Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP3392066B2 - Composite copper foil, method for producing the same, copper-clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP3392066B2 - Composite copper foil, method for producing the same, copper-clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil - Google Patents

Composite copper foil, method for producing the same, copper-clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil

Info

Publication number
JP3392066B2
JP3392066B2 JP00992699A JP992699A JP3392066B2 JP 3392066 B2 JP3392066 B2 JP 3392066B2 JP 00992699 A JP00992699 A JP 00992699A JP 992699 A JP992699 A JP 992699A JP 3392066 B2 JP3392066 B2 JP 3392066B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
copper foil
printed wiring
composite
wiring board
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP00992699A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11317574A (en
Inventor
岡 卓 片
沢 裕 平
本 拓 也 山
切 健一郎 岩
岡 晶 子 杉
岡 淳 志 吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Kinzoku Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US09/039,960 external-priority patent/US6319620B1/en
Application filed by Mitsui Mining and Smelting Co Ltd filed Critical Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority to JP00992699A priority Critical patent/JP3392066B2/en
Publication of JPH11317574A publication Critical patent/JPH11317574A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3392066B2 publication Critical patent/JP3392066B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はプリント配線(回
路)基板形成用の極薄銅箔を提供するための複合銅箔及
びその製造方法に関し、さらに詳しくは支持体金属層と
極薄銅箔間に均一な剥離強度を付与し得る有機系剥離層
を備えた複合銅箔及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite copper foil for providing an ultrathin copper foil for forming a printed wiring (circuit) substrate and a method for producing the same, more specifically, between a support metal layer and an ultrathin copper foil. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a composite copper foil having an organic release layer capable of imparting uniform peel strength to a copper foil and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【発明の技術的背景】近年になって、電子機器の小型
化、高密度化に伴い、使用されるプリント配線板の回路
幅、回路間隔は年々細線化しており、それに伴って使用
される銅箔の厚みも35ミクロン、18ミクロンから1
2ミクロンへと薄くなる傾向にある。最近になってその
要請はさらに強まり、このような要請を満足させる極薄
銅箔の試作がなされているが12ミクロン以下の薄い銅
箔は、シワが生じたり、箔が切れたりし易いため、製造
および取り扱いが極めて困難である。また、極薄銅箔を
多層プリント配線板の外層用として用いた場合には、積
層時に内層回路の凹凸により銅箔が変形し、これによっ
て破損あるいはシワが発生するという問題があり、極薄
銅箔の取り扱いに伴うこれら問題点を解決する方法の開
発が強く望まれている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization and high density of electronic equipment, the circuit width and circuit spacing of printed wiring boards used have become finer year by year, and the copper used accordingly. Foil thickness is 35 micron, 18 micron to 1
It tends to be thinned to 2 microns. Recently, the demand has become stronger, and trial production of ultra-thin copper foil satisfying such demand has been made. However, thin copper foil with a thickness of 12 microns or less easily causes wrinkles and breaks. Extremely difficult to manufacture and handle. Further, when the ultra-thin copper foil is used for the outer layer of the multilayer printed wiring board, there is a problem that the copper foil is deformed due to the unevenness of the inner layer circuit at the time of stacking, which causes damage or wrinkles. It is strongly desired to develop a method for solving these problems associated with the handling of foil.

【0003】このような要請に応えるものとして、従来
より支持体金属層に極薄銅箔が分離可能に支持された複
合銅箔が提案されており、幾つかの支持体金属材料およ
び剥離層材料が例示されている。また、このような複合
銅箔を用いたプリント配線基板の製造方法では、18〜
70ミクロンの金属の支持体に1〜12ミクロン程度の
銅を電着させて複合銅箔を製造し、この複合銅箔の銅箔
面にガラス繊維含浸エポキシ樹脂等のプリプレグを当接
し、次いで加熱圧着して密着させた後、支持体を剥離し
てプリント配線基板を製造している。
In order to meet such a demand, a composite copper foil in which an ultrathin copper foil is detachably supported on a support metal layer has been proposed, and some support metal materials and release layer materials have been proposed. Is illustrated. Further, in the method for manufacturing a printed wiring board using such a composite copper foil,
A 70 μm metal support is electrodeposited with copper of about 1 to 12 μm to produce a composite copper foil, and a prepreg such as glass fiber impregnated epoxy resin is brought into contact with the copper foil surface of the composite copper foil, and then heated. After being pressure-bonded and brought into close contact, the support is peeled off to manufacture a printed wiring board.

【0004】ところで、従来より、銅を電着させるとき
に銅支持体を用いた場合には、剥離層としてクロムを使
用することが提案されている(例えば、特公昭53−1
8329号公報)。
By the way, conventionally, when a copper support is used for electrodepositing copper, it has been proposed to use chromium as a release layer (for example, Japanese Patent Publication No. 53-1).
8329).

【0005】またアルミニウム支持体を使用した場合に
は、例えば: Cr、Pb、Ni、Agの硫化物または酸化物から形
成された剥離層(例えば、米国特許第3,998,60
1号公報); 亜鉛置換を行った後NiまたはNi合金メッキして形
成された剥離層(例えば、米国特許第3,936,54
8号公報); 表面の酸化物を除去した後、再度酸化アルミニウム膜
を形成した剥離層(例えば、特公昭60−31915号
公報および英国特許第1,458,260号公報);お
よび ケイ素から形成した剥離層(例えば、米国特許第4,
357,395号公報)等が提案されている。
Also, when an aluminum support is used, a release layer formed from, for example: sulfides or oxides of Cr, Pb, Ni, Ag (eg US Pat. No. 3,998,60).
No. 1); a release layer formed by plating with Ni or Ni alloy after substitution with zinc (for example, US Pat. No. 3,936,54).
No. 8); a release layer having an aluminum oxide film formed again after removing the oxide on the surface (for example, Japanese Patent Publication No. Sho 60-31915 and British Patent No. 1,458, 260); and formed from silicon. Release layers (eg, US Pat. No. 4,
No. 357,395) and the like have been proposed.

【0006】しかし、これらの従来から提案されている
支持体付き銅箔(複合銅箔)では、以下のような問題が
あった。
However, these conventionally proposed copper foils with a support (composite copper foils) have the following problems.

【0007】1)剥離層を支持体表面の全面に均一に形
成することができないため、支持体と極薄銅箔との間の
剥離強度が不均一である。したがって、得られた複合銅
箔を基材に積層した後に支持体を剥離する際に、極薄銅
箔が支持体に、または支持体が極薄銅箔に残留し、所望
の導体回路が得られない。また、剥離強度が弱いと製造
時および使用時に極薄銅箔が部分的にあるいは全面が支
持体から浮き上がる。
1) Since the peeling layer cannot be formed uniformly on the entire surface of the support, the peel strength between the support and the ultrathin copper foil is not uniform. Therefore, when the support is peeled off after the obtained composite copper foil is laminated on the substrate, the ultrathin copper foil remains on the support, or the support remains on the ultrathin copper foil to obtain a desired conductor circuit. I can't. If the peel strength is weak, the ultra-thin copper foil partially or entirely floats from the support during manufacturing and use.

【0008】2)剥離層として酸化物や硫化物、クロム
等の無機物を使用すると、支持体剥離後に極薄銅箔表面
に無機物が残留する。そのため、回路形成等に使用する
際に、残留した無機物を除去する必要があり、追加の工
程、例えばソフトエッチングなどが必要で手間がかか
る。
2) When an inorganic material such as oxide, sulfide or chromium is used for the peeling layer, the inorganic material remains on the surface of the ultrathin copper foil after peeling the support. Therefore, when it is used for forming a circuit or the like, it is necessary to remove the remaining inorganic substances, and an additional step such as soft etching is required, which is troublesome.

【0009】3)剥離層としてクロム等の有害物を使用
すると、支持体を剥離した後にその表面にクロムが付着
しているため、支持体を再利用できず、スクラップ処分
にも難点がある。また、廃液処理にも問題があり、製造
上および環境上に問題がある。
3) When a harmful substance such as chromium is used as the peeling layer, the chromium cannot be reused because the chromium adheres to the surface after peeling the support, and there is a problem in scrap disposal. Further, there is a problem in waste liquid treatment, and there is a problem in manufacturing and environment.

【0010】4)剥離層として上記金属または金属酸化
物層を有する複合銅箔を基材、例えばエポキシプリプレ
グに高温で積層した場合、剥離層の金属が支持体および
極薄銅箔の両方に拡散されるため、基材から支持体を剥
離させることが困難である。
4) When a composite copper foil having the above metal or metal oxide layer as a release layer is laminated on a base material such as an epoxy prepreg at high temperature, the metal of the release layer diffuses into both the support and the ultrathin copper foil. Therefore, it is difficult to peel the support from the base material.

【0011】以上説明したように、従来の複合銅箔は、
解決すべき数多くの問題を有しており、工業的に一般化
されていないのが現状である。
As described above, the conventional composite copper foil is
It has many problems to be solved and is not generalized industrially.

【0012】本発明は、このような金属及び/又は金属
化合物を剥離層として用いた従来の複合銅箔における問
題点を種々検討する過程で、複合銅箔の剥離層としては
全く新規な有機化合物を検討することで完成されたもの
である。
The present invention is a process of examining various problems in the conventional composite copper foil using such a metal and / or a metal compound as a release layer, and is a completely new organic compound for the release layer of the composite copper foil. It was completed by examining.

【0013】すなわち、本発明者等は金属及び/又は金
属化合物が剥離層として用いられた従来の複合銅箔を検
討した結果、以上説明したように、剥離層が不均一であ
るため支持体の剥離強度が不均一となったり、或いは積
層時に加熱した場合、剥離層の金属が支持体および極薄
銅箔の両方に拡散されるために極薄銅箔からの支持体の
剥離強度が強すぎたりし、実用上の問題が発生すること
を発見した。
That is, the present inventors have examined conventional composite copper foils in which a metal and / or a metal compound is used as a peeling layer, and as a result, as described above, the peeling layer is non-uniform, so that If the peel strength becomes non-uniform, or if the peeling layer is heated during lamination, the peeling layer metal is diffused into both the support and the ultra-thin copper foil, so the peel strength of the support from the ultra-thin copper foil is too strong However, I discovered that there are practical problems.

【0014】そこで、本発明者等は、プリント配線基板
の製造に用いる複合銅箔の剥離層として好適な有機化合
物を種々検討し、特定の有機化合物を介在させることに
より前述した問題点を解決することができることを見出
し、本発明を完成するに至ったのである。
Therefore, the present inventors have studied various organic compounds suitable for the release layer of the composite copper foil used for manufacturing a printed wiring board, and solved the above-mentioned problems by interposing a specific organic compound. The inventors have found that they can do so and have completed the present invention.

【0015】ところで、米国特許第3,281,339
号には、電着により銅箔または銅製シートを製造する際
のストリッピング剤としてベンゾトリアゾール(BT
A)が開示されている。この文献では、BTAは、回転
するドラムカソードのBTA被覆表面に電着した銅製シ
ートを連続的に分離するという回転ドラムカソードを用
いた銅製シートの連続的製造を可能とするために主に用
いられている。しかしながら、この文献は、プリント配
線基板製造用複合銅箔に付いて、およびその剥離層に適
した特性および材料に付いては何ら開示していない。
By the way, US Pat. No. 3,281,339
No. benzotriazole (BT) as a stripping agent for producing a copper foil or a copper sheet by electrodeposition.
A) is disclosed. In this document, BTA is primarily used to enable continuous production of copper sheets using a rotating drum cathode by continuously separating the copper sheet electrodeposited on the BTA coated surface of the rotating drum cathode. ing. However, this document does not disclose anything about a composite copper foil for producing a printed wiring board and properties and materials suitable for the release layer.

【0016】[0016]

【発明の目的】本発明は、上述した従来技術の問題点が
解決された複合銅箔およびその製造方法を提供すること
にある。また、本発明の他の目的は、このような複合銅
箔を用いた銅張り積層板およびプリント配線板を提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a composite copper foil and a method for producing the same in which the problems of the prior art described above are solved. Another object of the present invention is to provide a copper clad laminate and a printed wiring board using such a composite copper foil.

【0017】[0017]

【発明の概要】以上説明したように、本発明は、ある種
の有機化合物が、プリント配線基板の製造時に高温に晒
された場合でも、複合銅箔の剥離層として好適な上記特
性を維持し得るという本発明者等の発見に基づいてなさ
れたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION As described above, the present invention maintains the above properties suitable as a release layer for a composite copper foil even when a certain organic compound is exposed to high temperatures during the production of a printed wiring board. It was made based on the discovery of the inventors of the present invention.

