JP3394066B2 - 放電加工用電極送り装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放電加工用電極送り装
置に関するもので、特に、電極のみを送り出す機能を有
する電極送り装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、放電加工機の電極送り装置と
しては、圧電素子の伸縮を利用して電極を移動させ、電
極をワークに近接させて放電加工するものが知られてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな放電加工機は、銅等の柔らかい材質または筒状の剛
性の低い電極をクランプすると、クランプ圧力により電
極が変形し、この変形により電極の送り戻しが不安定に
なり、放電加工の精度が低下する。さらに、圧電素子へ
の印加電圧を一定にし、圧電素子の振動周波数を変化さ
せた場合、高周波数では圧電素子の振幅が減少し、クラ
ンプ圧力が低下し、電極の送り戻しが不安定になるとい
う問題がある。

【０００４】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたもので、圧電素子による電極のクランプ圧
力を所定の値に保持し、周波数全域での電極の安定した
送り戻しが可能な放電加工用電極送り装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の請求項１記載の放電加工用電極送り装置は、
ハウジングに収容され、電極の軸方向に平行に伸縮可能
に設けられる積層型の第１軸方向圧電素子と、前記第１
軸方向圧電素子の自由端に固定され、前記ハウジングに
対し電極の軸方向に移動可能なケースと、前記ケースに
収容され、電極の径方向に伸縮可能な積層型の第２径方
向圧電素子と、前記第２径方向圧電素子の自由端に当接
し、前記第２径方向圧電素子の伸長動作および収縮動作
に応じて電極を圧着および離脱する第１電気絶縁体と、
前記第２径方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応
じて前記第１電気絶縁体が電極を圧着および離脱する圧
力を測定し、電気信号に変換して出力する第１の圧力検
知手段と、この第１の圧力検知手段から出力される電気
信号を前記第２径方向圧電素子に印加される電圧にフィ
ードバックさせる第１の電圧フィードバック手段と、前
記ハウジングに収容され、電極の径方向に伸縮可能な積
層型の第３径方向圧電素子と、前記第３径方向圧電素子
の自由端に当接し、前記第３径方向圧電素子の伸長動作
および収縮動作に応じて電極を圧着および離脱する第２
電気絶縁体と、前記第３径方向圧電素子の伸長動作およ
び収縮動作に応じて前記第２電気絶縁体が電極を圧着お
よび離脱する圧力を測定し、電気信号に変換して出力す
る第２の圧力検知手段と、この第２の圧力検知手段から
出力される電気信号を前記第３径方向圧電素子に印加さ
れる電圧にフィードバックさせる第２の電圧フィードバ
ック手段と、前記電極を加工方向に送る工程において、
前記第１軸方向圧電素子が加工方向に伸長するとき、前
記第１電気絶縁体は前記電極を圧着し、前記第２電気絶
縁体は前記電極を離脱しており、前記第１軸方向圧電素
子が収縮するとき、前記第１電気絶縁体は前記電極を離
脱し、前記第２電気絶縁体は前記電極を圧着し、前記電
極を加工方向から戻す工程において、前記第１軸方向圧
電素子が加工方向に伸長するとき、前記第１電気絶縁体
は前記電極を離脱し、前記第２電気絶縁体は前記電極を
圧着しており、前記第１軸方向圧電素子が収縮すると
き、前記第１電気絶縁体は前記電極を圧着し、前記第２
電気絶縁体は前記電極を離脱するように各圧電素子に加
える電圧を制御する制御手段とを備えたことを特徴とす
る。本発明の請求項２記載の放電加工用電極送り装置
は、ハウジングに収容され、電極の軸方向に平行に伸縮
可能に設けられる積層型の第１軸方向圧電素子と、前記
第１軸方向圧電素子の自由端に固定され、前記ハウジン
グに対し電極の軸方向に移動可能なケースと、前記ケー
スに収容され、電極の径方向に伸縮可能な積層型の第２
径方向圧電素子と、前記第２径方向圧電素子の自由端に
当接し、前記第２径方向圧電素子の伸長動作および収縮
動作に応じて電極を圧着および離脱する第１電気絶縁体
と、前記第２径方向圧電素子の伸長動作および収縮動作
に応じて前記第１電気絶縁体が電極を圧着および離脱す
る圧力を測定し、電気信号に変換して出力する第１の圧
力検知手段と、この第１の圧力検知手段から出力される
電気信号を前記第２径方向圧電素子に印加される電圧に
フィードバックさせる第１の電圧フィードバック手段
と、前記ハウジングに収容され、電極の径方向に伸縮可
能な積層型の第３径方向圧電素子と、前記第３径方向圧
電素子の自由端に当接し、前記第３径方向圧電素子の伸
長動作および収縮動作に応じて電極を圧着および離脱す
る第２電気絶縁体と、 前記第３径方向圧電素子の伸長動
作および収縮動作に応じて前記第２電気絶縁体が電極を
圧着および離脱する圧力を測定し、電気信号に変換して
出力する第２の圧力検知手段と、この第２の圧力検知手
段から出力される電気信号を前記第３径方向圧電素子に
印加される電圧にフィードバックさせる第２の電圧フィ
ードバック手段と、前記電極を加工方向に送る工程にお
いて、前記第１軸方向圧電素子が加工方向と反対方向に
伸長するとき、前記第１電気絶縁体は前記電極を離脱
し、前記第２電気絶縁体は前記電極を圧着しており、前
記第１軸方向圧電素子が収縮するとき、前記第１電気絶
縁体は前記電極を圧着し、前記第２電気絶縁体は前記電
極を離脱し、前記電極を加工方向から戻す工程におい
て、前記第１軸方向圧電素子が加工方向と反対方向に伸
長するとき、前記第１電気絶縁体は前記電極を圧着し、
前記第２電気絶縁体は前記電極を離脱しており、前記第
１軸方向圧電素子が収縮するとき、前記第１電気絶縁体
は前記電極を離脱し、前記第２電気絶縁体は前記電極を
圧着するように各圧電素子に加える電圧を制御する制御
手段とを備えたことを特徴とする。

