リ
ミッタ26の出力データDLから微動コントローラ24
の出力データDC1が減算され、この減算結果は、乗算
器28において、所定定数(AWG)が乗算された後、
その乗算結果が出力データDAとして微動コントローラ
24を構成する積分補償器41の内部状態(xF2)を
修整するために、微動コントローラ24にフィードバッ
クされる。上記したように、微動コントローラ24の出
力データDC1がリミッタ26の出力データDLより大
きい場合には、微動コントローラ24を構成する積分補
償器41の内部状態(xF2)が減少する方向でフィー
ドバックがかかるように、出力データDAの符号が設定
されているので、このフィードバックにより積分補償器
41の内部状態(xF2)が減少し、微動コントローラ
24の出力データDC1が小さくなる。以上説明した一
連の動作は、減算器27の減算結果が零となるまで繰り
返される。これにより、外部から加えられた振動や衝撃
等によって生じた変位がヘッド移動機構1の微動アクチ
ュエータ13を構成するピエゾ素子の可動範囲外となる
ことにより発生する積分補償器41のワインドアップが
抑制される。したがって、ヘッド移動機構1の微動部1
4を構成する磁気ヘッドの暴走を防止することができ
る。
In this case, since the displacement caused by the externally applied vibration or shock is outside the movable range of the fine movement actuator 13, the absolute value of the output data D C 1 of the fine movement controller 24 is the output of the limiter 26. It is larger than the absolute value of the data DL. Therefore, in the subtractor 27, the fine movement controller 24 calculates from the output data DL of the limiter 26.
Output data D C1 is subtracted, and the subtraction result is multiplied by a predetermined constant (AWG) in the multiplier 28,
The multiplication result is fed back to the fine movement controller 24 as the output data DA in order to correct the internal state (x F2 ) of the integral compensator 41 forming the fine movement controller 24. As described above, when the output data D C1 of the fine movement controller 24 is larger than the output data DL of the limiter 26, feedback is performed in the direction in which the internal state (x F2 ) of the integral compensator 41 forming the fine movement controller 24 decreases. Since the sign of the output data DA is set in this way, the feedback reduces the internal state (x F2 ) of the integral compensator 41 and reduces the output data D C1 of the fine movement controller 24. The series of operations described above is repeated until the subtraction result of the subtractor 27 becomes zero. This suppresses the wind-up of the integral compensator 41 that occurs when the displacement caused by externally applied vibration or shock is outside the movable range of the piezo element that constitutes the fine movement actuator 13 of the head moving mechanism 1. It Therefore, the fine movement unit 1 of the head moving mechanism 1
It is possible to prevent runaway of the magnetic head that constitutes No. 4.

【0030】一方、粗動コントローラ25において、微
動コントローラ24の出力データD C1に基づいて、微
動アクチュエータ13の変位を零とするように粗動アク
チュエータ12を駆動するための出力データDC2が生
成される。粗動コントローラ25の出力データD
C2は、D/A変換器29において、アナログ変換され
た後、フィルタ31において、その周波数帯域が500
Hz程度に制限され、制御信号SC1としてヘッド移動
機構1の粗動アクチュエータ12に供給される。これに
より、粗動部11を構成するキャリッジアームは、微動
部14を構成するサスペンション付きの磁気ヘッドを追
いかけるように制御される。
On the other hand, in the coarse movement controller 25,
Output data D of the motion controller 24 C1Based on
The coarse motion actuator is set so that the displacement of the dynamic actuator 13 becomes zero.
Output data D for driving the tuner 12C2Raw
Is made. Output data D of coarse movement controller 25
C2Is analog-converted in the D / A converter 29.
Then, in the filter 31, the frequency band is 500
Control signal S limited to about HzC1Move head as
It is supplied to the coarse movement actuator 12 of the mechanism 1. to this
As a result, the carriage arm that forms the coarse movement unit 11 moves slightly.
The magnetic head with suspension that composes part 14 is added.
Controlled to go.