【0018】なお、本明細書では、「剥離強度(A)」
とは、基材に積層された極薄銅箔から支持体金属層を剥
離するために必要な力を表す。また、剥離強度(B)」
とは、基材に積層された極薄銅箔を、基材から剥離する
ために必要な力を表す。
In the present specification, "peel strength (A)"
Represents the force required to peel the support metal layer from the ultrathin copper foil laminated on the substrate. Also, peel strength (B) "
Represents the force required to peel the ultrathin copper foil laminated on the base material from the base material.

【0019】本発明に係る複合銅箔は、支持体金属層と
極薄銅箔との間に有機系剥離層を有することを特徴とし
ている。
The composite copper foil according to the present invention is characterized by having an organic release layer between the support metal layer and the ultrathin copper foil.

【0020】本発明に係る複合銅箔では、有機系離層は
一般的には以下の特徴を有する。 1.剥離層の形成が容易である。 2.極薄銅箔および支持体金属層間の剥離強度(A)が
均一であり、基材への積層後における極薄銅箔の剥離強
度(B)と比較して低い値を示す。 3.無機材料を用いていないため、極薄銅箔の表面に残
存する無機材料を除去するための機械的な研磨工程およ
び酸洗い工程を必要としない。したがって、配線パター
ンの形成が加工工程数を削減することで簡単となる。 4.剥離強度(A)は、小さいものの、複合銅箔の取り
扱い時に支持体金属層から極薄銅箔が分離することを防
止するには十分である。 5.複合銅箔は、基材への積層後に十分な剥離強度
(B)を有し、極薄銅箔がプリント配線基板への加工時
に基材から剥離することはない。 6.支持体金属層は、高温での積層後においても、極薄
銅箔から分離することができる。 7.支持体金属層に残存する剥離層を除去することが容
易であるため、支持体金属層を再利用することが容易で
ある。
In the composite copper foil according to the present invention, the organic release layer generally has the following characteristics. 1. It is easy to form the release layer. 2. The peel strength (A) between the ultrathin copper foil and the support metal layer is uniform, and shows a low value as compared with the peel strength (B) of the ultrathin copper foil after being laminated on the substrate. 3. Since no inorganic material is used, a mechanical polishing step and an acid washing step for removing the inorganic material remaining on the surface of the ultrathin copper foil are not required. Therefore, the formation of the wiring pattern is simplified by reducing the number of processing steps. 4. Although the peel strength (A) is small, it is sufficient to prevent the ultrathin copper foil from separating from the support metal layer during handling of the composite copper foil. 5. The composite copper foil has sufficient peel strength (B) after being laminated on the base material, and the ultra-thin copper foil does not peel off from the base material during processing into a printed wiring board. 6. The support metal layer can be separated from the ultrathin copper foil even after lamination at high temperature. 7. Since it is easy to remove the release layer remaining on the support metal layer, it is easy to reuse the support metal layer.

【0021】本発明では、複合銅箔を製造するのに有用
な有機系化合物は、以下の特性を有することが望まし
い。 1.これら有機系化合物は、銅と化学結合を形成し得
る。 2.銅箔を絶縁基材に積層する際に用いられる温度、好
ましくは150℃以上、特に175〜200℃に晒され
た場合でも、極薄銅箔から支持体金属層を分離させる能
力を維持している。 3.極薄銅箔および支持体金属層と化学結合を形成し、
かつ極薄銅箔からの支持体銅箔の剥離強度(A)が、極
薄銅箔の絶縁基材からの剥離強度(B)と比較して低い
値である。このような剥離強度(A)により、複合銅箔
の取り扱い時および積層時に極薄銅箔が支持体から分離
することを防止でき、かつ複合銅箔を積層した後には支
持体金属層を取り除くことが可能となる。 4.支持体金属層上に銅箔を均一に電着することができ
る。
In the present invention, the organic compound useful for producing the composite copper foil preferably has the following characteristics. 1. These organic compounds can form a chemical bond with copper. 2. Maintaining the ability to separate the support metal layer from the ultra-thin copper foil even when exposed to the temperature used when laminating the copper foil on the insulating substrate, preferably 150 ° C. or higher, particularly 175 to 200 ° C. There is. 3. Form chemical bonds with ultra-thin copper foil and support metal layer,
Moreover, the peel strength (A) of the support copper foil from the ultra-thin copper foil is lower than the peel strength (B) of the ultra-thin copper foil from the insulating base material. By such peel strength (A), it is possible to prevent the ultra-thin copper foil from separating from the support during handling and lamination of the composite copper foil, and to remove the support metal layer after the composite copper foil is laminated. Is possible. 4. The copper foil can be electrodeposited uniformly on the support metal layer.

【0022】好ましい有機化合物としては、チッ素含有
化合物、イオウ含有化合物およびカルボン酸を例示でき
る。好ましくは、チッ素含有化合物は、置換基(官能
基)を有するチッ素含有化合物、例えば置換基を有する
トリアゾール化合物である。置換基を有するトリアゾー
ル化合物の例としては、カルボキシベンゾトリアゾール
(CBTA)、N’,N’-ビス(ベンゾトリアゾリルメチ
ル)ユリア(BTD−U)および3-アミノ-1H-1,2,4-
トリアゾール(ATA)を挙げることができる。イオウ
含有化合物としては、メルカプトベンゾチアゾール(M
BT)、チオシアヌル酸(TCA)および2-ベンズイミ
ダゾールチオール(BIT)を例示できる。カルボン酸
は、モノカルボン酸であることが好ましい。モノカルボ
ン酸の例としては、オレイン酸、リノール酸およびリノ
レイン酸を例示できる。
Examples of preferred organic compounds include nitrogen-containing compounds, sulfur-containing compounds and carboxylic acids. Preferably, the nitrogen-containing compound is a nitrogen-containing compound having a substituent (functional group), for example, a triazole compound having a substituent. Examples of the triazole compound having a substituent include carboxybenzotriazole (CBTA), N ′, N′-bis (benzotriazolylmethyl) urea (BTD-U) and 3-amino-1H-1,2,4. -
Triazole (ATA) may be mentioned. As the sulfur-containing compound, mercaptobenzothiazole (M
Examples thereof include BT), thiocyanuric acid (TCA) and 2-benzimidazole thiol (BIT). The carboxylic acid is preferably a monocarboxylic acid. Examples of monocarboxylic acids include oleic acid, linoleic acid and linoleic acid.

【0023】本発明は、上述したような特性を有する有
機系剥離層を支持体金属層および極薄銅箔間に設けた複
合銅箔を提供する。なお、本発明においては、支持体金
属層は、箔であってもよい。
The present invention provides a composite copper foil provided with an organic release layer having the above-mentioned characteristics between a support metal layer and an ultrathin copper foil. In the present invention, the support metal layer may be a foil.

【0024】また、本発明は、支持体金属層に有機系剥
離層を形成する工程、およびこの有機系剥離層の上に電
着によって極薄銅箔層を形成する工程を含む複合銅箔の
製造方法を提供する。
The present invention also provides a composite copper foil comprising a step of forming an organic release layer on a support metal layer, and a step of forming an ultrathin copper foil layer on the organic release layer by electrodeposition. A manufacturing method is provided.

【0025】本発明の銅張り積層板は、本発明に係る複
合銅箔と、該複合銅箔が積層された絶縁基材とで形成さ
れている。本発明の銅張り積層板は、基材上の複合銅箔
から支持体金属層が剥離されていてもよい。
The copper-clad laminate of the present invention is formed of the composite copper foil of the present invention and an insulating base material on which the composite copper foil is laminated. In the copper-clad laminate of the present invention, the support metal layer may be peeled off from the composite copper foil on the base material.

【0026】本発明に係るプリント配線板は、上記銅張
り積層板の複合銅箔から支持体金属層を剥離して極薄銅
箔を露出させ、この露出した極薄銅箔上に配線パターン
が形成されていることを特徴としている。
In the printed wiring board according to the present invention, the support metal layer is peeled off from the composite copper foil of the copper-clad laminate to expose the ultrathin copper foil, and a wiring pattern is formed on the exposed ultrathin copper foil. It is characterized by being formed.

【0027】また、本発明は、上述のプリント配線基板
を用いた多層プリント配線基板を提供する。
The present invention also provides a multilayer printed wiring board using the above-mentioned printed wiring board.

【0028】すなわち、本発明に係る多層プリント配線
基板は、予め配線パターンが形成された内層板の少なく
とも片面に、上述の複合銅箔を積層して銅張り積層板を
形成し、該銅張り積層板から前記支持体金属層を剥離し
て前記極薄銅箔を露出させ、かつ該極薄銅箔上に配線パ
ターンを形成し、多層化して製造することができる。こ
のような多層プリント配線基板は、複数積層されていて
もよい。
That is, in the multilayer printed wiring board according to the present invention, the above-mentioned composite copper foil is laminated on at least one surface of the inner layer board on which a wiring pattern is formed in advance to form a copper-clad laminate, and the copper-clad laminate is formed. The support metal layer can be peeled off from the plate to expose the ultrathin copper foil, and a wiring pattern can be formed on the ultrathin copper foil to form a multilayer structure. A plurality of such multilayer printed wiring boards may be laminated.

【0029】また、本発明に係る多層プリント配線基板
は、本発明に係るプリント配線基板を複数積層して製造
することも可能である。
The multilayer printed wiring board according to the present invention can be manufactured by laminating a plurality of printed wiring boards according to the present invention.

【0030】[0030]

【発明の具体的な説明】以下、本発明の複合銅箔につい
てさらに詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The composite copper foil of the present invention will be described in more detail below.

【0031】本発明の複合銅箔は、支持体金属層と極薄
銅箔との間に有機系剥離層を有することを特徴としてい
る。
The composite copper foil of the present invention is characterized by having an organic release layer between the support metal layer and the ultrathin copper foil.

【0032】図1は、本発明に係る複合銅箔の一態様を
示す模式的断面図である。図示されるように、本態様の
複合銅箔1は、支持体金属層2上に、有機系剥離層3お
よび極薄銅箔4をこの順序で形成して得られる。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the composite copper foil according to the present invention. As shown in the figure, the composite copper foil 1 of this embodiment is obtained by forming the organic release layer 3 and the ultrathin copper foil 4 in this order on the support metal layer 2.

【0033】本発明において、有機系剥離層は、上述の
特徴を有することが好ましい。このような剥離層は、有
機化合物、特にチッ素含有化合物、イオウ含有化合物お
よびカルボン酸から形成される。
In the present invention, the organic release layer preferably has the above-mentioned characteristics. Such release layers are formed from organic compounds, especially nitrogen-containing compounds, sulfur-containing compounds and carboxylic acids.

【0034】支持体金属層としては、上記有機系剥離層
が銅と化学結合を形成することから、銅または銅合金が
好ましく用いられる。本発明で用いられる有機化合物
は、銅および銅合金以外の支持体材料、例えば銅メッキ
を施したアルミニウムに塗布されていてもよい。また、
支持体としては、剥離層が、極薄銅箔に対するのと同様
に均一な化学結合を形成するかぎり、他の材料を用いる
こともできる。支持体金属層の厚さは限定されず、厚さ
10〜18μmの箔であってもよい。典型的な支持体金
属層が比較的薄いため、これを箔と記すこともあるが、
支持体金属層は通常の箔より厚くてもよく、例えば約5
mm以下のより厚い支持体シートを用いることもでき
る。
As the support metal layer, copper or a copper alloy is preferably used because the organic release layer forms a chemical bond with copper. The organic compound used in the present invention may be applied to a support material other than copper and a copper alloy, for example, copper-plated aluminum. Also,
As the support, other materials can be used as long as the release layer forms a uniform chemical bond as in the case of the ultrathin copper foil. The thickness of the support metal layer is not limited and may be a foil having a thickness of 10 to 18 μm. Since a typical support metal layer is relatively thin, this is sometimes referred to as a foil,
The support metal layer may be thicker than normal foil, for example about 5
Thicker support sheets of mm or less can also be used.

【0035】支持体金属層は電着銅箔であってもよく、
このような電着銅箔は、典型的には、粗面(またはマッ
ト面)および平滑面(またはシャイニー面)を有する。
極薄銅箔が電着される剥離層は、マット面および光沢面
の何れに形成してもよい。光沢面に剥離層を形成し、こ
れに銅を電着して形成した極薄銅箔は、表面粗さが小さ
くなるため、ファインピッチの配線パターンを形成する
のに適している。一方、マット面に剥離層を形成し電着
を行うと、形成される極薄銅箔は、その表面粗さが大き
くなり、絶縁基材からの接合強度(B)を向上させるこ
とができる。
The support metal layer may be an electrodeposited copper foil,
Such an electrodeposited copper foil typically has a rough surface (or matte surface) and a smooth surface (or shiny surface).
The release layer on which the ultrathin copper foil is electrodeposited may be formed on either the matte surface or the glossy surface. An ultrathin copper foil formed by forming a release layer on a glossy surface and electrodepositing copper on it has a small surface roughness and is suitable for forming a fine pitch wiring pattern. On the other hand, when the release layer is formed on the matte surface and electrodeposition is performed, the surface roughness of the ultrathin copper foil formed is increased, and the bonding strength (B) from the insulating base material can be improved.