【０００６】

【作用】本発明の放電加工用電極送り装置によれば、電
極の径方向に伸縮可能な第２径方向圧電素子および第３
径方向圧電素子が電極をクランプする圧力を測定する圧
力検知手段を設け、第２径方向圧電素子および第３径方
向圧電素子に印加するパルス信号にこの圧力検知手段か
らの信号をフィードバックさせることにより、電極のク
ランプ圧力を所定の値に保持する。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。本発明の放電加工用電極送り装置を穴あけ放電加
工機の電極送り装置に適用した第１実施例を図１〜図６
に示す。図２に示すように、電極送り装置１は、ハウジ
ング２の電極挿通用の穴３に電極４が挿通されている。
図２において穴３を中心として左右対称の構成であるか
ら、説明の都合上、まず、穴３の右側半分の構成につい
て説明する。

【０００８】ハウジング２には、電極４の軸方向に平行
に円筒状の圧電素子取付け用穴５が形成され、この穴底
５ａに第１軸方向圧電素子７の一端７ａが固定され、内
周壁５ｂに第１軸方向圧電素子７が電極４の軸方向に摺
動可能に収容され、ケ−ス８に他端７ｂが固定されてい
る。第１軸方向圧電素子７は円板状の圧電素子が板厚方
向に積層されて形成される。

【０００９】ケース８は、頂面８ａおよび底面８ｂがハ
ウジング２に対し電極４の軸方向に摺動可能に収容され
る。図３に示すように、ケース８の円筒状の穴１０に
は、穴底１０ａに圧力センサ５０が固定されている。圧
力センサ５０は圧電素子を積層したもので、圧電素子の
圧電効果を利用して圧力を検出し、圧力変化に応じた電
気信号を出力する。圧力センサ５０の上には電気絶縁板
５１が固定され、その上に第２径方向圧電素子１２の一
端１２ａが固定されている。第２径方向圧電素子１２の
他端１２ｂは電気絶縁体１４に固定されている。

【００１０】ケース８に収容される一対の電気絶縁体１
４、１５および給電電極４３は、電極４を挟んで上下に
設けられている。給電電極４３は上側の電気絶縁体１５
の底面の凹部に嵌合されている。下側の電気絶縁体１４
の底面１４ａは第２径方向圧電素子１２の他端１２ｂに
固定される。上側の電気絶縁体１５の頂面１５ａはケー
ス８に固定される。電気絶縁体１４の頂面ならびに給電
電極４３の底面には、電極４を挟み込み可能に円弧状の
凹部１４ｂおよび凹部４３ｂが形成される。