【0031】ここで、図9に、上記構成の磁気ディスク
装置のヘッド移動機構1の位置決め制御装置2における
実験結果の一例を示す。図9(a)はヘッド移動機構1
の微動アクチュエータ13から出力される位置誤差信号
の特性の一例、図9(b)はヘッド移動機構1の微
動アクチュエータ13に供給される制御信号SC2の特
性の一例である。この実験においては、時刻0からその
約0.01秒後までの間に、磁気ディスク装置の筐体を
叩くなどして人為的に数回衝撃が加えられている。図9
(b)からも分かるように、制御信号SC2の制限は電
圧換算で±30Vであるので、粗動アクチュエータ12
を構成するボイスコイル・モータは、上記衝撃による微
動アクチュエータ13を構成するピエゾ素子の大きな変
位を吸収できない。したがって、上記衝撃が加えられる
ことにより発生した磁気ヘッドの大きな位置誤差は、ピ
エゾ素子を駆動することによってすべて吸収されなけれ
ばならず、微動コントローラ24は値の大きな出力デー
タDC1(制御信号SC2の電圧に換算して±30V相
当以上の値)を出力する。これにより、上記出力データ
C1はリミッタ26によって±30Vに制限されるの
で、図9(b)から分かるように、制御信号SC2は、
衝撃が加えられた直後瞬時にして、±30Vに飽和して
しまう。また、今の場合、外部から加えられた衝撃によ
って生じた変位は微動アクチュエータ13の可動範囲外
にあるので、位置決め制御装置2は当然本来の位置決め
精度を維持することはできず、離散的な位置誤差データ
は、図9(a)から分かるように、3μm以上の誤
差を生じている。しかし、衝撃が加えられた直後から乗
算器28の出力データDAに基づいて微動コントローラ
24を構成する積分補償器41のワインドアップが抑制
されるので、衝撃が加えられた後0.02秒経過したあ
たりからは、本来の位置決め精度100nm以下に復帰
していることが分かる。
Here, FIG. 9 shows an example of an experimental result in the positioning control device 2 of the head moving mechanism 1 of the magnetic disk device having the above structure. FIG. 9A shows the head moving mechanism 1.
9B shows an example of the characteristic of the position error signal S E output from the fine movement actuator 13, and FIG. 9B shows an example of the characteristic of the control signal S C2 supplied to the fine movement actuator 13 of the head moving mechanism 1. In this experiment, a shock is artificially applied several times between the time 0 and about 0.01 seconds after that by hitting the housing of the magnetic disk device. Figure 9
As can be seen from (b), since the limit of the control signal S C2 is ± 30 V in voltage conversion, the coarse actuator 12
The voice coil motor that composes the above can not absorb a large displacement of the piezo element that constitutes the fine movement actuator 13 due to the impact. Therefore, all the large position error of the magnetic head generated by the impact is absorbed by driving the piezo element, and the fine movement controller 24 outputs the large output data D C1 (control signal S C2 The voltage equivalent to ± 30 V or more) is output. As a result, the output data D C1 is limited to ± 30 V by the limiter 26, and as can be seen from FIG. 9B, the control signal S C2 is
Immediately after the shock is applied, it is saturated to ± 30V. Further, in this case, since the displacement caused by the impact applied from the outside is outside the movable range of the fine movement actuator 13, the positioning control device 2 cannot naturally maintain the original positioning accuracy, and the discrete position is not maintained. As can be seen from FIG. 9A, the error data D E has an error of 3 μm or more. However, immediately after the impact is applied, the wind-up of the integral compensator 41 forming the fine movement controller 24 is suppressed based on the output data DA of the multiplier 28, so that 0.02 seconds have elapsed since the impact was applied. From this, it can be seen that the original positioning accuracy has returned to 100 nm or less.