【0036】このような有機系剥離層上に形成される極
薄銅箔層の厚さは、通常12ミクロン以下であるが、よ
り薄くてもよく、例えば5〜7μm、またはそれ以下で
あってもよい。12ミクロンを超える厚さを有する銅箔
は、従来の製造方法でも製造でき、かつ支持体金属層な
しで取り扱い得る。また極薄銅箔は電着によって支持体
金属層上に形成され、回路パターンを形成するのに好適
であり、かつ支持体金属層と有機系剥離層と極薄銅箔と
を有する複合銅箔では、上述のような適度な剥離強度
(A)および(B)を得られる。
The thickness of the ultrathin copper foil layer formed on such an organic release layer is usually 12 μm or less, but may be thinner, for example, 5 to 7 μm or less. Good. Copper foils having a thickness greater than 12 microns can also be manufactured by conventional manufacturing methods and can be handled without a support metal layer. The ultra-thin copper foil is formed on the support metal layer by electrodeposition, is suitable for forming a circuit pattern, and is a composite copper foil having a support metal layer, an organic release layer, and an ultra-thin copper foil. Then, the appropriate peel strengths (A) and (B) as described above can be obtained.

【0037】本発明者等により、ある種のチッ素含有化
合物およびイオウ含有化合物、特に複素環式化合物が、
有機系剥離層として有用であることが見出された。この
種のチッ素含有化合物としては、置換基(官能基)を有
するチッ素含有化合物が好ましい。このうち、置換基
(官能基)を有するトリアゾール化合物、例えばカルボ
キシベンゾトリアゾール(CBTA)、N’,N’-ビス(ベン
ゾトリアゾリルメチル)ユリア(BTD−U)および3-
アミノ-1H-1,2,4-トリアゾール(ATA)などが特に
好ましい。また、この種のイオウ含有化合物としては、
メルカプトベンゾチアゾール(MBT)、チオシアヌル
酸(TCA)および2-ベンズイミダゾールチオール(B
IT)等を例示でき、このうち特にMBTおよびTCA
が望ましい。幾つかの類似化合物では、以下の実施例で
示されるように、加熱後には支持体銅から極薄銅箔を分
離させることができないことが発見された。
We have found that certain nitrogen-containing compounds and sulfur-containing compounds, especially heterocyclic compounds,
It has been found to be useful as an organic release layer. As this type of nitrogen-containing compound, a nitrogen-containing compound having a substituent (functional group) is preferable. Among these, triazole compounds having a substituent (functional group), for example, carboxybenzotriazole (CBTA), N ', N'-bis (benzotriazolylmethyl) urea (BTD-U) and 3-
Amino-1H-1,2,4-triazole (ATA) and the like are particularly preferable. Further, as this type of sulfur-containing compound,
Mercaptobenzothiazole (MBT), thiocyanuric acid (TCA) and 2-benzimidazole thiol (B
IT) and the like, of which MBT and TCA are particularly
Is desirable. It has been discovered that with some similar compounds it is not possible to separate the ultra-thin copper foil from the support copper after heating, as shown in the examples below.

【0038】有機系剥離層として有用であることが見出
された他の種の化合物は、カルボン酸、例えば高分子量
カルボン酸である。このようなカルボン酸のうち、モノ
カルボン酸、例えば動物または植物脂肪あるいは油脂か
ら誘導される脂肪酸が好ましい。これらは飽和であって
も不飽和であってもよい。但し、以下の実施例に示され
るように、全てのカルボン酸が有用であるわけではな
い。
Another class of compounds that have been found to be useful as organic release layers are carboxylic acids, such as high molecular weight carboxylic acids. Of such carboxylic acids, monocarboxylic acids, such as fatty acids derived from animal or vegetable fats or oils, are preferred. These may be saturated or unsaturated. However, as shown in the examples below, not all carboxylic acids are useful.

【0039】有用であることが発見されたカルボン酸
は、脂肪酸(高分子量モノカルボン酸)、とくにオレイ
ン酸、リノール酸およびリノレイン酸などの不飽和脂肪
酸である。支持体銅箔から極薄銅箔を分離させる能力に
欠ける他の酸は、以下の実施例に示される。
Carboxylic acids which have been found to be useful are fatty acids (high molecular weight monocarboxylic acids), especially unsaturated fatty acids such as oleic acid, linoleic acid and linoleic acid. Other acids lacking the ability to separate the ultra-thin copper foil from the support copper foil are shown in the examples below.

【0040】本発明の複合銅箔では、絶縁基材に積層し
た後に極薄銅箔から支持体金属層を剥離できるように、
極薄銅箔からの支持体金属層の剥離強度(A)が、JI
S−C−6481に準拠して測定した場合、0.005
〜0.3kgf/cmであることが望ましく、実用上特に
0.005〜0.1kgf/cmであることが好ましい。
0.005kgf/cm未満では、剥離強度が弱すぎて製造
時や積層時、穴明け加工時に極薄銅箔のふくれや浮き上
がり等が生じて好ましくない。また、0.3kgf/cmを
超えると支持体剥離の際に米国特許第3,886,02
2号公報に記載のような特殊な処理が必要となる。
In the composite copper foil of the present invention, the support metal layer can be peeled off from the ultrathin copper foil after being laminated on the insulating base material,
The peel strength (A) of the support metal layer from the ultra-thin copper foil is JI
When measured according to S-C-6482, 0.005
˜0.3 kgf / cm is desirable, and practically 0.005 to 0.1 kgf / cm is particularly desirable.
If it is less than 0.005 kgf / cm, the peeling strength is too weak, and swelling or lifting of the ultra-thin copper foil occurs during manufacturing, lamination, or punching, which is not preferable. Further, if it exceeds 0.3 kgf / cm, when the support is peeled off, US Pat.
Special processing as described in Japanese Patent Publication No. 2 is required.

【0041】本発明の複合銅箔では、極薄銅箔からの支
持体金属層の剥離強度(A)は、ばらつきが少ないかま
たはほとんどない。したがって、剥離強度(A)は、個
々の実施例の複合銅箔でその全面に亘って、および全実
施例の複合銅箔全体を通じて均一である。
In the composite copper foil of the present invention, the peel strength (A) of the support metal layer from the ultrathin copper foil has little or no variation. Therefore, the peel strength (A) is uniform over the entire surface of the composite copper foil of each example, and throughout the composite copper foil of all the examples.

【0042】さらに支持体金属層を剥離した後は、極薄
銅箔表面には薄い有機系被膜が付着しているだけであ
り、この有機系皮膜は、希釈酸溶液を用いた酸洗いを行
うだけで容易に除去することができる。したがって、過
酷な酸洗いまたはソフトエッチング工程が不要である。
また、極薄銅箔上に付着した有機系被膜は、防錆効果も
有している。さらに、支持体金属層は剥離後に容易に再
利用できることから、製造上及び環境上の問題が生ずる
ことがない。
Further, after the support metal layer is peeled off, only a thin organic coating is attached to the surface of the ultrathin copper foil, and this organic coating is pickled with a dilute acid solution. It can be easily removed by just Therefore, no harsh pickling or soft etching steps are required.
In addition, the organic coating adhered on the ultrathin copper foil also has a rust preventive effect. Furthermore, the support metal layer can be easily reused after peeling, so that there are no manufacturing or environmental problems.

【0043】本発明の複合銅箔の製造方法では、支持体
金属層に有機系剥離層を形成し、この有機系剥離層の上
に極薄銅箔層を形成している。この際、有機系剥離層の
形成に先立ち、支持体金属層の表面の酸化被膜を除去
し、均一な剥離強度(A)を得られるようにすることが
好ましい。酸化皮膜の除去は、例えば、支持体を希釈酸
溶液、例えば希硫酸中で洗浄して行うことができる。有
機系剥離層は、浸漬法または塗布法、あるいは支持体上
に均一な層を形成するいかなる方法で形成してもよい。
例えば、浸漬法では、トリアゾール類などの有機化合物
からなる水溶液に支持体金属層を浸漬して有機系剥離層
を形成する。水溶液の濃度は0.01〜10g/L、特
に0.1〜10g/Lが好ましく、浸漬時間は5〜60
秒間が好ましい。濃度が高いことや浸漬時間が長いこと
で形成される剥離層の効果が薄れることはないが、経済
性や生産性の観点からは好ましくない。溶液から支持体
を取り出した後、過剰な付着物は水で洗浄して、非常に
薄い有機系剥離層のみが支持体表面に残るようにするこ
とが好ましい。洗浄後の剥離層の厚さは、通常30〜1
00Å、特に好ましくは30〜60Åであると考えられ
る。この有機系剥離層の厚さは、例えばSIM(走査型イオ
ン顕微鏡)またはTEM(透過型電子顕微鏡)により測定する
ことができる。本発明では、剥離層の厚さはこのような
値に限定されないが、これが薄すぎた場合には極薄銅箔
が支持体に接着されてしまうであろうし、厚すぎる場合
には銅を均一に電着することができなくなる。
In the method for producing the composite copper foil of the present invention, the organic release layer is formed on the support metal layer, and the ultrathin copper foil layer is formed on the organic release layer. At this time, prior to the formation of the organic release layer, it is preferable to remove the oxide film on the surface of the support metal layer so that a uniform release strength (A) can be obtained. The oxide film can be removed, for example, by washing the support in a dilute acid solution, for example, dilute sulfuric acid. The organic release layer may be formed by a dipping method or a coating method, or any method that forms a uniform layer on the support.
For example, in the immersion method, the support metal layer is immersed in an aqueous solution of an organic compound such as triazole to form an organic release layer. The concentration of the aqueous solution is preferably 0.01 to 10 g / L, particularly preferably 0.1 to 10 g / L, and the immersion time is 5 to 60.
Seconds are preferred. The effect of the release layer formed by the high concentration and the long immersion time does not diminish, but it is not preferable from the viewpoint of economical efficiency and productivity. After removing the support from the solution, excess deposits are preferably washed with water so that only a very thin organic release layer remains on the support surface. The thickness of the peeling layer after washing is usually 30 to 1
It is considered to be 00Å, particularly preferably 30 to 60Å. The thickness of the organic release layer can be measured by, for example, SIM (scanning ion microscope) or TEM (transmission electron microscope). In the present invention, the thickness of the release layer is not limited to such a value, but if it is too thin, the ultrathin copper foil will be bonded to the support, and if it is too thick, the copper is evenly distributed. It becomes impossible to electrodeposit.

【0044】極薄銅箔は、支持体金属上に設けられた有
機系剥離層上に電着される。銅を電着する方法として
は、例えばピロリン酸銅電着浴、酸性硫酸銅電着浴等を
用いる方法などを挙げることができる。どのようなタイ
プの電着浴を用いた方法でも適用可能であるが、目的に
応じて好ましいタイプの電着浴を選択できる。
The ultrathin copper foil is electrodeposited on the organic release layer provided on the support metal. Examples of the method for electrodepositing copper include a method using a copper pyrophosphate electrodeposition bath, an acidic copper sulfate electrodeposition bath, and the like. The method using any type of electrodeposition bath can be applied, but a preferable type of electrodeposition bath can be selected according to the purpose.

【0045】例えば、望ましくないピンホール及び/ま
たは多孔化を避け、かつより均一な銅の電着をするに
は、実質的に酸を含まない電解質浴、例えばシアン化銅
浴やピロリン酸銅浴を用いて最初の電着を行うことが好
ましい。なお、環境、安全面からピロリン酸銅電着が推
奨される。また、二段銅電着工程を用いる場合には、ピ
ロリン酸銅浴で0.5〜1.0μmまで1次銅電着を行
い、その後、2次銅電着として硫酸銅電着浴で所望の極
薄銅箔厚さ、例えば12μmまで電着することが好まし
い。
For example, in order to avoid unwanted pinholes and / or porosity, and for more uniform electrodeposition of copper, a substantially acid-free electrolyte bath, such as a copper cyanide bath or a copper pyrophosphate bath. Is preferably used for the first electrodeposition. Electrodeposition of copper pyrophosphate is recommended in terms of environment and safety. When a two-step copper electrodeposition process is used, primary copper electrodeposition is performed in a copper pyrophosphate bath to 0.5 to 1.0 μm, and then a secondary copper electrodeposition is performed in a copper sulfate electrodeposition bath. It is preferable to electrodeposit up to the ultrathin copper foil thickness of, for example, 12 μm.