【００１１】図２に示すように、ハウジング２の端面２
ａに固定されるハウジング１８は、電極４の径方向に円
筒状の穴２１が形成される。図４に示すように、円筒状
の穴２１には、穴底２１ａに圧力センサ５２が固定され
ている。圧力センサ５２は圧電素子を積層したもので、
圧電素子の圧電効果を利用して圧力を検出し、圧力変化
に応じた電気信号を出力する。圧力センサ５２の上には
電気絶縁体５３が固定され、その上に第３径方向圧電素
子２０の一端２０ａが固定されている。第３径方向圧電
素子２０の他端２０ｂは電気絶縁体２２に固定されてい
る。

【００１２】電気絶縁体２２および給電電極４４は、前
述した電気絶縁体１４および給電電極４３と同様の構成
で、その頂面および底面にそれぞれ電極４を掴み込み可
能な円弧状の凹部２２ｂおよび凹部４４ｂを有してい
る。また、図２に示すように、ハウジング１８の端面に
は、電極４を挿通可能な案内孔２５ａをもつ電極ガイド
２５が固定されている。

【００１３】第２径方向圧電素子１２および第３径方向
圧電素子２０は、それぞれ積層状のもので、通電時積層
方向に伸長し、電気絶縁体１４、電気絶縁体２２がそれ
ぞれ上昇し、給電電極４３、給電電極４４とでそれぞれ
電極４を挟み込む。電気絶縁体１４、電気絶縁体２２
は、電極４が挿嵌される溝部が形成され、この溝部は、
両端が口拡されて、電極４の挿入が容易となるようにな
っている。

【００１４】図２の右側半分に示す圧電素子群の伸縮動
作により電極４がクランプされる圧力を制御する図１に
示すシステムは、クランプ電圧生成回路１０１、クラン
プ圧力検知回路１０２、クランプ電圧フィードバック回
路１０３で構成される。クランプ電圧生成回路１０１
は、パルス信号を発生するパルス信号発生回路６１、パ
ルス信号発生回路６１に後続しこのパルス信号の位相を
変換する位相変換回路６２、位相変換回路６２に後続し
位相変換されたパルス信号の電圧を増幅する増幅回路６
３、６４および６５で構成される。増幅回路６３、６４
および６５で増幅されたパルス信号は、それぞれ第１軸
方向圧電素子７、第２径方向圧電素子１２および第３径
方向圧電素子２０に印加される。

【００１５】クランプ圧力検知回路１０２は、圧力を電
気信号に変換する圧力センサ５０および５２で構成され
る。クランプ電圧フィードバック回路１０３は、圧力セ
ンサ５０および５２に後続する増幅回路７１および８
１、増幅回路７１および８１に後続するローパスフィル
タ７２および８２、基準電圧発生回路７３および８３で
構成される。

【００１６】以上図２における穴３の右側半分の電極送
り装置の構成について説明したが、左側半分の構成につ
いては右側半分の構成と同様であるので実質的に同一構
成部分には同一符号を付し、説明を省略する。また、左
側半分の圧電素子群により電極４がクランプされる圧力
を制御するシステムは右側半分のシステムと同一構成な
ので図示しない。なお、左半分の構成に示す第１軸方向
圧電素子２７、第２径方向圧電素子３２、第３径方向圧
電素子４０および給電電極４１、４２は、それぞれ第１
軸方向圧電素子７、第２径方向圧電素子１２、第３径方
向圧電素子２０および給電電極４４、４３に対応してい
る。

【００１７】前記第１実施例において、第１軸方向圧電
素子７、２７、第２径方向圧電素子１２、３２および第
３径方向圧電素子２０、４０を右側と左側とで一対ずつ
合計２セットの圧電素子群を設けたのは、右側の第１セ
ットの圧電素子群で送り動作を行い、左側の第２セット
の圧電素子群で戻し動作を行い、送り機能と戻し機能と
を分担するためである。これは、電極の送り時および戻
し時に電極４に引張力のみを作用することにより電極４
のたるみを防止し定量送りを的確に行うためである。ま
た第１セットおよび第２セットがそれぞれ一方向のみ、
つまり互いに相反する方向の一方向のみに送り機能ある
いは戻し機能のみを有することで、圧電素子の通電時に
電極定量送りの精度が向上する。