【0032】一方、図10は、上記構成の位置決め制御
装置2において、乗算器28の出力データDAを微動コ
ントローラ24にフィードバックせず、上記と同様の実
験を行った場合の結果の一例を示している。図10
(a)はヘッド移動機構1の微動アクチュエータ13か
ら出力される位置誤差信号Sの特性の一例、図10
(b)はヘッド移動機構1の微動アクチュエータ13に
供給される制御信号SC2の特性の一例である。乗算器
28の出力データDAを微動コントローラ24にフィー
ドバックしないと、衝撃が加えられた直後に積分補償器
41においてワインドアップが発生し、これにより、ピ
エゾ素子が可動範囲内に入っている間に、積分補償器4
1は積分した内部状態(xF2)を放出しきれないため
に、図10(b)から分かるように、制御信号SC2
±30Vの間で激しく変動するので、制御系が発振し、
磁気ヘッドが暴走してしまう。
On the other hand, FIG. 10 shows an example of a result obtained when an experiment similar to the above is performed without feeding back the output data DA of the multiplier 28 to the fine movement controller 24 in the positioning control device 2 having the above-mentioned configuration. There is. Figure 10
10A shows an example of the characteristic of the position error signal S E output from the fine movement actuator 13 of the head moving mechanism 1, FIG.
(B) is an example of the characteristic of the control signal S C2 supplied to the fine movement actuator 13 of the head moving mechanism 1. If the output data DA of the multiplier 28 is not fed back to the fine movement controller 24, a wind-up occurs in the integral compensator 41 immediately after the impact is applied, so that while the piezoelectric element is within the movable range, Integral compensator 4
1 cannot discharge the integrated internal state (x F2 ) completely, and as can be seen from FIG. 10 (b), since the control signal S C2 fluctuates drastically within ± 30 V, the control system oscillates,
The magnetic head goes out of control.

【0033】このように、この例の構成によれば、磁気
ヘッドの暴走の原因となる微動コントローラ24を構成
する積分補償器41のワインドアップを抑制するため
に、減算器27及び乗算器28からなるアンチ・ワイン
ドアップ手段を設けているので、微動部14を駆動する
微動アクチュエータ13の可動範囲が狭い場合でも、外
部からの衝撃などに強い位置決め制御装置を提供するこ
とができる。また、この例の構成によれば、リミッタ2
6により飽和処理される前の出力データDC1を粗動コ
ントローラ25による粗動アクチュエータ12の予見的
な制御に使用しているので、アンチ・ワインドアップ制
御を行う乗算器28の設計範囲を広くすることができ、
安定余裕が大きい。
As described above, according to the configuration of this example, in order to suppress the wind-up of the integral compensator 41 constituting the fine movement controller 24, which causes the runaway of the magnetic head, the subtractor 27 and the multiplier 28 are used. Since such anti-windup means is provided, it is possible to provide a positioning control device that is resistant to external impacts even when the fine-movement actuator 13 that drives the fine-movement portion 14 has a narrow movable range. Further, according to the configuration of this example, the limiter 2
Since the output data D C1 before being saturated by 6 is used for predictive control of the coarse movement actuator 12 by the coarse movement controller 25, the design range of the multiplier 28 for performing the anti-windup control is widened. It is possible,
Large stability margin.

【0034】以上、この発明の実施例を図面を参照して
詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られる
ものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば、上述
の実施例においては、乗算器28の出力データDAを微
動コントローラ24を構成する積分補償器41だけに供
給する例を示したが、これに限定されず、微動コントロ
ーラ24の位相補償器42を構成する乗算器49の所定
定数(AF)が1に近い場合には、位相補償器42の内
部状態(xF1)の修整を行うために乗算器28の出力
データDAを位相補償器42に供給するように構成して
も良い。
The embodiment of the present invention has been described in detail above with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to this embodiment, and changes in design within the scope not departing from the gist of the present invention. Even this is included in this invention. For example, in the above-described embodiment, the example in which the output data DA of the multiplier 28 is supplied only to the integral compensator 41 constituting the fine movement controller 24 is shown, but the present invention is not limited to this, and the phase compensator of the fine movement controller 24 is shown. When the predetermined constant (AF) of the multiplier 49 constituting 42 is close to 1, the output data DA of the multiplier 28 is used to modify the internal state (x F1 ) of the phase compensator 42. It may be configured to supply to.