【0046】ピロリン酸銅電着の条件は、特に限定され
ない。しかしながら、ピロリン酸銅電着浴中の銅の濃度
範囲は10〜50g/L、ピロリン酸カリウムの濃度範
囲は100〜700g/Lが好ましい。また、電解液の
pHは8〜12が好ましく、浴温は30〜60℃が好ま
しく、電流密度は1〜10A/dm2が好ましい。
Conditions for electrodeposition of copper pyrophosphate are not particularly limited. However, the concentration range of copper in the copper pyrophosphate electrodeposition bath is preferably 10 to 50 g / L, and the concentration range of potassium pyrophosphate is preferably 100 to 700 g / L. The pH of the electrolytic solution is preferably 8 to 12, the bath temperature is preferably 30 to 60 ° C., and the current density is preferably 1 to 10 A / dm 2 .

【0047】一方、生産性、経済性の面からは、硫酸銅
浴を用いた電着が好ましく、硫酸胴浴は、最初にピロリ
ン酸銅浴から銅箔層を電着しなくても有効に用いること
ができる。酸性硫酸銅メッキの条件は、特に限定されな
い。しかしながら、硫酸銅メッキ浴中の銅の濃度範囲は
30〜100g/Lが好ましく、硫酸の濃度範囲は50
〜200g/Lが好ましい。また、電解液の浴温は30
〜80℃が好ましく、電流密度は10〜100A/dm
2が好ましい。
On the other hand, from the viewpoint of productivity and economy, electrodeposition using a copper sulfate bath is preferable, and the sulfuric acid barrel bath is effective even if the copper foil layer is not electrodeposited first from the copper pyrophosphate bath. Can be used. The conditions for the acidic copper sulfate plating are not particularly limited. However, the concentration range of copper in the copper sulfate plating bath is preferably 30 to 100 g / L, and the concentration range of sulfuric acid is 50.
~ 200 g / L is preferred. The bath temperature of the electrolyte is 30
-80 degreeC is preferable, and current density is 10-100A / dm.
2 is preferred.

【0048】複合銅箔の極薄銅箔と、複合銅箔が積層さ
れる絶縁基材との接着を良くするために、従来公知の方
法により極薄銅箔表面に結合促進処理、例えば電着条件
を調節して箔の表面に導電性微粒子群を電着させる粗化
処理(コブ付処理)を施してもよい。粗化処理の例は、
例えば米国特許第3,674,656号公報に開示され
ている。加えて、極薄銅箔の表面には、極薄銅箔の酸化
を防止するために、防錆処理を施し得もよい。防錆処理
は、単独で行っても、粗化処理後に行ってもよい。防錆
処理は、一般的には、極薄銅箔の表面に亜鉛、クロム酸
亜鉛、ニッケル、スズ、コバルトおよびクロムから選択
される一種を電着することで行われる。このような方法
の例は、米国特許第3,625,844号公報に開示さ
れている。
In order to improve the adhesion between the ultra-thin copper foil of the composite copper foil and the insulating base material on which the composite copper foil is laminated, a bonding accelerating treatment such as electrodeposition is performed on the surface of the ultra-thin copper foil by a conventionally known method. A roughening treatment (cobbing treatment) for electrodepositing the conductive fine particles on the surface of the foil by adjusting the conditions may be performed. An example of roughening treatment is
For example, it is disclosed in US Pat. No. 3,674,656. In addition, the surface of the ultrathin copper foil may be subjected to a rust preventive treatment in order to prevent the ultrathin copper foil from being oxidized. The anticorrosion treatment may be carried out alone or after the roughening treatment. The anticorrosion treatment is generally performed by electrodeposition of a kind selected from zinc, zinc chromate, nickel, tin, cobalt and chromium on the surface of an ultrathin copper foil. An example of such a method is disclosed in US Pat. No. 3,625,844.

【0049】このようにして製造された極薄銅箔、すな
わち支持体金属上に有機系剥離層を介して支持された極
薄銅箔を絶縁基材に加熱加圧下で積層することにより、
複合銅箔と絶縁基材とで形成された銅張り積層板が得ら
れる。
The ultrathin copper foil produced in this manner, that is, the ultrathin copper foil supported on the support metal through the organic release layer, is laminated on the insulating base material under heating and pressure,
A copper-clad laminate formed of the composite copper foil and the insulating base material is obtained.

【0050】図2は、本発明に係る銅張り積層板の一態
様を示す模式的断面図である。図示されるように、銅張
り積層板5は、図1に示されるような複合銅箔1を、複
合銅箔1の極薄銅箔4が絶縁基板6に接触するように、
この基板6上に積層して製造される。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing an embodiment of the copper-clad laminate according to the present invention. As shown in the figure, the copper-clad laminate 5 is prepared by using the composite copper foil 1 as shown in FIG.
It is manufactured by stacking on the substrate 6.

【0051】典型的には、積層温度は150℃以上、好
ましくは175〜200℃である。絶縁基材としては、
一般に電子機器用途として使用されている樹脂基材であ
れば特に限定されずに使用できる。例示すると、FR−
4基材(ガラス繊維強化エポキシ)、紙−フェノール基
材、紙−エポキシ基材などである。この銅張り積層板か
ら支持体金属層を引き剥がすと、極薄銅箔と絶縁基材と
で形成された銅張り積層板が得られる。
The lamination temperature is typically 150 ° C. or higher, preferably 175 to 200 ° C. As the insulating base material,
Any resin base material generally used for electronic devices can be used without particular limitation. For example, FR-
4 base materials (glass fiber reinforced epoxy), paper-phenol base material, paper-epoxy base material and the like. When the support metal layer is peeled off from this copper-clad laminate, a copper-clad laminate formed of an ultrathin copper foil and an insulating base material is obtained.

【0052】ここで、図2を参照して説明すると、複合
銅箔1を絶縁基板6に積層した後に支持体金属層2を極
薄銅箔4から分離できるように、極薄銅箔4からの支持
体金属2の剥離強度(A)(図2中、Aで示す)は、J
IS−C−6481に従って測定した場合、基材6から
の極薄銅箔4の剥離強度(B)(図2中、Bで示す)よ
りも小さい。
Now, referring to FIG. 2, from the ultra-thin copper foil 4 so that the support metal layer 2 can be separated from the ultra-thin copper foil 4 after the composite copper foil 1 is laminated on the insulating substrate 6. The peel strength (A) (indicated by A in FIG. 2) of the support metal 2 is J
When measured according to IS-C-6481, it is smaller than the peel strength (B) (indicated by B in FIG. 2) of the ultrathin copper foil 4 from the base material 6.

【0053】この際、極薄銅箔は剥離強度(B)をJI
S−C−6481に準じて直接測定するには薄くかつ弱
すぎるため、極薄銅箔に例えば合計厚さ18μmまで銅
を電着して、剥離強度(B)が測定される。
At this time, the ultra-thin copper foil has a peel strength (B) of JI
Since it is thin and too weak for direct measurement according to S-C6481, copper is electrodeposited on an ultrathin copper foil to a total thickness of 18 μm, and the peel strength (B) is measured.

【0054】このような銅張り積層板は、プリント配線
基板の製造に好適に用いることができる。
Such a copper-clad laminate can be preferably used for manufacturing a printed wiring board.

【0055】例えば、本発明に係るプリント配線基板
は、銅張り積層板から支持体金属層を剥離して極薄銅箔
を露出させ、次いでこの極薄銅箔上に配線パターンを形
成して製造することができる。
For example, the printed wiring board according to the present invention is manufactured by peeling the support metal layer from the copper-clad laminate to expose the ultrathin copper foil, and then forming a wiring pattern on the ultrathin copper foil. can do.

【0056】図3は、本発明に係るプリント配線基板の
好ましい一態様を示す図である。図示されるように、本
態様のプリント配線基板7は、基板6と、基板6上に形
成されるプリント配線パターン8とからなる。
FIG. 3 shows a preferred embodiment of the printed wiring board according to the present invention. As shown in the figure, the printed wiring board 7 of this embodiment includes a substrate 6 and a printed wiring pattern 8 formed on the substrate 6.

【0057】本態様のプリント配線基板7は、図2に示
される銅張り積層板7の極薄銅箔4を、支持体金属2の
剥離により露出させ、必要に応じて残存する剥離層3を
除去し、次いで露出した極薄銅箔4上に配線パターン8
を形成して製造される。また、このようなプリント配線
基板を用いて、容易に多層プリント配線基板を製造する
ことが可能である。
In the printed wiring board 7 of this embodiment, the ultra-thin copper foil 4 of the copper-clad laminate 7 shown in FIG. 2 is exposed by peeling the support metal 2, and the remaining peeling layer 3 is left as necessary. Then, the wiring pattern 8 is formed on the exposed ultra-thin copper foil 4.
Is manufactured. Further, a multilayer printed wiring board can be easily manufactured by using such a printed wiring board.

【0058】例えば、本発明に係る多層プリント配線基
板は、予め配線パターンが形成された内層板の少なくと
も片面に、上記複合銅箔を積層して銅張り積層板を形成
し、該銅張り積層板から前記支持体金属層の剥離により
前記極薄銅箔を露出させ、かつ該極薄銅箔上に配線パタ
ーンを形成し、多層化して製造することができる。
For example, in a multilayer printed wiring board according to the present invention, the above-mentioned composite copper foil is laminated on at least one surface of an inner layer board on which a wiring pattern is formed in advance to form a copper clad laminate, and the copper clad laminate is formed. From the above, the ultra-thin copper foil can be exposed by peeling the support metal layer, and a wiring pattern can be formed on the ultra-thin copper foil to form a multilayer structure.

【0059】また、多層プリント配線基板は、複数の本
発明に係るプリント配線基板を積層することでも製造す
ることが可能である。
The multilayer printed wiring board can also be manufactured by laminating a plurality of printed wiring boards according to the present invention.

【0060】すなわち、多層プリント配線基板は、本発
明に係るプリント配線基板の少なくとも片面に、上述の
複合銅箔を積層して銅張り積層板を形成し、該銅張り積
層板から前記支持体金属層の剥離により前記極薄銅箔を
露出させ、かつ該極薄銅箔上に配線パターンを形成し、
多層化して製造することができる。
That is, the multilayer printed wiring board is formed by laminating the above-mentioned composite copper foil on at least one surface of the printed wiring board according to the present invention to form a copper-clad laminate, and forming the copper-clad laminate from the support metal. Exposing the ultra-thin copper foil by peeling the layer, and forming a wiring pattern on the ultra-thin copper foil,
It can be manufactured in multiple layers.

【0061】図4は、図5に示す多層プリント配線基板
を製造するために用いられる銅張り積層板の一態様を示
す模式的断面図である。図4に示すように、本態様の銅
張り積層板11は、予め配線パターンが形成された内層
板12の少なくとも片面に、複合銅箔1を積層して製造
される。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing one mode of a copper-clad laminate used for manufacturing the multilayer printed wiring board shown in FIG. As shown in FIG. 4, the copper clad laminate 11 of this embodiment is manufactured by laminating the composite copper foil 1 on at least one surface of the inner layer plate 12 on which a wiring pattern is formed in advance.

【0062】複合銅箔1は、支持体金属2と、該支持体
金属2上に形成された剥離層3および極薄銅箔4を有し
ている。内層板12は、基板6'と、この基板6'に形成
される配線パターン8'とを備えている。この銅張り積
層板11において、複合銅箔1の極薄銅箔4は、基板6
を介して内層板11の配線パターン8'と対面してい
る。
The composite copper foil 1 has a support metal 2, a release layer 3 and an ultrathin copper foil 4 formed on the support metal 2. The inner layer plate 12 includes a substrate 6'and a wiring pattern 8'formed on the substrate 6 '. In this copper-clad laminate 11, the ultra-thin copper foil 4 of the composite copper foil 1 is the substrate 6
It faces the wiring pattern 8 ′ of the inner layer board 11 via.

【0063】図5は、本発明に係る多層プリント配線基
板の一態様を示す模式的断面図であり、このプリント配
線基板は図4に示す銅張り積層板11から製造できる。
図4および図5を参照して説明すると、多層プリント配
線基板13は、銅張り積層板11の支持体金属1を剥離
し、必要に応じて残存する剥離層3を除去し、次いで露
出された極薄銅箔4上に配線パターン8を形成して製造
することができる。
FIG. 5 is a schematic sectional view showing an embodiment of the multilayer printed wiring board according to the present invention. This printed wiring board can be manufactured from the copper-clad laminate 11 shown in FIG.
Explaining with reference to FIG. 4 and FIG. 5, the multilayer printed wiring board 13 peels off the support metal 1 of the copper-clad laminate 11, removes the remaining peeling layer 3 if necessary, and is then exposed. The wiring pattern 8 can be formed on the ultra-thin copper foil 4 to be manufactured.