【００１８】前記第１実施例では、２セットの圧電素子
群を設けたが、本発明としては１セットの圧電素子群に
よっても前述した目的を達成できることはもちろんであ
る。次に、前記第１実施例による放電加工動作を説明す
る。図５に示すように、電極送り装置１の初期状態で
は、第１軸方向圧電素子７、２７、第２径方向圧電素子
１２、３２および第３径方向圧電素子２０、４０がすべ
てオフ状態にある。次いで、第２径方向圧電素子１２を
オンし、図２に示す電気絶縁体１４、給電電極４３を図
５に示す（ａ）で閉じる。次いで、第１軸方向圧電素子
７を図５に示す（ｂ）でオンする。すると、第１軸方向
圧電素子７の伸長により図２に示すケース８が図２で右
方向に移動し、電気絶縁体１４、給電電極４３とともに
電極４が送り方向（右方向）に移動する。次いで、第３
径方向圧電素子２０を図５に示す（ｃ）でオンし、第２
径方向圧電素子１２を図５に示す（ｄ）でオフにする。
次に第１軸方向圧電素子７を図５に示す（ｅ）でオフに
する。すると、電極４がその位置に保持された状態で、
電気絶縁体１４、給電電極４３が開かれた状態になり第
１軸方向圧電素子７の収縮によりケース８が図２に示す
初期状態に戻る。前記図５に示す（ａ）から（ｅ）まで
の一連の動作を繰り返すことで電極４を必要量だけ送り
出す。

【００１９】電極４の送り量の微調整は、初期状態から
第２径方向圧電素子１２をオンし、次いで第１軸方向圧
電素子７へのアナログ電圧のオンによりこの電圧調整に
よって第１軸方向圧電素子７の伸長量を微調整し、これ
にともない電極４の送り量を最終的に微調整する。ま
た、電極４と図示しないワーク間で放電させ、放電加工
による穴あけを行わせるための電極４への放電電圧印加
は、第２径方向圧電素子１２または、第３径方向圧電素
子２０のオン時に行われる。図示しない元電源にて発生
する供給電圧は、図示しないスイッチング回路により、
給電電極４３、４４を経て電極４に印加される。またス
イッチング回路から給電電極４３、４４への電圧印加オ
ン、オフは、図５に示すように、給電電極４３または給
電電極４４が電極４に確実に接触しているときに行わ
れ、給電電極４３または給電電極４４と電極４の間の放
電等の原因となる電気導通不良を抑制している。

【００２０】図２に示すように、穴あけ加工終了後、第
２セットの第１軸方向圧電素子２７、第２径方向圧電素
子３２および第３径方向圧電素子４０の伸縮動作によっ
て電極４の戻し動作を行う。電極４の戻し時、前述した
図２に示す右側半分の第１セットの第１軸方向圧電素子
７、第２径方向圧電素子１２および第３径方向圧電素子
２０はオフにする。図２に示す左側半分の第２セットに
よる戻し動作は、図５に示すような初期状態から（ｅ）
までの一連の動作を図２に示す第２セットの圧電素子２
７、３２および４０で繰り返すことにより必要戻し量だ
けこれら一連の動作を繰り返す。これにより、ワークへ
の一穴加工を終了する。

【００２１】次に、電極４のクランプ圧力を電気信号に
し、この電気信号を第２径方向圧電素子１２、３２およ
び第３径向圧電素子２０、４０に印加されるパルス信号
にフィードバックさせる動作について、以下に説明す
る。図２に示すように、電極送り装置１は穴３を中心と
して左右対称の構成であり、電極４を送り戻しする方向
以外の動作は左右で同じである。さらに、右側半分の第
２径方向圧電素子１２と第３径方向圧電素子２０とによ
る電極４のクランプ動作は、クランプするタイミングが
異なるだけなので、説明の都合上、まず、穴３の右側半
分の第２径方向圧電素子１２へのフィードバック動作に
ついて説明する。

【００２２】図１に示すパルス信号発生回路６１で生成
されたパルス信号は、位相変換回路６２に供給される。
位相変換回路６２では、図５に示す第１軸方向圧電素子
７、第２径方向圧電素子１２および第３径方向圧電素子
２０に印加する位相の異なるパルス信号にパルス信号発
生回路６１で生成されたパルス信号を変換する。位相の
異なる各パルス信号は、図１に示す増幅回路６３、６４
および６５に供給され、第１軸方向圧電素子７、第２径
方向圧電素子１２および第３径方向圧電素子２０の伸縮
動作に必要な電圧に増幅されて、第１軸方向圧電素子
７、第２径方向圧電素子１２および第３径方向圧電素子
２０に印加される。