【0035】さらに、上述の実施例においては、符号反
転器23、微動コントローラ24、粗動コントローラ2
5、リミッタ26、減算器27及び乗算器28をデジタ
ル回路で構成する例を示したが、これに限定されず、こ
れらをいずれもアナログ回路で構成しても良い。この場
合には、A/D変換器22、D/A変換器29及び30
は不要となる。また、上述の実施例においては、この発
明を磁気ディスク装置のヘッド移動機構の位置決め制御
装置に適用する例を示したが、これに限定されない。こ
の発明は、粗動アクチュエータと、この粗動アクチュエ
ータにより駆動される粗動部の一端に固定された微動ア
クチュエータとを協調制御することにより、微動アクチ
ュエータの一端に取り付けられた微動部の位置決めを行
う位置決め制御装置であればどのようなものにも適用す
ることができる。
Furthermore, in the above embodiment, the sign inverter 23, the fine movement controller 24, and the coarse movement controller 2 are used.
5, the limiter 26, the subtractor 27, and the multiplier 28 are shown as examples of digital circuits. However, the present invention is not limited to this, and any of these may be analog circuits. In this case, the A / D converter 22, the D / A converters 29 and 30
Is unnecessary. Further, in the above-described embodiment, the example in which the present invention is applied to the positioning control device of the head moving mechanism of the magnetic disk device has been shown, but the present invention is not limited to this. According to the present invention, the coarse movement actuator and the fine movement actuator fixed to one end of the coarse movement portion driven by the coarse movement actuator are cooperatively controlled to position the fine movement portion attached to one end of the fine movement actuator. Any positioning control device can be applied.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、この発明の構成に
よれば、微動部から供給される位置誤差信号に基づい
て、微動部を位置決めするための微動制御信号を生成す
る微動制御手段と、微動制御信号に基づいて、粗動アク
チュエータに供給するための粗動制御信号を生成する粗
動制御手段と、微動制御信号を微動アクチュエータの可
動範囲に対応した制限内になるように飽和処理して微動
アクチュエータに供給する飽和処理手段と、飽和処理手
段の出力信号と微動制御信号との差を求める減算器と、
該減算器の減算結果に所定定数を乗算して微動制御信号
を補正するための補正信号を生成する乗算器とからなる
補正手段とを備えているので、外部から加えられる振動
や衝撃が微動部の可動範囲を越えても、振動や衝撃の影
響を低減して高精度な位置決め制御をすることができ
る。また、粗動アクチュエータの予見的な制御が可能と
なり、補正手段を構成する乗算器の設計範囲を広くする
ことができ、安定余裕が大きい。
As described above, according to the structure of the present invention, the fine movement control means for generating the fine movement control signal for positioning the fine movement portion based on the position error signal supplied from the fine movement portion, Coarse motion control means for generating a coarse motion control signal to be supplied to the coarse motion actuator based on the fine motion control signal, and saturation processing of the fine motion control signal within a limit corresponding to the movable range of the fine motion actuator. Saturation processing means for supplying to the fine movement actuator, a subtractor for obtaining the difference between the output signal of the saturation processing means and the fine movement control signal,
Since the subtraction result of the subtractor is multiplied by a predetermined constant to generate a correction signal for correcting the fine movement control signal, the correction means is provided. Even if the movable range is exceeded, it is possible to reduce the influence of vibration and impact and perform highly accurate positioning control. Further, it becomes possible to perform predictive control of the coarse motion actuator, widen the design range of the multiplier constituting the correction means, and have a large stability margin.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例である磁気ディスク装置の
ヘッド移動機構の位置決め制御装置の電気的構成を示す
ブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an electrical configuration of a positioning control device for a head moving mechanism of a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention.

【図2】ヘッド移動機構の機械的構成を示す平面図であ
る。
FIG. 2 is a plan view showing a mechanical configuration of a head moving mechanism.

【図3】粗動アクチュエータの入力端から微動部の出力
端までの周波数特性の一例であり、(a)はゲイン特性
の一例、(b)は位相特性の一例である。
FIG. 3 is an example of frequency characteristics from an input end of a coarse movement actuator to an output end of a fine movement unit, (a) is an example of gain characteristics, and (b) is an example of phase characteristics.

【図4】微動アクチュエータの入力端から微動部の出力
端までの周波数特性の一例であり、(a)はゲイン特性
の一例、(b)は位相特性の一例である。
FIG. 4 is an example of frequency characteristics from an input end of a fine movement actuator to an output end of a fine movement unit, (a) is an example of gain characteristics, and (b) is an example of phase characteristics.