【0064】図4に示される銅張り積層板11におい
て、内層板12は図3に示されるようなプリント配線基
板7であってもよい。このような場合には、図5に示さ
れる多層積層板13は、2つの本発明に係るプリント配
線基板を積層して形成したことになる。
In the copper-clad laminate 11 shown in FIG. 4, the inner layer plate 12 may be the printed wiring board 7 as shown in FIG. In such a case, the multilayer laminate 13 shown in FIG. 5 is formed by laminating two printed wiring boards according to the present invention.

【0065】[0065]

【発明の効果】本発明に係る複合銅箔によれば、支持体
金属層と極薄銅箔間に特定の有機化合物からなる有機系
剥離層を設けたことにより、支持体の剥離強度(A)が
均一で、かつ適度となり、取り扱い性および剥離性のよ
い極薄銅箔が得られる。
According to the composite copper foil of the present invention, the peel strength (A) of the support is provided by providing the organic release layer made of a specific organic compound between the support metal layer and the ultrathin copper foil. ) Is uniform and moderate, and an ultrathin copper foil with good handleability and peelability is obtained.

【0066】本発明に係る複合銅箔よれば、剥離層に金
属を使用していないため、支持体剥離後の極薄銅箔表面
には薄い有機系被膜が付着しているだけあり、プリント
配線基板を製造するに先立って極薄銅箔を簡単に酸洗す
るだけでよく、金属または金属酸化物を剥離層に用いた
場合のようなソフトエッチング工程等の工程が不要であ
る他、この有機系被膜は防錆効果も有している。また本
発明に係る複合銅箔では、剥離層に金属を用いていない
ため、剥離後の支持体を再利用することが可能であり、
廃液処理も容易で環境上の問題が生ずることはない。
According to the composite copper foil of the present invention, since no metal is used for the release layer, only a thin organic film is attached to the surface of the ultrathin copper foil after the support is peeled off. Prior to manufacturing the substrate, it is only necessary to simply pickle the ultra-thin copper foil, and there is no need for a step such as a soft etching step when metal or metal oxide is used for the release layer. The system coating also has a rust preventive effect. Further, in the composite copper foil according to the present invention, since no metal is used in the release layer, it is possible to reuse the support after peeling,
Waste liquid treatment is easy and no environmental problems occur.

【0067】本発明に係る複合銅箔の製造方法によれ
ば、特定の有機化合物を含む溶液に浸漬若しくは特定の
有機化合物を含む溶液を塗布するだけで均一な有機系剥
離層を非常に簡単に形成できる。
According to the method for producing a composite copper foil of the present invention, a uniform organic release layer can be very easily prepared by immersing in a solution containing a specific organic compound or applying a solution containing a specific organic compound. Can be formed.

【0068】[0068]

【実施例】以下に、実施例に基づき本発明をさらに詳細
に説明する。
The present invention will be described in more detail based on the following examples.

【0069】[0069]

【実施例1】支持体金属層として、厚さ35μmの電解
銅箔を用意した。このような電解銅箔は粗面(マット
面)および平滑(光沢)面を有している。その光沢面側
に、以下のようにして、有機系剥離層を形成し、次いで
1次銅電着、2次銅電着、粗化処理及び防錆処理を行っ
た。(A)剥離層形成 35μmの銅箔を、30℃のカルボキシベンゾトリアゾ
ール(CBTA)2g/L溶液に30秒間浸漬した後に
取り出し、脱イオン水中で水洗いしてCBTAの有機系
剥離層を形成した。
Example 1 An electrolytic copper foil having a thickness of 35 μm was prepared as a support metal layer. Such an electrolytic copper foil has a rough surface (matte surface) and a smooth (glossy) surface. An organic release layer was formed on the glossy surface side as follows, and then primary copper electrodeposition, secondary copper electrodeposition, roughening treatment and rust prevention treatment were performed. (A) Release Layer Formation A copper foil having a thickness of 35 μm was immersed in a 2 g / L solution of carboxybenzotriazole (CBTA) at 30 ° C. for 30 seconds and then taken out and washed with deionized water to form an organic release layer of CBTA.

【0070】得られた有機系剥離層の厚さをSIM(走査
型イオン顕微鏡)で得られた像から測定したところ、6
0Åであった。(B)1次銅電着 形成された有機系剥離層の表面に、銅17g/L、ピロ
リン酸カリウム500g/Lを含む、pH8.5のピロ
リン酸銅電着浴を用いて、浴温50℃、電流密度3A/
dm2で陰極電解し、厚さ1μmの銅を析出させた。(C)2次銅電着 形成された極薄銅箔の表面を水洗し、銅80g/Lおよ
び硫酸150g/Lを含む硫酸銅電着浴を用いて、浴温
50℃、電流密度60A/dm2で陰極電解し、5μm
の銅を析出させ、全体で6μmの極薄銅箔層とした。(D)粗化処理 このように形成された極薄銅箔層の表面に従来公知の方
法により、粗化処理を施した。電流密度を上昇させて極
薄銅箔表面に導電性銅微粒子群を形成した。(E)防錆処理 粗化処理が施された極薄銅箔層の表面に従来公知の電着
方法により亜鉛クロメートの防錆処理を施し、複合銅箔
を得た。
The thickness of the obtained organic release layer was measured from an image obtained by SIM (scanning ion microscope).
It was 0Å. (B) Primary Copper Electrodeposition On the surface of the organic release layer formed, a copper pyrophosphate copper electrodeposition bath having a pH of 8.5 containing 17 g / L of copper and 500 g / L of potassium pyrophosphate was used, and the bath temperature was 50. ℃, current density 3A /
Cathodic electrolysis was performed at dm 2 to deposit copper having a thickness of 1 μm. (C) The surface of the ultra-thin copper foil formed by secondary copper electrodeposition was washed with water, and a copper sulfate electrodeposition bath containing 80 g / L of copper and 150 g / L of sulfuric acid was used to obtain a bath temperature of 50 ° C. and a current density of 60 A / Cathodic electrolysis at dm 2 and 5 μm
Copper was deposited to form an ultrathin copper foil layer having a total thickness of 6 μm. (D) Roughening treatment The surface of the ultrathin copper foil layer thus formed was subjected to a roughening treatment by a conventionally known method. The current density was increased to form conductive copper fine particles on the surface of the ultrathin copper foil. (E) Anticorrosion treatment The surface of the ultrathin copper foil layer that had been roughened was subjected to anticorrosion treatment of zinc chromate by a conventionally known electrodeposition method to obtain a composite copper foil.

【0071】このようにして得られた複合銅箔を市販の
0.1mmのFR−4プリプレグ4枚に積層し、175
℃、25kg/cm2の条件で60分加熱加圧により成型し
て銅張り積層板を得た。この銅張り積層板を用い、支持
体金属層として用いられた銅箔を極薄銅箔から引き剥が
すときの剥離強度(A)をJIS−C−6481に準拠
して測定したところ、0.015kgf/cmであった。ま
た、剥離強度(A)は試料の全面に亘って適度で均一で
あり、このため銅張り積層板から支持体銅箔を容易に引
き剥がすことができた。
The composite copper foil thus obtained was laminated on four commercially available 0.1 mm FR-4 prepregs, and 175
° C., to obtain a molded to the copper-clad laminate by 60 minutes heating and pressing under the conditions of 25 kg / cm 2. Using this copper-clad laminate, the peel strength (A) when peeling the copper foil used as the support metal layer from the ultra-thin copper foil was measured according to JIS-C-6481, and was 0.015 kgf. It was / cm. Further, the peel strength (A) was moderate and uniform over the entire surface of the sample, so that the support copper foil could be easily peeled from the copper-clad laminate.

【0072】[0072]

【実施例2】実施例1の工程(A)における剥離層形成
で、カルボキシベンゾトリアゾール(CBTA)に代え
て、N,N'ビス(ベンゾトリアゾリルメチル)ユリア(B
TD−U)2g/L溶液を用いて有機系剥離層を形成し
た以外は、実施例1とまったく同様の操作手順により、
複合銅箔を得た。
Example 2 In the release layer formation in the step (A) of Example 1, N, N ′ bis (benzotriazolylmethyl) urea (B) was used instead of carboxybenzotriazole (CBTA).
TD-U) 2 g / L solution was used, and the organic release layer was formed by the same procedure as in Example 1.
A composite copper foil was obtained.

【0073】このようにして得られた複合銅箔を市販の
0.1mmのFR−4プリプレグ4枚に積層し、140
℃、25kg/cm2の条件で60分加熱、加圧により成型
して銅張り積層板を得た。この銅張り積層板を用い、支
持体金属層として用いられた銅箔を極薄銅箔から引き剥
がすときの剥離強度(A)をJIS−C−6481に準
拠して測定したところ、0.025kgf/cmであった。
また、剥離強度(A)は試料の全面に亘って適度で均一
であり、このため銅張り積層板から支持体銅箔を容易に
引き剥がすことができた。
The composite copper foil thus obtained was laminated on four commercially available 0.1 mm FR-4 prepregs, and 140
A copper clad laminate was obtained by molding by heating and pressurizing for 60 minutes under the condition of ° C and 25 kg / cm 2 . Using this copper-clad laminate, the peel strength (A) when peeling the copper foil used as the support metal layer from the ultrathin copper foil was measured in accordance with JIS-C-6481, and was found to be 0.025 kgf. It was / cm.
Further, the peel strength (A) was moderate and uniform over the entire surface of the sample, so that the support copper foil could be easily peeled from the copper-clad laminate.

【0074】[0074]

【実施例3】実施例1の工程(A)における剥離層形成
で、カルボキシベンゾトリアゾール(CBTA)に代え
て、ベンゾトリアゾール(BTA)2g/L溶液を用い
て有機被膜剥離層を形成した以外は、実施例1とまった
く同様の操作手順により、複合銅箔を得た。
Example 3 Except that the organic coating film peeling layer was formed by using 2 g / L solution of benzotriazole (BTA) instead of carboxybenzotriazole (CBTA) in the peeling layer formation in the step (A) of Example 1. A composite copper foil was obtained by the same procedure as in Example 1.

【0075】このようにして得られた複合銅箔を市販の
0.1mmのFR−4プリプレグ4枚に積層し、140
℃、25kg/cm2の条件で60分加熱加圧させて成型し
て銅張り積層板を得た。この銅張り積層板を用い、支持
体金属層として用いられた銅箔を極薄銅箔から引き剥が
すときの剥離強度(A)をJIS−C−6481に準拠
して測定したところ、0.043kgf/cmであった。ま
た、剥離強度(A)は試料の全面に亘って適度で均一で
あり、このため銅張り積層板から支持体銅箔を容易に引
き剥がすことができた。さらにこの銅張り積層板を17
5℃で60分加熱した後、硬化させた。
The composite copper foil thus obtained was laminated on four commercially available 0.1 mm FR-4 prepregs, and 140
A copper-clad laminate was obtained by heating and pressurizing for 60 minutes under the conditions of ° C and 25 kg / cm 2 . Using this copper-clad laminate, the peel strength (A) when peeling the copper foil used as the support metal layer from the ultrathin copper foil was measured according to JIS-C-6481 and found to be 0.043 kgf. It was / cm. Further, the peel strength (A) was moderate and uniform over the entire surface of the sample, so that the support copper foil could be easily peeled from the copper-clad laminate. Furthermore, this copper-clad laminate is used for 17
After heating at 5 ° C. for 60 minutes, it was cured.

【0076】[0076]

【実施例4】実施例1の工程(A)における剥離層形成
で、カルボキシベンゾトリアゾール(CBTA)に代え
てカルボキシベンゾトリアゾール2g/Lとベンゾトリ
アゾール(BTA)0.5g/Lの混合溶液を用いて有
機系剥離層を形成した以外は、実施例1とまったく同様
の操作手順により、複合銅箔を得た。
Example 4 In the peeling layer formation in the step (A) of Example 1, a mixed solution of 2 g / L of carboxybenzotriazole and 0.5 g / L of benzotriazole (BTA) was used instead of carboxybenzotriazole (CBTA). A composite copper foil was obtained by the same procedure as in Example 1 except that the organic release layer was formed by using the same procedure.

【0077】このようにして得られた複合銅箔を市販の
0.1mmのポリイミドプリプレグ2枚に216℃、25
kg/cm2の条件で270分加熱、加圧により成型して銅
張り積層板を得た。この銅張り積層板を用い、支持体金
属層として用いられた銅箔を極薄銅箔から引き剥がすと
きの剥離強度(A)をJIS−C−6481に準拠して
測定したところ、0.009kgf/cmであった。また、
剥離強度(A)は試料の全面に亘って適度で均一であ
り、このため銅張り積層板から支持体銅箔を容易に引き
剥がすことができた。
The composite copper foil thus obtained was placed on two commercially available 0.1 mm polyimide prepregs at 216 ° C. and 25 ° C.
A copper-clad laminate was obtained by molding by heating and pressurizing for 270 minutes under the condition of kg / cm 2 . Using this copper-clad laminate, the peel strength (A) when peeling the copper foil used as the support metal layer from the ultra-thin copper foil was measured according to JIS-C-6481, and was found to be 0.009 kgf. It was / cm. Also,
The peel strength (A) was moderate and uniform over the entire surface of the sample, and therefore the support copper foil could be easily peeled from the copper-clad laminate.