【００２３】第２径方向圧電素子１２は、図６に示すパ
ルス信号２０１により伸縮を繰り返す。図１に示す第２
径方向圧電素子１２は、図６に示すパルス信号２０１の
周波数により伸縮速度が決定され、パルス信号２０１の
電圧により図１に示す電極４をクランプする圧力の強さ
が決定される。次に、第２径方向圧電素子１２の伸縮に
応じて電極４がクランプされる圧力が圧力センサ５０で
検知され、図６に示すように、電気信号の圧力センサ出
力信号２０２として出力される。この圧力センサ出力信
号２０２は、図１に示す増幅器７１で所定の電圧に増幅
され、ローパスフィルタ７２で平均化され、図６に示す
平均圧力信号２０３として出力される。この平均圧力信
号２０３と図１に示す基準電圧発生回路７３から供給さ
れる電極４の所定のクランプ圧力を示す基準電圧値との
差分がとられ、この差分電圧が位相変換回路６２から増
幅回路６５に供給されるパルス信号にフィードバックさ
れる。増幅回路６５では、電極４を所定の圧力でクラン
プできるように、第２径方向圧電素子１２に印加するパ
ルス信号の電圧を差分電圧に応じて制御する。

【００２４】これにより、基準電圧発生回路７３で設定
された基準電圧値に対応する電極４の所定のクランプ圧
力を保持できるとともに基準電圧発生回路７３で基準電
圧値を変更することにより、所望の圧力で電極４をクラ
ンンプできる。第３径方向圧電素子２０へのフィードバ
ック動作は、第２径方向圧電素子１２と位相の異なるパ
ルス信号が印加される以外は、第２径方向圧電素子１２
へのフィードバック動作と同じである。第３径方向圧電
素子２０、圧力センサ５２、増幅回路８１、ローパスフ
ィルタ８２および基準電圧回路８３の動作は、それぞれ
第２径方向圧電素子１２、圧力センサ５０、増幅回路７
１、ローパスフィルタ７２および基準電圧回路７３の動
作に対応している。また、穴３の右側半分のフィードバ
ック動作について説明したが、左側半分のフィードバッ
ク動作は、右側半分のフィードバック動作と同じであ
る。

【００２５】前記第１実施例によれば、３個の圧電素子
７、１２、２０のオンオフの組み合わせ動作によって圧
電素子７の伸長量だけ図２で右方向に送り可能である。
これを繰り返すことにより必要量送り出すことができ
る。通電加工時、圧電素子７の印加電圧をアナログ制御
することにより、電極４の位置調整の精度を高められ
る。

【００２６】電極の着脱時、圧電素子の径方向の伸縮で
なく軸方向の伸縮により電極４を圧着または離脱するた
め、軸方向に大きな伸び量または縮み量を確保できるの
で小径の電極を的確に掴み離しできる。しかも、積層さ
れた圧電素子の軸方向の伸縮動作によって電極を圧着ま
たは離脱するので、小径の電極を的確に掴み離しでき
る。

【００２７】電極の送り時、積層された圧電素子の軸方
向に大きな伸び量または縮み量を確保できるので、電極
の送りを的確にできる。送り動作の繰り返しにより電極
の送り量を適宜調整できる。また、送り時と戻し時とで
別個の圧電素子群７、１２、２０および２７、３２、４
０によって送り時および戻り時の個別制御が可能とな
り、送り量ならびに戻し量の精密制御が可能である。ま
た、軸方向の圧電素子のアナログ制御時、２つの径方向
圧電素子による電極の掴み替えが不要となるため無駄時
間を減少でき電極の応答性を向上させる。

【００２８】さらに、本装置を用いた場合の電極送り駆
動方式として、駆動周波数を一般の制御領域以外であ
る、系の折れ点周波数（遮断周波数）を超えた高次共振
周波数に合致させた領域で電極の送りを制御することが
可能である。そのため第１軸方向圧電素子の共振周波数
を利用した場合の電極送りでは、電極１ステップ当たり
の変位量が大きくなり、また電極に高周波の振動を付与
することも可能となる。共振周波数においては、一般に
制御信号に対して位相遅れが起こるために制御が不可能
とされてきた。しかし、本装置の場合、共振周波数にお
いて２次系の遅れ（−９０°）にさらに圧電素子の応答
遅れ（−９０°）が加わるため、系の遅れは全体として
−１８０°遅れることとなる。従って、電極とワーク間
のギャップ電圧の変動に対する制御信号の位相を−１８
０°反転させることにより、従来と同様な制御を可能と
する。