【図5】微動コントローラの電気的構成を示すブロック
図である。
FIG. 5 is a block diagram showing an electrical configuration of a fine movement controller.

【図6】微動コントローラの周波数特性の一例であり、
(a)はゲイン特性の一例、(b)は位相特性の一例で
ある。
FIG. 6 is an example of frequency characteristics of a fine movement controller,
(A) is an example of a gain characteristic, (b) is an example of a phase characteristic.

【図7】粗動コントローラの電気的構成を示すブロック
図である。
FIG. 7 is a block diagram showing an electrical configuration of a coarse movement controller.

【図8】粗動コントローラの周波数特性の一例であり、
(a)はゲイン特性の一例、(b)は位相特性の一例で
ある。
FIG. 8 is an example of frequency characteristics of a coarse movement controller,
(A) is an example of a gain characteristic, (b) is an example of a phase characteristic.

【図9】同装置における実験結果の一例であり、(a)
は微動アクチュエータから出力される位置誤差信号S
の特性の一例、(b)は微動アクチュエータに供給され
る制御信号SC2の特性の一例である。
FIG. 9 is an example of an experimental result in the apparatus, (a)
Is the position error signal S E output from the fine actuator
2B is an example of the characteristic of the control signal S C2 supplied to the fine movement actuator.

【図10】同装置において、出力データDAを微動コン
トローラにフィードバックせずに実験した場合の結果の
一例であり、(a)は微動アクチュエータから出力され
る位置誤差信号Sの特性の一例、(b)は微動アクチ
ュエータに供給される制御信号SC2の特性の一例であ
る。
FIG. 10 is an example of a result when an experiment is performed in the same device without feeding back the output data DA to a fine movement controller, and (a) is an example of a characteristic of the position error signal S E output from the fine movement actuator, b) is an example of the characteristic of the control signal S C2 supplied to the fine movement actuator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ヘッド移動機構 2 位置決め制御装置 11 粗動部 12 粗動アクチュエータ 13 微動アクチュエータ 14 微動部 24 微動コントローラ(微動制御手段) 25 粗動コントローラ(粗動制御手段) 26 リミッタ(飽和処理手段) 27 減算器(補正手段) 28 乗算器(補正手段) 31,32 フィルタ 41 積分補償器(積分補償手段) 42 位相補償器(位相補償手段) 1 Head moving mechanism 2 Positioning control device 11 coarse movement part 12 Coarse actuator 13 Fine actuator 14 Fine movement part 24 Fine movement controller (fine movement control means) 25 Coarse motion controller (coarse motion control means) 26 Limiter (saturation processing means) 27 Subtractor (correction means) 28 Multiplier (correction means) 31,32 filter 41 Integral Compensator (Integral Compensation Means) 42 Phase Compensator (Phase Compensation Means)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−255418(JP,A) 特開 平10−89459(JP,A) 特開 平6−102902(JP,A) 特開 平3−154902(JP,A) 特開 平4−205864(JP,A) 特開 平8−142886(JP,A) 特開 平6−96545(JP,A) 特開 平9−251739(JP,A) 特開 昭59−32012(JP,A) 中川真介 他7名,アンチワインドア ップ制御による磁気ディスク装置の外乱 抑圧特性向上,日本機械学会IIP’98 情報・知能・機密機器部門講演会講演論 文集,日本,社団法人 日本機械学会, 1998年8月14日,NO.98−26,27−29 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 21/08 - 21/10 G11B 7/08 - 7/10 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-10-255418 (JP, A) JP-A-10-89459 (JP, A) JP-A-6-102902 (JP, A) JP-A-3- 154902 (JP, A) JP 4-205864 (JP, A) JP 8-142886 (JP, A) JP 6-96545 (JP, A) JP 9-251739 (JP, A) JP 59-32012 (JP, A) Shinsuke Nakagawa and 7 others, Improving disturbance suppression characteristics of magnetic disk devices by anti-windup control, The Japan Society of Mechanical Engineers IIP'98 Lecture on Information, Intelligence and Confidential Equipment Bunshu, Japan, Japan Society of Mechanical Engineers, August 14, 1998, NO. 98-26, 27-29 (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 21/08-21/10 G11B 7/08-7/10