【0078】[0078]

【実施例5】所定の回路を形成した内層材(銅箔厚さ3
5ミクロン)の両面に市販の0.18mmのFR−4プリ
プレグを介して実施例1で作製した複合銅箔をプレスに
より積層した。このときのプレス条件は175℃、25
kg/cm2、60分であった。冷却後、支持体金属層とし
て用いられた銅箔を極薄銅箔から引き剥がすときの剥離
強度(A)をJIS−C−6481に準拠して測定した
ところ、0.015kgf/cmであり、銅張り積層板から
支持体銅箔を容易に引き剥がすことができ、かつ適度な
接着力であった。
[Embodiment 5] Inner layer material (copper foil thickness 3
The composite copper foil prepared in Example 1 was laminated on both sides of the (5 micron) via a commercial 0.18 mm FR-4 prepreg by pressing. The press conditions at this time are 175 ° C. and 25
It was kg / cm 2 and 60 minutes. After cooling, the peel strength (A) when peeling the copper foil used as the support metal layer from the ultra-thin copper foil was measured according to JIS-C6481 and was 0.015 kgf / cm. The support copper foil could be easily peeled off from the copper-clad laminate, and the adhesive strength was appropriate.

【0079】[0079]

【実施例6】実施例1で作製した銅張り積層板を用いて
0.3mm径のドリル加工を行った後に、過マンガン酸カ
リウム溶液を用いた従来公知のデスミア処理を行ってエ
ポキシを除去し、次いでパネルメッキ(メッキ厚15μ
m)を行った。さらに、線幅/線間=50ミクロン/5
0ミクロンの回路形成を行い、プリント配線板を得た。
このときの回路形成性は良好であった。このプリント配
線板2枚を0.18mmのFR−4プリプレグを介し加熱
圧縮して積層し、4層の導体層を有する多層プリント配
線板を得たところ、問題はなかった。極薄銅箔は破損し
たりシワが生じることはなかった。したがって、実施例
5、6共に微少な50μm回路配線および間隔を有する
良好な多層プリント配線板が得られた。
Example 6 After using the copper clad laminate prepared in Example 1 to perform a drilling process with a diameter of 0.3 mm, a conventionally known desmear treatment using a potassium permanganate solution was performed to remove the epoxy. , Then panel plating (plating thickness 15μ
m) was performed. Furthermore, line width / line spacing = 50 microns / 5
A circuit of 0 micron was formed to obtain a printed wiring board.
At this time, the circuit formability was good. When two printed wiring boards were laminated by heating and compressing them through a FR-4 prepreg of 0.18 mm to obtain a multilayer printed wiring board having four conductor layers, there was no problem. The ultra-thin copper foil did not break or wrinkle. Therefore, in each of Examples 5 and 6, a good multilayer printed wiring board having minute 50 μm circuit wiring and spacing was obtained.

【0080】[0080]

【実施例7】実施例1〜5で得られた銅張り積層板の極
薄銅箔に銅メッキを施し、18ミクロン厚にした。これ
を基材から引き剥がすときの剥離強度(B)をJIS−
C−6481に準拠して測定した。
Example 7 The ultrathin copper foil of the copper-clad laminates obtained in Examples 1-5 was plated with copper to a thickness of 18 μm. The peel strength (B) when peeling this from the substrate is JIS-
It was measured according to C-6481.

【0081】極薄銅箔は、剥離強度(B)をJIS−C
−6481に準じて直接測定するには薄すぎるため、こ
のように極薄銅箔に厚さ18μmまで追加の電着が施さ
れた。
The peel strength (B) of the ultra-thin copper foil is JIS-C.
Since it is too thin for direct measurement according to −6481, additional electrodeposition was applied to the ultrathin copper foil to a thickness of 18 μm in this way.

【0082】また、上記銅張り積層板を用いてエッチン
グ法による回路形成を行った。線幅/線間=50ミクロ
ン/50ミクロンとした。これらの得られた結果を表1
に示す。
A circuit was formed by the etching method using the copper-clad laminate. Line width / line spacing = 50 microns / 50 microns. The results obtained are shown in Table 1.
Shown in.

【0083】[0083]

【表1】 [Table 1]

【0084】上記結果は、電子機器用の銅張り積層板と
しての性能を十分に満足するものであった。また、微細
な回路形成に非常に優れていた。極薄銅箔の剥離強度
(B)は、従来の厚さの銅箔と匹敵し、極薄銅箔および
支持体金属層間で測定された剥離強度(A)よりも大き
いと結論付けることができる。さらに、これら積層体
は、50μmの配線幅および間隔において断裂および短
絡がない非常に優れた配線パターンを提供することがで
きる。
The above results fully satisfy the performance as a copper-clad laminate for electronic equipment. Moreover, it was very excellent in forming fine circuits. It can be concluded that the peel strength (B) of the ultra-thin copper foil is comparable to conventional thickness copper foil and is greater than the peel strength (A) measured between the ultra-thin copper foil and the support metal layer. . Further, these laminated bodies can provide a very excellent wiring pattern free from breakage and short circuit in the wiring width and spacing of 50 μm.

【0085】[0085]

【実施例8】支持体金属層として、厚さ35μmの電解
銅箔を用意した。その光沢面側に、以下のようにして、
有機系剥離層を形成し、次いで銅電着を行った。(A)剥離層形成 35μmの銅箔を、硫酸水溶液(150g/L)中で洗
浄し、次いで蒸留水中で洗浄して残留する酸を除去し
た。次いで、洗浄した銅箔を40℃のカルボキシベンゾ
トリアゾール(CBTA)5g/L溶液に30秒間浸漬
した後に取り出し、脱イオン水中で水洗いしてCBTA
の有機系剥離層を形成した。(B)銅電着 形成された有機系剥離層上に、硫酸銅250g/Lおよ
び硫酸70g/Lを含む硫酸銅電着浴を用いて、浴温4
0℃、電流密度5A/dm2で陰極電解し、3μmの銅
を析出させた。得られた複合銅箔を、加熱前および15
5℃に15分間加熱した後の両方で、支持体剥離能力に
つき以下の方法で評価した。評価方法 複合銅箔の極薄銅箔にスコッチテープを付着させた。次
いで、付着したスコッチテープを複合銅箔から引き剥が
し、銅支持体金属層から極薄銅箔がスコッチテープに着
いて分離したかどうか(剥離状態が許容可能かどうか)
を観察した。
Example 8 An electrolytic copper foil having a thickness of 35 μm was prepared as a support metal layer. On the glossy side, do the following:
An organic release layer was formed, and then copper electrodeposition was performed. The copper foil of (A) a release layer formed 35 [mu] m, and washed <br/> purification in aqueous solution of sulfuric acid (150g / L), and then removed the acid remaining was washed with distilled water. Then, the washed copper foil was immersed in a carboxybenzotriazole (CBTA) 5 g / L solution at 40 ° C. for 30 seconds, then taken out, washed with deionized water and washed with CBTA.
The organic release layer of No. 1 was formed. (B) Copper Electrodeposition A copper sulfate electrodeposition bath containing 250 g / L of copper sulfate and 70 g / L of sulfuric acid was used on the formed organic release layer, and the bath temperature was 4
Cathodic electrolysis was performed at 0 ° C. and a current density of 5 A / dm 2 to deposit 3 μm of copper. The obtained composite copper foil was heated before and 15
The support peeling ability was evaluated by the following method both after heating at 5 ° C. for 15 minutes. Evaluation method A scotch tape was attached to an ultrathin copper foil of the composite copper foil. Then, the adhered Scotch tape was peeled off from the composite copper foil, and whether the ultra-thin copper foil adhered to the Scotch tape and separated from the copper support metal layer (whether the peeling state was acceptable).
Was observed.

【0086】得られた結果を表2に示す。The obtained results are shown in Table 2.

【0087】[0087]

【実施例9〜12および参考例1および2】各実施例9
〜12、参考例1および2において、有機層を表2に示
されるCBTA以外のチッ素含有化合物またはイオウ含
有化合物の水溶液(5g/L)で形成した以外は、実施
例8と同様にして複合銅箔を製造した。
Examples 9 to 12 and Reference Examples 1 and 2 Example 9
.About.12, and in Reference Examples 1 and 2, composited in the same manner as in Example 8 except that the organic layer was formed by an aqueous solution (5 g / L) of a nitrogen-containing compound or a sulfur-containing compound other than CBTA shown in Table 2. Copper foil was manufactured.

【0088】得られた複合銅箔を、実施例8と同様にし
て評価した。
The resulting composite copper foil was evaluated in the same manner as in Example 8.

【0089】得られた結果を表2に示す。The obtained results are shown in Table 2.

【0090】[0090]

【比較例1〜3】各比較例1〜3において、有機層を表
2に示されるCBTA以外のチッ素含有化合物またはイ
オウ含有化合物の水溶液(5g/L)で形成した以外
は、実施例8と同様にして複合銅箔を製造した。
Comparative Examples 1 to 3 In each of Comparative Examples 1 to 3, Example 8 except that the organic layer was formed by an aqueous solution (5 g / L) of a nitrogen-containing compound or a sulfur-containing compound other than CBTA shown in Table 2. A composite copper foil was manufactured in the same manner as in.

【0091】得られた複合銅箔を、実施例8と同様にし
て評価した。
The obtained composite copper foil was evaluated in the same manner as in Example 8.

【0092】得られた結果を表2に示す。The results obtained are shown in Table 2.

【0093】[0093]

【実施例13〜15】各実施例13〜15において、有
機層を表2に示されるカルボン酸の水溶液(5g/L)
で形成した以外は、実施例8と同様にして複合銅箔を製
造した。
Examples 13 to 15 In each of Examples 13 to 15, the organic layer was an aqueous solution of a carboxylic acid shown in Table 2 (5 g / L).
A composite copper foil was produced in the same manner as in Example 8 except that the copper foil was formed in.

【0094】得られた複合銅箔を、加熱前および180
℃に15分間加熱した後の両方で評価した以外は、実施
例8と同様にして評価した。
The resulting composite copper foil was heated before and 180 °
The evaluation was performed in the same manner as in Example 8 except that the heating was performed at 15 ° C. for 15 minutes and then both were evaluated.

【0095】得られた結果を表2に示す。The obtained results are shown in Table 2.

【0096】[0096]

【比較例4および5】各比較例4〜5において、有機層
を表2に示されるカルボン酸の水溶液(5g/L)で形
成した以外は、実施例8と同様にして複合銅箔を製造し
た。
Comparative Examples 4 and 5 In each of Comparative Examples 4 to 5, a composite copper foil was produced in the same manner as in Example 8 except that the organic layer was formed from the aqueous solution of the carboxylic acid shown in Table 2 (5 g / L). did.

【0097】得られた複合銅箔の支持体分離能力を、製
造直後および180℃に15分間晒した後の両方で評価
した以外は、実施例8と同様にして評価した。
The support separation ability of the obtained composite copper foil was evaluated in the same manner as in Example 8 except that it was evaluated both immediately after production and after exposure to 180 ° C. for 15 minutes.

【0098】得られた結果を表2に示す。The results obtained are shown in Table 2.