【００２９】さらには、電極４が線状のものであるので
電極摩耗しても連続的に電極が補給送りされるので、電
極消耗時の交換作業の頻度が低減でき、電極の頻繁な交
換作業が不要となり、保守点検作業が容易になるという
効果がある。次に、本発明の放電加工用電極送り装置の
第２実施例を図７に示す。第２実施例では、ローパスフ
ィルタ７２、８２から出力される出力信号を演算回路７
４、８４に供給し、演算回路７４、８４に記憶されたプ
ログラムに設定された基準電圧値との差分がとられ、そ
の差分電圧が増幅回路７５、８５を経て増幅回路６５、
６４に供給されるパルス信号にフィードバックされる。
これにより、演算回路７４、８４で設定された基準電圧
値に対応する電極４のクランプ圧力を保持できる。基準
電圧値は、演算回路７４、８４内のプログラムで変更可
能である。

【００３０】これ以外の構成および動作は第１実施例と
同じであるので説明を省略する。前述の第１実施例およ
び第２実施例では２セットの圧電素子群による例を示し
たが、１セットの圧電素子群のみによっても本発明が成
立することはもちろんである。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の放電加工
用電極送り装置によれば、圧電素子が伸縮動作により電
極をクランプする圧力を測定する圧力検知手段を設け、
この圧力検知手段からの圧力信号を圧電素子に印加する
パルス信号にフィードバックさせることにより、周波数
全域で、電極を所定の圧力でクランプすることを保持で
きるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による放電加工用電極送り
装置の制御システムを示す模式的構成図である。

【図２】本発明の放電加工用電極送り装置を穴あけ放電
加工機の電極送り装置に適用した第１実施例を示す断面
図である。

【図３】図２のIII 方向矢視図である。

【図４】図２のIV方向矢視図である。

【図５】本発明の第１実施例による電極送り動作ならび
に各圧電素子のオンオフ状態を示す説明図である。

【図６】本発明の第１実施例による径方向圧電素子に入
力されるパルス信号に対して圧力センサから出力される
出力信号とその出力信号の平均値を示す説明図である。

【図７】本発明の第２実施例による放電加工用電極送り
装置を示す断面図である。

【符号の説明】

２ ハウジング ４ 電極 ７ 第１軸方向圧電素子 ８ ケース １２ 第２径方向圧電素子 １４、１５ 電気絶縁体（第１電気絶縁体） １８ ハウジング ２０ 第３径方向圧電素子 ２２、２３ 電気絶縁体（第２電気絶縁体） ２７ 第１軸方向圧電素子 ３２ 第２径方向圧電素子 ４０ 第３径方向圧電素子 ４２、４３ 給電電極（第１給電電極） ４１、４４ 給電電極（第２給電電極） ５０ 圧力センサ（第１の圧力検知手段） ５２ 圧力センサ（第２の圧力検知手段） ７１ 増幅器（第１の電圧フィードバック手
段） ７２ ローパスフィルタ（第１の電圧フィード
バック手段） ７３ 基準電圧発生回路（第１の電圧フィード
バック手段） ８１ 増幅器（第２の電圧フィードバック手
段） ８２ ローパスフィルタ（第２の電圧フィード
バック手段） ８３ 基準電圧発生回路（第２の電圧フィード
バック手段）