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 粗動アクチュエータと、この粗動アクチ
ュエータにより駆動される粗動部の一端に固定された微
動アクチュエータとを協調制御することにより、微動ア
クチュエータの一端に取り付けられた微動部の位置決め
を行う位置決め制御装置において、 前記微動部から供給される位置誤差信号に基づいて、前
記微動部を位置決めするための微動制御信号を生成する
微動制御手段と、前記微動制御信号に基づいて、前記粗動アクチュエータ
に供給するための粗動制御信号を生成する粗動制御手段
と、 前記微動制御信号を前記微動アクチュエータの可動範囲
に対応した制限内になるように飽和処理して前記微動ア
クチュエータに供給する飽和処理手段と、 前記飽和処理手段の出力信号と前記微動制御信号との差
を求める減算器と、該減算器の減算結果に所定定数を乗
算して前記微動制御信号を補正するための補正信号を生
成する乗算器とからなる補正手段とを備えてなることを
特徴とする位置決め制御装置。
1. A coarse actuator and a coarse actuator.
A fine unit fixed to one end of the coarse moving unit driven by the user.
By finely controlling the dynamic actuator,
Positioning of the fine movement part attached to one end of the actuator
In the positioning control device that performs Based on the position error signal supplied from the fine movement unit,
Generates a fine movement control signal for positioning the fine movement unit
Fine movement control means,The coarse actuator based on the fine control signal.
Coarse control means for generating a coarse control signal for supplying to
When, The fine movement control signal is set to the movable range of the fine movement actuator.
Saturation is performed so that it falls within the limit corresponding to
Saturation processing means to supply to the actuator, Difference between the output signal of the saturation processing means and the fine movement control signal
And the subtraction result of the subtractor multiplied by a predetermined constant
CalculateGenerates a correction signal for correcting the fine movement control signal.
CompleteConsisting of a multiplierCompensation means
Characteristic positioning control device.
【請求項2】 前記微動制御手段は、前記微動制御信号
を積分補償する積分補償手段を有し、前記補正信号に基
づいて、前段積分補償手段の内部状態を変更することを
特徴とする請求項1記載の位置決め制御装置。
2. The fine movement control means has an integral compensation means for integral compensation of the fine movement control signal, and changes the internal state of the preceding stage integral compensation means based on the correction signal. 1. The positioning control device according to 1.
【請求項3】 前記微動制御手段は、前記微動制御信号
を位相補償する位相補償手段を有し、前記補正信号に基
づいて、前段位相補償手段の内部状態を変更することを
特徴とする請求項2記載の位置決め制御装置。
3. The fine movement control means has a phase compensation means for phase compensating the fine movement control signal, and changes the internal state of the preceding stage phase compensation means based on the correction signal. 2. The positioning control device described in 2.
【請求項4】 前記補正信号の符号は、前記微動制御信
号が前記飽和処理手段の出力信号より大きい場合には、
前記積分補償手段の内部状態が減少する方向でフィード
バックがかかるように設定され、前記微動制御信号が前
記飽和処理手段の出力信号より小さい場合には、前記積
分補償手段の内部状態が増加する方向でフィードバック
がかかるように設定されていることを特徴とする請求項
又は3記載の位置決め制御装置。
4. The sign of the correction signal is the fine motion control signal.
No. If the output signal greater than the saturation processing means,
Feed in the direction in which the internal state of the integral compensation means decreases.
Back is set so that the fine movement control signal is
When it is smaller than the output signal of the saturation processing means, the product
Feedback in the direction that the internal state of the minute compensation means increases
Positioning control apparatus according to claim 2 or 3, wherein that you have been set so that it takes.
【請求項5】 前記粗動アクチュエータはボイスコイル
・モータからなり、前記微動アクチュエータは電歪素子
からなり、前記粗動部はキャリッジアームか らなり、前
記微動部は磁気ヘッドからなることを特徴とする請求項
乃至4のいずれか1に記載の位置決め制御装置。
5. The coarse actuator is a voice coil.
・ It consists of a motor, and the fine actuator is an electrostrictive element
Made, the coarse portion carriage arm or Rannahli, before
The fine-movement part comprises a magnetic head.
Positioning control apparatus according to any one of 1 to 4.
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