【0099】[0099]

【表2】 [Table 2]

【0100】[0100]

【実施例16】支持体金属層として、厚さ35μmの電
解銅箔を用意した。そのマット面側に、以下のようにし
て、有機系剥離層を形成し、次いで銅電着、粗化処理お
よび防錆処理を行った。(A)剥離層形成 35μmの銅箔を、硫酸水溶液(150g/L)中で洗
浄し、次いで蒸留水中で洗浄して残留する酸を除去し
た。次いで、洗浄した銅箔を30℃のカルボキシベンゾ
トリアゾール(CBTA)2g/L溶液に30秒間浸漬
した後に取り出し、脱イオン水中で水洗いしてCBTA
の有機系剥離層を形成した。(B)銅電着 形成された有機系剥離層上に、硫酸銅250g/Lおよ
び硫酸70g/Lを含む硫酸銅電着浴を用いて、浴温4
0℃、電流密度5A/dm2で陰極電解し、3μmの銅
を析出させた。(C)粗化処理 このように形成された極薄銅箔層の表面に従来公知の方
法により、粗化処理を施した。電流密度を上昇させて極
薄銅箔表面に導電性銅微粒子群を形成した。(D)防錆処理 粗化処理が施された極薄銅箔層の表面に従来公知の電着
方法により亜鉛クロメートの防錆処理を施し、複合銅箔
を得た。
Example 16 As a support metal layer, an electrolytic copper foil having a thickness of 35 μm was prepared. An organic release layer was formed on the mat surface side in the following manner, and then copper electrodeposition, roughening treatment and rust prevention treatment were performed. The copper foil of (A) a release layer formed 35 [mu] m, and washed <br/> purification in aqueous solution of sulfuric acid (150g / L), and then removed the acid remaining was washed with distilled water. Then, the washed copper foil is immersed in a 2 g / L solution of carboxybenzotriazole (CBTA) at 30 ° C. for 30 seconds, then taken out, washed with deionized water and washed with CBTA.
The organic release layer of No. 1 was formed. (B) Copper Electrodeposition A copper sulfate electrodeposition bath containing 250 g / L of copper sulfate and 70 g / L of sulfuric acid was used on the formed organic release layer, and the bath temperature was 4
Cathodic electrolysis was performed at 0 ° C. and a current density of 5 A / dm 2 to deposit 3 μm of copper. (C) Roughening treatment The surface of the ultrathin copper foil layer thus formed was subjected to a roughening treatment by a conventionally known method. The current density was increased to form conductive copper fine particles on the surface of the ultrathin copper foil. (D) Anticorrosion treatment The surface of the roughened ultrathin copper foil layer was subjected to anticorrosion treatment with zinc chromate by a conventionally known electrodeposition method to obtain a composite copper foil.

【0101】このようにして得られた複合銅箔を市販の
0.1mmのFR−4プリプレグに積層し、175℃、2
5kg/cm2の条件で60分加熱加圧により成型して銅張
り積層板を得た。
The composite copper foil thus obtained was laminated on a commercially available 0.1 mm FR-4 prepreg, and 175 ° C., 2
The copper-clad laminate was obtained by molding under heat and pressure for 60 minutes under the condition of 5 kg / cm 2 .

【0102】この銅張り積層板を用い、支持体金属層と
して用いられた銅箔を極薄銅箔から引き剥がすときの剥
離強度(A)をJIS−C−6481に準拠して測定し
たところ、0.03kgf/cmであった。このため、銅張
り積層板から支持体の銅箔は容易に引き剥がすことがで
き、かつ適度で均一な接着力であった。
Using this copper-clad laminate, the peel strength (A) when peeling the copper foil used as the support metal layer from the ultrathin copper foil was measured according to JIS-C-6481. It was 0.03 kgf / cm. Therefore, the copper foil of the support could be easily peeled from the copper-clad laminate, and the adhesive strength was appropriate and uniform.

【0103】また、支持体金属層を引き剥がした後に、
銅張り積層板の極薄銅箔に銅メッキを施し、18ミクロ
ン厚にした。これを基材から引き剥がすときの剥離強度
(B)をJIS−C−6481に準拠して測定したとこ
ろ、1.6kgf/cmであった。
Further, after peeling off the support metal layer,
The ultrathin copper foil of the copper-clad laminate was plated with copper to a thickness of 18 μm. The peel strength (B) when peeling this from the substrate was measured according to JIS-C-6481 and was 1.6 kgf / cm.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明に係る複合銅箔の一態様を示す
模式的断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of a composite copper foil according to the present invention.

【図2】図2は、本発明に係る複合銅箔の一態様を示す
模式的断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of the composite copper foil according to the present invention.

【図3】図3は、本発明に係る複合銅箔の一態様を示す
模式的断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of the composite copper foil according to the present invention.

【図4】図4は、本発明に係る複合銅箔の一態様を示す
模式的断面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of the composite copper foil according to the present invention.

【図5】図5は、本発明に係る複合銅箔の一態様を示す
模式的断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of the composite copper foil according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・複合銅箔 2・・支持体金属 3・・有機系剥離層 4・・極薄銅箔 5・・銅張り積層板 6,6'・・基板 7・・プリント配線基板 8,8'・・配線パターン 11・・銅張り積層板 13・・多層プリント配線基板 1 ... Composite copper foil 2 ... Support metal 3 ... Organic release layer 4 ... Ultra-thin copper foil 5 ... Copper clad laminate 6,6 '... Substrate 7 ... Printed wiring board 8, 8 '... Wiring pattern 11 ... Copper-clad laminate ..Multilayer printed wiring boards

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C25D 3/38 102 C25D 3/38 102 7/06 7/06 A H05K 3/00 H05K 3/00 R (72)発明者 杉 岡 晶 子 埼玉県与野市鈴谷4−9−24−212 (72)発明者 吉 岡 淳 志 埼玉県上尾市柏座3−1−48 パーク上 尾2−814 (56)参考文献 特開 平5−138807(JP,A) 特開 平8−1859(JP,A) 特開 昭50−86431(JP,A) 特開 平7−231161(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 1/09 H05K 1/16 H05K 3/00 H05K 3/38 H05K 3/46 C25D 5/00 - 7/12 B32B 15/08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (51) Int.Cl. 7 Identification FI C25D 3/38 102 C25D 3/38 102 7/06 7/06 A H05K 3/00 H05K 3/00 R (72) Inventor Cedar Akiko Oka 4-9-24-212 Suzutani, Yono City, Saitama Prefecture (72) Inventor Atsushi Yoshi Oka 3-4-148, Kashiwaza, Ageo City, Saitama 2-814 Park Ageo (56) Reference Japanese Patent Laid-Open No. 5- 138807 (JP, A) JP-A-8-1859 (JP, A) JP-A-50-86431 (JP, A) JP-A-7-231161 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H05K 1/09 H05K 1/16 H05K 3/00 H05K 3/38 H05K 3/46 C25D 5/00-7/12 B32B 15/08