フロントページの続き (72)発明者 毛利 尚武 愛知県名古屋市天白区久方２−12−１ 豊田工業大学内 (56)参考文献 特開 平３−187144（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−225380（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−297003（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23H 7/10 B23H 7/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジングに収容され、電極の軸方向に
   平行に伸縮可能に設けられる積層型の第１軸方向圧電素
   子と、 前記第１軸方向圧電素子の自由端に固定され、前記ハウ
   ジングに対し電極の軸方向に移動可能なケースと、 前記ケースに収容され、電極の径方向に伸縮可能な積層
   型の第２径方向圧電素子と、 前記第２径方向圧電素子の自由端に当接し、前記第２径
   方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応じて電極を
   圧着および離脱する第１電気絶縁体と、 前記第２径方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応
   じて前記第１電気絶縁体が電極を圧着および離脱する圧
   力を測定し、電気信号に変換して出力する第１の圧力検
   知手段と、 この第１の圧力検知手段から出力される電気信号を前記
   第２径方向圧電素子に印加される電圧にフィードバック
   させる第１の電圧フィードバック手段と、 前記ハウジングに収容され、電極の径方向に伸縮可能な
   積層型の第３径方向圧電素子と、 前記第３径方向圧電素子の自由端に当接し、前記第３径
   方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応じて電極を
   圧着および離脱する第２電気絶縁体と、 前記第３径方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応
   じて前記第２電気絶縁体が電極を圧着および離脱する圧
   力を測定し、電気信号に変換して出力する第２の圧力検
   知手段と、 この第２の圧力検知手段から出力される電気信号を前記
   第３径方向圧電素子に印加される電圧にフィードバック
   させる第２の電圧フィードバック手段と、前記電極を加工方向に送る工程において、前記第１軸方
   向圧電素子が加工方向に伸長するとき、前記第１電気絶
   縁体は前記電極を圧着し、前記第２電気絶縁体は前記電
   極を離脱しており、前記第１軸方向圧電素子が収縮する
   とき、前記第１電気絶縁体は前記電極を離脱し、前記第
   ２電気絶縁体は前記電極を圧着し、前記電極を加工方向
   から戻す工程において、前記第１軸方向圧電素子が加工
   方向に伸長するとき、前記第１電気絶縁体は前記電極を
   離脱し、前記第２電気絶縁体は前 記電極を圧着してお
   り、前記第１軸方向圧電素子が収縮するとき、前記第１
   電気絶縁体は前記電極を圧着し、前記第２電気絶縁体は
   前記電極を離脱するように各圧電素子に電圧を印加する
   印加手段と を備えたことを特徴とする放電加工用電極送
   り装置。
2. 【請求項２】 ハウジングに収容され、電極の軸方向に
   平行に伸縮可能に設けられる積層型の第１軸方向圧電素
   子と、 前記第１軸方向圧電素子の自由端に固定され、前記ハウ
   ジングに対し電極の軸方向に移動可能なケースと、 前記ケースに収容され、電極の径方向に伸縮可能な積層
   型の第２径方向圧 電素子と、前記第２径方向圧電素子の自由端に当接し、前記第２径
   方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応じて電極を
   圧着および離脱する第１電気絶縁体と、 前記第２径方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応
   じて前記第１電気絶縁体が電極を圧着および離脱する圧
   力を測定し、電気信号に変換して出力する第１の圧力検
   知手段と、 この第１の圧力検知手段から出力される電気信号を前記
   第２径方向圧電素子に印加される電圧にフィードバック
   させる第１の電圧フィードバック手段と、 前記ハウジングに収容され、電極の径方向に伸縮可能な
   積層型の第３径方向圧電素子と、 前記第３径方向圧電素子の自由端に当接し、前記第３径
   方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応じて電極を
   圧着および離脱する第２電気絶縁体と、 前記第３径方向圧電素子の伸長動作および収縮動作に応
   じて前記第２電気絶縁体が電極を圧着および離脱する圧
   力を測定し、電気信号に変換して出力する第２の圧力検
   知手段と、 この第２の圧力検知手段から出力される電気信号を前記
   第３径方向圧電素子に印加される電圧にフィードバック
   させる第２の電圧フィードバック手段と、 前記電極を加工方向に送る工程において、前記第１軸方
   向圧電素子が加工方向と反対方向に伸長するとき、前記
   第１電気絶縁体は前記電極を離脱し、前記第２電気絶縁
   体は前記電極を圧着しており、前記第１軸方向圧電素子
   が収縮するとき 、前記第１電気絶縁体は前記電極を圧着
   し、前記第２電気絶縁体は前記電極を離脱し、前記電極
   を加工方向から戻す工程において、前記第１軸方向圧電
   素子が加工方向と反対方向に伸長するとき、前記第１電
   気絶縁体は前記電極を圧着し、前記第２電気絶縁体は前
   記電極を離脱しており、前記第１軸方向圧電素子が収縮
   するとき、前記第１電気絶縁体は前記電極を離脱し、前
   記第２電気絶縁体は前記電極を圧着するように各圧電素
   子に電圧を印加する印加手段とを備えたことを特徴とす
   る放電加工用電極送り装置。