Claims (31)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 支持体金属層と極薄銅箔との間に、置換
基を有するトリアゾール化合物、メルカプトベンゾチア
ゾール、チオシアヌル酸および2−ベンズイミダゾール
チオールから選択されるイオウ含有化合物、並びにモノ
カルボン酸からなる群から選択される化合物からなる
機系剥離層を有することを特徴とするプリント配線基板
形成用複合銅箔。
1. A replacement is provided between the support metal layer and the ultrathin copper foil.
Group-containing triazole compounds, mercaptobenzothia
Zole, thiocyanuric acid and 2-benzimidazole
Sulfur-containing compounds selected from thiols, as well as mono
A composite copper foil for forming a printed wiring board, which has an organic release layer made of a compound selected from the group consisting of carboxylic acids .
【請求項2】 前記有機系剥離層が、支持体金属層およ
び極薄銅箔と化学結合可能であり、かつ前記極薄銅箔を
前記支持体上に均一に電着し得る有機化合物から形成さ
れており、かつ前記複合銅箔を前記極薄銅箔側から15
0℃以上の温度で基材に積層した場合、該極薄銅箔から
の前記支持体金属層の剥離強度(A)が、前記基材から
の該極薄銅箔の剥離強度(B)よりも小さく、これによ
って積層後の複合銅箔からの前記支持体金属層の剥離が
可能であることを特徴とする請求項1記載のプリント配
線基板形成用複合銅箔。
2. The organic release layer is formed of an organic compound that can be chemically bonded to the support metal layer and the ultrathin copper foil, and can evenly electrodeposit the ultrathin copper foil on the support. And the composite copper foil from the ultra-thin copper foil side 15
When laminated on a substrate at a temperature of 0 ° C. or higher, the peel strength (A) of the support metal layer from the ultrathin copper foil is greater than the peel strength (B) of the ultrathin copper foil from the substrate. The composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 1, wherein the support metal layer can be peeled off from the composite copper foil after lamination.
【請求項3】 前記置換基を有するトリアゾール化合物
が、カルボキシベンゾトリアゾール、N',N'-ビス(ベン
ゾトリアゾリルメチル)ユリアおよび3-アミノ-1H-1,2,
4-トリアゾールからなる群から選択されることを特徴と
する請求項1または2に記載のプリント配線基板形成用
複合銅箔。
3. The triazole compound having a substituent is carboxybenzotriazole, N ′, N′-bis (benzotriazolylmethyl) urea or 3-amino-1H-1,2,
The composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 1, which is selected from the group consisting of 4-triazole.
【請求項4】 前記モノカルボン酸が、オレイン酸、リ
ノール酸およびリノレイン酸からなる群から選択される
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配
線基板形成用複合銅箔。
Wherein said monocarboxylic acid is oleic acid, the printed wiring board for forming a composite copper foil according to claim 1 or 2, characterized in that it is selected from the group consisting of linoleic acid and linolenic acid.
【請求項5】 前記剥離強度(A)が、0.005〜
0.3kgf/cmの範囲内にあることを特徴とする請求項2
〜4の何れか1項に記載のプリント配線基板形成用複合
銅箔。
Wherein said peel strength (A) is 0.005
3. It is within the range of 0.3 kgf / cm.
5. A composite copper foil for forming a printed wiring board according to any one of items 4 to 4.
【請求項6】 前記支持体金属層が、銅または銅合金で
あることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載
のプリント配線基板形成用複合銅箔。
Wherein said support metal layer, the printed wiring board for forming a composite foil according to any one of claims 1 to 5, wherein the copper or copper alloy.
【請求項7】 前記支持体金属層が、銅被覆アルミニウ
ムであることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に
記載のプリント配線基板形成用複合銅箔。
Wherein said support metal layer, the printed wiring board for forming a composite foil according to any one of claims 1 to 5, wherein the copper-coated aluminum.
【請求項8】 前記極薄銅箔が、12μm以下の厚さで
あることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載
のプリント配線基板形成用複合銅箔。
Wherein said ultra-thin copper foil, printed circuit board for forming a composite copper foil as claimed in any one of claims 1-7, characterized in that a thickness of less than 12 [mu] m.
【請求項9】 前記支持体金属層が、5mm以下の厚さ
であることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記
載のプリント配線基板形成用複合銅箔。
9. The composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 1, wherein the support metal layer has a thickness of 5 mm or less.
【請求項10】 前記支持体金属層が、18〜70μm
の厚さであることを特徴とする請求項9記載のプリント
配線基板形成用複合銅箔。
Wherein said support metal layer, 18~70Myuemu
The composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 9, wherein the composite copper foil has the following thickness.
【請求項11】 前記極薄銅箔の表面が、前記剥離強度
(B)を向上させるために、粗化処理されていることを
特徴とする請求項2〜10の何れか1項に記載のプリン
ト配線基板形成用複合銅箔。
11. The surface of the ultrathin copper foil is subjected to a roughening treatment in order to improve the peel strength (B), according to any one of claims 2 to 10. Composite copper foil for printed wiring board formation.
【請求項12】 前記極薄銅箔の表面が、酸化を防止す
るために、防錆処理されていることを特徴とする請求項
1〜11の何れか1項に記載のプリント配線基板形成用
複合銅箔。
12. The surface of the ultra-thin copper foil, in order to prevent oxidation, for a printed wiring board formed according to any one of claims 1 to 11, characterized in that it is rust Composite copper foil.
【請求項13】 請求項1〜12の何れか1項に記載の
プリント配線基板形成用複合銅箔が絶縁基材に積層され
ていることを特徴とする銅張り積層板。
13. A copper-clad laminate, wherein the composite copper foil for forming a printed wiring board according to any one of claims 1 to 12 is laminated on an insulating base material.
【請求項14】 前記銅張り積層板の複合銅箔から前記
支持体金属層が剥離されていることを特徴とする請求項
13記載の銅張り積層板。
14. The copper-clad laminate according to claim 13, wherein the support metal layer is separated from the composite copper foil of the copper-clad laminate.
【請求項15】 請求項14に記載の銅張り積層板の極
薄銅箔上に配線パターンが形成されたことを特徴とする
プリント配線板。
15. A printed wiring board having a wiring pattern formed on the ultrathin copper foil of the copper-clad laminate according to claim 14.
【請求項16】 予め配線パターンが形成された内層板
の少なくとも片面に、請求項1〜12の何れか1項に記
載の複合銅箔を積層して銅張り積層板を形成し、該銅張
り積層板から前記支持体金属層を剥離して前記極薄銅箔
を露出させ、かつ該極薄銅箔上に配線パターンを形成す
ることにより多層化して製造されることを特徴とする多
層プリント配線板。
16. A copper-clad laminate is formed by laminating the composite copper foil according to claim 1 on at least one surface of an inner layer plate on which a wiring pattern is formed in advance, and forming the copper-clad laminate. A multilayer printed wiring characterized in that the support metal layer is peeled off from the laminate to expose the ultra-thin copper foil, and a wiring pattern is formed on the ultra-thin copper foil to produce a multi-layer printed wiring. Board.
【請求項17】 請求項15または16に記載のプリン
ト配線板を複数積層して形成されることを特徴とする多
層プリント配線板。
17. A multilayer printed wiring board formed by stacking a plurality of the printed wiring boards according to claim 15 or 16.
【請求項18】 前記支持体金属層に、置換基を有する
トリアゾール化合物、メルカプトベンゾチアゾール、チ
オシアヌル酸および2−ベンズイミダゾールチオールか
ら選択されるイオウ含有化合物、並びにモノカルボン酸
からなる群から選択される化合物からなる有機系剥離層
を均一に形成する工程と、この有機系剥離層の上に極薄
銅箔層を電着する工程とを含むことを特徴とするプリン
ト配線基板形成用複合銅箔の製造方法。
18. The support metal layer has a substituent.
Triazole compound, mercaptobenzothiazole, thiazole
Ocyanuric acid and 2-benzimidazole thiol
Sulfur-containing compounds selected from monocarboxylic acids
A printed wiring comprising a step of uniformly forming an organic release layer made of a compound selected from the group consisting of, and a step of electrodepositing an ultrathin copper foil layer on the organic release layer. Manufacturing method of composite copper foil for substrate formation.
【請求項19】 前記有機系剥離層が、前記支持体金属
層および極薄銅箔と化学結合可能で、前記極薄銅箔を前
記支持体上に均一に電着できる有機化合物から形成され
ており、かつ前記複合銅箔を前記極薄銅箔側から150
℃以上の温度で基材に積層した場合、該極薄銅箔からの
前記支持体金属層の剥離強度(A)が、前記基材からの
該極薄銅箔の剥離強度(B)よりも小さく、これによっ
て積層後の複合銅箔からの前記支持体金属層の剥離が可
能であることを特徴とする請求項18記載のプリント配
線基板形成用複合銅箔の製造方法。
19. The organic release layer is formed of an organic compound capable of being chemically bonded to the support metal layer and the ultrathin copper foil, and capable of uniformly electrodepositing the ultrathin copper foil on the support. And the composite copper foil from the ultra-thin copper foil side by 150
When laminated on a substrate at a temperature of ℃ or more, the peel strength (A) of the support metal layer from the ultrathin copper foil is higher than the peel strength (B) of the ultrathin copper foil from the substrate. 19. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 18, wherein the composite metal foil is small, and the support metal layer can be peeled from the composite copper foil after lamination.
【請求項20】 前記有機系剥離層が、前記支持体金属
層を前記有機化合物の水溶液に浸漬して、該支持体金属
層に結合する該有機化合物の薄層を形成することで得ら
れることを特徴とする請求項18または19に記載のプ
リント配線基板形成用複合銅箔の製造方法。
20. The organic release layer is obtained by immersing the support metal layer in an aqueous solution of the organic compound to form a thin layer of the organic compound bonded to the support metal layer. 20. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 18 or 19.
【請求項21】 前記置換基を有するトリアゾール化合
物が、カルボキシベンゾトリアゾール、N',N'-ビス(ベ
ンゾトリアゾリルメチル)ユリアおよび3-アミノ-1H-1,
2,4-トリアゾールからなる群から選択されることを特徴
とする請求項18〜20の何れか1項に記載のプリント
配線基板形成用複合銅箔の製造方法。
21. The triazole compound having a substituent is carboxybenzotriazole, N ′, N′-bis (benzotriazolylmethyl) urea or 3-amino-1H-1,
21. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 18, wherein the method is selected from the group consisting of 2,4-triazole.
【請求項22】 前記モノカルボン酸が、オレイン酸、
リノール酸およびリノレイン酸からなる群から選択され
ることを特徴とする請求項18〜20の何れか1項に記
載のプリント配線基板形成用複合銅箔の製造方法。
22. The monocarboxylic acid is oleic acid,
21. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 18, wherein the method is selected from the group consisting of linoleic acid and linoleic acid.
【請求項23】 前記電着で実質的に酸を含まない電解
液浴を用いることを特徴とする請求項18〜22の何れ
か1項に記載のプリント配線基板形成用複合銅箔の製造
方法。
23. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 18, wherein an electrolytic solution bath containing substantially no acid is used in the electrodeposition. .
【請求項24】 前記電解液浴がシアン化銅またはピロ
リン酸銅を含むことを特徴とする請求項23記載のプリ
ント配線基板形成用複合銅箔の製造方法。
24. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 23, wherein the electrolytic solution bath contains copper cyanide or copper pyrophosphate.
【請求項25】 前記極薄銅箔の厚さが少なくとも0.
5μmであることを特徴とする請求項18〜24の何れ
か1項に記載のプリント配線基板形成用複合銅箔の製造
方法。
25. The ultrathin copper foil has a thickness of at least 0.
It is 5 micrometers, The manufacturing method of the composite copper foil for printed wiring board formation in any one of Claims 18-24 characterized by the above-mentioned.
【請求項26】 前記電着でシアン化銅またはピロリン
酸銅を含む一次電解液浴を用いて、前記支持体上に形成
された有機系剥離層上に銅を電着させて第一層を形成
し、次いで更に硫酸銅および硫酸を含む二次電解液浴を
用いて、前記第一層上に銅を電着させて第二層を形成す
ることにより極薄銅箔を形成することを特徴とする請求
項24または25に記載のプリント配線基板形成用複合
銅箔の製造方法。
26. The first layer is formed by electrodepositing copper on the organic release layer formed on the support by using a primary electrolytic solution bath containing copper cyanide or copper pyrophosphate in the electrodeposition. An ultrathin copper foil is formed by forming a second layer by electrolytically depositing copper on the first layer using a secondary electrolyte bath containing copper sulfate and sulfuric acid. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 24 or 25.
【請求項27】 前記第一層が少なくとも0.5μmの
厚さであり、前記第一層および第二層の合計厚さが12
μm以下であることを特徴とする請求項26記載のプリ
ント配線基板形成用複合銅箔の製造方法。
27. The first layer is at least 0.5 μm thick, and the total thickness of the first and second layers is 12.
27. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 26, wherein the method is not more than μm.
【請求項28】 前記電着で硫酸銅および硫酸を含む電
解液浴を用いることを特徴とする請求項18〜22の何
れか1項に記載のプリント配線基板形成用複合銅箔の製
造方法。
28. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 18, wherein an electrolytic solution bath containing copper sulfate and sulfuric acid is used in the electrodeposition.
【請求項29】 前記極薄銅箔の表面を粗化処理する工
程を更に含むことを特徴とする請求項18〜22の何れ
か1項に記載のプリント配線基板形成用複合銅箔の製造
方法。
29. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 18, further comprising a step of roughening the surface of the ultrathin copper foil. .
【請求項30】 前記極薄銅箔の表面を防錆処理する工
程を更に含むことを特徴とする請求項29記載のプリン
ト配線基板形成用複合銅箔の製造方法。
30. The method for producing a composite copper foil for forming a printed wiring board according to claim 29, further comprising a step of subjecting the surface of said ultrathin copper foil to rust prevention treatment.
【請求項31】 前記防錆処理が、亜鉛、クロム酸亜
鉛、ニッケル、スズ、コバルトおよびクロムからなる群
から選択される少なくとも一種を電着させる工程を含む
ことを特徴とする請求項30記載のプリント配線基板形
成用複合銅箔の製造方法。
31. The method according to claim 30, wherein the anticorrosion treatment includes a step of electrodepositing at least one selected from the group consisting of zinc, zinc chromate, nickel, tin, cobalt and chromium. A method for manufacturing a composite copper foil for forming a printed wiring board.
JP00992699A 1998-01-19 1999-01-18 Composite copper foil, method for producing the same, copper-clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil Expired - Lifetime JP3392066B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP00992699A JP3392066B2 (en) 1998-01-19 1999-01-18 Composite copper foil, method for producing the same, copper-clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015098 1998-01-19
JP10-20150 1998-01-19
JP09/039960 1998-01-19
US09/039,960 US6319620B1 (en) 1998-01-19 1998-03-16 Making and using an ultra-thin copper foil
US09/039960 1998-03-16
JP00992699A JP3392066B2 (en) 1998-01-19 1999-01-18 Composite copper foil, method for producing the same, copper-clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11317574A JPH11317574A (en) 1999-11-16
JP3392066B2 true JP3392066B2 (en) 2003-03-31

Family

ID=27278705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP00992699A Expired - Lifetime JP3392066B2 (en) 1998-01-19 1999-01-18 Composite copper foil, method for producing the same, copper-clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3392066B2 (en)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3743702B2 (en) 2000-04-28 2006-02-08 三井金属鉱業株式会社 Semi-additive manufacturing method for printed wiring boards
JP3973197B2 (en) 2001-12-20 2007-09-12 三井金属鉱業株式会社 Electrolytic copper foil with carrier foil and method for producing the same
EP1481796B1 (en) 2002-03-05 2015-08-19 Hitachi Chemical Co., Ltd. Metal foil with resin and metal-clad laminate, and printed wiring board using the same and method for production thereof
JP4187465B2 (en) * 2002-05-29 2008-11-26 三井化学株式会社 Polyimide copper clad laminate using ultra-thin copper foil and method for producing the same
JP2004042579A (en) * 2002-07-16 2004-02-12 Ube Ind Ltd Copper clad laminate and method for producing the same
JP2007216687A (en) * 2007-04-20 2007-08-30 Ube Ind Ltd Copper-clad laminate manufacturing method, electronic component substrate manufacturing method
EP2240005A1 (en) * 2009-04-09 2010-10-13 ATOTECH Deutschland GmbH A method of manufacturing a circuit carrier layer and a use of said method for manufacturing a circuit carrier
JP5925582B2 (en) * 2012-04-27 2016-05-25 セーレン株式会社 Perforated metal foil with carrier and method for manufacturing the same
JP5842077B1 (en) * 2015-07-01 2016-01-13 三井金属鉱業株式会社 Copper foil with carrier, copper-clad laminate and printed wiring board
CN107696665B (en) * 2017-10-20 2020-06-26 生益电子股份有限公司 Control method and device for automatic lamination of PCB
JP7032578B2 (en) * 2019-01-11 2022-03-08 三井金属鉱業株式会社 Laminate
JP7259093B2 (en) * 2020-02-04 2023-04-17 三井金属鉱業株式会社 Roughened copper foil, copper foil with carrier, copper clad laminate and printed wiring board
KR102832557B1 (en) * 2020-02-04 2025-07-11 미쓰이금속광업주식회사 Copper foil with harmonic treatment, copper foil with carrier, copper-clad laminate and printed wiring board

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11317574A (en) 1999-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0930811B1 (en) Composite copper foil, process for preparing the same, and copper-clad laminate and printed wiring board using the same
KR100389468B1 (en) Resin-coated composite foil, production and use thereof
JP3180101B2 (en) Composite foil, copper-clad laminate, printed wiring board and multilayer printed wiring board, and method for producing composite foil
US4357395A (en) Transfer lamination of vapor deposited foils, method and product
US3936548A (en) Method for the production of material for printed circuits and material for printed circuits
KR100595381B1 (en) Composite copper foil, manufacturing method thereof and copper clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil
KR102694343B1 (en) Copper foil for manufacturing printed wiring boards, copper foil and copper-clad laminate having a carrier, and method for manufacturing printed wiring boards using them
JP3392066B2 (en) Composite copper foil, method for producing the same, copper-clad laminate and printed wiring board using the composite copper foil
EP1102524A1 (en) Double-sided printed wiring board and method for manufacturing multilayer printed wiring board having three or more layers
CN101827495B (en) Composite metal foil and manufacturing method thereof and printed wiring board
US5447619A (en) Copper foil for the manufacture of printed circuit boards and method of producing the same
CN108029202B (en) Manufacturing method of printed circuit board
TWI853007B (en) Metal foil for printed wiring board, carrier metal foil and metal-clad laminate, and method for producing printed wiring board using the same
KR102746877B1 (en) Method for manufacturing printed wiring boards
JP2005288856A (en) Electrolytic copper foil with carrier foil, method for producing the same, and copper-clad laminate using the electrolytic copper foil with carrier foil
JPH02113591A (en) Manufacture of printed-wiring board
EP0996318B1 (en) Novel composite foil, process for producing the same and copper-clad laminate
JP3615973B2 (en) Novel composite foil and manufacturing method thereof, copper-clad laminate
WO1997004627A1 (en) Copper foil for the manufacture of printed circuits and method of producing same
JP2000315848A (en) Method for producing copper-clad laminate and printed wiring board
JPH02266594A (en) Manufacture of multilayer printed wiring board
HK1021287A (en) Composite copper foil, process for preparing the same, and copper-clad laminate and printed wiring board using the same
JP2004169083A (en) Resistance copper layer, laminated material having resistance copper layer, and method of manufacturing insulating base material having resistance copper layer
JPH07154055A (en) Production of printed wiring board

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080124

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090124

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100124

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100124

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110124

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110124

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120124

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120124

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130124

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130124

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140124

Year of fee payment: 11

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term